JP5743208B2 - Circuit board manufacturing method - Google Patents

Circuit board manufacturing method Download PDF

Info

Publication number
JP5743208B2
JP5743208B2 JP2011141721A JP2011141721A JP5743208B2 JP 5743208 B2 JP5743208 B2 JP 5743208B2 JP 2011141721 A JP2011141721 A JP 2011141721A JP 2011141721 A JP2011141721 A JP 2011141721A JP 5743208 B2 JP5743208 B2 JP 5743208B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pattern
solder resist
circuit board
exposure
contact
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2011141721A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2013008908A (en
Inventor
生田目 和彦
和彦 生田目
健久 櫻井
健久 櫻井
坪松 良明
良明 坪松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
Showa Denko Materials Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd, Showa Denko Materials Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP2011141721A priority Critical patent/JP5743208B2/en
Publication of JP2013008908A publication Critical patent/JP2013008908A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5743208B2 publication Critical patent/JP5743208B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、ソルダーレジストパターンにて被覆された回路パターンを有する回路基板の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a circuit board having a circuit pattern coated with a solder resist pattern.

回路基板にソルダーレジストパターンを形成する際は、まず、液状のソルダーレジストインクを塗布しプレキュアするか、またはドライフィルム状のソルダーレジストフィルムをラミネートすることによって、回路基板上に未露光のソルダーレジストを形成する。次に、この未露光のソルダーレジストにパターン露光を行う。   When forming a solder resist pattern on a circuit board, first apply a liquid solder resist ink and pre-cure, or laminate a dry film solder resist film to form an unexposed solder resist on the circuit board. Form. Next, pattern exposure is performed on the unexposed solder resist.

未露光のソルダーレジストにパターン露光を行う方法として、従来より、フィルムのフォトマスクを未露光のソルダーレジスト上に接触させ、パターン露光を行う方法(以下、「接触式パターン露光」という。)が用いられているが、近年、ソルダーレジストパターンに対しても、高精度なパターンが要求されており、フォトマスクを未露光のソルダーレジストに接触させないで、パターン露光を行う方法(以下、「非接触式パターン露光」という。)が適用されてきている。非接触式パターン露光としては、フォトマスクとしてガラスマスクを用いた投影露光、あるいはフォトマスクを使用せずにレーザ等で直接未露光のソルダーレジストにパターンを描画して露光する直描法などが挙げられる。   As a method for performing pattern exposure on an unexposed solder resist, conventionally, a method in which a film photomask is brought into contact with an unexposed solder resist to perform pattern exposure (hereinafter referred to as “contact pattern exposure”) is used. However, in recent years, a highly accurate pattern is also required for the solder resist pattern, and a pattern exposure method (hereinafter referred to as “non-contact type”) is performed without bringing the photomask into contact with the unexposed solder resist. "Pattern exposure") has been applied. Examples of non-contact pattern exposure include projection exposure using a glass mask as a photomask, or a direct drawing method in which a pattern is directly drawn on an unexposed solder resist with a laser or the like without using a photomask. .

また、従来、図3に示すように、回路基板10の回路パターン3上にソルダーレジストインクを塗布して未露光のソルダーレジスト12を形成し(図3(A))、未露光のソルダーレジスト12に対してパターン露光を施す際は、所定の露光条件を用い、接触式による一回のパターン露光を行うことによって、接触式によるパターン露光がなされたソルダーレジスト11を形成し(図3(B))、現像することによって目的とするソルダーレジストパターンを形成する(図3(C))のが一般的である。なお、パターン露光のやり方としては、非接触式によるパターン露光も行われ、この場合も同様に、所定の露光条件を用い、非接触式による一回のパターン露光を行うことによって、非接触式によるパターン露光がなされたソルダーレジスト2を形成し(図示しない。)、現像することによって目的とするソルダーレジストパターン20を形成する(図3(C))。しかし、露光量を増加させた場合、現像後のソルダーレジストパターン20の密着性は向上するが、微細なソルダーレジストパターン20の形成性(解像性)は悪化し、露光量を減少させた場合は、微細なソルダーレジストパターン20の形成性(解像性)が向上する反面、密着性が低下する。   Conventionally, as shown in FIG. 3, a solder resist ink is applied on the circuit pattern 3 of the circuit board 10 to form an unexposed solder resist 12 (FIG. 3A), and the unexposed solder resist 12 is formed. When pattern exposure is performed on the solder, the resist resist 11 subjected to the contact pattern exposure is formed by performing one contact pattern exposure using predetermined exposure conditions (FIG. 3B). ), And developing the desired solder resist pattern (FIG. 3C). As a pattern exposure method, non-contact pattern exposure is also performed. In this case as well, a predetermined non-contact pattern exposure is performed using predetermined exposure conditions. A solder resist 2 subjected to pattern exposure is formed (not shown) and developed to form a target solder resist pattern 20 (FIG. 3C). However, when the exposure amount is increased, the adhesion of the solder resist pattern 20 after development is improved, but the formability (resolution) of the fine solder resist pattern 20 is deteriorated and the exposure amount is decreased. Although the formability (resolution) of the fine solder resist pattern 20 is improved, the adhesiveness is lowered.

接触式パターン露光を用いる場合に、ソルダーレジストパターンの密着性と形成性(解像性)を改善する方法としては、未露光のソルダーレジストにパターン露光を行う際に、パターン露光を第1の露光と第2の露光の2回に分けて行い、第1の露光では、目的とする開口パターンよりも一回り大きく遮光する露光パターンを設けたフォトマスクを用い、第2の露光では、目的とする開口パターン通りの露光パターンを設けたフォトマスクを用いて、パターン露光を行うことにより、開口パターンの形成性(解像性)と開口以外の領域の密着性を確保する方法が開示されている(特許文献1)。   When using contact pattern exposure, as a method for improving the adhesion and formability (resolution) of the solder resist pattern, pattern exposure is performed when pattern exposure is performed on an unexposed solder resist. In the first exposure, a photomask provided with an exposure pattern that shields light a little larger than the target opening pattern is used. In the second exposure, the target is used. A method is disclosed in which pattern exposure is performed using a photomask provided with an exposure pattern according to the opening pattern, thereby ensuring the formability (resolution) of the opening pattern and the adhesion of the region other than the opening ( Patent Document 1).

特開2005−142254号公報JP 2005-142254 A

しかし、より高精度なソルダーレジストパターンが要求される場合は、非接触式パターン露光を用いることになる。この非接触式パターン露光の場合、接触式パターン露光に比べて、露光装置のワークテーブルに回路基板を強固に吸着固定させる必要がある。パターン露光前の未露光のソルダーレジストは、ソルダーレジスト用インクを塗布した後に、インク中の溶剤を乾燥するプレキュアを行っただけで、硬化はしていない状態である。また、一般に、この未露光のソルダーレジストの形成は、工数を少なくする目的で、パターン露光の前に回路基板の表裏の両面に対して行われる。このため、非接触式パターン露光では、ワークテーブルへの吸着固定時に、回路基板の裏面側の未露光のソルダーレジストが、回路基板からワークテーブルに転写し易く、その結果、回路基板に形成した未露光のソルダーレジストが脱落する問題が生じる場合がある。   However, when a more accurate solder resist pattern is required, non-contact pattern exposure is used. In the case of this non-contact type pattern exposure, it is necessary to firmly attract and fix the circuit board on the work table of the exposure apparatus as compared with the contact type pattern exposure. The unexposed solder resist before pattern exposure is in a state where it is not cured only by applying a pre-cure for drying the solvent in the ink after applying the solder resist ink. In general, the unexposed solder resist is formed on both the front and back surfaces of the circuit board before pattern exposure for the purpose of reducing the number of steps. For this reason, in non-contact type pattern exposure, the unexposed solder resist on the back side of the circuit board is easily transferred from the circuit board to the work table when attracted and fixed to the work table. There may be a problem that the solder resist for exposure falls off.

本発明は、上記問題点に鑑みなされたものであり、未露光のソルダーレジストに対して、非接触式のパターン露光を適用する場合でも、未露光のソルダーレジストの脱落を低減可能とし、高精度でしかも歩留まりや信頼性の向上を図ることが可能な回路基板の製造方法を提供するものである。   The present invention has been made in view of the above problems, and even when non-contact pattern exposure is applied to an unexposed solder resist, it is possible to reduce the dropout of the unexposed solder resist with high accuracy. In addition, the present invention provides a circuit board manufacturing method capable of improving yield and reliability.

本発明は以下を特徴とする。
(1) ソルダーレジストパターンにて被覆された回路パターンを有する回路基板の製造方法において、前記回路パターン上に未露光のソルダーレジストを形成する工程と、前記未露光のソルダーレジストに対して、接触式パターン露光及び非接触式パターン露光を行って、パターン露光されたソルダーレジストを形成する工程と、前記パターン露光されたソルダーレジストを現像することによって、目的とするソルダーレジストパターンを形成する工程と、を有し、パターン露光されたソルダーレジストを形成する工程では、接触式パターン露光を行った後、前記接触式パターン露光を行った個所と重複させて非接触式パターン露光を行う回路基板の製造方法。
(2)上記(1)において、パターン露光されたソルダーレジストを形成する工程では、非接触式パターン露光を行う際に、最終的に目的とするソルダーレジストパターンの端部を含む領域に対して露光を行う回路基板の製造方法。
(3) 上記(1)または(2)において、パターン露光されたソルダーレジストを形成する工程では、非接触式パターン露光を行う際、接触式パターン露光を行った個所と部分的に露光箇所を重複させる回路基板の製造方法。
(4) 上記(1)から(3)の何れかにおいて、パターン露光されたソルダーレジストを形成する工程では、接触式パターン露光及び非接触式パターン露光を行う際、前記パターン露光の面積を、露光回数を増やす毎に小さくする回路基板の製造方法。
(5) 上記(1)から(4)の何れかにおいて、回路パターン上に未露光のソルダーレジストを形成する工程では、前記回路パターン上に、液状のソルダーレジストインクを塗布しプレキュアすることまたはドライフィルム状のソルダーレジストフィルムをラミネートすることによって、未露光のソルダーレジストを形成する回路基板の製造方法。
The present invention is characterized by the following.
(1) In the method of manufacturing a circuit board having a circuit pattern covered with a solder resist pattern, a step of forming an unexposed solder resist on the circuit pattern, and a contact type for the unexposed solder resist Performing pattern exposure and non-contact pattern exposure to form a pattern-exposed solder resist, and developing the pattern-exposed solder resist to form a target solder resist pattern Yes, and in the step of forming a solder resist which is patterned exposure, contact after pattern exposure, method of manufacturing a circuit board for performing location and is overlapped with the non-contact type pattern exposure was carried out the contact pattern exposure.
(2) In the step (1), in the step of forming the pattern-exposed solder resist, when non-contact pattern exposure is performed, the region including the end of the target solder resist pattern is finally exposed. A method for manufacturing a circuit board.
(3) In the step (1) or (2), in the step of forming the pattern-exposed solder resist , when the non- contact pattern exposure is performed, the exposed portion is partially overlapped with the portion where the contact pattern exposure is performed. A method for manufacturing a circuit board.
(4) In any one of the above (1) to (3), in the step of forming the pattern-exposed solder resist, the area of the pattern exposure is exposed when performing contact pattern exposure and non-contact pattern exposure. A method of manufacturing a circuit board that is reduced each time the number is increased.
(5) In any one of the above (1) to (4), in the step of forming an unexposed solder resist on the circuit pattern, a liquid solder resist ink is applied on the circuit pattern and precured or dried. A circuit board manufacturing method for forming an unexposed solder resist by laminating a film-like solder resist film.

本発明によれば、未露光のソルダーレジストに対して、非接触式のパターン露光を適用する場合でも、未露光のソルダーレジストの脱落を低減可能とし、高精度でしかも歩留まりや信頼性の向上を図ることが可能な回路基板の製造方法を提供することができる。   According to the present invention, even when non-contact pattern exposure is applied to an unexposed solder resist, it is possible to reduce the dropout of the unexposed solder resist, and to improve the yield and reliability with high accuracy. It is possible to provide a method of manufacturing a circuit board that can be achieved.

本発明の配線基板の製造工程を示す断面図を用いたフロー図である。It is a flowchart using sectional drawing which shows the manufacturing process of the wiring board of this invention. 本発明の配線基板の製造工程を示す断面図を用いたフロー図である。It is a flowchart using sectional drawing which shows the manufacturing process of the wiring board of this invention. 従来の配線基板の製造工程を示す断面図を用いたフロー図である。It is a flowchart using sectional drawing which shows the manufacturing process of the conventional wiring board.

本発明の回路基板の製造方法の一形態としては、図2に示すように、回路パターン3上に未露光のソルダーレジスト12を形成する工程(図2(A))と、未露光のソルダーレジスト12に対して、接触式パターン露光(図2(B))及び非接触式パターン露光(図2(C))を行って、接触式パターン露光で露光されたソルダーレジスト11及び非接触式パターン露光で形成されたソルダーレジスト2を形成する工程と、パターン露光されたソルダーレジスト11、2を現像することによって、目的とするソルダーレジストパターン20を形成する(図2(D))工程と、を有する回路基板16の製造方法が挙げられる。   As one form of the manufacturing method of the circuit board of this invention, as shown in FIG. 2, the process (FIG. 2 (A)) which forms the unexposed solder resist 12 on the circuit pattern 3, and an unexposed solder resist 12 is subjected to contact pattern exposure (FIG. 2 (B)) and non-contact pattern exposure (FIG. 2 (C)), and the solder resist 11 and non-contact pattern exposure exposed by contact pattern exposure. The step of forming the solder resist 2 formed in step 1 and the step of forming the target solder resist pattern 20 by developing the pattern-exposed solder resists 11 and 2 (FIG. 2D) are included. A method for manufacturing the circuit board 16 may be mentioned.

ソルダーレジストとは、回路基板の主に表面に設けられ、表面に設けられた回路パターンを被覆し、電子部品との接続に用いるはんだに対して回路パターンを保護したり、一部に開口を設けて回路パターンの一部を露出させ接続端子を形成したりするものである。ソルダーレジストとしては、ソルダーレジストパターンが、いわゆるフォトリソグラフィーで形成される現像型のものや、印刷によって形成される非現像型のものがあるが、本発明で用いるソルダーレジストは、前者の現像型のものである。このような現像型のソルダーレジストは大きく分けて、ドライフィルム状で回路基板上にラミネートするタイプと、液状で回路基板に塗布しプレキュアするタイプの二種類がある。また、現像型のソルダーレジストの材料は、感光性を有するエポキシアクリレート樹脂を主としたものと、感光性ポリイミドを主としたものがあり、いずれも、炭酸ナトリウム水溶液などのアルカリ水溶液で現像が可能な、ネガ型が主流である。   Solder resist is mainly provided on the surface of the circuit board, covers the circuit pattern provided on the surface, protects the circuit pattern against solder used for connection with electronic components, and provides openings in some parts Then, a part of the circuit pattern is exposed to form a connection terminal. As the solder resist, a solder resist pattern includes a development type formed by so-called photolithography and a non-development type formed by printing. However, the solder resist used in the present invention is the former development type. Is. Such development-type solder resists are roughly classified into two types: a dry film type laminated on a circuit board, and a liquid type coated on a circuit board and precured. Development type solder resist materials are mainly composed of photosensitive epoxy acrylate resin and photosensitive polyimide, both of which can be developed with alkaline aqueous solution such as sodium carbonate aqueous solution. The negative type is the mainstream.

回路パターンとは、回路基板の絶縁樹脂層上に設けられ、回路基板に搭載される電子部品同士や、回路基板に搭載される電子部品と他の電子機器を電気的に接続して機能させるものである。本発明における回路パターンは、一般の配線基板と同様に、銅やアルミニウム等の金属により構成することができる。また、回路パターンの形成方法は、ドライフィルムを用いて、絶縁樹脂層上に形成した銅やアルミニウム等の金属箔の必要な箇所を保護し、不要な箇所をエッチング液で除去するサブトラクティブ法でも良いし、絶縁樹脂層上に形成したドライフィルムを銅めっきレジストとし、必要な箇所に銅めっきを析出させるアディティブ法でも良い。   A circuit pattern is provided on an insulating resin layer of a circuit board, and functions by electrically connecting electronic components mounted on the circuit board, or electronic components mounted on the circuit board and other electronic devices. It is. The circuit pattern in this invention can be comprised with metals, such as copper and aluminum, similarly to a general wiring board. In addition, the circuit pattern is formed by a subtractive method in which a dry film is used to protect a necessary portion of a metal foil such as copper or aluminum formed on an insulating resin layer and an unnecessary portion is removed with an etching solution. It is also possible to use an additive method in which a dry film formed on the insulating resin layer is used as a copper plating resist and copper plating is deposited at a required location.

回路基板とは、絶縁樹脂層と回路パターンとを備え、電子部品を搭載して回路を形成するものである。回路パターンが絶縁樹脂層の片面または両面に形成されたものや、回路パターンと絶縁樹脂層が交互に積層され多層となった回路基板も含まれる。本発明における回路基板に用いる絶縁樹脂層は、熱硬化性樹脂及び熱可塑性を用いることが好ましい。熱硬化性樹脂としては例えば、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、シアネート樹脂、マレイミド樹脂、イソシアネート樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂、ビニル樹脂、などが挙げられるが、これらに限定されるわけではない。熱硬化性樹脂は、1種類のものを単独で用いても良いし、2種類以上を混合して用いても良い。熱可塑性樹脂としては例えば、フッ素樹脂、ポリフェニレンエーテル、変性ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンスルフィド、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリアリレート、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリブタジエン、ポリイミドなどが挙げられるが、これらに限定されるわけではない。熱可塑性樹脂は、1種類のものを単独で用いても良いし、2種類以上を混合して用いても良い。また、無機充填剤を含んでいても良い。   The circuit board includes an insulating resin layer and a circuit pattern, and forms a circuit by mounting electronic components. The circuit board in which the circuit pattern is formed on one side or both sides of the insulating resin layer and the circuit board in which the circuit pattern and the insulating resin layer are alternately laminated are included. The insulating resin layer used for the circuit board in the present invention preferably uses a thermosetting resin and thermoplasticity. Examples of the thermosetting resin include, but are not limited to, a phenol resin, an epoxy resin, a polyimide resin, a cyanate resin, a maleimide resin, an isocyanate resin, a benzocyclobutene resin, and a vinyl resin. One type of thermosetting resin may be used alone, or two or more types may be mixed and used. Examples of the thermoplastic resin include fluororesin, polyphenylene ether, modified polyphenylene ether, polyphenylene sulfide, polycarbonate, polyether imide, polyether ether ketone, polyarylate, polyamide, polyamide imide, polybutadiene, and polyimide. It is not limited. One type of thermoplastic resin may be used alone, or two or more types may be mixed and used. Moreover, the inorganic filler may be included.

本発明は、回路パターン上に未露光のソルダーレジストを形成する工程を有する。未露光のソルダーレジストとは、パターン露光されていない状態のソルダーレジストであり、パターン露光時の光(主に紫外光)による硬化は生じていない状態のものをいう。回路パターン上に未露光のソルダーレジストを形成する工程は、例えば、回路パターン上に、液状のソルダーレジストインクを塗布しプレキュアすることや、ドライフィルム状のソルダーレジストフィルムをラミネートすることで行うことができる。ソルダーレジストの塗布やラミネートは片面毎でも良いし、両面同時でも良い。ソルダーレジストインクを塗布する場合、塗布方式は、版を用いたスクリーン方式でも良いし、ロールで塗布するロールコート方式でも良いし、スプレーで吹き付けるカーテンコート方式でも良い。また、ソルダーレジストを塗布またはラミネートする前の回路基板の回路パターンは、粗化処理が施されていても良いし、施されていなくても良い。粗化処理を行う場合、粗化処理は化学的処理でも良いし、物理的処理でも良い。回路基板の回路パターン上には、金属めっきが施されていても良い。   The present invention includes a step of forming an unexposed solder resist on a circuit pattern. The unexposed solder resist is a solder resist that has not been subjected to pattern exposure, and that has not been cured by light (mainly ultraviolet light) during pattern exposure. The step of forming the unexposed solder resist on the circuit pattern can be performed, for example, by applying a liquid solder resist ink on the circuit pattern and pre-curing, or by laminating a dry film-like solder resist film. it can. The solder resist may be applied or laminated on one side or on both sides simultaneously. When applying the solder resist ink, the application method may be a screen method using a plate, a roll coating method using a roll, or a curtain coating method using a spray. Moreover, the circuit pattern of the circuit board before applying or laminating the solder resist may or may not be subjected to a roughening treatment. When the roughening process is performed, the roughening process may be a chemical process or a physical process. Metal plating may be applied on the circuit pattern of the circuit board.

本発明は、未露光のソルダーレジストに対して、接触式パターン露光及び非接触式パターン露光を行って、パターン露光されたソルダーレジストを形成する工程を有する。接触式パターン露光及び非接触式パターン露光を行うとは、接触式パターン露光及び非接触式パターン露光のそれぞれを少なくとも1回ずつ組み合わせて行なうということであり、それぞれを複数回行ってもよい。非接触式パターン露光では、ソルダーレジストが未露光である場合、回路基板のワークテーブルへの固定が強固なため、ソルダーレジストの脱落が生じ易い。しかし、高精度を要する箇所と高精度を要しない箇所に対して、接触式パターン露光及び非接触式パターン露光を使い分けることにより、非接触式パターン露光の前に未露光のソルダーレジストの領域を減らすことが可能となるため、ソルダーレジスとの脱落を抑制しつつ、高精度なソルダーレジストパターンを形成することが可能になる。   The present invention includes a step of forming a pattern-exposed solder resist by performing contact pattern exposure and non-contact pattern exposure on an unexposed solder resist. Performing contact-type pattern exposure and non-contact-type pattern exposure means performing each of contact-type pattern exposure and non-contact-type pattern exposure at least once, and each may be performed a plurality of times. In non-contact pattern exposure, when the solder resist is unexposed, the solder resist is likely to drop off because the circuit board is firmly fixed to the work table. However, by selectively using contact pattern exposure and non-contact pattern exposure for locations that require high accuracy and locations that do not require high accuracy, the area of unexposed solder resist is reduced before non-contact pattern exposure. Therefore, it is possible to form a highly accurate solder resist pattern while suppressing the drop-off from the solder resist.

パターン露光とは、未露光のソルダーレジストにソルダーレジストパターンとなるパターンを露光することをいう。本発明における接触式パターン露光及び非接触式によるパターン露光は、回路基板のワークサイズを一括で行っても良いし、例えば、製品となるシートごとに分割で行っても良い。   Pattern exposure refers to exposing a pattern to be a solder resist pattern to an unexposed solder resist. The contact type pattern exposure and the non-contact type pattern exposure in the present invention may be performed in batches for the work size of the circuit board, or may be performed for each sheet to be a product.

本発明における未露光のソルダーレジストへのパターン露光の露光量は、ソルダーレジストの感度によるが、一般に、1回当たり100mJ/cm以上が好ましく、300〜600mJ/cmがさらに好ましい。本発明における未露光のソルダーレジストへのパターン露光は、露光装置光源から光が拡散する散乱光方式でも良いし、露光装置光源から光が一定方向である平行光方式でも良い。比較的高精度が要求されない接触式パターン露光では散乱光方式を用い、比較的高精度が要求される非接触式パターン露光では平行光方式を用いるのが望ましい。 Exposure pattern exposure to unexposed solder resist in the present invention, depending on the sensitivity of the solder resist, in general, preferably per 100 mJ / cm 2 or more times, more preferably 300~600mJ / cm 2. The pattern exposure onto the unexposed solder resist in the present invention may be a scattered light system in which light is diffused from the exposure apparatus light source, or a parallel light system in which the light from the exposure apparatus light source is in a fixed direction. It is desirable to use a scattered light method for contact pattern exposure that does not require relatively high accuracy, and to use a parallel light method for non-contact pattern exposure that requires relatively high accuracy.

接触式パターン露光とは、フォトマスクを未露光のソルダーレジスト上に接触させ、パターン露光を行う方法をいう。接触式パターン露光は、回路基板上に形成した未露光のソルダーレジスト上にフォトマスクを重ね、比較的低い真空度で密着させ、フォトマスクの上方から紫外光を露光することにより行うことができる。フォトマスクとしては、フィルムマスクとガラスマスクを用いることができる。   Contact-type pattern exposure refers to a method in which a photomask is brought into contact with an unexposed solder resist to perform pattern exposure. Contact-type pattern exposure can be performed by overlaying a photomask on an unexposed solder resist formed on a circuit board, bringing it into close contact with a relatively low degree of vacuum, and exposing ultraviolet light from above the photomask. A film mask and a glass mask can be used as the photomask.

非接触式パターン露光とは、フォトマスクを未露光のソルダーレジストに接触させないで、パターン露光を行う方法をいう。非接触式パターン露光は、未露光のソルダーレジストを形成した回路基板を、ワークテーブル上に比較的高い真空度で強固に密着させておき、回路基板上に形成した未露光のソルダーレジストの上方に、フォトマスクを位置させて、フォトマスクの上方から紫外線を投影露光することにより行うことができる。この場合のフォトマスクとしては、ガラスマスクが用いられる。また、レーザ等を用いて、未露光のソルダーレジストに対して、直接、ソルダーレジストパターンをパターン露光する直接描画を用いることもできる。   Non-contact pattern exposure refers to a method of performing pattern exposure without bringing a photomask into contact with an unexposed solder resist. In non-contact pattern exposure, the circuit board on which the unexposed solder resist is formed is firmly adhered to the work table at a relatively high degree of vacuum, and is placed above the unexposed solder resist formed on the circuit board. This can be done by positioning the photomask and projecting and exposing ultraviolet rays from above the photomask. In this case, a glass mask is used as the photomask. Moreover, direct drawing which pattern-exposes a soldering resist pattern directly with respect to an unexposed soldering resist using a laser etc. can also be used.

フォトマスクとは、ソルダーレジストパターンをパターン露光により形成するための原版(マスク)をいう。フォトマスクとしては、フィルムマスクやガラスマスクを用いることができる。フィルムマスクはベース材としてPET(ポリエチレンテレフタレート)等を用い、ガラスマスクはソーダライムガラス等を用い、パターン露光時の光(主に紫外光)を遮光する遮光膜を所望のパターンを設けることで形成できる。高精度を必要とする箇所に対してパターン露光する場合は、ガラスマスクを用いるのが望ましい。一方、高精度を必要としない箇所に対してパターン露光する場合は、フィルムのフォトマスクを用いても十分対応可能であり、また安価な点で望ましい。   A photomask refers to an original (mask) for forming a solder resist pattern by pattern exposure. A film mask or a glass mask can be used as the photomask. The film mask is made of PET (polyethylene terephthalate) or the like as the base material, the glass mask is made of soda lime glass or the like, and a light shielding film that shields light (mainly ultraviolet light) during pattern exposure is formed by providing a desired pattern. it can. When pattern exposure is performed on a portion requiring high accuracy, it is desirable to use a glass mask. On the other hand, when pattern exposure is performed on a portion that does not require high precision, it is possible to sufficiently cope with the use of a film photomask, and it is desirable in terms of low cost.

高精度を要する箇所とは、例えば、回路パターン上に接続端子を設ける目的等で形成されるソルダーレジストの開口や、接続端子となる回路パターンの間隙に電子部品との接続に用いる半田がブリッジしないように設けられるソルダーレジストのダム等のソルダーレジストパターンにおいて、最終的に目的とするソルダーレジストパターンの端部を含む領域をいう。一方、高精度を要しない箇所とは、最終的に目的とするソルダーレジストパターンの端部から内側に100μm以上離れた箇所をいう。このような箇所は、最終的に目的とするソルダーレジストパターンを決定する箇所ではないので、比較的大まかなパターン露光を行えばよい。このため、フィルムマスクを用いるのが適している。   For example, the location where high accuracy is required means that the solder resist formed for the purpose of providing a connection terminal on the circuit pattern or the like, or the solder used for connection with the electronic component does not bridge in the gap of the circuit pattern serving as the connection terminal. In the solder resist pattern such as a solder resist dam provided as described above, it means a region including the end of the final solder resist pattern. On the other hand, a location that does not require high accuracy refers to a location that is 100 μm or more away from the end of the final solder resist pattern. Since such a place is not a place for finally determining a target solder resist pattern, relatively rough pattern exposure may be performed. For this reason, it is suitable to use a film mask.

本発明は、パターン露光されたソルダーレジストを現像することによって、目的とするソルダーレジストパターンを形成する工程を有する。現像とは、パターン露光されたソルダーの未露光箇所を現像液で除去し、最終的に目的とするソルダーレジストパターンを形成することである。現像液は、ソルダーレジストの種類によって選択されるが、一般的に用いられる、いわゆるアルカリ現像タイプのソルダーレジストでは、1質量%程度の炭酸ナトリウム水溶液が用いられる。目的とするソルダーレジストパターンとは、製品として出荷される際の回路基板に、要求されるソルダーレジストのパターンである。なお、現像後のソルダーレジストに対しては、一般的に、ソルダーレジストが実用レベルの機械的強度、耐薬品性、耐熱性等を有する硬化度に達するようにするための最終硬化が行われる。最終硬化のための処理は、ソルダーレジストの種類によって選択されるが、一般的に用いられる、いわゆるアルカリ現像タイプのソルダーレジストでは、150℃程度で、1時間程度の熱処理が行われる。   This invention has the process of forming the target soldering resist pattern by developing the soldering resist by which pattern exposure was carried out. Development is to remove a non-exposed portion of the pattern-exposed solder with a developer, and finally form a target solder resist pattern. The developing solution is selected depending on the type of solder resist. In a so-called alkali developing type solder resist, which is generally used, an aqueous sodium carbonate solution of about 1% by mass is used. The target solder resist pattern is a solder resist pattern required for a circuit board when shipped as a product. The developed solder resist is generally subjected to final curing so that the solder resist reaches a curing degree having a practical level of mechanical strength, chemical resistance, heat resistance, and the like. The treatment for the final curing is selected depending on the type of solder resist, but a so-called alkali development type solder resist that is generally used is subjected to heat treatment at about 150 ° C. for about 1 hour.

パターン露光されたソルダーレジストを形成する工程では、接触式パターン露光を行った後、非接触式パターン露光を行うのが望ましい。通常、ソルダーレジストが形成される領域全体の面積のうち、高精度を必要とする箇所は一部であり、高精度を必要としない箇所が大部分である。このため、回路基板の表裏両面に形成された未露光のソルダーレジストへのパターン露光を行う際は、まず、回路基板の表裏両面の高精度を必要としない箇所に対して、接触式パターン露光を行い、次いで、回路基板の表裏両面の高精度を必要とする箇所に対して、非接触式パターン露光を行う。これにより、非接触式パターン露光を行う際には、回路基板の大部分を占める高精度を必要としない箇所の未露光のソルダーレジストが硬化しているため、回路基板の裏面側からソルダーレジストが露光装置のワークテーブルに転写するのを低減させることができ、しかも高精度なソルダーレジストパターンを形成することが可能になる。   In the step of forming the pattern-exposed solder resist, it is desirable to perform non-contact pattern exposure after performing contact pattern exposure. Usually, of the entire area where the solder resist is formed, a part requiring high precision is a part, and a part not requiring high precision is most. For this reason, when performing pattern exposure on unexposed solder resists formed on both the front and back sides of a circuit board, first, contact pattern exposure is applied to locations that do not require high precision on both the front and back sides of the circuit board. Then, non-contact pattern exposure is performed on the portions of the circuit board that require high precision on both the front and back surfaces. As a result, when non-contact pattern exposure is performed, the unexposed solder resist is hardened at locations that do not require high accuracy, which occupies most of the circuit board. Transfer to the work table of the exposure apparatus can be reduced, and a highly accurate solder resist pattern can be formed.

パターン露光されたソルダーレジストを形成する工程では、接触式パターン露光及び非接触式パターン露光を行う際、部分的に露光箇所を重複させるのが望ましい。通常、ソルダーレジストが形成される領域全体の面積のうち、高精度を必要とする箇所は一部であり、高精度を必要としない箇所が大部分である。このため、回路基板の表裏両面に形成された未露光のソルダーレジストへのパターン露光を行う際は、まず、回路基板の表裏両面の高精度を必要としない箇所に対して、接触式パターン露光を行い、次いで、回路基板の表裏両面の高精度を必要とする箇所及び既に接触式パターン露光を行った高精度を必要としない箇所の両者に対して、非接触式パターン露光を行う。この場合、回路基板の表裏両面の高精度を必要としない箇所は、全体を重複させる必要はなく、必要な部分のみを重複させてもよい。これにより、非接触式パターン露光を行う際には、回路基板の大部分を占める高精度を必要としない箇所の未露光のソルダーレジストが硬化しているため、回路基板の裏面側からソルダーレジストが露光装置のワークテーブルに転写するのを低減させることができ、しかも高精度なソルダーレジストパターンを形成することが可能になる。また、大部分を占める高精度を必要しない箇所については、パターン露光を2回行なうことになるため、現像後の密着性が確保できるとともに、ソルダーレジストの表面が現像液にアタックされて白化するのを防止できる。   In the step of forming the pattern-exposed solder resist, it is desirable to partially overlap the exposed portions when performing contact-type pattern exposure and non-contact-type pattern exposure. Usually, of the entire area where the solder resist is formed, a part requiring high precision is a part, and a part not requiring high precision is most. For this reason, when performing pattern exposure on unexposed solder resists formed on both the front and back sides of a circuit board, first, contact pattern exposure is applied to locations that do not require high precision on both the front and back sides of the circuit board. Then, non-contact type pattern exposure is performed on both of the parts that require high precision on both the front and back surfaces of the circuit board and the parts that do not require high precision that have already undergone contact type pattern exposure. In this case, the portions that do not require high accuracy on both the front and back sides of the circuit board do not need to be overlapped entirely, and only necessary portions may be overlapped. As a result, when non-contact pattern exposure is performed, the unexposed solder resist is hardened at locations that do not require high accuracy, which occupies most of the circuit board. Transfer to the work table of the exposure apparatus can be reduced, and a highly accurate solder resist pattern can be formed. In addition, since the pattern exposure is performed twice for the portion that does not require high accuracy that occupies most, the adhesion after development can be ensured and the surface of the solder resist is attacked by the developer and whitened. Can be prevented.

パターン露光されたソルダーレジストを形成する工程では、接触式パターン露光及び非接触式パターン露光を行う際、前記パターン露光の面積を、露光回数を増やす毎に小さくすることが好ましい。すなわち、n回目の露光面積をS、(n+1)回目の露光面積をS(n+1)とすると、S>S(n+1)とすることが好ましい。通常、ソルダーレジストが形成される領域全体の面積のうち、高精度を必要とする箇所は一部であり、高精度を必要としない箇所が大部分である。このため、回路基板の表裏両面に形成された未露光のソルダーレジストへのパターン露光を行う際は、まず、回路基板の表裏両面の大部分を占める高精度を必要としない箇所に対して、接触式パターン露光を行い、次いで、回路基板の表裏両面の高精度を必要とする箇所に対して、非接触式パターン露光を行う。この場合、非接触式パターン露光では、回路基板の表裏両面の高精度を必要としない箇所を部分的に重複させてもよい。これにより、高精度を必要とする箇所に対して、非接触式パターン露光を行う際には、回路基板の大部分を占める高精度を必要としない箇所の未露光のソルダーレジストが硬化しているため、回路基板の裏面側からソルダーレジストが露光装置のワークテーブルに転写するのを低減させることができ、しかも高精度なソルダーレジストパターンを形成することが可能になる。また、レーザ等を用いた直接描画の場合は、描画時間を短縮することができる。 In the step of forming the pattern-exposed solder resist, when performing contact pattern exposure and non-contact pattern exposure, it is preferable to reduce the area of the pattern exposure every time the number of exposures is increased. In other words, the exposure area of the n-th S n, (n + 1) the time of exposure area when the S (n + 1), it is preferable that the S n> S (n + 1 ). Usually, of the entire area where the solder resist is formed, a part requiring high precision is a part, and a part not requiring high precision is most. For this reason, when performing pattern exposure to unexposed solder resist formed on both the front and back sides of the circuit board, first contact the parts that do not require high precision that occupy most of the front and back sides of the circuit board. Then, pattern contact exposure is performed, and then non-contact pattern exposure is performed on portions of the circuit board that require high accuracy on both the front and back surfaces. In this case, in the non-contact pattern exposure, portions that do not require high accuracy on both the front and back surfaces of the circuit board may be partially overlapped. As a result, when non-contact pattern exposure is performed on a portion requiring high accuracy, the unexposed solder resist is hardened at a portion not requiring high accuracy that occupies most of the circuit board. Therefore, it is possible to reduce the transfer of the solder resist from the back surface side of the circuit board to the work table of the exposure apparatus, and it is possible to form a highly accurate solder resist pattern. In the case of direct drawing using a laser or the like, the drawing time can be shortened.

以下、本発明の実施例を説明するが、本発明は、本実施例に限定されない。   Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to the examples.

(実施例1)
図1に示すように、厚さ3μmの銅箔21を張り合わせた、絶縁樹脂層5の公称厚さ0.2mmのガラス布基材エポキシ樹脂銅張積層板である、MCL−E−679FG(日立化成工業株式会社製、商品名)に、ドリル加工にてΦ0.15mmの貫通穴22を形成し、過マンガン酸カリウム処理によるスミア除去を施した。次いで約1μmの無電解銅めっきを施し、エッチングレジスト用ドライフィルムNIT225(ニチゴー・モートン株式会社製、商品名)をラミネータで仮圧着し、フィルム状のフォトマスクマスクをはり合わせて露光量140mJ/cmの紫外線で両面に回路パターン3となるパターンを焼付け、0.9質量%炭酸ナトリウム水溶液で現像してめっきレジストを形成した。次いで、めっきレジストのない部分に電解銅めっき23を析出させ、アミン系水溶液でめっきレジストを剥離除去し、硫酸−過酸化水素水混合水溶液でめっきレジストを形成していた箇所の下地銅をエッチング除去して回路パターン3を形成し、第1の回路基板4とした(図1(A))。
Example 1
As shown in FIG. 1, MCL-E-679FG (Hitachi), which is a glass cloth base epoxy resin copper clad laminate having a nominal thickness of 0.2 mm of an insulating resin layer 5 bonded with a copper foil 21 having a thickness of 3 μm. A through hole 22 having a diameter of 0.15 mm was formed by drilling in Kasei Kogyo Co., Ltd. (trade name), and smear removal was performed by potassium permanganate treatment. Next, electroless copper plating of about 1 μm is applied, and a dry film for etching resist NIT225 (product name, manufactured by Nichigo Morton Co., Ltd.) is temporarily pressure-bonded with a laminator, and a film-like photomask mask is bonded thereto, so that an exposure amount is 140 mJ / cm. The pattern which becomes the circuit pattern 3 on both surfaces was baked with ultraviolet rays of 2 , and developed with a 0.9 mass% sodium carbonate aqueous solution to form a plating resist. Next, electrolytic copper plating 23 is deposited on the portion where there is no plating resist, the plating resist is peeled off with an amine-based aqueous solution, and the underlying copper at the place where the plating resist was formed with an aqueous solution of sulfuric acid-hydrogen peroxide solution is removed by etching. Thus, a circuit pattern 3 was formed to form a first circuit board 4 (FIG. 1A).

第1の回路基板4の回路パターン3の表面を粗化処理し、第1の回路基板4の両面に対し、ガラス布にエポキシ樹脂を含浸させた公称厚さ0.04mmのプリプレグGEA−679FG(日立化成工業株式会社製、商品名)を介して、18μmのキャリア銅箔付3μm銅箔MT18SDH3(三井金属鉱業株式会社製、商品名)を真空プレスにて圧力2.5MPa、温度175℃、保持時間1.5時間の条件で積層後、キャリア銅箔を剥離し、銅箔21と絶縁樹脂層5を有する第2の回路基板6とした(図1(B))。   The surface of the circuit pattern 3 of the first circuit board 4 is roughened, and a prepreg GEA-679FG having a nominal thickness of 0.04 mm in which glass cloth is impregnated with epoxy resin on both surfaces of the first circuit board 4 ( Via a Hitachi Chemical Co., Ltd. product name), 18 μm 3 μm copper foil with carrier copper foil MT18SDH3 (Mitsui Metal Mining Co., Ltd. product name) is maintained at a pressure of 2.5 MPa and a temperature of 175 ° C. in a vacuum press. After the lamination for 1.5 hours, the carrier copper foil was peeled off to obtain the second circuit board 6 having the copper foil 21 and the insulating resin layer 5 (FIG. 1B).

第2の回路基板6の両面にドライフィルムNIT225(ニチゴー・モートン株式会社製、商品名)をラミネータで仮圧着し、フィルム状のフォトマスクをはり合わせて露光量90mJ/cmの紫外線で両面に回路パターンを焼付け、1質量%炭酸ナトリウム水溶液で現像してエッチングレジストを形成した。次いで、エッチングレジストのない銅部分を塩化第二鉄水溶液で除去し、3質量%水酸化ナトリウム水溶液でエッチングレジストを剥離除去して、レーザー照射用マスクとなる直径0.1mmのコンフォーマルマスク7及びレーザー位置認識用のパターン(図示しない。)を形成し、第3の回路基板8とした(図1(C))。 A dry film NIT225 (product name, manufactured by Nichigo Morton Co., Ltd.) is temporarily bonded to both surfaces of the second circuit board 6 with a laminator, and a film-like photomask is attached to both surfaces with an ultraviolet ray having an exposure amount of 90 mJ / cm 2. The circuit pattern was baked and developed with a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution to form an etching resist. Next, the copper portion without the etching resist is removed with an aqueous ferric chloride solution, and the etching resist is peeled off with a 3% by mass sodium hydroxide aqueous solution. A laser position recognition pattern (not shown) was formed to form a third circuit board 8 (FIG. 1C).

第3の回路基板8の両面に炭酸ガスレーザー加工機LC−1C/21(日立ビアメカニクス株式会社製、商品名)により、ビーム照射径0.2mm、パルス幅11μs、4ショットの条件でサイクル加工し、直径0.1mmの非貫通穴24を形成して第4の回路基板9とした(図1(D))。なお、サイクル加工とは、ある一定のエリアに対し、1穴/ショットずつ加工し、規定回数(本実施例の場合4回)を繰り返したら次のエリアに移り、同様に加工していく方法である。   Cyclic machining on both surfaces of the third circuit board 8 with a carbon dioxide laser machine LC-1C / 21 (trade name, manufactured by Hitachi Via Mechanics Co., Ltd.) under conditions of a beam irradiation diameter of 0.2 mm, a pulse width of 11 μs, and 4 shots. Then, a non-through hole 24 having a diameter of 0.1 mm was formed to form the fourth circuit board 9 (FIG. 1D). Cyclic machining is a method of machining one hole / shot at a time for a certain area, moving to the next area after repeating the specified number of times (four times in this embodiment), and machining in the same way. is there.

第4の回路基板9に過マンガン酸カリウム処理によるスミア除去を施し、次いで約1μmの無電解銅めっきを施し、エッチングレジスト用ドライフィルムNIT225(ニチゴー・モートン株式会社製、商品名)をラミネータで仮圧着し、フィルム状のフォトマスクをはり合わせて露光量140mJ/cmの紫外線で両面に回路パターン3となるパターンを焼付け、0.9質量%炭酸ナトリウム水溶液で現像してめっきレジストを形成した。次いで、めっきレジストのない部分に電解銅めっき23を析出させ、アミン系水溶液でめっきレジストを剥離除去し、硫酸−過酸化水素水混合水溶液でめっきレジストを形成していた下地銅をエッチング除去して回路パターン3を形成し、第5の回路基板10とした(図1(E))。 The fourth circuit board 9 is subjected to smear removal by potassium permanganate treatment, followed by electroless copper plating of about 1 μm, and an etching resist dry film NIT225 (product name, manufactured by Nichigo Morton Co., Ltd.) is temporarily used with a laminator Then, a film-like photomask was attached, and a pattern to be a circuit pattern 3 was printed on both surfaces with an ultraviolet ray having an exposure amount of 140 mJ / cm 2 , and developed with a 0.9 mass% sodium carbonate aqueous solution to form a plating resist. Next, electrolytic copper plating 23 is deposited on the portion where there is no plating resist, the plating resist is peeled off with an amine-based aqueous solution, and the base copper that has formed the plating resist with an aqueous solution of sulfuric acid-hydrogen peroxide solution is removed by etching. A circuit pattern 3 was formed to form a fifth circuit board 10 (FIG. 1E).

第5の回路基板10の回路パターン3の表面を粗化処理し、現像型ソルダーレジストインクPSR−4000AUS308(太陽インキ製造株式会社製、商品名)を両面に塗布し、80℃、20分程度のプレキュアを行って第6の回路基板13とした(図2(A))。   The surface of the circuit pattern 3 of the fifth circuit board 10 is roughened, and a development type solder resist ink PSR-4000AUS308 (trade name, manufactured by Taiyo Ink Manufacturing Co., Ltd.) is applied to both sides, and the temperature is about 80 ° C. for about 20 minutes Precure was performed to obtain a sixth circuit board 13 (FIG. 2A).

第6の回路基板13の両面に、フィルム状のフォトマスクをはり合わせて露光量540mJ/cmの紫外線でパターン露光すること(接触式によるパターン露光)により、未露光のソルダーレジスト12の大部分(高精度を必要としない箇所)に、接触式によるパターン露光がなされたソルダーレジスト1を形成し、第7の回路基板14とした(図2(B))。 A large portion of the unexposed solder resist 12 is obtained by applying a film-like photomask on both surfaces of the sixth circuit board 13 and performing pattern exposure with ultraviolet rays with an exposure amount of 540 mJ / cm 2 (contact pattern exposure). The solder resist 1 subjected to contact-type pattern exposure was formed at (a place where high accuracy is not required) to form a seventh circuit board 14 (FIG. 2B).

第7の回路基板14に、ガラスマスクによる投影露光を用いて露光量450mJ/cmの紫外線で、未露光のソルダーレジスト12の一部(高精度を必要とする箇所)及び既に接触式によるパターン露光がなされたソルダーレジスト1(高精度を必要としない箇所)に、パターン露光を行った(非接触式によるパターン露光)。これにより、未露光のソルダーレジスト12の一部(高精度を必要とする箇所)には、非接触式によるパターン露光がなされたソルダーレジスト2を、また既に接触式によるパターン露光がなされたソルダーレジスト1(高精度を必要としない箇所)には、接触式によるパターン露光後に非接触式によるパターン露光がなされたソルダーレジスト1を形成し、第8の回路基板15とした(図2(C))。 On the seventh circuit board 14, a part of the unexposed solder resist 12 (a portion requiring high accuracy) and an already contact-type pattern with ultraviolet light having an exposure amount of 450 mJ / cm 2 using projection exposure with a glass mask Pattern exposure was performed on the exposed solder resist 1 (location that does not require high accuracy) (pattern exposure by a non-contact method). As a result, a part of the unexposed solder resist 12 (a place requiring high accuracy) is applied with the solder resist 2 that has been subjected to non-contact pattern exposure, and the solder resist that has already been subjected to contact type pattern exposure. The solder resist 1 subjected to the non-contact pattern exposure after the contact type pattern exposure is formed at 1 (a place where high accuracy is not required) to form an eighth circuit board 15 (FIG. 2C). .

第8の回路基板15を1質量%炭酸ナトリウム水溶液で現像してソルダーレジストパターン20を形成し、紫外線を2000mJ/cm照射して硬化させ、150℃、1時間の乾燥をして熱硬化させて第9の回路基板16とした(図2(D))。 The eighth circuit board 15 is developed with a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution to form a solder resist pattern 20, cured by irradiating with 2000 mJ / cm 2 of ultraviolet rays, and dried at 150 ° C. for 1 hour for thermal curing. Thus, a ninth circuit board 16 was obtained (FIG. 2D).

(実施例2)
第5の回路基板10の作製までは実施例1と同様に行った。第5の回路基板10の回路パターン3の表面を粗化処理し、現像型ソルダーレジストフィルムPFR−800AUS402(太陽インキ製造株式会社製、商品名)を両面にラミネータで真空圧着し、第6の回路基板13とした(図2(A))。第7の回路基板14、第8の回路基板15及び第9の回路基板16は、実施例1と同様に作製した。
(Example 2)
The same process as in Example 1 was performed until the fifth circuit board 10 was manufactured. The surface of the circuit pattern 3 of the fifth circuit board 10 is roughened, and a development type solder resist film PFR-800AUS402 (trade name, manufactured by Taiyo Ink Mfg. Co., Ltd.) is vacuum-bonded on both sides with a laminator to form a sixth circuit. A substrate 13 was obtained (FIG. 2A). The seventh circuit board 14, the eighth circuit board 15 and the ninth circuit board 16 were produced in the same manner as in Example 1.

(比較例)
以下、比較例として従来の製造方法を説明する。
実施例1と同様に、第5の回路基板10を作製し、第5の回路基板10の回路パターン3の表面を粗化処理し、現像型ソルダーレジストインクPSR−4000AUS308(太陽インキ製造株式会社製、商品名)を両面に塗布し、80℃、20分程度のプレキュアを行って、第6の回路基板13とした(図3(A))。
(Comparative example)
Hereinafter, a conventional manufacturing method will be described as a comparative example.
As in Example 1, the fifth circuit board 10 is prepared, the surface of the circuit pattern 3 of the fifth circuit board 10 is roughened, and development type solder resist ink PSR-4000AUS308 (manufactured by Taiyo Ink Manufacturing Co., Ltd.) , Product name) was applied to both sides, and pre-curing was performed at 80 ° C. for about 20 minutes to obtain a sixth circuit board 13 (FIG. 3A).

第6の回路基板13の両面に、フィルム状のフォトマスクをはり合わせて露光量540mJ/cmの紫外線でパターン露光すること(接触式によるパターン露光)により、未露光のソルダーレジスト12に目的とするソルダーレジストパターン20となるパターンのパターン露光を行った。これにより、未露光のソルダーレジスト12(高精度を必要とする箇所及び高精度を必要としない箇所の両方)に、接触式によるパターン露光がなされたソルダーレジスト11を形成し、第10の回路基板17とした(図3(B))。 A film-like photomask is attached to both surfaces of the sixth circuit board 13 and pattern exposure is performed with ultraviolet rays having an exposure amount of 540 mJ / cm 2 (pattern exposure by contact type), thereby making it possible to form an unexposed solder resist 12. The pattern exposure of the pattern which becomes the solder resist pattern 20 to be performed was performed. As a result, the solder resist 11 subjected to the pattern exposure by the contact method is formed on the unexposed solder resist 12 (both the portion requiring high accuracy and the portion not requiring high accuracy), and the tenth circuit board is formed. 17 (FIG. 3B).

第10の回路基板17を1質量%炭酸ナトリウム水溶液で現像して、目的とするソルダーレジストパターン20を形成し、紫外線を2000mJ/cm照射して硬化させ、150℃、1時間の乾燥をして熱硬化させて第11の回路基板とした(図3(C))。 The tenth circuit board 17 is developed with a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution to form the intended solder resist pattern 20, cured by irradiating with 2000 mJ / cm 2 of ultraviolet rays, and dried at 150 ° C. for 1 hour. Thus, an eleventh circuit board was obtained by thermosetting (FIG. 3C).

上記実施例1、2及び比較例の結果、ソルダーレジストパターン20の脱落による製品不良率を4.0%(比較例)から0.2%(実施例1、2)に低減することができた。   As a result of Examples 1 and 2 and the comparative example, the product defect rate due to the drop of the solder resist pattern 20 could be reduced from 4.0% (Comparative Example) to 0.2% (Examples 1 and 2). .

1:(接触式によるパターン露光後に非接触式によるパターン露光がなされた)ソルダーレジスト
2:(非接触式によるパターン露光がなされた)ソルダーレジスト
3:回路パターン
4:第1の回路基板
5:絶縁樹脂層
6:第2の回路基板
7:コンフォーマルマスク
8:第3の回路基板
9:第4の回路基板
10:第5の回路基板
11:(接触式によるパターン露光がなされた)ソルダーレジスト
12:未露光のソルダーレジスト
13:第6の回路基板または回路基板
14:第7の回路基板
15:第8の回路基板
16:第9の回路基板
17:第10の回路基板
18:第11の回路基板
20:ソルダーレジストパターン
21:銅箔
22:貫通孔
23:電解銅めっき
24:非貫通孔
1: Solder resist (with non-contact pattern exposure after contact pattern exposure) 2: Solder resist (with non-contact pattern exposure) 3: Circuit pattern 4: First circuit board 5: Insulation Resin layer 6: 2nd circuit board 7: Conformal mask 8: 3rd circuit board 9: 4th circuit board 10: 5th circuit board 11: Solder resist 12 (pattern exposure by contact type was made) : Unexposed solder resist 13: 6th circuit board or circuit board 14: 7th circuit board 15: 8th circuit board 16: 9th circuit board 17: 10th circuit board 18: 11th circuit Substrate 20: Solder resist pattern 21: Copper foil 22: Through hole 23: Electrolytic copper plating 24: Non-through hole

Claims (5)

ソルダーレジストパターンにて被覆された回路パターンを有する回路基板の製造方法において、
前記回路パターン上に未露光のソルダーレジストを形成する工程と、
前記未露光のソルダーレジストに対して、接触式パターン露光及び非接触式パターン露光を行って、パターン露光されたソルダーレジストを形成する工程と、
前記パターン露光されたソルダーレジストを現像することによって、目的とするソルダーレジストパターンを形成する工程と、を有し、
前記パターン露光されたソルダーレジストを形成する工程では、接触式パターン露光を行った後、前記接触式パターン露光を行った個所と重複させて非接触式によるパターン露光を行う回路基板の製造方法。
In a method for manufacturing a circuit board having a circuit pattern coated with a solder resist pattern,
Forming an unexposed solder resist on the circuit pattern;
For the unexposed solder resist, performing a contact pattern exposure and a non-contact pattern exposure to form a pattern exposed solder resist;
By developing the pattern exposed solder resist, possess a step of forming a solder resist pattern of interest, and
In the step of forming the pattern-exposed solder resist, after performing contact type pattern exposure, a method of manufacturing a circuit board that performs non-contact type pattern exposure overlapping with a portion where the contact type pattern exposure is performed .
請求項1において、パターン露光されたソルダーレジストを形成する工程では、非接触式パターン露光を行う際に、最終的に目的とするソルダーレジストパターンの端部を含む領域に対して露光を行う回路基板の製造方法。2. The circuit board according to claim 1, wherein, in the step of forming the pattern-exposed solder resist, when performing non-contact pattern exposure, the circuit substrate that finally exposes an area including an end portion of the target solder resist pattern Manufacturing method. 請求項1または2において、パターン露光されたソルダーレジストを形成する工程では、非接触式パターン露光を行う際、接触式パターン露光を行った個所と部分的に露光箇所を重複させる回路基板の製造方法。 3. The method of manufacturing a circuit board according to claim 1 or 2, wherein in the step of forming the pattern-exposed solder resist , when the non- contact pattern exposure is performed, the exposed portion is partially overlapped with the portion where the contact pattern exposure is performed. . 請求項1から3の何れかにおいて、パターン露光されたソルダーレジストを形成する工程で、接触式パターン露光及び非接触式パターン露光を行う際、前記パターン露光の面積を、露光回数を増やす毎に小さくする回路基板の製造方法。   4. The contact pattern exposure and non-contact pattern exposure are performed in the step of forming a pattern-exposed solder resist in any one of claims 1 to 3, and the pattern exposure area is reduced each time the number of exposures is increased. Circuit board manufacturing method. 請求項1から4の何れかにおいて、回路パターン上に未露光のソルダーレジストを形成する工程では、前記回路パターン上に、液状のソルダーレジストインクを塗布しプレキュアすることまたはドライフィルム状のソルダーレジストフィルムをラミネートすることによって、未露光のソルダーレジストを形成する回路基板の製造方法。   5. The process of forming an unexposed solder resist on a circuit pattern according to claim 1, wherein a liquid solder resist ink is applied on the circuit pattern and precured, or a dry film solder resist film is formed. A circuit board manufacturing method for forming an unexposed solder resist by laminating a substrate.
JP2011141721A 2011-06-27 2011-06-27 Circuit board manufacturing method Expired - Fee Related JP5743208B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011141721A JP5743208B2 (en) 2011-06-27 2011-06-27 Circuit board manufacturing method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011141721A JP5743208B2 (en) 2011-06-27 2011-06-27 Circuit board manufacturing method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013008908A JP2013008908A (en) 2013-01-10
JP5743208B2 true JP5743208B2 (en) 2015-07-01

Family

ID=47675992

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011141721A Expired - Fee Related JP5743208B2 (en) 2011-06-27 2011-06-27 Circuit board manufacturing method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5743208B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112928034A (en) * 2021-01-27 2021-06-08 中南大学 Method for manufacturing controllable cavity in power electronic solder layer

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2722557B2 (en) * 1988-11-15 1998-03-04 日本電気株式会社 Manufacturing method of printed wiring board
JPH0810789B2 (en) * 1989-01-12 1996-01-31 日本電気株式会社 Method for manufacturing printed wiring board

Also Published As

Publication number Publication date
JP2013008908A (en) 2013-01-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2012060096A (en) Embedded ball grid array substrate and its manufacturing method
JP2013232464A (en) Circuit board
JP5743208B2 (en) Circuit board manufacturing method
JP5847754B2 (en) Photosensitive resin structure, dry film, and flexible printed wiring board
US9288902B2 (en) Printed circuit board and method of manufacturing the same
KR101222828B1 (en) Method of manufacturing coreless substrate
JP2004158521A (en) Multilayer printed wiring board and its manufacturing method and semiconductor device
KR100619349B1 (en) Method for forming circuit pattern of printed circuit board
KR100714773B1 (en) Solder resist forming method of pcb
JP4633457B2 (en) Manufacturing method of rigid flexible printed wiring board
KR100688708B1 (en) Manufacturing method of printed circuit board
JPH036880A (en) Printed wiring board and manufacture thereof
KR101519545B1 (en) Manufacturing method of circuit board for car black box
JP2016157840A (en) Method for manufacturing printed-wiring board
CN111279804B (en) Method for manufacturing printed circuit board and laminated structure
JP3711569B2 (en) Printed wiring board and manufacturing method thereof
JP4676376B2 (en) Circuit board manufacturing method
KR20120089022A (en) Method for manufacturing printed circuit board
KR100645642B1 (en) High density BGA package board and method for manufacturing thereof
JP2622848B2 (en) Manufacturing method of printed wiring board
JPH0329390A (en) Manufacture of printed wiring board
JP2021163893A (en) Circuit wiring board and wiring pattern formation method
JPH03255693A (en) Manufacture of printed wiring board
JPH11307934A (en) Multi-layer printed circuit board and its manufacturing method
JPH10341081A (en) Multilayered printed wiring board manufacture

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20140526

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20141218

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20141218

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150212

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20150410

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20150423

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 5743208

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees