JP5741290B2 - 破壊装置及び破壊方法 - Google Patents
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Description
このような構成のSSDに対して、上記依頼人の要求を満たすには、複数の不揮発性メモリチップを個々に破壊し、SSDに搭載された全ての不揮発性メモリチップが物理的に破壊されたことを依頼人が確認できるようにしなければならない。
2 不揮発性メモリチップ
2A シリコンチップ
2B モールド樹脂
12 ホーン
14 AEセンサ
17 パルス発振器
18 ストローク制御部
19 プロセス制御部
21 取得部
22 第1の判定部
23 第2の判定部
24 制御部
25 設定部
26 記憶部
X 基準閾値
X1 第1の閾値
X2 第2の閾値
Claims (5)
- 樹脂材料で封止されたシリコンチップを破壊する超音波振動を出力する出力部と、
前記超音波振動による前記樹脂材料又は前記シリコンチップの破壊時に発生する弾性波を検出する検出部と、
検出された前記弾性波の周波数応答から、前記樹脂材料及び前記シリコンチップが共振する特定周波数帯の高調波成分の応答出力を取得する取得部と、
前記取得部によって取得された前記応答出力と、前記超音波振動による前記シリコンチップの破壊時に生じる前記特定周波数帯の高調波成分の応答出力となる第1の閾値とを比較、判定する第1の判定部と、
前記第1の判定部が、前記特定周波数帯の高調波成分の応答出力が前記第1の閾値以下であると判定した後、前記取得部によって取得された前記応答出力と、前記超音波振動による前記樹脂材料の破壊時に生じる前記特定周波数帯の高調波成分の応答出力となる第2の閾値とを比較、判定する第2の判定部と、
前記第2の判定部が、前記特定周波数帯の高調波成分の応答出力が前記第2の閾値以上であると判定した後、前記出力部の前記超音波振動を停止させる制御部と
を有することを特徴とする破壊装置。 - 前記超音波振動による前記樹脂材料の破壊開始時点に発生した前記特定周波数帯の高調波成分の応答出力の基準閾値から前記第1の閾値、および前記第2の閾値を算出する設定部を有することを特徴とする請求項1に記載の破壊装置。
- 前記特定周波数帯は、
前記樹脂材料及び前記シリコンチップが共振する周波数帯の内、前記超音波振動による前記樹脂材料の破壊時に発生する前記弾性波に関わる高調波成分の応答出力と、前記超音波振動による前記シリコンチップの破壊時に発生する前記弾性波に関わる高調波成分の応答出力との差が最大となる周波数帯であることを特徴とする請求項1又は2に記載の破壊装置。 - 前記取得部は、
抽出された前記特定周波数帯の高調波成分の応答出力に関わる移動平均値を前記特定周波数帯の高調波成分の応答出力として取得することを特徴とする請求項1〜3の何れか一つに記載の破壊装置。 - 樹脂材料で封止されたシリコンチップを超音波振動で破壊する破壊装置による破壊方法であって、
前記破壊装置は、
前記樹脂材料又は前記シリコンチップに対して超音波振動を出力し、
前記超音波振動による前記樹脂材料又は前記シリコンチップの破壊時に発生する弾性波を検出し、
検出された前記弾性波の周波数応答から、前記樹脂材料及び前記シリコンチップが共振する特定周波数帯の高調波成分の応答出力を取得し、
取得された前記特定周波数帯の高調波成分の応答出力と、前記超音波振動による前記シリコンチップの破壊時に生じる前記特定周波数帯の高調波成分の応答出力となる第1の閾値とを比較、判定し、
前記特定周波数帯の高調波成分の応答出力が前記第1の閾値以下になった後、前記特定周波数帯の高調波成分の応答出力と、前記超音波振動による前記樹脂材料の破壊時に生じる前記特定周波数帯の高調波成分の応答出力となる第2の閾値とを比較、判定し、
前記特定周波数帯の高調波成分の応答出力が前記第2の閾値以上になった場合に、前記超音波振動の出力を停止する
各処理を実行させることを特徴とする破壊方法。
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