JP5727820B2 - 成膜装置および成膜方法 - Google Patents
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Description
即ち、本発明の成膜装置は、カソードユニットとアノードユニットとを成膜室内に備える成膜装置であって、
基板を保持し、前記成膜室外と前記成膜室内との間で移動し、前記カソードユニットと前記アノードユニットとの間に位置する成膜空間に前記基板を搬入・搬出するキャリアを備え、
前記キャリアは、前記基板の被成膜面が前記カソードユニットと対向するように前記基板を保持する第一保持部と、前記基板を前記キャリアと前記アノードの間で移動させる基板移動手段を有し
前記アノードユニットは、前記基板を保持する第二保持部を有し、
前記第二保持部は、前記基板を前記アノードユニットに押しつけて保持する押さえ部材を有し、
前記キャリアは、前記押さえ部材の解除を行う制御部材を有し、
成膜時には、前記成膜空間から前記キャリアを外すことを特徴とする。
前記成膜室外に、前記基板移動手段を駆動する第一駆動源を備えたことを特徴とする。
前記成膜室外に、前記サイドクランプ機構を駆動する第二駆動源を備えたことを特徴とする。
前記第一保持部に保持されている基板を、前記成膜室のアノードユニットに付設された前記第二保持部に移載させる工程Bと、
前記成膜室外に前記キャリアを搬出させる工程Cと、
前記アノードユニットを前記カソードユニットに接近させ、前記第二保持部に保持された前記基板に成膜を行う工程Dと、
を行うことを特徴とする。
前記第二保持部に保持されている成膜後の基板を、前記第一保持部に移載させる工程Fと、
を更に備えたことを特徴とする。
まず最初に、本発明の成膜装置によって好適に製造可能な薄膜太陽電池の構成を説明する。
図1は薄膜太陽電池の一構成例を示す断面図である。
薄膜太陽電池100は、表面を構成する基板(ガラス基板)Wと、基板W上に設けられた透明導電膜からなる上部電極101と、アモルファスシリコンで構成されたトップセル102と、マイクロクリスタルシリコンで構成されたボトムセル104と、透明導電膜からなるバッファ層105と、金属膜からなる裏面電極106とが積層されてなる。
図2は本発明の一構成例である成膜装置を示す概略構成図である。
図2に示すように、成膜装置10は、成膜室11と、仕込・取出室13と、基板脱着室15と、とを備えている。基板Wは、キャリア21(図9b参照)に置載され、成膜室11、仕込・取出室13、基板脱着室15の間を移動する。
成膜室11は例えば複数の基板Wに対して同時にマイクロクリスタルシリコンで構成されたボトムセル104(半導体層)をプラズマCVD法を用いて成膜する。
仕込・取出室13は、大気と真空間を搬送するためのロードロック室で、成膜室11に搬入される成膜処理前基板W1と、成膜室11から搬出された成膜処理後基板W2と、を同時に収容することができる。
基板脱着室15は、キャリア21(図9b参照)に対して基板W(成膜処理前基板W1および成膜処理後基板W2)を脱着させる。
なお、こうしたキャリア21やアノードユニット90が基板Wを保持し、また授受するための構成は後ほど詳述する。
カソードユニット68には、アノードユニット90(アノード67)に対向する面にそれぞれ小孔(不図示)が複数形成されたシャワープレート75が配置されており、成膜ガスを基板Wに向かって噴出できるようになっている。さらに、シャワープレート75,75は、マッチングボックス72と接続されたカソード(高周波電極)である。2枚のシャワープレート75,75の間には、マッチングボックス72と接続されたカソード中間部材76が設けられている。
本発明の成膜装置10では、平行平板型電極として機能し、互いに対向して配されたカソードユニット68とアノードユニット90とを成膜室11内に備えてなる。
キャリア21は、成膜室11外と成膜室11内との間で基板Wを搬入出させる。キャリア21は、カソードユニット68とアノードユニット90との間に位置する成膜空間81において、基板Wの被成膜面Waがカソードユニット68と対向するように基板Wを保持する第一保持部51を備えている。また、アノードユニット90は、キャリア21から受け渡された基板Wを保持する第二保持部95を備えている。
図9bはキャリアの斜視図である。図9bに示すように、キャリア21は、基板Wの一面が略鉛直方向に沿うように保持することが可能な額縁状のフレーム51を一対備えている。つまり、一つのキャリア21に基板Wを2枚取り付けることができるようになっている。基板Wは、フレーム51に形成された開口部56で被成膜面が露出される。
また、第二駆動部材(第二駆動源)92は、連動棒などを介してサイドクランプ機構59に繋がり、このサイドクランプ機構59を基板Wの保持状態と解除状態との間で回動させる。更に、第三駆動部材(第三駆動源)93は、連動部材55を係合位置と、係合解除位置との間で回動させる。こうした第一駆動部材91、第二駆動部材92、および第三駆動部材93は、例えばエアシリンダーなどを有する。
さらにアノードユニット90には、基板を載置する基板受け部材96(図31参照)を有している。すなわち、アノードユニット90に基板を保持する第二保持部は、基板Wをアノードユニット90に押さえる基板クランプ95と、基板Wを載置して下から支える基板受け部材96を有している。
次に、上述した構成の成膜装置の作用、および本発明の成膜方法の一例を説明する。なお、以下の説明においては、一つの基板成膜ライン16のうち、一方の面の基板に着目して説明するが、他の三つの基板成膜ライン16も略同一の流れで基板を成膜する。
また、以下の説明においては、アノードユニット90を構成するヒータHが基板Wを保持する構成を例示する。
図23(a)に示すように、プッシュ−プル機構38の係止部48に成膜処理後基板W2が取り付けられたキャリア21Aを係止する。そして、係止部48に取り付けられているキャリア移動装置50に接続された移動アーム57を揺動させる。
図26に示すように、プッシュ−プル機構38を用いて処理前基板W1を保持したキャリア21を成膜室11に移動させる。なお、移動完了後もドアバルブ25は開状態にされている。また、成膜室11は真空状態が保持されている。キャリア21に取り付けられた成膜処理前基板W1は、成膜室11内において、アノードユニット90とカソードユニット68との間に一面が鉛直方向と略並行を成すように挿入される。
なお、この時、第一位置での基板Wとカソードユニット68との離隔距離は、所望の距離、即ち成膜に最適な距離に調節される。成膜処理前基板W1とカソードユニット68のシャワープレート75との隙間(成膜距離)は5〜15mmで、例えば5mm程度である。
即ち、図38に示すように、カソードユニット68のシャワープレート75から成膜ガスを噴出させるとともに、カソードユニット68のシャワープレート(=カソード)75に電圧を印加することで、成膜空間81にプラズマを発生させ、成膜処理前基板W1の表面WOに成膜を施す。このとき、ヒータHにより成膜処理前基板W1が所望の温度に加熱される。
なお、一度の成膜処理工程で複数の層を成膜する際には、供給する成膜ガス材料を所定時間毎に切り替えることで実施することができる。
Claims (10)
- カソードユニットとアノードユニットとを成膜室内に備える成膜装置であって、
基板を保持し、前記成膜室外と前記成膜室内との間で移動し、前記カソードユニットと前記アノードユニットとの間に位置する成膜空間に前記基板を搬入・搬出するキャリアを備え、
前記キャリアは、前記基板の被成膜面が前記カソードユニットと対向するように前記基板を保持する第一保持部と、前記基板を前記キャリアと前記アノードの間で移動させる基板移動手段を有し、
前記アノードユニットは、前記基板を保持する第二保持部を有し、
前記第二保持部は、前記基板を前記アノードユニットに押しつけて保持する押さえ部材を有し、
前記キャリアは、前記押さえ部材の解除を行う制御部材を有し、
成膜時には、前記成膜空間から前記キャリアを外すことを特徴とする成膜装置。 - 前記アノードユニットを前記カソードユニットに対して水平に移動させるアノード移動装置を有することを特徴とする請求項1記載の成膜装置。
- 前記基板移動手段は、前記基板を上下させる機構であり、
前記成膜室外に、前記基板移動手段を駆動する第一駆動源を備えたことを特徴とする請求項1または2記載の成膜装置。 - 前記第一保持部材は前記基板の側面を前記キャリア側に支えるサイドクランプ機構を有し、前記サイドクランプ機構は保持状態と解除状態との間で移動し、
前記成膜室外に、前記サイドクランプ機構を駆動する第二駆動源を備えたことを特徴とする請求項1ないし3いずれか1項記載の成膜装置。 - 前記成膜室外に、前記押さえ部材を駆動する第三駆動源を備えたことを特徴とする請求項1記載の成膜装置。
- 前記成膜室は、一対の前記アノードユニット間に前記カソードユニットを配して構成される第一成膜ユニットを複数備えたことを特徴とする請求項1ないし5いずれか1項記載の成膜装置。
- 前記成膜室は、前記カソードユニットと前記アノードユニットから構成される第二成膜ユニットを複数備えたことを特徴とする請求項1ないし5いずれか1項記載の成膜装置。
- 前記成膜室は、前記基板の被成膜面に垂直な方向に並列に複数の前記キャリアを収容可能であることを特徴とする請求項6または7記載の成膜装置。
- 請求項1ないし8いずれか1項記載の成膜装置を用いてなる成膜方法であって、
前記第一保持部に基板を保持させたキャリアを、成膜室外から成膜室内に搬入する工程Aと、
前記第一保持部に保持されている基板を、前記成膜室のアノードユニットに付設された前記第二保持部に移載させる工程Bと、
前記成膜室外に前記キャリアを搬出させる工程Cと、
前記アノードユニットを前記カソードユニットに接近させ、前記第二保持部に保持された前記基板に成膜を行う工程Dと、
を行うことを特徴とする成膜方法。 - 前記工程Dの後、キャリアを成膜室外から成膜室内へ搬入する工程Eと、
前記第二保持部に保持されている成膜後の基板を、前記第一保持部に移載させる工程Fと、
を更に備えたことを特徴とする請求項9記載の成膜方法。
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