JP5768101B2 - セラミックス接合用材料とセラミックス複合部材の製造方法 - Google Patents
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以下のようにして粘性材料1〜6を作製した。まず、室温硬化型樹脂組成物として室温硬化性を有するエポキシ系樹脂組成物とフェノール系樹脂組成物とを用意した。表1に示す室温硬化型樹脂組成物の主剤に、平均粒子径が0.5〜5μmの範囲の炭化ケイ素粉末と平均粒子径が0.3〜3μmの範囲の炭素粉末とを添加して混合した。炭化ケイ素粉末および炭素粉末の平均粒子径、粘性材料における炭化ケイ素粉末の体積比および炭化ケイ素粉末と炭素粉末との合計質量比は表1に示す通りである。
平均粒子径が0.8μmの炭化ケイ素粉末と平均粒子径が0.4μmの炭素粉末(カーボンブラック)とを、質量比で10:3(=SiC:C)となるように混合した。この混合粉末を適当量の有機バインダと共に混合した後、溶媒中に分散させてスラリーを調製した。このスラリーを圧力鋳込み成形機を用いて成形型内に加圧しながら充填した。このようにして、2個のSiC−C複合成形体(圧粉体)を作製した。
実施例1と同様に作製した2個のSiC−C複合成形体を不活性ガス雰囲気中にて600℃の温度で加熱・保持し、有機バインダを除去した。脱脂後の成形体を1×10-1Paの減圧雰囲気中にて1450℃の温度に加熱し、この加熱状態を維持した成形体に溶融シリコンを含浸した。溶融シリコンの含浸工程で成形体を反応焼結(SiCの生成並びにSi相による緻密化)させることによって、2個のSiC−Si複合焼結体を作製した。
被接合部材としてSiC−C複合成形体、SiC−Si複合焼結体、粉末焼結法によるSiC焼結体、Si3N4焼結体を用意した。これらを表2に示す組合せに基づいて接合してセラミックス接合部材を作製した。接合工程は実施例1、2と同様にして実施した。接合に使用した粘性材料は表2に示す通りである。表3に接合部の構成を示す。各セラミックス接合部材の接合部はいずれもSiC粒子の隙間にSi相が網目状に連続して存在する組織を有していた。各セラミックス接合部材を後述する特性評価に供した。
実施例2と同様に作製した2個のSiC−Si複合焼結体の間にシリコン箔を挟み、これらを治具で固定した後に、シリコン箔が溶ける温度まで加熱して接合した。このようにして得たセラミックス接合部材を後述する特性評価に供した。
実施例1と同様に作製した2個のSiC−C複合成形体の接合面に、炭化ケイ素粉末や炭素粉末等を溶媒中に分散させたスラリーを塗布して接着し、これらを治具で固定した後に、実施例1と同様にして溶融シリコンを含浸した。このようにして得たセラミックス接合部材を後述する特性評価に供した。
実施例2と同様にしてSiC−Si複合焼結体を作製し、これに補修部を形成するための切り欠き部を形成した。切り欠き部の大きさは20mmとした。このSiC−Si複合焼結体の切り欠き部に、表1の粘性材料2を塗布して充填した後、室温硬化型樹脂組成物を硬化させた。このSiC−Si複合焼結体を不活性雰囲気中にて1000℃の温度に加熱して、室温硬化型樹脂組成物の硬化物を炭化した。この炭化処理で粘性材料の固化体は多孔質体となる。多孔質体の平均気孔径は0.5〜2.0μmであった。この後、SiC−Si複合焼結体を1Pa以下の減圧雰囲気中にて1450℃の温度に加熱しながら、補修部を構成する多孔質体に溶融シリコンを含浸した。
被補修部材としてSiC−Si複合焼結体、SiC−C複合成形体、および粉末焼結法によるSiC焼結体を用意した。これらを表4に示す組合せに基づいて補修してセラミックス補修部材を作製した。補修工程は実施例11と同様にして実施した。補修に使用した粘性材料は表4に示す通りである。各セラミックス補修部材の強度を測定した結果を表5に示す。表5には補修部の構成を併せて示す。
Claims (12)
- 平均粒子径が0.5〜5μmの範囲の炭化ケイ素粉末と、平均粒子径が0.3〜3μmの範囲の炭素粉末と、粘性および接着性を有する室温硬化型樹脂とを含有する混合物と、
前記混合物を硬化させる前記室温硬化型樹脂の硬化剤とを具備するセラミックス接合用材料であって、
前記炭化ケイ素粉末と前記炭素粉末との合計量に対する前記炭化ケイ素粉末の体積比が18〜60%の範囲であり、かつ前記炭化ケイ素粉末と前記炭素粉末との合計質量比が前記接合用材料全体の29〜55%の範囲であることを特徴とするセラミックス接合用材料。 - 請求項1記載のセラミックス接合用材料において、
前記室温硬化型樹脂は室温硬化性を有するエポキシ樹脂またはフェノール樹脂であることを特徴とするセラミックス接合用材料。 - 請求項1または請求項2記載のセラミックス接合用材料において、
少なくとも2個のセラミックス体の接合に用いられることを特徴とするセラミックス接合用材料。 - 請求項1または請求項2記載のセラミックス接合用材料において、
セラミックス体の補修が必要な箇所に配置される補修材料として用いられることを特徴とするセラミックス接合用材料。 - 請求項3または請求項4記載のセラミックス接合用材料において、
前記セラミックス体は、炭化ケイ素−炭素複合成形体、炭化ケイ素−シリコン複合焼結体、炭化ケイ素焼結体、窒化ケイ素焼結体、および黒鉛から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とするセラミックス接合用材料。 - 平均粒子径が0.5〜5μmの範囲の炭化ケイ素粉末と、平均粒子径が0.3〜3μmの範囲の炭素粉末と、粘性および接着性を有する室温硬化型樹脂とを、前記炭化ケイ素粉末と前記炭素粉末との合計量に対する前記炭化ケイ素粉末の体積比が18〜60%の範囲であるように含有する混合物と、前記混合物を硬化させる前記室温硬化型樹脂の硬化剤とを混合して粘性材料を調製する工程であって、前記粘性材料全体に対する前記炭化ケイ素粉末と前記炭素粉末との合計質量比が29〜55%の範囲となるように、前記混合物と前記硬化剤とを混合する工程と、
前記粘性材料を、複数のセラミックス体の間に、もしくはセラミックス体の一部に配置する工程と、
前記室温硬化型樹脂を室温下で硬化させ、前記セラミックス体に接着された前記粘性材料の固化体を有する形状物を成形する工程と、
前記形状物に800℃以上1000℃以下の温度で熱処理を施して前記室温硬化型樹脂の硬化物を炭化し、前記粘性材料の固化体を多孔質化する工程と、
少なくとも多孔質化された前記粘性材料の固化体に溶融シリコンを含浸し、前記固化体中の炭素成分を前記溶融シリコンと反応させると共に、前記溶融シリコンの一部をシリコン相として残存させて形成した炭化ケイ素−シリコン複合体部を有するセラミックス複合部材を作製する工程とを具備し、
前記炭化ケイ素−シリコン複合体部は、前記炭化ケイ素粉末および前記炭素成分と前記溶融シリコンと反応物による炭化ケイ素粒子と、前記炭化ケイ素粒子の隙間に連続して存在するシリコン相とを有することを特徴とするセラミックス複合部材の製造方法。 - 請求項6記載のセラミックス複合部材の製造方法において、
前記炭化ケイ素−シリコン複合体部は、前記炭化ケイ素粉末に基づく第1の炭化ケイ素粒子と、前記炭素成分と前記溶融シリコンとの反応により生成された第2の炭化ケイ素粒子と、前記第1および第2の炭化ケイ素粒子の隙間に連続して存在する前記シリコン相とを備えることを特徴とするセラミックス複合部材の製造方法。 - 請求項6または請求項7記載のセラミックス複合部材の製造方法において、
前記セラミックス体は、炭化ケイ素−炭素複合成形体、炭化ケイ素−シリコン複合焼結体、炭化ケイ素焼結体、窒化ケイ素焼結体、および黒鉛から選ばれる少なくとも1種からなることを特徴とするセラミックス複合部材の製造方法。 - 請求項6ないし請求項8のいずれか1項記載のセラミックス複合部材の製造方法において、
前記複数のセラミックス体を前記炭化ケイ素−シリコン複合体部を介して接合することを特徴とするセラミックス複合部材の製造方法。 - 請求項6ないし請求項8のいずれか1項記載のセラミックス複合部材の製造方法において、
前記セラミックス体の補修が必要な箇所に前記粘性材料を配置し、前記補修が必要な箇所を前記炭化ケイ素−シリコン複合体部で補修することを特徴とするセラミックス複合部材の製造方法。 - 請求項6ないし請求項10のいずれか1項記載のセラミックス複合部材の製造方法において、
前記多孔質化された固化体の平均気孔径が0.5〜5μmの範囲であることを特徴とするセラミックス複合部材の製造方法。 - 請求項6ないし請求項11のいずれか1項記載のセラミックス複合部材の製造方法において、
前記炭化ケイ素−シリコン複合体部を有するセラミックス複合部材を減圧下で1600℃に加熱して前記炭化ケイ素−シリコン複合体部中の前記シリコン相を除去し、前記シリコン相を除去して形成された細孔の径を水銀圧入法を用いて円柱と仮定して求めた径の平均値を、前記炭化ケイ素−シリコン複合体部中の前記シリコン相の平均径としたとき、前記シリコン相の平均径は0.2〜2μmの範囲であることを特徴とするセラミックス複合部材の製造方法。
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