JP5746483B2 - Industrial robot - Google Patents

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Description

本発明は、所定の搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。   The present invention relates to an industrial robot that transports a predetermined transport object.

従来、液晶ディスプレイ用のガラス基板等の大型基板を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、ロボットアームと、このロボットアームに取り付けられるハンドとを備えている。ハンドは、ロボットアームの先端に装着される基台と、この基台に並列に取り付けられた一対の支持部材とを備えている。支持部材の先端には、流体が封入された膨縮自在な中空体が取り付けられている。また、基台および支持部材は、中空状に形成されており、中空体に封入された流体の圧力を検出する圧力センサが基台の内部に配置され、中空体と圧力センサとを繋ぐ配管が支持部材および基台の内部に配置されている。   Conventionally, an industrial robot that conveys a large substrate such as a glass substrate for a liquid crystal display is known (see, for example, Patent Document 1). The industrial robot described in Patent Document 1 includes a robot arm and a hand attached to the robot arm. The hand includes a base attached to the tip of the robot arm and a pair of support members attached in parallel to the base. An expandable / contractible hollow body filled with a fluid is attached to the tip of the support member. In addition, the base and the support member are formed in a hollow shape, a pressure sensor for detecting the pressure of the fluid sealed in the hollow body is disposed inside the base, and a pipe connecting the hollow body and the pressure sensor is provided. It is arrange | positioned inside a support member and a base.

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、何らかの原因で、ロボットの周辺機器にハンドの先端（すなわち、中空体の先端）が衝突すると、圧力センサによって中空体の内部の圧力変化が検出される。中空体の内部の圧力変化が検出されると、ハンドを直ちに停止させるための所定の制御が行われる。また、ハンドの先端と周辺機器との衝突時の衝撃は、中空体の変形で緩和される。そのため、この産業用ロボットでは、ハンドの損傷を軽減することが可能になる。   In the industrial robot described in Patent Document 1, when the tip of the hand (that is, the tip of the hollow body) collides with the peripheral device of the robot for some reason, a pressure change inside the hollow body is detected by the pressure sensor. When a pressure change inside the hollow body is detected, a predetermined control for immediately stopping the hand is performed. Moreover, the impact at the time of a collision with the front-end | tip of a hand and peripheral equipment is relieve | moderated by deformation | transformation of a hollow body. Therefore, this industrial robot can reduce hand damage.

特開２００３−６０００４号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-60004

産業用ロボットで搬送される液晶ディスプレイ用のガラス基板等の搬送対象物は、年々、大型化する傾向にある。一方で、搬送対象物の搬送速度は、従来と同様であるか、あるいは、従来よりも速くなっている。そのため、何らかの原因で、ハンドの先端と周辺機器とが衝突したときの衝撃は、年々、大きくなる傾向にある。   Transport objects such as glass substrates for liquid crystal displays that are transported by industrial robots tend to increase in size year after year. On the other hand, the conveyance speed of a conveyance target object is the same as that of the past, or is faster than the past. Therefore, the impact when the tip of the hand and the peripheral device collide for some reason tends to increase year by year.

上述のように、特許文献１に記載の産業用ロボットでは、中空体の内部の圧力変化が検出されると、ハンドを直ちに停止させるための制御が行われ、また、中空体を変形させることで、ハンドの先端と周辺機器との衝突時の衝撃を緩和している。しかしながら、特許文献１に記載の産業用ロボットでは、中空体の変形量が限られているため、ハンドの先端と周辺機器とが衝突したときの衝撃が大きくなると、中空体の内部の圧力変化が検出された直後にハンドを停止させるための制御を行っても、中空体を変形させるだけでは、ハンドの先端と周辺機器との衝突時の衝撃を十分に緩和できない状況が生じうる。その結果、この産業用ロボットでは、ハンドの先端と周辺機器とが衝突したときの衝撃が大きくなると、衝突時の衝撃で、ハンドの損傷度合が大きくなるおそれがある。   As described above, in the industrial robot described in Patent Document 1, when a change in pressure inside the hollow body is detected, control for immediately stopping the hand is performed, and the hollow body is deformed. The shock at the time of collision between the tip of the hand and peripheral equipment is alleviated. However, in the industrial robot described in Patent Document 1, since the deformation amount of the hollow body is limited, if the impact when the tip of the hand collides with the peripheral device becomes large, the pressure change inside the hollow body is changed. Even if control for stopping the hand immediately after detection is performed, it is possible to cause a situation in which the impact at the time of collision between the tip of the hand and the peripheral device cannot be sufficiently mitigated only by deforming the hollow body. As a result, in this industrial robot, if the impact when the tip of the hand collides with a peripheral device becomes large, the degree of damage to the hand may increase due to the impact at the time of the collision.

そこで、本発明の課題は、ハンドの先端と周辺機器とが衝突したときの衝撃が大きい場合であっても、ハンドの損傷を軽減することが可能な産業用ロボットを提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide an industrial robot capable of reducing damage to the hand even when the impact when the tip of the hand collides with a peripheral device is large.

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、搬送対象物が搭載されるハンドと、産業用ロボットの周辺機器にハンドの先端が衝突したことを検知するための検知機構とを備えるとともに、ハンドが所定方向を向いた状態で略直線状に移動するように構成され、ハンドは、ハンドの先端部分を構成するとともに周辺機器にハンドの先端が衝突したときにハンドの基端側に向かって移動可能な衝撃吸収部材と、ハンドの基端側からハンドの先端側に向かって延びるように形成され搬送対象物の少なくとも一部が搭載される複数の搭載部材とを備え、搭載部材の少なくとも先端側は、中空状に形成され、衝撃吸収部材は、搭載部材の先端側に取り付けられ、衝撃吸収部材の少なくとも基端側は、周辺機器にハンドの先端が衝突したときに搭載部材の中に入るようになっており、検知機構は、搭載部材にその一部が固定されるとともに、衝撃吸収部材に他の一部が固定される配線を備え、周辺機器にハンドの先端が衝突したときの搭載部材に対する衝撃吸収部材の相対移動によって、配線が切断可能となっており、検知機構は、配線が切断されると、搭載部材に対する衝撃吸収部材の相対移動を検知するとともに、搭載部材に対する衝撃吸収部材の相対移動を検知することで、周辺機器にハンドの先端が衝突したことを検知することを特徴とする。 In order to solve the above-described problems, the industrial robot of the present invention is an industrial robot that transports a transport target. The tip of the hand collides with a hand on which the transport target is mounted and a peripheral device of the industrial robot. A detection mechanism for detecting the movement of the hand, and the hand is configured to move in a substantially straight line in a state in which the hand faces a predetermined direction. The hand forms a tip portion of the hand and the tip of the hand is connected to a peripheral device. An impact absorbing member that is movable toward the base end side of the hand when a collision occurs, and at least a part of the object to be transported is mounted so as to extend from the base end side of the hand toward the front end side of the hand. and a plurality of mounting members, at least the distal end side of the mounting member is formed in a hollow shape, the shock absorbing member is attached to the distal end side of the mounting member, at least a base of the shock absorbing member The side is designed to enter the mounting member when the tip of the hand collides with the peripheral device, and the detection mechanism is partially fixed to the mounting member and the shock absorbing member to the other part. The wire is cut by the relative movement of the shock absorbing member with respect to the mounting member when the tip of the hand collides with a peripheral device. While detecting the relative movement of the shock absorbing member with respect to the mounting member and detecting the relative movement of the shock absorbing member with respect to the mounting member, it is detected that the tip of the hand has collided with the peripheral device .

本発明において、産業用ロボットは、たとえば、ハンドの基端側が連結されるアームと、アームを駆動するための駆動源とを備え、検知機構での検知結果に基づいて、周辺機器にハンドの先端が衝突したことが検知されると、駆動源にブレーキがかかる。   In the present invention, the industrial robot includes, for example, an arm to which the proximal end side of the hand is coupled and a drive source for driving the arm, and the distal end of the hand is attached to the peripheral device based on the detection result of the detection mechanism. When the collision is detected, the drive source is braked.

本発明の産業用ロボットは、産業用ロボットの周辺機器にハンドの先端が衝突したことを検知するための検知機構を備えている。そのため、検知機構での検知結果に基づいて、所定方向を向いた状態で略直線状に移動するハンドの先端が周辺機器に衝突したことが検知されたときには、ハンドの基端側が連結されるアームを駆動するための駆動源にブレーキをかけることが可能になる。また、本発明では、ハンドは、ハンドの先端部分を構成するとともに周辺機器にハンドの先端が衝突したときにハンドの基端側に向かって移動可能な衝撃吸収部材を備えている。   The industrial robot of the present invention includes a detection mechanism for detecting that the tip of the hand has collided with a peripheral device of the industrial robot. Therefore, based on the detection result of the detection mechanism, when it is detected that the front end of the hand that moves in a substantially straight line in a predetermined direction collides with a peripheral device, the arm to which the base end side of the hand is connected It becomes possible to brake the drive source for driving the motor. In the present invention, the hand includes an impact absorbing member that constitutes the distal end portion of the hand and is movable toward the proximal end side of the hand when the distal end of the hand collides with a peripheral device.

したがって、所定方向を向いた状態で略直線状に移動するハンドの先端が周辺機器に衝突したときにハンド等が有するエネルギーは、衝撃吸収部材がハンドの基端側に向かって移動している間にアーム等に作用するブレーキによって消費されるとともに、ハンドの基端側へ衝撃吸収部材が移動する際の摩擦抵抗等によって消費される。その結果、本発明では、ハンドの先端と周辺機器とが衝突したときの衝撃が大きい場合であっても、衝撃吸収部材が取り付けられるハンドの本体部分と周辺機器とが衝突する際の衝撃が緩和され、ハンドの本体部分の損傷を軽減することが可能になる。すなわち、本発明では、ハンドの先端と周辺機器とが衝突したときの衝撃が大きい場合であっても、ハンドの損傷を軽減することが可能になる。また、ハンドの先端が衝突する周辺機器の損傷を軽減することが可能になる。   Therefore, when the tip of the hand that moves in a substantially straight line in a state facing a predetermined direction collides with a peripheral device, the energy of the hand etc. is obtained while the shock absorbing member is moving toward the base end side of the hand. It is consumed by the brake acting on the arm and the like, and also consumed by the frictional resistance when the shock absorbing member moves to the proximal end side of the hand. As a result, in the present invention, even when the impact when the tip of the hand collides with the peripheral device is large, the impact when the hand main body portion to which the shock absorbing member is attached collides with the peripheral device is mitigated. This makes it possible to reduce damage to the main body of the hand. That is, according to the present invention, it is possible to reduce damage to the hand even when the impact when the tip of the hand collides with a peripheral device is large. In addition, it is possible to reduce damage to peripheral devices that the hand tip collides with.

また、本発明では、ハンドは、ハンドの基端側からハンドの先端側に向かって延びるように形成され搬送対象物の少なくとも一部が搭載される複数の搭載部材を備え、搭載部材の少なくとも先端側は、中空状に形成され、衝撃吸収部材は、搭載部材の先端側に取り付けられ、衝撃吸収部材の少なくとも基端側は、周辺機器にハンドの先端が衝突したときに搭載部材の中に入るようになっている。そのため、ハンドの基端側に向かって衝撃吸収部材が搭載部材の外側を移動するようにハンドが構成されている場合と比較して、衝撃吸収部材と他の部材との干渉を防止しやすくなる。したがって、衝撃吸収部材をハンドの基端側に向かって確実に移動させることが可能になる。また、ハンドの基端側に向かって衝撃吸収部材が搭載部材の外側を移動するようにハンドが構成されている場合と比較して、衝撃吸収部材が配置されるハンドの先端側を小型化することが可能になる。 In the present invention , the hand includes a plurality of mounting members that are formed so as to extend from the proximal end side of the hand toward the distal end side of the hand and on which at least a part of the object to be transported is mounted, and at least the distal end of the mounting member The shock absorbing member is attached to the tip end side of the mounting member, and at least the base end side of the shock absorbing member enters the mounting member when the tip of the hand collides with a peripheral device. It has become so. Therefore , compared with the case where the hand is configured such that the shock absorbing member moves outside the mounting member toward the base end side of the hand, it becomes easier to prevent interference between the shock absorbing member and other members. . Therefore, the shock absorbing member can be reliably moved toward the proximal end side of the hand. In addition, compared to the case where the hand is configured such that the shock absorbing member moves outside the mounting member toward the base end side of the hand, the distal end side of the hand on which the shock absorbing member is disposed is downsized. It becomes possible.

さらに、本発明では、検知機構は、搭載部材に対する衝撃吸収部材の相対移動を検知することで、周辺機器にハンドの先端が衝突したことを検知するため、周辺機器に衝突する衝撃吸収部材の動きに基づいて、周辺機器にハンドの先端が衝突したことを検知することができる。したがって、検知機構の検知精度を高めることが可能になる。 Furthermore, in the present invention, the detection mechanism, by detecting the relative movement of the shock absorbing member relative to the mounting member, for detecting that the tip of the hand strikes the peripheral movement of the impact absorbing member for colliding with the peripheral devices Based on the above, it is possible to detect that the tip of the hand has collided with the peripheral device . Therefore , the detection accuracy of the detection mechanism can be increased.

また、本発明では、検知機構は、搭載部材にその一部が固定されるとともに、衝撃吸収部材に他の一部が固定される配線を備え、周辺機器にハンドの先端が衝突したときの搭載部材に対する衝撃吸収部材の相対移動によって、配線が切断可能となっており、検知機構は、配線が切断されると、搭載部材に対する衝撃吸収部材の相対移動を検知する。そのため、比較的簡易な構成で、周辺機器にハンドの先端が衝突したことを検知することが可能になる。 In the present invention , the detection mechanism includes a wiring part of which is fixed to the mounting member and another part of the detection mechanism is fixed to the shock absorbing member, and is mounted when the tip of the hand collides with a peripheral device. The wiring can be cut by the relative movement of the shock absorbing member with respect to the member, and the detection mechanism detects the relative movement of the shock absorbing member with respect to the mounting member when the wiring is cut . Therefore , it is possible to detect that the tip of the hand has collided with the peripheral device with a relatively simple configuration.

本発明において、配線は、搭載部材に固定される固定側配線部と、衝撃吸収部材に固定される移動側配線部とを備え、固定側配線部と移動側配線部とは、半田付けされて接続されていることが好ましい。このように構成すると、周辺機器にハンドの先端が衝突したときに、固定側配線部と移動側配線部との境界部である半田付け部で配線が切断されやすくなる。したがって、周辺機器にハンドの先端が衝突したときにハンドの基端側に向かって移動した衝撃吸収部材を再びハンドの先端側へ移動させ、固定側配線部と移動側配線部とを再び半田付けすることで、ハンドおよび検知機構を比較的容易に復元することが可能になる。   In the present invention, the wiring includes a fixed wiring portion fixed to the mounting member and a moving wiring portion fixed to the shock absorbing member, and the fixed wiring portion and the moving wiring portion are soldered. It is preferable that they are connected. If comprised in this way, when the front-end | tip of a hand collides with a peripheral device, it will become easy to cut | disconnect wiring by the soldering part which is a boundary part of a fixed side wiring part and a movement side wiring part. Therefore, when the tip of the hand collides with a peripheral device, the shock absorbing member that has moved toward the base end of the hand is moved again to the tip of the hand, and the fixed side wiring part and the moving side wiring part are soldered again. By doing so, the hand and the detection mechanism can be restored relatively easily.

本発明において、衝撃吸収部材には、搬送対象物の一部が搭載されることが好ましい。このように構成すると、衝撃吸収部材に搬送対象物の搭載機能を持たせることができるため、搭載部材に搬送対象物の全体が搭載されるようにハンドが構成されている場合と比較して、ハンドを小型化することが可能になる。   In this invention, it is preferable that a part of conveyance target object is mounted in an impact-absorbing member. When configured in this manner, since the impact absorbing member can have a function of mounting the transport object, compared to the case where the hand is configured so that the entire transport object is mounted on the mounting member, The hand can be downsized.

本発明において、衝撃吸収部材は、炭素繊維で形成された筒状部材であることが好ましい。このように構成すると、ハンドの先端部分の剛性を高めつつ、ハンドの先端部分の重量を軽減することが可能になる。また、比較的容易に衝撃吸収部材を形成することが可能になる。   In the present invention, the impact absorbing member is preferably a cylindrical member formed of carbon fiber. If comprised in this way, it will become possible to reduce the weight of the front-end | tip part of a hand, improving the rigidity of the front-end | tip part of a hand. In addition, the impact absorbing member can be formed relatively easily.

以上のように、本発明の産業用ロボットでは、ハンドの先端と周辺機器とが衝突したときの衝撃が大きい場合であっても、ハンドの損傷を軽減することが可能になる。   As described above, in the industrial robot of the present invention, it is possible to reduce damage to the hand even when the impact when the tip of the hand collides with peripheral equipment is large.

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットおよびその周辺機器を示す平面図である。It is a top view which shows the industrial robot and its peripheral device concerning embodiment of this invention. 図１のＥ−Ｅ方向から産業用ロボットおよびその周辺機器を示す側面図である。It is a side view which shows an industrial robot and its peripheral device from the EE direction of FIG. 図１に示すハンドの図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。It is a figure of the hand shown in FIG. 1, (A) is a top view, (B) is a side view. 図３のＦ部の構成を説明するための拡大図であり、（Ａ）はハンドの先端が安全カバー等に衝突していないときの状態を示す図、（Ｂ）はハンドの先端が安全カバー等に衝突した直後の状態を示す図である。FIG. 4 is an enlarged view for explaining a configuration of an F part in FIG. 3, (A) is a diagram showing a state when the tip of the hand does not collide with a safety cover or the like, and (B) is a tip of the hand with a safety cover. It is a figure which shows the state immediately after colliding. 図４（Ａ）のＧ−Ｇ方向からハンドの先端側を示す図である。It is a figure which shows the front end side of a hand from the GG direction of FIG. 4 (A).

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１およびその周辺機器を示す平面図である。図２は、図１のＥ−Ｅ方向から産業用ロボット１およびその周辺機器を示す側面図である。 (Schematic configuration of industrial robot)
FIG. 1 is a plan view showing an industrial robot 1 and its peripheral devices according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a side view showing the industrial robot 1 and its peripheral devices from the EE direction of FIG.

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である液晶ディスプレイ用のガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を搬送するための搬送用のロボットである。このロボット１は、特に大型の基板２の搬送に適した大型のロボットである。図１、図２に示すように、ロボット１は、基板２が搭載される２個のハンド３と、２個のハンド３のそれぞれが先端側に連結される２本のアーム４と、２本のアーム４を支持する本体部５と、本体部５を水平方向に移動可能に支持するベース部材６とを備えている。本体部５は、２本のアーム４の基端側を支持するとともに上下動可能な支持部材８と、支持部材８を上下方向に移動可能に支持する柱状部材９と、本体部５の下端部分を構成するとともにベース部材６に対して水平移動可能な基台１０と、柱状部材９の下端が固定されるとともに基台１０に対して旋回可能な旋回部材１１とを備えている。   The industrial robot 1 of this embodiment (hereinafter referred to as “robot 1”) is used for transporting a glass substrate 2 for liquid crystal display (hereinafter referred to as “substrate 2”) as a transport object. The robot. The robot 1 is a large robot particularly suitable for transporting a large substrate 2. As shown in FIGS. 1 and 2, the robot 1 includes two hands 3 on which a substrate 2 is mounted, two arms 4 each of which is connected to the tip side, and two hands 3. A main body 5 that supports the arm 4 and a base member 6 that supports the main body 5 so as to be movable in the horizontal direction are provided. The main body 5 supports the base ends of the two arms 4 and can move up and down, a columnar member 9 that supports the support 8 so as to be movable in the vertical direction, and a lower end portion of the main body 5 , And a base 10 that can move horizontally with respect to the base member 6, and a revolving member 11 that has a lower end of the columnar member 9 fixed and that can revolve with respect to the base 10.

ハンド３の基端は、アーム４の先端に回動可能に連結されている。アーム４は、２個の関節部を有し、本体部５に対して伸縮するように構成されている。具体的には、ハンド３が所定の方向を向いた状態で略直線状に移動するように、アーム４は本体部５に対して伸縮する。また、アーム４の基端は、支持部材８に固定されている。本形態では、２個のハンド３と２本のアーム４とが上下方向に重なるように配置されている。   The proximal end of the hand 3 is rotatably connected to the distal end of the arm 4. The arm 4 has two joint parts and is configured to expand and contract with respect to the main body part 5. Specifically, the arm 4 expands and contracts with respect to the main body portion 5 so that the hand 3 moves in a substantially linear shape with the hand 3 facing a predetermined direction. The base end of the arm 4 is fixed to the support member 8. In this embodiment, the two hands 3 and the two arms 4 are arranged so as to overlap in the vertical direction.

ロボット１は、たとえば、図１、図２に示すように、複数の基板処理装置１３を備える基板処理システム１４に組み込まれて使用される。基板処理システム１４では、ロボット１は、安全カバー１５によって、囲まれている。安全カバー１５は、たとえば、金属製のフレームと、このフレームに固定されるポリ塩化ビニル等の樹脂製のカバー板とを備えており、カバー板が安全カバー１５の側面を構成している。なお、安全カバー１５の所定の箇所には、ハンド３が通過可能な開口部が形成されている。   For example, as shown in FIGS. 1 and 2, the robot 1 is used by being incorporated in a substrate processing system 14 including a plurality of substrate processing apparatuses 13. In the substrate processing system 14, the robot 1 is surrounded by a safety cover 15. The safety cover 15 includes, for example, a metal frame and a cover plate made of resin such as polyvinyl chloride fixed to the frame, and the cover plate constitutes a side surface of the safety cover 15. An opening through which the hand 3 can pass is formed at a predetermined location of the safety cover 15.

ロボット１では、柱状部材９に対して支持部材８がハンド３およびアーム４と一緒に上下動する。また、本体部５に対してアーム４が伸縮する。具体的には、ハンド３の先端が所定の方向を向いた状態でハンド３が直線状に移動するようにアーム４が伸縮する。より具体的には、たとえば、基板処理装置１３にハンド３の先端を向けた状態で、ハンド３が基板処理装置１３に対して直線状に移動して出入りするように、アーム４が伸縮する。さらに、ベース部材６に対して基台１０が水平移動する。また、基台１０に対して旋回部材１１が旋回する。これらの動作の組合せによって、ロボット１は、基板処理装置１３から基板２を搬出したり、基板処理装置１３へ基板２を搬入する。   In the robot 1, the support member 8 moves up and down together with the hand 3 and the arm 4 with respect to the columnar member 9. Further, the arm 4 expands and contracts with respect to the main body 5. Specifically, the arm 4 expands and contracts so that the hand 3 moves linearly with the tip of the hand 3 facing a predetermined direction. More specifically, for example, with the tip of the hand 3 facing the substrate processing apparatus 13, the arm 4 expands and contracts so that the hand 3 moves linearly with respect to the substrate processing apparatus 13. Further, the base 10 moves horizontally with respect to the base member 6. Further, the turning member 11 turns with respect to the base 10. By combining these operations, the robot 1 carries the substrate 2 out of the substrate processing apparatus 13 or carries the substrate 2 into the substrate processing apparatus 13.

（ハンドの構成）
図３は、図１に示すハンド３の図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。図４は、図３のＦ部の構成を説明するための拡大図であり、（Ａ）はハンド３の先端が安全カバー１５等に衝突していないときの状態を示す図、（Ｂ）はハンド３の先端が安全カバー１５等に衝突した直後の状態を示す図である。図５は、図４（Ａ）のＧ−Ｇ方向からハンド３の先端側を示す図である。 (Hand structure)
3A and 3B are views of the hand 3 shown in FIG. 1, in which FIG. 3A is a plan view and FIG. 3B is a side view. FIG. 4 is an enlarged view for explaining the configuration of the F part in FIG. 3, (A) is a diagram showing a state when the tip of the hand 3 does not collide with the safety cover 15 or the like, and (B). It is a figure which shows the state immediately after the front-end | tip of the hand 3 collides with the safety cover 15 grade | etc.,. FIG. 5 is a view showing the tip side of the hand 3 from the GG direction of FIG.

ハンド３は、アーム４の先端側に連結される連結部材１８と、基板２が搭載される搭載部材としての複数のフォーク１９と、ハンド３の先端部分を構成する衝撃吸収部材２０とを備えている。   The hand 3 includes a connecting member 18 connected to the distal end side of the arm 4, a plurality of forks 19 as mounting members on which the substrate 2 is mounted, and an impact absorbing member 20 constituting the distal end portion of the hand 3. Yes.

フォーク１９は、ハンド３の基端部分を構成する連結部材１８からハンド３の先端側に向かって延びるように形成されている。このフォーク１９は、細長い略四角筒状に形成されている。すなわち、フォーク１９は、中空状に形成されている。中空状に形成されるフォーク１９の肉厚は、一定となっている。また、フォーク１９は、高い剛性を確保するとともに軽量化を図るため、たとえば、炭素繊維と樹脂との複合材料で形成されている。なお、フォーク１９は、先端側の肉厚が薄くなるように形成されても良い。また、本形態では、筒形状の炭素繊維に樹脂を含浸させることで炭素繊維と樹脂との複合材料からなるフォーク１９が形成されているが、他の既存の方法でフォーク１９が形成されても良いし、新規の方法でフォーク１９が形成されても良い。   The fork 19 is formed so as to extend from the connecting member 18 constituting the base end portion of the hand 3 toward the distal end side of the hand 3. The fork 19 is formed in a long and narrow rectangular tube shape. That is, the fork 19 is formed in a hollow shape. The thickness of the fork 19 formed in a hollow shape is constant. Further, the fork 19 is formed of, for example, a composite material of carbon fiber and resin in order to ensure high rigidity and reduce weight. In addition, the fork 19 may be formed so that the thickness on the tip side becomes thin. In this embodiment, the cylindrical carbon fiber is impregnated with resin to form the fork 19 made of a composite material of carbon fiber and resin. However, even if the fork 19 is formed by other existing methods, The fork 19 may be formed by a new method.

フォーク１９は、先端側に向かうにしたがって、その左右方向の幅がしだいに狭くなるように形成されている。また、図３（Ｂ）に示すように、フォーク１９の上面１９ａは、水平面となっている。一方、フォーク１９の下面１９ｂは、フォーク１９の先端側に向かってしたがって上方向へ傾斜する傾斜面となっている。すなわち、フォーク１９は、先端側に向かうにしたがって、その上下方向の幅がしだいに狭くなるように形成されている。フォーク１９の上面１９ａは、基板２が搭載される搭載面となっている。上述のように、上面１９ａは、水平面となっているため、本形態では、基板２をフォーク１９に水平に搭載することが可能である。   The fork 19 is formed so that the width in the left-right direction gradually becomes narrower toward the tip side. Further, as shown in FIG. 3B, the upper surface 19a of the fork 19 is a horizontal plane. On the other hand, the lower surface 19 b of the fork 19 is an inclined surface that is inclined upward toward the tip side of the fork 19. That is, the fork 19 is formed such that its vertical width gradually becomes narrower toward the tip side. An upper surface 19a of the fork 19 is a mounting surface on which the substrate 2 is mounted. As described above, since the upper surface 19a is a horizontal plane, the substrate 2 can be mounted horizontally on the fork 19 in this embodiment.

フォーク１９の先端側には、図４、図５に示すように、衝撃吸収部材２０を固定するための２個の固定ブロック２１が固定されている。２個の固定ブロック２１は、フォーク１９の長手方向に所定の間隔をあけた状態でフォーク１９の先端側に固定されている。固定ブロック２１は、上下方向で２分割されるブロック片２２、２３によって構成されている。ブロック片２２は、図５に示すように、フォーク１９の上側面にネジ２４によって固定され、ブロック片２３は、ブロック片２２の下面にネジ２５によって固定されている。ブロック片２２の下面の中心、および、ブロック片２３の上面の中心には、衝撃吸収部材２０を保持するための保持凹部２２ａ、２３ａが上下方向の外側に向かって窪むように形成されている。保持凹部２２ａ、２３ａは、ブロック片２２にブロック片２３が固定された状態で、フォーク１９の長手方向から見たときに、保持凹部２２ａ、２３ａによって形成される貫通孔の形状が略円形状となるように、略半円弧状に形成されている。   As shown in FIGS. 4 and 5, two fixing blocks 21 for fixing the impact absorbing member 20 are fixed to the front end side of the fork 19. The two fixed blocks 21 are fixed to the front end side of the fork 19 with a predetermined interval in the longitudinal direction of the fork 19. The fixed block 21 is composed of block pieces 22 and 23 that are divided into two in the vertical direction. As shown in FIG. 5, the block piece 22 is fixed to the upper surface of the fork 19 with a screw 24, and the block piece 23 is fixed to the lower surface of the block piece 22 with a screw 25. At the center of the lower surface of the block piece 22 and the center of the upper surface of the block piece 23, holding recesses 22a and 23a for holding the shock absorbing member 20 are formed so as to be recessed outward in the vertical direction. The holding recesses 22a and 23a have a substantially circular shape when the through-hole formed by the holding recesses 22a and 23a is viewed from the longitudinal direction of the fork 19 with the block piece 23 fixed to the block piece 22. Thus, it is formed in a substantially semicircular arc shape.

衝撃吸収部材２０は、たとえば、炭素繊維で形成された筒状部材である。具体的には、衝撃吸収部材２０は、炭素繊維と樹脂との複合材料で形成されている。本形態の衝撃吸収部材２０は、円筒状に形成されている。この衝撃吸収部材２０は、複数のフォーク１９のそれぞれの先端側に取り付けられている。具体的には、２個の固定ブロック２１の保持凹部２２ａ、２３ａに衝撃吸収部材２０の基端側が保持されている。本形態では、ブロック片２３を取り外した状態で、保持凹部２２ａの中に衝撃吸収部材２０を配置し、その後、ブロック片２２の下面にブロック片２３を固定することで、フォーク１９の先端側に衝撃吸収部材２０が固定される。   The shock absorbing member 20 is a cylindrical member made of carbon fiber, for example. Specifically, the impact absorbing member 20 is formed of a composite material of carbon fiber and resin. The impact absorbing member 20 of this embodiment is formed in a cylindrical shape. The shock absorbing member 20 is attached to the tip side of each of the plurality of forks 19. Specifically, the base end side of the shock absorbing member 20 is held in the holding recesses 22 a and 23 a of the two fixed blocks 21. In this embodiment, with the block piece 23 removed, the shock absorbing member 20 is disposed in the holding recess 22 a, and then the block piece 23 is fixed to the lower surface of the block piece 22, so The shock absorbing member 20 is fixed.

基板２は、図１に示すように、フォーク１９および衝撃吸収部材２０に搭載されている。すなわち、衝撃吸収部材２０は、ハンド３に搭載される基板２を支持する機能を果たしている。なお、フォーク１９の長さは、たとえば、３ｍ程度であり、フォーク１９の先端からの衝撃吸収部材２０の突出量は、たとえば、５００〜６００ｍｍ程度である。   The substrate 2 is mounted on a fork 19 and an impact absorbing member 20 as shown in FIG. That is, the shock absorbing member 20 functions to support the substrate 2 mounted on the hand 3. In addition, the length of the fork 19 is about 3 m, for example, and the protrusion amount of the shock absorbing member 20 from the tip of the fork 19 is about 500 to 600 mm, for example.

２個の固定ブロック２１のうちのフォーク１９の基端側に配置される固定ブロック２１には、図４に示すように、配線２７の一部を固定するための２個の固定部材２８が固定されている。２個の固定部材２８は、保持凹部２２ａ、２３ａに保持される衝撃吸収部材２０の基端を挟むように配置されている。また、衝撃吸収部材２０の基端には、配線２７の一部を固定するための固定部材２９が固定されている。固定部材２９は、２個の固定部材２８の間に配置されている。   As shown in FIG. 4, two fixing members 28 for fixing a part of the wiring 27 are fixed to the fixing block 21 arranged on the proximal end side of the fork 19 out of the two fixing blocks 21. Has been. The two fixing members 28 are arranged so as to sandwich the base end of the shock absorbing member 20 held in the holding recesses 22a and 23a. A fixing member 29 for fixing a part of the wiring 27 is fixed to the base end of the shock absorbing member 20. The fixing member 29 is disposed between the two fixing members 28.

配線２７は、たとえば、リード線である。この配線２７は、固定部材２８を介してフォーク１９に固定される固定側配線部としての第１配線部３０と、固定部材２９を介して衝撃吸収部材２９に固定される移動側配線部としての第２配線部３１とに分割されている。第１配線部３０と第２配線部３１とは、半田付けされて互いに接続されている。すなわち、第１配線部３０と第２配線部３１との間には、図４（Ａ）に示すように、半田付け部３２が形成されている。配線２７の端部は、たとえば、ロボット１の制御基板（図示省略）に接続されている。アーム４が伸縮してハンド３が移動するときには、この制御基板から配線２７に電流が供給されている。   The wiring 27 is, for example, a lead wire. The wiring 27 includes a first wiring part 30 as a fixed side wiring part fixed to the fork 19 via a fixing member 28 and a moving side wiring part fixed to the shock absorbing member 29 via a fixing member 29. The second wiring part 31 is divided. The first wiring part 30 and the second wiring part 31 are soldered and connected to each other. That is, a soldering portion 32 is formed between the first wiring portion 30 and the second wiring portion 31 as shown in FIG. The end of the wiring 27 is connected to, for example, a control board (not shown) of the robot 1. When the arm 4 extends and contracts and the hand 3 moves, current is supplied from the control board to the wiring 27.

本形態では、何らかの原因で、安全カバー１５や基板処理装置１３等のロボット１の周辺機器にハンド３の先端（すなわち、衝撃吸収部材２０の先端）が衝突すると、固定ブロック２１に保持された衝撃吸収部材２０は、固定ブロック２１の保持力に抗して、図４（Ｂ）に示すように、ハンド３の基端側に向かって移動する。具体的には、ハンド３の先端が安全カバー１５等に衝突すると、衝撃吸収部材２０がフォーク１９に対してハンド３の基端側へ相対移動して、衝撃吸収部材２０の基端側部分または全部が中空状のフォーク１９の中へ入っていく。   In this embodiment, when the tip of the hand 3 (that is, the tip of the shock absorbing member 20) collides with peripheral devices of the robot 1 such as the safety cover 15 and the substrate processing apparatus 13 for some reason, the shock held by the fixed block 21. The absorbing member 20 moves toward the proximal end side of the hand 3 as shown in FIG. 4B against the holding force of the fixed block 21. Specifically, when the front end of the hand 3 collides with the safety cover 15 or the like, the shock absorbing member 20 moves relative to the fork 19 toward the base end side of the hand 3, and the base end side portion of the shock absorbing member 20 or The whole goes into the hollow fork 19.

このとき、配線２７は、フォーク１９に対する衝撃吸収部材２０の相対移動に伴って、図４（Ｂ）に示すように、切断される。具体的には、固定部材２９に固定された第２配線部３１が衝撃吸収部材２０とともにハンド３の基端側へ移動するため、半田付け部３２で配線２７が切断される。上述のように、アーム４が伸縮してハンド３が移動するときには、制御基板から配線２７に電流が供給されている。そのため、衝撃吸収部材２０がハンド３の基端側へ移動して、配線２７が切断されると、配線２７に電流が流れなくなる。   At this time, the wiring 27 is cut as shown in FIG. 4B along with the relative movement of the shock absorbing member 20 with respect to the fork 19. Specifically, since the second wiring portion 31 fixed to the fixing member 29 moves to the proximal end side of the hand 3 together with the shock absorbing member 20, the wiring 27 is cut by the soldering portion 32. As described above, when the arm 4 expands and contracts and the hand 3 moves, current is supplied from the control board to the wiring 27. Therefore, when the shock absorbing member 20 moves to the proximal end side of the hand 3 and the wiring 27 is cut, no current flows through the wiring 27.

本形態では、ハンド３の移動時に配線２７に電流が流れているか否かを検知することで、フォーク１９に対して衝撃吸収部材２０がハンド３の基端側へ相対移動したか否かを検知し、フォーク１９に対して衝撃吸収部材２０がハンド３の基端側へ相対移動したか否かを検知することで、ハンド３の先端が安全カバー１５等に衝突したか否かを検知する。すなわち、本形態では、配線２７が切断されると、フォーク１９に対して衝撃吸収部材２０がハンド３の基端側へ相対移動したことが検知され、ハンド３の先端が安全カバー１５等に衝突したことが検知される。   In this embodiment, it is detected whether or not the shock absorbing member 20 has moved relative to the fork 19 relative to the proximal end side of the hand 3 by detecting whether or not current is flowing through the wiring 27 when the hand 3 is moved. Then, by detecting whether or not the impact absorbing member 20 has moved relative to the fork 19 toward the proximal end side of the hand 3, it is detected whether or not the tip of the hand 3 has collided with the safety cover 15 or the like. That is, in this embodiment, when the wiring 27 is cut, it is detected that the impact absorbing member 20 has moved relative to the fork 19 relative to the proximal end side of the hand 3, and the tip of the hand 3 collides with the safety cover 15 or the like. Is detected.

本形態では、配線２７および配線２７が接続される制御基板等によって、安全カバー１５等の周辺機器にハンド３の先端が衝突したことを検知するための検知機構が構成されている。また、本形態では、この検知機構での検知結果に基づいて、安全カバー１５等にハンド３の先端が衝突したことが検知されると、アーム４を伸縮させるための駆動用モータ（図示省略）にブレーキがかかる。具体的には、駆動用モータには、無励磁差動型ブレーキ（メカニカルブレーキ）、サーボブレーキおよびダイナミックブレーキがかかる。   In this embodiment, the detection mechanism for detecting that the tip of the hand 3 has collided with peripheral devices such as the safety cover 15 is configured by the wiring 27 and the control board to which the wiring 27 is connected. In this embodiment, when it is detected that the tip of the hand 3 has collided with the safety cover 15 or the like based on the detection result of the detection mechanism, a driving motor for extending and retracting the arm 4 (not shown). The brake is applied. Specifically, a non-excited differential brake (mechanical brake), a servo brake and a dynamic brake are applied to the drive motor.

なお、本形態では、フォーク１９の長手方向に所定の間隔をあけた状態で固定される２個の固定ブロック２１に衝撃吸収部材２０が保持されているため、アーム４およびハンド３の旋回時やアーム４の伸縮時に、衝撃吸収部材２０に回転モーメントが作用しても、衝撃吸収部材２０は、フォーク１９の先端側から外れない。一方、ハンド３の先端が安全カバー１５等に衝突して衝撃吸収部材２０の長手方向に衝撃が加わると、その衝撃が比較的小さくても、衝撃吸収部材２０は、フォーク１９に対してハンド３の基端側へ相対移動する。   In this embodiment, since the shock absorbing member 20 is held by the two fixing blocks 21 that are fixed at a predetermined interval in the longitudinal direction of the fork 19, the arm 4 and the hand 3 can be turned. Even if a rotational moment acts on the impact absorbing member 20 when the arm 4 is extended and contracted, the impact absorbing member 20 does not come off from the tip side of the fork 19. On the other hand, when the tip of the hand 3 collides with the safety cover 15 or the like and an impact is applied in the longitudinal direction of the impact absorbing member 20, the impact absorbing member 20 moves against the fork 19 against the hand 3 even if the impact is relatively small. Relative movement toward the base end of

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、ハンド３の先端が安全カバー１５等に衝突したときに、フォーク１９に対してハンド３の基端側へ相対移動する衝撃吸収部材２０がハンド３の先端側に取り付けられている。また、本形態では、ハンド３の先端が安全カバー１５等に衝突したことが検知されると、アーム４を伸縮させるための駆動用モータにブレーキがかかる。そのため、安全カバー１５等にハンド３の先端が衝突したときにハンド３およびアーム４が有するエネルギーは、衝撃吸収部材２０がハンド３の基端側に向かって移動している間にアーム４等に作用するブレーキによって消費されるとともに、固定ブロック２１の保持力に抗してハンド３の基端側へ衝撃吸収部材２０が移動する際の摩擦抵抗や衝撃吸収部材２０の変形等によって消費される。また、本形態では、衝撃吸収部材２０がハンド３の基端側へ移動すると、配線２７が切断されるため、配線２７の切断時の抵抗によって、安全カバー１５等にハンド３の先端が衝突したときにハンド３およびアーム４が有するエネルギーが消費される。 (Main effects of this form)
As described above, in this embodiment, when the front end of the hand 3 collides with the safety cover 15 or the like, the shock absorbing member 20 that moves relative to the fork 19 toward the base end side of the hand 3 is the front end side of the hand 3. Is attached. In this embodiment, when it is detected that the tip of the hand 3 has collided with the safety cover 15 or the like, a brake is applied to the drive motor for extending and retracting the arm 4. Therefore, the energy of the hand 3 and the arm 4 when the tip of the hand 3 collides with the safety cover 15 or the like is transferred to the arm 4 or the like while the shock absorbing member 20 moves toward the base end side of the hand 3. In addition to being consumed by the acting brake, it is consumed by frictional resistance when the shock absorbing member 20 moves to the proximal end side of the hand 3 against the holding force of the fixed block 21, deformation of the shock absorbing member 20, and the like. Further, in this embodiment, when the shock absorbing member 20 moves to the proximal end side of the hand 3, the wiring 27 is cut, so that the tip of the hand 3 collides with the safety cover 15 or the like due to resistance when the wiring 27 is cut. Sometimes the energy of the hand 3 and the arm 4 is consumed.

したがって、本形態では、ハンド３の先端と安全カバー１５等とが衝突したときの衝撃が大きい場合であっても、衝撃吸収部材２０が取り付けられるフォーク１９と安全カバー１５等とが衝突する際の衝撃が緩和され、フォーク１９の損傷を軽減することが可能になる。また、本形態は、ハンド３の先端が衝突する安全カバー１５等の損傷を軽減することが可能になる。また、安全カバー１５等の損傷を軽減することが可能になるため、基板処理システム１４の周囲にいる作業者の安全を確保することが可能になる。   Therefore, in this embodiment, even when the impact when the tip of the hand 3 collides with the safety cover 15 or the like is large, the fork 19 to which the shock absorbing member 20 is attached and the safety cover 15 or the like collide. The impact is alleviated and damage to the fork 19 can be reduced. Further, according to this embodiment, it is possible to reduce damage to the safety cover 15 and the like that the tip of the hand 3 collides with. Moreover, since it becomes possible to reduce damage to the safety cover 15 etc., it becomes possible to ensure the safety of the worker around the substrate processing system 14.

また、本形態では、フォーク１９に対してハンド３の基端側へ衝撃吸収部材２０を相対移動させることができるため、ハンド３をロボット１から取り外さなくても、衝撃吸収部材２０をフォーク１９の中に配置した状態で、ロボット１を運搬することが可能になる。したがって、運搬時のコストを低減することが可能になる。また、運搬後には、衝撃吸収部材２０をフォーク１９の中から引き出して固定すれば、ロボット１を復元することができるため、ハンド３をロボット１から取り外してロボット１を運搬する場合と比較して、運搬後のロボット１の復元が容易になる。   Further, in this embodiment, since the impact absorbing member 20 can be moved relative to the base end side of the hand 3 with respect to the fork 19, the impact absorbing member 20 can be attached to the fork 19 without removing the hand 3 from the robot 1. The robot 1 can be transported in a state of being disposed inside. Therefore, the cost during transportation can be reduced. Further, after transportation, the robot 1 can be restored if the shock absorbing member 20 is pulled out from the fork 19 and fixed, so that the robot 3 can be transported by removing the hand 3 from the robot 1. The robot 1 can be easily restored after transportation.

本形態では、ハンド３の先端が安全カバー１５等に衝突すると、衝撃吸収部材２０の基端側部分または全部が中空状のフォーク１９の中へ入っていく。そのため、ハンド３の基端側に向かって衝撃吸収部材２０がフォーク１９の外側を移動するようにハンド３が構成されている場合と比較して、衝撃吸収部材２０と他の部材との干渉を防止しやすくなる。したがって、衝撃吸収部材２０をハンド３の基端側に向かって確実に移動させることが可能になる。また、ハンド３の基端側に向かって衝撃吸収部材２０がフォーク１９の外側を移動するようにハンド３が構成されている場合と比較して、衝撃吸収部材２０が配置されるハンド３の先端側を小型化することが可能になる。   In this embodiment, when the front end of the hand 3 collides with the safety cover 15 or the like, the base end side part or the whole of the shock absorbing member 20 enters the hollow fork 19. Therefore, compared with the case where the hand 3 is configured so that the shock absorbing member 20 moves outside the fork 19 toward the base end side of the hand 3, the interference between the shock absorbing member 20 and other members is reduced. It becomes easy to prevent. Therefore, the shock absorbing member 20 can be reliably moved toward the base end side of the hand 3. Further, compared to the case where the hand 3 is configured such that the shock absorbing member 20 moves outside the fork 19 toward the base end side of the hand 3, the tip of the hand 3 where the shock absorbing member 20 is disposed. The side can be downsized.

本形態では、フォーク１９に対して衝撃吸収部材２０がハンド３の基端側へ相対移動したか否かを検知することで、ハンド３の先端が安全カバー１５等に衝突したか否かを検知している。すなわち、安全カバー１５等に衝突する衝撃吸収部材２０の動きに基づいて、ハンド３の先端が安全カバー１５等に衝突したか否かを検知している。そのため、ハンド３の先端が安全カバー１５等に衝突したか否かを精度良く検知することが可能になる。   In this embodiment, it is detected whether or not the tip of the hand 3 has collided with the safety cover 15 or the like by detecting whether or not the shock absorbing member 20 has moved relative to the fork 19 toward the base end side of the hand 3. doing. That is, based on the movement of the impact absorbing member 20 that collides with the safety cover 15 or the like, it is detected whether or not the tip of the hand 3 has collided with the safety cover 15 or the like. Therefore, it is possible to accurately detect whether or not the tip of the hand 3 has collided with the safety cover 15 or the like.

本形態では、フォーク１９に対する衝撃吸収部材２０の相対移動に伴って切断される配線２７等によって、安全カバー１５等にハンド３の先端が衝突したことを検知するための検知機構が構成されており、検知機構は、配線２７が切断されると、安全カバー１５等にハンド３の先端が衝突したことを検知する。そのため、本形態では、比較的簡易な構成で、安全カバー１５等にハンド３の先端が衝突したことを検知することが可能になる。   In this embodiment, a detection mechanism for detecting that the tip of the hand 3 has collided with the safety cover 15 or the like is configured by the wiring 27 or the like that is cut as the impact absorbing member 20 moves relative to the fork 19. When the wiring 27 is cut, the detection mechanism detects that the tip of the hand 3 has collided with the safety cover 15 or the like. Therefore, in this embodiment, it is possible to detect that the tip of the hand 3 has collided with the safety cover 15 or the like with a relatively simple configuration.

本形態では、配線２７は、第１配線部３０と第２配線部３１とを備えており、第１配線部３０と第２配線部３１とは、半田付けされて互いに接続されている。そのため、安全カバー１５等にハンド３の先端が衝突すると、上述のように、半田付け部３２で配線２７が切断される。したがって、ハンド３の基端側へ移動した衝撃吸収部材２０を再びハンド３の先端側へ移動させ、第１配線部３０と第２配線部３１とを再び半田付けすることによって、比較的容易にハンド３を復元することが可能になる。   In this embodiment, the wiring 27 includes a first wiring part 30 and a second wiring part 31, and the first wiring part 30 and the second wiring part 31 are soldered and connected to each other. Therefore, when the tip of the hand 3 collides with the safety cover 15 or the like, the wiring 27 is cut by the soldering portion 32 as described above. Therefore, it is relatively easy to move the shock absorbing member 20 moved to the proximal end side of the hand 3 to the distal end side of the hand 3 again and solder the first wiring portion 30 and the second wiring portion 31 again. The hand 3 can be restored.

本形態では、衝撃吸収部材２０は、ハンド３に搭載される基板２を支持する機能を果たしている。したがって、フォーク１９によって基板２の全体が支持されるようにハンド３が構成されている場合と比較して、ハンド３を小型化することができる。   In the present embodiment, the shock absorbing member 20 functions to support the substrate 2 mounted on the hand 3. Therefore, the hand 3 can be reduced in size compared with the case where the hand 3 is configured so that the entire substrate 2 is supported by the fork 19.

本形態では、衝撃吸収部材２０は、炭素繊維で形成されている。そのため、衝撃吸収部材２０の剛性を高めることができる。したがって、ハンド３に搭載される基板２を衝撃吸収部材２０によって適切に支持することが可能になる。また、衝撃吸収部材２０は、炭素繊維で形成されるとともに筒状に形成されているため、ハンド３の先端部分の重量を軽減することが可能になる。また、比較的容易に衝撃吸収部材２０を形成することが可能になる。   In this embodiment, the impact absorbing member 20 is formed of carbon fiber. Therefore, the rigidity of the shock absorbing member 20 can be increased. Accordingly, the substrate 2 mounted on the hand 3 can be appropriately supported by the shock absorbing member 20. Further, since the shock absorbing member 20 is formed of carbon fiber and is formed in a cylindrical shape, the weight of the tip portion of the hand 3 can be reduced. In addition, the impact absorbing member 20 can be formed relatively easily.

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。 (Other embodiments)
The above-described embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but is not limited to this, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

上述した形態では、配線２７が切断されたか否かによって、フォーク１９に対して衝撃吸収部材２０が相対移動したか否かを検知している。この他にもたとえば、発光素子と受光素子とを備える光学式のセンサによって、フォーク１９に対して衝撃吸収部材２０が相対移動したか否かを検知しても良いし、マイクロスイッチ等の機械式のセンサによって、フォーク１９に対して衝撃吸収部材２０が相対移動したか否かを検知しても良い。また、衝撃吸収部材２０よりもハンド３の基端側に圧縮空気を流して、この圧縮空気の圧力変化を圧力計で検知することで、フォーク１９に対して衝撃吸収部材２０が相対移動したか否かを検知しても良い。   In the embodiment described above, whether or not the shock absorbing member 20 has moved relative to the fork 19 is detected based on whether or not the wiring 27 is cut. In addition to this, for example, an optical sensor including a light emitting element and a light receiving element may be used to detect whether or not the impact absorbing member 20 has moved relative to the fork 19, or a mechanical type such as a micro switch. It may be detected whether or not the impact absorbing member 20 has moved relative to the fork 19 by the above sensor. Also, whether the shock absorbing member 20 has moved relative to the fork 19 by flowing compressed air closer to the base end side of the hand 3 than the shock absorbing member 20 and detecting the pressure change of the compressed air with a pressure gauge. It may be detected whether or not.

上述した形態では、フォーク１９に対して衝撃吸収部材２０がハンド３の基端側へ相対移動したか否かを検知することで、ハンド３の先端が安全カバー１５等に衝突したか否かを検知している。この他にもたとえば、衝撃吸収部材２０の先端に圧力センサを取り付けて、この圧力センサでの検知結果に基づいて、ハンド３の先端が安全カバー１５等に衝突したか否かを検知しても良い。また、ハンド３の基端側等に加速度センサを取り付けて、この加速度センサでの検知結果に基づいて、ハンド３の先端が安全カバー１５等に衝突したか否かを検知しても良い。   In the embodiment described above, it is detected whether or not the tip of the hand 3 has collided with the safety cover 15 or the like by detecting whether or not the shock absorbing member 20 has moved relative to the base end side of the hand 3 with respect to the fork 19. Detected. In addition to this, for example, a pressure sensor is attached to the tip of the shock absorbing member 20 and it is detected whether the tip of the hand 3 has collided with the safety cover 15 or the like based on the detection result of the pressure sensor. good. Further, an acceleration sensor may be attached to the base end side or the like of the hand 3, and it may be detected whether the tip of the hand 3 has collided with the safety cover 15 or the like based on the detection result of the acceleration sensor.

上述した形態では、ハンド３の先端が安全カバー１５等に衝突すると、衝撃吸収部材２０の基端側部分または全部が中空状のフォーク１９の中へ入っていく。この他にもたとえば、ハンド３の先端が安全カバー１５等に衝突したときに、ハンド３の基端側に向かって衝撃吸収部材２０がフォーク１９の外側を移動するようにハンド３が構成されても良い。   In the embodiment described above, when the tip of the hand 3 collides with the safety cover 15 or the like, the base end side portion or the whole of the shock absorbing member 20 enters the hollow fork 19. In addition to this, for example, when the tip of the hand 3 collides with the safety cover 15 or the like, the hand 3 is configured such that the shock absorbing member 20 moves outside the fork 19 toward the base end side of the hand 3. Also good.

上述した形態では、衝撃吸収部材２０がフォーク１９の先端側に取り付けられている。この他にもたとえば、ハンド３の先端が安全カバー１５等に衝突したときに、衝撃吸収部材２０に対してハンド３の基端側へ相対移動する第２の衝撃吸収部材が衝撃吸収部材２０の先端側に取り付けられても良い。また、ハンド３の先端が安全カバー１５等に衝突したときに、この第２の衝撃吸収部材に対してハンド３の基端側へ相対移動する第３の衝撃吸収部材が第２の衝撃吸収部材の先端側に取り付けられても良い。すなわち、フォーク１９の先端側に、２段以上の衝撃吸収部材が取り付けられても良い。   In the embodiment described above, the impact absorbing member 20 is attached to the front end side of the fork 19. In addition, for example, when the tip of the hand 3 collides with the safety cover 15 or the like, a second shock absorbing member that moves relative to the shock absorbing member 20 toward the base end side of the hand 3 is the shock absorbing member 20. You may attach to the front end side. Further, when the front end of the hand 3 collides with the safety cover 15 or the like, the third shock absorbing member that moves relative to the second shock absorbing member toward the base end side of the hand 3 is the second shock absorbing member. You may attach to the front end side of. That is, two or more stages of shock absorbing members may be attached to the front end side of the fork 19.

上述した形態では、衝撃吸収部材２０は、円筒状に形成されているが、衝撃吸収部材２０は、四角筒状等の多角筒状に形成されても良いし、円柱状や多角柱状に形成されても良い。また、衝撃吸収部材２０は、平板状に形成されても良い。また、上述した形態では、衝撃吸収部材２０は、炭素繊維で形成されているが、衝撃吸収部材２０は、金属で形成されても良い。   In the embodiment described above, the shock absorbing member 20 is formed in a cylindrical shape, but the shock absorbing member 20 may be formed in a polygonal tube shape such as a square tube shape, or a columnar shape or a polygonal column shape. May be. Further, the shock absorbing member 20 may be formed in a flat plate shape. Moreover, in the form mentioned above, although the impact-absorbing member 20 is formed with carbon fiber, the impact-absorbing member 20 may be formed with a metal.

上述した形態では、配線２７は、第１配線部３０と第２配線部３１とに分割されているが、配線２７は、分割されていなくても良い。また、上述した形態では、衝撃吸収部材２０は、ハンド３に搭載される基板２を支持する機能を果たしているが、フォーク１９によって基板２の全体が支持されるようにハンド３が構成されても良い。   In the embodiment described above, the wiring 27 is divided into the first wiring part 30 and the second wiring part 31, but the wiring 27 may not be divided. In the above-described embodiment, the shock absorbing member 20 functions to support the substrate 2 mounted on the hand 3. However, even if the hand 3 is configured so that the entire substrate 2 is supported by the fork 19. good.

上述した形態では、アーム４は、関節部を備えているが、アーム４は、関節部を備えていなくても良い。この場合には、たとえば、回転型のモータおよびボールネジ等によって、あるいは、リニアモータによって、ハンド３が直線状に移動するように、ハンド３の基端側がアームに連結される。   In the embodiment described above, the arm 4 includes the joint portion, but the arm 4 may not include the joint portion. In this case, the base end side of the hand 3 is connected to the arm so that the hand 3 moves linearly by, for example, a rotary motor, a ball screw, or the like, or by a linear motor.

上述した形態では、ロボット１は、２個のハンド３と２個のアーム４とを備えるいわゆるダブルアーム型のロボットであるが、ロボット１は、１個のハンド３と１個のアーム４とを備えるシングルアーム型のロボットであっても良い。また、上述した形態では、ロボット１によって搬送される搬送対象物は基板２であるが、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、基板２以外の半導体ウエハ等であっても良い。   In the above-described form, the robot 1 is a so-called double arm type robot having two hands 3 and two arms 4, but the robot 1 has one hand 3 and one arm 4. A single arm type robot may be provided. In the above-described embodiment, the transfer target object transferred by the robot 1 is the substrate 2. However, the transfer target object transferred by the robot 1 may be a semiconductor wafer other than the substrate 2.

１ ロボット（産業用ロボット）
２ 基板（ガラス基板、搬送対象物）
３ ハンド
４ アーム
１３ 基板処理装置（周辺機器）
１５ 安全カバー（周辺機器）
１９ フォーク（搭載部材）
２０ 衝撃吸収部材
２７ 配線（検知機構の一部）
３０ 第１配線部（固定側配線部）
３１ 第２配線部（移動側配線部） 1 Robot (industrial robot)
2 Substrate (glass substrate, transport object)
3 Hand 4 Arm 13 Substrate processing equipment (peripheral equipment)
15 Safety cover (peripheral equipment)
19 Fork (Mounting member)
20 Shock absorbing member 27 Wiring (part of detection mechanism)
30 1st wiring part (fixed side wiring part)
31 2nd wiring part (moving side wiring part)

Claims (5)

搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、
前記搬送対象物が搭載されるハンドと、前記産業用ロボットの周辺機器に前記ハンドの先端が衝突したことを検知するための検知機構とを備えるとともに、前記ハンドが所定方向を向いた状態で略直線状に移動するように構成され、
前記ハンドは、前記ハンドの先端部分を構成するとともに前記周辺機器に前記ハンドの先端が衝突したときに前記ハンドの基端側に向かって移動可能な衝撃吸収部材と、前記ハンドの基端側から前記ハンドの先端側に向かって延びるように形成され前記搬送対象物の少なくとも一部が搭載される複数の搭載部材とを備え、
前記搭載部材の少なくとも先端側は、中空状に形成され、
前記衝撃吸収部材は、前記搭載部材の先端側に取り付けられ、
前記衝撃吸収部材の少なくとも基端側は、前記周辺機器に前記ハンドの先端が衝突したときに前記搭載部材の中に入るようになっており、
前記検知機構は、前記搭載部材にその一部が固定されるとともに、前記衝撃吸収部材に他の一部が固定される配線を備え、
前記周辺機器に前記ハンドの先端が衝突したときの前記搭載部材に対する前記衝撃吸収部材の相対移動によって、前記配線が切断可能となっており、
前記検知機構は、前記配線が切断されると、前記搭載部材に対する前記衝撃吸収部材の相対移動を検知するとともに、前記搭載部材に対する前記衝撃吸収部材の相対移動を検知することで、前記周辺機器に前記ハンドの先端が衝突したことを検知することを特徴とする産業用ロボット。 In industrial robots that transport objects to be transported,
A hand on which the object to be transported is mounted; and a detection mechanism for detecting that the tip of the hand has collided with a peripheral device of the industrial robot; Configured to move in a straight line,
The hand comprises a shock absorbing member that constitutes a tip portion of the hand and is movable toward a base end side of the hand when the tip of the hand collides with the peripheral device, and a base end side of the hand A plurality of mounting members formed so as to extend toward the tip side of the hand and on which at least a part of the transport object is mounted ;
At least the tip side of the mounting member is formed in a hollow shape,
The shock absorbing member is attached to the tip side of the mounting member,
At least the base end side of the shock absorbing member enters the mounting member when the tip of the hand collides with the peripheral device,
The detection mechanism includes a wiring part of which is fixed to the mounting member and another part of the detection mechanism is fixed to the shock absorbing member.
By the relative movement of the shock absorbing member with respect to the mounting member when the tip of the hand collides with the peripheral device, the wiring can be cut,
When the wiring is cut, the detection mechanism detects the relative movement of the shock absorbing member with respect to the mounting member, and detects the relative movement of the shock absorbing member with respect to the mounting member, thereby allowing the peripheral device to An industrial robot that detects that the tip of the hand has collided . 前記ハンドの基端側が連結されるアームと、前記アームを駆動するための駆動源とを備え、
前記検知機構での検知結果に基づいて、前記周辺機器に前記ハンドの先端が衝突したことが検知されると、前記駆動源にブレーキがかかることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。 An arm to which the base end side of the hand is coupled; and a drive source for driving the arm;
2. The industrial robot according to claim 1, wherein when the tip of the hand collides with the peripheral device based on a detection result of the detection mechanism, the drive source is braked. 前記配線は、前記搭載部材に固定される固定側配線部と、前記衝撃吸収部材に固定される移動側配線部とを備え、
前記固定側配線部と前記移動側配線部とは、半田付けされて接続されていることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。 The wiring includes a fixed-side wiring portion fixed to the mounting member, and a moving-side wiring portion fixed to the shock absorbing member,
3. The industrial robot according to claim 1, wherein the fixed side wiring portion and the moving side wiring portion are connected by soldering. 前記衝撃吸収部材には、前記搬送対象物の一部が搭載されることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。 Wherein the impact absorbing member is an industrial robot according to any of claims 1 to 3, wherein a part of the conveying object is mounted. 前記衝撃吸収部材は、炭素繊維で形成された筒状部材であることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の産業用ロボット。 The industrial robot according to any one of claims 1 to 4 , wherein the shock absorbing member is a cylindrical member formed of carbon fiber.
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