JP5761787B2 - センサおよびその調整方法 - Google Patents
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Description
請求項6に記載されたセンサは、請求項5に記載のものであり、前記コイルが前記一対の永久磁石に配置された一対のコイルで構成されており、この一対のコイルが電気的に直列接続されて前記電源部に接続されていることを特徴とする。
請求項7に記載されたセンサは、請求項1から6のいずれかに記載のものであり、前記着磁制御部は、前記感度または前記ダイナミックレンジに対応させて、前記電源部に供給させる前記再着磁用の電流の電流値を予め記憶することを特徴とする。
請求項8に記載されたセンサは、請求項3に記載のものであり、前記着磁制御部は、前記感度または前記ダイナミックレンジに対応させると共に、前記温度センサの検出する温度に対応させて、前記電源部に供給させる前記再着磁用の電流の電流値を予め記憶することを特徴とする。
Claims (10)
- 検出対象が印加される磁性体と、該磁性体の表面に直線偏光のレーザー光を照射して偏光した反射光のP波成分およびS波成分を検出する検出部と、該検出対象の印加されている該磁性体に対して該検出対象とは別の直流磁界を印加する永久磁石と、該永久磁石を再着磁するためのコイルと、該コイルに再着磁用の電流を供給する電源部と、測定の感度またはダイナミックレンジを設定するために入力される設定信号に基づいて、該電源部を制御して該直流磁界が該感度または該ダイナミックレンジに対応する所定の磁界強度になるように該永久磁石を再着磁する着磁制御部と、該検出部の検出する該反射光のP波成分およびS波成分、並びに該設定信号が示す該感度または該ダイナミックレンジに基づいて、該検出対象を測定する測定部とを備えることを特徴とするセンサ。
- 前記着磁制御部は、所定周期毎に、前記所定の磁界強度に前記永久磁石を再着磁することを特徴とする請求項1に記載のセンサ。
- 前記着磁制御部には、該永久磁石の温度を検出する温度センサが接続されており、該着磁制御部は、該温度センサの検出する温度に対応する前記所定の磁界強度に前記永久磁石を再着磁することを特徴とする請求項1または2に記載のセンサ。
- 前記着磁制御部には、前記直流磁界の磁界強度を検出する磁界強度センサが接続されており、前記着磁制御部は、前記磁界強度センサの検出する前記磁界強度が前記所望の磁界強度の許容範囲内でないときに、前記永久磁石を再着磁することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のセンサ。
- 前記磁性体が、一対の前記永久磁石で挟み込まれていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のセンサ。
- 前記コイルが前記一対の永久磁石に配置された一対のコイルで構成されており、この一対のコイルが電気的に直列接続されて前記電源部に接続されていることを特徴とする請求項5に記載のセンサ。
- 前記着磁制御部は、前記感度または前記ダイナミックレンジに対応させて、前記電源部に供給させる前記再着磁用の電流の電流値を予め記憶することを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載のセンサ。
- 前記着磁制御部は、前記感度または前記ダイナミックレンジに対応させると共に、前記温度センサの検出する温度に対応させて、前記電源部に供給させる前記再着磁用の電流の電流値を予め記憶することを特徴とする請求項3に記載のセンサ。
- 前記磁性体が、一軸磁気異方性を有しており、その磁化容易軸の方向に、前記永久磁石が前記直流磁界を印加することを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載のセンサ。
- 前記検出対象が外部磁界である磁界センサ、前記検出対象が電流によって生じる外部磁界である電流センサ、前記検出対象が応力である応力センサ、前記検出対象が歪である歪センサ、前記検出対象が振動で生じる応力である振動センサ、前記検出対象が加速で生じる応力である加速度センサ、または、前記検出対象が加速で生じる応力でありこの応力から加速に対する加加速度を測定する加加速度センサであることを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載のセンサ。
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