JP5818013B2 - シリカスラリーの製造方法 - Google Patents
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 80
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 29
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 38
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 38
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 26
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 19
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 14
- 239000011163 secondary particle Substances 0.000 claims description 4
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims description 3
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 41
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 2
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 description 2
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- METIGIXCFPEQNM-UHFFFAOYSA-M amino-(2-bromoethyl)-dimethylazanium;bromide Chemical compound [Br-].C[N+](C)(N)CCBr METIGIXCFPEQNM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N benzene-1,4-diol;bis(4-fluorophenyl)methanone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1.C1=CC(F)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(F)C=C1 JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 229910021485 fumed silica Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
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- Silicon Compounds (AREA)
- Mixers Of The Rotary Stirring Type (AREA)
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〔1〕表面に突片が設けられている回転盤を備えた混合槽に石英粉と液体を供給し、回転盤と共に回動する突片によって石英粉と液体を撹拌混合してシリカスラリーを製造する方法において、石英粉と液体に接触する回転盤表面および突片表面の動摩擦係数を0.05〜0.4の範囲に設定し、回転盤を500rpm〜2000rpmの回転数で回転することによって、供給した液体中の石英粉の二次粒子径よりも粒径の大きい石英粉凝集体の量が2wt%以下であって、粘度160mPa・S以下のシリカスラリーを製造することを特徴とするシリカスラリーの製造方法。
〔2〕製造されたシリカスラリーの温度が30℃〜34℃である上記[1]に記載する製造方法。
本発明の製造方法は、表面に突片が設けられている回転盤を備えた混合槽に石英粉と液体を供給し、回転盤と共に回動する突片によって石英粉と液体を撹拌混合してシリカスラリーを製造する方法において、石英粉と液体に接触する回転盤表面および突片表面の動摩擦係数を0.05〜0.4の範囲に設定し、回転盤を500rpm〜2000rpmの回転数で回転することによって、供給した液体中の石英粉の二次粒子径よりも粒径の大きい石英粉凝集体の量が2wt%以下であって、粘度160mPa・S以下のシリカスラリーを製造することを特徴とするシリカスラリーの製造方法である。
〔実施例1〜15、参考例B1〜B5、比較例1〜4〕
石英粉(フュームドシリカ、平均一次粒子径17nm〜20nm)と純水を図1に示す混練措置を用いて石英粉の濃度50wt%のスラリーを調製した。回転盤の回転数を表1に示すように設定し、10分間撹拌混練してシリカスラリーを製造した。このシリカスラリーの粘度、凝集体の含有量、および温度を測定した。この結果を回転盤表面および突片表面の動摩擦係数と共に表1〜表3に示した。
なお、スラリーの粘度は東機産業株式会社製のB型粘度計BMII型によって測定した。また、スラリー中の石英粉の粒子径を堀場製作所製のレーザ回折式粒度分布計LA−950で計測し、粒子径が0.2μmを上回るものを凝集体としてその量を測定した。
Claims (2)
- 表面に突片が設けられている回転盤を備えた混合槽に石英粉と液体を供給し、回転盤と共に回動する突片によって石英粉と液体を撹拌混合してシリカスラリーを製造する方法において、石英粉と液体に接触する回転盤表面および突片表面の動摩擦係数を0.05〜0.4の範囲に設定し、回転盤を500rpm〜2000rpmの回転数で回転することによって、供給した液体中の石英粉の二次粒子径よりも粒径の大きい石英粉凝集体の量が2wt%以下であって、粘度160mPa・S以下のシリカスラリーを製造することを特徴とするシリカスラリーの製造方法。
- 製造されたシリカスラリーの温度が30℃〜34℃である請求項1に記載する製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012081664A JP5818013B2 (ja) | 2012-03-30 | 2012-03-30 | シリカスラリーの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012081664A JP5818013B2 (ja) | 2012-03-30 | 2012-03-30 | シリカスラリーの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013209258A JP2013209258A (ja) | 2013-10-10 |
JP5818013B2 true JP5818013B2 (ja) | 2015-11-18 |
Family
ID=49527498
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012081664A Expired - Fee Related JP5818013B2 (ja) | 2012-03-30 | 2012-03-30 | シリカスラリーの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5818013B2 (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106139952A (zh) * | 2016-08-31 | 2016-11-23 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种旋转式密齿型石墨烯浆料搅拌装置及其搅拌方法 |
CN106139951A (zh) * | 2016-08-31 | 2016-11-23 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种带角度的石墨烯浆料搅拌装置及其搅拌方法 |
CN106268411A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-01-04 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种旋转式石墨烯浆料搅拌装置及其搅拌方法 |
CN106311062A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-01-11 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种石墨烯浆料制备系统及其制备方法 |
CN106334478A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-01-18 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种旋转式密齿型石墨烯浆料制备系统及其制备方法 |
CN106345345A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-01-25 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种带角度的石墨烯浆料制备系统及其制备方法 |
CN106345352A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-01-25 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种旋转式石墨烯浆料制备系统及其制备方法 |
CN106345334A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-01-25 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种密齿型石墨烯浆料制备系统及其制备方法 |
CN106362609A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-02-01 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种密齿型石墨烯浆料搅拌装置及其搅拌方法 |
CN106378025A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-02-08 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种石墨烯浆料搅拌装置及其搅拌方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017100117A (ja) * | 2015-11-19 | 2017-06-08 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | スラリーの製造に用いる分散混合ポンプを備えた分散混合システム |
CN106276883B (zh) * | 2016-08-31 | 2018-09-04 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种回转型石墨烯浆料制备系统及其制备方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5933298B2 (ja) * | 2011-03-23 | 2016-06-08 | 株式会社粉研パウテックス | 連続混練装置 |
-
2012
- 2012-03-30 JP JP2012081664A patent/JP5818013B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106139952A (zh) * | 2016-08-31 | 2016-11-23 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种旋转式密齿型石墨烯浆料搅拌装置及其搅拌方法 |
CN106139951A (zh) * | 2016-08-31 | 2016-11-23 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种带角度的石墨烯浆料搅拌装置及其搅拌方法 |
CN106268411A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-01-04 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种旋转式石墨烯浆料搅拌装置及其搅拌方法 |
CN106311062A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-01-11 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种石墨烯浆料制备系统及其制备方法 |
CN106334478A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-01-18 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种旋转式密齿型石墨烯浆料制备系统及其制备方法 |
CN106345345A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-01-25 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种带角度的石墨烯浆料制备系统及其制备方法 |
CN106345352A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-01-25 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种旋转式石墨烯浆料制备系统及其制备方法 |
CN106345334A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-01-25 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种密齿型石墨烯浆料制备系统及其制备方法 |
CN106362609A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-02-01 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种密齿型石墨烯浆料搅拌装置及其搅拌方法 |
CN106378025A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-02-08 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种石墨烯浆料搅拌装置及其搅拌方法 |
CN106139951B (zh) * | 2016-08-31 | 2019-01-22 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种带角度的石墨烯浆料搅拌装置及其搅拌方法 |
CN106345334B (zh) * | 2016-08-31 | 2019-04-30 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种密齿型石墨烯浆料制备系统及其制备方法 |
CN106345352B (zh) * | 2016-08-31 | 2019-06-07 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种旋转式石墨烯浆料制备系统及其制备方法 |
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CN106311062B (zh) * | 2016-08-31 | 2019-08-27 | 无锡东恒新能源科技有限公司 | 一种石墨烯浆料制备系统及其制备方法 |
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