JP5718172B2 - Horizontal conveying device for thin plate-like object in surface treatment device, and clamp of this horizontal conveying device - Google Patents
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Description
本発明は、プリント配線基板などの薄板状被処理物を水平状態で一方向に搬送させ、この水平搬送過程で被処理物に表面処理を施す装置の水平搬送装置、及びこの水平搬送装置に用いるクランプに関する。 The present invention is used for a horizontal transfer device of an apparatus for transferring a thin plate-like object to be processed such as a printed wiring board in one direction in a horizontal state and performing a surface treatment on the object to be processed in the horizontal transfer process, and the horizontal transfer apparatus. Regarding clamps.
回路基板などの板状被処理物を水平状態で一方向に搬送させ、この搬送過程で板状被処理物の表面に電解処理を施す処理装置としては、特許文献1の板状物体の電解処理装置が公知である。この電解処理装置は、板状物体が水平状態で電解室に供給され、一定滞留時間該電解室を連続的に通過し、電解処理後に電解室から再び搬出される、板状物体上に金属を電着する装置であり、板状物体を電解室を通して運搬するための搬送装置が、搬送域中で板状物体の側縁を挟持して搬送方向に移動する、エンドレスに回転して駆動される個々のクランプの列として構成されている。 As a processing apparatus for transporting a plate-like workpiece such as a circuit board in one direction in a horizontal state and performing electrolytic treatment on the surface of the plate-like workpiece in the carrying process, electrolytic treatment of a plate-like object of Patent Document 1 Devices are known. In this electrolytic treatment apparatus, a plate-like object is supplied to the electrolysis chamber in a horizontal state, continuously passes through the electrolysis chamber for a certain residence time, and is discharged again from the electrolysis chamber after the electrolysis treatment. A device for electrodeposition, a transport device for transporting a plate-like object through an electrolysis chamber, is driven to rotate endlessly, sandwiching the side edge of the plate-like object in the transport area and moving in the transport direction Configured as a row of individual clamps.
すなわち、特許文献1の装置は、電解室中(すなわち電解処理槽内)においてのみ板状物体をクランプ搬送するものであり、板状物体を水平状態で電解室に供給する搬入手段や、板状物体を水平状態で電解室から搬出するための搬出手段を別に必要とするものである。しかし、特許文献1の装置では、この搬入手段や搬出手段を開示してない。 That is, the apparatus of Patent Document 1 clamps and conveys a plate-like object only in an electrolysis chamber (that is, in an electrolytic treatment tank), and includes a carry-in means for supplying the plate-like object to the electrolysis chamber in a horizontal state, A separate unloading means for unloading the object from the electrolysis chamber in a horizontal state is required. However, the apparatus disclosed in Patent Document 1 does not disclose this carry-in means or carry-out means.
回路基板などの板状物体を水平状態で表面処理槽内に搬入する手段、処理槽内から搬出する手段としては、図6にその概略を示した、ローラ搬送によるものが知られている。図6において、L1はローラ搬送、L2はクランプ搬送、L3はローラ搬送の区間を示し、Tは処理液Fが入れられた処理槽を示している。図6に示すように、水平状態の板状被処理物Pを搬入・搬出する処理槽Tの搬入口Ta・搬出口Tbには、対応する処理槽T内側にローラコンベアとしても機能するシールローラSを配設し、槽内処理液の流出を防いでいる。 As a means for carrying a plate-like object such as a circuit board into the surface treatment tank in a horizontal state and a means for carrying it out of the treatment tank, those by roller conveyance, whose outline is shown in FIG. 6, are known. In FIG. 6, L1 represents roller conveyance, L2 represents clamp conveyance, L3 represents a roller conveyance section, and T represents a treatment tank in which the treatment liquid F is placed. As shown in FIG. 6, a seal roller that also functions as a roller conveyor inside the corresponding processing tank T is provided at the carry-in port Ta and the carry-out port Tb of the processing tank T that loads and unloads the plate-like workpiece P in the horizontal state. S is provided to prevent the treatment liquid in the tank from flowing out.
しかし、図6の装置では、ローラ搬送では被処理物の基板面に傷を付ける弊害がある。また、水平状態の基板をローラ搬送手段からクランプ搬送手段へ確実に受け渡すのは技術的に難しく、特にエンドレスに回転されるクランプで基板の両側縁を挟持して基板を水平に搬送するクランプ搬送手段へと確実に受け渡すのは技術的に難しいものである。 However, in the apparatus of FIG. 6, there is an adverse effect of scratching the substrate surface of the object to be processed in the roller conveyance. In addition, it is technically difficult to reliably transfer a horizontal substrate from the roller conveyance means to the clamp conveyance means, and in particular, clamp conveyance in which both side edges of the substrate are clamped by endlessly rotated clamps and the substrate is conveyed horizontally. It is technically difficult to ensure delivery to the means.
また、本出願人は、異なる横幅サイズの板状被処理物の両側縁部をエンドレスに回転するクランプ(挟持チャック)で的確に挟持して水平状態で連続的に搬送しながら表面処理できる装置を提案してある(特許文献2)。 In addition, the applicant of the present invention is an apparatus capable of surface processing while accurately holding both side edges of plate-like workpieces having different width sizes with clamps (clamping chucks) that rotate endlessly and continuously transporting them horizontally. It has been proposed (Patent Document 2).
このような実情に鑑み、本発明は、エンドレスに回転するクランプで薄板状被処理物の両側縁部をクランプして一方向へ連続的に水平搬送させ、この水平搬送過程でクランプにクランプされて水平搬送される薄板状被処理物物を処理液が満たされた処理槽内に搬入し、この処理槽内の処理液中を通過させ、この処理槽から搬出させる装置を提供するものであり、クランプで両側縁部をクランプされた薄板状被処理物を水平状態で確実且つスムーズに処理液が満たされた処理槽内に搬入し、搬出するのに好適な処理槽の仕切り構造(槽シール構造)をもつ表面処理装置の水平搬送装置、及びこれに適した構造のクランプを提供しようとするものである。 In view of such a situation, the present invention clamps both side edges of a thin plate-like workpiece with a clamp that rotates endlessly and continuously conveys it horizontally in one direction, and is clamped by the clamp during this horizontal conveyance process. A thin plate-like object to be horizontally conveyed is carried into a treatment tank filled with a treatment liquid, passed through the treatment liquid in the treatment tank, and an apparatus for unloading from the treatment tank is provided. A processing tank partition structure (tank seal structure) suitable for carrying in and out of a thin plate-like object to be processed, clamped on both side edges with a clamp, in a horizontal state reliably and smoothly into a processing tank. ) And a clamp having a structure suitable for the surface treatment apparatus.
また、本発明は、異なる横幅サイズの板状被処理物の両側縁部をエンドレスに回転するクランプでクランプして水平状態で連続的に搬送しながら表面処理する装置においても、クランプで両側縁部をクランプされた薄板状被処理物を水平状態で確実且つスムーズに処理液が満たされた処理槽内に搬入し、搬出するのに好適な処理槽の仕切り構造(槽シール構造)をもつ表面処理装置の水平搬送装置を提供しようとするものである。 In addition, the present invention is applicable to an apparatus that clamps both side edges of a plate-like workpiece having different width sizes with a clamp that rotates endlessly and performs surface treatment while continuously conveying in a horizontal state. Surface treatment with a processing tank partition structure (tank seal structure) suitable for loading and unloading a thin plate-shaped workpiece clamped in a processing tank filled with processing liquid reliably and smoothly in a horizontal state It is an object of the present invention to provide a horizontal transfer device for an apparatus.
上記した課題を解決するため、本発明(請求項1の発明)は、薄板状被処理物の搬送通路を間にした両側に搬送装置をそれぞれ設け、各搬送装置には前記搬送通路を間にして互いに平行な内側の直線駆動経路部をもつエンドレスに回転駆動される水平搬送駆動手段をそれぞれ備え、この水平搬送駆動手段に等間隔を置いて多数のクランプを取付けてあり、前記搬送通路を間にして互いに平行な内側の直線駆動経路部を移動するクランプ群でフレキシブルな薄板状被処理物の両側縁部を上下方向からクランプして該薄板状被処理物の板面を上下にした一定の水平高さレベルで一方向に連続的に水平搬送させ、この水平搬送過程で前記クランプに保持されて水平搬送される薄板状被処理物を処理液が満たされた処理槽内に搬入し、この処理槽内の処理液中を通過させ、この処理槽から搬出するようにした水平搬送装置であり、前記処理槽の搬入側と搬出側の槽仕切り板部に前記クランプにクランプされて水平搬送される前記薄板状被処理物の搬送通過を許容する被処理物通過切欠部を形成すると共に、この薄板状被処理物をクランプしている前記クランプの移動通過を許容する上方を開放したクランプ通過切欠部を形成し、前記被処理物通過切欠部に対応する前記処理槽の搬入側と搬出側の処理槽内側に液噴出仕切り装置をそれぞれ配設し、この液噴出仕切り装置は前記被処理物通過切欠部を間にした上下位置に水平搬送される前記薄板状被処理物の通過を許容する間隔を開けて噴出液上部供給管に連通された仕切り部形状の上部液噴流供給ボックスと噴出液下部供給管に連通された仕切り部形状の下部液噴流供給ボックスを設け、上下の液噴流供給ボックスの対向側に水平搬送される前記薄板状被処理物の横幅方向に延びるスリット状開口の液噴出口をそれぞれ形成し、前記噴出液上部供給管から前記上部液噴流供給ボックス内に供給された噴出液を該上部液噴流供給ボックスの前記液噴出口から前記処理槽内の処理液中に向けて斜め下方向に噴出させると共に、前記噴出液下部供給管から前記下部液噴流供給ボックス内に供給された噴出液を該下部液噴流供給ボックスの前記液噴出口から前記処理槽内の処理液中に向けて斜め上方向に噴出させ、上下の液噴流供給ボックスから吐出される噴出液によって前記被処理物通過切欠部から処理槽内処理液の流出を防ぐように構成し、前記クランプ通過切欠部の対応位置にクランプが通過移動する上方位置とこのクランプでクランプされた前記薄板状被処理物の側端部が通過搬送される下部内側位置を開放したクランプ通過枠体をそれぞれ配設し、このクランプ通過枠体に該クランプ通過枠体のクランプ移動通過部を開閉可能に閉塞する多数の可撓性を有するシール舌片を取付け、このシール舌片は、常態において処理槽内から液流出を防ぐように閉じられ、クランプの通過時には該クランプの移動押圧力で開けられる構成とした、表面処理装置における薄板状被処理物の水平搬送装置を提供する。 In order to solve the above-described problems, the present invention (invention of claim 1) is provided with a conveying device on both sides of a conveying path for a thin plate-like object, and each conveying device has the conveying path in between. Each of which has an endless horizontal drive means having inner linear drive path portions parallel to each other, and a plurality of clamps are attached to the horizontal transport drive means at equal intervals. A clamp group that moves in parallel linear drive path portions parallel to each other, clamps both side edges of the flexible thin plate-like workpiece from the vertical direction, and the plate surface of the thin plate-like workpiece is fixed up and down. A horizontal plate is continuously conveyed in one direction at a horizontal height level, and a thin plate-like workpiece to be horizontally conveyed while being held in the clamp in the horizontal conveyance process is carried into a treatment tank filled with a treatment liquid. In the treatment tank It is a horizontal transfer device that passes through the treatment liquid and is carried out of the processing tank, and is a thin plate that is clamped by the clamps and horizontally transferred to the tank partition plates on the carry-in side and the carry-out side of the treatment tank A workpiece passage notch that allows the workpiece to pass through is formed, and a clamp passage notch that opens the upper side that allows the movement of the clamp that clamps the thin plate workpiece is formed. A liquid ejection partition device is provided inside the processing tank on the carry-in side and the carry-out side of the processing tank corresponding to the workpiece passage notch, and the liquid jet partition device has the workpiece passage notch in the middle. Communicating with the upper liquid jet supply box and the lower liquid supply pipe in the form of a partition that communicates with the upper supply pipe of the jet liquid with an interval allowing passage of the thin plate-like object to be horizontally conveyed to the vertical position. Finished A lower-part liquid jet supply box having a slit-like shape, and each forming a liquid outlet having a slit-like opening extending in the lateral width direction of the thin plate-like workpiece to be horizontally conveyed on the opposite side of the upper and lower liquid jet supply boxes, The ejected liquid supplied from the ejected liquid upper supply pipe into the upper liquid jet supply box is ejected obliquely downward from the liquid outlet of the upper liquid jet supply box toward the processing liquid in the processing tank. The jetted liquid supplied from the jetted liquid lower supply pipe into the lower liquid jet supply box is ejected obliquely upward from the liquid jet outlet of the lower liquid jet supply box toward the processing liquid in the processing tank. And configured to prevent the processing liquid in the processing tank from flowing out of the processing object passage notch by the ejected liquid discharged from the upper and lower liquid jet supply boxes, and clamped at the corresponding position of the clamp passage notch And a clamp passage frame that opens the lower inner position where the side end of the thin plate-like object clamped by the clamp passes and is disposed is disposed on the clamp passage frame. A plurality of flexible sealing tongues are attached to open and close the clamp movement passage part of the clamp passage frame so that the sealing tongues are normally closed to prevent liquid outflow from the inside of the treatment tank. Provided is a horizontal conveyance device for a thin plate-like object to be processed in a surface treatment device, which is configured to be opened by a moving pressing force of the clamp when passing the clamp.
本発明(請求項1の発明)によれば、エンドレスに回転するクランプで薄板状被処理物の両側縁部をクランプして一方向へ連続的に水平搬送させ、この水平搬送過程でクランプにクランプされて水平搬送される薄板状被処理物物を処理液が満たされた処理槽内に搬入し、この処理槽内の処理液中を通過させ、この処理槽から搬出させる装置であるため、図6に示した従来装置のようなローラ搬送とクランプ搬送による製品受け渡しを必用とせず、クランプで両側縁部をクランプされた薄板状被処理物を水平状態で確実且つスムーズに処理液が満たされた処理槽内に搬入し、搬出できる。また、図6に示した従来装置のようなローラ搬送を必用としないため、ローラによって被処理物の基板面が傷つけられる恐れもない。 According to the present invention (invention of claim 1), both side edges of the thin plate-like workpiece are clamped by the endlessly rotating clamp and continuously conveyed horizontally in one direction, and the clamp is clamped in the horizontal conveying process. Since the thin plate-like object to be horizontally transported is carried into a treatment tank filled with a treatment liquid, passes through the treatment liquid in the treatment tank, and is unloaded from the treatment tank. The product delivery by roller conveyance and clamp conveyance as in the conventional apparatus shown in FIG. 6 is not required, and the thin plate-like workpiece having both side edges clamped by the clamp is filled with the treatment liquid surely and smoothly in the horizontal state. Can be carried in and out of the treatment tank. Further, since the roller conveyance as in the conventional apparatus shown in FIG. 6 is not necessary, the substrate surface of the object to be processed is not damaged by the roller.
また、本発明(請求項1の発明)の前記液噴出仕切り装置は液流によるシール構造であるため、図6に示した従来装置のシールローラによるシール構造に比べ被処理物の基板面を傷めない。しかも、本発明(請求項1の発明)の前記液噴出仕切り装置は、上部液噴流供給ボックスの液噴出口から処理槽内の処理液中に向けて斜め下方向に噴出させると共に、下部液噴流供給ボックスの液噴出口から処理槽内の処理液中に向けて斜め上方向に噴出させ、上下の液噴流供給ボックスから吐出される噴出液によって前記被処理物通過切欠部から処理槽内処理液の流出を防ぐように構成したものであるため、特に処理槽の搬入側においては薄板状被処理物の水平搬入移動を効果的にガイドする働きがある。 Further, since the liquid ejection partition device of the present invention (the invention of claim 1) has a seal structure by liquid flow, the substrate surface of the object to be processed is damaged as compared with the seal structure by the seal roller of the conventional device shown in FIG. Absent. Moreover, the liquid ejection partition device of the present invention (invention of claim 1) ejects from the liquid ejection port of the upper liquid jet supply box obliquely downward toward the processing liquid in the processing tank, and lower liquid jet The processing liquid in the processing tank is ejected from the liquid outlet of the supply box obliquely upward toward the processing liquid in the processing tank, and is discharged from the upper and lower liquid jet supply boxes from the processing object passage notch portion. Therefore, particularly on the carry-in side of the treatment tank, there is a function to effectively guide the horizontal carry-in movement of the thin plate-like workpiece.
また、上記した課題を解決するため、本発明(請求項2の発明)は、薄板状被処理物の搬送通路を間にした両側に搬送装置をそれぞれ設け、各搬送装置には前記搬送通路を間にして互いに平行な内側の直線駆動経路部をもつエンドレスに回転駆動される水平搬送駆動手段をそれぞれ備え、この水平搬送駆動手段に等間隔を置いて多数のクランプを取付けてあり、前記搬送通路を間にして互いに平行な内側の直線駆動経路部を移動するクランプ群でフレキシブルな薄板状被処理物の両側縁部を上下方向からクランプして該薄板状被処理物の板面を上下にした一定の水平高さレベルで一方向に連続的に水平搬送させ、この水平搬送過程で前記クランプに保持されて水平搬送される薄板状被処理物を処理液が満たされた処理槽内に搬入し、この処理槽内の処理液中を通過させ、この処理槽から搬出するようにした水平搬送装置であり、前記各搬送装置のうち少なくとも一方の搬送装置が搬送通路を間にした他方の搬送装置に対して搬送通路の横幅を可変できる横幅方向に移動可能な構成とし、前記搬送通路を間にして互いに平行な内側の直線駆動経路部を移動するクランプ群の横幅間隔を調節可能にした装置において、前記処理槽の搬入側と搬出側の槽仕切り板部に前記クランプにクランプされて水平搬送される前記薄板状被処理物の搬送通過を許容する被処理物通過切欠部を形成すると共に、この薄板状被処理物をクランプしている前記クランプの移動通過を許容する上方を開放したクランプ通過切欠部を形成し、前記被処理物通過切欠部に対応する前記処理槽の搬入側と搬出側の処理槽内側に液噴出仕切り装置をそれぞれ配設し、この液噴出仕切り装置は前記被処理物通過切欠部を間にした上下位置に水平搬送される前記薄板状被処理物の通過を許容する間隔を開けて噴出液上部供給管に連通された仕切り部形状の上部液噴流供給ボックスと噴出液下部供給管に連通された仕切り部形状の下部液噴流供給ボックスを設け、上下の液噴流供給ボックスの対向側に水平搬送される前記薄板状被処理物の横幅方向に延びるスリット状開口の液噴出口をそれぞれ形成し、前記噴出液上部供給管から前記上部液噴流供給ボックス内に供給された噴出液を該上部液噴流供給ボックスの前記液噴出口から前記処理槽内の処理液中に向けて斜め下方向に噴出させると共に、前記噴出液下部供給管から前記下部液噴流供給ボックス内に供給された噴出液を該下部液噴流供給ボックスの前記液噴出口から前記処理槽内の処理液中に向けて斜め上方向に噴出させ、上下の液噴流供給ボックスから吐出される噴出液によって前記被処理物通過切欠部から処理槽内処理液の流出を防ぐように構成し、前記クランプ通過切欠部の対応位置にクランプが通過移動する上方位置とこのクランプでクランプされた前記薄板状被処理物の側端部が通過搬送される下部内側位置を開放したクランプ通過枠体をそれぞれ配設し、このクランプ通過枠体に該クランプ通過枠体のクランプ移動通過部を開閉可能に閉塞する多数の可撓性を有するシール舌片を取付け、このシール舌片は、常態において処理槽内から液流出を防ぐように閉じられ、クランプの通過時には該クランプの移動押圧力で開けられる構成とし、横幅方向に移動可能な構成とした前記搬送装置における内側の直線駆動経路部を移動するクランプ群に対応する前記クランプ通過切欠部が該クランプの横幅移動を許容する広さの横幅に切欠き形成され、この幅広のクランプ通過切欠部に配設される前記クランプ通過枠体の左右両側に該クランプ通過枠体ではカバーできない幅広の前記クランプ通過切欠部の隙間を択一的に塞ぐ仕切りプレートをそれぞれ取付け、この仕切りプレートは、水平搬送される前記薄板状被処理物の対応する側端部の通過を許容する隙間部を開けた状態で前記クランプ通過枠体に取付け、この隙間部の外側端部は前記クランプ通過枠体の下部内側位置の前記開放部と連続する構成とし、前記クランプ通過枠体とこのクランプ通過枠体に取り付けた前記仕切りプレートは横幅方向に移動可能な搬送装置の横幅方向移動と連動して横幅方向に移動するように構成した、表面処理装置における薄板状被処理物の水平搬送装置を提供する。 In order to solve the above-described problems, the present invention (invention of claim 2) is provided with a transport device on both sides of the transport path of the thin plate-like workpiece, and each transport device has the transport path. Each of which is provided with horizontal conveying drive means which are endlessly rotated and having inner linear drive path portions parallel to each other, and a plurality of clamps are attached to the horizontal conveyance drive means at equal intervals, A clamp group that moves on the inner straight drive path part parallel to each other between the two sides of the flexible thin plate-like workpiece is clamped from above and below to raise and lower the plate surface of the thin plate-like workpiece. A thin plate-like workpiece to be horizontally transported held horizontally by the clamp in this horizontal transport process is transported into a processing tank filled with a processing liquid. , This process It is a horizontal transfer device that passes through the inside of the processing liquid and is carried out of the processing tank, and at least one of the transfer devices is transferred to the other transfer device with a transfer path in between. In the apparatus, wherein the width of the passages can be changed in the widthwise direction and the width of the clamp groups moving inside the linear drive path portions parallel to each other can be adjusted with the conveyance passage therebetween, the processing tank And forming a workpiece passage notch that allows the thin plate-like workpiece to be transported and passed horizontally by being clamped by the clamps to the carry-in and unload-side tank partition plates. Forming a clamp passage notch that allows the movement of the clamp to clamp and move the workpiece open, and processing on the loading side and unloading side of the processing tank corresponding to the workpiece passage notch A liquid ejection partition device is provided on each inner side, and the liquid ejection partition device opens an interval that allows the thin plate-like workpiece to be horizontally conveyed to a vertical position with the workpiece passage notch in between. A partition-shaped upper liquid jet supply box communicated with the jet liquid upper supply pipe and a partition-shaped lower liquid jet supply box communicated with the jet liquid lower supply pipe are provided, opposite to the upper and lower liquid jet supply boxes. Forming a liquid jet opening having a slit-like opening extending in the width direction of the thin plate-like object to be horizontally conveyed to the upper liquid jet supply box from the jet liquid upper supply pipe. The liquid jet outlet of the upper liquid jet supply box was ejected obliquely downward into the processing liquid in the treatment tank and was supplied into the lower liquid jet supply box from the lower liquid supply pipe. The workpiece is ejected from the liquid jet outlet of the lower liquid jet supply box in an obliquely upward direction toward the processing liquid in the processing tank and ejected from the upper and lower liquid jet supply boxes. An upper position where the clamp passes and moves to the corresponding position of the clamp passage notch and the side end of the thin plate-like object to be clamped by the clamp is configured to prevent the treatment liquid from flowing out of the treatment tank from the passage notch. Each of the clamp passage frames that open the lower inner position through which the part passes is disposed, and this clamp passage frame has a large number of flexibility to close the clamp movement passage part of the clamp passage frame so that it can be opened and closed. A seal tongue piece is attached, and this seal tongue piece is closed so as to prevent liquid outflow from the inside of the treatment tank in a normal state, and is configured to be opened by the moving pressing force of the clamp when passing through the clamp. The clamp passage notch corresponding to the clamp group that moves on the inner linear drive path portion in the conveying device configured to be movable in the width direction is notched to a width that allows the lateral movement of the clamp. The partition plates that selectively close the gaps of the wide clamp passage notches that cannot be covered by the clamp passage frames are respectively attached to the left and right sides of the clamp passage frames disposed in the wide clamp passage notches. The partition plate is attached to the clamp passage frame with a gap that allows passage of the corresponding side end of the thin plate-like workpiece to be horizontally conveyed, and the outer end of the gap is The clamp passage frame body and the partition plate attached to the clamp passage frame body are configured to be continuous with the opening portion at the lower inner position of the clamp passage frame body. And configured to move in the width direction in conjunction with the width direction movement of the movable conveying device in the lateral direction, to provide a horizontal conveyor unit lamellar object to be processed in the surface treatment apparatus.
本発明(請求項2の発明)によれば、前記した発明(請求項1の発明)の効果に加え、異なる横幅サイズの板状被処理物の両側縁部をエンドレスに回転するクランプでクランプして水平状態で連続的に搬送しながら表面処理する装置においても、有効に適用できる。 According to the present invention (invention of claim 2), in addition to the effects of the above-described invention (invention of claim 1), both side edges of plate-like workpieces having different width sizes are clamped with clamps that rotate endlessly. Therefore, the present invention can also be effectively applied to an apparatus that performs surface treatment while continuously conveying in a horizontal state.
また、本発明(請求項3の発明)は、前記シール舌片を前記クランプの移動通過方向に多段状に多数配設したシール構造であり、液流出を防ぐシール効果を高めている。 Further, the present invention (invention of claim 3) is a seal structure in which a large number of the sealing tongue pieces are arranged in a multi-stage shape in the movement passage direction of the clamp, and the sealing effect for preventing liquid outflow is enhanced.
また、上記した課題を解決するため、本発明(請求項4の発明)は、薄板状被処理物の搬送通路を間にした両側に設けられたエンドレスに回転駆動される水平搬送駆動手段に取付けられて回転駆動され、前記搬送通路を間にして互いに平行な内側の直線駆動経路部を移動するクランプ群でフレキシブルな薄板状被処理物の両側縁部を上下方向からクランプして該薄板状被処理物の板面を上下にした一定の水平高さレベルで一方向に連続的に水平搬送させ、この水平搬送過程で前記クランプに保持されて水平搬送される薄板状被処理物を処理液が満たされた処理槽内に搬入し、この処理槽内の処理液中を通過させ、この処理槽から搬出するようにした水平搬送装置のクランプであり、前記クランプは、前記水平搬送駆動手段に連結され且つこの水平搬送駆動手段の直線駆動経路部の下方位置に水平方向に配置した固定ガイドレールに沿って滑り接触しながら移動されるように外嵌されるクランプ取付け体と、このクランプ取付け体に保持されるクランプ本体を含み、このクランプ本体は、このクランプ本体の下方部分が前記処理槽の処理液中を移動可能な位置に配され、前記クランプ本体の上方部分が空中で前記クランプ取付け体に保持される上下方向に長い形状に形成され、このクランプ本体の下端部には薄板状被処理物の側縁部を上下方向からクランプし得る上クランプ部と下クランプ部を備え、前記クランプ本体は、前記クランプ取付け体にその上方部が固定保持される上下方向に長い固定クランプ杆と、この固定クランプ杆に上下動自在に保持される上下方向に長い可動クランプ杆を含み、この可動クランプ杆の下端部に前記上クランプ部を形成し、前記固定クランプ杆の下端部に前記上クランプ部を受ける前記下クランプ部を形成し、前記可動クランプ杆を圧縮バネのバネ圧によって下動させ、この可動クランプ杆の前記上クランプ部と前記固定クランプ杆の下クランプ部を常態において上下方向に閉じた閉状態に制御してあり、前記クランプ本体の上部には、前記可動クランプ杆を前記圧縮バネのバネ圧に抗して上移動させ上下クランプ部を上下方向に開くクランプ開閉ガイド係合部材を付設してあり、前記固定クランプ杆の下方杆部(この下方杆部以下は処理液中を移動する)を対応する前記可動クランプ杆の下方杆部(この下方杆部以下は処理液中を移動する)に対してクランプ移動方向において互いに前後位置となる同列方向に配設し、この固定クランプ杆の同列部分の下端に前記搬送通路側を開口する略断面コ字状の屈曲部を形成し、この屈曲部の折曲げ下端片上に前記可動クランプ杆の前記上クランプ部を受ける前記下クランプ部を形成した、表面処理装置における薄板状被処理物の水平搬送装置のクランプを提供する。 In order to solve the above-described problems, the present invention (the invention of claim 4) is attached to a horizontal conveyance driving means that is rotationally driven endlessly provided on both sides of the conveyance path of the thin plate-like workpiece. And clamped on both side edges of the flexible thin plate-like workpiece from above and below by a clamp group that is driven to rotate and moves inside the linear drive path portion parallel to each other with the conveyance path in between. The processing liquid is transferred to a thin plate-like object to be processed that is horizontally transported in a horizontal direction while being transported horizontally in one direction at a certain horizontal height level with the plate surface of the processed material up and down. It is a clamp of a horizontal transport device that is loaded into a filled processing tank, passes through the processing liquid in the processing tank and is transported out of the processing tank, and the clamp is connected to the horizontal transport driving means And this A clamp mounting body that is externally fitted so as to be moved while sliding along a fixed guide rail horizontally disposed below the linear drive path portion of the flat conveyance driving means, and held by the clamp mounting body The clamp body includes a clamp body, the lower part of the clamp body is disposed at a position where the lower part of the clamp body can move in the processing liquid of the processing tank, and the upper part of the clamp body is held by the clamp attachment body in the air. The clamp body is formed in a shape that is long in the vertical direction, and includes an upper clamp portion and a lower clamp portion that can clamp the side edge of the thin plate workpiece from the vertical direction at the lower end of the clamp body. A fixed clamp 長 い long in the vertical direction whose upper part is fixedly held on the mounting body, and a movable clamp long in the vertical direction held in the fixed clamp に so as to be movable up and down. The upper clamp portion is formed at the lower end portion of the movable clamp rod, the lower clamp portion receiving the upper clamp portion is formed at the lower end portion of the fixed clamp rod, and the movable clamp rod is compressed by a compression spring. The upper clamp portion of the movable clamp と and the lower clamp portion of the fixed clamp 杆 are controlled to be closed in the vertical direction in a normal state. A clamp opening / closing guide engaging member that moves the movable clamp rod up against the spring pressure of the compression spring and opens the upper and lower clamp portions in the vertical direction is provided. In the clamp movement direction with respect to the lower saddle of the movable clamp rod (the lower flange moves in the treatment liquid). A bent portion having a substantially U-shaped cross section is formed at the lower end of the same row portion of the fixed clamp rod, and opens on the conveyance path side. The movable portion is placed on the bent lower end piece of the bent portion. Provided is a clamp for a horizontal conveyance device for a thin plate-like workpiece in a surface treatment device, wherein the lower clamp portion that receives the upper clamp portion of a clamp rod is formed.
本発明(請求項4の発明)のクランプは、前記固定クランプ杆の下方杆部を対応する前記可動クランプ杆の下方杆部に対してクランプ移動方向において互いに前後位置となる同列方向に配設してあるため、処理槽内の処理液中を進行移動するクランプ部分の液抵抗を減少でき、且つ処理槽の搬入側と搬出側の仕切り部のクランプの通過部(前記クランプ通過切欠部、前記クランプ通過枠体)の横幅を狭く形成でき、このクランプ通過部から処理槽内の処理液の流出を防ぎやすくできる。 In the clamp according to the present invention (invention of claim 4), the lower hooks of the fixed clamp rods are arranged in the same row direction as the front and rear positions in the clamp movement direction with respect to the corresponding lower hooks of the movable clamp rods. Therefore, it is possible to reduce the liquid resistance of the clamp part that moves forward in the processing liquid in the processing tank, and to pass the clamp passage part (the clamp passage notch part, the clamp part of the partition part on the carry-in side and the carry-out side of the treatment tank). The width of the passage frame) can be narrowed, and the outflow of the treatment liquid in the treatment tank can be easily prevented from this clamp passage portion.
また、本発明(請求項5の発明)は、前記可動クランプ杆の下端部に上押さえガイド板、前記固定クランプ杆の下端部に下押さえガイド板をそれぞれ取付け、この上下押さえガイド板は前記上下クランプ部と協働して前記薄板状被処理物物の側縁部を上下方向から挟持し得るものとし、この上下押さえガイド板はクランプ移動方向に延ばした形状とした、クランプを提供する。 According to the present invention (invention of claim 5), an upper presser guide plate is attached to the lower end portion of the movable clamp rod, and a lower presser guide plate is attached to the lower end portion of the fixed clamp rod. Provided is a clamp in which a side edge portion of the thin plate-like object to be processed can be clamped in the vertical direction in cooperation with the clamp portion, and the vertical pressing guide plate has a shape extending in the clamp moving direction.
本発明(請求項5の発明)のクランプによれば、上下押さえガイド板で薄板状被処理物物の側縁部をクランプ移動方向に沿って比較的長い範囲においてクランプできる。したがって、薄板状被処理物物の側縁部を確実にクランプできると共に、エンドレスに回転駆動される水平搬送駆動手段(駆動ベルト)に取付けられるクランプの取付け間隔を長くでき、結果としてクランプの取付け個数を少なくできる。 According to the clamp of the present invention (the invention of claim 5), the side edge portion of the thin plate-like workpiece can be clamped in a relatively long range along the clamp movement direction by the upper and lower pressing guide plates. Therefore, it is possible to reliably clamp the side edge portion of the thin plate-like workpiece, and to increase the interval between the clamps attached to the horizontal conveyance drive means (drive belt) that is driven to rotate endlessly. As a result, the number of clamps to be attached Can be reduced.
本発明によれば、クランプで両側縁部をクランプされた薄板状被処理物を水平状態で確実且つスムーズに処理液が満たされた処理槽内に搬入し、そして搬出できる。よって、クランプ搬送とローラ搬送によるリレー搬送をする必要がないため、薄板状被処理物を正確且つスムーズに水平搬送できると共に、ローラ搬送に起因する弊害(被処理物の基板面への擦り傷や圧痕の発生や、ローラへの被処理物の巻き込み)を解消できる。 According to the present invention, it is possible to carry in and out a thin plate-like object to be processed, which is clamped on both side edges by a clamp, into a treatment tank filled with a treatment liquid reliably and smoothly in a horizontal state. Therefore, since it is not necessary to perform relay conveyance by clamp conveyance and roller conveyance, the thin plate-like workpiece can be horizontally conveyed accurately and smoothly, and adverse effects caused by roller conveyance (scratches and indentations on the substrate surface of the workpiece). And the occurrence of the object to be processed on the roller) can be eliminated.
本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図1は装置全体を概略的に示し、図2〜図4は同装置の要部の実施形態を示し、図5は本発明の搬送装置に用いるクランプの好ましい実施形態を示している。 Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 schematically shows the entire apparatus, FIGS. 2 to 4 show an embodiment of the main part of the apparatus, and FIG. 5 shows a preferred embodiment of a clamp used in the conveying apparatus of the present invention.
図1は、薄板状被処理物(プリント配線基板など)Pの搬送通路1を間にした両側に搬送装置2a,2bをそれぞれ設け、各搬送装置2a,2bには前記搬送通路1を間にして互いに平行な内側の直線駆動経路部3a,3aをもつエンドレスに回転駆動される水平搬送駆動手段3,3をそれぞれ備え、この水平搬送駆動手段3に等間隔を置いて多数のクランプ4・・・を取付けてあり、前記搬送通路1を間にして互いに平行な内側の直線駆動経路部3a,3aを移動するクランプ群4・・・でフレキシブルな薄板状被処理物Pの両側縁部を上下方向からクランプして該薄板状被処理物Pの板面を上下にした一定の水平高さレベルで一方向(矢印A方向)に連続的に水平搬送させ、この水平搬送過程で前記クランプ4に保持されて水平搬送される薄板状被処理物Pを処理液Fが満たされた処理槽5(この実施例ではメッキ処理槽としてある)内に搬入し、この処理槽5内の処理液F中を水平に通過させ、この処理槽5から水平に搬出するようにした表面処理装置における薄板状被処理物の水平搬送装置を示している。
FIG. 1 shows that conveying
図示した実施例では、前記各搬送装置2a,2bのうち少なくとも一方の搬送装置(可動側の搬送装置)2bが搬送通路1を間にした他方の搬送装置(固定側の搬送装置)2aに対して搬送通路1の横幅(W)を可変できる横幅方向に移動可能な構成とし、前記搬送通路1を間にして互いに平行な内側の直線駆動経路部3a,3aを移動するクランプ群4・・・の横幅間隔(W)を調節可能な構成としてある。
In the illustrated embodiment, at least one of the
図1において、処理槽5の搬入側と搬出側には、被処理物通過部に対応する液噴出仕切り装置12と、クランプ通過部に対応する位置にシール舌片26を取付けたクランプ通過枠体22をそれぞれ配設してある。これらの構成については、図2〜図4において後で詳しく説明する。
In FIG. 1, on the carry-in side and the carry-out side of the
フレキシブルな薄板状被処理物Pとしては平行な両側縁をもつことが条件であるが、図示した矩形(プリント配線基板など)の板状物の他、平行な両側縁をもつ長尺帯状の物であっても良い。この表面処理槽では板状被処理物にメッキ処理や薬品処理の表面処理が施される。本発明は、電気メッキ処理などの電解処理、無電解処理など、フレキシブルな薄板状の被処理物の表面処理装置の搬送装置として広く適用できる。 The flexible thin plate-like workpiece P is required to have both side edges parallel to each other, but in addition to the rectangular plate (printed wiring board, etc.) shown in the figure, a long strip-like object having both side edges parallel to each other. It may be. In this surface treatment tank, the plate-like workpiece is subjected to surface treatment such as plating or chemical treatment. INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be widely applied as a transfer device for a surface treatment apparatus for a flexible thin plate-like object to be processed, such as electrolytic treatment such as electroplating or electroless treatment.
エンドレスに回転駆動される水平搬送駆動手段3は、ローラ6,6に巻架されてエンドレスに回転駆動される駆動ベルト(歯付ベルト)7であり、搬送駆動用モータ(図示せず。)によって一方のローラ6を回転駆動させている。前記ローラ6には駆動ベルト(歯付ベルト)7に合う歯が設けられている。エンドレスに回転駆動される水平搬送駆動手段3(駆動ベルト7)に等しい間隔を置いて取付けたクランプ群4・・・は、矩形の薄板状被処理物Pの場合は、少なくとも側縁部の複数箇所を掴持できる間隔に取付けてある。なお、図1では、クランプ群4・・・をエンドレスの回転駆動経路における一部の範囲のみで表示したが、水平搬送駆動手段3(駆動ベルト7)の全範囲に亘り等間隔に取付けてある。各水平搬送駆動手段3,3は、同速度で同期回転駆動されるように成っている。
The horizontal conveyance drive means 3 that is rotationally driven by the endless is a drive belt (toothed belt) 7 that is wound around rollers 6 and 6 and is rotationally driven endlessly by a conveyance drive motor (not shown). One roller 6 is driven to rotate. The roller 6 is provided with teeth that match a drive belt (toothed belt) 7. In the case of the rectangular thin plate-shaped workpiece P, the
前記水平搬送駆動手段3(駆動ベルト7)の内側の直線駆動経路部3a,3aの下方位置には該直線駆動経路部3a,3aに沿って水平方向に延びる断面矩形状の固定ガイドレール8を配置してある(図3〜5参照)。内側の直線駆動経路部3a,3aを移動するクランプ群4・・・のクランプ取付け体40(後述する)は前記固定ガイドレール8に沿って滑り接触しながら水平に移動される。そして、本発明を、電気メッキ処理装置などの電解処理装置として用いる場合、この固定ガイドレール8を、クランプ取付け体40(後述する)に取付けられるクランプ本体42(後述する)を介して搬送される被処理物に陰極の電流を給電する給電レールとして機能させている。
A fixed
前記処理槽5の搬入側の槽仕切り板部5aと搬出側の槽仕切り板部5bに前記クランプ4にクランプされて水平搬送される前記薄板状被処理物Pの搬送通過を許容する被処理物通過切欠部10を形成すると共に、この薄板状被処理物Pをクランプしている前記クランプ4の移動通過を許容する上方を開放したクランプ通過切欠部20を形成してある。
An object to be processed that allows the thin plate-like object P to be conveyed and passed horizontally by being clamped by the
前記被処理物通過切欠部10に対応する前記処理槽5の搬入側と搬出側の処理槽内側(前記処理槽5の搬入側の槽仕切り板部5aと搬出側の槽仕切り板部5bの内側)に液噴出仕切り装置12をそれぞれ配設してある。
The inside of the
この液噴出仕切り装置12は、図3〜5に示したように、前記被処理物通過切欠部10を間にした上下位置に水平搬送される前記薄板状被処理物Pの通過を許容する間隔を開けてプラスチック製の噴出液上部供給管14に連通された仕切り部形状のプラスチック製の上部液噴流供給ボックス13と、プラスチック製の噴出液下部供給管16に連通された仕切り部形状のプラスチック製の下部液噴流供給ボックス15から成り、上下の液噴流供給ボックス13,15の対向側には水平搬送される前記薄板状被処理物Pの横幅方向に延びるスリット状開口の液噴出口13a,15aをそれぞれ形成してある。
As shown in FIGS. 3 to 5, the liquid
図4に示したように、前記噴出液上部供給管14から前記上部液噴流供給ボックス13内に供給された噴出液を該上部液噴流供給ボックス13の前記液噴出口13aから前記処理槽5内の処理液中に向けて斜め下方向に噴出させると共に、前記噴出液下部供給管16から前記下部液噴流供給ボックス15内に供給された噴出液を該下部液噴流供給ボックス15の前記液噴出口15aから前記処理槽5内の処理液中に向けて斜め上方向に噴出させ、上下の液噴流供給ボックス13,15から吐出される噴出液によって前記被処理物通過切欠部10から処理槽内処理液の流出を防ぐように構成してある。
As shown in FIG. 4, the jet liquid supplied from the jet liquid
前記液噴出仕切り装置12は液流によるシール構造であるため、図6に示した従来装置のシールローラによるシール構造に比べ被処理物Pの基板面を傷めない。しかも、前記液噴出仕切り装置12は、上部液噴流供給ボックス13の液噴出口13aから処理槽5内の処理液F中に向けて斜め下方向に噴出させると共に、下部液噴流供給ボックス15の液噴出口15aから処理槽5内の処理液中に向けて斜め上方向に噴出させ、上下の液噴流供給ボックス13,15から吐出される噴出液によって前記被処理物通過切欠部10から処理槽内処理液の流出を防ぐように構成したものであるため、特に処理槽5の搬入側においては薄板状被処理物Pの水平搬入移動を効果的にガイドする働きがある。
Since the liquid
図2,3において、図面左側の固定側の搬送装置2aに対して図面右側の搬送装置2bを横幅方向に移動可能な構成とし、搬送通路1を間にして互いに平行な内側の直線駆動経路部3a,3aを移動するクランプ群4・・・の横幅間隔(W)を調節可能な構成としてある。この場合、前記液噴流供給ボックス13,15の横幅は、最小の横幅間隔(W)に合せて設定してある。
2 and 3, the conveyance device 2 b on the right side of the drawing is movable in the horizontal width direction with respect to the
図2,4に示したように、上下の液噴流供給ボックス13,15にプラスチック製の被処理物水平通過ガイド17a,17bを取付け、この被処理物水平通過ガイドによって上下の液噴流供給ボックス13,15の間を水平に通過する薄板状被処理物Pを液中においてスムーズに水平通過できるようにガイドしている。
As shown in FIGS. 2 and 4, plastic workpiece horizontal passage guides 17 a and 17 b are attached to the upper and lower liquid
前記クランプ通過切欠部20の対応位置にクランプ4が通過移動する上方位置とこのクランプ4でクランプされた前記薄板状被処理物Pの側端部が通過搬送される下部内側位置を開放(開放通路22a)したプラスチック製のクランプ通過枠体22をそれぞれ配設し、このクランプ通過枠体22に該クランプ通過枠体のクランプ移動通過部を開閉可能に閉塞する多数の可撓性を有するゴム製のシール舌片26を取付け、このシール舌片26は、常態において処理槽5内から液流出を防ぐように閉じられ、クランプ4の通過時には該クランプ4の移動押圧力で開けられる構成としてある。図3に示したように、このシール舌片26によるシール構造は、前記クランプ通過枠体22の左右の対向枠部に上下方向に間隔をおいてスリット切れ目を入れられた多数のシール舌片を取付けて構成されている。
An upper position where the
前記クランプ通過枠体22は、図3に示したように、搬送通路側に「l」字形状の内側枠部材23を配し、その外側に「L」字形状の外側枠部材24を配し、両枠部材23,24で上方が開放された上下に長い「コ」字形状に組み合わせ、且つ「l」字形状の内側枠部材23の下端部と「L」字形状の外側枠部材24の対応端部との間を離間し、この離間部をクランプ4でクランプされる前記薄板状被処理物Pの側端部が通過搬送される開放通路22aとしてある。両枠部材23,24をこの組み合わせ状態で固定するべく、両枠部材23,24の上端部を連結部材25で固定状態に連結し、この連結部材25の上方部を対応する各搬送装置(2a,2b)の固定部にそれぞれ吊下げ状態に固定してある。
As shown in FIG. 3, the
図2に示したように、このシール舌片26によるシール構造は、前記シール舌片26を前記クランプ4の移動通過方向に多段状(図2では三段)に配設し、液流出を防ぐシール効果を高めている。前記クランプ通過枠体22をクランプ移動通過方向に多段状に積層し、多段状に積層したクランプ通過枠体22の間にシール舌片26を取り付けてある。
As shown in FIG. 2, this sealing
図2,3に示したように、横幅方向に移動可能な構成とした前記搬送装置(可動側の搬送装置)2bにおける内側の直線駆動経路部3aを移動するクランプ群4に対応する前記クランプ通過切欠部20が該クランプ4の横幅移動を許容する広さの横幅に切欠き形成してある。この幅広のクランプ通過切欠部20に配設される前記クランプ通過枠体22の左右両側に該クランプ通過枠体22ではカバーできない幅広の前記クランプ通過切欠部20の隙間を択一的に塞ぐ樹脂性の仕切りプレート(内側仕切りプレート28、外側仕切りプレート29)をそれぞれ取付け、この仕切りプレート(内側仕切りプレート28、外側仕切りプレート29)は、水平搬送される前記薄板状被処理物Pの対応する側端部の通過を許容する隙間部を開けた状態で前記クランプ通過枠体22に取付けられ、この隙間部の外側端部は前記クランプ通過枠体22の下部内側位置の前記開放通路部22aと連続する構成としてある。
As shown in FIGS. 2 and 3, the clamp passage corresponding to the
具体的には、前記クランプ通過枠体22の「l」字形状の内側枠部材23に矩形の内側仕切りプレート28を取付け、前記クランプ通過枠体22の「L」字形状の外側枠部材24に外側仕切りプレート29を取付けてある。この外側仕切りプレート29は、外側枠部材24の外側に配した矩形部分29Aと前記内側仕切りプレート28の下方向に延びる横長延長部分29Bを持っている。前記内側仕切りプレート28の下端部と前記外側仕切りプレート29の横長延長部分29Bの上端部の間には水平な隙間部が形成され、この隙間部を前記薄板状被処理物Pの対応する側端部が水平に通過できるようにしてある。
Specifically, a rectangular
前記したように、クランプ通過枠体22の両枠部材(内側枠部材23と外側枠部材24)の上端部は連結部材25で固定状態に連結され、この連結部材25の上方部を搬送装置の固定部に吊下げ状態に固定してある。前記クランプ通過枠体22とこのクランプ通過枠体に取り付けた前記仕切りプレート(内側仕切りプレート28と外側仕切りプレート29)は横幅方向に移動可能な搬送装置2bの横幅方向移動と連動して横幅方向に移動するように構成してある。前記外側仕切りプレート29の下部は受けガイド30によって横幅方向移動自在にガイドされている。
As described above, the upper end portions of both frame members (the
図2,3に実線で示したように、内側の直線駆動経路部3a,3aを移動するクランプ群4・・・の横幅間隔(W)を最大とした場合には、内側仕切りプレート28で幅広のクランプ通過切欠部20の隙間を塞ぎ、図2,3に二点鎖線で示したように、内側の直線駆動経路部3a,3aを移動するクランプ群4・・・の横幅間隔(W)を最小とした場合には、外側仕切りプレート29で幅広のクランプ通過切欠部20の隙間を塞げるようにしてある。
As shown by solid lines in FIGS. 2 and 3, when the lateral width interval (W) of the
図5に基づき、本発明の搬送装置に用いるクランプ4の実施形態を説明する。このクランプ4は、前記水平搬送駆動手段3(駆動ベルト7)に連結され且つこの水平搬送駆動手段3(駆動ベルト7)の直線駆動経路部3aの下方位置に水平方向に配置した断面矩形状の固定ガイドレール8に沿って滑り接触しながら移動されるように外嵌されるステンレス鋼などの金属製のクランプ取付け体40と、このクランプ取付け体40に保持されるステンレス鋼などの金属製のクランプ本体42を含んでいる。クランプ4のクランプ取付け体40を前記水平搬送駆動手段3(駆動ベルト7)に連結する手段として、図5の実施例では、取付け取外しが容易な方法を採用している。駆動ベルト7のクランプ取付け対応位置に取付け突起7aをベルトと一体形成し、この取付け突起7aに上下方向の差し込み穴7bを形成してある。クランプ4側は、前記クランプ取付け体40に取付け金具43を連結し、この取付け金具43に上下方向の軸心をもつ係合軸44を取付けてある。この係合軸44を前記差し込み穴7bに差し込むことによってクランプ4を容易に取付け取外しできるように連結している。なお、取付け部材を介したボルト締結手段で固定状態に連結しても良い。
Based on FIG. 5, embodiment of the
前記クランプ本体42は、このクランプ本体42の下方部分が前記処理槽5の処理液中を移動可能な位置に配され、前記クランプ本体42の上方部分が空中で前記クランプ取付け体40に保持される上下方向に長い形状に形成され、このクランプ本体42の下端部には薄板状被処理物の側縁部を上下方向からクランプし得る上クランプ部46bと下クランプ部46aが備えられている。
The
前記クランプ本体42は、前記クランプ取付け体40にその上方部が固定保持される上下方向に長い板状の固定クランプ杆50と、この固定クランプ杆50に上下動自在に保持される上下方向に長いロッド状の可動クランプ杆51を含んでいる。前記固定クランプ杆50は、その板面が前記クランプ取付け体40の外側(搬送通路側)の垂直面40aに固定保持されている。前記可動クランプ杆51は、前記固定クランプ杆50に設けた保持ガイド52の貫通穴の中を上下方向にスライド自在に貫通され、保持されている。前記可動クランプ杆51の下端部に前記上クランプ部(上接点)46bを形成し、前記固定クランプ杆50の下端部に前記上クランプ部46bを受ける前記下クランプ部(下接点)46aを形成してある。
The clamp
固定クランプ杆50に設けた前記保持ガイド52の下部と可動クランプ杆51に設けたバネ係止体54の間に圧縮バネ(圧縮コイルばね)55が可動クランプ杆51のロッド部周りに遊嵌合して介装され、この圧縮バネ55のバネ圧によって可動クランプ杆51は下動され、可動クランプ杆51の上クランプ部(上接点)46bと固定クランプ杆50の下クランプ部(下接点)46aを常態において上下方向に閉じた状態に制御してある。前記クランプ本体42の上部には、可動クランプ杆51を前記圧縮バネ55のバネ圧に抗して上移動させ上下クランプ部(上接点と下接点)46a,46bを上下方向に開くクランプ開閉ガイド係合部材60を付設してある。
A compression spring (compression coil spring) 55 is loosely fitted around the rod portion of the movable clamp rod 51 between the lower portion of the holding
図5(A)に一点鎖線で示したクランプ開閉ガイド61が、図1の搬送装置2a,2bに配設してある。図1の搬送装置2a,2bには、前記クランプ群4・・・の回転駆動経路に沿う、始端部側の旋回駆動経路部から回転駆動方向における搬送通路1の始端部の直前位置に至る位置及び搬送通路1の終端部から回転駆動方向における終端部側の旋回駆動経路部へ至る位置にそれぞれクランプ開閉ガイド61を配設してある。このクランプ開閉ガイド61は、クランプ4の回転駆動方向における、中間部を高位ガイド上面部とし、この高位ガイド上面部の両側を該高位ガイド上面部から徐々に低位となる傾斜ガイド上面部としてある。このクランプ開閉ガイド61の下面を水平ガイド下面部としてある。
A clamp opening /
前記クランプ本体42の上部に付設された前記クランプ開閉ガイド係合部材60は、略L字型の反転レバー62の屈曲部を支点部として固定クランプ杆50側に支点軸63によって反転自在に軸着し、この反転レバー62の下方アーム部62bの先端を可動クランプ杆51の上部にピン軸64を介して回動自在に連結し、反転レバー62の上方アーム部62aの先端に回転ローラ65を取付けて構成し、この回転ローラ65が前記回転駆動経路に沿って設けられる前記クランプ開閉ガイド61の高位ガイド上面部に沿って転動する係合状態において、上方アーム部62aが前記支点軸63を軸心として上方向に反転し、下方アーム部62bに連結された可動クランプ杆51を圧縮バネ55のバネ圧に抗して上動させるようにし、可動クランプ杆51の上クランプ部46bと固定クランプ杆50の下クランプ部46aを上下方向に離間させた開状態に制御されるように構成してある。
The clamp opening / closing
クランプ4が前記クランプ開閉ガイド61の位置を通過する際に、クランプ4のクランプ開閉ガイド係合部材60の回転ローラ65がクランプ開閉ガイド61の上面部(高位ガイド上面部)に係合され、同時にクランプ4の固定側(前記クランプ取付け体40の搬送通路側の板の上端部又は前記固定クランプ杆50の上端部)に形成した水平上面部40aがクランプ開閉ガイド61の水平ガイド下面部に係合されることによって、前記可動クランプ杆51を圧縮バネ55のバネ圧に抗して上動させ、可動クランプ杆51の上クランプ部46bと固定クランプ杆50の下クランプ部46aを上下方向に離間させた開状態に制御するように構成されている。これによって、被処理物Pの搬送通路1の始端部を通過するクランプ4・・・を開状態から被処理物の側縁部をクランプ可能な閉状態に制御し、被処理物Pの搬送通路1の終端部を通過するクランプ4・・・を閉状態から被処理物の側縁部を開放可能な開状態に制御できるようにしている。
When the
前記固定クランプ杆50の下方杆部50A(この下方杆部以下は処理液中を移動する)を対応する前記可動クランプ杆51の下方杆部51A(この下方杆部以下は処理液中を移動する)に対してクランプ移動方向において互いに前後位置(図5の実施例では、クランプ移動方向において、前記可動クランプ杆51の下方杆部51Aを前方に、前記固定クランプ杆50の下方杆部50Aを後方に配設してある。)となる同列方向に配設し、この固定クランプ杆50の同列部分の下端に前記搬送通路1側を開口する略断面コ字状の屈曲部70を形成し、この屈曲部70の折曲げ下端片70a上に前記可動クランプ杆51の前記上クランプ部46bを受ける前記下クランプ部46aを形成してある。すなわち、図5(A)のように、クランプ4の進行方向から見て固定クランプ杆50の同列部分は対応する前記可動クランプ杆51のロッド状の下方杆部51Aに隠れた状態になる。
The
図5のクランプは、前記固定クランプ杆50の下方杆部50Aを対応する前記可動クランプ杆51の下方杆部51Aに対してクランプ移動方向において互いに前後位置となる同列方向に配設してあるため、処理槽5内の処理液中を進行移動するクランプ部分の液抵抗を減少でき、且つ処理槽5の搬入側と搬出側の仕切り部のクランプの通過部(前記クランプ通過切欠部20、前記クランプ通過枠体22)の横幅を狭く形成でき、このクランプ通過部から処理槽内の処理液の流出を防ぎやすくできる。
In the clamp of FIG. 5, the
処理液中に入れられるクランプ本体42の下方部分は、上下クランプ部(上接点と下接点)46a,46bを除いてゾルコーティング処理を施し、絶縁被覆処理を施してある。
The lower part of the clamp
前記可動クランプ杆51の下端部にプラスチック製の上押さえガイド板72b、前記固定クランプ杆50の下端部にプラスチック製の下押さえガイド板72aをそれぞれ取付け、この上下押さえガイド板72a,72bは前記上下クランプ部46a,46bと協働して前記薄板状被処理物物Pの側縁部を上下方向から挟持し得るものとし、この上下押さえガイド板72a,72bはクランプ移動方向に延ばした形状としてある。
A plastic upper
この上下押さえガイド板72a,72bを取り付けたクランプによれば、薄板状被処理物物Pの側縁部をクランプ移動方向に沿って比較的長い範囲においてクランプできる。したがって、薄板状被処理物物Pの側縁部を確実にクランプできると共に、エンドレスに回転駆動される水平搬送駆動手段3(駆動ベルト7)に取付けられるクランプ4の取付け間隔を長くでき、結果としてクランプ4の取付け個数を少なくできる。
According to the clamp to which the upper and lower
P 薄板状被処理物
1 搬送通路
2a,2b 搬送装置
2a 固定側の搬送装置
2b 可動側の搬送装置
3,3 水平搬送駆動手段
3a,3a 内側の直線駆動経路部
4 クランプ
5 処理槽
5a 搬入側の槽仕切り板部
5b 搬出側の槽仕切り板部
F 処理液
W 横幅間隔
7 駆動ベルト(歯付ベルト)
8 固定ガイドレール
10 被処理物通過切欠部
12 液噴出仕切り装置
13 上部液噴流供給ボックス
13a 上部液噴流供給ボックスの液噴出口
15 下部液噴流供給ボックス
15a 下部液噴流供給ボックスの液噴出口
17a,17b 被処理物水平通過ガイド
20 クランプ通過切欠部
22 クランプ通過枠体
22a 開放通路部
23 内側枠部材
24 外側枠部材
25 連結部材
26 シール舌片
28 内側仕切りプレート
29 外側仕切りプレート
29A 外側仕切りプレートの矩形部分
29B 外側仕切りプレートの横長延長部分
40 クランプ取付け体
42 クランプ本体
46a 下クランプ部(下接点)
46b 上クランプ部(上接点)
50 固定クランプ杆
50A 固定クランプ杆の下方杆部
51 可動クランプ杆
51A 可動クランプ杆の下方杆部
55 圧縮バネ
60 クランプ開閉ガイド係合部材
61 クランプ開閉ガイド
70 屈曲部
72a 下押さえガイド板
72b 上押さえガイド板
P thin plate-like workpiece 1
DESCRIPTION OF
46b Upper clamp part (upper contact)
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記処理槽の搬入側と搬出側の槽仕切り板部に前記クランプにクランプされて水平搬送される前記薄板状被処理物の搬送通過を許容する被処理物通過切欠部を形成すると共に、この薄板状被処理物をクランプしている前記クランプの移動通過を許容する上方を開放したクランプ通過切欠部を形成し、前記被処理物通過切欠部に対応する前記処理槽の搬入側と搬出側の処理槽内側に液噴出仕切り装置をそれぞれ配設し、この液噴出仕切り装置は前記被処理物通過切欠部を間にした上下位置に水平搬送される前記薄板状被処理物の通過を許容する間隔を開けて噴出液上部供給管に連通された仕切り部形状の上部液噴流供給ボックスと噴出液下部供給管に連通された仕切り部形状の下部液噴流供給ボックスを設け、上下の液噴流供給ボックスの対向側に水平搬送される前記薄板状被処理物の横幅方向に延びるスリット状開口の液噴出口をそれぞれ形成し、前記噴出液上部供給管から前記上部液噴流供給ボックス内に供給された噴出液を該上部液噴流供給ボックスの前記液噴出口から前記処理槽内の処理液中に向けて斜め下方向に噴出させると共に、前記噴出液下部供給管から前記下部液噴流供給ボックス内に供給された噴出液を該下部液噴流供給ボックスの前記液噴出口から前記処理槽内の処理液中に向けて斜め上方向に噴出させ、上下の液噴流供給ボックスから吐出される噴出液によって前記被処理物通過切欠部から処理槽内処理液の流出を防ぐように構成し、前記クランプ通過切欠部の対応位置にクランプが通過移動する上方位置とこのクランプでクランプされた前記薄板状被処理物の側端部が通過搬送される下部内側位置を開放したクランプ通過枠体をそれぞれ配設し、このクランプ通過枠体に該クランプ通過枠体のクランプ移動通過部を開閉可能に閉塞する多数の可撓性を有するシール舌片を取付け、このシール舌片は、常態において処理槽内から液流出を防ぐように閉じられ、クランプの通過時には該クランプの移動押圧力で開けられる構成とした、表面処理装置における薄板状被処理物の水平搬送装置。 A transport device is provided on each side of the thin plate-shaped workpiece between the transport passages, and each transport device is horizontally driven endlessly with linear drive paths that are parallel to each other with the transport passage in between. A plurality of clamps are attached to the horizontal transport driving means at regular intervals, and each of the clamps moves in parallel with each other through the transport path, and is flexible in a group of clamps. This horizontal conveyance process is performed by clamping both side edges of the thin plate-like workpiece from the vertical direction and continuously carrying the plate surface of the thin plate-like workpiece vertically in one direction at a certain horizontal height level. The thin plate-like workpiece to be horizontally held while being held by the clamp is carried into a treatment tank filled with a treatment liquid, passed through the treatment liquid in the treatment tank, and carried out of the treatment tank. Horizontal A feeding device,
A processing object passage notch that allows the thin plate-like workpiece to be transported and passed horizontally by being clamped by the clamps is formed on the inlet and outlet tank partition plates of the processing tank. Forming a clamp passage notch that opens the upper part allowing movement of the clamp that clamps the workpiece to be processed, and processing on the loading side and unloading side of the processing tank corresponding to the workpiece passage notch A liquid ejection partition device is arranged inside the tank, and the liquid ejection partition device has an interval that allows the thin plate-like workpiece to be horizontally conveyed to a vertical position with the workpiece passage notch in between. A partition-shaped upper liquid jet supply box that opens and communicates with the upper part of the jet liquid supply pipe, and a lower liquid jet supply box that has the partition part shape that communicates with the lower part of the jet liquid supply pipe, and is opposed to the upper and lower liquid jet supply boxes. Forming a liquid jet opening having a slit-like opening extending in the width direction of the thin plate-like object to be horizontally conveyed to the upper liquid jet supply box from the jet liquid upper supply pipe. A jetting liquid which is ejected obliquely downward from the liquid jet outlet of the upper liquid jet supply box into the processing liquid in the processing tank, and is supplied from the lower jetting liquid supply pipe into the lower liquid jet supply box. Is ejected obliquely upward from the liquid jet outlet of the lower liquid jet supply box into the processing liquid in the processing tank, and the workpiece passage notch is cut by the jet liquid discharged from the upper and lower liquid jet supply boxes. The thin plate-like workpiece to be clamped by the upper position where the clamp passes and moves to the corresponding position of the clamp passage notch, and to prevent the treatment liquid from flowing out of the treatment tank from the section A plurality of flexible passages are provided, each of which has a clamp passage frame that opens the lower inner position through which the side end passes and is closed so that the clamp movement passage of the clamp passage frame can be opened and closed. The surface treatment device is configured to be attached with a sealing tongue piece having the property of being closed, so that the sealing tongue piece is normally closed so as to prevent the outflow of liquid from the inside of the treatment tank, and opened by the moving pressing force of the clamp when passing the clamp. Horizontal conveying apparatus for thin plate-like workpieces.
前記処理槽の搬入側と搬出側の槽仕切り板部に前記クランプにクランプされて水平搬送される前記薄板状被処理物の搬送通過を許容する被処理物通過切欠部を形成すると共に、この薄板状被処理物をクランプしている前記クランプの移動通過を許容する上方を開放したクランプ通過切欠部を形成し、前記被処理物通過切欠部に対応する前記処理槽の搬入側と搬出側の処理槽内側に液噴出仕切り装置をそれぞれ配設し、この液噴出仕切り装置は前記被処理物通過切欠部を間にした上下位置に水平搬送される前記薄板状被処理物の通過を許容する間隔を開けて噴出液上部供給管に連通された仕切り部形状の上部液噴流供給ボックスと噴出液下部供給管に連通された仕切り部形状の下部液噴流供給ボックスを設け、上下の液噴流供給ボックスの対向側に水平搬送される前記薄板状被処理物の横幅方向に延びるスリット状開口の液噴出口をそれぞれ形成し、前記噴出液上部供給管から前記上部液噴流供給ボックス内に供給された噴出液を該上部液噴流供給ボックスの前記液噴出口から前記処理槽内の処理液中に向けて斜め下方向に噴出させると共に、前記噴出液下部供給管から前記下部液噴流供給ボックス内に供給された噴出液を該下部液噴流供給ボックスの前記液噴出口から前記処理槽内の処理液中に向けて斜め上方向に噴出させ、上下の液噴流供給ボックスから吐出される噴出液によって前記被処理物通過切欠部から処理槽内処理液の流出を防ぐように構成し、前記クランプ通過切欠部の対応位置にクランプが通過移動する上方位置とこのクランプでクランプされた前記薄板状被処理物の側端部が通過搬送される下部内側位置を開放したクランプ通過枠体をそれぞれ配設し、このクランプ通過枠体に該クランプ通過枠体のクランプ移動通過部を開閉可能に閉塞する多数の可撓性を有するシール舌片を取付け、このシール舌片は、常態において処理槽内から液流出を防ぐように閉じられ、クランプの通過時には該クランプの移動押圧力で開けられる構成とし、
横幅方向に移動可能な構成とした前記搬送装置における内側の直線駆動経路部を移動するクランプ群に対応する前記クランプ通過切欠部が該クランプの横幅移動を許容する広さの横幅に切欠き形成され、この幅広のクランプ通過切欠部に配設される前記クランプ通過枠体の左右両側に該クランプ通過枠体ではカバーできない幅広の前記クランプ通過切欠部の隙間を塞ぐ仕切りプレートをそれぞれ取付け、この仕切りプレートは、水平搬送される前記薄板状被処理物の対応する側端部の通過を許容する隙間部を開けた状態で前記クランプ通過枠体に取付け、この隙間部の外側端部は前記クランプ通過枠体の下部内側位置の前記開放部と連続する構成とし、前記クランプ通過枠体とこのクランプ通過枠体に取り付けた前記仕切りプレートは横幅方向に移動可能な搬送装置の横幅方向移動と連動して横幅方向に移動するように構成した、表面処理装置における薄板状被処理物の水平搬送装置。 A transport device is provided on each side of the thin plate-shaped workpiece between the transport passages, and each transport device is horizontally driven endlessly with linear drive paths that are parallel to each other with the transport passage in between. A plurality of clamps are attached to the horizontal transport driving means at regular intervals, and each of the clamps moves in parallel with each other through the transport path, and is flexible in a group of clamps. This horizontal conveyance process is performed by clamping both side edges of the thin plate-like workpiece from the vertical direction and continuously carrying the plate surface of the thin plate-like workpiece vertically in one direction at a certain horizontal height level. The thin plate-like workpiece to be horizontally held while being held by the clamp is carried into a treatment tank filled with a treatment liquid, passed through the treatment liquid in the treatment tank, and carried out of the treatment tank. Horizontal A transport device, wherein at least one of the transport devices is configured to be movable in a lateral width direction in which a lateral width of the transport passage can be varied with respect to the other transport device with the transport passage therebetween, In the device that enables adjustment of the lateral width of the clamp group that moves between the internal linear drive path portions parallel to each other,
A processing object passage notch that allows the thin plate-like workpiece to be transported and passed horizontally by being clamped by the clamps is formed on the inlet and outlet tank partition plates of the processing tank. Forming a clamp passage notch that opens the upper part allowing movement of the clamp that clamps the workpiece to be processed, and processing on the loading side and unloading side of the processing tank corresponding to the workpiece passage notch A liquid ejection partition device is arranged inside the tank, and the liquid ejection partition device has an interval that allows the thin plate-like workpiece to be horizontally conveyed to a vertical position with the workpiece passage notch in between. A partition-shaped upper liquid jet supply box that opens and communicates with the upper part of the jet liquid supply pipe, and a lower liquid jet supply box that has the partition part shape that communicates with the lower part of the jet liquid supply pipe, and is opposed to the upper and lower liquid jet supply boxes. Forming a liquid jet opening having a slit-like opening extending in the width direction of the thin plate-like object to be horizontally conveyed to the upper liquid jet supply box from the jet liquid upper supply pipe. A jetting liquid which is ejected obliquely downward from the liquid jet outlet of the upper liquid jet supply box into the processing liquid in the processing tank, and is supplied from the lower jetting liquid supply pipe into the lower liquid jet supply box. Is ejected obliquely upward from the liquid jet outlet of the lower liquid jet supply box into the processing liquid in the processing tank, and the workpiece passage notch is cut by the jet liquid discharged from the upper and lower liquid jet supply boxes. The thin plate-like workpiece to be clamped by the upper position where the clamp passes and moves to the corresponding position of the clamp passage notch, and to prevent the treatment liquid from flowing out of the treatment tank from the section A plurality of flexible passages are provided, each of which has a clamp passage frame that opens the lower inner position through which the side end passes and is closed so that the clamp movement passage of the clamp passage frame can be opened and closed. A sealing tongue having a property is attached, and this sealing tongue is normally closed so as to prevent liquid outflow from the treatment tank, and is configured to be opened by the moving pressing force of the clamp when passing the clamp.
The clamp passage notch corresponding to the clamp group that moves in the linear drive path inside the conveying device configured to be movable in the lateral width direction is notched to a width that allows the lateral movement of the clamp. The partition plates that close the gaps of the wide clamp passage notches that cannot be covered by the clamp passage frames are respectively attached to the left and right sides of the clamp passage frames disposed in the wide clamp passage notches. Is attached to the clamp passage frame with a gap allowing passage of the corresponding side end of the thin plate-like workpiece to be horizontally conveyed, and the outer end of the gap is the clamp passage frame. The clamp passage frame body and the partition plate attached to the clamp passage frame body are laterally wide. In conjunction with the width direction movement of the movable conveying device configured to move in the lateral direction, the horizontal conveying device of the sheet-like object to be processed in the surface treatment apparatus.
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