JP5816781B2 - イメージング方法およびイメージング装置 - Google Patents
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Description
また、SLAMは、基本的には、被検体を伝搬媒質に浸漬して測定することを前提としている。このため、空気中で被検体を検出する場合には、被検体を伝搬媒質に浸漬する場合に比べて精度が極端に低下する。
さらにSLAMでの検出情報は、定常的に干渉縞が現れる超音波干渉像であり、画像処理が複雑となる。
そして、圧電振動子をパルス駆動またはステップ駆動した場合、当該圧電振動子の超音波放射面からは同位相同振幅の平面波(直接波)が発生する。さらに平面波の伝搬上に被検体を配置した場合に、音圧の差によりイメージングが可能であるとの知見を得て本発明をなすに至った。
(1)
上面が被検体載置面である、第1電極と第2電極を有するプレート状またはブロック状の圧電振動子に被検体を載置し、
前記圧電振動子の前記第1電極と前記第2電極との間にパルス電圧またはステップ電圧を加えることで前記圧電振動子から平面波を発生させ、
前記被検体載置面に載置した被検体からの最初の振動速度応答を光学的に検出し、
前記パルス電圧またはステップ電圧に相似する最初の振動速度応答の大きさから前記被検体の表面形状または内部構造にかかる情報を抽出する、
ことを特徴とするイメージング方法。
本発明(方法の発明、および後述する装置の発明)では、典型的には、第1電極と第2電極とは平行であり、第1電極は圧電振動子の上面に形成され、第2電極は圧電振動子の下面に形成される。
プレート状またはブロック状の圧電振動子は、通常は、上面の中央に被検体を載置する。最初に検出される振動速度応答を明瞭にするためには、プレート状またはブロック状の圧電振動子は、円板または円柱であることが好ましい。
本発明において圧電振動子から発生する振動波のうち、最初に検出される振動速度応答が直接波である。本発明では、イメージングにはこの直接波を使用し、その後に現れる振動波(干渉波等)は、イメージングに使用しない。
パルス電圧はインパルス電圧を含む。パルス電圧は、通常は矩形波であるが、最初の振動速度応答として検出できれば、矩形波には限定されない。たとえば、極性が瞬時に変化するパルス(正の矩形波と負の矩形波とが一体となったパルス)も本発明の実施に好適である。また、ステップ電圧も、本発明の実施に好適である。
ただし、本発明でイメージングに使用できる波形は、最初の振動速度応答に対応する部分(干渉等を受けていない波形)である。
なお、本発明では、表面形状のみならず内部構造をイメージングすることもできる。具体的には、被検体が複数材料の積層構造体である場合には、当該積層構造をイメージングすることができる。
前記圧電振動子の前記第1電極と前記第2電極との間に加える前記パルス電圧の時間幅が、圧電振動子の基本共振周期以下であることを特徴とする(1)に記載のイメージング方法。
最初の振動速度応答を、繰り返し検出するためには、パルス電圧の時間幅が、圧電振動子の基本共振周期以下であることが好ましい。
前記最初の振動速度応答の前記光学的な検出を、前記被検体載置面(X−Y平面)上でX−Y走査することにより行うことを特徴とする(1)または(2)に記載のイメージング方法。
本発明では、被検体が載置されたステージをX−Y走査して、最初の振動速度応答の光学的な検出を行ってもよいし、検出用の光ビームを走査して最初の振動速度応答の光学的な検出を行ってもよい。
前記抽出した前記情報から前記被検体の表面または内部のクラックを検出することを特徴とする(1)から(3)の何れかに記載のイメージング方法。
本発明では、被検体の表面形状や内部構造のイメージングができるが、この応用として、被検体の表面または内部のクラックを検出することもできる。
(5)
上面が被検体載置面である、第1電極と第2電極を有するプレート状またはブロック状の圧電振動子と、
前記圧電振動子の前記第1電極と前記第2電極との間にパルス電圧またはステップ電圧を加えることで前記圧電振動子から平面波を発生させる電源装置と、
前記被検体載置面に載置した被検体からの最初の振動速度応答を光学的に検出する振動速度検出装置と、
前記振動速度検出装置により検出される、前記パルス電圧またはステップ電圧に相似する最初の振動速度応答の大きさから前記被検体の表面形状または内部構造にかかる情報を抽出する画像処理装置と、
を備えたイメージング装置。
典型的には、第1電極と第2電極とは平行であり、第1電極は圧電振動子の上面に形成され、第2電極は圧電振動子の下面に形成される。
前記振動速度検出装置がレーザドップラ振動計と波形観測装置とからなり、当該レーザドップラ振動計からのビームを、前記被検体載置面上の前記被検体を含む領域で走査させる走査機構を備えたことを特徴とする(5)に記載のイメージング装置。
前記電源装置が、前記圧電振動子の前記第1電極と前記第2電極との間に加える前記パルス電圧の時間幅が、前記圧電振動子の基本共振周期以下であることを特徴とする(5)または(6)に記載のイメージング装置。
さらに、前記振動速度検出装置が、前記被検体表面の最初の振動速度応答の前記光学的な検出を、前記被検体載置面(X−Y平面)上でX−Y走査しつつ行う走査機構を備えたことを特徴とする(5)から(7)の何れかに記載のイメージング装置。
前記画像処理装置により抽出した前記情報から前記被検体の表面または内部のクラックを検出することを特徴とする(5)から(8)の何れかに記載のイメージング装置。
本実施形態では、圧電振動子111は直径60mm、厚さ40mmの円柱ブロックにより構成されている。
本実施形態では、電源装置112は、ファンクションジェネレータ1121と、増幅器1122とにより構成されている。
電源装置112が、圧電振動子111の第1電極EP1と第2電極EP2との間に加える電圧がパルスである場合、このパルスの時間幅を、圧電振動子111の基本共振周期以下とすることができる。
本実施形態では、振動速度検出装置113がレーザドップラ振動計1131と、オシロスコープ等の波形観測装置1132とからなる。レーザドップラ振動計1131からのレーザはミラーMRRを介して被検体7に照射される。レーザドップラ振動計1131は、被検体7からの反射光を、ミラーMRRを介して入射する。そして、当該反射光から取得した反射光にかかる信号を波形観測装置1132に渡す。波形観測装置1132では、当該反射光にかかる信号に基づき、最初の振動速度応答を電気的に抽出する。
また、表面形状または内部構造にかかる情報Iの解析により、被検体7の表面または内部のクラックを検出することができる。
図2は、被検体載置面(圧電振動子111の上面)に被検体7を載置せずに、イメージング装置11を駆動したときの波形図であり、(A)は電源装置112が生成する駆動波の波形を、(B)は振動速度検出装置113が検出した振動速度応答波形(被検体載置面の中心付近の振動速度応答波形)を、(C)は(B)の波形図における第1波(直接波)部分の拡大波形をそれぞれ示している。
本発明では、駆動波の波形に相似している、初めの波形部分の波形からイメージングを行う。
圧電振動子111の上面のうち、少なくとも被検体7が載置される領域で、振動速度にばらつきがないことが好ましい。
図3からわかるように本実施形態では、振動速度応答は、端に近い領域を除き、ほぼ一定である。
図4に示す被検体7は、アルミニウム板に、文字「U」,「S」とドット「.」とが貫通して形成されている。
文字「U」および「S」の線幅は1mmであり、ドット「.」の直径は0.6mmである。
図6は、測定間隔0.2mmとして、8mm×8mmの正方形の測定範囲を走査して作成した画像を示している。
図7は、ピンホールを中心に20μm間隔で振動速度応答を走査したときの速度分布を示している。図7からわかるように、ピンホールでの厚み変化がイメージングされる。
本発明は、直接波の立ち上がり時刻の差を検出することはせずに、直接波の振動速度応答を検出する。これにより、高精度のイメージングを行うことができるようになった。
11 イメージング装置
54 日本機械学会論文集
110 制御装置
111 圧電振動子
112 電源装置
113 振動速度検出装置
114 走査装置
115 画像処理装置
1121 ファンクションジェネレータ
1122 増幅器
1131 レーザドップラ振動計
1132 波形観測装置
1141 X−Y移動ステージ
1142 X−Y走査機構
EP1 第1電極
EP2 第2電極
I 情報
MRR ミラー
PLS パルス電圧
R 距離
Claims (9)
- 上面が被検体載置面である、第1電極と第2電極を有するプレート状またはブロック状の圧電振動子に被検体を載置し、
前記圧電振動子の前記第1電極と前記第2電極との間にパルス電圧またはステップ電圧を加えることで前記圧電振動子から平面波を発生させ、
前記被検体載置面に載置した被検体からの最初の振動速度応答を光学的に検出し、
前記パルス電圧またはステップ電圧に相似する最初の振動速度応答の大きさから前記被検体の表面形状または内部構造にかかる情報を抽出する、
ことを特徴とするイメージング方法。 - 前記圧電振動子の前記第1電極と前記第2電極との間に加える前記パルス電圧の時間幅が、圧電振動子の基本共振周期以下であることを特徴とする請求項1に記載のイメージング方法。
- 前記最初の振動速度応答の前記光学的な検出を、前記被検体載置面(X−Y平面)上でX−Y走査することにより行うことを特徴とする請求項1または2に記載のイメージング方法。
- 前記抽出した前記情報から前記被検体の表面または内部のクラックを検出することを特徴とする請求項1から3の何れかに記載のイメージング方法。
- 上面が被検体載置面である、第1電極と第2電極を有するプレート状またはブロック状の圧電振動子と、
前記圧電振動子の前記第1電極と前記第2電極との間にパルス電圧またはステップ電圧を加えることで前記圧電振動子から平面波を発生させる電源装置と、
前記被検体載置面に載置した被検体からの最初の振動速度応答を光学的に検出する振動速度検出装置と、
前記振動速度検出装置により検出される、前記パルス電圧またはステップ電圧に相似する最初の振動速度応答の大きさから前記被検体の表面形状または内部構造にかかる情報を抽出する画像処理装置と、
を備えたイメージング装置。 - 前記振動速度検出装置がレーザドップラ振動計と波形観測装置とからなり、当該レーザドップラ振動計からのビームを、前記被検体載置面上の前記被検体を含む領域で走査させる走査機構を備えたことを特徴とする請求項5に記載のイメージング装置。
- 前記電源装置が、前記圧電振動子の前記第1電極と前記第2電極との間に加える前記パルス電圧の時間幅が、前記圧電振動子の基本共振周期以下であることを特徴とする請求項5に記載のイメージング装置。
- さらに、前記振動速度検出装置が、前記被検体表面の最初の振動速度応答の前記光学的な検出を、前記被検体載置面(X−Y平面)上でX−Y走査しつつ行う走査機構を備えたことを特徴とする請求項5から7の何れかに記載のイメージング方法。
- 前記画像処理装置により抽出した前記情報から前記被検体の表面または内部のクラックを検出することを特徴とする請求項5から8の何れかに記載のイメージング装置。
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