JP5736788B2 - Seismic fixing device - Google Patents
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Description
本発明は、例えば、工場内で軌道に沿って走行するビークル等の搬送車により搬送される被搬送物を、その処理装置、保管庫、棚等(以下単に「処理装置等」という)と搬送車との相互間で効率良く移載するために両者間に適宜設置される、バッファ、バッファストレージ等の一時保持用機器等の機器或いは設備機器(以下単に「機器」という)を、工場の床に固定するための耐震固定装置の技術分野に関する。 The present invention, for example, transports an object to be transported by a transport vehicle such as a vehicle traveling along a track in a factory to its processing device, storage, shelf, etc. (hereinafter simply referred to as “processing device”). In order to transfer efficiently between vehicles, equipment or equipment (hereinafter simply referred to as “equipment”) such as buffers, buffer storage and other temporary holding equipment, which are installed between the two, are installed on the factory floor. TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
この種の耐震固定装置の一部分として、工場内における床上を、設置箇所に向けて移動可能なように底面に車輪が設けられた機器側に、床に対し位置決め可能であるように位置決め金具や固定用金具が設けられる。これに呼応する形で床側には、この種の耐震固定装置の他部分として、位置決め金具や固定用金具が設けられたりする。ここに「工場」は、例えば、半導体装置製造工場、液晶装置製造工場等である。工場内でビークル等により搬送される「被搬送物」は、例えば、半導体製造装置、液晶製造装置で用いられるウエーハ等を収容するFOUP(Front Opening Unified Pod)である。「機器」は、例えばバッファである。 As a part of this type of seismic fixing device, positioning metal fittings and fixed so that it can be positioned with respect to the floor on the equipment side with wheels on the bottom so that it can move toward the installation location on the floor in the factory A fitting is provided. In response to this, a positioning bracket or a fixing bracket is provided on the floor side as another part of this type of seismic fixing device. Here, the “factory” is, for example, a semiconductor device manufacturing factory, a liquid crystal device manufacturing factory, or the like. The “conveyed object” conveyed by a vehicle or the like in the factory is, for example, a FOUP (Front Opening Unified Pod) that accommodates a wafer or the like used in a semiconductor manufacturing apparatus or a liquid crystal manufacturing apparatus. The “device” is, for example, a buffer.
加えて、この種の耐震固定装置は、法律や規格等で決められた耐震基準を満たすように強固に固定するように構成されている。 In addition, this type of seismic fixing device is configured to be firmly fixed so as to satisfy seismic standards determined by laws and standards.
例えば、機器を床上に固定する装置の一例が特許文献1に開示されており、機器の耐震据付装置の一例が特許文献2に開示されている。機器が工場の床に固定されると、工場稼動時には、正確に位置決めされた機器等を介して、例えば、搬送車と処理装置等との間における被搬送物の移載が高精度にて実行可能となる。 For example, Patent Document 1 discloses an example of an apparatus for fixing equipment on the floor, and Patent Document 2 discloses an example of an earthquake-proof installation apparatus for equipment. When the equipment is fixed to the factory floor, when the factory is operating, for example, the transfer of the object to be transported between the transport vehicle and the processing device is performed with high accuracy via the equipment that is positioned accurately. It becomes possible.
しかしながら、「工場の床」がクリーンルームの床であると、そこには、例えば、各々が一辺50〜60cmのグレーチング或いはグレーチングパネルがマトリクス状に多数敷き詰められており、グレーチングには、その四辺の縁にリブ、フレーム、梁等(以下単に「リブ等」という)の、グレーチング自体の強度を高めるための特殊構造が設けられており、その四隅にて支柱により支持される。ここで、背景技術による固定装置の類を設けるための孔をグレーチングに開孔しようとする場合、仮にこれら四隅や縁に開孔してしまったのでは、グレーチングの強度低下を招くと共に、開孔などの作業自体が困難或いは実践上不可能となるという技術的問題点がある。これに対し、工場主の観点から言えば、同一工場内にてもラインの設計変更が実施され得ることがら、床における任意の位置に機器を固定できないようでは、或いは、耐震固定に際して床破壊・破損の危険性をはらむようでは、機器の使い勝手が著しく悪くなってしまうか或いは機器が実践上使えない。 However, if the “factory floor” is a clean room floor, for example, a large number of gratings or grating panels each having a side of 50 to 60 cm are laid in a matrix. Are provided with special structures for increasing the strength of the grating itself, such as ribs, frames, beams, etc. (hereinafter simply referred to as “ribs”), which are supported by pillars at their four corners. Here, when trying to open holes in the grating for providing a kind of fixing device according to the background art, if the holes are formed in these four corners and edges, the strength of the grating is reduced and the holes are opened. There is a technical problem that the work itself is difficult or impossible in practice. On the other hand, from the factory owner's point of view, the line design can be changed even in the same factory, so that the equipment cannot be fixed at an arbitrary position on the floor, or the floor is In order to increase the risk of damage, the usability of the device is significantly deteriorated or the device cannot be used in practice.
更に、機器は、工場内におけるライン設計・仕様等に応じて或いはメンテナンス・補修を定期又は不定期に実施するために、可動式であること、即ち比較的容易に耐震固定を解除して取外し可能であることが是非望ましい。他方で、その設置の際には、床に対する、即ち工場内における搬送車の軌道、搬送車、処理装置等に対する位置決めを正確に行う必要がある。このため、耐震固定作業を含む設置作業には、位置決め精度を出すために、数時間或いは日単位といった長時間を要すると共に、特に“ティーチング”などと称される機器に対する位置の較正等を含む手間のかかる或いは複雑高度な位置決め作業も、設置・耐震固定の都度に必要になるという技術的問題点がある。 In addition, the equipment is movable, that is, it can be removed by removing the seismic fixing relatively easily in order to carry out maintenance and repairs regularly or irregularly according to the line design and specifications in the factory. It is definitely desirable. On the other hand, when it is installed, it is necessary to accurately perform positioning with respect to the floor, that is, with respect to the track of the transport vehicle, the transport vehicle, the processing device, etc. in the factory. For this reason, installation work including seismic fixing work takes a long time such as several hours or days in order to obtain positioning accuracy, and particularly labor and time calibration for equipment called “teaching”. There is a technical problem that such a complicated or complicated high-level positioning operation is required for each installation and seismic fixation.
特に、この種の固定装置により法定や規格の耐震基準をクリアする必要があることまでも考慮すると、上記のいずれの問題点の解決は、より一層困難であることが想定される。 In particular, considering that it is necessary to clear the legal and standard seismic standards with this type of fixing device, it is assumed that the solution of any of the above problems will be even more difficult.
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、床の所望位置に機器自体或いは機器の台車を固定可能であると共に、強い地震にも耐え得る耐震固定装置を提供することを課題とする。 The present invention has been made in view of the above-described problems, for example, and provides an earthquake-resistant fixing device that can fix the device itself or the cart of the device at a desired position on the floor and can withstand a strong earthquake. And
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複数の平板状床部材が土台及び該土台上の基礎構造体の少なくとも一方から立設された複数の支柱を介することで前記土台から距離を隔てて敷き詰められてなる床に設けられた床側部材と、前記床上を移動可能な機器の本体に設けられた機器側部材とを含む、前記機器を前記床上に耐震固定するための耐震固定装置であって、前記床側部材は、下端側にて、前記平板状床部材に開けられた貫通孔に対向する位置における前記床の床下で前記土台又は前記基礎構造体に取り付けられ、上端側にて、前記貫通孔に挿入されている又は面している前記貫通孔と同軸に上側に開口又は突出した床側連結部材を備え、前記機器側部材は、下端側にて、前記貫通孔を介して前記床側連結部材と連結可能であり、上端側にて、前記本体のベース板に固定される機器側連結部材を備え、前記床側部材及び前記機器側部材は夫々、前記機器の一つに対して複数設けられ、複数の前記機器側部材は、一の前記床側部材に対し、前記機器側連結部材として、下端側にて、前記貫通孔を介して前記床側連結部材と連結可能な形状を有すると共に、上端側に、前記ベース板に取り付けられた水平位置決め用の受け部材に、受けられる突起部を有する、第1機器側連結部材と、他の前記床側部材に対し、前記機器側連結部材として、(i)前記ベース板における前記貫通孔に対向する位置に開けられた固定用穴内に、上下位置が調整可能に固定されると共に、前記貫通孔と同軸である同軸貫通穴を内部に有する上下位置決め用の固定部材、及び(ii)下端側にて、前記同軸貫通穴及び前記貫通孔を介して前記床側連結部材と連結可能な形状を有すると共に、上端側に、前記固定部材の上面に当接する下面を縁に持つように前記同軸貫通穴より幅広な頭部を有する、第2機器側連結部材とを備える。
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A floor-side member provided on a floor in which a plurality of flat floor members are spread at a distance from the foundation by way of a plurality of struts erected from at least one of the foundation and the foundation structure on the foundation. When, and a device-side member provided with the floor to the body of movable equipment, said equipment comprising a seismic fixed device for seismic fixed to the floor, the floor side member, the lower end Attached to the foundation or the base structure under the floor of the floor at a position facing the through hole opened in the flat plate-like floor member, and is inserted into or faces the through hole on the upper end side. A floor-side connecting member that opens or protrudes upward coaxially with the through-hole, and the equipment-side member can be connected to the floor-side connecting member via the through-hole on the lower end side. on the side, it is fixed to the base plate of the present body Comprising a device-side connecting member, the floor-side member and the apparatus-side member respectively, a plurality provided for one of the devices, the plurality of the apparatus-side member is one of the floor side member, the apparatus The side connecting member has a shape that can be connected to the floor side connecting member via the through hole on the lower end side, and a receiving member for horizontal positioning attached to the base plate on the upper end side. For the first equipment side connecting member and the other floor side member having the protruding portion, (i) for fixing opened at a position facing the through hole in the base plate as the equipment side connecting member In the hole, the vertical position is fixed in an adjustable manner, and has a coaxial through hole that is coaxial with the through hole, and a fixing member for vertical positioning inside, and (ii) on the lower end side, the coaxial through hole and the The floor side connecting member through the through hole And it has a connectable shape, the upper end, has a wider head than the coaxial through hole to have a lower surface in contact with the edge on the upper surface of the fixing member, and a second apparatus-side coupling member.
本発明によれば、耐震固定装置は、相互に連結可能である床側部材と機器側部材とによって、機器を床上に耐震固定する。 According to the present invention, the earthquake-resistant fixing device earthquake-fixes equipment on the floor by the floor-side member and the equipment-side member that can be connected to each other.
ここに本発明に係る「床」とは、例えばグレーチング或いはグレーチングパネル等である複数の平板状床部材が、マトリクス状に敷き詰められてなる。ここで特に、複数の平板状床部材は、典型的には、工場のコンクリート床などの土台と該土台上に設置された根太などの基礎構造体との少なくとも一方から立設された複数の支柱を介することで、土台から距離を隔てて敷き詰められている。言い換えれば、「床」は、二重床構造における上側の床部分、即ち、実際にその上面に当該機器を含む物が置かれる床を指す。このような床は、例えばグレーチングの四隅に設けられた支柱或いは脚によって、土台面から例えば数cmから数十cmの距離を隔てて、即ち、床下と土台との間に空間が空くように構成されている。なお、典型的なグレーチングの場合、その平面形状が、例えば、一辺50〜60cmの矩形或いは正方形であり、その四辺の縁に、高さ数cm程度のリブ等が設けられており、その四隅にて、支柱により支持されている。なお「工場」は典型的には、半導体装置製造工場や液晶装置製造工場であるが、このような床が存在する限りにおいて、これらの工場に限られない。 Here, the “floor” according to the present invention is formed by laying a plurality of flat floor members such as a grating or a grating panel in a matrix. Here, in particular, the plurality of flat floor members typically include a plurality of support columns erected from at least one of a foundation such as a concrete floor of a factory and a foundation structure such as a joist installed on the foundation. It is spread with a distance from the foundation. In other words, the “floor” refers to the upper floor portion in the double floor structure, that is, the floor on which the object including the equipment is actually placed. Such a floor is configured such that, for example, by a support or leg provided at the four corners of the grating, a space of, for example, several centimeters to several tens of centimeters is separated from the base surface, that is, a space is provided between the floor and the base. Has been. In the case of a typical grating, the planar shape is, for example, a rectangle or square having a side of 50 to 60 cm, and ribs or the like having a height of about several centimeters are provided on the edges of the four sides. And supported by the support. The “factory” is typically a semiconductor device manufacturing factory or a liquid crystal device manufacturing factory, but is not limited to these factories as long as such a floor exists.
本発明に係る「機器」とは、このような床に対して耐震固定される必要性がある限りにおいて任意である。「機器」は、例えば、工場の天井等に敷設された軌道上を走行するビークル等の搬送車により搬送される被搬送物を、その処理装置等と搬送車との相互間で効率良く移載するために両者間に適宜設置される、バッファ或いはバッファ装置、バッファストレージ等の機器である。更に、「機器」は、単なる棚のみならず、電動機構や機械機構などを備えてなる設備機器も含む広い概念である。なお「被搬送物」は、例えば半導体製造装置や液晶製造装置で用いられるウエーハ等を収容するFOUPである。 The “equipment” according to the present invention is optional as long as it is necessary to be seismically fixed to such a floor. “Equipment”, for example, efficiently transfers objects to be transported by a transport vehicle such as a vehicle traveling on a track laid on a factory ceiling or the like between the processing device and the transport vehicle. Therefore, a device such as a buffer or a buffer device or a buffer storage is installed between the two as appropriate. Furthermore, “equipment” is a broad concept including not only a shelf but also equipment that includes an electric mechanism, a mechanical mechanism, and the like. The “conveyed object” is a FOUP that accommodates, for example, a wafer used in a semiconductor manufacturing apparatus or a liquid crystal manufacturing apparatus.
機器を耐震固定する際には先ず、例えば工場内の生産ラインのレイアウト設計にしたがって、機器がその設置場所へと、移動される。例えば、天井に敷設された軌道上で移載用に停止する際のビークルの停止位置(言い換えれば、移載用位置)と、処理装置等との間の空間へと、移動される。この移動は、例えば、機器が移動可能なように、その本体の底部又は機器が載置された台車の底部に設けられた車輪、キャスター等の移動手段によって、人力又は動力によって行われる。或いは、人力やリフトにより、持ち上げられた状態で、その設置場所へと運ばれてもよい。 When the equipment is seismically fixed, the equipment is first moved to its installation location, for example, according to the layout design of the production line in the factory. For example, the vehicle is moved to a space between the stop position of the vehicle (in other words, the transfer position) when stopping for transfer on the track laid on the ceiling, and the processing device or the like. This movement is performed by human power or power by moving means such as wheels and casters provided at the bottom of the main body or the bottom of the carriage on which the device is placed so that the device can move. Or you may be carried to the installation place in the lifted state by human power or a lift.
この設置場所には先ず、機器を実際に設置する作業に相前後して或いは並行して、床に床側部材が設けられる。平板状床部材には、機器を実際に設置する作業に相前後して或いは並行して、例えば直径数cm、最低でも直径1cm以上の貫通孔が開孔される。床側部材は、その下端側にて、貫通孔に対向する或いは対向することになる位置における土台又は基礎構造体に取り付けられる。床側連結部材は、床側部材の上端側にて、貫通孔に挿入されている又は面している。床側連結部材は、貫通孔の途中まで挿入されてもよいし、貫通孔の入り口まで届かなくてもよいし、或いは、貫通孔を突き抜けるように挿入されてもよい。床側連結部材は、貫通孔と同軸に上側に開口又は突出しており、具体的には、例えば雌ネジが切られた貫通孔と同軸の、貫通孔の内径に等しい又はより小さい細長い穴が開けられてもよい。或いは、貫通孔と同軸の、貫通孔の内径よりも外径が小さい突出形状を有してもよい。加えて、連結部材のネジ径は、地震による負荷に応じて変えることが望ましい。そのため構造的に、床の貫通孔は、ネジ径よりも大きいことが好ましい。 In this installation place, first, a floor-side member is provided on the floor before or after the operation of actually installing the equipment. A through hole having a diameter of, for example, several centimeters in diameter and at least 1 centimeter in diameter is opened in the flat floor member before or after the operation of actually installing the equipment. The floor side member is attached to the base or the foundation structure at a position facing the through hole or facing the through hole on the lower end side. The floor side connecting member is inserted into or faces the through hole on the upper end side of the floor side member. The floor side connecting member may be inserted partway through the through hole, may not reach the entrance of the through hole, or may be inserted through the through hole. The floor side connecting member opens or protrudes on the upper side coaxially with the through hole. Specifically, for example, an elongated hole that is equal to or smaller than the inner diameter of the through hole is formed on the same axis as the through hole in which the female thread is cut. May be. Alternatively, it may have a protruding shape coaxial with the through hole and having an outer diameter smaller than the inner diameter of the through hole. In addition, it is desirable to change the screw diameter of the connecting member according to the load caused by the earthquake. Therefore, structurally, the through hole in the floor is preferably larger than the screw diameter.
他方、機器を実際に設置する作業に相前後して或いは並行して、機器側部材は、機器の本体及び台車の少なくとも一方に設けられる。ここに「本体」は、例えば、バッファストレージの外函、外枠のことであり、底部にキャスターが付いたベース板を備えてなる。即ち、この場合には、ベース板が本体の底板をなす。他方、「台車」は、例えば、バッファストレージが載置された、底部にキャスターが付いたベース板を備えてなる。 On the other hand, the apparatus side member is provided in at least one of the main body of the apparatus and the carriage in parallel with or in parallel with the operation of actually installing the apparatus. Here, the “main body” is, for example, an outer box or outer frame of the buffer storage, and includes a base plate with a caster at the bottom. That is, in this case, the base plate forms the bottom plate of the main body. On the other hand, the “cart” includes, for example, a base plate on which a buffer storage is placed and a caster at the bottom.
このように構成された機器側部材は、床上で平面的に見て床側部材と同一位置になるように機器が移動され停止されると、機器側連結部材は、その上端側にてベース板に固定され、その下端側にて貫通孔を介して、床側連結部材と連結される。例えば、機器側連結部材は、下端側に雄ネジが切られており、貫通孔を介して、雌ネジが切られた床側連結部材にネジ締めの要領で係合される。或いは逆に、機器側連結部材は、下端側に雌ネジが切られており、貫通孔を介して、雄ネジが切られた床側連結部材にネジ締めの要領で係合される。いずれの場合にも、両者は強固に連結される。なお、機器側連結部材とベース板との固定は、初回設定時のみに行い、それ以降は、固定されたまま機器を着脱すればよい。 When the equipment is moved and stopped so that the equipment-side member configured in this manner is located at the same position as the floor-side member when viewed in plan on the floor, the equipment-side connecting member has a base plate at its upper end side. And is connected to the floor-side connecting member via a through hole on the lower end side. For example, the device side connecting member has a male screw cut at the lower end side, and is engaged with the floor side connecting member cut through the through hole through the through hole. Or conversely, the apparatus side connecting member has a female screw cut on the lower end side, and is engaged with the floor side connecting member cut off the male screw through a through hole in the manner of screw tightening. In either case, both are firmly connected. The device-side connecting member and the base plate are fixed only at the initial setting, and thereafter, the device may be attached and detached while being fixed.
この際特に、機器を床上に耐震固定するための機械的な強度は、ベース板、機器側部材、床側部材、並びに、床側部材が取り付けられた床下に存在する土台又は前記基礎構造体に主に依存する。言い換えれば、ここでの強度は、平板状床部材には、あまり或いは殆ど依存しない。即ち、グレーチング等の平板状板部材に比べて、より強固に造られていることが容易であり且つ実際により強固に造られていることが常套であるコンクリート床等である土台や、その上に組まれた鋼材製の根太等の基礎構造体に対し、機器を、当該耐震固定装置を介して一体的に固定する構造が得られる。言い換えれば、本願発明において「機器が床に固定される」とは、見かけ上は床に固定されるものの、実際には、床を介して床下にて、床よりも強固な土台や基礎構造体に固定されると捉えることもできる。このような固定により、固定、即ち耐震固定するための機械的強度を、グレーチング等の平板状板部材の強度にあまり又は殆どよらずに、容易にして顕著に高めることが可能となる。なお、機器を床上に設置後に、機器又はまた台車における平板状板部材の表面との当接部分を、該表面から完全には又は全く上げないことにより、機器の重量を、上述した床下の各部(即ち、機器側部材、床側部材、土台、基礎構造体等)と平板状板部材とに、分散させるようにしてもよい。 In particular, the mechanical strength for seismic fixation of equipment on the floor is based on the base plate, equipment-side member, floor-side member, and the foundation or foundation structure existing under the floor to which the floor-side member is attached. Depends mainly on. In other words, the strength here is less or less dependent on the flat floor member. That is, compared to a flat plate member such as a grating, it is easy to be made stronger, and a foundation such as a concrete floor or the like, which is conventionally made stronger, A structure is obtained in which the equipment is integrally fixed to the assembled steel structure foundation such as joists through the seismic fixing device. In other words, in the present invention, “equipment is fixed to the floor” is apparently fixed to the floor, but actually, a foundation or foundation structure stronger than the floor under the floor through the floor. It can also be understood that it is fixed to. By such fixing, the mechanical strength for fixing, that is, seismic fixing can be easily and remarkably increased without much or little depending on the strength of a flat plate member such as grating. After installing the device on the floor, the weight of the device is reduced by not raising the contact portion with the surface of the flat plate member in the device or the carriage completely or not from the surface. (That is, the device side member, the floor side member, the base, the foundation structure, etc.) and the flat plate member may be dispersed.
なお、耐震固定を解除したいときには、例えば、ネジを緩める要領で、床側連結部材と機器側連結部材との係合を解くことで、機器を床側部材から切り離すことができる。よって、連結する場合にも、連結を解く場合にも、比較的簡単に行う構造を採用することが容易となる。 When it is desired to release the seismic fixation, for example, the device can be disconnected from the floor member by releasing the engagement between the floor side connecting member and the device side connecting member in the manner of loosening the screws. Therefore, it is easy to adopt a relatively simple structure when connecting and when releasing the connection.
しかも、床側部材の下端側を、土台又は基礎構造体に対して一旦取り付けてしまえば、これを取り外さない限りにおいて、床上での水平位置については、それ以降は不動となる。即ち、それ以降は、水平位置についての位置決めについては、基本的に不要となる。 Moreover, once the lower end side of the floor side member is attached to the base or the foundation structure, the horizontal position on the floor is immovable thereafter unless it is removed. That is, after that, positioning for the horizontal position is basically unnecessary.
加えて、機器側部材と床側部材との連結時における両者の上下方向或いは鉛直方向の長さが不変であることを利用すれば、即ち連結時における当該耐震固定装置の高さが不変であるように構成し、そのように不変である鉛直方向の長さ或いは不変である高さを基準に、耐震固定された際における機器の高さを決めれば、床側部材の下端側を取り外さない限りにおいて、床上での垂直位置についても、それ以降は不動となる。よって、当該耐震固定装置の水平位置を基準とし且つ当該耐震固定装置の高さを基準とすることで、位置について極めて再現性に優れた形で、耐震固定を行える。言い換えれば、当該耐震固定装置を用いて耐震固定すれば、固定の解除と固定とを繰り返して行っても、極めて高い位置精度を出すことが出来、ティーチングなどの較正等の位置決めに関する諸作業も、最初に耐震固定した際に一度だけ行っておけば、以降に行う必要は基本的になくなる。 In addition, if the fact that the length in the vertical direction or the vertical direction of both of the equipment side member and the floor side member is invariable is used, that is, the height of the seismic fixing device at the time of connection is unchanged. As long as the lower end side of the floor side member is not removed, the height of the equipment when it is seismically fixed is determined based on the vertical length or the unchanged height. In this case, the vertical position on the floor does not move after that. Therefore, by using the horizontal position of the earthquake-resistant fixing device as a reference and the height of the earthquake-resistant fixing device as a reference, the earthquake-resistant fixing can be performed with extremely excellent reproducibility of the position. In other words, if seismic fixing is performed using the seismic fixing device, extremely high positional accuracy can be obtained even by repeatedly releasing and fixing, and various operations related to positioning such as calibration such as teaching, If it is done only once at the time of the first seismic fixation, there is basically no need to do it thereafter.
よって、例えば、工場内におけるライン設計・仕様等に応じて或いはメンテナンス・補修を定期又は不定期に実施する際に、著しく有利となる。例えば、背景技術の固定作業において必要であった、位置決め精度を出すための数時間或いは日単位といった長時間の作業時間の発生や、ティーチング等を含む手間のかかる或いは複雑高度な位置決め作業の発生を防げる。 Therefore, for example, it is extremely advantageous when the maintenance / repair is performed regularly or irregularly according to the line design / specifications in the factory. For example, generation of long working hours such as several hours or days for obtaining positioning accuracy, which is necessary for fixing work in the background art, and troublesome or complicated advanced positioning work including teaching etc. I can prevent it.
以上のように本発明の耐震固定装置によって、法律や規格等で決められた耐震基準を満たすように強固に固定することが比較的簡単且つ迅速に実行可能となる。しかも、比較的容易にして、固定及び固定解除可能としつつ高精度で位置決めを実行可能である。
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本発明に係る耐震固定装置の一態様では、前記床側部材及び前記機器側部材は夫々、前記機器の一つに対して複数設けられ、複数の前記機器側部材は、一の前記床側部材に対し、前記機器側連結部材として、下端側にて、前記貫通孔を介して前記床側連結部材と連結可能な形状を有すると共に、上端側に、前記ベース板に取り付けられた水平位置決め用の受け部材に、受けられる突起部を有する、第1機器側連結部材と、他の前記床側部材に対し、前記機器側連結部材として、(i)前記ベース板における前記貫通孔に対向する位置に開けられた固定用穴内に、上下位置が調整可能に固定されると共に、前記貫通孔と同軸である同軸貫通穴を内部に有する上下位置決め用の固定部材、及び(ii)下端側にて、前記同軸貫通穴及び前記貫通孔を介して前記床側連結部材と連結可能な形状を有すると共に、上端側に、前記固定部材の上面に当接する下面を縁に持つように前記同軸貫通穴より幅広な頭部を有する、第2機器側連結部材とを備える。
As described above, with the seismic fixing device of the present invention, it is relatively easy and quick to fix firmly so as to satisfy the seismic standards determined by laws and standards. Moreover, positioning can be performed with high accuracy while being relatively easy and can be fixed and released.
<2>
In one aspect of the earthquake-resistant fixing device according to the present invention, a plurality of the floor-side members and the equipment-side members are provided for one of the equipments, and a plurality of the equipment-side members are one floor-side member. On the other hand, the device side connecting member has a shape that can be connected to the floor side connecting member via the through-hole on the lower end side, and for horizontal positioning attached to the base plate on the upper end side. With respect to the first equipment side connecting member and the other floor side member having a receiving part on the receiving member, as the equipment side connecting member, (i) at a position facing the through hole in the base plate In the fixing hole opened, the vertical position is fixed so as to be adjustable, and a vertical positioning fixing member having a coaxial through hole coaxial with the through hole, and (ii) on the lower end side, Coaxial through hole and front through the through hole A second device side connection having a shape connectable to the floor side connection member and having a head on the upper end side wider than the coaxial through hole so that the lower surface is in contact with the upper surface of the fixing member. A member.
この態様によれば、機器側部材は、床上で平面的に見て床側部材と同一位置になるように機器が移動され停止されると、第1機器側連結部材は、その上端側にてベース板に固定され、その下端側にて貫通孔を介して、床側連結部材と連結される。この際、ベース板との固定については、例えば水平一方向側が切りかかれた当て止め金具である、受け部材に、突起部が受けられることで実現される。これにより、第1機器側連結部材を受け部材が取り付けられた箇所におけるベース板の水平位置については、床に対して既に固定されている第1機器側連結部材の水平位置によって規定される。 According to this aspect, when the device is moved and stopped so that the device-side member is located at the same position as the floor-side member when viewed in plan on the floor, the first device-side connecting member is at its upper end side. It is fixed to the base plate, and is connected to the floor side connecting member via a through hole at the lower end side. At this time, the fixing to the base plate is realized by receiving the protruding portion on the receiving member, which is a stopper fitting cut off in one horizontal direction, for example. Thereby, the horizontal position of the base plate at the location where the receiving member is attached to the first equipment side connecting member is defined by the horizontal position of the first equipment side connecting member already fixed to the floor.
他方、第2機器側連結部材は、その下端側にて、固定部材に開けられた同軸貫通穴及び平板状床部材に開孔された貫通孔の両者を直列に介して、床側連結部材と連結される。この際、ベース板の固定は、第1に水平方向について、第2機器側連結部材が同軸貫通穴に挿入或いは勘合されることで実現される。第2に上下方向或いは鉛直方向について、固定部材の上面に、第2機器側連結部材の幅広な頭部が縁に持つ下面が当接することで実現される。これらにより、固定部材が固定される固定用穴が開けられた箇所におけるベース板の水平位置及び垂直位置については、床に対して既に固定されている第2機器側連結部材の水平位置及び垂直位置によって規定される。特に、最初の耐震固定時に、固定部材の上下位置を調整した後、その上下位置を固定しておけば、その後に、固定の解除と固定とを繰り返して行っても、固定部材の上下位置が固定用穴内にて不動である限り、極めて高い位置精度を出すことが出来る。ティーチング等の作業も、最初に固定部材の上下位置を調整する作業と共に一度だけ行っておけば、以降に行う必要は基本的になくなる。 On the other hand, the second device side connecting member is connected to the floor side connecting member via the series of both the coaxial through hole opened in the fixing member and the through hole opened in the flat floor member at the lower end side. Connected. At this time, the fixing of the base plate is realized by first inserting or fitting the second device side connecting member into the coaxial through hole in the horizontal direction. Secondly, in the vertical direction or the vertical direction, this is realized by the lower surface of the second device side connecting member having the edge at the edge of the upper surface of the fixing member. As a result, the horizontal position and the vertical position of the base plate at the location where the fixing hole for fixing the fixing member is opened, the horizontal position and the vertical position of the second device side connecting member already fixed to the floor. It is prescribed by. In particular, at the time of the first seismic fixation, if the vertical position of the fixing member is adjusted and then fixed, the vertical position of the fixing member can be changed even after repeated release and fixing. As long as it does not move in the fixing hole, extremely high positional accuracy can be obtained. If the work such as teaching is performed only once together with the work of adjusting the vertical position of the fixed member at first, the necessity of performing it after that is basically eliminated.
特に、第1機器側連結部材は、側方から移動してくる受け部により受けられるので、機器を水平移動させる動作にて、上述の如き、第1機器側連結部材による固定を先ず行える。更に、第2機器側連結部材は、固定部材に開けれた同軸貫通穴に挿入或いは勘合されるので、機器の水平位置を固定したままで、上述の如き、第2機器側連結部材による固定を行える。 In particular, since the first device-side connecting member is received by the receiving portion that moves from the side, the first device-side connecting member can be fixed first as described above in the operation of horizontally moving the device. Further, since the second device side connecting member is inserted or fitted into the coaxial through hole opened in the fixing member, the second device side connecting member can be fixed as described above while the horizontal position of the device is fixed. .
これらの結果、耐震基準を満たすように強固に固定することが、簡単且つ迅速に実行可能となる。しかも、固定及び固定解除可能としつつ高精度で位置決めを実行可能である。 As a result, it is possible to easily and quickly perform the firm fixing so as to satisfy the earthquake resistance standard. In addition, positioning can be performed with high accuracy while being able to be fixed and released.
<3>
この態様では、前記固定用穴内に雌ネジが切られており、前記固定部材は、前記雌ネジ内に係合されると共に前記同軸貫通穴を有する雄ネジ部材と、前記雄ネジ部材の前記ベース板の下側から覗く先端側に係合すると共に、前記固定用穴の周囲にて前記ベース板の下面に当接することで前記雄ネジ部材が前記雌ネジ内を前記軸方向に移動するのを阻止する雌ネジが切られたナット部材とを有してよい。
<3>
In this aspect, a female screw is cut in the fixing hole, and the fixing member is engaged with the female screw and has the coaxial through hole, and the base of the male screw member. The male screw member moves in the axial direction in the female screw by engaging with the tip side viewed from the lower side of the plate and contacting the lower surface of the base plate around the fixing hole. And a nut member with a female thread for blocking.
このように構成すれば、ベース板に対する固定部材の上下方向位置を、ナット部材に対するネジを締める或いはネジを緩める動作によって、簡単に調整できる。よって、固定部材の調整によって、耐震固定時における機器の高さ方向の調整を、簡単に実施できる。一旦、固定部材の上下位置を調整し、その上下位置を固定用穴に対して固定しておけば、その後に、固定の解除と固定とを繰り返して行っても、極めて高い位置精度を出すことが出来る。 If comprised in this way, the up-down direction position of the fixing member with respect to a base board can be easily adjusted with the operation | movement which tightens the screw with respect to a nut member, or loosens a screw | thread. Therefore, the adjustment of the height direction of the apparatus at the time of earthquake-resistant fixation can be easily implemented by adjusting the fixing member. Once the vertical position of the fixing member is adjusted and the vertical position is fixed to the fixing hole, extremely high positional accuracy can be obtained even after repeated release and fixing. I can do it.
<4>
この機器側部材が、第1及び第2機器側連結部材を備える態様では、前記突起部は、くびれを有し、前記受け部材は、側方に切り欠かかれており且つ該切り欠かれた側から前記くびれに嵌る形状を有し、前記受け部材及び前記くびれにおける相互に当接する面のうち少なくとも一方に、前記受け部材が前記くびれに嵌る際に、前記受け部材が前記くびれから鉛直上向きに力を受けるように、テーパが形成されてもよい。
<4>
In an aspect in which the device-side member includes the first and second device-side connecting members, the protrusion has a constriction, and the receiving member is notched laterally and the notched side. When the receiving member is fitted to the constriction on at least one of the receiving member and the constricted surface of the constriction, the receiving member is forced vertically upward from the constriction. A taper may be formed to receive.
このように構成すれば、第1機器側連結部材は、側方から移動してくる受け部により受けられる際に、ベース板を水平方向に移動させる力から、テーパの作用により、例えば当て止め金具である受け部に対して(即ち、ベース板或いは機器に対して)上方への分力が発生する。よって、ベース板の底部に設けられた、例えばキャスター、車輪等のベース板を可動とするための可動手段は、大なり小なり床から浮き上がるか、又は少なくともベース板を介してこのような可動手段にかかる機器等の荷重は、大なり小なり低減される。この結果、キャスター、車輪等の存在にかかわらずに、より高精度で位置決めを実施可能となる。加えて、耐震固定した後における、キャスター、車輪等にかかる負荷や、これを介してグレーチング等の床にかかる負荷を軽減でき、キャスター、車輪等を含めた機器側の寿命や、グレーチング等の床の寿命を長くすることも可能となる。 If comprised in this way, when the 1st apparatus side connection member is received by the receiving part which moves from a side, from the force which moves a base board to a horizontal direction, it acts by a taper, for example, stopper metal fittings An upward component force is generated with respect to the receiving portion (that is, with respect to the base plate or the device). Therefore, the movable means provided on the bottom of the base plate for moving the base plate such as casters and wheels is lifted from the floor to a greater or lesser extent, or at least such a movable means via the base plate. The load on the equipment is reduced more or less. As a result, positioning can be performed with higher accuracy regardless of the presence of casters, wheels, and the like. In addition, it can reduce the load on casters, wheels, etc., and the load on the floors of gratings, etc. through this after seismic fixing, the life of the equipment side including casters, wheels, etc., and the floors of gratings, etc. It is also possible to extend the life of the battery.
なお、突起部と受け部とは、相互に嵌る限りにおいて、形状が逆の関係であってもよい。即ち、例えば、前記受け部材は、くびれを有する突起の形状を有しており、前記突起部は、受け部側に突出しつつ、側方に切り欠かかれており且つ該切り欠かれた側から前記くびれに嵌る形状を有してもよい。 In addition, as long as a projection part and a receiving part fit mutually, a reverse relationship may be sufficient as a shape. That is, for example, the receiving member has a shape of a projection having a constriction, and the protruding portion is notched to the side while projecting to the receiving portion side, and the side from the notched side is It may have a shape that fits into the constriction.
<5>
本発明に係る耐震固定装置の他の態様では、前記床側部材は、上端側の先端における高さが、前記床の表面高さと同じに又はより低くなるように構成されている。
<5>
In another aspect of the seismic fixing device according to the present invention, the floor member is configured such that the height at the tip on the upper end side is the same as or lower than the surface height of the floor.
この態様によれば、床側部材の上方へ向いた上端、或いは最上面における高さは、床の表面高さと同じとされるか、又は床の表面高さよりも低くされている。このため、機器が取り除かれて、固定装置が固定の役目を果たしていない場合に、床側部材の一部が床から出っ張って残存しないようにできる。よって、工場の使い勝手が向上し、安全上の観点からも望ましい環境を、工場内に構築できる。更に、再びこの床側部材を使おうとする場合には、そのまま使うことが可能となる。 According to this aspect, the height at the upper end or the uppermost surface of the floor-side member that is directed upward is the same as the surface height of the floor or is lower than the surface height of the floor. For this reason, when an apparatus is removed and the fixing device does not play a fixing role, it is possible to prevent a part of the floor side member from protruding from the floor and remaining. Therefore, the usability of the factory is improved, and a desirable environment can be constructed in the factory from the viewpoint of safety. Furthermore, when trying to use the floor member again, it can be used as it is.
<6>
本発明に係る耐震固定装置の他の態様では、前記床側部材は、下端側にて前記基礎構造体の一部をなす複数の根太に交わる方向に前記複数の根太上に渡された、前記基礎構造体の他部をなす棒状構造体に取り付けられており、前記棒状構造体は、前記根太の延在方向における任意位置にて前記根太に対して取り付け可能に構成されており、前記床側部材は、下端側にて、前記棒状構造体の延在方向における任意位置にて前記棒状構造体に対して取り付け可能に構成されている。
<6>
In another aspect of the seismic fixing device according to the present invention, the floor member is passed over the plurality of joists in a direction intersecting with the joists forming a part of the foundation structure at a lower end side, It is attached to a rod-like structure that forms the other part of the foundation structure, and the rod-like structure is configured to be attachable to the joist at an arbitrary position in the extending direction of the joist, and the floor side The member is configured to be attachable to the rod-like structure at an arbitrary position in the extending direction of the rod-like structure on the lower end side.
この態様によれば、棒状構造体を、根太のどこに取り付けるかにより、床側部材における水平第1方向(即ち、根太の延在方向)の位置を決定でき、更に、床側部材を、棒状構造体のどこに取り付けるかにより、床側部材における水平第2方向(即ち、根太の延在方向に交わる或いは直交する方向、言い換えれば水平第1方向に交わる或いは直交する方向)の位置を決定できる。よって、水平面内における二次元位置を、根太及び棒状構造体の存在する限りにおいて、自由に決定できるので、当該耐震固定装置により耐震固定可能な位置についての自由度が格段に高まる。この結果、機器を設置可能な位置についての自由度が格段に高まる。従って、高い自由度を持って、工場内における製造ラインをレイアウト設計でき、実践上きわめて有利である。 According to this aspect, the position of the horizontal first direction in the floor-side member (that is, the extending direction of the joist) can be determined depending on where the rod-like structure is attached to the joist. The position of the floor side member in the second horizontal direction (that is, the direction intersecting or perpendicular to the extending direction of the joists, in other words, the direction intersecting or orthogonal to the first horizontal direction) can be determined depending on where the body is attached. Therefore, since the two-dimensional position in the horizontal plane can be freely determined as long as the joists and rod-like structures are present, the degree of freedom with respect to the position where the seismic fixing device can be seismically fixed is remarkably increased. As a result, the degree of freedom regarding the position where the device can be installed is greatly increased. Therefore, the production line in the factory can be designed with a high degree of freedom, which is extremely advantageous in practice.
<7>
本発明に係る耐震固定装置の他の態様では、前記ベース板には、前記機器側部材を取り付け可能に構成された部位が、前記機器が当該耐震固定装置により固定された場合に、前記床の上で平面的に見て、前記平板状床部材の各々における四辺から所定距離だけ離れた、前記貫通孔を開孔可能な領域内に少なくとも一つ位置するように、一つの前記貫通孔に対して四つずつ相互から離間して設けられている。
<7>
In another aspect of the earthquake-resistant fixing device according to the present invention, the base plate is provided with a portion configured to be capable of attaching the device-side member when the device is fixed by the earthquake-resistant fixing device . As viewed in a plan view above, with respect to one through hole, the at least one through hole is located within a region that can be opened by a predetermined distance from each of the four sides of each of the flat floor members. The four are separated from each other.
本発明によれば、機器を設置する際に、四つずつ設けられる「機器側部材を取り付け可能に構成された部位」のうち、いずれか一つについては必ず、平板状床部材における開孔可能な領域内に位置する。よって、四隅や縁にも開孔する事態が発生しグレーチング等の平板状床部材の強度低下を招くことを未然防止しつつ、グレーチング等の平板状床部材に対して、機器を工場主の要望に沿う所望位置に固定する用の貫通孔を開孔可能となる。しかも、リブ等の存在により開孔作業が困難となる事態をも回避できる。言い換えれば、平坦且つ一様なコンクリートの床面或いは土台面に対し固定することなく、グレーチング等の平板状床部材に貫通孔を開孔することで固定するのであっても、グレーチング等の平板状床部材の特殊な造りとの関係によらずに、任意位置で固定することが容易にして可能となる。しかも、機器を任意位置にて固定しても、肝心の床の強度に支障を来たす事態を未然防止できる。 According to the present invention, when installing equipment, any one of the “parts configured to be able to attach equipment side members” provided by four can be opened in a flat floor member. Located in a safe area. Therefore, the plant owner's request for the flat floor member such as grating is prevented while preventing the occurrence of holes in the four corners and edges and causing a decrease in the strength of the flat floor member such as grating. The through-hole for fixing to the desired position along can be opened. Moreover, it is possible to avoid a situation in which the opening work is difficult due to the presence of ribs and the like. In other words, even if fixing by opening a through hole in a flat floor member such as grating without fixing to a flat and uniform concrete floor surface or foundation surface, a flat plate shape such as grating. Regardless of the relationship with the special construction of the floor member, it can be easily fixed at an arbitrary position. Moreover, even if the device is fixed at an arbitrary position, it is possible to prevent a situation in which the strength of the essential floor is hindered.
<8>
この態様では、前記平板状板部材は夫々、前記床の上で平面的に見て、矩形をなし、各辺から所定長さL以上離れた領域として、前記開孔可能な領域が規定されており、前記貫通孔は、前記床の上で平面的に見て、直径Rの円形をなし、前記四つずつ設けられた部位は、前記床の上で平面的に見て、一辺が2L+R以上の長さの矩形の各頂点に位置するように設けられてよい。
<8>
In this aspect, each of the flat plate members has a rectangular shape when viewed in plan on the floor , and the region where the hole can be opened is defined as a region separated from each side by a predetermined length L or more. cage, the through hole is viewed in plan on the floor, a circular diameter R, the four portions provided site is viewed in plan on the floor, one side 2L + R or It may be provided so that it may be located in each vertex of the rectangle of length.
このように構成すれば、四つずつ設けられる「機器側部材を取り付け可能に構成された部位」のうち、いずれか一つについては、幾何学的に必ず、平板状床部材における開孔可能な領域内に位置するようにできる。即ち、数学的なルールに従って、このような状況を確実且つ簡単に担保できる。特に、前記矩形の一辺の長さを2L+Rに等しい値に又は若干のマージンを含めて2L+Rとほぼ等しい値に設定することで、無闇に前記矩形を広げる必要がなくなる。即ち、四つの部位の水平位置を相互に近接配置することが可能となる、言い換えれば、比較的狭いエリア内にこれら四つの部位を配置できる。ベース板が限られた面積を有することを考慮すれば、このような四つの部位がベース板に設けられる構成は、実践上大変有利となる。 If comprised in this way, about any one among "the part comprised so that an apparatus side member can be attached" provided by four, it is surely possible to open a hole in a flat floor member geometrically. It can be located in the area. That is, such a situation can be reliably and easily secured according to mathematical rules. In particular, by setting the length of one side of the rectangle to a value equal to 2L + R or to a value substantially equal to 2L + R including a slight margin, it is not necessary to expand the rectangle indiscriminately. That is, the horizontal positions of the four parts can be arranged close to each other, in other words, the four parts can be arranged in a relatively narrow area. Considering that the base plate has a limited area, such a configuration in which the four portions are provided on the base plate is very advantageous in practice.
なお、このような四つの部位は、一つの機器側部材に対して設けられるので、機器側部材がm個(但し、mは二以上の自然数)あれば(即ち、床側部材がm個あれば)、このような四つの部位は、四つの部位を一セットとして、mセット設けられることになる。 In addition, since such four parts are provided with respect to one apparatus side member, if there are m apparatus side members (however, m is a natural number of 2 or more) (that is, there are m floor side members). For example, such four parts are provided as m sets, with the four parts as one set.
本発明の作用及び他の利得は次に説明する発明を実施するための最良の形態から明らかにされる。 The operation and other advantages of the present invention will become apparent from the best mode for carrying out the invention described below.
以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
<実施形態>
<製造システムの構成>
先ず、実施形態に係る耐震固定装置により耐震固定された、本発明に係る「機器」の一例であるバッファ装置を備える製造システムの構成について図1及び図2を参照して説明する。ここに図1は、製造システムの外観を模式的に示す斜視図であり、図2は、それを図1における前後方向で切断した場合の断面を概略的に示す断面図である。
<Embodiment>
<Configuration of manufacturing system>
First, a configuration of a manufacturing system including a buffer device that is an example of the “apparatus” according to the present invention that is seismically fixed by the seismic fixing device according to the embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a perspective view schematically showing the appearance of the manufacturing system, and FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing a cross section when it is cut in the front-rear direction in FIG.
図1及び図2に示すように、製造システム100は、レール1と、ビークル10と、製造装置20と、バッファ装置30とを備える。製造システム100は、レール1に沿ってビークル10を走行させると共に、複数のウェハを収容可能なFOUP(即ち、本発明に係る「被搬送物」の一例)3を製造装置20へ搬送する搬送機能と、製造装置20にてFOUP3内のウェハに各種処理を施すことにより半導体素子を製造する製造機能とを有する。 As shown in FIGS. 1 and 2, the manufacturing system 100 includes a rail 1, a vehicle 10, a manufacturing device 20, and a buffer device 30. The manufacturing system 100 travels the vehicle 10 along the rail 1 and transports a FOUP 3 that can accommodate a plurality of wafers (that is, an example of a “conveyed object” according to the present invention) 3 to the manufacturing apparatus 20. And a manufacturing function for manufacturing a semiconductor element by performing various processes on the wafer in the FOUP 3 in the manufacturing apparatus 20.
レール1は、本発明に係る「軌道」の一例として、ビークル10が走行するための軌道の役割を果たす。レール1は、製造システム100が設置される施設の天井に敷設されている。 The rail 1 serves as a track for the vehicle 10 to travel as an example of the “track” according to the present invention. The rail 1 is laid on the ceiling of a facility where the manufacturing system 100 is installed.
ビークル10は、本発明に係る「搬送車」の一例として、リニアモータを動力として駆動されるOHT(Overhead Hoist Transport:天井走行車)であって、レール1に吊り下げられる形で取り付けられている。ビークル10は、レール1に沿って走行すると共に、製造装置20の他、不図示のストッカ、OHTバッファ及び大型ストッカ等にFOUP3を搬送する。ビークル10における走行及び搬送等の動作は、製造システム100における不図示のコントローラにより制御される。尚、ここでは説明の便宜上、レール1上には、1台のビークル10しか図示しないが、典型的に、より多く(例えば数十台或いは数百台)のビークル10が備えられている。 The vehicle 10 is an OHT (Overhead Hoist Transport) driven by a linear motor as an example of the “transport vehicle” according to the present invention, and is attached to the rail 1 so as to be suspended. . The vehicle 10 travels along the rail 1 and transports the FOUP 3 to a stocker (not shown), an OHT buffer, a large stocker, and the like in addition to the manufacturing apparatus 20. Operations such as traveling and transporting in the vehicle 10 are controlled by a controller (not shown) in the manufacturing system 100. Here, for convenience of explanation, only one vehicle 10 is shown on the rail 1, but more (for example, several tens or several hundreds) vehicles 10 are typically provided.
ビークル10は、内部に、不図示の巻き取り軸を有する巻き取り部12と、巻き取りベルト13と、グリッパ14とから成るホイスト機構11を備える。巻き取りベルト13の一端は、巻き取り軸に固定されており、その他端は、グリッパ14に固定されている。巻き取り部12は、不図示のモータを動力として巻き取り軸を回転させ、巻き取りベルト13を一端から巻き取り又は巻き出し可能に構成されている。グリッパ14は、内側に屈曲された両端部にてFOUP3の上部(即ち、フランジ)3aを把持する把持状態、又はFOUP3のフランジ3aを解放する解放状態に変位可能に構成されている。このような構成を有するホイスト機構11は、巻き取りベルト13が巻き取られる又は巻き出されることにより、レール1の下方にてグリッパ14を鉛直方向に昇降させると共に、鉛直位置にてグリッパ14を変位させることにより、FOUP3をビークル10側からバッファ装置30側へ移載する、又はバッファ装置30側からビークル10側へ移載可能である。このように本実施形態では、ビークル10による移載進路が、ビークル10の移載位置(即ち、図1に示される停止位置)から鉛直下方に延びており、FOUP3を縦移載するように構成されている。 The vehicle 10 includes a hoist mechanism 11 including a winding unit 12 having a winding shaft (not shown), a winding belt 13, and a gripper 14. One end of the winding belt 13 is fixed to the winding shaft, and the other end is fixed to the gripper 14. The take-up unit 12 is configured to rotate a take-up shaft using a motor (not shown) as power and to take up or unwind the take-up belt 13 from one end. The gripper 14 is configured to be displaceable into a gripping state in which the upper part (that is, the flange) 3a of the FOUP 3 is gripped at both ends bent inward, or a releasing state in which the flange 3a of the FOUP 3 is released. The hoist mechanism 11 having such a configuration moves the gripper 14 in the vertical direction below the rail 1 and displaces the gripper 14 in the vertical position by winding or unwinding the winding belt 13. By doing so, the FOUP 3 can be transferred from the vehicle 10 side to the buffer device 30 side, or can be transferred from the buffer device 30 side to the vehicle 10 side. Thus, in the present embodiment, the transfer path by the vehicle 10 extends vertically downward from the transfer position of the vehicle 10 (that is, the stop position shown in FIG. 1), and is configured to transfer the FOUP 3 vertically. Has been.
製造装置20は、本発明に係る「処理装置」の一例として、FOUP3、実際には、FOUP3に収容されているウェハに対して所定種類の処理(例えば、露光処理、成膜処理、熱処理等)を行う。製造装置20は、内部に、ウェハに対して所定種類の処理を施す不図示の処理部を備えており、その処理部に処理すべきウェハを出し入れ可能である2つの開口H1,H2を設けている。製造装置20は、2つの開口H1,H2に夫々隣接する外部に且つレール1の下方に、バッファ装置30との間でFOUP3を移載するためのポートとして機能する2つのロードポートLP1,LP2を備える。製造装置20は、2つのロードポートLP1,LP2の各々に移載されたFOUP3内部のウェハを、開口H1又はH2を介して処理部に出し入れする不図示の内外移載機構を備える。製造装置20における所定の処理、ウェハの出し入れ等の動作は、製造システム100のコントローラにより制御される。尚、ここでは説明の便宜上、レール1の下方には、1機の製造装置20しか図示しないが、典型的に、FOUP3に対して相異なる処理を行う、より多く(例えば数台或いは数百台)の製造装置20が備えられる。また、開口及びロードポートの個数についても夫々、2個に限られず、3個以上あってもよく、それらの配置についても各種の態様が有り得る。 As an example of the “processing apparatus” according to the present invention, the manufacturing apparatus 20 is a FOUP 3 and, in fact, a predetermined type of processing (for example, exposure processing, film formation processing, heat treatment, etc.) on a wafer accommodated in the FOUP 3 I do. The manufacturing apparatus 20 includes a processing unit (not shown) that performs a predetermined type of processing on the wafer, and has two openings H1 and H2 through which the wafer to be processed can be taken in and out. Yes. The manufacturing apparatus 20 includes two load ports LP1 and LP2 that function as ports for transferring the FOUP 3 to and from the buffer apparatus 30 on the outside adjacent to the two openings H1 and H2 and below the rail 1, respectively. Prepare. The manufacturing apparatus 20 includes an internal / external transfer mechanism (not shown) that takes in and out the wafer inside the FOUP 3 transferred to each of the two load ports LP1 and LP2 through the opening H1 or H2. Operations such as predetermined processing and wafer loading / unloading in the manufacturing apparatus 20 are controlled by a controller of the manufacturing system 100. Here, for convenience of explanation, only one manufacturing apparatus 20 is shown below the rail 1, but typically more processing (for example, several or hundreds) is performed on the FOUP 3. ) Manufacturing apparatus 20 is provided. Further, the number of openings and load ports is not limited to two, but may be three or more, and there may be various modes for their arrangement.
バッファ装置30は、例えばSAFL(Stand Alone Front Loader:商品名)と称され、ビークル10と製造装置20との間でFOUP3が効率的に受け渡されるように、ビークル10との間及び製造装置20との間で夫々FOUP3を移載する。尚、ここでは説明の便宜上、2つのロードポートLP1,LP2を備える製造装置20には、一方のロードポートLP1に対応する、1機のバッファ装置30しか図示しないが、他の実施形態として、両方のロードポートLP1,LP2に夫々対応する、2機のバッファ装置30が備えられてもよい。 The buffer device 30 is referred to as, for example, SAFL (Stand Alone Front Loader: trade name), and between the vehicle 10 and the manufacturing apparatus 20 so that the FOUP 3 is efficiently transferred between the vehicle 10 and the manufacturing apparatus 20. FOUP3 will be transferred to Here, for convenience of explanation, only one buffer device 30 corresponding to one load port LP1 is shown in the manufacturing apparatus 20 including two load ports LP1 and LP2. However, as another embodiment, Two buffer devices 30 respectively corresponding to the load ports LP1 and LP2 may be provided.
バッファ装置30は、本体部31と、OHTポートP1と、バッファP2と、移載機構32とを備える。図2において、本体部31は、ロードポートLP1にその前面側(即ち、図2における左側)から組み付け可能に逆L字形に構成されている筐体である。本体部31は、その組み付け時に、長手方向がレール1の方位に直交する方向(即ち、本発明に係る「水平一方向」の一例であって、図2におけるX方向)に沿うように配置される。本体部31は、X方向に少なくとも2つのFOUP3を配置可能である長さ(即ち、図2における長さLx)を有しており、レール1の方位に少なくとも1つのFOUP3を配置可能である長さを有する。尚、ここでは説明の便宜上、本体部31がロードポートLP1に組み付けられた状態にあるバッファ装置30の構成について説明する。 The buffer device 30 includes a main body 31, an OHT port P1, a buffer P2, and a transfer mechanism 32. In FIG. 2, the main body 31 is a casing configured in an inverted L shape so that it can be assembled to the load port LP1 from the front side (that is, the left side in FIG. 2). The main body 31 is arranged so that, when assembled, the longitudinal direction is along a direction perpendicular to the direction of the rail 1 (that is, an example of “horizontal direction” according to the present invention, which is the X direction in FIG. 2). The The main body 31 has a length (that is, a length Lx in FIG. 2) in which at least two FOUPs 3 can be arranged in the X direction, and a length in which at least one FOUP 3 can be arranged in the direction of the rail 1. Have For convenience of explanation, the configuration of the buffer device 30 in which the main body 31 is assembled to the load port LP1 will be described here.
本体部31内部には、OHTポートP1と、バッファP2と、移載機構32とが設置されている。本体部31は、レール1の鉛直方向(即ち、図2における一点鎖線G1で示される)に対応する上面に、OHTポートP1とビークル10との間でFOUP3を受け渡し可能である開口H11を設けている。また、ロードポートLP1上に載置されるFOUP3に隣接する側面に、ロードポートLP1(即ち、製造装置20)との間でFOUP3を受け渡し可能である開口H12を設けている。 In the main body 31, an OHT port P1, a buffer P2, and a transfer mechanism 32 are installed. The main body 31 is provided with an opening H11 that can pass the FOUP 3 between the OHT port P1 and the vehicle 10 on the upper surface corresponding to the vertical direction of the rail 1 (indicated by the alternate long and short dash line G1 in FIG. 2). Yes. Further, an opening H12 is provided on a side surface adjacent to the FOUP 3 placed on the load port LP1 so that the FOUP 3 can be transferred to and from the load port LP1 (that is, the manufacturing apparatus 20).
OHTポートP1は、製造装置20において所定の処理が行われる或いは行われたFOUP3を、開口H11を介してビークル10との間で移載するための、バッファ装置30におけるポートとして機能する。OHTポートP1は、ビークル10が縦移載(即ち、移載時にFOUP3が鉛直方向のみ移動される移載)により短時間でFOUP3を移載可能に、レール1の鉛直方向におけるロードポートLP1より上方に設置されている。図1及び図2から明らかなように、OHTポートP1は、仮にバッファ装置30を取り去った場合に、ビークル10が製造装置20のロードポートLP1に対してFOUP3を縦移載する際における、移載進路を遮る位置に存在している。よって、ビークル10から見ると、バッファ装置30の存否に拘わらず、平面視して同一位置にある、即ち、移載位置の鉛直下方にあるポートに対して移載動作を行えば足りる。即ち、ビークル10から見てポートの高さが異なるだけの違いであれば、ビークル10が移載動作を行うことに対する制御は、バッファ装置30の存否に拘わらず、殆ど同一で済むので実践上大変有利である。 The OHT port P1 functions as a port in the buffer device 30 for transferring the FOUP 3 that has undergone or has undergone predetermined processing in the manufacturing apparatus 20 to and from the vehicle 10 through the opening H11. The OHT port P1 is located above the load port LP1 in the vertical direction of the rail 1 so that the vehicle 10 can be transferred in a short time by vertical transfer of the vehicle 10 (that is, transfer in which the FOUP 3 is moved only in the vertical direction at the time of transfer). Is installed. As is apparent from FIGS. 1 and 2, the OHT port P1 is transferred when the vehicle 10 vertically transfers the FOUP 3 to the load port LP1 of the manufacturing apparatus 20 if the buffer device 30 is removed. It exists in a position that blocks the course. Therefore, when viewed from the vehicle 10, it is only necessary to perform the transfer operation with respect to the port located at the same position in plan view, that is, vertically below the transfer position, regardless of the presence or absence of the buffer device 30. That is, as long as the height of the port is different from the vehicle 10, the control for the vehicle 10 to perform the transfer operation is almost the same regardless of the presence or absence of the buffer device 30, so it is very difficult in practice. It is advantageous.
バッファP2は、製造装置20において所定種類の処理が行われる或いは行われたFOUP3を少なくとも一時的に載置するための一時載置棚として機能する。バッファP2は、後述する移載機構32によるFOUP3の移載を妨げないように、レール1の鉛直方向におけるロードポートLP1より下方で且つそのX方向に設置されている。 The buffer P2 functions as a temporary mounting shelf for mounting at least temporarily the FOUP 3 on which a predetermined type of processing has been performed or has been performed in the manufacturing apparatus 20. The buffer P2 is disposed below the load port LP1 in the vertical direction of the rail 1 and in the X direction so as not to prevent the transfer of the FOUP 3 by the transfer mechanism 32 described later.
移載機構32は、ロードポートLP1と、OHTポートP1と、バッファP2との間を移動すると共に、それらの間でFOUP3を移載する。移載機構32は、把持部33と、水平移動機構及び昇降機構とを備えており、本体部31における最も前面側(即ち、図2における左側)に設置されている。把持部33は、一対の平板状の部位を有しており、この部位がフランジ3aの下方にX方向から入り込むと共にフランジ3aの両端部を下方から支持することにより、FOUP3を把持する。図2に示すように、水平移動機構は、長手方向がX方向と平行になるように設置されているレール部34aと、そのレール部に沿ってX方向にスライド可能なスライド部34bとを備える。水平移動機構の先端部(即ち、スライド部34bにおける製造装置20側の端部)には、把持部33が固定されている。昇降機構は、不図示のモータを動力源として鉛直方向に回動可能である回動帯35aと、その回動帯に固定されており、回動帯の回動に伴って鉛直方向に移動する昇降部35bとを備える。昇降部35bには、レール部34aの一端部が固定されている。 The transfer mechanism 32 moves among the load port LP1, the OHT port P1, and the buffer P2, and transfers the FOUP 3 among them. The transfer mechanism 32 includes a gripping portion 33, a horizontal movement mechanism, and an elevating mechanism, and is installed on the forefront side (that is, the left side in FIG. 2) of the main body portion 31. The gripping part 33 has a pair of flat plate-like parts, and these parts enter the lower part of the flange 3a from the X direction and hold both ends of the flange 3a from the lower part to hold the FOUP 3. As shown in FIG. 2, the horizontal movement mechanism includes a rail portion 34 a that is installed so that its longitudinal direction is parallel to the X direction, and a slide portion 34 b that can slide in the X direction along the rail portion. . The grip 33 is fixed to the tip of the horizontal movement mechanism (that is, the end on the manufacturing apparatus 20 side of the slide 34b). The elevating mechanism is fixed to the rotation band 35a that can rotate in the vertical direction using a motor (not shown) as a power source, and moves in the vertical direction as the rotation band rotates. And an elevating part 35b. One end of a rail portion 34a is fixed to the elevating part 35b.
移載機構32は、上述した水平移動機構及び昇降機構による相互動作により、把持部33を、ロードポートLP1、OHTポートP1及びバッファP2間でX方向及び鉛直方向に移動させると共に、把持部33にてFOUP3を把持又は解放することにより、それらの間でFOUP3を移載する。移載機構32における移動、FOUP3の移載等の動作は、製造システム100のコントローラにより制御される。 The transfer mechanism 32 moves the grip portion 33 in the X direction and the vertical direction between the load port LP1, the OHT port P1, and the buffer P2 by the mutual operation of the horizontal movement mechanism and the lifting mechanism described above. By gripping or releasing the FOUP 3, the FOUP 3 is transferred between them. Operations such as movement in the transfer mechanism 32 and transfer of the FOUP 3 are controlled by a controller of the manufacturing system 100.
バッファ装置30は、開口H11を介して、OHTポートP1を用いて、ビークル10との間で、FOUP3の受け渡しを行う。バッファ装置30は、開口H12を介して、ロードポートLP1を用いて、製造装置20との間で、FOUP3の受け渡しを行う。更に、バッファ装置30は、その内部にて、把持部33、スライド部34b及び昇降部35bを動作させることで、OHTポートP1及びロードポートLP1間における、FOUP3の移動を、直接又はバッファP2を介して行う。 The buffer device 30 transfers the FOUP 3 to and from the vehicle 10 using the OHT port P1 through the opening H11. The buffer device 30 delivers the FOUP 3 to and from the manufacturing device 20 using the load port LP1 through the opening H12. Furthermore, the buffer device 30 moves the FOUP 3 between the OHT port P1 and the load port LP1 directly or via the buffer P2 by operating the gripping portion 33, the slide portion 34b, and the elevating portion 35b therein. Do it.
上述のような移載動作を実行するために、バッファ装置30は、初期導入の際には、工場内外の他の場所から運ばれてきた後、製造装置20の設置位置及びビークル10の停車位置に対して、正確に位置決めされる形で設置される。或いは、バッファ装置30は、定期又は不定期にメンテナンスされたり、修理されたりする。このため、バッファ装置30は、四つのキャスター38を底部に有してなる台車の本体をなすベース板50上に載置されている。バッファ装置30は、キャスター38の転動を利用して、人力又は動力により、向上の床上を移動可能とされている。 In order to perform the transfer operation as described above, the buffer device 30 is transported from other places inside and outside the factory at the time of initial introduction, and then the installation position of the manufacturing apparatus 20 and the stop position of the vehicle 10 are moved. On the other hand, it is installed in a form that is accurately positioned. Alternatively, the buffer device 30 is maintained or repaired regularly or irregularly. For this reason, the buffer device 30 is placed on the base plate 50 that forms the main body of the carriage having the four casters 38 at the bottom. The buffer device 30 can be moved on the improved floor by human power or power using the rolling of the casters 38.
例えば、バッファ装置30は、その本体部31が、ベース板50に対してネジ止め、リベット止め、接着剤止めされたり、溶接されたりにより、両者間における位置関係が不変となるように、強固に載置或いは固定されている。なお、バッファ装置30の本体部31の底板が、ベース板50を兼ねていてもよい。いずれの場合にも、ベース板50に載置されたバッファ装置30は、床に対して単に設置されるのみでは足りず、法定基準或いは規格基準を満足するように、ベース板50或いは台車と共に、耐震固定される必要がある。 For example, the buffer device 30 is firmly fixed so that the positional relationship between the main body portion 31 and the base plate 50 is not changed by screwing, riveting, adhesive fastening, or welding. Placed or fixed. The bottom plate of the main body 31 of the buffer device 30 may also serve as the base plate 50. In any case, the buffer device 30 placed on the base plate 50 is not simply installed on the floor, but together with the base plate 50 or the carriage so as to satisfy legal standards or standard standards, Need to be seismic fixed.
このため、本実施形態では特に、ベース板50には、本発明に係る「耐震固定装置」の一例として、二種類の第1耐震固定装置51及び第2耐震固定装置52が設けられている。第1耐震固定装置51は、ベース板50における製造装置20に近い側の二隅に設けられ、第2耐震固定装置52は、ベース板50における製造装置20から遠い側の二隅に設けられる。第1耐震固定装置51及び第2耐震固定装置52は、床上部分における構造は、後で詳述するように相異なり、床下部分、即ち床側に固定された部分における構造は、相互に同一である。 Therefore, in the present embodiment, in particular, the base plate 50 is provided with two types of first seismic fixing device 51 and second seismic fixing device 52 as an example of the “seismic fixing device” according to the present invention. The first seismic fixing devices 51 are provided at the two corners of the base plate 50 on the side close to the manufacturing device 20, and the second seismic fixing devices 52 are provided at the two corners of the base plate 50 on the side far from the manufacturing device 20. The first seismic fixing device 51 and the second seismic fixing device 52 have different structures in the upper floor portion as will be described in detail later, and the structures in the lower floor portion, that is, the portion fixed to the floor side are the same. is there.
次に、図3及び図4を参照して、本実施形態に係る耐震固定装置を適用可能な床及び床下の構造について説明する。ここに図3は、床の構造を平面的に示し、図4は、床を構成する1枚のグレーチングの裏側を見たもので、これを支持する支柱と共に示されている。 Next, with reference to FIG.3 and FIG.4, the structure which can apply the seismic fixing apparatus which concerns on this embodiment and the structure under the floor is demonstrated. FIG. 3 is a plan view of the floor structure, and FIG. 4 is a view of the back side of one of the gratings constituting the floor, and is shown together with the supporting columns that support the grating.
図3に示すように、床は、本発明に係る「平板状床部材」の一例であるグレーチング201が、マトリクス状に敷き詰められてなる。複数のグレーチング201は、コンクリート床である土台200上に設置された、本発明に係る「基礎構造体」の一例である根太211の上に、鉛直に立設された複数の支柱201Cを介して、敷き詰められている。即ち、グレーチング201と土台200との間には、根太211及び支柱201Cの高さに応じた空間が広がっており、二重床構造が構築されている。なお、支柱201Cは、グレーチング201の四隅に位置するように立設されており、一本の支柱201Cの支柱本体よりも幅広に形成された上面にて、相隣接する4枚のグレーチング201の隅を支持している。 As shown in FIG. 3, the floor is formed by laying a grating 201 as an example of a “flat plate member” according to the present invention in a matrix. The plurality of gratings 201 are installed on a foundation 200 that is a concrete floor, and on a joist 211 that is an example of a “foundation structure” according to the present invention, via a plurality of columns 201 </ b> C that are vertically erected. Laid down. That is, between the grating 201 and the base 200, a space corresponding to the height of the joists 211 and the pillars 201C is spread, and a double floor structure is constructed. The pillars 201C are erected so as to be positioned at the four corners of the grating 201, and the corners of the four adjacent gratings 201 on the upper surface formed wider than the pillar body of one pillar 201C. Support.
相隣接する二本の根太211間には、棒状構造体212が渡されている。1本の棒状構造体212のみが図示されているが、後述のように、棒状構造体212は、複数の耐震固定装置が固定される箇所に対応する位置に複数配設される。棒状構造体212は、図中、根太211上における矢印AR1及び矢印AR2で示した方向の任意の位置に、取り付け可能である。 A rod-like structure 212 is passed between two joists 211 adjacent to each other. Although only one rod-like structure 212 is illustrated, as will be described later, a plurality of rod-like structures 212 are disposed at positions corresponding to locations where a plurality of seismic fixing devices are fixed. The rod-like structure 212 can be attached to any position in the direction indicated by the arrow AR1 and the arrow AR2 on the joist 211 in the drawing.
図4に示すように、グレーチング201は、その四辺の縁にリブ201Rを有する。支柱201Cは、グレーチング201の四隅にてグレーチングのリブ201Rの下面を支持するように配置される。なお、グレーチング201の主面には、全域に渡って直径コンマ数cm〜2cm程度の小径の空気孔201hが空気流通用に多数開孔されている。 As shown in FIG. 4, the grating 201 has ribs 201 </ b> R at the edges of its four sides. The pillars 201 </ b> C are arranged to support the lower surface of the grating rib 201 </ b> R at the four corners of the grating 201. The main surface of the grating 201 is provided with a large number of small air holes 201h having a diameter of several cm to 2 cm for air circulation over the entire area.
次に、図5及び図6を参照して、耐震固定装置の構成について説明する。ここに図5は、第1耐震固定装置51及び第2耐震固定装置52を、ベース板50、グレーチング201及び土台200等と共に示し、図6は、根太211等から床下が構成される様子を示す。 Next, with reference to FIG.5 and FIG.6, the structure of an earthquake-resistant fixing device is demonstrated. FIG. 5 shows the first seismic fixing device 51 and the second seismic fixing device 52 together with the base plate 50, the grating 201, the base 200, and the like, and FIG. .
図5に示すように、第1耐震固定装置51は、根太211に渡された棒状構造体212から立設された床側部材701と、ベース板50に設けられた第1機器側部材501とを含む。第2耐震固定装置52は、床側部材701と、ベース板50に設けられた第2機器側部材601とを含む。床側部材701は、第1耐震固定装置51及び第2耐震固定装置52間で共通である。 As shown in FIG. 5, the first seismic fixing device 51 includes a floor side member 701 erected from a rod-like structure 212 passed to the joist 211, a first equipment side member 501 provided on the base plate 50, and including. The second seismic fixing device 52 includes a floor side member 701 and a second equipment side member 601 provided on the base plate 50. The floor member 701 is common between the first seismic fixing device 51 and the second seismic fixing device 52.
床側部材701は、下端側にて、棒状構造体212に取り付けられ、上端側にて、グレーチング201に開孔された貫通孔201Hに挿入されている。床側部材701は、本発明に係る「床側連結部材」の一例として機能する。床側部材701は、一の貫通孔201H内にて、本発明の「第1機器側連結部材」の一例として機能する第1機器側部材501の下端側に連結可能に構成されており、同様に、他の貫通孔201H内にて、本発明の「第2機器側連結部材」の一例として機能する第2機器側部材601の下端側に連結可能に構成されている。 The floor side member 701 is attached to the rod-like structure 212 on the lower end side, and is inserted into the through hole 201H opened in the grating 201 on the upper end side. The floor side member 701 functions as an example of the “floor side connecting member” according to the present invention. The floor-side member 701 is configured to be connectable to the lower end side of the first device-side member 501 that functions as an example of the “first device-side connecting member” of the present invention in one through hole 201H. In addition, it is configured to be connectable to the lower end side of the second device side member 601 that functions as an example of the “second device side connection member” of the present invention in the other through hole 201H.
図6に示すように、床下には予め、根太211が、図中点線で示した支柱201cを立設するために、耐震固定装置の要否・有無に拘わらずに、土台200上に強固に取り付けられている(図6上段参照)。 As shown in FIG. 6, under the floor, the joist 211 is firmly placed on the base 200 in order to erect the column 201 c shown by the dotted line in the figure, regardless of whether or not an earthquake-resistant fixing device is necessary. It is attached (see the upper part of FIG. 6).
次に、バッファ装置30を実際に設置する作業に相前後して或いは並行して、第1耐震固定装置51及び第2耐震固定装置52で固定すべき場所における床下には夫々、棒状構造体212が、根太211上に取り付けられる(図6中段参照)。根太211に沿った方向の位置調整は、棒状構造体212を、根太211の何処に取り付けるかにより、なされる。即ち、矢印AR1及びAR2で示したように、この方向の位置調整については、棒状構造体212を根太211の任意箇所に取り付け可能であることから容易である。 Next, in parallel with or in parallel with the work of actually installing the buffer device 30, the rod-like structures 212 are respectively placed under the floor where the first earthquake-resistant fixing device 51 and the second earthquake-resistant fixing device 52 should be fixed. Are mounted on the joists 211 (see the middle of FIG. 6). The position adjustment in the direction along the joist 211 is made depending on where the joist 211 is attached to the rod-like structure 212. That is, as indicated by the arrows AR1 and AR2, the position adjustment in this direction is easy because the rod-like structure 212 can be attached to an arbitrary portion of the joist 211.
次に、第1耐震固定装置51及び第2耐震固定装置52で固定すべき場所における床下には夫々、床側部材701が、既に根太211に対して強固に取り付けられている棒状構造体212上に取り付けられる(図6下段参照)。ここでの取り付けは、例えば、床側部材701の下端側における幅広に形成された部分の周囲4箇所にて、棒状構造体212にネジ止めされる。棒状構造体212に沿った方向の位置調整は、床側部材701を、棒状構造体212の何処に取り付けるかにより、なされる。即ち、矢印AR3及びAR4で示したように、この方向の位置調整については、床側部材701を棒状構造体212の任意箇所に取り付け可能であることから容易である。なお、床側部材701には、上側に向って開口していると共に、貫通孔201Hと同軸に鉛直方向に延在する雌ネジが切られた、細長いネジ穴701nが開けられている。 Next, the floor side member 701 is already firmly attached to the joist 211 on the rod-like structure 212 under the floor where the first seismic fixing device 51 and the second seismic fixing device 52 are to be fixed. (See the lower part of FIG. 6). The attachment here is, for example, screwed to the rod-like structure 212 at four locations around the wide portion on the lower end side of the floor member 701. The position adjustment in the direction along the bar-shaped structure 212 is made depending on where the floor-side member 701 is attached to the bar-shaped structure 212. That is, as indicated by the arrows AR3 and AR4, the position adjustment in this direction is easy because the floor-side member 701 can be attached to an arbitrary portion of the rod-like structure 212. The floor member 701 has an elongated screw hole 701n that is open upward and has a female screw extending in the vertical direction coaxially with the through hole 201H.
図6に示した床下の造作作業中には、第1耐震固定装置51又は第2耐震固定装置52で固定すべき場所におけるグレーチング201が一個又は周辺複数個だけ、一旦取り除かれるので、床下部材701の取り付け作業は、比較的容易である。 During the underfloor construction work shown in FIG. 6, only one or a plurality of peripheral gratings 201 in the place to be fixed by the first seismic fixing device 51 or the second seismic fixing device 52 are temporarily removed. The mounting operation is relatively easy.
このような床下の造作作業に相前後して或いは並行して、第1耐震固定装置51又は第2耐震固定装置52で固定すべき場所におけるグレーチング201には、例えば直径2〜3cmなどの貫通孔201Hが開孔される。この際、既存の空気孔201hは、貫通孔201Hに比べて小径であるので、殆ど考慮しなくてよい。 In the grating 201 in the place to be fixed by the first seismic fixing device 51 or the second seismic fixing device 52, either before or after such underfloor construction work, a through hole having a diameter of 2 to 3 cm, for example, is provided. 201H is opened. At this time, the existing air hole 201h has a smaller diameter than the through-hole 201H, and therefore hardly needs to be considered.
他方、バッファ装置30を実際に設置する作業に相前後して或いは並行して、第1機器側部材501は、床側部材701に対向する床上に設けられ、第2機器側部材601は、床側部材701に対向するベース板50及び床上に設けられる。 On the other hand, the first device side member 501 is provided on the floor facing the floor side member 701 before or after the operation of actually installing the buffer device 30, and the second device side member 601 is provided on the floor. Provided on the base plate 50 and the floor facing the side member 701.
以上のように構成されているので、耐震固定を行う際には、キャスター38によりバッファ装置30が、製造装置20に面する設置位置まで移動され、第1機器側部材501及び第2機器側部材601が床側部材701と同一水平位置になるように停止される。すると、第1機器側部材501及び第2機器側部材601は、それらの上端側にて夫々ベース板50に固定され、それらの下端側にて夫々、貫通孔201Hを介して、床側部材701と連結される。 Since it is comprised as mentioned above, when performing earthquake-proof fixation, the buffer apparatus 30 is moved to the installation position which faces the manufacturing apparatus 20 with the caster 38, and the 1st apparatus side member 501 and the 2nd apparatus side member 601 is stopped so as to be in the same horizontal position as the floor member 701. Then, the 1st apparatus side member 501 and the 2nd apparatus side member 601 are each fixed to the base board 50 in those upper end sides, and the floor side member 701 is each via the through-hole 201H in those lower end sides. Concatenated with
この際、バッファ装置30を床上に耐震固定するための機械的な強度は、ベース板50、第1機器側部材501及び第2機器側部材601、床側部材701、棒状構造体212、根太211及び土台200に主に依存する。言い換えれば、ここでの強度は、グレーチング201に殆ど依存しない。特に、既存の空気孔201hに加えて貫通孔201Hが開孔されるので、グレーチング201の強度自体は多少低下するものの、本実施形態に係る耐震固定は、グレーチング201を介して或いはグレーチング201を素通りして、ベース板50及び棒状構造体212間で直接行われる。このため、仮にグレーチング201の強度が、空気孔201hや特に貫通孔201Hを開孔することにより無視し得ない程度に落ちたとしても、耐震固定に関する限り問題は生じないようにすることも可能である。なお、バッファ装置30を床上に設置後に、キャスター38をグレーチング201の表面から完全には又は全く上げないことにより、バッファ装置30の重量を、上述した床下の各部(即ち、第1機器側部材501、第2機器側部材601、棒状構造体212、根太211等)とグレーチング201とに、分散させるようにしてもよい。 At this time, the mechanical strength for seismically fixing the buffer device 30 on the floor is as follows: the base plate 50, the first equipment side member 501, the second equipment side member 601, the floor side member 701, the rod-like structure 212, and the joist 211. And it depends mainly on the foundation 200. In other words, the intensity here is almost independent of the grating 201. In particular, since the through hole 201H is opened in addition to the existing air hole 201h, the strength itself of the grating 201 is somewhat reduced. However, the seismic fixing according to the present embodiment passes through the grating 201 or through the grating 201. Then, it is directly performed between the base plate 50 and the rod-like structure 212. For this reason, even if the strength of the grating 201 drops to a level that cannot be ignored by opening the air holes 201h and particularly the through holes 201H, it is possible to prevent problems as far as seismic fixing is concerned. is there. In addition, after installing the buffer apparatus 30 on the floor, the caster 38 is not lifted completely or at all from the surface of the grating 201, so that the weight of the buffer apparatus 30 is adjusted to the parts under the floor (that is, the first device side member 501). , Second device side member 601, rod-like structure 212, joist 211, etc.) and grating 201 may be dispersed.
次に、図7〜図10を参照して、図5及び図6に示した耐震固定装置の構成について、より詳細に説明する。ここに、図7は、第1耐震固定装置51を拡大して示し、図8は、第1耐震固定装置51が床下部材701に連結される様子を示す。図9は、第2耐震固定装置52を拡大して示し、図10は、第2耐震固定装置52がベース板50に上下位置調整された後に、床側部材701に連結される様子を示す。 Next, with reference to FIGS. 7-10, the structure of the earthquake-resistant fixing apparatus shown in FIG.5 and FIG.6 is demonstrated in detail. Here, FIG. 7 shows the first seismic fixing device 51 in an enlarged manner, and FIG. 8 shows how the first seismic fixing device 51 is connected to the underfloor member 701. FIG. 9 shows the second seismic fixing device 52 in an enlarged manner, and FIG. 10 shows how the second seismic fixing device 52 is connected to the floor side member 701 after the vertical position of the second seismic fixing device 52 is adjusted to the base plate 50.
図7及び図8に示すように、第1耐震固定装置51を構成する第1機器側部材501は、その下端側にて、貫通孔201Hを介して、床側部材701のネジ穴701nに連結可能な雄ネジ501Sが切られている。第1機器側部材501の上端側には、ベース板50に取り付けられた受け部材801(図7参照)に受けられる括れ501nを持つ突起部が形成されている。 As shown in FIGS. 7 and 8, the first equipment side member 501 constituting the first seismic fixing device 51 is connected to the screw hole 701n of the floor side member 701 through the through hole 201H on the lower end side. A possible male screw 501S is cut. On the upper end side of the first device side member 501, a protrusion having a constricted portion 501n received by a receiving member 801 (see FIG. 7) attached to the base plate 50 is formed.
図8に示すように、耐震固定の際にはバッファ装置30が移動されて来るのに先んじて、第1機器側部材501は、図8中の左部分にて矢印AR11で示したように鉛直下方へと、貫通孔201Hを介して挿入される。更に、第1機器側部材501は、図8中の右部分にて示したように、床側部材701のネジ穴701n内に、雄ネジ501Sにてネジ込められる。なお、床側部材701は、予めネジ711にて棒状構造体212へと強固に取り付けられている。 As shown in FIG. 8, prior to the buffer device 30 being moved during seismic fixation, the first device-side member 501 is vertical as shown by the arrow AR11 in the left part of FIG. It is inserted through the through hole 201H downward. Further, the first device side member 501 is screwed into the screw hole 701n of the floor side member 701 with a male screw 501S as shown in the right part of FIG. The floor member 701 is firmly attached to the rod-like structure 212 in advance with screws 711.
図7に示すように、第1機器側部材501及びベース板50間の固定については、水平一方向側が切り欠かれた当て止め金具8に、第1機器側部材501の上端の括れ501nが受けられることで実現される。特に、第1耐震固定装置51は、側方から移動してくる受け部801により受けられるので、バッファ装置30を水平移動させる動作にて、上述の如き、大まかな固定を先ず行える。 As shown in FIG. 7, for fixing between the first device side member 501 and the base plate 50, a constriction metal 501 n at the upper end of the first device side member 501 is received by the stopper metal 8 cut out in one horizontal direction. To be realized. In particular, since the first seismic fixing device 51 is received by the receiving portion 801 that moves from the side, the rough fixing as described above can be performed first by the operation of horizontally moving the buffer device 30.
これらの結果、第1耐震固定部材51については、水平二方向の位置について、一義的に且つ再現性を持って決められる。言い換えれば、ベース板50は、第1耐震固定部材51によって、第1機器側部材501に対する水平二方向位置が概ね固定されることになる。 As a result, the first seismic fixing member 51 is determined uniquely and reproducibly with respect to the position in the two horizontal directions. In other words, the position of the base plate 50 in the two horizontal directions with respect to the first device side member 501 is generally fixed by the first seismic fixing member 51.
図9及び図10に示すように、第2耐震固定装置52を構成する第2機器側部材601は、一対の上下方向調整用のネジ部材602及びナット603により、ベース板50に対して上下方向調節後に、ベース板50に対して固定可能に構成されている。ネジ部材602は、ベース板50における貫通孔201Hに対向する位置に開けられ且つ雌ネジが切られた固定用穴50H内にて、上下位置が調整可能である。ネジ部材602は、ナット603により、その上下位置が固定される。これら一対のネジ部材602及びナット603から、本発明に係る「固定部材」の一例を構成されている。 As shown in FIGS. 9 and 10, the second equipment side member 601 constituting the second seismic fixing device 52 is vertically moved with respect to the base plate 50 by a pair of vertically adjusting screw members 602 and nuts 603. After the adjustment, the base plate 50 can be fixed. The screw member 602 is opened at a position facing the through hole 201H in the base plate 50, and the vertical position can be adjusted in the fixing hole 50H in which the female screw is cut. The upper and lower positions of the screw member 602 are fixed by the nut 603. The pair of screw members 602 and nuts 603 constitute one example of the “fixing member” according to the present invention.
更に、ネジ部材602は、貫通孔201Hと同軸である同軸貫通穴602Hを内部に有する。第2機器側部材601は、その下端側にて、同軸貫通穴602H及び貫通孔201Hを介して、床側部材701のネジ穴701nに連結可能な雄ネジ601Sが切られている。 Further, the screw member 602 has a coaxial through hole 602H that is coaxial with the through hole 201H. The second device side member 601 has a male screw 601S cut off on the lower end side thereof, which can be connected to the screw hole 701n of the floor side member 701 through the coaxial through hole 602H and the through hole 201H.
図10に示すように、耐震固定の際には、ベース板50に対して、ネジ部材602及びナット603は、図10中の左部分にて矢印AR12、AR13で示したように固定用穴50H内で鉛直上下方向について調節される。調節が終わると、図10中、中央部分に示すように、第2機器側部材601は、ベース板50に対してナット603により上下位置が固定されたネジ部材602の同軸貫通穴602H内に、矢印AR11で示したように鉛直下方へと挿入される。更に、第2機器側部材601は、貫通孔201Hを介して、挿入される。更に、第2機器側部材601は、図10中の右部分にて示したように、床側部材701のネジ穴701n内に、雄ネジ601Sにてネジ込められる。この際、第2機器側部材601は、その幅広頭部の周囲にある下面が、ネジ部材602の上面に当接することで、その上下位置がベース板50に対して規定される。 As shown in FIG. 10, in the case of seismic fixation, the screw member 602 and the nut 603 are fixed to the base plate 50 as shown by arrows AR12 and AR13 in the left part of FIG. Within the vertical up and down direction. When the adjustment is finished, as shown in the center portion in FIG. 10, the second device side member 601 is placed in the coaxial through hole 602 </ b> H of the screw member 602 whose vertical position is fixed to the base plate 50 by the nut 603. It is inserted vertically downward as indicated by arrow AR11. Further, the second device side member 601 is inserted through the through hole 201H. Further, the second device side member 601 is screwed into the screw hole 701n of the floor side member 701 with a male screw 601S as shown in the right part of FIG. At this time, the lower surface of the second device side member 601 is defined with respect to the base plate 50 by the lower surface around the wide head contacting the upper surface of the screw member 602.
これらの結果、第2耐震固定部材52については、水平二方向の位置だけではなく、上下方向位置或いは鉛直方向位置についても、一義的に且つ再現性を持って決められる。製造装置20やビークル10の停止位置との関係で、位置決めに調整が必要であれば、例えば、図10に示した作業を再度或いは繰り返して行えばよい。或いは、図6に示した床側部材701の位置調整から再度或いは繰り返し行えばよい。 As a result, the second seismic fixing member 52 is determined not only in the two horizontal positions but also in the vertical position or the vertical position uniquely and with reproducibility. If adjustment is necessary for positioning in relation to the stop position of the manufacturing apparatus 20 or the vehicle 10, for example, the operation shown in FIG. 10 may be performed again or repeatedly. Alternatively, the position adjustment of the floor side member 701 shown in FIG.
なお、第2機器側部材601による位置決め・固定は、図7及び図8に示した第1耐震固定装置51による大まかな位置決め・固定の後に、同軸貫通穴602Hに挿入或いは勘合されること実施される。即ち、第1耐震固定装置51によってベース板50の水平位置を概ね固定したままで、上述の如き、第2機器側連結部材601による固定を行える。よって、耐震固定に係る作業の手順としては、図7及び図8に示した第1耐震固定装置51による固定を先ず行い、その後に、図9及び図10に示した、第2機器側部材601を同軸貫通穴602Hに挿入する作業或いは少なくとも同軸貫通穴602Hを介して貫通孔201Hに挿入する作業以降を行うとよい。このようにすれば、先ず、ベース板50に搭載されたバッファ装置30を、製造装置20に対面する設置位置までキャスター38を利用して移動させて、第1耐震固定装置51による水平二方向位置の大まかな決定を行い、その後に、第2耐震固定装置52による水平二方向位置及び上下方向位置の決定を高精度で行うことが容易にできるので、実践上大変便利である。 The positioning / fixing by the second device-side member 601 is performed by inserting or fitting into the coaxial through hole 602H after the rough positioning / fixing by the first seismic fixing device 51 shown in FIGS. 7 and 8. The That is, the second apparatus-side connecting member 601 can be fixed as described above while the horizontal position of the base plate 50 is generally fixed by the first seismic fixing device 51. Therefore, as a work procedure related to earthquake-resistant fixing, the first earthquake-resistant fixing device 51 shown in FIGS. 7 and 8 is first fixed, and then the second equipment side member 601 shown in FIGS. 9 and 10 is used. Is preferably inserted into the through hole 201H through the coaxial through hole 602H or at least through the coaxial through hole 602H. If it does in this way, first, the buffer apparatus 30 mounted in the base board 50 will be moved using the caster 38 to the installation position which faces the manufacturing apparatus 20, and the horizontal two-way position by the 1st earthquake-resistant fixing apparatus 51 will be demonstrated. Since it is easy to determine the horizontal two-directional position and the vertical position by the second seismic fixing device 52 with high accuracy, it is very convenient in practice.
特に、最初の耐震固定時に、ネジ部材602及びナット603の調節も含めた第2耐震固定装置52の上下位置を調整した後、その上下位置を固定しておけば、その後に、固定の解除と固定とを繰り返して行っても、第2耐震固定装置52のベース板50に対する上下位置が不動である限り、極めて高い位置精度を出すことが出来る。ティーチング等の作業も、最初に第1耐震固定装置51の水平位置並びに第2耐震固定装置52の水平位置及び上下位置を調整する作業と共に一度だけ行っておけば、以降に行う必要は基本的になくなる。 In particular, at the time of the first seismic fixing, after adjusting the vertical position of the second seismic fixing device 52 including the adjustment of the screw member 602 and the nut 603, if the vertical position is fixed, then the fixing is released. Even if fixing is repeated, as long as the vertical position of the second seismic fixing device 52 with respect to the base plate 50 is stationary, extremely high positional accuracy can be obtained. If the work such as teaching is performed only once together with the work of adjusting the horizontal position of the first seismic fixing device 51 and the horizontal position and the vertical position of the second seismic fixing device 52, it is basically necessary to perform the work thereafter. Disappear.
以上のように本実施形態の第1耐震固定装置51及び第1耐震固定装置52によって、法律や規格等で決められた耐震基準を満たすように、バッファ装置30を、床に対して強固に固定することが比較的簡単且つ迅速に実行できる。しかも、比較的容易にして、固定及び固定解除可能としつつ高精度で位置決めを実行可能である。例えば、工場内におけるライン設計・仕様等に応じて、或いはバッファ装置30等のメンテナンス・補修を定期又は不定期に実施する際に、著しく有利となる。 As described above, the buffer device 30 is firmly fixed to the floor so that the first seismic fixing device 51 and the first seismic fixing device 52 of the present embodiment satisfy the seismic standards determined by laws and standards. Can be performed relatively easily and quickly. Moreover, positioning can be performed with high accuracy while being relatively easy and can be fixed and released. For example, it is remarkably advantageous according to the line design / specifications in the factory, or when performing maintenance / repair of the buffer device 30 etc. regularly or irregularly.
加えて、図7〜図10に示したように、床側部材701は、その上端面の高さが、グレーチング201からなる床の表面高さより低くなるように構成されている。よって、バッファ装置30が取り除かれた場合に、床側部材701の一部が床から出っ張って邪魔になることを未然防止できる。 In addition, as shown in FIGS. 7 to 10, the floor side member 701 is configured such that the height of the upper end surface thereof is lower than the surface height of the floor made of the grating 201. Therefore, when the buffer device 30 is removed, it is possible to prevent a part of the floor member 701 from protruding from the floor and getting in the way.
次に、図11〜図13を参照して、第1耐震固定装置51及び第2耐震固定装置52のベース板50の底部への取り付け位置について説明する。ここに、図11は、ベース板50における、固定される二つの第1耐震固定装置51及び二つの第2耐震固定装置52の配置を示し、図12は、図11の固定装置のうちの一つの第1耐震固定装置51について、第1耐震固定装置51が実際に取り付けられた一つの取付可能な部位と、実際には取り付けられなかった三つの取付可能な部位(即ち、合計四つの取付可能な部位)を拡大して示す。図13は、図12の四つの取付可能な部位の位置が、グレーチング201における開孔可能な領域との関係で、どこに用意されるかを示す(斜線エリアは、開孔不可能な領域を示す)。 Next, with reference to FIGS. 11-13, the attachment position to the bottom part of the base board 50 of the 1st earthquake-resistant fixing device 51 and the 2nd earthquake-resistant fixing device 52 is demonstrated. FIG. 11 shows the arrangement of the two first seismic fixing devices 51 and two second seismic fixing devices 52 to be fixed on the base plate 50, and FIG. 12 shows one of the fixing devices in FIG. For each of the first seismic fixing devices 51, one attachable portion where the first seismic fixing device 51 is actually attached and three attachable portions which are not actually attached (that is, a total of four attachable portions). The enlarged region is shown. FIG. 13 shows where the positions of the four attachable parts in FIG. 12 are prepared in relation to the area where opening is possible in the grating 201 (the hatched area indicates the area where opening is not possible). ).
図11に示すように、二つの第1耐震固定装置51及び二つの第2耐震固定装置52は夫々、ベース板50の四隅に設けられたキャスター38の付近に円により図示されたエリア内に配置されている。以下、これらのうち特に、図11の左上の隅に位置する第1耐震固定装置51を例にとって、説明を続ける。 As shown in FIG. 11, the two first seismic fixing devices 51 and the two second seismic fixing devices 52 are arranged in the areas indicated by circles in the vicinity of the casters 38 provided at the four corners of the base plate 50. Has been. In the following, the description will be continued with the first seismic fixing device 51 located in the upper left corner of FIG. 11 as an example.
図12に示すように、キャスター38の付近において、第1耐震固定装置51を取付可能な部位は、部位51a、51b、51c及び51dの4つ用意されている。これら4つの部位は、図12中横方向に距離Dxだけ離間しており、図12中縦方向に距離Dyだけ離間している。更に、図12は、部位51dに、実際の第1耐震固定装置51が取り付けられた様子を示している。即ち、部位51b、51c及び51dについては、取り付ける部位の候補ではあったものの、以下に説明するグレーチング201との関係で、実際には取り付けられなかった場合を示している。このような候補となる取り付け可能な部位には、金具801取付用の穴や孔が予め開けられていてもよいし、取付位置マークが付されていてもよい。 As shown in FIG. 12, four parts 51a, 51b, 51c and 51d are prepared in the vicinity of the caster 38 to which the first seismic fixing device 51 can be attached. These four parts are separated by a distance Dx in the horizontal direction in FIG. 12, and are separated by a distance Dy in the vertical direction in FIG. Further, FIG. 12 shows a state in which the actual first seismic fixing device 51 is attached to the part 51d. That is, the parts 51b, 51c, and 51d are candidates for the parts to be attached, but are not actually attached because of the relationship with the grating 201 described below. A hole or hole for attaching the metal fitting 801 may be formed in advance on such a candidate attachable portion, or an attachment position mark may be attached.
このように四つの取り付け可能な部位を予め用意することで、実際の設置位置に応じて決められたグレーチング201(図4参照)の四辺や四隅との関係において、グレーチング201の貫通孔201Hを開けてはならないエリアに、実際に貫通孔201Hを開けなければならない(即ち、開けなければ第1耐震固定装置51を取り付けられない)事態を回避できる可能性が、格段に高められる。即ち、グレーチング201における開孔してはならないエリアとの関係で、距離Dx及びDyを決めておけば、このような可能性を格段に高められる。 Thus, by preparing four attachable parts in advance, the through holes 201H of the grating 201 are opened in relation to the four sides and the four corners of the grating 201 (see FIG. 4) determined according to the actual installation position. The possibility of avoiding the situation where the through-hole 201H must actually be opened in an area that should not be installed (that is, the first seismic fixing device 51 cannot be attached unless it is opened) is greatly increased. That is, if the distances Dx and Dy are determined in relation to an area that should not be opened in the grating 201, such a possibility can be greatly increased.
なお、図11に示したように、第1耐震固定装置51に限らず、第2耐震固定装置52を取り付け可能な部位についても、部位52a、52b、52c及び52dの4つ用意しておくことで、同様の効果が得られる。 As shown in FIG. 11, not only the first seismic fixing device 51 but also four parts 52 a, 52 b, 52 c and 52 d are prepared for the part to which the second seismic fixing device 52 can be attached. Thus, the same effect can be obtained.
図13に示すように、より具体的には、ベース板50には、第1機器側部材501(又は第2機器側部材601)を取り付け可能に構成された部位が、床上で平面的に見て、グレーチング201の各々における四辺から所定距離だけ離れた、貫通孔201Hを開孔可能な領域内(図中、未ハッチングの領域内)に少なくとも一つ位置するように、一つの貫通孔201Hに対して四つずつ相互から離間して設けられている。即ち、この場合には、グレーチング201は夫々、床上で平面的に見て、例えば一辺が50〜60cm程度の正方形をなし、図中黒くハッチングされた開孔すべきでない領域を避けるように、各辺から所定長さL以上離れた開孔可能な領域(即ち、図中未ハッチングの領域)が規定されている。貫通孔201Hは、直径Rの円形をなし、四つずつ設けられた第1耐震固定装置51(又は第2耐震固定装置)を取り付け可能な部位は、一辺が2L+R以上の長さの正方形の各頂点に位置するように用意されている。 More specifically, as shown in FIG. 13, the base plate 50 has a portion where the first device side member 501 (or the second device side member 601) can be attached in a plan view on the floor. Each through-hole 201H is positioned so that at least one through-hole 201H is located within a predetermined distance from the four sides of each of the gratings 201 within a region where the through-hole 201H can be opened (in the non-hatched region in the figure). On the other hand, four are provided apart from each other. That is, in this case, each of the gratings 201 is planarly viewed on the floor, for example, has a square with a side of about 50 to 60 cm, and avoids the areas that should not be opened in the drawing and are hatched black. A region (that is, a non-hatched region in the figure) that can be opened at a predetermined length L or more from the side is defined. The through-hole 201H has a circular shape with a diameter R, and each of the four seismic fixing devices 51 (or second seismic fixing devices) that can be attached to each of the squares has a length of 2L + R or more on each side. It is prepared to be located at the apex.
よって、図11及び図12に示した四つずつ設けられる、取り付け可能な部位のうち、いずれか一つについては、幾何学的に必ず、グレーチング201における開孔可能な領域内(図13中で、未ハッチングの領域)に位置するようにできる。即ち、数学的なルールに従って、このような状況を確実且つ簡単に担保できる。特に、正方形の一辺の長さを2L+Rに等しい値に又は若干のマージンを含めて2L+Rとほぼ等しい値に設定することで、無闇に正方形を広げる必要がなくなる。即ち、四つの部位の水平位置を相互に近接配置することが可能となる、 Therefore, any one of the four attachable portions provided in FIG. 11 and FIG. 12 that can be attached must be geometrically within the region where the opening of the grating 201 can be opened (in FIG. 13). , Unhatched area). That is, such a situation can be reliably and easily secured according to mathematical rules. In particular, by setting the length of one side of the square to a value equal to 2L + R or a value substantially equal to 2L + R including a slight margin, it is not necessary to expand the square in a dark manner. That is, it becomes possible to arrange the horizontal positions of the four parts close to each other.
このように図13に示した如き配置を採用すれば、グレーチング201の四隅や縁に貫通孔201Hを開孔する事態が発生することで、グレーチング201の強度低下を招くことを確実に未然防止できる。しかも、グレーチング201に対して、バッファ装置30を工場主の要望に沿う所望位置に固定する用の貫通孔201Hを、いずれかの位置(即ち、上述の四つの部位のうちのいずれか一つに対応する平面位置)に開孔できる。バッファ装置30を任意位置にて固定しても、グレーチング201の強度に支障を来たす事態を未然防止できる。 If the arrangement as shown in FIG. 13 is employed in this way, it is possible to reliably prevent the strength of the grating 201 from being reduced by the occurrence of a situation where the through holes 201H are opened at the four corners and edges of the grating 201. . In addition, the through hole 201H for fixing the buffer device 30 at a desired position in accordance with the desire of the factory owner with respect to the grating 201 is set to any position (that is, any one of the above-described four parts). Corresponding plane position). Even if the buffer device 30 is fixed at an arbitrary position, a situation in which the strength of the grating 201 is hindered can be prevented.
次に図14を参照して、本発明の「受け部」の一例としての当て止め金具801の構成について説明を加える。図14は、図12に示した金具801の外観斜視図である。 Next, with reference to FIG. 14, the structure of the stopper metal fitting 801 as an example of the "receiving part" of the present invention will be described. FIG. 14 is an external perspective view of the metal fitting 801 shown in FIG.
図14に示すように、金具801には、ベース板50をキャスター38で水平に移動させた結果、金具801がくびれ501n(図7及び図8参照)に嵌る際に、受け部材801がくびれ501nから鉛直上向きに力を受けるように、テーパ801tが形成されている。よって、テーパ801tにくびれ501nが乗り上げる際に発生する鉛直上向きの分力の作用により、金具801がくびれ501n(図7及び図8参照)に嵌る際に、バッファ装置30は、ベース板50ごと、大なり小なり床から浮き上がるか、又は少なくともキャスター38を介して床にかかる荷重は、大なり小なり低減される。この結果、キャスター38の存在にかかわらずに、より高精度で位置決めを実施可能となる。加えて、耐震固定した後における、過重軽減によって、キャスター38を含めた製造システム全体の装置寿命や、グレーチング201の寿命を長くすることも可能となる。 As shown in FIG. 14, when the base plate 50 is horizontally moved by the casters 38 in the metal fitting 801, the receiving member 801 is constricted 501n when the metal fitting 801 is fitted into the constriction 501n (see FIGS. 7 and 8). A taper 801t is formed so as to receive a force vertically upward. Therefore, when the metal fitting 801 fits into the constriction 501n (see FIGS. 7 and 8) due to the action of the vertically upward component force generated when the constriction 501n rides on the taper 801t, the buffer device 30 Greater or lesser lift from the floor, or at least the load applied to the floor via the casters 38, is reduced by more or less. As a result, positioning can be performed with higher accuracy regardless of the presence of the caster 38. In addition, it is possible to extend the life of the entire manufacturing system including the casters 38 and the life of the grating 201 by reducing the excessive weight after the seismic fixing.
尚、本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う耐震固定装置もまた、本発明の技術的範囲に含まれるものである。 Note that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be appropriately changed within the scope of the invention or the idea that can be read from the entire claims and the specification, and the seismic resistance accompanying such changes. The fixing device is also included in the technical scope of the present invention.
3…FOUP、10…ビークル、20…製造装置、30…バッファ装置、50…ベース板、51…第1耐震固定装置、52…第2耐震固定装置、201…グレーチング、201H…貫通孔、501…第1機器側部材、601…第2機器側部材、701…床側部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 ... FOUP, 10 ... Vehicle, 20 ... Manufacturing apparatus, 30 ... Buffer apparatus, 50 ... Base board, 51 ... 1st earthquake-resistant fixing apparatus, 52 ... 2nd earthquake-resistant fixing apparatus, 201 ... Grating, 201H ... Through-hole, 501 ... 1st apparatus side member, 601 ... 2nd apparatus side member, 701 ... Floor side member
Claims (8)
前記床側部材は、下端側にて、前記平板状床部材に開けられた貫通孔に対向する位置における前記床の下で前記土台又は前記基礎構造体に取り付けられ、上端側にて、前記貫通孔に挿入されている又は面している前記貫通孔と同軸に上側に開口又は突出した床側連結部材を備え、
前記機器側部材は、下端側にて、前記貫通孔を介して前記床側連結部材と連結可能であり、上端側にて、前記本体のベース板に固定される機器側連結部材を備え、
前記床側部材及び前記機器側部材は夫々、前記機器の一つに対して複数設けられ、
複数の前記機器側部材は、
一の前記床側部材に対し、前記機器側連結部材として、下端側にて、前記貫通孔を介して前記床側連結部材と連結可能な形状を有すると共に、上端側に、前記ベース板に取り付けられた水平位置決め用の受け部材に、受けられる突起部を有する、第1機器側連結部材と、
他の前記床側部材に対し、前記機器側連結部材として、(i)前記ベース板における前記貫通孔に対向する位置に開けられた固定用穴内に、上下位置が調整可能に固定されると共に、前記貫通孔と同軸である同軸貫通穴を内部に有する上下位置決め用の固定部材、及び(ii)下端側にて、前記同軸貫通穴及び前記貫通孔を介して前記床側連結部材と連結可能な形状を有すると共に、上端側に、前記固定部材の上面に当接する下面を縁に持つように前記同軸貫通穴より幅広な頭部を有する、第2機器側連結部材と
を備える
ことを特徴とする耐震固定装置。 A floor-side member provided on a floor in which a plurality of flat floor members are spread at a distance from the base by way of a plurality of pillars erected from at least one of the base and the foundation structure on the base When, and a device-side member provided on the body of the movable device over the floor, a seismic fixed device for seismic fixing the device on the floor,
The floor side member is attached to the foundation or the foundation structure under the floor at a position opposite to a through hole opened in the flat plate floor member at a lower end side, and passes through the penetration at an upper end side. A floor-side connecting member that opens or protrudes upward on the same axis as the through-hole inserted into or facing the hole;
The device-side member, at the lower end is connectable to the floor side connecting member through the through hole at the upper end, provided with a device-side connecting member fixed to the base plate of the present body,
Each of the floor side member and the device side member is provided for one of the devices,
The plurality of device side members are:
One floor side member has a shape that can be connected to the floor side connection member via the through hole on the lower end side as the equipment side connection member, and is attached to the base plate on the upper end side. A first device-side connecting member having a protrusion that can be received by the horizontal positioning receiving member;
With respect to the other floor side members, as the equipment side connecting member, (i) in the fixing hole opened at a position facing the through hole in the base plate, the vertical position is fixed in an adjustable manner, A fixing member for vertical positioning having a coaxial through hole coaxial with the through hole, and (ii) on the lower end side, connectable to the floor side connecting member via the coaxial through hole and the through hole A second device-side connecting member having a shape and having a head portion wider than the coaxial through hole at the upper end side so as to have a lower surface abutting on an upper surface of the fixing member at an edge thereof;
Seismic fixing apparatus comprising: a.
前記機器側部材は、前記本体に加えて又は代えて、前記台車に設けられており、The device side member is provided in the cart in addition to or instead of the main body,
機器側連結部材は、前記台車のベース板に固定されているThe device side connecting member is fixed to the base plate of the carriage.
ことを特徴とする請求項1に記載の耐震固定装置。The earthquake-resistant fixing device according to claim 1.
前記固定部材は、
前記雌ネジ内に係合されると共に前記同軸貫通穴を有する雄ネジ部材と、
前記雄ネジ部材の前記ベース板の下側から覗く先端側に係合すると共に、前記固定用穴の周囲にて前記ベース板の下面に当接することで前記雄ネジ部材が前記雌ネジ内を前記軸方向に移動するのを阻止する雌ネジが切られたナット部材と
を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の耐震固定装置。 A female screw is cut in the fixing hole,
The fixing member is
A male screw member engaged in the female screw and having the coaxial through hole;
The male screw member engages with the tip side seen from the lower side of the base plate and abuts the lower surface of the base plate around the fixing hole so that the male screw member passes through the female screw. seismic fixing device according to claim 1 or 2, characterized in that it has a nut member which female threaded for preventing the axial movement.
前記受け部材は、側方に切り欠かかれており且つ該切り欠かれた側から前記くびれに嵌る形状を有し、
前記受け部材及び前記くびれにおける相互に当接する面のうち少なくとも一方に、前記受け部材が前記くびれに嵌る際に、前記受け部材が前記くびれから鉛直上向きに力を受けるように、テーパが形成されている
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の耐震固定装置。 The protrusion has a constriction;
The receiving member has a shape that is notched to the side and fits into the constriction from the notched side;
A taper is formed on at least one of the receiving member and the constricted surface of the constriction so that the receiving member receives a force from the constriction vertically upward when the receiving member is fitted to the constriction. The earthquake-proof fixing device according to any one of claims 1 to 3, wherein the earthquake-proof fixing device is provided.
前記棒状構造体は、前記根太の延在方向における任意位置にて前記根太に対して取り付け可能に構成されており、
前記床側部材は、下端側にて、前記棒状構造体の延在方向における任意位置にて前記棒状構造体に対して取り付け可能に構成されている
ことを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の耐震固定装置。 The floor-side member is attached to a rod-shaped structure that forms the other part of the foundation structure that is passed over the plurality of joists in a direction intersecting with the joists that form part of the foundation structure on the lower end side. And
The rod-shaped structure is configured to be attachable to the joist at an arbitrary position in the extending direction of the joist,
The floor member is configured to be attachable to the rod-like structure at an arbitrary position in the extending direction of the rod-like structure on the lower end side. The earthquake-resistant fixing device according to claim 1.
ことを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の耐震固定装置。 Wherein the base plate, a portion configured to be fitted with the device-side member, when the device is secured by the seismic fixing device, in plan view on the floor, the flat floor member The four through holes are spaced apart from each other by four so that at least one of the through holes can be opened at a predetermined distance from the four sides of each of the through holes. The earthquake-proof fixing device according to any one of claims 1 to 6, wherein
前記貫通孔は、前記床の上で平面的に見て、直径Rの円形をなし、
前記四つずつ設けられた部位は、前記床の上で平面的に見て、一辺が2L+R以上の長さの矩形の各頂点に位置するように設けられている
ことを特徴とする請求項7に記載の耐震固定装置。 Each of the flat plate members has a rectangular shape when viewed in plan on the floor , and a region where the hole can be opened is defined as a region separated from each side by a predetermined length L or more,
The through hole is viewed in plan on the floor, a circular diameter R,
The four portions provided site is viewed in plan on the floor, according to claim one side and being provided to be positioned at the vertices of a rectangular 2L + R or longer 7 The seismic fixing device described in 1.
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