JP5749537B2 - Gas detection device and gas detection method - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 596
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 103
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 46
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 35
- 238000004904 shortening Methods 0.000 claims description 29
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 claims description 26
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 714
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 204
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 40
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 20
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 15
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000010408 film Substances 0.000 description 14
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 9
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 9
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 7
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 6
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 6
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 5
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 4
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 2
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 description 2
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 description 2
- ZNOKGRXACCSDPY-UHFFFAOYSA-N tungsten trioxide Chemical compound O=[W](=O)=O ZNOKGRXACCSDPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N silicic acid Chemical compound O[Si](O)(O)O RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005493 welding type Methods 0.000 description 1
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Description
本発明は、検出対象ガスとの接触により電気的特性が変化するガス検知層、及びガス検知層を加熱するヒータ層を形成したセンサ素子と、ヒータ層へ所定の通常周期で通電を行って、ガス検知層の温度を変化させる通電駆動手段と、ヒータ層通電時の検出タイミングにおけるガス検知層の電気的特性に基づいて、検出対象ガスを検出するガス検出手段とを備えたガス検知装置、及びそのガス検知装置において実行されるガス検知方法に関する。 In the present invention, a gas detection layer whose electrical characteristics change due to contact with a detection target gas, and a sensor element in which a heater layer for heating the gas detection layer is formed, and the heater layer is energized at a predetermined normal cycle, A gas detection apparatus comprising: an energization driving unit that changes a temperature of the gas detection layer; and a gas detection unit that detects a detection target gas based on an electrical characteristic of the gas detection layer at a detection timing when the heater layer is energized; The present invention relates to a gas detection method executed in the gas detection device.
このようなガス検知装置においては、センサ素子は薄膜ガスセンサにより構成され、ヒータ層への通電を開始することにより、ガス検知層を検出対象ガスの種類に応じた適切な温度(例えば、400〜500℃程度)にまで加熱して、この温度を保持した状態におけるガス検知層の電気的特性(電気抵抗値、電圧値など)に基づいて検出対象ガスの有無及び濃度を検出する。この際には、ヒータ層に通電を行う通電駆動手段は、例えば、電池駆動により駆動されるため、できるだけ消費電力を少なくして長期間電池を交換することなく検出対象ガスを検出可能であることが必要とされている。そのため、薄膜ガスセンサを微細加工プロセスを用いて製造したダイヤフラム構造等の高断熱・低熱容量の構造とするとともに、通電駆動手段が、ヒータ層への通電を所定の周期で間欠的に行って消費電力を低減する構成を採用している(例えば、特許文献1参照)。
ここで、例えば、メタンガスやプロパンガス等の可燃性ガスである検出対象ガスを検出する場合、ヒータ層への通電の周期を30sとし、ヒータ層への通電を50〜500msの比較的短い時間行ってヒータ層の温度を高温(例えば、400〜500℃程度)に保持して、ガス検知層の電気抵抗値等を測定し(検出タイミング)、その後、ヒータ層への通電を停止して通電の開始から30sが経過するまで(通電の停止から29.95〜29.995sの間)停止状態を維持する。そして、再度通電を開始し、電気抵抗値を測定して、通電を停止することを繰り返し行う構成とされている。これにより、通電時間をできるだけ少なくし、検出対象ガスの検出を確実に行いながら、低消費電力化をも図ることができるとされている。
In such a gas detection device, the sensor element is constituted by a thin film gas sensor, and by starting energization to the heater layer, the gas detection layer is set to an appropriate temperature (for example, 400 to 500) according to the type of gas to be detected. The presence / absence and concentration of the detection target gas are detected based on the electrical characteristics (electric resistance value, voltage value, etc.) of the gas detection layer in a state where the temperature is maintained. In this case, since the energization driving means for energizing the heater layer is driven by, for example, battery driving, it is possible to detect the detection target gas without changing the battery for a long time by reducing power consumption as much as possible. Is needed. For this reason, the thin film gas sensor has a high heat insulation and low heat capacity structure such as a diaphragm structure manufactured by using a microfabrication process, and the energization driving means intermittently energizes the heater layer at a predetermined cycle to consume power. Is employed (see, for example, Patent Document 1).
Here, for example, when detecting a detection target gas that is a combustible gas such as methane gas or propane gas, the energization period of the heater layer is set to 30 s, and the energization of the heater layer is performed for a relatively short time of 50 to 500 ms. The heater layer is kept at a high temperature (for example, about 400 to 500 ° C.), and the electric resistance value of the gas detection layer is measured (detection timing). The stop state is maintained until 30 s has elapsed from the start (between 29.95 and 29.995 s from the stop of energization). And it is set as the structure which repeats starting electricity supply again, measuring an electrical resistance value, and stopping electricity supply. Thereby, it is said that it is possible to reduce the power consumption while reducing the energization time as much as possible and reliably detecting the detection target gas.
上記のようなガス検知装置の設置環境においては、検出対象ガスであるメタンガス等や非検出対象ガスである酸素ガス、窒素ガス、水素ガス、一酸化炭素ガス、水蒸気等が共存する。また、微量ではあるが非検出対象ガスとして、ガス検知装置のセンサ素子にとって有害な有害ガス(特性劣化を引き起こす)やセンサ素子に干渉する干渉ガス(ガス検知層が抵抗変化し、あたかも検出対象ガスが存在するかのように振舞う誤検出を誘発するガス)など、種々のガス成分が一時的に共存する場合がある。
そのため、ガス検知装置においては有害ガス、干渉ガス等の影響を防止するため様々な対策が施されている。例えば、低沸点の炭化水素系ガス(エタノール、VOC)、水素ガス、一酸化炭素ガスなどの干渉ガスに対しては、ガス検知層を被覆した選択燃焼層で選択的に燃焼しガス検知層の出力に影響が出ないような対策が講じられている。更にシリコンのような有害ガスに関しては、ガス検知装置内のガス検知層へ検出対象ガスが流入可能なガス流入口に活性炭吸着層(フィルタ手段)を設け吸着除去するような対策が講じられている。
上記のような様々な対策で非検出対象ガスである有害ガス、干渉ガス等の影響を防止しているが、それらのガスが長期共存するような環境でガス検知装置を使用すると徐々に特性が変化する場合がある。具体的には、空気中の電気抵抗値が顕著に低下したり、検出対象ガスがメタンガスの場合、ガス検知層における一酸化炭素ガスや水素ガスなどの干渉ガスに対する選択性が悪くなる場合がある(一酸化炭素ガス、水素ガスが共存してもガス検知層の電気抵抗値が低下し、あたかもメタンガスが存在するような挙動を示す、すなわち、誤検出することがある)。更にはガス検知層が鋭敏化する、すなわち、予めガス検知層の濃度特性から決めたメタン濃度で示す電気抵抗値が低下し、あたかもメタンガス漏れが発生したかのような誤報を発報する場合がある。
In the installation environment of the gas detector as described above, methane gas, which is a detection target gas, and oxygen gas, nitrogen gas, hydrogen gas, carbon monoxide gas, water vapor, etc., which are non-detection target gases, coexist. In addition, as a non-detection target gas, although it is a trace amount, harmful gas harmful to the sensor element of the gas detection device (causes deterioration of characteristics) and interference gas that interferes with the sensor element (the gas detection layer changes its resistance, as if the detection target gas In some cases, various gas components may coexist temporarily, such as gas that induces false detection that behaves as if there is.
Therefore, various measures are taken in the gas detection device in order to prevent the influence of harmful gas, interference gas and the like. For example, with respect to interference gases such as low-boiling hydrocarbon gases (ethanol, VOC), hydrogen gas, carbon monoxide gas, etc., they are selectively burned in the selective combustion layer coated with the gas detection layer. Measures are taken so as not to affect the output. Furthermore, for harmful gases such as silicon, measures are taken such that an activated carbon adsorption layer (filter means) is provided at the gas inlet through which the detection target gas can flow into the gas detection layer in the gas detection device. .
Various measures such as those mentioned above have prevented the effects of harmful gases that are non-detection target gases, interference gases, etc., but if the gas detector is used in an environment where those gases coexist for a long period of time, the characteristics gradually increase. May change. Specifically, when the electric resistance value in the air is remarkably reduced, or when the detection target gas is methane gas, the selectivity to the interference gas such as carbon monoxide gas or hydrogen gas in the gas detection layer may deteriorate. (Even if carbon monoxide gas and hydrogen gas coexist, the electric resistance value of the gas detection layer decreases, and it behaves as if methane gas exists, that is, it may be erroneously detected). Furthermore, the gas detection layer becomes sensitized, that is, the electrical resistance value indicated by the methane concentration determined in advance from the concentration characteristics of the gas detection layer decreases, and a false alarm as if methane gas leakage has occurred may be issued. is there.
このような特性劣化を防止するため、非検出対象ガスがガス検知装置内のガス検知層を備えたセンサ素子に到達するのを防止できるように、センサ素子のパッケージの強化が進められている。一例を挙げると、筐体の外部からセンサ素子が設けられた内部に、当該筐体に設けられたガス流入口以外から非検出対象ガスである干渉ガスや有害ガスが進入することを防止するため、パッケージの気密性向上(定期点検時に点検ガスをガス流入口近傍に設けられた活性炭吸着層を通さずに筐体内のセンサ素子へ直接流入するための点検口の廃止、筐体の構造を嵌め込み方式から溶接方式へ変更する等)や、ガス流入口に設ける活性炭吸着層の機能向上(活性炭量の増加、粒度分布の改善、充填密度の変更、機能の異なる活性炭の積層等)が行われている。 In order to prevent such characteristic deterioration, the package of the sensor element is being strengthened so that the non-detection target gas can be prevented from reaching the sensor element including the gas detection layer in the gas detection device. As an example, in order to prevent interference gas and harmful gas, which are non-detection target gases, from entering the inside of the housing provided with the sensor element from outside the gas inlet provided in the housing. , Improved airtightness of the package (inspection gas for direct flow into the sensor element in the housing without passing through the activated carbon adsorption layer provided near the gas inlet during periodic inspections, and the housing structure is fitted Etc.) and functional enhancement of activated carbon adsorption layer provided at gas inlet (increased amount of activated carbon, improvement of particle size distribution, change of packing density, lamination of activated carbon with different functions, etc.) Yes.
しかしながら、このセンサ素子のパッケージの強化は、検出対象ガスの検知応答性とトレードオフの関係にある。すなわち、上述したパッケージの気密性向上により、検出対象ガスについても、有害ガスや干渉ガス等と同様に、基本的にガス流入口以外からの進入は不可能となる。また、活性炭吸着層の機能向上により、雰囲気中の検出対象ガスが、活性炭を通過しガス検知層表面に到達する時定数が増加し、検知応答性の低下につながってしまう。ここで、この検知応答性は、センサ素子が筐体の内部に設けられた状態において、筐体の外部で所定濃度の検出対象ガスが存在する場合に、当該検出対象ガスが筐体の内部に進入してセンサ素子のガス検知層に接触し、当該ガス検知層の電気抵抗値を所定の電気抵抗値にまで低下させるまでの時間(検知応答時間、すなわち筐体の外部に存在する検出対象ガスが筐体の内部に設けられたセンサ素子に到達して、ガス検知層にて検出対象ガスが警報すべき濃度以上存在することを検出することが可能となる下限時間)により判断される。例えば、表1に、センサ素子がパッケージ化された複数のガス検知装置について、ヒータ層に通電する周期を5sに設定し、雰囲気メタン濃度1.25%(12500ppm)中で警報を発するまでの時間を調査したものを示す。この表1から判明するように、雰囲気メタン濃度1.25%での応答性は、従来構造のパッケージでの検知応答時間が15〜25sであるのに対し、パッケージを強化すると検知応答時間が45〜50sと倍増していることがわかる。
よって、センサ素子のパッケージを強化すると、非検出対象ガスの影響を低減することができるが、検出対象ガスの検知応答性が低下することとなる。
However, the enhancement of the sensor element package is in a trade-off relationship with the detection response of the detection target gas. That is, due to the improvement in the airtightness of the above-described package, the detection target gas is basically not allowed to enter from other than the gas inlet, similarly to the harmful gas and the interference gas. In addition, due to the improved function of the activated carbon adsorption layer, the time constant for the detection target gas in the atmosphere to pass through the activated carbon and reach the surface of the gas detection layer increases, leading to a decrease in detection response. Here, this detection responsiveness is obtained when the detection target gas is present inside the casing when the sensor element is provided inside the casing and the detection target gas having a predetermined concentration exists outside the casing. Time required to enter and contact the gas detection layer of the sensor element and reduce the electric resistance value of the gas detection layer to a predetermined electric resistance value (detection response time, that is, a detection target gas existing outside the housing) Reaches the sensor element provided inside the casing and is determined by the lower limit time during which it is possible to detect in the gas detection layer that the detection target gas is present above the concentration to be alarmed. For example, in Table 1, for a plurality of gas detection devices in which sensor elements are packaged, the time until the heater layer is energized is set to 5 s and an alarm is issued at an atmospheric methane concentration of 1.25% (12500 ppm). Shows the survey results. As can be seen from Table 1, the response at an atmospheric methane concentration of 1.25% is 15 to 25 s in the detection response time in the package having the conventional structure, whereas the detection response time is 45 when the package is strengthened. It can be seen that it has doubled to ~ 50s.
Therefore, if the sensor element package is strengthened, the influence of the non-detection target gas can be reduced, but the detection responsiveness of the detection target gas is lowered.
一方、上記検知応答性については満たすべき基準が別途規定されており、その規定により、例えば、検出対象ガスとしての引火性を有するメタンガスの場合には、雰囲気中のメタン濃度1.25%に対し、ガス漏れから60s以内(検知応答規定時間内)に警報を発することができる必要があるとされている。
このような状況で、ヒータ層への通電の周期に対応してガス検知層の電気抵抗値を検出する検出タイミングとガス漏れ発生のタイミングとの関係に加え、検知応答時間も考慮して、ガス漏れから警報を発するまでの時間が検知応答規定時間内である必要がある。従って、センサ素子のパッケージの強化により検知応答性が低下(検知応答時間が増加)すると、警報を発するまでの時間が長くなる場合があり、検知応答規定時間内に警報を発することができなくなるという問題がある。
On the other hand, the criteria to be satisfied for the detection responsiveness are separately defined. For example, in the case of flammable methane gas as the detection target gas, the methane concentration in the atmosphere is 1.25%. It is said that it is necessary to be able to issue an alarm within 60 seconds (within the detection response regulation time) from the gas leak.
In such a situation, in addition to the relationship between the detection timing for detecting the electric resistance value of the gas detection layer corresponding to the cycle of energization to the heater layer and the timing of the occurrence of gas leakage, the detection response time is also taken into account. The time from the leak until the alarm is issued needs to be within the detection response regulation time. Therefore, if the detection responsiveness decreases (detection response time increases) due to the enhancement of the sensor element package, it may take a long time to issue an alarm, and the alarm cannot be issued within the specified detection response time. There's a problem.
例えば、図15に示すように、検知応答時間45sの強化パッケージのガス検知装置の通電周期を45s(検出タイミングが45s毎に来る周期)で駆動した場合、第1回目の検出タイミング(0s)と同時にガス漏れが発生した場合(ケース1)は、第2回目の検出タイミングである45s後に警報し、検知応答規定時間(ガス漏れ発生から60s)内に警報できるが、一方で、第1回目の検出タイミング(0s)後、5s経ってからガス漏れが発生した場合(ケース2)には、ガス漏れから40s後の第2回目の検出タイミング(45s)では検知応答時間を経過していないため、警報すべき濃度以上の検出対象ガスを検出しておらず、警報せず、ガス漏れから85s後の第3回目の検出タイミング(90s)で警報することになり、検知応答規定時間を満たさなくなる場合がある。すなわち、ケース2では、ガス漏れから警報を発するまで85sの時間が経過してしまっている。同様に、第1回目の検出タイミング(0s)後、25s経ってからガス漏れが発生した場合(ケース3)には、ガス漏れから20s後の第2回目の検出タイミング(45s)では検知応答時間を経過していないため、警報すべき濃度以上の検出対象ガスを検出しておらず、警報せず、ガス漏れから65s後の第3回目の検出タイミング(90s)で警報することになり、検知応答規定時間を満たさなくなる場合がある。すなわち、ケース3では、ガス漏れから警報を発するまで65sの時間が経過してしまっている。
For example, as shown in FIG. 15, when the energization cycle of the gas detection device of the reinforced package with the detection response time 45 s is driven at 45 s (the detection timing comes every 45 s), the first detection timing (0 s) If a gas leak occurs simultaneously (Case 1), an alarm is issued 45 seconds after the second detection timing, and an alarm can be given within the detection response regulation time (60 s from the occurrence of the gas leak). If a gas leak occurs after 5 s after the detection timing (0 s) (Case 2), the detection response time has not elapsed at the second detection timing (45 s) after 40 s from the gas leakage. The detection target gas above the concentration that should be alarmed has not been detected, the alarm is not issued, and an alarm is issued at the third detection timing (90 s) after 85 s from the gas leakage. Which may not satisfy the response specified time. That is, in
このため、従来、電池駆動を念頭としたガス検知装置において通電駆動手段がヒータ層に通電する周期は、パッケージ強化に伴う検知応答性の低下(検知応答時間の増加)と検知応答規定時間とを考慮し、例えば、検知応答規定時間を60sとした場合、検知応答時間40sのときは周期20s以内、検知応答時間50sのときは周期10s以内等の比較的短い時間間隔に設定しなければならず、通電の周期を長くすることができず低消費電力化の妨げとなるという問題があった。 For this reason, in the conventional gas detection device with battery driving in mind, the cycle in which the energization driving means energizes the heater layer includes a decrease in detection response (increase in detection response time) and a detection response regulation time due to package reinforcement. Considering, for example, when the specified detection response time is 60 s, the detection response time must be set to a relatively short time interval such as within 20 s when the detection response time is 40 s and within 10 s when the detection response time is 50 s. There is a problem that the energization cycle cannot be lengthened and hinders low power consumption.
そこで、本発明は、上記の課題に鑑みて、検出対象ガスの有無及び濃度の検出を行うにあたり、非検出対象ガスの影響を排除し、消費電力の低減を図ることができながらも、ガス漏れ発生から警報を発するまでの時間を短くして検知応答規定時間内に警報を発することが可能な技術の提供を目的とする。 Therefore, in view of the above-described problems, the present invention eliminates the influence of non-detection target gas and detects power leakage while eliminating the influence of non-detection target gas. The purpose is to provide a technology capable of shortening the time from occurrence to issuing an alarm and issuing an alarm within the specified detection response time.
〔構成1〕
上記の目的を達成するための本発明に係るガス検知装置は、
検出対象ガスとの接触により電気的特性が変化するガス検知層、及び前記ガス検知層を加熱するヒータ層を形成したセンサ素子と、
外部から前記検出対象ガスが流入可能なガス流入口を備えた筐体の内部に前記センサ素子が設けられるとともに、前記ガス流入口から前記筐体の内部に至る間の流路に非検出対象ガスが付着するフィルタ手段と、
前記ヒータ層へ所定の通常周期で通電を行って、前記ガス検知層の温度を変化させる通電駆動手段と、
ヒータ層通電時の検出タイミングにおける前記ガス検知層の前記電気的特性としての電気抵抗値が、第1閾値よりも低下しているか否かの判定を行う第1判定と、前記第1判定に用いた前記電気抵抗値よりも後の前記電気抵抗値を用いて前記第1閾値未満である第2閾値よりも低下しているか否かの判定を行う第2判定とにより、前記検出対象ガスを検出するガス検出手段と、
前記ヒータ層通電時の前記ガス検知層の電気的特性に基づいて、前記ガス検知層の雰囲気中に存在するガス種を判定するガス種判定手段と、
前記ガス検出手段の検出結果および前記ガス種判定手段による判定結果に基づいて、前記通常周期を変更する通電周期変更手段とを備えたガス検知装置であって、
前記通電周期変更手段は、前記第1判定における前記電気抵抗値が、前記第1閾値以上の場合には前記通常周期の通電を継続し、
前記第1閾値未満の場合には、前記第2判定における前記電気抵抗値が前記第2閾値を超えて、かつ前記ガス種判定手段の判定結果が前記検出対象ガスである場合に、前記通常周期をより短縮した短縮周期に変更し、
前記ガス検出手段は、前記第2判定において前記電気抵抗値が、前記第2閾値以下の場合には警報を報知する点にある。
[Configuration 1]
The gas detection device according to the present invention for achieving the above object is
A sensor element in which a gas detection layer whose electrical characteristics are changed by contact with the detection target gas, and a heater layer for heating the gas detection layer;
The sensor element is provided inside a casing having a gas inlet through which the detection target gas can flow from the outside, and a non-detection target gas is provided in a flow path from the gas inlet to the inside of the casing. Filter means to which
Energization driving means for energizing the heater layer at a predetermined normal cycle to change the temperature of the gas detection layer;
Electrical resistance as the electrical characteristic of the gas sensing layer at the detection timing for the heater layer energized, a first determination for determining whether or not being lower than the first threshold value, use the first determination The detection target gas is detected by a second determination that determines whether or not the electric resistance value after the electric resistance value is lower than a second threshold value that is less than the first threshold value. a gas detecting means for,
Gas type determination means for determining a gas type present in the atmosphere of the gas detection layer based on the electrical characteristics of the gas detection layer when the heater layer is energized ;
An energization cycle changing unit that changes the normal cycle based on a detection result of the gas detection unit and a determination result by the gas type determination unit ,
The energization cycle changing means continues energization of the normal cycle when the electrical resistance value in the first determination is equal to or greater than the first threshold value,
When the electrical resistance value in the second determination exceeds the second threshold and the determination result of the gas type determination unit is the detection target gas, the normal period is less than the first threshold. To a shorter shortening cycle,
In the second determination, the gas detection unit is configured to issue an alarm when the electrical resistance value is equal to or less than the second threshold value .
また、上記の目的を達成するための本発明に係るガス検知方法は、上記特徴構成を有するガス検知装置により好適に実行されるものであり、
検出対象ガスとの接触により電気的特性が変化するガス検知層、及び前記ガス検知層を加熱するヒータ層を形成したセンサ素子を用いて、
外部から前記検出対象ガスが流入可能なガス流入口を備えた筐体の内部に前記センサ素子が設けられるとともに、前記ガス流入口から前記筐体の内部に至る間の流路に非検出対象ガスが付着するフィルタ手段が設けられ、
通電駆動手段が前記ヒータ層へ所定の通常周期で通電を行って、前記ガス検知層の温度を変化させ、
ガス検出手段は、ヒータ層通電時の検出タイミングにおける前記ガス検知層の前記電気的特性としての電気抵抗値が、第1閾値よりも低下しているか否かの判定を行う第1判定と、前記検出タイミングにおいて前記第1判定に用いた前記電気抵抗値よりも後に検出した前記電気抵抗値を用いて前記第1閾値未満である第2閾値よりも低下しているか否かの判定を行う第2判定とにより、前記検出対象ガスを検出し、
ガス種判定手段が、前記ヒータ層通電時の前記ガス検知層の電気的特性に基づいて、前記ガス検知層の雰囲気中に存在するガス種を判定し、
通電周期変更手段が、前記ガス検出手段の検出結果および前記ガス種判定手段による判定結果に基づいて前記通常周期を変更するガス検知方法であって、
前記通電周期変更手段は、前記第1判定における前記電気抵抗値が、前記第1閾値以上の場合には前記通常周期の通電を継続し、
前記第1閾値未満の場合には、前記第2判定における前記電気抵抗値が前記第2閾値を超えて、かつ前記ガス種判定手段の判定結果が前記検出対象ガスである場合に、前記通常周期をより短縮した短縮周期に変更し、
前記ガス検出手段は、前記第2判定において前記電気抵抗値が、前記第2閾値以下の場合には警報を報知する点にある。
Moreover, the gas detection method according to the present invention for achieving the above object is preferably executed by the gas detection device having the above-described characteristic configuration,
Using a sensor element in which a gas detection layer whose electrical characteristics change by contact with a detection target gas and a heater layer for heating the gas detection layer are formed,
The sensor element is provided inside a casing having a gas inlet through which the detection target gas can flow from the outside, and a non-detection target gas is provided in a flow path from the gas inlet to the inside of the casing. Is provided with filter means to which
The energization drive means energizes the heater layer at a predetermined normal cycle, changes the temperature of the gas detection layer,
Gas detection means, the electric resistance value as the electrical characteristic of the gas sensing layer at the detection timing for the heater layer energized, a first determination for determining whether or not being lower than the first threshold value, the A second determination is made as to whether or not the electric resistance value detected after the electric resistance value used for the first determination is lower than a second threshold value that is less than the first threshold value at a detection timing. The detection target gas is detected by the determination,
The gas type determination means determines the gas type present in the atmosphere of the gas detection layer based on the electrical characteristics of the gas detection layer when the heater layer is energized,
An energization cycle changing means is a gas detection method for changing the normal cycle based on a detection result of the gas detection means and a determination result by the gas type determination means ,
The energization cycle changing means continues energization of the normal cycle when the electrical resistance value in the first determination is equal to or greater than the first threshold value,
When the electrical resistance value in the second determination exceeds the second threshold and the determination result of the gas type determination unit is the detection target gas, the normal period is less than the first threshold. To a shorter shortening cycle,
In the second determination, the gas detection unit is configured to issue an alarm when the electrical resistance value is equal to or less than the second threshold value .
上記構成1のガス検知装置及びガス検知方法によれば、ガス検出手段が、ガス種判定手段によるガス種の判定前に、検出タイミングにおけるガス検知層の電気抵抗値に基づいて、当該電気抵抗値が第1閾値よりも低下しているか否かの第1判定を行うので、ガス種判定手段によるガス種の判定及び通電周期変更手段による通電周期の変更を、第1判定による検出タイミングにおける電気抵抗値が第1閾値よりも低下しているか否かの結果に基づいて行うことができ、例えば、当該電気抵抗値が第1閾値よりも低下している場合にはガス漏れが生じている可能性があるため、より精度の高い検出を行うこととし、第1閾値以上である場合にはガス漏れが生じていないものとして、通常周期での検出対象ガスの検出を行うことができる。
これにより、第1判定により簡易な判定を行って、ガス漏れが生じていないと考えられる場合には、より精度の高い判定を省略することにより、簡易な構成とするとともに消費電力の低減を図ることができる。
さらに、上記構成1のガス検知装置及びガス検知方法によれば、ガス検出手段が、第1判定において電気抵抗値が第1閾値よりも低下している場合に、さらに、第1判定において用いた電気抵抗値よりも後に検出した検出タイミングにおける電気的特性としての電気抵抗値を用いて、当該電気抵抗値が第1閾値よりも小さな値の第2閾値(警報閾値)以下か否かの第2判定を行うので、第1判定においてガス漏れの可能性があると判定された場合に、より精度の高い第2閾値により第2判定を行い、ガス漏れか否かをより正確に判定することが可能となる。なお、この第2判定では、検出タイミングにおける電気抵抗値のうち、第1判定に用いた電気抵抗値より後に検出される安定した状態の電気抵抗値が用いられ、さらに、第1閾値よりも厳しい基準の第2閾値が用いられるため、第1判定よりも精度の高い判定を行うことができる。例えば、第2判定において、電気抵抗値が第2閾値以下である場合にはガス漏れが生じているものとしてガス漏れ警報を発し、第2閾値を超えている場合にはガス漏れが生じているか否か確定することができないので、より正確に判定するため、ガス種判定手段によるガス種の判定を行う構成とすることができる。
According to the gas detection device and the gas detection method of the above-described
Thereby, when a simple determination is performed by the first determination and it is considered that no gas leakage occurs, the determination with higher accuracy is omitted, thereby simplifying the configuration and reducing power consumption. be able to.
Furthermore, according to the gas detection device and the gas detection method of the first configuration, when the electric resistance value is lower than the first threshold value in the first determination, the gas detection unit is further used in the first determination. Using the electric resistance value as the electric characteristic at the detection timing detected after the electric resistance value, a second value indicating whether the electric resistance value is equal to or smaller than a second threshold value (alarm threshold value) that is smaller than the first threshold value. Since the determination is performed, when it is determined in the first determination that there is a possibility of gas leakage, the second determination is performed based on the second threshold with higher accuracy, and it is possible to determine more accurately whether or not there is gas leakage. It becomes possible. In this second determination, among the electric resistance values at the detection timing, an electric resistance value in a stable state that is detected after the electric resistance value used in the first determination is used, and more severe than the first threshold value. Since the reference second threshold value is used, a determination with higher accuracy than the first determination can be performed. For example, in the second determination, if the electrical resistance value is less than or equal to the second threshold value, a gas leak alarm is issued assuming that a gas leak has occurred, and if it exceeds the second threshold value, has a gas leak occurred? Since it is not possible to determine whether or not, in order to make a more accurate determination, the gas type determination unit can determine the gas type.
〔構成2〕
本発明に係るガス検知装置は、上記構成1のガス検知装置の構成に加えて、その特徴構成は、前記筐体の外部に存在する前記検出対象ガスが前記筐体の内部に設けられた前記センサ素子に到達して、前記ガス検知層にて前記検出対象ガスが警報すべき濃度以上存在することを検出することが可能となる時間の下限を検知応答時間とし、
前記筐体の外部に存在する前記検出対象ガスを、前記筐体の内部に設けられた前記センサ素子の前記ガス検知層にて検出することが必要とされる時間を検知応答規定時間とし、
前記検出タイミングが、前記検知応答時間以上、かつ、前記検知応答規定時間よりも短く設定された時間帯内となるように、前記ガス種判定手段による判定結果に基づいて、前記通電周期変更手段が前記通常周期を前記短縮周期に変更する点にある。
[Configuration 2]
In addition to the configuration of the gas detection device of the
The time required to detect the detection target gas existing outside the casing in the gas detection layer of the sensor element provided inside the casing is set as a detection response regulation time,
Before Symbol detection timing, the detection response time or more, the probe response defined as the time becomes shorter set within the time band than on the basis of the determination result by the gas type determination means, the energizing cycle changing means Is that the normal period is changed to the shortened period.
また、本発明に係るガス検知方法は、上記特徴構成を有するガス検知装置により好適に実行されるものであり、上記構成1のガス検知方法の手段に加えて、その特徴手段は、通電周期変更手段が前記ガス種判定手段による判定結果に基づいて、前記検出タイミングが、前記筐体の外部に存在する前記検出対象ガスが前記筐体の内部に設けられた前記センサ素子に到達して、前記ガス検知層にて前記検出対象ガスが警報すべき濃度以上存在することを検出することが可能となる時間の下限である検知応答時間以上、かつ、前記筐体の外部に存在する前記検出対象ガスを、前記筐体の内部に設けられた前記センサ素子において検出することが必要とされる時間である検知応答規定時間よりも短く設定された時間帯内となるように、前記通常周期を前記短縮周期に変更する点にある。
Further, gas detection method according to the present invention, which is preferably performed by gas detecting device having the above construction, in addition to the means of gas detection method having the
上記構成2のガス検知装置及びガス検知方法によれば、筐体の内部にセンサ素子(ガス検知層)が設けられ、外部から筐体の流入口及びフィルタ手段を介して検出対象ガスが流
入するようにパッケージが強化されたガス検知装置において検出対象ガスを検出する場合に、ガス検知層の雰囲気中に存在するガス種を判定した上で、検出対象ガスを検出する検出タイミングが検知応答時間以上かつ検知応答規定時間よりも短く設定された時間帯内となるように通常周期を変更するので、ガス種に応じて必要な場合にのみ検出タイミングを変更することができるとともに、変更された検出タイミングでは、確実に検知応答規定時間を超えないように検出対象ガスを検出することができる。
ここで、検知応答時間は、筐体の外部に存在する検出対象ガスが筐体の内部に設けられたセンサ素子に到達して、ガス検知層にて検出対象ガスが警報すべき濃度以上存在することを検出することが可能となる下限時間であり、上記のようにパッケージが強化されたガス検知装置では、パッケージが強化されていないガス検知装置と比較して長い時間となる傾向にあるものである。また、検知応答規定時間は、筐体の外部に存在する検出対象ガスを、筐体の内部に設けられたセンサ素子のガス検知層にて検出することが必要とされる時間である。なお、検知応答時間は各ガス検知装置について予め計測したものを用いることができ、検知応答規定時間は法律等により予め定められている。
例えば、図5に示すように、検知応答時間45sの強化パッケージのガス検知装置の通電周期を通常周期45s(検出タイミングが45s毎に来る周期)で駆動した場合、第1回目の検出タイミング(0s)と同時にガス漏れが発生した場合(ケース1)は、第2回目の検出タイミングである45s後の検知応答規定時間内(ガス漏れ発生から60s内)に警報する。一方で、第1回目の検出タイミング(0s)後、5s経ってからガス漏れが発生した場合(ケース2)には、ガス漏れから40s後の第2回目の検出タイミング(45s)では検知応答時間を経過していないため、警報すべき濃度以上の検出対象ガスを検出しておらず、警報しないが、ガス種判定手段がガス種を判定して必要に応じて(例えば、検出対象ガスが存在する場合に)、ヒータ層への通電を通常周期45sから短縮周期10sに短縮することにより、ガス漏れから50s後の第3回目の検出タイミング(55s)で警報することができ、ガス漏れから警報を発するまで50sしか経過していないので、検知応答規定時間を満たすことができる。同様に、第1回目の検出タイミング(0s)後、25s経ってからガス漏れが発生した場合(ケース3)には、ガス漏れから20s後の第2検出タイミング(45s)では検知応答時間を経過していないため、警報すべき濃度以上の検出対象ガスを検出しておらず、警報しないが、ガス種判定手段がガス種を判定して必要に応じて(例えば、検出対象ガスが存在する場合に)、ヒータ層への通電を通常周期45sから短縮周期10sに短縮することにより、ガス漏れから50s後の第5回目の検出タイミング(75s)で警報することができ、ガス漏れから警報を発するまで50sの時間しか経過していないので、検知応答規定時間を満たすことができる。なお、ケース3において、第3、第4回目の検出タイミングでは、検知応答時間を経過していないため、警報すべき濃度以上の検出対象ガスを検出しておらず、警報しない。
したがって、パッケージが強化されたガス検知装置を用いて非検出対象ガスの影響を排除して、より正確な検出対象ガスの有無及び濃度の検出を行うことができ、また、ガス種に応じて必要な場合にのみ通常周期を変更(検出タイミングを変更)し無駄に変更が行われることを防止して、消費電力の低減を図ることができる。しかも、ガス漏れ発生から警報を発するまでの時間を極力短くして検知応答規定時間内に警報を発することができる。
さらに、上記構成2のガス検知装置及びガス検知方法によれば、通電周期変更手段が、通常周期を検出タイミングが検知応答時間以上、かつ、検知応答規定時間よりも短く設定された時間帯内となるように変更するに当たり、ガス種判定手段による判定結果が検出対象ガスである場合に、ヒータ層へ通電する通常周期をこの通常周期よりも短縮した短縮周期に変更するので、検出対象ガスが存在して、より精度の高い検出を行う必要がある場合にのみヒータ層の通電を短縮周期に変更して検出を行うことができ、一方で、検出対象ガスが存在しない場合には通常周期のまま検出を行い消費電力の低減を図ることができる。また、パッケージが強化されたガス検知装置において検知応答時間が長くなっているときでも、検出タイミングの周期を短くして、より早期に検出対象ガスを検出することができ、ガス漏れ発生から検出するまでの時間を確実に検知応答規定時間よりも短くすることが可能となる。
よって、検出対象ガスの有無及び濃度の検出を行うにあたり、非検出対象ガスの影響を排除し、消費電力の低減をより確実に図ることができながらも、ガス漏れ発生から警報を発するまでの時間を短くして検知応答規定時間内に警報をより確実に発することができる。
According to the gas detection device and the gas detection method of the
When the detection target gas is detected in the gas detection device whose package is reinforced to enter, the detection timing for detecting the detection target gas is determined after detecting the gas type present in the atmosphere of the gas detection layer. Since the normal period is changed so that it is within the time zone set for more than the time and shorter than the detection response regulation time, the detection timing can be changed only when necessary according to the gas type, and it has been changed. At the detection timing, it is possible to detect the detection target gas so as not to exceed the detection response regulation time.
Here, the detection response time is greater than the concentration at which the detection target gas existing outside the casing reaches the sensor element provided inside the casing and the detection target gas should alarm in the gas detection layer. The gas detection device with the package strengthened as described above tends to have a longer time than a gas detection device with no package reinforcement. is there. Further, the detection response regulation time is a time required to detect the detection target gas existing outside the casing in the gas detection layer of the sensor element provided inside the casing. In addition, the detection response time can use what was measured beforehand about each gas detection apparatus, and detection response regulation time is predetermined by the law etc.
For example, as shown in FIG. 5, when the energization cycle of the gas detection device of the reinforced package with a detection response time of 45 s is driven at a normal cycle of 45 s (a cycle in which detection timing comes every 45 s), the first detection timing (0 s) When a gas leak occurs (case 1) at the same time, a warning is given within the detection response regulation time 45 seconds after the second detection timing (within 60 seconds from the occurrence of the gas leak). On the other hand, if a gas leak occurs after 5 s after the first detection timing (0 s) (case 2), the detection response time at the second detection timing (45 s) after 40 s from the gas leakage. Since the detection target gas above the concentration to be alarmed is not detected and no alarm is issued, the gas type determination means determines the gas type as necessary (for example, the detection target gas exists) In this case, by shortening the energization to the heater layer from the normal cycle 45 s to the shortened cycle 10 s, it is possible to warn at the third detection timing (55 s) after 50 s from the gas leak, and from the gas leak Since only 50 s has elapsed until the is issued, the detection response regulation time can be satisfied. Similarly, if a gas leak occurs after 25 s after the first detection timing (0 s) (case 3), the detection response time elapses at the second detection timing (45 s) 20 s after the gas leak. Since the detection target gas above the concentration to be alarmed is not detected and no alarm is issued, the gas type determination means determines the gas type as necessary (for example, when the detection target gas exists) In addition, by shortening the energization to the heater layer from the normal period 45 s to the shortened period 10 s, it is possible to give an alarm at the fifth detection timing (75 s) after 50 s from the gas leak, and issue an alarm from the gas leak. Since only the time of 50 s has passed, the specified detection response time can be satisfied. In
Therefore, it is possible to detect the presence and concentration of the detection target gas more accurately by eliminating the influence of the non-detection target gas using the gas detection device with an enhanced package, and it is necessary depending on the gas type. Only in such a case, the normal cycle is changed (the detection timing is changed) to prevent the change from being made unnecessarily, and the power consumption can be reduced. In addition, the alarm can be issued within the specified detection response time by minimizing the time from the occurrence of gas leakage until the alarm is issued.
Furthermore, according to the gas detection device and the gas detection method of the above-described
Therefore, in detecting the presence and concentration of the detection target gas, it is possible to eliminate the influence of the non-detection target gas and reduce the power consumption more reliably, but the time from the occurrence of the gas leak until the alarm is issued. The alarm can be issued more reliably within the specified detection response time.
〔構成3〕[Configuration 3]
本発明に係るガス検知装置は、上記構成1又は2のガス検知装置の構成に加えて、その特徴構成は、前記通電周期変更手段が前記通常周期を前記短縮周期に変更した後に、前記ガス検出手段が前記短縮周期における前記検出タイミングにおける前記電気抵抗値に基づいて、前記第2判定を行うように構成された点にある。 The gas detection device according to the present invention is characterized in that, in addition to the configuration of the gas detection device according to the first or second configuration, the gas detection device is configured such that after the energization cycle changing unit changes the normal cycle to the shortened cycle, The means is that the second determination is made based on the electric resistance value at the detection timing in the shortening period.
また、本発明に係るガス検知方法は、上記特徴構成を有するガス検知装置により好適に実行されるものであり、上記構成1又は2のガス検知方法の手段に加えて、その特徴手段は、前記通電周期変更手段が前記通常周期を前記短縮周期に変更した後に、前記ガス検出手段が前記短縮周期における前記検出タイミングにおける前記電気抵抗値に基づいて、前記第2判定を行うように構成された点にある。 The gas detection method according to the present invention is preferably executed by the gas detection device having the above-described characteristic configuration. In addition to the means for the gas detection method of the above-described
上記構成3のガス検知装置及びガス検知方法によれば、前記通電周期変更手段が前記通常周期を前記短縮周期に変更した後に、前記ガス検出手段が前記短縮周期における前記検出タイミングにおける前記電気抵抗値に基づいて、前記第2判定を行うことができる。 According to the gas detection device and the gas detection method of the
〔構成4〕
本発明に係るガス検知装置は、上記構成1又は2のガス検知装置の構成に加えて、その特徴構成は、前記通電周期変更手段が前記通常周期を前記短縮周期に変更した後に、前記ガス検出手段が前記短縮周期における前記検出タイミングにおける前記電気抵抗値に基づいて、当該電気抵抗値が前記第1閾値より低下しているか否かの前記第1判定を行い、その後、前記第2判定を行うように構成された点にある。
[Configuration 4 ]
Gas detecting apparatus according to the present invention, in addition to the gas detecting device having the
また、本発明に係るガス検知方法は、上記特徴構成を有するガス検知装置により好適に実行されるものであり、上記構成1又は2のガス検知方法の手段に加えて、その特徴手段は、前記通電周期変更手段が前記通常周期を前記短縮周期に変更した後に、前記ガス検出手段が前記短縮周期における前記検出タイミングにおける前記電気抵抗値に基づいて、当該電気抵抗値が前記第1閾値より低下しているか否かの前記第1判定を行い、その後、前記第2判定を行うように構成された点にある。
Further, gas detection method according to the present invention, which is preferably performed by gas detecting device having the above construction, in addition to the means of gas detection method having the
上記構成4のガス検知装置及びガス検知方法によれば、第2判定において電気抵抗値が第2閾値を超えている場合にガス種を判定し、判定結果が検出対象ガスである場合には、通常周期を短縮周期に変更して、変更後の短縮周期での検出タイミングにおいて検出された電気抵抗値が第1閾値よりも低下しているか否かの第1判定を行い、その後、前記第2判定を行うので、短縮周期のまま検出を継続するか、通常周期に戻して検出を継続するかを当該第1判定の結果に基づいて決定することができる。例えば、当該第1判定において電気抵抗値が第1閾値よりも低下していない場合には、通常周期に戻して第1判定や第2判定を繰り返し行い、第1閾値以下である場合には、短縮周期のままとし、さらに第2判定を行って、検出対象ガスの検出を継続することができる。
よって、必要な場合にのみ短縮周期による通電を継続し、必要でなければ通常周期による通電に戻すことにより、消費電力の低減を図ることができる。
According to the gas detection device and the gas detection method of the above configuration 4 , when the electric resistance value exceeds the second threshold value in the second determination, the gas type is determined, and when the determination result is the detection target gas, change the normal period shorter period, have first row determines whether the electrical resistance value detected is lower than the first threshold value in detection timing on Speed cycle after the change, then, the first 2 determines the line Unode, or to continue the detection remains shorter period, or to continue the detection back to the normal cycle can be determined based on the first determination result. For example, if the electrical resistance value is not lower than the first threshold value in the first determination, the first determination and the second determination are repeated by returning to the normal cycle, and if it is equal to or lower than the first threshold value, It is possible to continue the detection of the detection target gas by keeping the shortened period and further performing the second determination.
Therefore, power consumption can be reduced by continuing energization with a shortened period only when necessary, and returning to energization with a normal period if not necessary.
〔構成5〕
本発明に係るガス検知装置は、上記構成1から4の何れかのガス検知装置の構成に加えて、その特徴構成は、前記ガス種判定手段が、前記ヒータ層通電時の前記ガス検知層の電気的特性として電気抵抗値の変化状態を用いて、前記雰囲気中に存在するガス種を判定する点にある。
[Configuration 5 ]
The gas detection device according to the present invention is characterized in that, in addition to the configuration of the gas detection device according to any one of the
上記構成5のガス検知装置によれば、ヒータ層通電時のガス検知層の電気抵抗値の変化状態を用いて、雰囲気中に存在するガス種を判定するので、検出対象ガスであるメタンガスであるか、メタンガス以外のガス(一酸化炭素、水素など)であるかを正確に判定することができる。
ここで、ガス種がメタンガスの場合には、例えば、図3に示すように、ヒータ層通電時における通電時間と電気抵抗値との関係は、時間が経過するにつれ電気抵抗値が漸近減少し、所定の値に近づいて安定化する軌跡を描くものである。
一方、ガス種がメタンガス以外のガスの場合には、例えば、図3に示すように、ヒータ層通電時における通電時間と電気抵抗値との関係は、時間が経過するにつれ電気抵抗値が漸近減少し、所定の極小値を経て漸近増加に転じる軌跡を描くものである。この漸近減少は、センサ素子のガス検知層などに吸着した一酸化炭素や水素などのガスが、ヒータ層への通電が行われてガス検知層の温度が上昇する際に燃焼されることにより生じているものである。
したがって、ガス検知層の雰囲気中のガス種を判定するに当たり、ヒータ層通電時における通電時間と電気抵抗値との軌跡が、どのような軌跡を描くかを調べることにより、正確かつ簡便にガス種を判定することができる。
According to the gas detection device of the
Here, when the gas type is methane gas, for example, as shown in FIG. 3, the relationship between the energization time and the electric resistance value during energization of the heater layer is such that the electric resistance value gradually decreases as time passes. It draws a trajectory that stabilizes toward a predetermined value.
On the other hand, when the gas type is a gas other than methane gas, for example, as shown in FIG. 3, the relationship between the energization time and the electric resistance value when the heater layer is energized decreases asymptotically as time elapses. Then, a trajectory that turns asymptotically increasing after a predetermined minimum value is drawn. This asymptotic decrease is caused by gas such as carbon monoxide and hydrogen adsorbed on the gas detection layer of the sensor element being burned when the heater layer is energized and the temperature of the gas detection layer rises. It is what.
Therefore, in determining the gas type in the atmosphere of the gas detection layer, the gas type can be accurately and easily determined by examining what path the energization time and electrical resistance value at the time of energizing the heater layer draw. Can be determined.
〔構成6〕
本発明に係るガス検知装置は、上記構成5のガス検知装置の構成に加えて、その特徴構成は、前記電気抵抗値の変化状態を用いてガス種を判定するに、複数の前記電気抵抗値の差分を用いる点にある。
[Configuration 6 ]
In addition to the configuration of the gas detection device of
上記構成6のガス検知装置によれば、短い時間での電気抵抗値の変化によりガス種を判定することができるので、より簡便にガス種を判定することができる。
すなわち、メタンガス以外のガスの通電時間と電気抵抗値との関係(軌跡)は、上述の通り、極小値から漸近増加する部分を有するため、複数の電気抵抗値を抽出してその差分(通電時間の長い電気抵抗値から通電時間の短い電気抵抗値を引いたときの値)をとることにより、その差分が正となる場合にはメタンガス以外のガスであると即座に判定することができる。
According to the gas detection device having the
That is, since the relationship (trajectory) between the energization time of the gas other than methane gas and the electrical resistance value has a portion that increases asymptotically from the minimum value as described above, a plurality of electrical resistance values are extracted and the difference (energization time). If the difference is positive, it can be immediately determined that the gas is other than methane gas.
〔構成7〕
本発明に係るガス検知装置は、上記構成5のガス検知装置の構成に加えて、その特徴構成は、前記電気抵抗値の変化状態を用いてガス種を判定するに、前記電気抵抗値の極小値の出現を用いる点にある。
[Configuration 7 ]
In addition to the configuration of the gas detection device of the
上記構成7のガス検知装置によれば、短い時間での電気抵抗値の変化によりガス種を判定することができるので、より簡便にガス種を判定することができる。
すなわち、メタンガス以外のガスの通電時間と電気抵抗値との関係(軌跡)は、上述の通り、極小値を有するため、この極小値の出現(存在)を抽出することにより、この極小値が出現(存在)する場合にはメタンガス以外のガスであると即座にガス種を判定することができる。この極小値は、ヒータ層通電時において時間的に比較的早く現れるため短い時間でガス種を判定することができる。なお、メタンガスの場合には、電気抵抗値は所定の値に安定化するため極小値は存在しない。
According to the gas detector of the said
That is, since the relationship (trajectory) between the energization time and the electrical resistance value of gases other than methane gas has a minimum value as described above, this minimum value appears by extracting the appearance (existence) of this minimum value. In the case of (present), it is possible to immediately determine the gas type as a gas other than methane gas. Since this minimum value appears relatively early in time when the heater layer is energized, the gas type can be determined in a short time. In the case of methane gas, there is no minimum value because the electric resistance value is stabilized at a predetermined value.
〔構成8〕
本発明に係るガス検知装置は、上記構成5のガス検知装置の構成に加えて、その特徴構成は、前記電気抵抗値の変化状態を用いてガス種を判定するに、前記電気抵抗値の1階微分値と2階微分値とを用いる点にある。
[Configuration 8 ]
The gas detector according to the present invention is characterized in that, in addition to the configuration of the gas detector of
上記構成8のガス検知装置によれば、短い時間での電気抵抗値の変化によりガス種を判定することができるので、より簡便にガス種を判定することができる。
すなわち、メタンガス以外のガスの通電時間と電気抵抗値との関係(軌跡)は、上述の極小値の出現後に、その極小値から上昇しつつ一定値に漸近する漸近線を描くように増加する形状の軌跡となる。一方で、検出対象ガスであるメタンガスの場合には、電気抵抗値は下降しつつ一定値に漸近する漸近線を描くように減少する。このように、メタンガスの電気抵抗値は、それ以外のガスの電気抵抗値と異なる軌跡を示すため、この1階微分値と2階微分値を求めることによって、ガス種を判定することができる。
すなわち、メタンガス以外のガスの通電時間と電気抵抗値との関係(軌跡)は、上昇しつつ極小値の出現後に漸近線を描くように増加する形状の軌跡となるので、極小値の出現後に1階微分値が正の値となり、2階微分値が負の値となる。一方で、検出対象ガスであるメタンガスの場合には、下降しつつ極小値の出現後に漸近線を描くように減少する軌跡となるので、極小値が出現することなく1階微分値が0以下の値を維持し、2階微分値が0以上の値となる。従って、このように1階微分値と2階微分値の正負関係を確認することで、ガス種を判定することができる。
According to the gas detection device having the above-described
In other words, the relationship (trajectory) between the energization time of the gas other than methane gas and the electric resistance value increases so as to draw an asymptotic line that gradually rises from the minimum value and asymptotically approaches a constant value. The trajectory. On the other hand, in the case of methane gas, which is a detection target gas, the electric resistance value decreases so as to draw an asymptotic line that asymptotically approaches a constant value. Thus, since the electric resistance value of methane gas shows a different locus from the electric resistance values of other gases, the gas type can be determined by obtaining the first-order differential value and the second-order differential value.
That is, the relationship (trajectory) between the energization time of the gas other than methane gas and the electric resistance value becomes a locus having a shape that increases while drawing an asymptotic line after the appearance of the minimum value, and therefore, 1 after the appearance of the minimum value. The second order differential value is a positive value, and the second order differential value is a negative value. On the other hand, in the case of methane gas, which is the detection target gas, the trajectory decreases so as to draw an asymptotic line after the appearance of the minimum value while descending, and therefore the first-order differential value is 0 or less without the appearance of the minimum value. The value is maintained and the second-order differential value is 0 or more. Therefore, the gas type can be determined by confirming the positive / negative relationship between the first-order differential value and the second-order differential value.
〔構成9〕
本発明に係るガス検知装置は、上記構成5のガス検知装置の構成に加えて、その特徴構成は、前記電気抵抗値の変化状態を用いてガス種を判定するに、複数の前記検出タイミングにおける前記電気抵抗値を用いる点にある。
[Configuration 9 ]
In addition to the configuration of the gas detection device of the
上記構成9のガス検知装置によれば、短い時間での電気抵抗値の変化によりガス種を判定することができるので、より簡便にガス種を判定することができる。
すなわち、メタンガス以外のガスの通電時間と電気抵抗値との関係(軌跡)は、上述の極小値の出現後に、その極小値から上昇しつつ一定値に漸近する漸近線を描くように増加する軌跡となる。一方で、検出対象ガスであるメタンガスの場合には、下降しつつ一定値に漸近する漸近線を描く軌跡となる。従って、メタンガス以外のガスの1階微分値が極小値の出現後、正の値となるのに対して、メタンガスの1階微分値は0以下の値となる。これにより、電気抵抗値の1階微分値によって、ガス種を判定することができる。また、電気抵抗値の一つの検出タイミングにおける1階微分値よりも複数の検出タイミングにおける1階微分値によってガス種を判定することで、計測のエラーやノイズなどによる誤判定をなくして、ガス種を正確に判定することができる。
According to the gas detector of the
In other words, the relationship (trajectory) between the energizing time of the gas other than methane gas and the electrical resistance value is a trajectory that increases so as to draw an asymptotic line that gradually rises from the minimum value and gradually approaches a certain value after the appearance of the minimum value. It becomes. On the other hand, in the case of methane gas, which is the detection target gas, it becomes a trajectory that draws an asymptote that ascends to a constant value while descending. Therefore, the first-order differential value of a gas other than methane gas becomes a positive value after the appearance of the minimum value, whereas the first-order differential value of methane gas is a value of 0 or less. Thereby, the gas type can be determined by the first-order differential value of the electrical resistance value. Further, by determining the gas type based on the first-order differential values at a plurality of detection timings rather than the first-order differential value at one detection timing of the electrical resistance value, it is possible to eliminate erroneous determination due to measurement errors, noises, etc. Can be accurately determined.
〔構成10〕
本発明に係るガス検知装置は、上記構成1から9の何れかのガス検知装置の構成に加えて、その特徴構成は、前記センサ素子が、電気絶縁層と、酸化物半導体からなる前記ガス検知層と、前記ガス検知層の前記電気的特性としての電気抵抗値を検出する一対の電極層とを備えた薄膜センサ素子である点にある。
[Configuration 10 ]
The gas detection device according to the present invention is characterized in that, in addition to the configuration of the gas detection device according to any one of the
上記構成10のガス検知装置によれば、センサ素子が薄膜状の薄膜センサ素子により構成されているので、薄膜センサ素子を構成するガス検知層の熱容量は非常に小さく、ヒータ層からの熱の入力に対し非常に応答性が高く構成することができる。
According to the gas detection device having the
〔構成11〕
本発明に係るガス検知装置は、上記構成1から10の何れかのガス検知装置の構成に加えて、その特徴構成は、内蔵された電池からの電力供給により駆動する点にある。
[Configuration 11 ]
The gas detector according to the present invention is characterized in that, in addition to the configuration of any of the
上記構成11のガス検知装置によれば、ガス検知装置は、内蔵された電池からの電力供給により駆動するので、固定の電源の近傍に設置する必要が無くなり、設置性が向上する。
また、上記ガス検知装置においては、ヒータ層への通電を通電時間ができるだけ短くなる周期で行うとともに、通電周期を必要なときのみ短縮し、必要でない場合はできるだけ長い周期の通常周期が採用されているため、消費電力が低減されており、内蔵する電池を用いた場合であっても、所定の期間充分に稼動を続けることができるガス検知装置を構成することができる。
According to the gas detection device having the above-described
In the gas detection device, the heater layer is energized in a cycle in which the energization time is as short as possible, the energization cycle is shortened only when necessary, and a normal cycle having the longest period is employed when not necessary. Therefore, power consumption is reduced, and even when a built-in battery is used, it is possible to configure a gas detection device that can continue to operate sufficiently for a predetermined period.
〔第1実施形態〕
以下、本発明に係るガス検知装置100の第1実施形態について詳細を説明する。
ガス検知装置100は、図1に示すように、検出対象ガスとの接触により電気的特性が変化するガス検知層10及びガス検知層10を加熱するヒータ層6を形成した薄膜センサ素子(センサ素子の一例)20と、ヒータ層6へ所定の通常周期で通電を行って、ガス検知層10の温度を変化させる通電駆動手段12と、ヒータ層6への通電時(検出タイミング)のガス検知層10の電気抵抗値(電気的特性の一例)に基づいて検出対象ガスを検出するガス検出手段13と、ヒータ層6への通電時のガス検知層10の電気抵抗値(電気的特性の一例)に基づいてガス検知層10の雰囲気中に存在するガス種を判定するガス種判定手段14と、ガス種判定手段14によるガス種の判定結果に応じて所定の通常周期を通常周期よりも短縮した短縮周期に変更する通電周期変更手段15と、これらに電力供給するリチウム電池(図示せず)とを備えて構成される。
また、ガス検知装置100では、図2に示すように、薄膜センサ素子20は、検出対象ガスを流入可能な流入口30を備えた筐体31の内部に設けられ、ガス流入口30から筐体の内部に至る間の流路には非検出対象ガスが付着する活性炭吸着層(フィルタ手段の一例)32が設けられている、したがって、薄膜センサ素子20には、外部から流入口30を介してのみ検出対象ガス等が流入されるように構成されており、ガス検知装置100は流入口30以外の箇所が密閉された状態でパッケージ化されている。
なお、後述するように、ガス検知装置100においては、検出対象ガスは、例えば、メタンガスとされており、基本的には、ヒータ層6への通電を所定の周期で断続的に行って、ヒータ層6への通電時の終了間際の高温状態において、ガス検知層10の電気抵抗値が比較的安定する状態(図3では、通電開始から200ms経過時)にてメタンガスを検出するように構成されている。
[First Embodiment]
Hereinafter, the first embodiment of the
As shown in FIG. 1, the
Moreover, in the
As will be described later, in the
なお、図1及び図2は、ガス検知装置100の概略構成を示す図であり、図3は、ヒータ層6への通電時における、空気、空気に1000ppmの濃度で含まれるメタンガス、空気に4000ppmの濃度で含まれるメタンガス、空気に4000ppmの濃度で含まれる水素ガス、空気に500ppmの濃度で含まれる一酸化炭素ガス、それぞれの通電時間と電気抵抗値との関係を示しており、図4は、ガス検出(第1判定及び第2判定)、ガス種判定及び通電周期の変更を示すフローを示している。
1 and 2 are diagrams showing a schematic configuration of the
〔薄膜センサ素子〕
図1に本発明の実施形態に用いた薄膜センサ素子20の構造を示す。
薄膜センサ素子20は、薄膜状の支持層5の外周部又は両端部がSi基板1により支持されたダイアフラム構造の支持基板上に、検出対象ガスの有無及び濃度の少なくとも一方により電気的特性としての電気抵抗値が変化するガス検知層10、及びガス検知層10を加熱するためのヒータ層6を形成して構成されている。
[Thin film sensor element]
FIG. 1 shows the structure of a thin
The thin
次に、薄膜センサ素子20の詳細な構造及び製造方法を説明する。
薄膜センサ素子20は、半導体プロセスによりSi基板1上に、熱酸化膜2、Si3N4膜3、SiO2膜4が順次積層された支持層5を設けて構成され、さらにこの支持層5の上にヒータ層6を設け、当該ヒータ層6の上側に全体を覆う状態でSiO2膜からなる絶縁層(電気絶縁層の一例)7を設けるとともに、当該絶縁層7の上に一対の電極層9を設け、当該一対の電極層9上及びこれら電極層9に渡ってガス検知層10を設けて構成される。さらに、図1に示す例の場合は、一対の電極層9およびガス検知層10の全体を覆う形態で、選択燃焼層11が設けられている。その各々の層厚は0.1〜50μm程度のものである。そして、薄膜センサ素子20による一回のガス検出のために必要な期間の消費電力量が8.0mJ未満とされ、通電を開始してからガス検知層10の温度が所定の高温状態となるまでの薄膜センサ素子20の応答時間は、50〜100msとなる。
ガス検知層10は、例えば酸化スズ(SnO2)のn型半導体を、スパッタリング法などにより形成したものである。
Next, the detailed structure and manufacturing method of the thin
The thin
The
選択燃焼層11は、金属酸化物からなる担体上に触媒を担持して構成されるものであり、触媒を担持した金属酸化物をバインダーを介して互いに結合させて層状に構成するものである。
触媒としては、検出対象ガスに対して干渉ガスともなる還元性ガスを酸化除去できる、パラジウム(Pd)、白金(Pt)、ロジウム(Rh)等を使用する。
担体を構成する金属酸化物としては、例えばアルミナ(Al2O3)、シリカ(SiO2)、酸化スズ(SnO2)、酸化インジュウム(In2O3)、酸化タングステン(WO3)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化チタン(TiO2)、酸化鉄(Fe2O3)、酸化銅(CuO)あるいはこれらの混合物等を使用できる。
また、上記の金属酸化物(触媒を担持する金属酸化物)同士を結合させるバインダーとしては、例えばアルミナ微粉末、アルミナゾル、シリカ微粉末、シリカゾル、マグネシアを使用することができる。
ここで、上記のような触媒、金属酸化物、バインダーはいずれも、1種類を単独で使用してもよいし、2種以上を併用することもできる。
The
As the catalyst, palladium (Pd), platinum (Pt), rhodium (Rh), or the like that can oxidize and remove a reducing gas that also serves as an interference gas with respect to the detection target gas is used.
Examples of the metal oxide constituting the support include alumina (Al 2 O 3 ), silica (SiO 2 ), tin oxide (SnO 2 ), indium oxide (In 2 O 3 ), tungsten oxide (WO 3 ), and zinc oxide. (ZnO), titanium oxide (TiO 2 ), iron oxide (Fe 2 O 3 ), copper oxide (CuO), or a mixture thereof can be used.
Moreover, as a binder which couple | bonds said metal oxide (metal oxide which carry | supports a catalyst), an alumina fine powder, an alumina sol, a silica fine powder, a silica sol, and magnesia can be used, for example.
Here, any of the above catalysts, metal oxides, and binders may be used alone or in combination of two or more.
薄膜センサ素子20は、以下のように製造される。
図1に示すように、両面に熱酸化膜2が付いたSi基板1上に、ダイアフラム構造の支持層5として、Si3N4膜3、SiO2膜4を、順次プラズマCVD法にて形成する。次にダイアフラム構造の中央部分にヒータ層6、このヒータ層6を覆うようにSiO2絶縁層7を、順にスパッタ法で形成する。その上に一対の接合層8、この接合層8の上に一対の電極層9を形成する。成膜はRFマグネトロンスパッタリング装置を用い、通常のスパッタリング法によって行なう。成膜条件は接合層(TaまたはTi)8、電極層(PtまたはAu)9とも同じで、Arガス圧力1Pa、基板温度300℃、RFパワー2W/cm2、膜厚は、例えば接合層8/電極層9=500Å/2000Åとする。
The thin
As shown in FIG. 1, a Si 3 N 4 film 3 and a SiO 2 film 4 are sequentially formed by plasma CVD on a
次に、前記一対の電極層9上及びこれら電極層9に渡ってガス検知層10であるSnO2膜を成膜する。成膜にはRFマグネトロンスパッタリング装置を用い、反応性スパッタリング法によって行なう。ターゲットにはSbを0.5質量%有するSnO2を用いる。成膜条件はArガス圧力2Pa、基板温度150〜300℃、RFパワー2W/cm2である。ガス検知層10の大きさは50〜200μm角程度、厚さは、例えば、0.2〜1.6μm程度が望ましい。
Next, an SnO 2 film, which is the
ガス検知層10の上にはAl2O3、Cr2O3などの多孔質金属酸化物からなる担体にPdまたはPtなどの貴金属酸化触媒を担持し、無機バインダーと溶剤でペースト状にした選択燃焼層材料をスクリーン印刷法により塗布し、500℃で1時間以上焼成することによって、ガス検知層10の全体を覆うように選択燃焼層11を形成する。選択燃焼層11は、ガス検知層10の全体を十分に覆いきる大きさに形成する必要がある。最後に、Si基板1の裏面よりエッチングによりSi(シリコン)を除去し、ダイアフラム構造とする。
選択燃焼層11の役割は、検出対象ガスであるメタンガス以外の水素ガス、一酸化炭素ガス、アルコールガスなどの還元性ガス(非検出対象ガス)を燃焼してガス検知層10に到達しないようにし、薄膜センサ素子20にガス選択性を持たせることにある。さらに、ガス検知層10の表面に酸素を供給することにより、感度を向上する役割をも果たしていると考えられる。
この選択燃焼層11に含まれるPdまたはPtなどの貴金属酸化触媒の担持量は、5〜9質量%(触媒質量/(触媒+担体)質量×100)とする。
On the
The role of the
The supported amount of the noble metal oxidation catalyst such as Pd or Pt contained in the
〔筐体、活性炭吸着層〕
筐体31は、図2に示すように、薄膜センサ素子20を載置して固定可能な円板状のベース31aと、ベース31aに載置固定された薄膜センサ素子20を内部に収容することが可能な円筒状のキャップ31bとを備えて構成されている。この筐体31は、薄膜センサ素子20が内部に設けられた状態のベース31a上にキャップ31bの一端側が溶接され、さらにキャップ31bの他端側には外部から検出対象ガスを流入可能なガス流入口30が形成されて構成されている。このガス流入口30には、ステンレス等の金網が張設されて、検出対象ガスを流入可能に構成されている。従って、筐体31は、ガス流入口30以外から検出対象ガス及び非検出対象ガス等が出入することが困難となるように密閉された状態で、パッケージ化して構成されている。なお、キャップ31bは、ステンレス等のメタルキャップとして、薄膜センサ素子20のパッケージ化を強化する構成とすることもできるが、樹脂等のキャップとして差込式で固定するようにしてもよい。ベース31aは、ベース31aの表裏を貫通する複数本のステムにより支持されている。
さらに、筐体31内において、外部からガス流入口30である金網を通過した箇所には、非検出対象ガスを吸着除去するための活性炭吸着層32が、ステンレス等の活性炭用金網33により支持固定された状態で設けられている。
この活性炭吸着層32は、例えば、活性炭、シリカゲル、あるいは、それら活性炭とシリカゲルとを組み合わせた材料にて形成されている。
そして、ガス流入口30からキャップ31b内に流入するガス中に含まれる非検出対象ガス(例えば、アルコール等の有機溶剤のガス、シリコン蒸気、NOx)等を活性炭吸着層32により吸着除去する構成となっている。なお、活性炭吸着層32は、活性炭量の増加、粒度分布の改善、充填密度の変更、機能の異なる活性炭の積層等を調整して、薄膜センサ素子20のパッケージを強化する構成とすることもできる。例えば、表1で示したような、各種パッケージとして構成することが可能である。なお、上述したように、薄膜センサ素子20のパッケージを強化すると、非検出対象ガスの影響を低減することができるが、検出対象ガスの検知応答性が低下することとなる。なお、検知応答時間は、筐体31の外部に存在する検出対象ガスが筐体31の内部に設けられた薄膜センサ素子20に到達して、ガス検知層10にて検出対象ガスが警報すべき濃度以上存在することを検出することが可能となる下限時間であり、上記のようにパッケージが強化されたガス検知装置100では、パッケージが強化されていないガス検知装置100と比較して長い時間となる傾向にある。
ここで、本実施形態における図5、図7に示す例では、薄膜センサ素子20のパッケージとして、表1に示す強化構造で標準活性炭、厚さ2倍(通常の厚さに対し2倍)、メタルキャップ溶接式の構成を採用し、検知応答時間が45sのものを採用している。
[Case, activated carbon adsorption layer]
As shown in FIG. 2, the
Further, an activated
The activated
A configuration in which non-detection target gas (for example, gas of organic solvent such as alcohol, silicon vapor, NOx) or the like contained in the gas flowing into the
Here, in the example shown in FIG. 5 and FIG. 7 in the present embodiment, as the package of the thin
〔通電駆動手段〕
次に、通電駆動手段12は、ヒータ層6へのパルス状の通電を所定の通常周期で断続的に行って、ガス検知層10の温度を高温状態と低温状態との間で繰り返し変化させることができるように構成されている。このパルス通電は、例えば、パルス通電から次のパルス通電が行われるまでの間隔を45s周期とし、その45sのうち、ヒータ層通電を200msの間実施し、44.80sの間実施しないように、断続的に(繰り返し)行うことができる。すなわち、図5における検出タイミングが、パルス通電から次のパルス通電が行われるまでの間隔(45s周期)で存在する。
また、通電駆動手段12は、後述する通電周期変更手段15から通電周期を変更する通電周期変更信号を受信したときは、通常周期をこの通常周期よりも短縮した短縮周期とすることができるように構成されている。このときのパルス通電は、例えば、パルス通電から次のパルス通電が行われるまでの間隔を10s周期とし、その10sのうち、ヒータ層通電を200msの間実施し、9.80sの間実施しないように、断続的に(繰り返し)行うことができる(図3、図5参照)。
ここで、メタンガスを良好に検出することができる上記高温状態は、検出対象ガスに応じて設定することができ、例えば、メタンガスの場合には、350℃〜450℃(高温状態)とすることにより精度高く検知することができる。
また、通電駆動手段12がヒータ層6を高温状態にまで加熱する際には、薄膜センサ素子20の周囲温度を検出して、この周囲温度に応じて補正を行った上で、ヒータ層6への通電を制御することが好ましい。これにより、適切な通電により、ヒータ層6の温度を高温状態にまで正確に加熱することができる。
[Energization drive means]
Next, the energization driving means 12 intermittently performs pulsed energization to the
Further, when the
Here, the said high temperature state which can detect methane gas favorably can be set according to detection object gas, for example, in the case of methane gas, it is set as 350 to 450 degreeC (high temperature state). It can be detected with high accuracy.
Further, when the
〔ガス検出手段〕
ガス検出手段13は、ガス検知層10の温度が検出対象ガスを精度高く検出可能な温度になった状態(高温状態)での、ガス検知層10の電気抵抗値に基づいて、検出対象ガスの有無や濃度を検出することができるように構成されている。すなわち、ヒータ層6に通電してメタンガス存在下でガス検知層10が高温状態となるに従い、このガス検知層10の電気抵抗値が低下して所定の電気抵抗値に近づいて安定化するため、この安定化した電気抵抗値を用いることにより、メタンガスの有無や濃度を正確かつ精度の高い状態で検出することができる。なお、上記電気抵抗値は、薄膜センサ素子20中に直列に設けられた固定抵抗と可変抵抗のうち、可変抵抗の電気抵抗値を意味している。
具体的には、図3に示すように、本実施形態において、上記通電駆動手段12による通電が開始されてからヒータ層6への通電が終了する200ms経過時点までとされる時間帯内において、安定化した電気抵抗値が得られるのは、ヒータ層6への通電が終了する間際である200ms経過時であるので、この200ms経過時にメタンガスを検出するように設定されている(図3上、第2判定と記載)。したがって、ガス検知層10の雰囲気中にメタンガスが存在する場合と存在しない場合の電気抵抗値や、雰囲気中(例えば、空気中)に特定の濃度のメタンガスが存在する場合の電気抵抗値を予めガス検知装置(薄膜センサ素子)ごとに設定しておき、この設定結果と通電開始から200ms経過時に検出した電気抵抗値とを比較することにより、メタンガスの有無や濃度を検出することができる。例えば、通電開始から200ms経過時に検出した電気抵抗値がメタンガス漏れ用の警報閾値(メタンガスが空気中に2000ppm程度の濃度で存在する場合の電気抵抗値:第2閾値の一例)よりも低下している場合(メタンガスが空気中に4000ppmの濃度で存在する場合など)には、メタンガスが漏れているものとしてガス漏れを検出することができる。
一方、ガス検出手段13は、通電駆動手段12による通電が開始されてヒータ層6への通電が終了する間際である200ms経過時の電気抵抗値を用いて上記第2判定を行う前、すなわち、通電が開始された後、第2判定が行われる前に検出した電気抵抗値を用いて第1判定を行うことが可能に構成されている。この際には、上記第2判定において、第2閾値としての警報閾値よりも大きな電気抵抗値の第1閾値を用いて第1判定を行うことにより、第2判定よりも緩い基準で簡易な判定を第2判定よりも先に行うことができる。これにより、第1判定により簡易な判定を行ってガス漏れが生じていないと考えられる場合には、より精度の高い判定(第2判定等)を省略することにより、簡易な構成とするとともに消費電力の低減を図ることができる。
具体的には、図3に示すように、第1判定では、通電開始から100ms経過時に検出した電気抵抗値が第1閾値よりも低下している場合には、第2判定を行う必要があるものとして判断する。ここで、第1閾値は、例えば、空気中に比較的低濃度(例えば、1000ppm程度)のメタンガスが存在する場合と、空気中に水素ガス(例えば、4000ppm程度)や一酸化炭素ガス(例えば、500ppm程度)等のメタンガス以外のガスが存在する場合とをある程度弁別することができる電気抵抗値に設定されるとともに、さらに、第1判定が行われるタイミングは、第1閾値が上記のような弁別ができるようなヒータ層6への通電の開始からの経過時間(図3では、100ms程度)に設定されている。これにより、精度は低いものの、第1閾値よりも電気抵抗値が低下していない場合には、空気や比較的低濃度のメタンガスが存在しており、警報の必要がないと判断して、第2判定を省略でき、一方、電気抵抗値が低下している場合は、メタンガス以外のガスや比較的高濃度のメタンガスが存在している可能性が高いものと判断して、より精度の高い第2判定を行うことができる。
したがって、本実施形態において、ガス検出手段13は、第1閾値による第1判定を行い、必要に応じて第2判定を行うように構成されている。なお、第2判定が行われた結果に従って、後述するガス種判定手段14によるガス種の判定が行われる。
[Gas detection means]
The gas detection means 13 detects the detection target gas based on the electric resistance value of the
Specifically, as shown in FIG. 3, in the present embodiment, within the time period from the start of energization by the energization driving means 12 until the elapse of 200 ms when the energization to the
On the other hand, the
Specifically, as shown in FIG. 3, in the first determination, when the electrical resistance value detected when 100 ms has elapsed from the start of energization is lower than the first threshold value, it is necessary to perform the second determination. Judge as a thing. Here, the first threshold value is, for example, a case where methane gas having a relatively low concentration (for example, about 1000 ppm) is present in the air, and hydrogen gas (for example, about 4000 ppm) or carbon monoxide gas (for example, about 1000 ppm) in the air. The electric resistance value is set so that it can be discriminated to some extent from the case where a gas other than methane gas such as about 500 ppm) is present, and the timing at which the first determination is performed is such that the first threshold value is as described above. Is set to an elapsed time from the start of energization of the heater layer 6 (about 100 ms in FIG. 3). As a result, when the electrical resistance value is not lower than the first threshold value, although the accuracy is low, it is determined that air or a relatively low concentration of methane gas is present, and no alarm is required. 2 can be omitted. On the other hand, if the electrical resistance value is low, it is determined that there is a high possibility that a gas other than methane gas or a relatively high concentration of methane gas is present, and a higher accuracy is obtained. 2 determinations can be made.
Therefore, in this embodiment, the gas detection means 13 is comprised so that 1st determination by a 1st threshold value may be performed and 2nd determination may be performed as needed. Note that, according to the result of the second determination, the gas
〔ガス種判定手段〕
ガス種判定手段14は、ヒータ層6への通電を開始してから通電終了間際程度(例えば、20〜200ms、好ましくは、20〜100ms、より好ましくは20〜80ms程度)の電気抵抗値の変化状態に基づいて、ガス検知層10の雰囲気中に存在するガスの種類を検出することができるように構成されている。ここで、図3に示すように、ヒータ層通電時における通電時間と電気抵抗値との関係(変化状態)は、空気中に含まれるガス種がメタンガスの場合、時間が経過するにつれ電気抵抗値が漸近減少し、所定の値に安定化する軌跡を描くものであり、一方、空気中に含まれるガス種がメタンガス以外の場合、時間が経過するにつれ電気抵抗値が漸近減少し、所定の極小値を経て漸近増加に転じる軌跡を描くものである。したがって、ガス種判定手段14により、ガス検知層10の雰囲気中のガス種を判定するに当たり、ヒータ層通電時における通電時間と電気抵抗値との軌跡が、どのような軌跡を描くかを調べることにより、正確かつ簡便にガス種(検出対象ガスであるメタンガスか、メタンガス以外の一酸化炭素ガス若しくは水素ガス等か)の判定をすることができる。
[Gas type determination means]
The gas type determination means 14 changes the electrical resistance value just after the start of energization to the heater layer 6 (for example, about 20 to 200 ms, preferably about 20 to 100 ms, more preferably about 20 to 80 ms). Based on a state, it is comprised so that the kind of gas which exists in the atmosphere of the
具体的には、ヒータ層通電時における複数の電気抵抗値の差分に基づいて空気中に含まれるガス種を判定する。
すなわち、図3に示すように、ヒータ層6への通電を開始してから通電終了までの時間を200msにした場合に、メタンガス以外のガス(一酸化炭素、水素)である場合の電気抵抗値は、例えば、通電開始から40ms程度経過後、100ms程度経過するまでの間では漸近増加していることから、この40msから100ms間程度での電気抵抗値を2点(例えば、40ms時と60ms時、60ms時と80ms時など)で検出して、通電時間の長い方の電気抵抗値から短い方の電気抵抗値を引いた値(差分)が、正であるときは、メタンガス以外のガスが存在すると判定することができる。一方、メタンガスの場合の電気抵抗値は、上記40msから100ms間では、漸近減少して安定化していることから、上記差分が負であるときは、メタンガスが存在すると判定することができる。なお、図3では、空気に1000ppmの濃度でメタンガスが含まれている場合の電気抵抗値は、第1閾値付近で安定化しつつある。上記では2点の電気抵抗値を用いて差分をとったが、3点以上の電気抵抗値の差分をとってもよく、また、電気抵抗値の微分値から傾きを検出して、ガス種を判定してもよい。
Specifically, the gas type contained in the air is determined based on the difference between a plurality of electrical resistance values when the heater layer is energized.
That is, as shown in FIG. 3, when the time from the start of energization to the
また、ヒータ層通電時における極小値の存在に基づいて空気中に含まれるガス種を判定することもできる。
すなわち、図3に示すようにヒータ層6への通電を開始してから通電終了までの時間を200msにした場合に、メタンガス以外のガス(一酸化炭素、水素)である場合の電気抵抗値は、通電開始から漸近減少し、例えば、20ms程度経過後40ms程度経過するまでの間で極小値を迎え、40ms程度経過後100ms程度経過するまで漸近増加している。したがって、3点(例えば、20ms時、40ms時、60ms時など)の電気抵抗値を検出して、これら電気抵抗値のうち40ms時の電気抵抗値が一番小さい値となっているなど、20ms時から60ms時までの間で電気抵抗値が極小値を有しているときには、メタンガス以外のガスが存在すると判定することができる。一方、メタンガスの場合の電気抵抗値は、通電開始から100msの間では、漸近減少して安定化していることから極小値は存在せず、上記3点(例えば、20ms時、40ms時、60ms時など)の電気抵抗値が極小値を有しないときは、メタンガスが存在すると判定することができる。なお、この際には、さらに、4点以上の電気抵抗値をとってもよく、また、電気抵抗値の微分値から傾きを検出して、ガス種を判定するようにしてもよい。
Moreover, the gas type contained in the air can also be determined based on the presence of the minimum value when the heater layer is energized.
That is, when the time from the start of energization to the
〔通電周期変更手段〕
通電周期変更手段15は、所定の通常周期を通常周期よりも短縮した短縮周期に変更することができるように構成されている。すなわち、通電周期変更手段15は、ガス種判定手段14によるガス種の判定結果に従って、判定結果が検出対象ガスとしてのメタンガスである場合には、通常周期を短縮周期に変更し、一方、判定結果がメタンガス以外のガスの場合には通常周期をそのままの値に維持するように構成されている。これにより、ガス検知層10の雰囲気中に存在するガス種に応じて通電周期を短縮するか否かを判断することができるので、ガス種に応じて短縮が必要な場合にのみ通常周期を短縮して、メタンガスを検出することが可能となる。例えば、図5では、通電周期変更手段15が、通常周期45sを短縮周期10sに短縮するように構成される例を示し、変更後の短縮周期10sを維持して複数の検出タイミングにてメタンガスの検出を行う例も示している。
そして、通電周期変更手段15は、短縮周期における検出タイミングが、検知応答時間以上で、かつ、検知応答規定時間よりも短い時間帯内となるように通常周期を短縮周期に短縮することができるように構成されている。検知応答規定時間は、筐体31の外部に存在する検出対象ガスを、筐体31の内部に設けられた薄膜センサ素子20のガス検知層10にて検出することが必要とされる時間である。なお、検知応答時間は各ガス検知装置について予め計測したものを用いることができ、検知応答規定時間は法律等により予め定められており、これらはガス検知装置100に設けられたメモリ(図示せず)等に記憶されている。
[Energization cycle changing means]
The energization cycle changing means 15 is configured to change a predetermined normal cycle to a shortened cycle shorter than the normal cycle. That is, when the determination result is methane gas as the detection target gas, the energization
And the energization cycle changing means 15 can shorten the normal cycle to the shortened cycle so that the detection timing in the shortened cycle is within the time zone that is equal to or longer than the detection response time and shorter than the specified detection response time. It is configured. The detection response regulation time is a time required to detect the detection target gas existing outside the
〔電池〕
電池は、ガス検知装置100の内部に配置されて、上記各手段に電力を供給するように構成されている。例えば、耐用年数の比較的長いリチウム電池を用いる。
〔battery〕
The battery is arranged inside the
〔メタンガスの有無および濃度の検出、ガス種の判定、通電周期変更〕
以下、図3から図6を用いて、上記構成のガス検知装置100における、ガス検知層10の雰囲気(空気)中に存在するメタンガスの存在の有無・濃度の検出(第1判定、第2判定)、ガス種の判定、及び通常周期の変更に関し、以下に説明する。
[Methane gas presence and concentration detection, gas type determination, energization cycle change]
Hereinafter, the presence / absence / concentration of methane gas present in the atmosphere (air) of the
まず、ガス検出手段13による第1判定について説明すると、図4に示すように、通電駆動手段12によりヒータ層6に通電が開始されると(ステップ#1)、通電の開始から200msが経過するまで通電が行われ、その後通電を停止して通電の開始から45s経過時に再度加熱をする通常周期で、通電と通電の停止が繰り返される(ステップ♯2)。すなわち、図3に示すように、通電の開始から200msが経過するまでの通電時間に、ガス検出手段13により第1判定及び第2判定が行われ、この第1判定や第2判定を行うタイミングが検出タイミングである。
そして、ガス検出手段13は、通電開始から100ms経過時にガス検知層10の電気抵抗値を検出して、この電気抵抗値が第1閾値よりも低下しているか否かの第1判定を行う(ステップ#3)。電気抵抗値が第1閾値よりも低下していない場合には(ステップ#3:No)、ガス検知層10の雰囲気には、空気、或いは空気中に比較的低濃度(例えば、1000ppm程度)のメタンガスが存在するものとして(図3参照)、ステップ#2に戻り通常周期にて第1判定による検出を行う。一方、電気抵抗値が第1閾値よりも低下している場合には(ステップ#3:Yes)、空気中に水素ガス(例えば、4000ppm程度)や一酸化炭素ガス(例えば、500ppm程度)等のメタンガス以外のガス、或いはメタンガスが高濃度(例えば、4000ppm程度)で存在する可能性があるものとして(図3参照)、より高精度な第2判定を行うためステップ♯4に進む。これにより、第2判定を行う前に、第1判定により簡易な判定を行って、所定濃度以上のメタンガス漏れが生じていないと考えられる場合には、より精度の高い判定を省略することにより、簡易な構成とするとともに消費電力の低減を図ることができる。
First, the first determination by the gas detection means 13 will be described. As shown in FIG. 4, when energization of the
And the gas detection means 13 detects the electrical resistance value of the
次に、ガス検出手段13は、通電開始から200ms経過時にガス検知層10の電気抵抗値を検出して、この電気抵抗値が警報閾値(第2閾値)以下であるか否かの第2判定を行う(ステップ#4)。電気抵抗値が警報閾値以下である場合には(ステップ#4:Yes)、比較的高濃度のメタンガス(例えば、空気中に4000ppm程度)が存在しているものとして、ガス漏れ警報を発する(ステップ♯6)。これにより、電気抵抗値が警報閾値以下となることにより、雰囲気中のメタンガス濃度が所定の濃度よりも濃くなったものと判断でき、この場合、ガス検知装置100の周囲に存在する人にスピーカ等からの警報の発生や液晶ディスプレイでの警報の表示などにより、メタンガス漏れの異常状態の発生を報知することができる。
一方で、電気抵抗値が警報閾値を超えている場合には(ステップ#4:No)、第1判定における電気抵抗値が第1閾値よりも低下している原因が、メタンガス以外のガスによるものかメタンガスの影響によるものかを特定することができないため、ガス種判定手段14によりガス種の判定を行う(ステップ#5)。
Next, the gas detection means 13 detects the electric resistance value of the
On the other hand, when the electrical resistance value exceeds the alarm threshold value (step # 4: No), the cause that the electrical resistance value in the first determination is lower than the first threshold value is due to a gas other than methane gas. Therefore, the gas type determination means 14 determines the gas type (step # 5).
ガス種判定手段14は、ガス検出手段13により検出されたヒータ層6への通電の開始から200ms経過時における電気抵抗値の変化状態に基づいて、ガス検知層10の雰囲気中のガス種を判定する。すなわち、上記ガス種判定手段14の説明のように、例えば、2点(40ms時と60ms時)の電気抵抗値を検出してその電気抵抗値の差分が、正であれば空気にメタンガスを含まれない(ステップ#7:No)と、負であれば空気にメタンガスが含まれる(ステップ#7:Yes)とガス種を判定する。メタンガスが含まれない、すなわち、メタンガス以外のガスが存在する場合には(ステップ#7:No)、メタンガス漏れが生じていないものとしてステップ#2に戻り、通常周期にて第1判定による検出を行う。メタンガスが含まれる場合には(ステップ#7:Yes)、ステップ♯4に戻り、高濃度のメタンガスが存在しているか否かを再度判定する(第2判定)。
The gas
ここで、ステップ♯4において再度、第2判定を行う際には、通電周期変更手段15が通常周期を短縮周期に変更して(ステップ♯8)、短縮周期における検出タイミングでの電気抵抗値を用いて、第2閾値と比較する第2判定が行われる(ステップ♯4)。
すなわち、通電周期変更手段15は、ガス種判定手段14によりガス検知層10の雰囲気中にメタンガスが存在する場合には、ヒータ層6への通電を通常周期から短縮周期に変更する(ステップ♯8)。
このように、通常周期を短縮周期に変更して第2判定を行うのは、より精度を上げてメタンガスの検出を行うことに加え、背景技術において図15を用いて説明したように、ガス検知装置100のパッケージ強化に伴い検知応答性が低下(検知応答時間が増加)した場合でも、ガス漏れから警報を発するまでの時間が検知応答規定時間を超えない状態で、検出対象ガスを検出するためである。この場合、通電周期変更手段15は、周期的に繰り返される各検出タイミングの何れかが、検知応答時間以上、かつ、検知応答規定時間よりも短く設定された時間帯内となるように、通常周期を短縮した短縮周期とする。
Here, when performing the second determination again in step # 4, the energization cycle changing means 15 changes the normal cycle to the shortened cycle (step # 8), and the electrical resistance value at the detection timing in the shortened cycle is set. The second determination to be compared with the second threshold is performed (step # 4).
That is, the energization
As described above, the second determination is performed by changing the normal cycle to the shortened cycle, in addition to detecting methane gas with higher accuracy, as described with reference to FIG. 15 in the background art. In order to detect the detection target gas in a state where the time from the gas leakage to issuing an alarm does not exceed the detection response specified time even when the detection responsiveness decreases (detection response time increases) with the package strengthening of the
このステップ♯8により、例えば、図5に示すように、検知応答時間45sの強化パッケージのガス検知装置100の通電周期を通常周期45s(検出タイミングが45s毎に来る周期)で駆動した場合、第1回目の検出タイミング(0s)と同時にガス漏れが発生した場合(ケース1)は、第2回目の検出タイミングである45s後の検知応答規定時間内(ガス漏れ発生から60s内)に警報する。一方で、第1回目の検出タイミング(0s)後、5s経ってからガス漏れが発生した場合(ケース2)には、ガス漏れから40s後の第2回目の検出タイミング(45s)では検知応答時間を経過していないため、警報すべき濃度以上の検出対象ガスを検出しておらず、警報しないが、ガス種判定手段15が警報すべき濃度未満の検出対象ガスを検知してガス種を判定して必要に応じて(例えば、検出対象ガスが存在する場合に)、ヒータ層6への通電を通常周期45sから短縮周期10sに短縮することにより、ガス漏れから50s後の第3回目の検出タイミング(55s)で警報することができ、ガス漏れから警報を発するまで50sしか経過していないので、検知応答規定時間を満たすことができる。同様に、第1回目の検出タイミング(0s)後、25s経ってからガス漏れが発生した場合(ケース3)には、ガス漏れから20s後の第2検出タイミング(45s)では検知応答時間を経過していないため、警報すべき濃度以上の検出対象ガスを検出しておらず、警報しないが、ガス種判定手段15が警報すべき濃度未満の検出対象ガスを検知してガス種を判定して必要に応じて(例えば、検出対象ガスが存在する場合に)、ヒータ層6への通電を通常周期45sから短縮周期10sに短縮することにより、ガス漏れから50s後の第5回目の検出タイミング(75s)で警報することができ、ガス漏れから警報を発するまで50sの時間しか経過していないので、検知応答規定時間を満たすことができる。なお、図5のケース3において、第3、第4回目の検出タイミングでは、検知応答時間を経過していないため、警報すべき濃度以上の検出対象ガスを検出しておらず、警報しない。
In this
ここで、図6に、複数のガス検知装置100について、通電周期変更手段15が上記のように通常周期を短縮周期に変更した場合、及び通常周期を短縮周期に変更しない場合に、ガス漏れ発生から警報までの時間(縦軸)と、検出タイミングからガス漏れ発生までの遅れ時間(横軸)との関係を示す。なお、図6では、通常周期は45s、短縮周期は10s、検知応答規定時間は60sに設定した。また、ガス検知装置の検知応答時間は、表1で示す検知応答時間が25s、45s、50sのものを用いた。具体的には、実施例1、2が表1において検知応答時間が45s、50sのそれぞれのガス検知装置100で、通常周期を短縮周期に変更する形態の本願の実施例である。一方、比較例1、2、3が表1において検知応答時間が25s、45s、50sのそれぞれのガス検知装置で、通常周期のみで短縮周期に変更しない形態の従来の例である。
図6から判明するように、本願に係る実施例1及び2では、検知応答時間が45s、50sと比較的長い(パッケージが強化され、非検出対象ガスによる影響を受けにくい)にも拘わらず、ガス漏れ発生の遅れ時間がどの値をとった場合でも、警報までの時間は検知応答規定時間である60sよりも短い時間となっており検知応答規定時間を超えることはなく、確実にかつ早期に警報を発することが可能となっている。
一方、比較例1では、ガス漏れ発生の遅れ時間がどの値をとった場合でも、警報までの時間は検知応答規定時間である60sよりも短い時間となっているが、検知応答時間が短い、すなわち、ガス検知装置の気密性や活性炭吸着層の機能が低い状態であり、非検出対象ガスの影響を受け易く、正確なメタンガスの検出を行うことが困難となる場合がある。
他方、比較例2、3では、検知応答時間が45s、50sと比較的長い(パッケージが強化され、非検出対象ガスによる影響を受けにくい)ものの、ガス漏れ発生の遅れ時間が所定の値をとった場合には、警報までの時間が検知応答規定時間である60sよりも長くなってしまい、検知応答規定時間を満足することができなくなっている。
よって、本願のように、通電周期変更手段15によりヒータ層6に通電する通常周期を短縮周期に短縮することにより、パッケージが強化されたガス検知装置100を用いて非検出対象ガスの影響を排除して、より正確な検出対象ガスの有無及び濃度の検出を行うことができ、また、ガス種に応じて必要な場合にのみ通常周期を変更(検出タイミングを変更)し無駄に変更が行われることを防止して、消費電力の低減を図ることができる。しかも、ガス漏れ発生から警報を発するまでの時間を極力短くして検知応答規定時間内に警報を発することができる。
Here, in FIG. 6, for a plurality of
As can be seen from FIG. 6, in Examples 1 and 2 according to the present application, the detection response time is 45 s and 50 s, which are relatively long (the package is strengthened and hardly affected by the non-detection target gas). Regardless of the value of the delay time of the occurrence of gas leak, the time until the alarm is shorter than the detection response regulation time of 60 s, and does not exceed the detection response regulation time, so that it is surely and early. An alarm can be issued.
On the other hand, in Comparative Example 1, no matter what value the delay time of the occurrence of gas leakage takes, the time until the alarm is shorter than the detection response regulation time of 60 s, but the detection response time is short. That is, the gas tightness of the gas detection device and the function of the activated carbon adsorption layer are low, which is easily influenced by the non-detection target gas, and it may be difficult to accurately detect methane gas.
On the other hand, in Comparative Examples 2 and 3, although the detection response time is relatively long as 45 s and 50 s (the package is strengthened and hardly affected by the non-detection target gas), the delay time of the occurrence of gas leakage takes a predetermined value. In this case, the time until the alarm becomes longer than the detection response prescribed time of 60 s, and the detection response prescribed time cannot be satisfied.
Therefore, as in the present application, the normal cycle in which the
〔第2実施形態〕
上記第1実施形態では、通電駆動手段12及び通電周期変更手段15が、通常周期を45sとし、短縮周期を10sとするとともに、ガス検知装置100に応じた検知応答時間を45s、50s等、及び検知応答規定時間を60sとしたが、検出タイミングが検知応答時間以上で検知応答規定時間よりも短い時間帯内となる構成であれば、これら具体的な数値に限定されるものではない。例えば、図7に示すように、通常周期を100s、短縮周期を30sとし、検知応答時間を80s、検知応答規定時間を120sとすることもできる。
この場合、図7に示すように、検知応答時間80sの強化パッケージのガス検知装置100の通電周期を通常周期100s(検出タイミングが100s毎に来る周期)で駆動した場合、第1回目の検出タイミング(0s)後、20s経ってからガス漏れが発生した場合(ケース1)には、第2回目の検出タイミング(100s)である80s後の検知応答規定時間内(ガス漏れ発生から120s内)に警報する。一方で、第1回目の検出タイミング(0s)後、30s経ってからガス漏れが発生した場合(ケース2)には、ガス漏れから70s後の第2回目の検出タイミング(100s)では検知応答時間を経過していないため、警報すべき濃度以上の検出対象ガスを検出しておらず、警報しないが、ガス種判定手段14が警報すべき濃度未満の検出対象ガスを検知してガス種を判定して必要に応じて(例えば、検出対象ガスが存在する場合に)、ヒータ層6への通電を通常周期100sから短縮周期30sに短縮することにより、ガス漏れから100s後の第3回目の検出タイミング(130s)で警報することができ、ガス漏れから警報を発するまで100sしか経過していないので、検知応答規定時間を満たすことができる。同様に、第1回目の検出タイミング(0s)後、50s経ってからガス漏れが発生した場合(ケース3)には、ガス漏れから50s後の第2回目の検出タイミング(100s)では検知応答時間を経過していないため、警報すべき濃度以上の検出対象ガスを検出しておらず、警報しないが、ガス種判定手段14が警報すべき濃度未満の検出対象ガスを検知してガス種を判定して必要に応じて(例えば、検出対象ガスが存在する場合に)、ヒータ層6への通電を通常周期100sから短縮周期30sに短縮することにより、ガス漏れから110s後の第4回目の(160s)で警報することができ、ガス漏れから警報を発するまで110sの時間しか経過していないので、検知応答規定時間を満たすことができる。なお、ケース3において、第3回目の検出タイミングでは、検知応答時間を経過していないため、警報すべき濃度以上の検出対象ガスを検出しておらず、警報しない。
[Second Embodiment]
In the first embodiment, the
In this case, as shown in FIG. 7, when the energization cycle of the
〔第3実施形態〕
上記第1及び第2実施形態では、図4のステップ♯8において通常周期を短縮周期に変更した後、ステップ♯4に戻って、検出タイミングにおける通電開始から200ms経過時における電気抵抗値が、警報閾値(第2閾値)以下であるかの第2判定を行う構成としたが、図8に示すように、この第2判定を行う前に、第1判定を行う構成とすることもできる。短縮周期における電気抵抗値に関し、第2判定による高精度な判定を行う前に簡易な第1判定を行うことにより(ステップ♯9)、第1判定により電気抵抗値が第1閾値よりも低下していないと判定した場合には(ステップ♯9:No)、第2判定を省略して通常周期に戻す(ステップ♯2)。一方で、当該第1判定において電気抵抗値が第1閾値よりも低下していると判定された場合には(ステップ♯9:Yes)、短縮周期に維持したまま当該短縮周期における電気抵抗値を用いて第2判定を行うことができる(ステップ♯4)。これにより、必要な場合にのみヒータ層6への通電を短縮周期に維持した状態でメタンガスの検出を行い、必要でなければ通常周期による通電に戻すことにより、消費電力の低減を図ることができる。なお、ステップ♯1から♯8については、図4と同様であるため説明を省略する。
[Third Embodiment]
In the first and second embodiments, after changing the normal cycle to the shortened cycle in
〔第4実施形態〕
上記第1実施形態では、ヒータ層通電時における複数の電気抵抗値の差分または極小値の存在に基づいて空気中に含まれるガス種を判定したが、ガス種の判定はこれらに限定されるものではない。例えば、図9に示すように、電気抵抗値の1階微分値と2階微分値とを算出し、1階微分値が0以下の値であり、前記2階微分値が0以上の値である場合は、検知対象ガスであると判断することもできる。
すなわち、図9に示すように、ヒータ層6への通電を開始してから通電終了までの時間を200msにした場合に、メタンガス以外のガス(一酸化炭素、水素)である場合の電気抵抗値は、例えば、通電開始から50ms程度経過後から通電終了まで200msまでは、上昇しつつ一定値に漸近する漸近線を描くように増加していることから、この50msから200msの間において任意の電気抵抗値を検出して、この1階微分値と2階微分値を求めると、1階微分値が正の値となり、2階微分値が負の値となる。これによって、メタンガス以外のガスが存在すると判定することができる。
一方で、検出対象ガスであるメタンガスの場合の電気抵抗値は、上記50msから200ms間では、下降しつつ一定値に漸近する漸近線を描くように減少していることから、1階微分値が0以下の値となり、2階微分値が0以上の値となる。従って、この求められた1階微分値と2階微分値の値が、1階微分値が0以下の値となり、2階微分値が0以上の値となる場合はメタンガスが存在すると判定することができる。
なお、上記では1点の電気抵抗値を用いてガス種を判定したが、より確実な判定のために2点以上の電気抵抗値を用いてガス種を判定してもよい。
また、より確実な判定のために、微分値を計算する点は、ノイズに影響されていない点における電気抵抗値として、さらに、データを移動平均して瞬時的変化を除去するなどの処理を行うこともできる。
[Fourth Embodiment]
In the first embodiment, the gas type contained in the air is determined based on the difference between the plurality of electrical resistance values or the presence of the minimum value when the heater layer is energized, but the determination of the gas type is limited to these. is not. For example, as shown in FIG. 9, the first-order differential value and the second-order differential value of the electrical resistance value are calculated, the first-order differential value is 0 or less, and the second-order differential value is 0 or more. In some cases, it may be determined that the gas is a detection target gas.
That is, as shown in FIG. 9, when the time from the start of energization to the
On the other hand, the electrical resistance value in the case of methane gas, which is the detection target gas, decreases so as to draw an asymptotic line that ascends to a constant value during the period from 50 ms to 200 ms. The value is 0 or less, and the second-order differential value is 0 or more. Therefore, if the first-order differential value and the second-order differential value thus obtained are the values where the first-order differential value is 0 or less and the second-order differential value is 0 or more, it is determined that methane gas exists. Can do.
In the above description, the gas type is determined using the electric resistance value at one point, but the gas type may be determined using electric resistance values at two or more points for more reliable determination.
Further, for more reliable determination, the point at which the differential value is calculated is the electrical resistance value at the point not affected by noise, and further processing such as moving average of the data to remove instantaneous changes is performed. You can also.
〔第5実施形態〕
上記第1実施形態では、ヒータ層通電時における複数の電気抵抗値の差分または極小値の存在に基づいて空気中に含まれるガス種を判定したが、ガス種の判定はこれらに限定されるものではない。例えば、図10〜図12に示すように、複数の検出タイミングにおける電気抵抗値の1階微分値がすべて0以下となる場合は、検知対象ガス(メタンガス)であると判断することもできる。
すなわち、図10〜図12に示すように、ヒータ層6への通電を開始してから通電終了までの時間を200msにした場合に、メタンガス以外のガス(一酸化炭素、水素)である場合の電気抵抗値は、例えば、通電開始から50ms程度経過後から通電終了まで200msまでは、上昇しつつ一定値に漸近する漸近線を描くように増加していることから、この50msから200msの間において任意の複数の検出タイミングにおける電気抵抗値を検出して、これらの1階微分値を求めると、これらの検出タイミングにおける電気抵抗値の1階微分値がすべて正の値となる。これによって、メタンガス以外のガスが存在すると判定することができる。
一方で、検出対象ガスであるメタンガスの場合には、上記50msから200ms間では、下降しつつ一定値に漸近する漸近線を描くように減少していることから、任意の検出タイミングにおける複数の電気抵抗値の1階微分値はすべて0以下の値となる。従って、複数の電気抵抗値の1階微分値の値がすべて0以下の値となる場合はメタンガスが存在すると判定することができる。
なお、図10は電気抵抗値を2点で検出してガス種を判定する場合の一例を示す図である。この場合、通電経過時間が50ms(T1)および150ms(T2)とされる2点の電気抵抗値が検出されている。図11は電気抵抗値を3点で検出してガス種を判定する場合の一例を示す図である。この場合、通電経過時間が50ms(T1)、100ms(T2)および150ms(T3)とされる3点の電気抵抗値が検出されている。
そして、図12は電気抵抗値を4点で検出してガス種を判定する場合の一例を示す図である。この例では、通電経過時間が15ms付近(T1)、30ms付近(T2)、100ms(T3)および150ms(T4)とされる4点の電気抵抗値が検出されている。この場合、15ms付近(T1)、30ms付近(T2)において検出されたメタン以外のガスの電気抵抗値の1階微分値はメタンガスの場合と同様に0以下の値となる。
また、上記では2点〜4点の電気抵抗値を用いてガス種を判定したが、より確実な判定のために5点以上の検出点における電気抵抗値を用いてガス種を判定してもよい。
なお、より確実な判定のために、微分値を計算する複数の点は、ノイズに影響されないように互いに間隔が取られており、また、データを移動平均して瞬時的変化を除去するなどの処理を行うこともできる。
[Fifth Embodiment]
In the first embodiment, the gas type contained in the air is determined based on the difference between the plurality of electrical resistance values or the presence of the minimum value when the heater layer is energized, but the determination of the gas type is limited to these. is not. For example, as shown in FIGS. 10 to 12, when all the first-order differential values of the electrical resistance values at a plurality of detection timings are 0 or less, it can be determined that the gas is a detection target gas (methane gas).
That is, as shown in FIGS. 10 to 12, when the time from the start of energization to the
On the other hand, in the case of methane gas, which is a detection target gas, since it decreases so as to draw an asymptotic line that ascends to a constant value during the period from 50 ms to 200 ms, a plurality of electric powers at arbitrary detection timings. The first-order differential values of resistance values are all 0 or less. Therefore, when all the values of the first-order differential values of the plurality of electrical resistance values are 0 or less, it can be determined that methane gas is present.
In addition, FIG. 10 is a figure which shows an example in the case of determining a gas type by detecting an electrical resistance value by 2 points | pieces. In this case, electrical resistance values at two points where the energization elapsed time is 50 ms (T1) and 150 ms (T2) are detected. FIG. 11 is a diagram illustrating an example in the case where the gas type is determined by detecting the electrical resistance value at three points. In this case, electrical resistance values at three points where energization elapsed time is 50 ms (T1), 100 ms (T2), and 150 ms (T3) are detected.
And FIG. 12 is a figure which shows an example in the case of determining a gas type by detecting an electrical resistance value by 4 points | pieces. In this example, electrical resistance values at four points with energized elapsed times of around 15 ms (T1), around 30 ms (T2), 100 ms (T3), and 150 ms (T4) are detected. In this case, the first-order differential value of the electric resistance value of the gas other than methane detected in the vicinity of 15 ms (T1) and in the vicinity of 30 ms (T2) is a value of 0 or less as in the case of methane gas.
Further, in the above, the gas type is determined using the electric resistance values of 2 to 4, but the gas type may be determined using the electric resistance values at five or more detection points for more reliable determination. Good.
For more reliable determination, the points where the differential value is calculated are spaced from each other so as not to be affected by noise, and the moving average of the data is used to eliminate instantaneous changes. Processing can also be performed.
〔別実施形態〕
(1)上記実施形態においては、ガス検出手段13が、第1判定を行った後、第2判定を行う構成とした。
[Another embodiment]
(1) In the above embodiment, the gas detection means 13 performs the second determination after performing the first determination .
(2)上記実施形態においては、ガス検知層10(薄膜センサ素子20)の電気的特性として可変抵抗の電気抵抗値を用いてガス種及びメタンガスの存在を検出したが、特にこれに限定されるものではなく、ガス検知層10(薄膜センサ素子20)の固定抵抗の出力電圧を用いてガス種及びメタンガスの存在を検出することもできる。 (2) In the above embodiment, the presence of the gas species and methane gas is detected using the electric resistance value of the variable resistance as the electric characteristics of the gas detection layer 10 (thin film sensor element 20), but the present invention is particularly limited to this. Instead, the presence of the gas species and the methane gas can be detected using the output voltage of the fixed resistance of the gas detection layer 10 (thin film sensor element 20).
(3)上記実施形態においては、ガス検知層10を酸化スズ(SnO2)を主成分とする材料からなるものとしたが、特にこれに限定されるものではなく、このような主成分材料としては、検出対象ガスに応じ、酸化インジウム(In2O3)、酸化タングステン(WO3)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化チタン(TiO2)、酸化鉄(Fe2O3)等も採用できる。
(3) In the above embodiment, the
(4)上記実施形態においては、内蔵された電池からの電力供給により駆動するように構成したが、特にこれに限定されるものではなく、ガス検知装置の設置箇所の近傍に固定電源が存在するのであれば、この固定電源から電力供給を受ける構成としてもよい。 (4) In the said embodiment, although it comprised so that it might drive by the electric power supply from the built-in battery, it is not limited to this in particular, A fixed power supply exists in the vicinity of the installation location of a gas detection apparatus. In this case, the power supply may be received from the fixed power source.
(5)上記実施形態においては、図1に示したように、支持層5の上に設けられたヒータ層6の全体を覆う状態でSiO2膜からなる絶縁層7が設けられ、当該絶縁層7の上に一対の電極層9が設けられる構成を例示した。しかし、絶縁層7が設けられることなく、ヒータ層の上に電極層が設けられる構成であってもよい。また、電極層とヒータ層とが独立して設けられず、兼用される構成であってもよい。
(5) In the above embodiment, as shown in FIG. 1, the insulating
(6)上記実施形態においては、検出対象ガスをメタンガスとして説明したが、メタンガスと同様の電気的特性の変化状態をもつガスであれば、特に制限無く検出対象ガスとすることができる。 (6) In the above embodiment, the detection target gas has been described as methane gas. However, any gas can be used as the detection target gas as long as it has a change state in electrical characteristics similar to that of methane gas.
(7)上記実施形態においては、ヒータ層への通電時間を一定時間(例えば200ms)としているが、例えば、第1判定の判定結果に基づいて、ヒータ層への通電時間を変更することもできる。すなわち、図14に示すように、電気抵抗値が第1閾値より低下しているか否かを判定する第1判定を行い、電気抵抗値が第1閾値より低下していなければ、ヒータ層への通電時間を通常通電時間(例えば100ms)とする(ステップ#09)。また、電気抵抗値が第1閾値より低下していると、ヒータ層への通電時間を通常通電時間よりも長い延長通電時間(例えば200ms)とする(ステップ#10)。このように、第1判定の判定結果に基づいて、電気抵抗値が第1閾値より低下していなければ、ヒータ層への通電時間を通常通電時間(例えば100ms)としておくことで、消費電力の低減を図ることができながら、電気抵抗値が第1閾値より低下していると、ヒータ層への通電時間を通常通電時間(例えば100ms)よりも長い延長通電時間(例えば200ms)として、その後に行う第2判定やガス種判定を精度良く行える。ちなみに、図14において、ステップ#09及びステップ#10以外の動作については、図4と同様であるので、その説明は省略する。
(7) In the above embodiment, the energization time to the heater layer is set to a certain time (for example, 200 ms). However, for example, the energization time to the heater layer can be changed based on the determination result of the first determination. . That is, as shown in FIG. 14, a first determination is made to determine whether or not the electrical resistance value is lower than the first threshold value. If the electrical resistance value is not lower than the first threshold value, The energization time is set as a normal energization time (for example, 100 ms) (step # 09). If the electrical resistance value is lower than the first threshold value, the energization time to the heater layer is set to an extended energization time (for example, 200 ms) longer than the normal energization time (step # 10). As described above, based on the determination result of the first determination, if the electric resistance value is not lower than the first threshold value, the energization time to the heater layer is set to the normal energization time (for example, 100 ms), thereby reducing the power consumption. If the electrical resistance value is lower than the first threshold value while being able to be reduced, the energization time to the heater layer is set to an extended energization time (for example, 200 ms) longer than the normal energization time (for example, 200 ms), and thereafter The second determination and the gas type determination can be performed with high accuracy. Incidentally, in FIG. 14, operations other than
本発明は、検出対象ガスの有無及び濃度の検出を行うにあたり、非検出対象ガスの影響を排除し、消費電力の低減を図ることができながらも、ガス漏れ発生から警報を発するまでの時間を短くして検知応答規定時間内に警報を発することが可能なガス検知装置及びガス検知方法に適用することができる。 The present invention eliminates the influence of the non-detection target gas in detecting the presence / absence and concentration of the detection target gas, and can reduce the power consumption while reducing the time from the occurrence of the gas leak to the alarm. The present invention can be applied to a gas detection device and a gas detection method that can be shortened and issue an alarm within a predetermined detection response time.
6: ヒータ層
7: 絶縁層(電気絶縁層)
9: 電極層
10: ガス検知層
12: 通電駆動手段
13: ガス検出手段
14: ガス種判定手段
15: 通電周期変更手段
20: 薄膜センサ素子(センサ素子)
30: ガス流入口
31: 筐体
32: 活性炭吸着層(フィルタ手段)
100:ガス検知装置
6: Heater layer 7: Insulating layer (electrical insulating layer)
9: Electrode layer 10: Gas detection layer 12: Energization drive means 13: Gas detection means 14: Gas type determination means 15: Energization cycle change means 20: Thin film sensor element (sensor element)
30: Gas inlet 31: Housing 32: Activated carbon adsorption layer (filter means)
100: Gas detector
Claims (15)
外部から前記検出対象ガスが流入可能なガス流入口を備えた筐体の内部に前記センサ素子が設けられるとともに、前記ガス流入口から前記筐体の内部に至る間の流路に非検出対象ガスが付着するフィルタ手段と、
前記ヒータ層へ所定の通常周期で通電を行って、前記ガス検知層の温度を変化させる通電駆動手段と、
ヒータ層通電時の検出タイミングにおける前記ガス検知層の前記電気的特性としての電気抵抗値が、第1閾値よりも低下しているか否かの判定を行う第1判定と、前記第1判定に用いた前記電気抵抗値よりも後の前記電気抵抗値を用いて前記第1閾値未満である第2閾値よりも低下しているか否かの判定を行う第2判定とにより、前記検出対象ガスを検出するガス検出手段と、
前記ヒータ層通電時の前記ガス検知層の電気的特性に基づいて、前記ガス検知層の雰囲気中に存在するガス種を判定するガス種判定手段と、
前記ガス検出手段の検出結果および前記ガス種判定手段による判定結果に基づいて、前記通常周期を変更する通電周期変更手段とを備えたガス検知装置であって、
前記通電周期変更手段は、前記第1判定における前記電気抵抗値が、前記第1閾値以上の場合には前記通常周期の通電を継続し、
前記第1閾値未満の場合には、前記第2判定における前記電気抵抗値が前記第2閾値を超えて、かつ前記ガス種判定手段の判定結果が前記検出対象ガスである場合に、前記通常周期をより短縮した短縮周期に変更し、
前記ガス検出手段は、前記第2判定において前記電気抵抗値が、前記第2閾値以下の場合には警報を報知するガス検知装置。 A sensor element in which a gas detection layer whose electrical characteristics are changed by contact with the detection target gas, and a heater layer for heating the gas detection layer;
The sensor element is provided inside a casing having a gas inlet through which the detection target gas can flow from the outside, and a non-detection target gas is provided in a flow path from the gas inlet to the inside of the casing. Filter means to which
Energization driving means for energizing the heater layer at a predetermined normal cycle to change the temperature of the gas detection layer;
Electrical resistance as the electrical characteristic of the gas sensing layer at the detection timing for the heater layer energized, a first determination for determining whether or not being lower than the first threshold value, use the first determination The detection target gas is detected by a second determination that determines whether or not the electric resistance value after the electric resistance value is lower than a second threshold value that is less than the first threshold value. a gas detecting means for,
Gas type determination means for determining a gas type present in the atmosphere of the gas detection layer based on the electrical characteristics of the gas detection layer when the heater layer is energized ;
An energization cycle changing unit that changes the normal cycle based on a detection result of the gas detection unit and a determination result by the gas type determination unit ,
The energization cycle changing means continues energization of the normal cycle when the electrical resistance value in the first determination is equal to or greater than the first threshold value,
When the electrical resistance value in the second determination exceeds the second threshold and the determination result of the gas type determination unit is the detection target gas, the normal period is less than the first threshold. To a shorter shortening cycle,
The gas detector is a gas detector that issues an alarm when the electrical resistance value is equal to or lower than the second threshold value in the second determination .
前記筐体の外部に存在する前記検出対象ガスを、前記筐体の内部に設けられた前記センサ素子の前記ガス検知層にて検出することが必要とされる時間を検知応答規定時間とし、
前記検出タイミングが、前記検知応答時間以上、かつ、前記検知応答規定時間よりも短く設定された時間帯内となるように、前記ガス種判定手段による判定結果に基づいて、前記通電周期変更手段が前記通常周期を前記短縮周期に変更する請求項1に記載のガス検知装置。 The detection target gas existing outside the casing reaches the sensor element provided inside the casing, and the detection target gas is present in a concentration that should be alarmed in the gas detection layer. The lower limit of the time that can be detected is the detection response time,
The time required to detect the detection target gas existing outside the casing in the gas detection layer of the sensor element provided inside the casing is set as a detection response regulation time,
Before Symbol detection timing, the detection response time or more, the probe response defined as the time becomes shorter set within the time band than on the basis of the determination result by the gas type determination means, the energizing cycle changing means There gas detecting device according to claim 1 for changing the normal cycle the shortening period.
外部から前記検出対象ガスが流入可能なガス流入口を備えた筐体の内部に前記センサ素子が設けられるとともに、前記ガス流入口から前記筐体の内部に至る間の流路に非検出対象ガスが付着するフィルタ手段が設けられ、
通電駆動手段が前記ヒータ層へ所定の通常周期で通電を行って、前記ガス検知層の温度を変化させ、
ガス検出手段は、ヒータ層通電時の検出タイミングにおける前記ガス検知層の前記電気的特性としての電気抵抗値が、第1閾値よりも低下しているか否かの判定を行う第1判定と、前記検出タイミングにおいて前記第1判定に用いた前記電気抵抗値よりも後に検出した前記電気抵抗値を用いて前記第1閾値未満である第2閾値よりも低下しているか否かの判定を行う第2判定とにより、前記検出対象ガスを検出し、
ガス種判定手段が、前記ヒータ層通電時の前記ガス検知層の電気的特性に基づいて、前記ガス検知層の雰囲気中に存在するガス種を判定し、
通電周期変更手段が、前記ガス検出手段の検出結果および前記ガス種判定手段による判定結果に基づいて前記通常周期を変更するガス検知方法であって、
前記通電周期変更手段は、前記第1判定における前記電気抵抗値が、前記第1閾値以上の場合には前記通常周期の通電を継続し、
前記第1閾値未満の場合には、前記第2判定における前記電気抵抗値が前記第2閾値を超えて、かつ前記ガス種判定手段の判定結果が前記検出対象ガスである場合に、前記通常周期をより短縮した短縮周期に変更し、
前記ガス検出手段は、前記第2判定において前記電気抵抗値が、前記第2閾値以下の場合には警報を報知するガス検知方法。 Using a sensor element in which a gas detection layer whose electrical characteristics change by contact with a detection target gas and a heater layer for heating the gas detection layer are formed,
The sensor element is provided inside a casing having a gas inlet through which the detection target gas can flow from the outside, and a non-detection target gas is provided in a flow path from the gas inlet to the inside of the casing. Is provided with filter means to which
The energization drive means energizes the heater layer at a predetermined normal cycle, changes the temperature of the gas detection layer,
Gas detection means, the electric resistance value as the electrical characteristic of the gas sensing layer at the detection timing for the heater layer energized, a first determination for determining whether or not being lower than the first threshold value, the A second determination is made as to whether or not the electric resistance value detected after the electric resistance value used for the first determination is lower than a second threshold value that is less than the first threshold value at a detection timing. The detection target gas is detected by the determination,
The gas type determination means determines the gas type present in the atmosphere of the gas detection layer based on the electrical characteristics of the gas detection layer when the heater layer is energized,
An energization cycle changing means is a gas detection method for changing the normal cycle based on a detection result of the gas detection means and a determination result by the gas type determination means ,
The energization cycle changing means continues energization of the normal cycle when the electrical resistance value in the first determination is equal to or greater than the first threshold value,
When the electrical resistance value in the second determination exceeds the second threshold and the determination result of the gas type determination unit is the detection target gas, the normal period is less than the first threshold. To a shorter shortening cycle,
The gas detection method, wherein the gas detection means notifies an alarm when the electrical resistance value is not more than the second threshold value in the second determination .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011073629A JP5749537B2 (en) | 2010-03-30 | 2011-03-29 | Gas detection device and gas detection method |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010079569 | 2010-03-30 | ||
JP2010079569 | 2010-03-30 | ||
JP2011073629A JP5749537B2 (en) | 2010-03-30 | 2011-03-29 | Gas detection device and gas detection method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011227069A JP2011227069A (en) | 2011-11-10 |
JP5749537B2 true JP5749537B2 (en) | 2015-07-15 |
Family
ID=45042539
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011073629A Active JP5749537B2 (en) | 2010-03-30 | 2011-03-29 | Gas detection device and gas detection method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5749537B2 (en) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6001289B2 (en) * | 2012-03-23 | 2016-10-05 | エフアイエス株式会社 | Combustion device |
JP6168919B2 (en) * | 2013-08-28 | 2017-07-26 | 富士電機株式会社 | Gas detection device and gas detection method |
JP6364877B2 (en) * | 2014-03-31 | 2018-08-01 | 富士電機株式会社 | Battery-powered gas alarm and its control device |
JP6468587B2 (en) * | 2014-12-11 | 2019-02-13 | ホーチキ株式会社 | Gas alarm |
JP7038472B2 (en) * | 2016-09-21 | 2022-03-18 | 大阪瓦斯株式会社 | Gas sensor and gas detector |
KR20180094699A (en) * | 2017-02-16 | 2018-08-24 | 삼성전자주식회사 | Electronic device for measuring gas and method thereof |
JP7550687B2 (en) | 2021-03-19 | 2024-09-13 | 大阪瓦斯株式会社 | Gas Detection Devices |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3144427B2 (en) * | 1991-06-07 | 2001-03-12 | 矢崎総業株式会社 | Gas detector |
JP3213148B2 (en) * | 1993-12-27 | 2001-10-02 | 新コスモス電機株式会社 | Gas sensor |
JP2000275202A (en) * | 1999-03-25 | 2000-10-06 | Daikin Ind Ltd | Gas detecting device |
JP3715162B2 (en) * | 1999-12-17 | 2005-11-09 | 矢崎総業株式会社 | Gas detection device and gas detection method |
JP2002243683A (en) * | 2001-02-15 | 2002-08-28 | Figaro Eng Inc | Gas detection method and gas detector |
JP4475834B2 (en) * | 2001-03-05 | 2010-06-09 | 大阪瓦斯株式会社 | Gas detector |
JP4397135B2 (en) * | 2001-08-24 | 2010-01-13 | 大阪瓦斯株式会社 | Battery-operated gas alarm operation method and gas alarm |
JP2006275606A (en) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Kyoto Univ | Gas detecting method and gas detector |
JP5065098B2 (en) * | 2008-03-03 | 2012-10-31 | 大阪瓦斯株式会社 | Gas detection device and gas detection method |
-
2011
- 2011-03-29 JP JP2011073629A patent/JP5749537B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011227069A (en) | 2011-11-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131220 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140909 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150416 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150514 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |