JP5767478B2 - Manufacturing method of semiconductor wafer processing tape and semiconductor wafer processing tape - Google Patents
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Description
本発明は半導体ウエハ加工用テープの製造方法及び当該製造方法により製造される半導体ウエハ加工用テープに関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a semiconductor wafer processing tape and a semiconductor wafer processing tape manufactured by the manufacturing method.
半導体ウエハの加工用テープとして、支持用の樹脂フィルム上に半導体ウエハのサイズとほぼ同じかそれよりも大きく、円形に形成された接着層を有するダイボンディングテープに、同じく円形に形成された粘着テープ(ダイシングテープ)が積層されたダイシング・ダイボンディングフィルムがある。 As a tape for processing semiconductor wafers, a pressure-sensitive adhesive tape that is also circularly formed on a die-bonding tape that has an adhesive layer that is approximately the same as or larger than the size of the semiconductor wafer on a supporting resin film and that is circularly formed. There is a dicing die bonding film in which (dicing tape) is laminated.
このような多層テープの一般的な製造方法として、樹脂フィルムの片面全面を覆うように接着剤をコーターにて塗布し、その後半導体ウエハのサイズに見合うように一部を残して、不要部分を除去する方法により形成し、粘着テープを積層化させ、粘着テープをリングフレームに見合う形状にカットする製造方法が知られている(例えば、特許文献1)。 As a general method of manufacturing such a multilayer tape, an adhesive is applied with a coater so as to cover the entire surface of one side of the resin film, and then a part is left to match the size of the semiconductor wafer, and unnecessary portions are removed. There is known a manufacturing method in which an adhesive tape is laminated, and the adhesive tape is cut into a shape suitable for a ring frame (for example, Patent Document 1).
従来方法の場合、樹脂フィルムの片面全面に接着剤を塗布して接着剤層を一旦形成し、その後ウエハサイズ相当にその部分をプリカット後、不要部分を除去するため、接着剤層のうち不要部分として廃却される部分の量が多くなるという問題があった。特にダイボンディング用の接着テープのように高価な材料を用いる場合、不要部分として廃棄される部分の量を低減させることが、製品歩留まりを上げる上で強く求められる。
また、ダイシング・ダイボンディングフィルムを製造する場合、従来の製法では、接着剤層形成、接着剤層のプリカット、不要部分の除去、粘着テープの貼り合わせ、粘着テープのプリカットと、工数が多く、ラインが長くなるという問題があった。ライン長の制限等から、場合によっては、接着剤層をプリカットした後、接着剤層の上から一旦セパレーターを貼り合わせてロール状に巻き取った後、ラインを換えて、セパレーターを剥離し接着剤層に粘着テープを貼り合わせ、粘着テープのプリカットを行う必要があり、この場合、さらに工数が増えてしまう。
In the case of the conventional method, an adhesive is applied to the entire surface of one side of the resin film to once form an adhesive layer, and then the portion corresponding to the wafer size is pre-cut to remove unnecessary portions. As a result, there was a problem that the amount of parts to be discarded increased. In particular, when an expensive material such as an adhesive tape for die bonding is used, it is strongly required to reduce the amount of the portion discarded as an unnecessary portion in order to increase the product yield.
Also, when manufacturing dicing and die bonding films, the conventional manufacturing method requires many man-hours such as adhesive layer formation, adhesive layer pre-cut, removal of unnecessary parts, adhesive tape bonding, and adhesive tape pre-cut. There was a problem of becoming longer. In some cases due to restrictions on line length, etc., after pre-cutting the adhesive layer, the separator is once pasted onto the adhesive layer and wound into a roll, then the line is changed, the separator is peeled off, and the adhesive It is necessary to attach an adhesive tape to the layer and pre-cut the adhesive tape, which further increases the number of steps.
さらに、従来の方法で接着テープを製造する場合、支持側の樹脂フィルム上で接着剤層を半導体ウエハ状にカットする必要があるため、接着剤層をカットする際に支持フィルムの表面に接着剤層のカット部分に沿う切込みが発生する問題があった。切込みがあるとその部分にフィルム塵等の異物が付着しやすくなることから、カット傷の発生をできるだけ抑制することが望まれる。 Furthermore, when manufacturing an adhesive tape by a conventional method, it is necessary to cut the adhesive layer into a semiconductor wafer shape on the resin film on the support side. Therefore, when cutting the adhesive layer, the adhesive is applied to the surface of the support film. There was a problem that a cut occurred along the cut portion of the layer. If there is a cut, foreign matter such as film dust is likely to adhere to the portion, so it is desired to suppress the occurrence of cut scratches as much as possible.
本発明の目的は、半導体ウエハ加工用テープの製造方法及び当該製造方法により製造される半導体ウエハ加工用テープにおいて、必要な部分にのみ接着剤を塗布し、接着剤層のカット工程を削減することで、該半導体ウエハ加工用テープを効率良く製造することである。 An object of the present invention is to apply an adhesive only to a necessary portion in a manufacturing method of a semiconductor wafer processing tape and a semiconductor wafer processing tape manufactured by the manufacturing method, and reduce the cutting process of the adhesive layer. Thus, the semiconductor wafer processing tape is efficiently manufactured.
以上の課題を解決するため、本発明は、樹脂フィルム上に形成される接着剤層の形状を効率良く形成し、粘着剤層を有する他のフィルムと積層させることで半導体ウエハ加工用テープを製造する。効率良く接着剤を塗布する方法として印刷方式を用い、特にスクリーン印刷とすることや粘度調整を施した接着剤を用いることで、接着剤層の厚みを所定範囲内に収める。また、接着剤層を円形印刷することで従来必要であった接着剤層毎のカット工程を省き、カット傷の発生を防止するとともに工程を簡略化させた。すなわち、本発明は、下記(1)から(6)に関する発明(以下、併せて本発明ということがある。)である。 In order to solve the above problems, the present invention efficiently forms the shape of an adhesive layer formed on a resin film, and manufactures a semiconductor wafer processing tape by laminating it with another film having an adhesive layer. To do. The printing method is used as a method for efficiently applying the adhesive, and particularly the screen printing or the adhesive subjected to viscosity adjustment is used to keep the thickness of the adhesive layer within a predetermined range. Moreover, the cutting process for each adhesive layer, which was conventionally necessary, was omitted by circular printing of the adhesive layer, thereby preventing the generation of cut scratches and simplifying the process. That is, the present invention relates to the following (1) to (6) (hereinafter sometimes referred to as the present invention).
(1)半導体ウエハ加工用テープの製造方法であって、第1の樹脂フィルム上に、ダイボンディング用接着剤を半導体ウエハのサイズとほぼ同じかそれよりも大きく印刷することにより接着剤層を形成する印刷工程と、接着剤層を乾燥する乾燥工程と、第1の樹脂フィルム上に形成された接着剤層における第1の樹脂フィルムと対向する面に対して、第2の樹脂フィルム上にダイシング用粘着剤からなる粘着剤層が形成されたダイシングテープを、接着剤層と粘着剤層とが接するように貼合する貼合工程と、を含み、前記印刷工程では、少なくともダイボンディング用接着剤を印刷する部分の雰囲気温度を10℃以下とすることを特徴とする半導体ウエハ加工用テープの製造方法。 (1) A method for manufacturing a semiconductor wafer processing tape, wherein an adhesive layer is formed on a first resin film by printing a die bonding adhesive substantially equal to or larger than the size of the semiconductor wafer. Dicing on the second resin film with respect to the surface facing the first resin film in the adhesive layer formed on the first resin film, the printing step of drying, the drying step of drying the adhesive layer the dicing tape which an adhesive layer is formed consisting use an adhesive, seen including and a bonding step of bonding to the adhesive layer and the adhesive layer is in contact, wherein the printing step, at least die-bonding adhesive The manufacturing method of the tape for semiconductor wafer processing characterized by making the atmospheric temperature of the part which prints an agent into 10 degrees C or less .
(2)(1)に記載の半導体ウエハ加工用テープの製造方法において、ダイシングテープは、第2の樹脂フィルム上に、ダイシング用接着剤をリングフレームのサイズとほぼ同じかそれよりも大きく印刷することにより粘着剤層を形成したものであることを特徴とする半導体ウエハ加工用テープの製造方法。 (2) In the method for manufacturing a semiconductor wafer processing tape according to (1), the dicing tape prints the dicing adhesive on the second resin film substantially equal to or larger than the size of the ring frame. A method for producing a semiconductor wafer processing tape, characterized in that an adhesive layer is formed.
(3)(1)又は(2)に記載の半導体ウエハ加工用テープの製造方法において、印刷はスクリーン印刷法により行うことを特徴とする半導体ウエハ加工用テープの製造方法。 (3) The method for manufacturing a semiconductor wafer processing tape according to (1) or (2), wherein the printing is performed by a screen printing method.
(4)(1)から(3)の何れか一つに記載の半導体ウエハ加工用テープ製造方法において、ダイボンディング用接着剤の印刷時の雰囲気温度における粘度が0.05〜5Pasであることを特徴する半導体ウエハ加工用テープの製造方法。 (4) In the semiconductor wafer processing tape manufacturing method according to any one of (1) to (3), the viscosity at the atmospheric temperature during printing of the die bonding adhesive is 0.05 to 5 Pas. A method for producing a semiconductor wafer processing tape.
(5)(1)から(4)の何れか一項に記載の半導体ウエハ加工用テープ製造方法において、接着剤層を円形に切断する切断工程を行わないことを特徴とする半導体ウエハ加工用テープの製造方法。 (5) In the semiconductor wafer processing tape manufacturing method according to any one of (1) to (4), a cutting process for cutting the adhesive layer into a circle is not performed. Manufacturing method.
(6)(1)から(5)の何れか一つに記載の半導体ウエハ加工用テープの製造方法により製造される半導体ウエハ加工用テープであって、粘着剤層は、分子中にヨウ素価0.5〜20の放射線硬化性炭素−炭素二重結合を有する化合物と、ポリイソシアネート類、メラミン・ホルムアルデヒド樹脂及びエポキシ樹脂から少なくとも1種類選ばれる化合物とを含有し、接着剤層は、エポキシ樹脂、水酸基当量150g/eq以上のフェノール樹脂、重量平均分子量が10万以上のエポキシ基含有アクリル共重合体、フィラー及び硬化促進剤を含有することを特徴とする半導体ウエハ加工用テープ。 (6) A semiconductor wafer processing tape manufactured by the method for manufacturing a semiconductor wafer processing tape according to any one of (1) to (5) , wherein the adhesive layer has an iodine value of 0 in the molecule. Containing a compound having a radiation curable carbon-carbon double bond of 5 to 20 and at least one compound selected from polyisocyanates, melamine / formaldehyde resins and epoxy resins, the adhesive layer comprising an epoxy resin, A tape for processing a semiconductor wafer, comprising a phenol resin having a hydroxyl group equivalent of 150 g / eq or more, an epoxy group-containing acrylic copolymer having a weight average molecular weight of 100,000 or more, a filler, and a curing accelerator.
本発明によれば、必要な部分にのみ接着剤を塗布できるとともに接着剤層のカット工程を削減でき、接着剤層の材料ロスを大幅に削減できて、該半導体ウエハ加工用テープを効率良く製造することができる。 According to the present invention, the adhesive can be applied only to a necessary portion, the cutting process of the adhesive layer can be reduced, the material loss of the adhesive layer can be greatly reduced, and the semiconductor wafer processing tape can be efficiently manufactured. can do.
<第1実施形態>
以下、この発明の第1実施形態について図面を参照して説明する。図1には、本実施形態における半導体ウエハ加工用テープ10の側面図を示した。この半導体ウエハ加工用テープ10は、第1の樹脂フィルムをなす支持用フィルム11、ダイボンディング用接着剤からなる接着剤層12、ダイシング用粘着剤からなる粘着剤層13及び第2の樹脂フィルムをなす基材フィルム14がこの順に積層されたものである。
<First Embodiment>
A first embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a side view of a semiconductor
支持用フィルム11は、半導体ウエハ加工用テープ10の製造時に接着剤層12を支持するものであり、接着剤層12の保護フィルムとしても機能するものである。接着剤層12は、半導体ウエハに貼合され、ダイシングされた後にチップをピックアップする際、粘着剤層13と剥離してチップに付着し、チップを基板やリードフレームに固定する際の接着剤として使用されるものである。粘着剤層13は、ダイシング時において半導体ウエハ及び個片化されたチップを保持する際の粘着剤として使用されるものである。基材フィルム14は、ダイシング後のエキスパンドによりチップ及び接着剤層12を分断するためのエキスパンド可能なテープである。まず、各層の成分について説明する。
The
<支持用フィルム>
支持用フィルム11としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムが好適に用いられる。なお、ポリエチレンテレフタレートフィルム以外に、ポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリイミドフィルムなどのプラスチックフィルムを使用することができ、これらプラスチックフィルムは表面を離型処理して使用することもできる。
<Supporting film>
As the
<接着剤層>
接着剤層12は、エポキシ樹脂(a)、水酸基当量150g/eq以上のフェノール樹脂(b)、グリシジルアクリレート又はグリシジルメタクリレートを0.5〜6重量%を含む重量平均分子量が10万以上のエポキシ基含有アクリル共重合体(c)、フィラー(d)及び硬化促進剤(e)を含有する組成物により形成されてなるものである。
<Adhesive layer>
The
エポキシ樹脂(a)は、硬化して接着作用を呈するものであれば特に制限はないが、二官能基以上で、好ましくは分子量が5000未満、より好ましくは3000未満のエポキシ樹脂が使用できる。また、好ましくは分子量が500以上、より好ましくは800以上のエポキシ樹脂が使用できる。なお、特性を損なわない範囲でエポキシ樹脂以外の成分が不純物として含まれていてもよい。 The epoxy resin (a) is not particularly limited as long as it cures and exhibits an adhesive action, but an epoxy resin having two or more functional groups, preferably having a molecular weight of less than 5000, more preferably less than 3000 can be used. Further, an epoxy resin having a molecular weight of preferably 500 or more, more preferably 800 or more can be used. In addition, components other than the epoxy resin may be included as impurities within a range that does not impair the characteristics.
また、耐熱性の観点から、室温で固体であり、環球式で測定した軟化点が50℃以上のエポキシ樹脂を使用することが好ましく、その使用量としては、エポキシ樹脂(a)全体の20重量%以上であることが好ましく、40重量%以上がより好ましく、60重量%以上が更に好ましい。例えば、市販品のものでは、YDCN−703,YDCN−704(以上、東都化成株式会社製、商品名)、エピコート1004,エピコート1007(以上、ジャパンエポキシレジン株式会社製、商品名)等を挙げることができる。 Further, from the viewpoint of heat resistance, it is preferable to use an epoxy resin that is solid at room temperature and has a softening point of 50 ° C. or higher measured by a ring and ball method. The amount used is 20 weight of the entire epoxy resin (a). % Or more, preferably 40% by weight or more, more preferably 60% by weight or more. For example, in a commercial item, YDCN-703, YDCN-704 (above, Toto Kasei Co., Ltd., trade name), Epicoat 1004, Epicoat 1007 (above, Japan Epoxy Resin Co., Ltd., trade name), etc. Can do.
分子量が600以上であり、軟化点が50℃以上であるエポキシ樹脂は、後述するエポキシ基含有アクリル共重合体(c)との極性の差が大きく相溶しにくいことから、このようなエポキシ樹脂を使用することが好ましい。 An epoxy resin having a molecular weight of 600 or more and a softening point of 50 ° C. or more has a large difference in polarity from the epoxy group-containing acrylic copolymer (c) described later, and is not compatible with such an epoxy resin. Is preferably used.
また、エポキシ樹脂(a)のエポキシ当量は、100〜2000g/eqであることが好ましく、150〜1000g/eqであることがより好ましく、150〜300g/eqであることがさらに好ましい。エポキシ当量が100g/eq未満であると、硬化物が脆く、接着性が低下する傾向があり、2000g/eqを超えると、ガラス転移点Tgが低下し、耐熱性が悪化する傾向がある。 Moreover, it is preferable that the epoxy equivalent of an epoxy resin (a) is 100-2000 g / eq, It is more preferable that it is 150-1000 g / eq, It is further more preferable that it is 150-300 g / eq. When the epoxy equivalent is less than 100 g / eq, the cured product tends to be brittle and the adhesiveness tends to decrease, and when it exceeds 2000 g / eq, the glass transition point Tg tends to decrease and the heat resistance tends to deteriorate.
フェノール樹脂(b)としては、水酸基当量150g/eq以上を有する限り特に制限は無いが、吸湿時の耐電食性に優れることから、ノボラック型あるいはレゾール型の樹脂を用いることが好ましい。水酸基当量は、好ましくは150〜400g/eq、より好ましくは180〜300g/eq、さらに好ましくは180〜250g/eqである。水酸基当量が150g/eq未満であると、吸水率が増大し、耐リフロー性が悪化する傾向があり、400g/eqを超えると、Tgが低下し、耐熱性が悪化する傾向がある。 The phenol resin (b) is not particularly limited as long as it has a hydroxyl group equivalent of 150 g / eq or more. However, it is preferable to use a novolak type or resol type resin because of its excellent resistance to electric corrosion during moisture absorption. The hydroxyl equivalent is preferably 150 to 400 g / eq, more preferably 180 to 300 g / eq, and still more preferably 180 to 250 g / eq. When the hydroxyl group equivalent is less than 150 g / eq, the water absorption increases and the reflow resistance tends to deteriorate, and when it exceeds 400 g / eq, the Tg tends to decrease and the heat resistance tends to deteriorate.
フェノール樹脂(b)は、耐湿性の観点から、85℃、85%RHの恒温恒湿槽に48時間投入後の吸水率が2重量%以下であることが好ましい。また、熱重量分析計(TGA)で測定した350℃での加熱重量減少率(昇温速度:5℃/min,雰囲気:窒素)が5重量%未満のものを使用することは、加熱加工時などにおいて揮発分が抑制されることで、耐熱性、耐湿性などの諸特性の信頼性が高くなり、また、加熱加工などの作業時の揮発分による機器の汚染を低減することができるために、好ましい。市販品としては、例えば、ミレックスXLC−シリーズ,同XLシリーズ(以上、三井化学株式会社製、商品名)などを挙げることができる。 From the viewpoint of moisture resistance, the phenol resin (b) preferably has a water absorption rate of 2% by weight or less after being placed in a constant temperature and humidity chamber at 85 ° C. and 85% RH for 48 hours. In addition, the heating weight reduction rate at 350 ° C. (temperature increase rate: 5 ° C./min, atmosphere: nitrogen) measured with a thermogravimetric analyzer (TGA) is less than 5% by weight. Suppressing volatile matter, etc., increase the reliability of various properties such as heat resistance and moisture resistance, and reduce contamination of equipment due to volatile matter during work such as heat processing ,preferable. Examples of commercially available products include the Millex XLC-series and the XL series (above, Mitsui Chemicals, trade name).
フェノール樹脂(b)とエポキシ樹脂(a)との配合量は、それぞれ水酸基当量とエポキシ当量の当量比で0.70/0.30〜0.30/0.70となるのが好ましく、0.65/0.35〜0.35/0.65となるのがより好ましく、0.60/0.40〜0.40/0.60となるのがさらに好ましく、0.55/0.45〜0.45/0.55となるのが特に好ましい。配合比が上記範囲を超えると、接着剤にした際、硬化性に劣る可能性がある。 The blending amount of the phenol resin (b) and the epoxy resin (a) is preferably 0.70 / 0.30 to 0.30 / 0.70 in terms of an equivalent ratio of a hydroxyl group equivalent and an epoxy equivalent. 65 / 0.35 to 0.35 / 0.65 is more preferable, 0.60 / 0.40 to 0.40 / 0.60 is further preferable, and 0.55 / 0.45 to 0.55 / 0.45. A ratio of 0.45 / 0.55 is particularly preferable. When the blending ratio exceeds the above range, the curability may be inferior when an adhesive is used.
エポキシ基含有アクリル共重合体(c)は、エポキシ基を有するグリシジルアクリレート又はグリシジルメタクリレートを0.5〜6重量%含む。高い接着力を得るためには、0.5重量%以上が好ましく、6重量%以下であればゲル化を抑制できる。上記エポキシ基含有アクリル共重合体(c)のガラス転移点(Tg)としては、−50℃以上30℃以下、更には−10℃以上30℃以下であることが好ましい。 The epoxy group-containing acrylic copolymer (c) contains 0.5 to 6% by weight of glycidyl acrylate or glycidyl methacrylate having an epoxy group. In order to obtain a high adhesive strength, 0.5% by weight or more is preferable, and gelation can be suppressed if it is 6% by weight or less. The glass transition point (Tg) of the epoxy group-containing acrylic copolymer (c) is preferably −50 ° C. or higher and 30 ° C. or lower, more preferably −10 ° C. or higher and 30 ° C. or lower.
官能基モノマーとして用いるグリシジルアクリレート又はグリシジルメタクリレートの量は0.5〜6重量%の共重合体比である。つまり、本発明においてエポキシ基含有アクリル共重合体(c)は、原料としてグリシジルアクリレート又はグリシジルメタクリレートを、得られる共重合体(c)に対し0.5〜6重量%となる量用いて得られた共重合体をいう。その残部はメチルアクリレート、メチルメタクリレートなどの炭素数1〜8のアルキル基を有するアルキルアクリレート、アルキルメタクリレート、およびスチレンやアクリロニトリルなどの混合物を用いることができる。これらの中でもエチル(メタ)アクリレート及び/又はブチル(メタ)アクリレートが特に好ましい。混合比率は、共重合体のTgを考慮して調整することが好ましい。Tgが−10℃未満であるとBステージ状態での接着剤層又はダイシングダイボンドシートのタック性が大きくなる傾向があり、取り扱い性が悪化することがある。重合方法は特に制限が無く、例えば、パール重合、溶液重合等が挙げられ、これらの方法により共重合体が得られる。このようなエポキシ基含有アクリル共重合体としては、例えば、HTR−860P−3(ナガセケムテックス株式会社製、商品名)が挙げられる。 The amount of glycidyl acrylate or glycidyl methacrylate used as the functional group monomer is a copolymer ratio of 0.5 to 6% by weight. That is, in the present invention, the epoxy group-containing acrylic copolymer (c) is obtained by using glycidyl acrylate or glycidyl methacrylate as a raw material in an amount of 0.5 to 6% by weight based on the resulting copolymer (c). Refers to a copolymer. The remainder can be a mixture of alkyl acrylate having 1 to 8 carbon atoms such as methyl acrylate or methyl methacrylate, alkyl methacrylate, and styrene or acrylonitrile. Among these, ethyl (meth) acrylate and / or butyl (meth) acrylate are particularly preferable. The mixing ratio is preferably adjusted in consideration of the Tg of the copolymer. When Tg is less than −10 ° C., the tackiness of the adhesive layer or the dicing die bond sheet in the B-stage state tends to increase, and the handleability may deteriorate. There is no restriction | limiting in particular in a polymerization method, For example, pearl polymerization, solution polymerization, etc. are mentioned, A copolymer is obtained by these methods. Examples of such an epoxy group-containing acrylic copolymer include HTR-860P-3 (trade name, manufactured by Nagase ChemteX Corporation).
エポキシ基含有アクリル共重合体の重量平均分子量は10万以上であり、この範囲であると接着性及び耐熱性が高く、30万〜300万であることが好ましく、50万〜200万であることがより好ましい。300万以下であると、フロー性が低下することにより、半導体素子を貼付ける支持部材に必要に応じて形成された配線回路への充填性が低下する可能性を減らすことができる。なお、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法(GPC)で標準ポリスチレンによる検量線を用いたポリスチレン換算値である。 The weight average molecular weight of the epoxy group-containing acrylic copolymer is 100,000 or more, and adhesiveness and heat resistance are high in this range, preferably 300,000 to 3,000,000, and 500,000 to 2,000,000. Is more preferable. If it is 3 million or less, the flowability is lowered, and thus the possibility that the filling property to the wiring circuit formed on the support member to which the semiconductor element is attached is lowered as required can be reduced. In addition, a weight average molecular weight is a polystyrene conversion value using the calibration curve by a standard polystyrene by the gel permeation chromatography method (GPC).
エポキシ基含有アクリル共重合体(c)の添加量は、弾性率低減や成型時のフロー性抑制が可能なため、エポキシ樹脂(a)とフェノール樹脂(b)との合計重量をXとし、エポキシ基含有アクリル共重合体(c)の重量をYとしたとき、その比率X/Yが0.24〜1であることが好ましい。配合比率が0.24以上であると、高温での弾性率を0.5MPa以上にすることができ耐熱性が向上する、成形時のフロー性抑制効果が得られる等の傾向があり、一方、1以下であれば、高温での取り扱い性に優れる傾向がある。 Since the addition amount of the epoxy group-containing acrylic copolymer (c) can reduce the elastic modulus and suppress the flow property during molding, the total weight of the epoxy resin (a) and the phenol resin (b) is X, and the epoxy When the weight of the group-containing acrylic copolymer (c) is Y, the ratio X / Y is preferably 0.24 to 1. When the blending ratio is 0.24 or more, there is a tendency that the elastic modulus at high temperature can be 0.5 MPa or more and the heat resistance is improved, and the flowability suppressing effect at the time of molding is obtained. If it is 1 or less, the handleability at high temperatures tends to be excellent.
フィラー(d)としては、具体的には無機フィラー及び有機フィラーが挙げられるが、その取り扱い性向上、熱伝導性向上、溶融粘度の調整及びチキソトロピック性付与などのために、無機フィラーを添加することが好ましい。 Specific examples of the filler (d) include inorganic fillers and organic fillers, and inorganic fillers are added to improve handling properties, improve thermal conductivity, adjust melt viscosity and impart thixotropic properties. It is preferable.
無機フィラーとしては特に制限が無く、例えば、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、ほう酸アルミウイスカ、窒化ほう素、結晶質シリカ、非晶質シリカなどが挙げられる。これらは、1種又は2種以上を併用することもできる。熱伝導性向上のためには、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化ほう素、結晶性シリカ、非晶性シリカ等が好ましい。特性のバランスの観点ではシリカが好ましい。 There are no particular restrictions on the inorganic filler. For example, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, calcium silicate, magnesium silicate, calcium oxide, magnesium oxide, aluminum oxide, aluminum nitride, aluminum borate whisker, nitriding Examples thereof include boron, crystalline silica, and amorphous silica. These may be used alone or in combination of two or more. In order to improve thermal conductivity, aluminum oxide, aluminum nitride, boron nitride, crystalline silica, amorphous silica and the like are preferable. Silica is preferable from the viewpoint of balance of properties.
フィラー(d)の平均粒径は、0.005〜0.1μmであることが好ましく、0.008〜0.05μmであることがより好ましく、0.01〜0.03μmであることがさらに好ましい。フィラーの平均粒径が0.005μm未満であると被着体へのぬれ性が低下し、接着性が低下する傾向があり、0.1μmを超えるとフィラー添加による補強効果が小さくなり、耐熱性が低下する傾向がある。なお、本発明において、平均粒径とは、TEM、SEM等により測定したフィラー100個の粒径から求められる平均値をいう。 The average particle size of the filler (d) is preferably 0.005 to 0.1 μm, more preferably 0.008 to 0.05 μm, and still more preferably 0.01 to 0.03 μm. . When the average particle size of the filler is less than 0.005 μm, the wettability to the adherend tends to decrease and the adhesion tends to decrease. When the average particle size exceeds 0.1 μm, the reinforcing effect due to the addition of the filler decreases, and the heat resistance Tends to decrease. In addition, in this invention, an average particle diameter means the average value calculated | required from the particle size of 100 fillers measured by TEM, SEM, etc.
フィラー(d)の配合量は、エポキシ樹脂(a)及びフェノール樹脂(b)との総量に対して3〜50重量%とすることが好ましく、10〜40重量%とすることがより好ましく、15〜30重量%とすることがさらに好ましい。フィラーの配合量が3重量%未満であるとフィラー添加による補強効果が小さくなり、耐熱性が低下する傾向があり、50重量%を超えると被着体へのぬれ性が低下し、接着性が低下する傾向がある。 The blending amount of the filler (d) is preferably 3 to 50% by weight, more preferably 10 to 40% by weight based on the total amount of the epoxy resin (a) and the phenol resin (b). More preferably, it is made into 30 weight%. If the blending amount of the filler is less than 3% by weight, the reinforcing effect due to the addition of the filler tends to be small, and the heat resistance tends to decrease. If the blending amount exceeds 50% by weight, the wettability to the adherend is decreased and the adhesiveness is reduced. There is a tendency to decrease.
硬化促進剤(e)としては、特に制限が無く、例えば、第三級アミン、イミダゾール類、第四級アンモニウム塩などを用いることができる。本発明において好ましく使用されるイミダゾール類としては、例えば、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテート等が挙げられ、これらは1種又は2種以上を併用することもできる。イミダゾール類は、例えば、四国化成工業(株)から、2E4MZ、2PZ−CN、2PZ−CNSという商品名で市販されている。 There is no restriction | limiting in particular as a hardening accelerator (e), For example, a tertiary amine, imidazoles, a quaternary ammonium salt etc. can be used. Examples of imidazoles preferably used in the present invention include 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, and the like. These may be used alone or in combination of two or more. Imidazoles are commercially available, for example, from Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd. under the trade names 2E4MZ, 2PZ-CN, and 2PZ-CNS.
硬化促進剤(e)の配合量は、エポキシ樹脂(a)及びフェノール樹脂(b)との総量に対して0.01〜5重量%とすることが好ましく、0.05〜3重量%とすることがより好ましく、更には0.2〜3重量%とすることがより好ましい。硬化促進剤の配合量が0.01重量%未満であると、エポキシ樹脂の架橋が不充分であり、耐熱性が低下する傾向があり、5重量%を超えると、保存安定性が低下し、ポットライフが不充分となる傾向がある。 The blending amount of the curing accelerator (e) is preferably 0.01 to 5% by weight, and 0.05 to 3% by weight with respect to the total amount of the epoxy resin (a) and the phenol resin (b). More preferably, it is more preferable to set it as 0.2 to 3 weight%. When the blending amount of the curing accelerator is less than 0.01% by weight, the epoxy resin is insufficiently cross-linked, and the heat resistance tends to decrease. When the amount exceeds 5% by weight, the storage stability decreases. There is a tendency for pot life to be insufficient.
<粘着剤層>
粘着剤層13の成分に特に制限はなく、ダイシング時において接着剤層12との剥離を生じずチップ飛びなどの不良を発生しない程度の保持性や、ピックアップ時において接着剤層12との剥離が容易となる特性を有するものであればよい。ダイシング後のピックアップ性を向上させるために、粘着剤層13は放射線硬化性のものが好ましく、硬化後に接着剤層12との剥離が容易な材料であることが好ましい。
<Adhesive layer>
There are no particular restrictions on the components of the pressure-
例えば、分子中にヨウ素価0.5〜20の放射線硬化性炭素−炭素二重結合を有する化合物(A)に、ポリイソシアネート類、メラミン・ホルムアルデヒド樹脂、及びエポキシ樹脂から選択される少なくとも1種の化合物(B)を付加反応させてなるポリマーを含有することが好ましい。ここで、放射線とは、紫外線のような光線、又は電子線などの電離性放射線である。 For example, the compound (A) having a radiation curable carbon-carbon double bond having an iodine value of 0.5 to 20 in the molecule may be at least one selected from polyisocyanates, melamine / formaldehyde resins, and epoxy resins. It is preferable to contain a polymer obtained by subjecting compound (B) to an addition reaction. Here, the radiation is a light beam such as ultraviolet rays or ionizing radiation such as an electron beam.
粘着剤層13の主成分の1つである化合物(A)について説明する。化合物(A)の放射線硬化性炭素−炭素二重結合の導入量はヨウ素価で0.5〜20、好ましくは0.8〜10とする。ヨウ素価が0.5以上であると、放射線照射後の粘着力の低減効果を得ることができ、ヨウ素価が20以下であれば、放射線照射後の粘着剤の流動性が十分で、延伸後の素子間隙を十分得ることができるため、ピックアップ時に各素子の画像認識が困難になるという問題が抑制できる。さらに、化合物(A)そのものに安定性があり、製造が容易となる。
The compound (A) that is one of the main components of the pressure-
化合物(A)は、ガラス転移点が−70℃〜0℃であることが好ましく、−66℃〜−28℃であることがより好ましい。ガラス転移点Tgが−70℃以上であれば、放射線照射に伴う熱に対する耐熱性が十分であり、0℃以下であれば、表面状態が粗いウエハにおけるダイシング後の半導体チップの飛散防止効果が十分得られる。上記化合物(A)はどのようにして製造されたものでもよいが、例えば、アクリル系共重合体と放射線硬化性炭素−炭素二重結合をもつ化合物とを混合したものや、官能基をもつアクリル系共重合体または官能基をもつメタクリル系共重合体(A1)と、その官能基と反応し得る官能基を有し、かつ、放射線硬化性炭素−炭素二重結合をもつ化合物(A2)とを反応させて得たものが用いられる。 The compound (A) preferably has a glass transition point of -70 ° C to 0 ° C, more preferably -66 ° C to -28 ° C. If the glass transition point Tg is −70 ° C. or higher, the heat resistance against heat associated with radiation irradiation is sufficient, and if it is 0 ° C. or lower, the effect of preventing scattering of semiconductor chips after dicing on a wafer having a rough surface state is sufficient. can get. The compound (A) may be produced by any method. For example, a mixture of an acrylic copolymer and a compound having a radiation curable carbon-carbon double bond, or an acrylic having a functional group. A copolymer or a methacrylic copolymer (A1) having a functional group, and a compound (A2) having a functional group capable of reacting with the functional group and having a radiation-curable carbon-carbon double bond Those obtained by reacting are used.
化合物(A)の分子量は、30万〜100万程度が好ましい。30万未満では、放射線照射による凝集力が小さくなって、ウエハをダイシングする時に、素子のずれが生じやすくなり、画像認識が困難となることがある。この素子のずれを、極力防止するためには、分子量が、40万以上である方が好ましい。また、分子量が100万を越えると、合成時および塗工時にゲル化する可能性がある。なお、本発明における分子量とは、ポリスチレン換算の重量平均分子量である。 The molecular weight of the compound (A) is preferably about 300,000 to 1,000,000. If it is less than 300,000, the cohesive force due to radiation irradiation becomes small, and when the wafer is diced, the device is likely to be displaced, and image recognition may be difficult. In order to prevent the deviation of the element as much as possible, the molecular weight is preferably 400,000 or more. Further, if the molecular weight exceeds 1,000,000, there is a possibility of gelation at the time of synthesis and coating. In addition, the molecular weight in this invention is a weight average molecular weight of polystyrene conversion.
なお、化合物(A)が、水酸基価5〜100となるOH基を有すると、放射線照射後の粘着力を減少することによりピックアップミスの危険性をさらに低減することができるので好ましい。また、化合物(A)が、酸価0.5〜30となるCOOH基を有することが好ましい。ここで、化合物(A)の水酸基価が低すぎると、放射線照射後の粘着力の低減効果が十分でなく、高すぎると、放射線照射後の粘着剤の流動性を損なう傾向がある。また酸価が低すぎると、テープ復元性の改善効果が十分でなく、高すぎると粘着剤の流動性を損なう傾向がある。 In addition, it is preferable that the compound (A) has an OH group having a hydroxyl value of 5 to 100 because the risk of pick-up mistakes can be further reduced by reducing the adhesive strength after radiation irradiation. Moreover, it is preferable that a compound (A) has a COOH group used as the acid value of 0.5-30. Here, if the hydroxyl value of the compound (A) is too low, the effect of reducing the adhesive strength after irradiation is not sufficient, and if it is too high, the fluidity of the adhesive after irradiation tends to be impaired. If the acid value is too low, the effect of improving the tape restoring property is not sufficient, and if it is too high, the fluidity of the pressure-sensitive adhesive tends to be impaired.
次に、粘着剤層のもう1つの主成分である化合物(B)について説明する。化合物(B)は、ポリイソシアネート類、メラミン・ホルムアルデヒド樹脂、およびエポキシ樹脂から少なくとも1種選ばれる化合物であり、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用することができる。この化合物(B)は架橋剤として働き、化合物(A)または基材フィルムと反応した結果できる架橋構造により、化合物(A)および(B)を主成分とした粘着剤の凝集力を、粘着剤塗布後に向上することができる。 Next, the compound (B) which is another main component of the pressure-sensitive adhesive layer will be described. The compound (B) is a compound selected from at least one of polyisocyanates, melamine / formaldehyde resins, and epoxy resins, and can be used alone or in combination of two or more. This compound (B) acts as a cross-linking agent, and the cross-linking structure formed as a result of reacting with the compound (A) or the base film causes the cohesive strength of the pressure-sensitive adhesive mainly composed of the compounds (A) and (B) to It can be improved after application.
化合物(B)の添加量としては、化合物(A)100重量部に対して0.1〜10重量部とすることが好ましく、0.4〜3重量部とすることがより好ましい。その量が0.1重量部未満では凝集力向上効果が十分でない傾向があり、10重量部を越えると粘着剤の配合および塗布作業中に硬化反応が急速に進行し、架橋構造が形成されるため、作業性が損なわれる傾向がある。 As addition amount of a compound (B), it is preferable to set it as 0.1-10 weight part with respect to 100 weight part of compounds (A), and it is more preferable to set it as 0.4-3 weight part. If the amount is less than 0.1 parts by weight, the effect of improving the cohesive force tends to be insufficient. If the amount exceeds 10 parts by weight, the curing reaction proceeds rapidly during the formulation and application of the adhesive, and a crosslinked structure is formed. Therefore, workability tends to be impaired.
また、粘着剤層13には光重合開始剤(C)が含まれていることが好ましい。粘着剤層13の含まれる光重合開始剤(C)に特に特に制限はなく、従来知られているものを用いることができる。光重合開始剤(C)の添加量としては、化合物(A)100重量部に対して0.01〜5重量部とすることが好ましく、0.01〜4重量部とすることがより好ましい。
The pressure-
さらに必要に応じて粘着付与剤、粘着調整剤、界面活性剤など、あるいはその他の改質剤および慣用成分を配合することができる。粘着剤層13の厚さは特に制限されるものではないが、通常2〜50μmである。
Furthermore, if necessary, a tackifier, a tackifier, a surfactant, etc., or other modifiers and conventional components can be blended. The thickness of the pressure-
<基材フィルム>
基材フィルム14としては、放射線透過性であることが好ましく、具体的には、通常、プラスチック、ゴムなどを用い、放射線を透過する限りにおいて特に制限されるものではないが、紫外線照射によって放射線硬化性粘着剤を硬化させる場合には、この基材としては光透過性の良いものを選択することができる。
<Base film>
The
このような基材として選択し得るポリマーの例としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、ポリブテン−1、ポリ−4−メチルペンテン−1、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレン−アクリル酸メチル共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体、アイオノマーなどのα−オレフィンの単独重合体または共重合体あるいはこれらの混合物、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート等のエンジニアリングプラスチック、ポリウレタン、スチレン−エチレン−ブテンもしくはペンテン系共重合体、ポリアミド−ポリオール共重合体等の熱可塑性エラストマー、およびこれらの混合物を列挙することができる。 Examples of polymers that can be selected as such a substrate include polyethylene, polypropylene, ethylene-propylene copolymer, polybutene-1, poly-4-methylpentene-1, ethylene-vinyl acetate copolymer, ethylene-acrylic. Homopolymer or copolymer of α-olefin such as ethyl acid copolymer, ethylene-methyl acrylate copolymer, ethylene-acrylic acid copolymer, ionomer, or a mixture thereof, polyethylene terephthalate, polycarbonate, polymethyl methacrylate Engineering plastics such as polyurethane, thermoplastic elastomers such as polyurethane, styrene-ethylene-butene or pentene copolymers, polyamide-polyol copolymers, and mixtures thereof.
なお、素子間隙を大きくするためには、ネッキング(基材フィルム14を放射状延伸したときに起こる力の伝播性不良による部分的な伸びの発生)の極力少ないものが好ましく、ポリウレタン、分子量およびスチレン含有量を限定したスチレン−エチレン−ブテンもしくはペンテン系共重合体等を例示することができ、ダイシング時の伸びあるいはたわみを防止するには架橋した基材フィルム14を用いると効果的である。基材フィルム14の厚みは、強伸度特性、放射線透過性の観点から通常20〜300μmが適当である。なお、基材フィルム14の放射線硬化性の粘着剤層13を塗布する側と反対側表面をシボ加工もしくは滑剤コーティングすると、ブロッキング防止、基材フィルム14上に粘着剤層13が形成されたダイシングテープの放射状延伸時のダイシングテープと治具との摩擦を減少することによる基材フィルム14のネッキング防止などの効果があるので好ましい。
In order to increase the gap between elements, it is preferable that necking (occurrence of partial elongation due to poor propagation of force that occurs when the
<半導体ウエハ加工用テープの製造方法>
上述した半導体ウエハ加工用テープ10の製造は、図2に示す工程により行われる。まず、樹脂フィルムをなす支持用フィルム11を繰り出し(ステップA1)、繰り出された支持用フィルム11上に、上述した接着剤層12を構成する成分を含む接着剤を用いて印刷方法により接着剤層12を形成する印刷工程を行う(ステップA2)。次に、印刷された接着剤層12を乾燥させる乾燥工程を行う(ステップA3)。その後、支持用フィルム11上に形成された接着剤層12における支持用フィルム11と対向する面に対して、基材フィルム14上に粘着剤層13が形成されたダイシングテープ15を、接着剤層12と粘着剤層13とが接するようにラミネートして半導体ウエハ加工用テープ10とする貼合工程を行う(ステップA4)。そして最後に、半導体ウエハ加工用テープ10をロール状に巻き取る(ステップA5)。
<Method for producing semiconductor wafer processing tape>
The manufacturing of the semiconductor
図3には、このような製造方法により半導体ウエハ加工用テープ10を製造する製造装置30の概念図を示した。この製造装置30は、支持用フィルム11を繰り出す繰り出し機31と、印刷工程を行う印刷機32、乾燥工程を行う乾燥炉35、貼合工程を行う貼合部36、半導体ウエハ加工用テープ10を巻き取る巻き取り機38が順番に並べられた構成となっている。
In FIG. 3, the conceptual diagram of the
繰り出し機31は、ロール状の支持用フィルム11を保持しており、この繰り出し機31から製造作業の進行に伴い順次支持用フィルム11が繰り出される。この繰り出し機31から繰り出された支持用フィルム11は印刷工程を行う印刷機32へ送られる。
The feeding
印刷機32は、支持用フィルム11上に接着剤層12を印刷方法によって形成するものである。この印刷機32により、送り込まれる支持用フィルム11上に断続的に半導体ウエハのサイズとほぼ同じかそれよりも大きい複数の接着剤層12が形成される。なお、ほぼ同じとは、半導体ウエハのサイズより小さいサイズも含むが、少なくとも当該半導体ウエハから分割される全てのチップを覆うことのできるサイズである。
The
このように、印刷工程により半導体ウエハのサイズに見合った形状の接着剤層12を形成することで、後に接着剤層12をウエハサイズにカットする工程を省略することができる。すなわち、この製造方法では、接着剤層12を半導体ウエハのサイズに見合った形状に切断する切断工程を行わない。これにより、接着剤層12や支持用フィルム11にカット傷が生じることを防止できるため、カット傷の発生に伴う異物の残存が防止でき、製品の品質を向上することができる。また、必要な部分のみに印刷されるので、接着剤層12に用いる材料のロスを大幅に削減することが可能となる。
In this way, by forming the
印刷機32の印刷方法としては、スクリーン印刷、グラビア印刷、凸版印刷などを用いることができ、所望の接着剤層12の厚みを得られる印刷方法を選択してよい。例えば、接着剤層12のように印刷塗工時の厚みを10〜100μm付近で目標とする場合は、スクリーン印刷を選定することが望ましい。また、スクリーン印刷法を用いる場合に、ロータリースクリーン印刷機を用いれば、通常の枚葉式スクリーン印刷機よりも連続で高速印刷できるため、より生産効率を高めることができる。
As a printing method of the
印刷工程で用いる接着剤(ダイボンディング用接着剤)は、上述した接着剤層12に含まれる材料を溶剤に溶解あるいは分散したものを用いる。溶剤は特に限定されるものではないが、シクロヘキサノンやメチルエチルケトンが望ましい。この溶剤を20〜40重量%混合し、接着剤の印刷時の雰囲気温度における粘度が5Pas以下となるように調製する。
The adhesive used in the printing process (die bonding adhesive) is obtained by dissolving or dispersing the material contained in the
スクリーン印刷による印刷工程では、マスクを介して支持用フィルム11上に接着剤を転写して接着剤層12を形成するが、マスクのメッシュ痕が支持用フィルム11上の接着剤層12の表面に転写されて、その痕が厚みばらつきとして残る場合がある。よって、印刷後の表面平滑性改善のため、接着剤粘度を5Pas以下と通常のスクリーン印刷で使用する接着剤粘度(5Pasより大きい値)よりも小さく抑えることで、表面粗さを抑えることができるとともに印刷後の平滑性を向上させることができる。なお、平滑性を向上させるためには、粘度をできるだけ下げたほうが良いが、円形形状精度や他の印刷条件(例えばマスクのメッシュ数)などの兼ね合いもあり、接着剤の粘度を0.05〜5Pasとすることがより望ましく、0.05〜1Pasとすることがより望ましい。
In the printing process by screen printing, the adhesive is transferred onto the
また、繰り出し機31から印刷機32を経て乾燥炉35の入口に至るまでの範囲は、温湿度調整機34により温度及び湿度を所定値に保つことが可能な温湿度制御部33内に配されている。この温湿度制御部33の温度及び湿度は、接着剤の組成や溶剤の種類等により適切な温度及び湿度が選択される。なお、少なくとも印刷をする部分が温湿度制御部33内に配されていれば良いが、印刷をする部分から乾燥炉35までの間も温湿度制御部33内に配されていることが望ましい。
Further, the range from the feeding
スクリーン印刷時の版離れ性や厚み精度、接着剤の粘度変化を考えると、接着剤に含まれる溶剤の蒸発速度をできるだけ抑えたほうが望ましい。しかし接着剤に遅乾作用のある溶剤を混入しすぎると、乾燥工程での生産性低下や設備コストアップにつながるため、印刷工程雰囲気での温湿度管理を行い、蒸発速度の制御を行う。この温湿度管理により10℃以下、望ましくは5℃以下とし、接着剤に含まれる溶剤の蒸気圧を100mmHg以下とすることが望ましいが、50mmHg以下とすることがより望ましく、30mmHg以下とすることが特に望ましい。このように温湿度管理を行うことで、接着剤に含まれる溶剤の蒸発速度を抑えることができ、接着剤の粘度の安定性を図ることが可能となる。 Considering the plate separation property, thickness accuracy, and adhesive viscosity change during screen printing, it is desirable to suppress the evaporation rate of the solvent contained in the adhesive as much as possible. However, too much solvent that has a slow-drying action in the adhesive leads to a decrease in productivity and an increase in equipment costs in the drying process. Therefore, the temperature and humidity are controlled in the printing process atmosphere and the evaporation rate is controlled. It is desirable that the temperature and humidity be controlled to 10 ° C. or less, desirably 5 ° C. or less, and the vapor pressure of the solvent contained in the adhesive to be 100 mmHg or less, more desirably 50 mmHg or less, and desirably 30 mmHg or less. Particularly desirable. By controlling the temperature and humidity in this manner, the evaporation rate of the solvent contained in the adhesive can be suppressed, and the viscosity of the adhesive can be stabilized.
印刷工程により接着剤層12が形成された支持用フィルム11は、接着剤層12に含まれる溶剤を揮発させる乾燥工程を行う乾燥炉35に送られる。乾燥炉35内の温度や乾燥時間は、接着剤の組成や溶剤の種類等により適宜選択されるが、常温〜200℃の温度で数分程度乾燥させることが好ましい。
The
乾燥工程により接着剤層12が乾燥した支持用フィルム11は、基材フィルム14上に粘着剤層13が形成されたダイシングテープ15と貼合する貼合工程を行う貼合部36へ送られる。接着剤層12は印刷工程によりすでに半導体ウエハの形状に見合った形状となっており、乾燥工程に引き続き貼合工程を行うことが可能となる。これにより、製造ラインの長さを短くすることができる。
The
貼合部36では、ダイシングテープ15の粘着剤層13と、支持用フィルム11上に形成された接着剤層12とが接するように貼合し、さらにローラ37,37で挟み込んで所定の圧力を加える。圧力は適宜設定することができるが、線圧1〜5MPaで行うことが好ましい。これにより、支持用フィルム11、接着剤層12、粘着剤層13及び基材フィルム14がこの順に積層された半導体ウエハ加工用テープ10が完成する。完成した半導体ウエハ加工用テープは巻き取り機38により巻き取り、ロール状とする。
In the
<第2実施形態>
次に、第2実施形態について説明する。なお、基本的には、上述の第1実施形態と同様の構成を有しており、以下、同様の構成を有する部分については同じ符号を付して説明を省略し、主に異なる部分について説明する。
Second Embodiment
Next, a second embodiment will be described. Basically, the configuration is the same as that of the above-described first embodiment. Hereinafter, portions having the same configuration are denoted by the same reference numerals, description thereof is omitted, and different portions are mainly described. To do.
図4には本実施形態における半導体ウエハ加工用テープ10の側面図を示した。本実施形態では、粘着剤層13も印刷方法により形成されている。本実施形態の半導体ウエハ加工用テープ10の製造は、図5に示す工程により行われる。この工程は、図2に示した工程におけるダイシングテープをラミネートする貼合工程(ステップA4)に替えて、円形印刷済みのダイシングテープをラミネートする貼合工程(ステップA11)を行う。
FIG. 4 shows a side view of the semiconductor
上述の貼合工程(ステップA4)で用いられるダイシングテープ15は、樹脂フィルムをなす基材フィルム14上にリングフレームのサイズとほぼ同じかそれよりも大きい円形の粘着剤層13を形成したものである。そして、貼合工程では、円形に形成された接着剤層12の中心と、円形に形成された粘着剤層13の中心が一致して同心円となるように貼合する。
The dicing
ダイシングテープの粘着剤層13は、円形に形成された接着剤層12とほぼ同じ大きさの円形に形成しても良いが、接着剤層12よりも大きい円形に形成することが望ましい。粘着剤層13を接着剤層12よりも大きい円形に形成すれば、半導体ウエハが貼合される部分には接着剤層12があり、リングフレームが貼合される部分には接着剤層12がなく粘着剤層13のみが存在するようになる。一般に、接着剤層12は被着体と剥離しにくいため、このようにすることでリングフレームを粘着剤層13と貼合することができ、使用後のテープ剥離時にリングフレームへの糊残りを生じにくいという効果が得られる。
The pressure-
このダイシングテープ15は、支持用フィルム11に接着剤層12を形成する工程(ステップA1からA3)と同様の工程により製造される。すなわち、基材フィルム14上に粘着剤層13を印刷方法により形成する印刷工程と、印刷された粘着剤層13を乾燥させる乾燥工程とにより製造する。印刷工程で用いる粘着剤(ダイシング用粘着剤)は、上述した粘着剤層13に含まれる材料を溶剤に溶解あるいは分散したものを用いる。溶剤は特に限定されるものではないが粘着剤の粘度が0.05〜5Pasとなるように調製することが望ましく、0.05〜1Pasとすることがより望ましい。
The dicing
また、印刷工程雰囲気での温湿度管理により10℃以下、望ましくは5℃以下とし、粘着剤に含まれる溶剤の蒸気圧を100mmHg以下とすることが望ましいが、50mmHg以下とすることがより望ましく、30mmHg以下とすることが特に望ましい。このように温湿度管理を行うことで、粘着剤に含まれる溶剤の蒸発速度を抑えることができ、粘着剤の粘度の安定性を図ることが可能となる。 In addition, the temperature and humidity control in the printing process atmosphere is 10 ° C. or less, desirably 5 ° C. or less, and the vapor pressure of the solvent contained in the adhesive is desirably 100 mmHg or less, more desirably 50 mmHg or less, It is particularly desirable to set it to 30 mmHg or less. By controlling the temperature and humidity in this way, the evaporation rate of the solvent contained in the pressure-sensitive adhesive can be suppressed, and the viscosity of the pressure-sensitive adhesive can be stabilized.
さらに印刷工程雰囲気を温湿度管理する際、場合によっては結露が生じする可能性があるが、乾燥炉35と印刷工程33の間の壁面に断熱材を設ける、または印刷後から乾燥炉までの間を段階的に温湿度管理するなどの対策を施しておくことが望ましい。
Furthermore, when temperature and humidity are controlled in the printing process atmosphere, there is a possibility that condensation may occur. However, a heat insulating material is provided on the wall surface between the drying
このように、ダイシングテープについても印刷工程によりリングフレームのサイズに見合った形状の粘着剤層13を形成することで、後に粘着剤層13をカットする工程を省略することができ、粘着剤層13や基材フィルム14にカット傷が生じることを防止できる。これにより、カット傷の発生に伴う異物の残存が防止でき、製品の品質を向上することができる。また、必要な部分のみに印刷されるので、粘着剤層13に用いる材料のロスを大幅に削減することが可能となる。
Thus, the process of cutting the
従来製法においては、ダイシング・ダイボンディングテープのような多層接着テープを作成するにあたり、ダイボンディングテープを製作後に接着剤層を半導体ウエハ状にカットし、次にダイシングテープを張り合わせた後にダイシングテープ側も外周面をカットして製作される。この場合、接着フィルムを積層する毎にカット工程が必要となって多段工程を要していた。しかし、本発明のように印刷工程により接着剤層12、粘着剤層13を形成することで、簡便な工程で製造が可能となり、多層化テープを製作する生産効率を向上することができる。
In the conventional manufacturing method, when creating a multi-layer adhesive tape such as a dicing die bonding tape, after manufacturing the die bonding tape, the adhesive layer is cut into a semiconductor wafer, and then the dicing tape is bonded to the dicing tape side. Manufactured by cutting the outer peripheral surface. In this case, every time an adhesive film is laminated, a cutting process is required, and a multi-stage process is required. However, by forming the
<第3実施形態>
次に、第3実施形態について説明する。なお、基本的には、上述の第1実施形態と同様の構成を有しており、以下、同様の構成を有する部分については同じ符号を付して説明を省略し、主に異なる部分について説明する。
<Third Embodiment>
Next, a third embodiment will be described. Basically, the configuration is the same as that of the above-described first embodiment. Hereinafter, portions having the same configuration are denoted by the same reference numerals, description thereof is omitted, and different portions are mainly described. To do.
図6には本実施形態における半導体ウエハ加工用テープ10の側面図を示した。本実施形態の半導体ウエハ加工用テープ10は接着剤層12のみを有する。本実施形態の半導体ウエハ加工用テープ10の製造は、図7に示す工程により行われる。この工程は、図2に示した工程におけるダイシングテープをラミネートする貼合工程(ステップA4)に替えて、カバーフィルム16をラミネートする貼合工程(ステップA21)を行う。なお、カバーフィルム16としては、支持用フィルム11に用いることができる材質からなるフィルムを用いることができる。
FIG. 6 shows a side view of the semiconductor
なお、上述した第1から第3実施形態では、半導体ウエハ加工用テープ10の例としてダイシング・ダイボンディングテープやダイボンディングテープを示したが、その他ダイシングテープや、半導体ウエハ裏面を研削するバックグラインド工程にて半導体ウエハの回路パターン形成面(ウエハ表面)を保護するための表面保護テープなど、様々な半導体ウエハ加工・保護用途のテープ製造工程について本発明を適用することが可能である。また、長尺の支持用フィルム11を用いて連続的に半導体ウエハ加工用テープ10を製造する方法を示したが、半導体ウエハ1枚分の半導体ウエハ加工用テープ10を製造する方法にも本発明を適用可能である。
In the first to third embodiments described above, a dicing die bonding tape and a die bonding tape are shown as examples of the semiconductor
次に、本発明の効果を明確にするために行った実施例について詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。 Next, examples performed for clarifying the effects of the present invention will be described in detail, but the present invention is not limited to these examples.
(粘着テープ1の作成)
イソオクチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレートおよびメチルメタクリレートからなり、質量平均分子量80万、ガラス転移温度−30℃のアクリル系共重合体化合物を作製した。その後、この共重合体化合物100重量部に対し、放射線硬化性炭素−炭素二重結合を有する化合物として、トリメチロールプロパントリメタクリレートを20重量部、硬化剤としてポリイソシアネート化合物コロネートL(日本ポリウレタン株式会社製、商品名)7重量部、さらに光重合開始剤としてイルガキュア184(日本チバガイギー株式会社製、商品名)5重量部を加えて、放射線硬化性の粘着剤を得た。この粘着剤をポリプロピレン樹脂と水素化スチレン−ブタジエン共重合体からなる、厚さ100μmの基材フィルムに対して塗工した後、熱風乾燥炉で乾燥し、乾燥後の厚さが10μmの粘着剤層と基材フィルムとの積層体である粘着テープ1を得た。
(Preparation of adhesive tape 1)
An acrylic copolymer compound consisting of isooctyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate and methyl methacrylate and having a mass average molecular weight of 800,000 and a glass transition temperature of -30 ° C was produced. Thereafter, 20 parts by weight of trimethylolpropane trimethacrylate as a compound having a radiation curable carbon-carbon double bond and 100 parts by weight of this copolymer compound, polyisocyanate compound Coronate L (Nippon Polyurethane Co., Ltd.) 7 parts by weight manufactured and trade name) and 5 parts by weight of Irgacure 184 (trade name, manufactured by Ciba Geigy Co., Ltd.) as a photopolymerization initiator were added to obtain a radiation curable pressure-sensitive adhesive. The pressure-sensitive adhesive is coated on a base film having a thickness of 100 μm made of a polypropylene resin and a hydrogenated styrene-butadiene copolymer, and then dried in a hot air drying furnace, and the thickness after drying is 10 μm. The adhesive tape 1 which is a laminated body of a layer and a base film was obtained.
(粘着テープ2の作成)
イソノニルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレートおよびメチルメタクリレートからなり、質量平均分子量80万、ガラス転移温度−30℃、のアクリル系共重合体化合物を作製した。その後、この共重合体化合物100重量部に対し、硬化剤としてポリイソシアネート化合物コロネートL(日本ポリウレタン株式会社製、商品名)9重量部を加えて、粘着剤を得た。この粘着剤を粘着テープ1と同じ基材フィルムに、粘着テープ1と同様に塗工し、乾燥させて粘着テープ2を得た。
(Preparation of adhesive tape 2)
An acrylic copolymer compound consisting of isononyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate and methyl methacrylate and having a mass average molecular weight of 800,000 and a glass transition temperature of -30 ° C was produced. Thereafter, 9 parts by weight of polyisocyanate compound coronate L (manufactured by Nippon Polyurethane Co., Ltd., trade name) was added as a curing agent to 100 parts by weight of the copolymer compound to obtain an adhesive. This pressure-sensitive adhesive was applied to the same base film as the pressure-sensitive adhesive tape 1 in the same manner as the pressure-sensitive adhesive tape 1 and dried to obtain a pressure-sensitive adhesive tape 2.
(接着剤1の調整)
エポキシ樹脂としてクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ当量197、分子量1200、軟化点70℃)50質量部、シランカップリング剤としてγ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン1.5質量部、γ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン3質量部、平均粒径16nmのシリカフィラー30質量部からなる組成物に、メチルエチルケトンを40質量部加えて攪拌混合し、更にビーズミルを用いて90分混練した。これにアクリル樹脂(質量平均分子量:80万、ガラス転移温度−17℃)100質量部、6官能アクリレートモノマーとしてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート5質量部、硬化剤としてヘキサメチレンジイソシアネートのアダクト体0.5質量部、キュアゾール2PZ(四国化成(株)製商品名、2−フェニルイミダゾール)2.5質量部を加え、攪拌混合し、真空脱気し、接着剤1を得た。得られた接着剤ワニスの粘度を、ブンガム型粘度計にて測定したところ、5℃での粘度は0.06Pas、25℃での粘度は0.05Pasであった。
(Adjustment of adhesive 1)
50 parts by mass of a cresol novolac type epoxy resin (epoxy equivalent 197, molecular weight 1200, softening point 70 ° C.) as an epoxy resin, 1.5 parts by mass of γ-mercaptopropyltrimethoxysilane as a silane coupling agent, γ-ureidopropyltriethoxysilane To a composition consisting of 3 parts by mass and 30 parts by mass of silica filler having an average particle size of 16 nm, 40 parts by mass of methyl ethyl ketone was added, mixed by stirring, and further kneaded for 90 minutes using a bead mill. To this, 100 parts by mass of acrylic resin (mass average molecular weight: 800,000, glass transition temperature -17 ° C), 5 parts by mass of dipentaerythritol hexaacrylate as a hexafunctional acrylate monomer, 0.5 mass of adduct of hexamethylene diisocyanate as a curing agent Part, Curesol 2PZ (trade name, 2-phenylimidazole, manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.) 2.5 parts by mass, stirred and mixed, vacuum degassed to obtain an adhesive 1. When the viscosity of the obtained adhesive varnish was measured with a Bungham viscometer, the viscosity at 5 ° C. was 0.06 Pas, and the viscosity at 25 ° C. was 0.05 Pas.
(接着剤2の調整)
メチルエチルケトンを20質量部加えた以外は、接着剤1と同様にして接着剤2を得た。得られた接着剤ワニスの粘度を測定したところ5℃での粘度は5Pas、25℃での粘度は4.9Pasであった。
(Adjustment of adhesive 2)
Adhesive 2 was obtained in the same manner as Adhesive 1 except that 20 parts by mass of methyl ethyl ketone was added. When the viscosity of the obtained adhesive varnish was measured, the viscosity at 5 ° C. was 5 Pas, and the viscosity at 25 ° C. was 4.9 Pas.
(接着剤3の調整)
メチルエチルケトンを45質量部加えた以外は、接着剤1と同様にして接着剤3を得た。得られた接着剤ワニスの粘度を測定したところ5℃での粘度は0.04Pasであった
(Adjustment of adhesive 3)
Adhesive 3 was obtained in the same manner as Adhesive 1 except that 45 parts by mass of methyl ethyl ketone was added. When the viscosity of the obtained adhesive varnish was measured, the viscosity at 5 ° C. was 0.04 Pas.
(接着剤4の調整)
メチルエチルケトンを15質量部加えた以外は、接着剤1と同様にして接着剤4を得た。得られた接着剤ワニスの粘度を測定したところ5℃での粘度は5.5Pasであった。
(Adjustment of adhesive 4)
Adhesive 4 was obtained in the same manner as Adhesive 1 except that 15 parts by mass of methyl ethyl ketone was added. When the viscosity of the obtained adhesive varnish was measured, the viscosity at 5 ° C. was 5.5 Pas.
[実施例1]
支持用フィルムとしてのPETフィルム(厚み25μm)上に、ロータリースクリーン印刷法により、接着剤1を直径φ300、印刷厚み30μm、ピッチ50mmとなるように印刷し、接着剤層を形成した。印刷工程における温度などは、温湿度調整機にて温湿度制御部の雰囲気が5℃、40%RHとなるように制御し、温湿度制御部における溶剤の蒸気圧を30mmHg以下とした。印刷工程により接着剤層を形成した後に、乾燥炉において150℃の温度で1分程度乾燥させる乾燥工程を行った。その後、別途作製した粘着テープ1を線圧2MPaで貼合する貼合工程を行うことで半導体ウエハ加工用テープ1を作製した。
[Example 1]
On the PET film (thickness 25 μm) as a supporting film, the adhesive 1 was printed by a rotary screen printing method so that the diameter φ300, the
[実施例2]
接着剤1に代えて接着剤2を用いた以外は、実施例1と同様にして半導体ウエハ加工用テープ2を作成した。
[Example 2]
A semiconductor wafer processing tape 2 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the adhesive 2 was used in place of the adhesive 1.
[実施例3]
粘着テープ1に代えて粘着テープ2を用いた以外は、実施例1と同様にして半導体ウエハ加工用テープ3を作成した。
[Example 3]
A semiconductor wafer processing tape 3 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the adhesive tape 2 was used in place of the adhesive tape 1.
[実施例4]
粘着テープ1に代えて粘着テープ2を用いた以外は、実施例2と同様にして半導体ウエハ加工用テープ4を作成した。
[Example 4]
A semiconductor wafer processing tape 4 was prepared in the same manner as in Example 2 except that the adhesive tape 2 was used in place of the adhesive tape 1.
[実施例5]
接着剤1に代えて接着剤3を用いた以外は、実施例1と同様にして半導体ウエハ加工用テープ5を作成した。
[Example 5]
A semiconductor wafer processing tape 5 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the adhesive 3 was used in place of the adhesive 1.
[実施例6]
接着剤1に代えて接着剤4を用いた以外は、実施例1と同様にして半導体ウエハ加工用テープ6を作成した。
[Example 6]
A semiconductor wafer processing tape 6 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the adhesive 4 was used in place of the adhesive 1.
[参考例7]
印刷工程における温度を室温(25℃)とした以外は、実施例1と同様にして半導体ウエハ加工用テープ7を作成した。
[ Reference Example 7 ]
A semiconductor wafer processing tape 7 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the temperature in the printing process was room temperature (25 ° C.).
[参考例8]
印刷工程における温度を室温(25℃)とした以外は、実施例2と同様にして半導体ウエハ加工用テープ8を作成した。
[ Reference Example 8 ]
A semiconductor wafer processing tape 8 was prepared in the same manner as in Example 2 except that the temperature in the printing process was room temperature (25 ° C.).
実施例1〜6、参考例7〜8、全てのサンプルにおいて、簡易な工程により良好な半導体ウエハ加工用テープを得ることができた。特に実施例1〜4では、接着剤の粘度が0.05Pas以上5Pas以下であり、印刷工程における温度が10℃以下であるため、スクリーン版の目詰まりによる欠点数がほとんど見られず、印刷歩留りが向上することが確認された。また接着剤層の厚みも、固体層で±10%以内に抑えることができた(10±1μm、Ra≦0.1μm)。実施例5は、接着剤の粘度が0.05Pas未満であるため、印刷形状の周縁部で際側にいくほど厚みが減少する形状ダレが生じた。実施例6は、接着剤の粘度が5Pas超であるため、スクリーン版の目詰まりが生じ、スクリーン版の定期的なクリーニングが必要となった。参考例7,8は、接着剤を室温で印刷したため、接着剤の粘度変化に起因するスクリーン版の目詰まりが生じ、スクリーン版の定期的なクリーニングが必要となった。 In Examples 1 to 6, Reference Examples 7 to 8 and all samples, good semiconductor wafer processing tapes could be obtained by a simple process. Particularly in Examples 1 to 4, since the viscosity of the adhesive is 0.05 Pas or more and 5 Pas or less and the temperature in the printing process is 10 ° C. or less, the number of defects due to clogging of the screen plate is hardly seen, and the printing yield. Has been confirmed to improve. Also, the thickness of the adhesive layer could be suppressed within ± 10% in the solid layer (10 ± 1 μm, Ra ≦ 0.1 μm). In Example 5, since the viscosity of the adhesive was less than 0.05 Pas, there was a shape sag in which the thickness decreased toward the near side at the periphery of the printed shape. In Example 6, since the viscosity of the adhesive was more than 5 Pas, the screen plate was clogged, and it was necessary to periodically clean the screen plate. In Reference Examples 7 and 8 , since the adhesive was printed at room temperature, the screen plate was clogged due to a change in the viscosity of the adhesive, and it was necessary to periodically clean the screen plate.
10 半導体ウエハ加工用テープ
11 支持用フィルム(第1の樹脂フィルム)
12 接着剤層
13 粘着剤層
14 基材フィルム(第2の樹脂フィルム)
15 ダイシングテープ
10 Semiconductor
12
15 Dicing tape
Claims (6)
第1の樹脂フィルム上に、ダイボンディング用接着剤を半導体ウエハのサイズとほぼ同じかそれよりも大きく印刷することにより接着剤層を形成する印刷工程と、
前記接着剤層を乾燥する乾燥工程と、
前記第1の樹脂フィルム上に形成された前記接着剤層における前記第1の樹脂フィルムと対向する面に対して、第2の樹脂フィルム上にダイシング用粘着剤からなる粘着剤層が形成されたダイシングテープを、前記接着剤層と前記粘着剤層とが接するように貼合する貼合工程と、を含み、
前記印刷工程では、少なくとも前記ダイボンディング用接着剤を印刷する部分の雰囲気温度を10℃以下とすることを特徴とする半導体ウエハ加工用テープの製造方法。 A method for manufacturing a semiconductor wafer processing tape comprising:
A printing step of forming an adhesive layer on the first resin film by printing an adhesive for die bonding substantially equal to or larger than the size of the semiconductor wafer;
A drying step of drying the adhesive layer;
A pressure-sensitive adhesive layer made of a dicing pressure-sensitive adhesive was formed on the second resin film with respect to the surface of the adhesive layer formed on the first resin film facing the first resin film. a bonding step of bonding to a dicing tape, and the adhesive layer and the adhesive layer is in contact, only including,
In the printing step, at least an atmosphere temperature of a portion where the die bonding adhesive is printed is set to 10 ° C. or less .
前記ダイシングテープは、
第2の樹脂フィルム上に、前記ダイシング用接着剤をリングフレームのサイズとほぼ同じかそれよりも大きく印刷することにより前記粘着剤層を形成したものであることを特徴とする半導体ウエハ加工用テープの製造方法。 In the manufacturing method of the tape for semiconductor wafer processing according to claim 1,
The dicing tape is
A tape for processing a semiconductor wafer, wherein the pressure-sensitive adhesive layer is formed on the second resin film by printing the dicing adhesive substantially the same as or larger than the size of the ring frame. Manufacturing method.
前記印刷は、スクリーン印刷法により行うことを特徴とする半導体ウエハ加工用テープの製造方法。 In the manufacturing method of the tape for semiconductor wafer processing of Claim 1 or 2,
The said printing is performed by the screen printing method, The manufacturing method of the tape for semiconductor wafer processing characterized by the above-mentioned.
前記ダイボンディング用接着剤の印刷時の雰囲気温度における粘度が0.05〜5Pasであることを特徴する半導体ウエハ加工用テープの製造方法。 In the manufacturing method of the tape for semiconductor wafer processing according to any one of claims 1 to 3,
A method for producing a tape for processing a semiconductor wafer, wherein the viscosity of the die bonding adhesive at an ambient temperature during printing is 0.05 to 5 Pas.
前記接着剤層を円形に切断する切断工程を行わないことを特徴とする半導体ウエハ加工用テープの製造方法。 In the manufacturing method of the tape for semiconductor wafer processing according to any one of claims 1 to 4,
A method for manufacturing a semiconductor wafer processing tape, wherein a cutting step of cutting the adhesive layer into a circle is not performed.
前記粘着剤層は、分子中にヨウ素価0.5〜20の放射線硬化性炭素−炭素二重結合を有する化合物と、ポリイソシアネート類、メラミン・ホルムアルデヒド樹脂及びエポキシ樹脂から少なくとも1種類選ばれる化合物とを含有し、
前記接着剤層は、エポキシ樹脂、水酸基当量150g/eq以上のフェノール樹脂、重量平均分子量が10万以上のエポキシ基含有アクリル共重合体、フィラー及び硬化促進剤を含有することを特徴とする半導体ウエハ加工用テープ。 A semiconductor wafer processing tape manufactured by the method for manufacturing a semiconductor wafer processing tape according to any one of claims 1 to 5 ,
The pressure-sensitive adhesive layer comprises a compound having a radiation curable carbon-carbon double bond having an iodine value of 0.5 to 20 in the molecule, a compound selected from at least one selected from polyisocyanates, melamine / formaldehyde resins, and epoxy resins. Containing
The adhesive layer contains an epoxy resin, a phenol resin having a hydroxyl group equivalent of 150 g / eq or more, an epoxy group-containing acrylic copolymer having a weight average molecular weight of 100,000 or more, a filler, and a curing accelerator. Tape for processing.
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