JP5819019B2 - Roundness measuring device and roundness measuring method - Google Patents
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本発明は、真円度測定装置および真円度測定方法に関する。 The present invention relates to a roundness measuring device and a roundness measuring method.
被測定物(ワーク)の円筒状の外周面または内周面の真円度を測定する真円度測定装置が広く使用されている。 A roundness measuring device that measures the roundness of a cylindrical outer peripheral surface or inner peripheral surface of an object to be measured (workpiece) is widely used.
図1は、従来の真円度測定装置の外観図である。
真円度測定装置は、台状のベース1と、ベース1に設けられた回転可能な載物台2と、載物台2を回転駆動するためのモータ等を有する回転駆動部3と、ベース1に設けられたコラム4と、コラム4に沿って移動可能なキャリッジ5と、キャリッジ5に対して移動可能なアーム6と、アーム6の先端部に取り付けられた検出器ホルダ9と、検出器ホルダ9に取り付けられた検出器10と、を有する。検出器10は、測定子11と、差動トランス等の変位検出部と、を有し、測定子11の変位を示す電気信号を出力する。
FIG. 1 is an external view of a conventional roundness measuring apparatus.
The roundness measuring device includes a base 1 having a base, a
ワーク12は、載物台2上に、ワーク12の円筒面の中心軸が載物台2の回転軸にほぼ一致するように載置され、回転される。コラム4は、載物台2の回転軸に平行に伸びる柱である。キャリッジ5は、コラム4に沿って移動可能であり、一般に移動はコラム4の案内面に沿ってマニュアルで移動されるが、モータ等を用いて自動で移動する場合もある。アーム6は、キャリッジ5の案内面にマニュアルで移動されるが、モータ等を用いて自動で移動する場合もある。検出器ホルダ9は、L字型の部材で、一方の端がアーム6の先端に取り付けられ、他方の端に検出器10が取り付けられる。ワーク12のつば部分の高さ位置の変化を検出するため、検出器ホルダ9は、アーム6の先端に取り付ける方向を90度ずつ異なる3方向にすることが可能である場合がある。さらに、検出器10は、測定する円筒面の方向を180度変えるために、検出器ホルダ9に対して方向を変えて取り付け可能な場合がある。
The
測定を行なう場合には、ワーク12は、載物台2上に、ワーク12の円筒面の中心軸が載物台2の回転軸にほぼ一致するように載置する。測定子11がワーク12の測定する位置に接触するように、キャリッジ5を移動して上下方向の位置を調整し、アーム6を移動して径方向の位置を調整する。この状態で、ワーク12の真円度を測定するが、高精度の測定を行なう場合には、ワーク12を回転して、ワーク12の円筒部の中心軸と載物台2の回転軸との偏心を測定し、載物台2に設けられたXY移動機構で、ワーク12の円筒部の中心軸が載物台2の回転軸により正確に一致するように調整する。この時、測定子11は、変位範囲の中心付近であることが望ましい。
When performing measurement, the
図2は、図1の真円度測定装置の上面図である。
図2に示すように、コラム4は、載物台2の右側に設けられる。アーム6、検出器ホルダ9および検出器10は、一直線上に配置され、その延長上に、載物台2の回転中心軸が位置する。測定子11は、検出器10の先端に設けられ、この直線と載物台2の回転中心軸がなす平面内で変位する。したがって、ワーク12の測定する円筒面の直径が異なる場合には、測定子11が測定する円筒面に接触するように、アーム6を移動する。ここでは、測定子11が測定する円筒面に接触する測定点と載物台2の回転中心軸がなす平面を測定平面と称し、載物台2の回転中心軸と測定点をむすぶ方向を径方向と称する。言い換えれば、測定する円筒面の直径が異なる場合でも、アーム6、検出器ホルダ9および検出器10は、測定平面に沿って径方向に移動され、測定子11は、測定平面と円筒面の交差する線上で円筒面に接触し、測定平面上で変位する。
FIG. 2 is a top view of the roundness measuring apparatus of FIG.
As shown in FIG. 2, the
コラム4を載物台2の右側に設ける(左側でもよい)第1の理由は、アーム6を測定平面上で移動させるためであり、第2の理由は、異なる円筒面を測定する場合に、円筒面の半径(直径)の差を、アーム6の移動量を検出することにより検出できるためである。
The first reason for providing the
以上のような理由で、従来の真円度測定装置においては、コラム4を載物台2の側方(右側または左側)に設けていた。そのため、コラム4が固定されるベース1は、上面図では、径方向に長い長方形である。さらに、アーム6は、測定する円筒面の半径に応じて径方向に移動されるため、アーム6が右方向に最大限移動した場合を考慮して、設置スペースを決定する必要がある。以上のような理由で、従来の真円度測定装置は、径方向に長い長方形の設置スペースを必要とし、設置に必要な空間が大きいという問題があった。
For the reasons described above, in the conventional roundness measuring device, the
また、従来の真円度測定装置は、長いアーム6を有するため、測定中の短時間にでも少量の温度変化があると、アーム6および検出器ホルダ9の先端に取り付けられる検出器10の変位が大きく、しかもその変位が直接測定値に影響するため、温度変化による誤差が大きいという問題があった。
In addition, since the conventional roundness measuring device has the
本発明は、設置に必要な空間が小さく、温度変換による測定誤差が小さい真円度測定装置の実現を目的とする。 An object of the present invention is to realize a roundness measuring apparatus that requires a small space for installation and that has a small measurement error due to temperature conversion.
上記課題を解決するため、本発明の真円度測定装置は、ベースの裏面側にコラムを垂直に立て、移動機構によりコラムを測定平面に平行に移動し、検出器をコラムから測定平面に垂直な方向に伸びる検出器ホルダに取り付け、検出器の測定子を測定平面内で変位可能にする。 In order to solve the above problems, the roundness measuring apparatus of the present invention stands a column vertically on the back side of the base, moves the column parallel to the measurement plane by a moving mechanism, and moves the detector from the column to the measurement plane. It is attached to a detector holder extending in a specific direction, and the probe of the detector can be displaced in the measurement plane.
すなわち、本発明の真円度測定装置は、ベースと、ベースに固定され、載置されたワークを回転する回転台と、ベースの裏面側に垂直に立つコラムと、回転台の回転軸とワークの測定点を含む測定平面に平行に、ベースに対してコラムをスライド移動する移動機構と、コラムから測定平面に垂直な方向に伸びる検出器ホルダに取り付けられ、測定平面内で変位可能な測定子を有する検出器と、を有することを特徴とする。 That is, the roundness measuring apparatus of the present invention includes a base, a turntable that is fixed to the base and rotates a work placed thereon, a column that stands vertically on the back side of the base, a rotation shaft of the turntable, and a work A moving mechanism that slides the column relative to the base parallel to the measurement plane including the measurement point and a detector that is attached to the detector holder that extends from the column in a direction perpendicular to the measurement plane and that can be displaced in the measurement plane. Having a detector.
本発明によれば、移動機構により平行移動されるコラムをベースの背面に設けるので、設置スペースを正方形に近い形状にでき、設置スペース(設置に必要な空間)を小さくできる。 According to the present invention, the column that is translated by the moving mechanism is provided on the back surface of the base, so that the installation space can be made nearly square, and the installation space (the space necessary for installation) can be reduced.
さらに、図1の従来の真円度測定装置では、検出器は、コラムから測定平面に沿って伸びるアームおよび検出器ホルダに取り付けられる。そのため、温度変化によりアームが伸縮すると、伸縮量が直接測定値に影響する。アームが長い場合には、測定中の短時間での温度変化でもアームの伸縮量は無視できない大きさになり、測定誤差となる。 Further, in the conventional roundness measuring apparatus of FIG. 1, the detector is attached to an arm and a detector holder extending from the column along the measurement plane. Therefore, when the arm expands or contracts due to a temperature change, the amount of expansion or contraction directly affects the measured value. When the arm is long, even if the temperature changes in a short time during measurement, the amount of expansion and contraction of the arm becomes a size that cannot be ignored, resulting in a measurement error.
これに対して、本発明によれば、長いアームを使用しない上、検出器は、コラムから測定平面に垂直な方向上に位置するようにコラムから伸びる検出器ホルダに取り付けられ、測定子は測定平面内で変位可能であるため、温度変化により測定器ホルダが伸縮しても、伸縮量は直接測定値に影響しないため、温度変化の測定誤差への影響を低減できる。 On the other hand, according to the present invention, a long arm is not used, and the detector is attached to a detector holder extending from the column so as to be positioned in a direction perpendicular to the measurement plane from the column. Since it can be displaced in the plane, even if the measuring instrument holder expands or contracts due to a temperature change, the amount of expansion or contraction does not directly affect the measured value, so that the influence of the temperature change on measurement errors can be reduced.
コラムに沿って上下に移動可能で、測定平面に垂直な軸を有するキャリッジを設けることが望ましい。検出器ホルダは、キャリッジの軸を中心として回転した異なる方向で取り付け可能であるようにする。これにより、キャリッジをコラムに沿って移動することにより、測定子の円筒面との接触点の上下方向の位置、すなわち高さを調整し、ワークの測定面に応じて検出器ホルダの方向を変えられるようにする。 It is desirable to provide a carriage that can move up and down along the column and has an axis perpendicular to the measurement plane. The detector holder can be mounted in different directions rotated about the carriage axis. As a result, by moving the carriage along the column, the vertical position, that is, the height of the contact point with the cylindrical surface of the probe is adjusted, and the direction of the detector holder is changed according to the workpiece measurement surface. To be able to.
移動機構は、コラムを測定平面に平行に保持するガイド機構と、コラムを移動する送り機構と、を備える。 The moving mechanism includes a guide mechanism that holds the column parallel to the measurement plane, and a feed mechanism that moves the column.
また、2本の独立に移動可能なコラムを2本設けて、ワークの2箇所で同時に真円度を測定可能にしてもよく、これにより直径が測定可能になり、細長いワークでも撓みを極小にして測定が行なえるようになる。 It is also possible to provide two independently movable columns so that the roundness can be measured simultaneously at two locations on the workpiece. This makes it possible to measure the diameter, minimizing the deflection even for elongated workpieces. Measurement.
2本のコラムの移動機構は、2本のコラムを回転台の回転軸に対して平行に保持するガイド機構を共用し、送り機構は独立して設けることが望ましい。 The two column moving mechanisms share a guide mechanism for holding the two columns parallel to the rotation axis of the turntable, and it is desirable that the feeding mechanism be provided independently.
さらに、回転台の回転軸に対して平行に伸びるコラムと、コラムに沿って移動可能に支持された移動部と、移動部に取り付けられ、ホルダ固定部を測定平面に平行に移動する固定部移動機構と、を含むようにしてもよい。これであれば、コラムは固定であるから、固定部移動機構を小型にできる。 Furthermore, a column extending parallel to the rotation axis of the turntable, a moving unit supported so as to be movable along the column, and a fixed unit moving attached to the moving unit and moving the holder fixing unit parallel to the measurement plane And a mechanism. In this case, since the column is fixed, the fixed portion moving mechanism can be reduced in size.
本発明によれば、設置に必要な空間が小さい真円度測定装置が実現される。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the roundness measuring apparatus with a small space required for installation is implement | achieved.
図3および図4は、本発明の第1実施形態の真円度測定装置の正面側および背面側から見た外観図である。 3 and 4 are external views of the roundness measuring device according to the first embodiment of the present invention as seen from the front side and the back side.
第1実施形態の真円度測定装置は、台状のベース21と、ベース21に設けられた回転可能な載物台22と、載物台22を回転駆動するためのモータ等を有する回転駆動部(図示せず)と、ベース21の背面に設けられたコラム24と、コラム24に沿って移動可能なキャリッジ25と、キャリッジ25に取り付けられた検出器ホルダ29と、検出器ホルダ29に取り付けられた検出器30と、を有する。検出器30は、測定子31と、差動トランス等の変位検出部と、を有し、測定子31の変位を示す電気信号を出力する。キャリッジ25は、検出器ホルダ29が取り付けられるので、ホルダ固定部とも称する。
The roundness measuring apparatus according to the first embodiment includes a table-
コラム24は、上下方向ガイド51および52と、上下方向送りねじ53が設けられている。キャリッジ25は、上下方向送りねじ53に上下方向送りナットにより係合されており、上下方向送りつまみ55を回転することにより上下方向送りねじ53が回転して、上下方向に移動する。なお、上下方向送りつまみ55の代わりに、上下方向送りねじ53を回転駆動するモータ等を設けて、キャリッジ25を上下方向に移動することも可能である。キャリッジ25は、高精度の上下方向ガイド51および52により案内されるので、移動しても姿勢が変化することはない。したがって、キャリッジ25に取り付けられた検出器ホルダ29および検出器30は、上下方向に移動しても、姿勢は変化せず、上下方向の位置(高さ)のみが変化する。
The
さらに、ベース21の背面には、径方向ガイド71および72と、径方向送りねじ73が設けられている。コラム24は、径方向送りねじ73に径方向送りナット74により係合されており、径方向送りつまみ75を回転することにより径方向送りねじ73が回転して、径方向と平行に移動する。コラム24は、載物台22の右側および左側に移動可能である。なお、径方向送りつまみ75の代わりに、径方向送りねじ73を回転駆動するモータ等を設けて、コラム24を径方向と平行に移動することも可能である。コラム24は、高精度の径方向ガイド71および72により案内されるので、移動しても姿勢が変化することはない。したがって、コラム24(キャリッジ25)に取り付けられた検出器ホルダ29および検出器30は、径方向と平行に移動しても、姿勢は変化せず、径方向の位置のみが変化する。言い換えれば、異なる半径の円筒面の真円度を測定するため、コラム24を径方向と平行に移動しても、検出器30の測定子31は、測定平面でワーク32に接触する。
Further, radial guides 71 and 72 and a
検出器ホルダ29および検出器30は、図1に示した従来例のものと同じである。前述のように、ワーク32のつば部分の高さ位置の変化を検出するため、検出器ホルダ29は、キャリッジ25に取り付ける方向を90度ずつ異なる3方向にすることが可能であることが望ましい。さらに、検出器30は、測定する円筒面の方向を180度変えるために、検出器ホルダ29に対して方向を変えて取り付け可能であることが望ましい。
The
測定を行なう場合には、ワーク32は、載物台22上に、ワーク32の円筒面の中心軸が載物台22の回転軸にほぼ一致するように載置する。測定子31がワーク32の測定する位置に接触するように、キャリッジ25を移動して上下方向の位置を調整し、コラム24を移動して径方向の位置を調整する。この状態で、ワーク32の真円度を測定するが、高精度の測定を行なう場合には、ワーク32を回転して、ワーク32の円筒部の中心軸と載物台22の回転軸との偏心を測定し、載物台22に設けられたXY移動機構で、ワーク32の円筒部の中心軸が載物台22の回転軸により正確に一致するように調整した後測定を行う。この時、測定子31は、変位範囲の中心付近であることが望ましい。
When performing the measurement, the
図5は、第1実施形態の真円度測定装置の上面図である。
図5に示すように、コラム24は、載物台22の背面に、測定平面と平行に移動可能に設けられる。検出器ホルダ29は、キャリッジ25から測定平面に垂直な方向に伸び、検出器30は、測定子31が測定平面上で変位するように取り付けられる。ワーク32の測定する円筒面の直径が異なる場合には、コラム24を測定平面と平行に移動するので、検出器ホルダ29および検出器30は、測定平面に沿って径方向に移動され、測定子31は、測定平面と円筒面の交差する線上で円筒面に接触し、測定平面上で変位する。
FIG. 5 is a top view of the roundness measuring apparatus according to the first embodiment.
As shown in FIG. 5, the
図2と図5を比較して明らかなように、第1実施形態の真円度測定装置は、従来の真円度測定装置に比べて、ベースの横方向(径方向)の長さが大幅に短縮され、アームが側方に突き出すことも無いので、設置スペースが大幅に小さくなっていることが分かる。 As is clear from comparison between FIG. 2 and FIG. 5, the roundness measuring device of the first embodiment has a significantly longer lateral (radial) length of the base than the conventional roundness measuring device. It can be seen that the installation space is greatly reduced because the arm does not protrude sideways.
前述のように、従来の真円度測定装置では、円筒面の半径(直径)の差を、アーム6の移動量を検出することにより検出できたが、第1実施形態の真円度測定装置でも同様に、コラム24の移動量を検出することにより検出できる。
As described above, in the conventional roundness measuring device, the difference in the radius (diameter) of the cylindrical surface can be detected by detecting the movement amount of the
第1実施形態の真円度測定装置でワーク32の内筒面の真円度を測定する場合には、載物台22の回転軸に対して図3の測定点と反対側の内筒面に測定子31を接触させて測定する。
When measuring the roundness of the inner cylindrical surface of the
図6は、第1実施形態の真円度測定装置で、測定子31を載物台22の回転軸に対して左側の外筒面に接触させて真円度を測定する状態を示す図である。この場合、図3の場合と比べて、検出器30を180度回転して検出器ホルダ29の取り付け部33に取り付ける。
FIG. 6 is a diagram illustrating a state in which the roundness is measured by bringing the
図7は、第1実施形態と図1に示した従来例における温度変化による測定子の変位の影響の違いを説明する図である。 FIG. 7 is a diagram for explaining the difference in the influence of the displacement of the probe due to the temperature change in the first embodiment and the conventional example shown in FIG.
温度変化が発生すると、各部が伸縮するが、ベースやコラムは熱容量が大きく、1回の測定時間というような短時間であれば比較的温度変化は小さく、それに起因する伸縮量も小さい。これに対して、アームや検出器ホルダは熱容量が小さく、短時間であっても温度変化により伸縮する。例えば、鉄製の100mmのアームであれば、0.1℃の温度変化でも伸縮量は1μmになる。 When a temperature change occurs, each part expands and contracts. However, the heat capacity of the base and column is large, and if the time is short, such as one measurement time, the temperature change is relatively small, and the amount of expansion and contraction resulting from the change is small. On the other hand, the arm and the detector holder have a small heat capacity and expand and contract due to temperature changes even in a short time. For example, if the arm is made of iron and is 100 mm, the expansion / contraction amount is 1 μm even if the temperature changes by 0.1 ° C.
図1に示した従来例では、図7の(A)に示すように、アーム6および検出器ホルダ9が温度変化により伸縮した場合、測定子の先端の変位dは、測定平面内で発生し、正しい位置33から33aで示す位置に変位する。そのため、この変位dは、そのままワークの表面位置のずれ、すなわち測定誤差となる。真円度測定装置では、1μmの測定誤差は無視できないレベルである。
In the conventional example shown in FIG. 1, as shown in FIG. 7A, when the
一方、第1実施形態では、長いアームを使用しないため、そもそも測定子の変位が小さい。さらに、第1実施形態では、図7の(A)に示すように、検出器ホルダ9が温度変化により伸縮した場合、測定子の先端の変位dは、測定平面に垂直な面内で発生し、正しい位置33から33bで示す位置に変位する。この変位により、測定子は測定平面からずれるが、ワークに対して接触する圧力が印加されており、図7の(B)に示すように、円筒状のワークの表面に接触する。この時の測定方向のずれΔは、変位dが小さく、θが小さい範囲では、非常に小さい。具体的には、ワークの半径をRとすると、θ=sin(d/R)、Δ=R(1−cosθ)である。以上のように、第1実施形態では、温度変化があっても測定誤差への影響は小さい。
On the other hand, in the first embodiment, since the long arm is not used, the displacement of the probe is small in the first place. Furthermore, in the first embodiment, as shown in FIG. 7A, when the
図8および図9は、本発明の第2実施形態の真円度測定装置の正面側および背面側から見た外観図である。 8 and 9 are external views of the roundness measuring device according to the second embodiment of the present invention as seen from the front side and the back side.
第2実施形態の真円度測定装置は、コラム、キャリッジ、検出器ホルダ、検出器を2組有することが、第1実施形態の真円度測定装置と異なる。 The roundness measuring device of the second embodiment is different from the roundness measuring device of the first embodiment in that it has two sets of a column, a carriage, a detector holder, and a detector.
図示のように、第2実施形態の真円度測定装置は、台状のベース21と、載物台22と、回転駆動部(図示せず)と、2個のコラム24Aおよび24Bと、2個のキャリッジ25Aおよび25Bと、2個の検出器ホルダ29Aおよび29Bと、2個の検出器30Aおよび30Bと、を有する。
As shown in the figure, the roundness measuring apparatus of the second embodiment includes a
コラム24Aは、上下方向ガイド51Aおよび52Aと、上下方向送りねじ53Aが設けられている。キャリッジ25Aは、上下方向送りねじ53Aに上下方向送りナットにより係合されており、上下方向送りつまみ55Aを回転することにより上下方向送りねじ53Aが回転して、上下方向に移動する。同様に、コラム24Bは、上下方向ガイド51Bおよび52Bと、上下方向送りねじ53Bが設けられている。キャリッジ25Bは、上下方向送りねじ53Bに上下方向送りナットにより係合されており、上下方向送りつまみ55Bを回転することにより上下方向送りねじ53Bが回転して、上下方向に移動する。
さらに、ベース21の背面には、径方向ガイド71および72と、2個の径方向送りねじ73Aおよび73Bが設けられている。コラム24Aは、径方向送りねじ73Aに径方向送りナットにより係合されており、径方向送りつまみ75Aを回転することにより径方向送りねじ73Aが回転して、径方向と平行に移動する。同様に、コラム24Bは、径方向送りねじ73Bに径方向送りナット74Bにより係合されており、径方向送りつまみ75Bを回転することにより径方向送りねじ73Bが回転して、径方向と平行に移動する。コラム24Aおよび24Bは、高精度の径方向ガイド71および72により案内されるので、移動しても姿勢が変化することはない。検出器ホルダ29Aおよび29B、および検出器30Aおよび30Bは、第1実施形態のものと同じであり、検出器30Bの検出器ホルダ29Bの取り付け方向は、検出器30Aの検出器ホルダ29Aの取り付け方向と180度異なる。
The
Further, radial guides 71 and 72 and two radial feed screws 73A and 73B are provided on the back surface of the
図8は、外筒面の載物台22の回転軸に対して対称な2点、すなわち外筒面の直径に対応する2点に、検出器30Aおよび30Bの測定子31Aおよび31Bを接触させた状態を示す。この状態での検出器30Aおよび30Bの検出信号の和の変化を算出することにより、外筒面の直径の変化を測定することができる。
FIG. 8 shows that the measuring
図10は、本発明の第3実施形態の真円度測定装置の外観図である。
第3実施形態の真円度測定装置は、コラム24が固定であること、およびキャリッジ25に検出器ホルダ29を測定平面に平行に移動する検出器ホルダ移動機構81が設けられていることが、第1実施形態の真円度測定装置と異なる。
FIG. 10 is an external view of a roundness measuring apparatus according to the third embodiment of the present invention.
In the roundness measuring apparatus of the third embodiment, the
図10では、コラム24に設けたキャリッジ25の移動機構は図示を省略しているが、第1実施形態に類似した移動機構が設けられている。
In FIG. 10, the movement mechanism of the
検出器ホルダ移動機構81は、キャリッジ25に固定され、1組のガイドと、送りねじと、送りナットと、を有する第1実施形態に類似した移動機構により実現されるが、図示は省略している。検出器ホルダ移動機構81は、検出器ホルダ29が取り付けられるホルダ固定部を、測定平面に平行に且つ載物第22の回転軸に垂直な方向に移動する。
The detector
第3実施形態の真円度測定装置では、第1実施形態の真円度測定装置と同様に、ワーク32の測定する円筒面の直径が異なる場合には、検出器ホルダ29および検出器30は、測定平面に沿って径方向に移動され、測定子31は、測定平面と円筒面の交差する線上で円筒面に接触し、測定平面上で変位する。また、第3実施形態の真円度測定装置は、第1実施形態の真円度測定装置と同様に、設置スペースが大幅に小さくなる。
In the roundness measuring device of the third embodiment, similarly to the roundness measuring device of the first embodiment, when the diameter of the cylindrical surface measured by the
以上、第1から第3実施形態を説明したが、いずれの実施形態でも、コラムは回転台の背面側に設けられ、検出器ホルダ29および検出器30は、測定平面に沿って径方向に移動される。言い換えれば、検出器ホルダ29が取り付けられるホルダ固定部(キャリッジ等)を、測定平面に平行に2次元で移動する2次元移動機構が、ベースの背面側に設けられている。これにより、真円度測定の必須事項を満たした上で、設置スペースを小さくできる。
The first to third embodiments have been described above. In any of the embodiments, the column is provided on the back side of the turntable, and the
以上、本発明の実施形態を説明したが、各種の変形例が可能であるのはいうまでもない。 As mentioned above, although embodiment of this invention was described, it cannot be overemphasized that various modifications are possible.
本発明は、真円度測定装置および類似の機能を有する測定装置に適用可能である。 The present invention is applicable to a roundness measuring device and a measuring device having a similar function.
21 ベース
22 載物台
24 コラム
25 キャリッジ
29 検出器ホルダ
30 検出器
31 測定子
32 ワーク
21
Claims (2)
前記ベースに固定され、載置されたワークを回転する回転台と、
前記ベースの裏面側に垂直に立つコラムと、
前記回転台の回転軸と前記ワークの測定点を含む測定平面に平行に、前記ベースに対して、前記コラムをスライド移動する移動機構と、
前記コラムから前記測定平面に垂直な方向に伸びる検出器ホルダに取り付けられ、前記測定平面内で変位可能な測定子を有する検出器と、を備えることを特徴とする真円度測定装置。 Base and
A turntable that is fixed to the base and rotates the mounted workpiece;
A column standing perpendicular to the back side of the base;
A moving mechanism for slidingly moving the column with respect to the base parallel to a measurement plane including a rotation axis of the turntable and a measurement point of the workpiece;
A roundness measuring apparatus, comprising: a detector attached to a detector holder extending from the column in a direction perpendicular to the measurement plane and having a probe that can be displaced in the measurement plane.
前記ベースの裏面側に垂直に立ち、前記回転台の回転軸を含む測定平面に平行にスライド可能なコラムに、前記コラムから前記測定平面に垂直な方向に伸びる検出器ホルダに取り付けた検出器の測定子を、前記ワークの表面に前記測定平面上で変位可能なように接触させ、
前記回転台を回転した時に前記測定子の変位を前記検出器で検出する真円度測定方法であって、
前記測定点の前記回転軸に対する位置に応じて、前記コラムをスライド移動させることを特徴とする真円度測定方法。 Place the work on the turntable fixed to the base,
A detector that is vertically mounted on a detector holder that extends vertically from the column in a direction perpendicular to the measurement plane, is slidable in parallel to a measurement plane that includes the rotation axis of the turntable, and stands perpendicularly to the back side of the base. A probe is brought into contact with the surface of the workpiece so as to be displaceable on the measurement plane
A roundness measurement method for detecting a displacement of the probe with the detector when the turntable is rotated,
A roundness measurement method, wherein the column is slid according to a position of the measurement point with respect to the rotation axis.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014258684A Division JP5752313B2 (en) | 2014-12-22 | 2014-12-22 | Roundness measuring device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015179093A JP2015179093A (en) | 2015-10-08 |
JP5819019B2 true JP5819019B2 (en) | 2015-11-18 |
Family
ID=54263212
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015099780A Active JP5819019B2 (en) | 2015-05-15 | 2015-05-15 | Roundness measuring device and roundness measuring method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5819019B2 (en) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61219814A (en) * | 1985-03-27 | 1986-09-30 | Agency Of Ind Science & Technol | Measuring apparatus with automatic calibrating function |
JPH0299301U (en) * | 1989-01-26 | 1990-08-08 | ||
JP3687896B2 (en) * | 2000-09-27 | 2005-08-24 | 富士重工業株式会社 | Measuring device for pulley for continuously variable transmission |
-
2015
- 2015-05-15 JP JP2015099780A patent/JP5819019B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015179093A (en) | 2015-10-08 |
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