JP5707213B2 - 赤外透過スペクトル測定装置 - Google Patents
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- 238000004433 infrared transmission spectrum Methods 0.000 title claims description 25
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 22
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 17
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 12
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 7
- 238000009615 fourier-transform spectroscopy Methods 0.000 claims description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 18
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 11
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000000333 X-ray scattering Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 238000001028 reflection method Methods 0.000 description 2
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000001464 small-angle X-ray scattering data Methods 0.000 description 1
- 238000004736 wide-angle X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
X線発生器110から試料101に向けて照射されたX線は、右側上方に位置するX線検出器112によって試料101で生ずる蛍光X線として検出されると共に、右側下方に位置するX線検出器111によって試料101を通過した透過X線として検出される。
赤外線発生器120から試料に向けて照射された赤外線は、左側上方に位置する赤外線検出器122によって試料101によって反射される反射赤外線として検出されると共に、左側下方に位置する赤外線検出器121によって試料101を通過した通過赤外線として検出される。
また、第1反射鏡から第2反射鏡へ反射される赤外線の中心線とX線の中心線とをほぼ同軸になるように通すことができるので、赤外線およびX線を通すのに必要な空間を大きく設ける必要がなく、分光器の小型化を図ることができる。
さらに、X線を挟んだ他方の側に第2反射鏡がないので、この他方の側に広角散乱検出器を配置することができ、分光器をより小型化することができる。
また、第1反射鏡から第2反射鏡へ反射される赤外線の中心線とX線の中心線とをほぼ同軸になるように通すことができるので、赤外線およびX線をほぼ同軸上に通すのに必要な空間を大きく設ける必要がなく、分光器の小型化を図ることができる。
また、第1平面鏡から第2平面鏡へ反射される赤外線の中心線とX線の中心線とをほぼ同軸になるように通すことができるので、赤外線およびX線を通すのに必要な空間を大きく設ける必要がなく、分光器の小型化を図ることができる。
さらに、X線を挟んだ他方の側に第2平面鏡がないので、この他方の側に広角散乱検出器を配置することができ、分光器をより小型化することができる。
なお、以下の説明で使用する方向は、図1の分光器1の手前側を正面とし、前後、左右および上下の方向は、この正面から見た方向をいうものとする。
また、新規光学系5には赤外線14を反射させる第1反射鏡11および第2反射鏡12とが設けられている。
また、新規光学系5には、図2および図3に示すように、X線を照射するためのX線発生器20と、このX線のうち小角散乱したX線を検出する小角散乱検出器21と、広角散乱したX線を検出する広角散乱検出器22とが設けられるようになっている。
さらに、新規光学系5において、赤外線14aの光路には赤外偏光子25を挿入できるようになっており、分析対象試料30について、赤外偏光スペクトル測定による分子配向解析も可能となる。
第1反射鏡11は、図2に示すように、前方に向けて照射された赤外線14aを、分光器1の左側に向けて略90度反射させる(詳細には、分析対象試料30にほぼ垂直に照射される)ように向けられている。
赤外線検出器13は、本体部2の左奥側に配置されており、前方に位置する第2反射鏡12で反射された赤外線14cを受光する。
また、第1反射鏡11は、第2反射鏡12と同じ構造(詳細には、第1反射鏡11は第2反射鏡12を180度回転させたもの)であるため、第2反射鏡12について説明することで第1反射鏡11の詳細な説明は省略する。
また、第1反射鏡11から第2反射鏡12へ反射される赤外線の中心線50とX線の中心線40とをほぼ同軸になるように通すことができるので、赤外線およびX線を通すのに必要な空間を大きく設ける必要がなく、装置の小型化を図ることができる。
さらに、X線を挟んだ他方の側に第2反射鏡12がないので、この他方の側に広角散乱検出器22を配置することができ、装置をより小型化することができる。
なお、設置するスぺースがあれば、平面鏡61、62を半割に加工しないで、第1平面鏡61をX線の中心線40よりも上側に配置し、第2平面鏡62をX線の中心線40よりも下側に配置するだけでもよい。
2 フーリエ変換赤外分光器本体部
3 フーリエ変換赤外分光器標準透過試料室部
4 ロック部
5 赤外透過スペクトル測定光学系(赤外線透過スペクトル測定装置)
10 赤外線発生器
11 第1反射鏡
12 第2反射鏡
12a 取付部
12b 反射鏡
12c 取付穴
13 赤外線検出器
14(14a、14b、14c) 赤外線
20 X線発生器
21 小角散乱検出器
22 広角散乱検出器
25 赤外偏光子
26 光弾性変調器
30 分析対象試料
40 X線の中心線
50 赤外線の中心線
60 分光器
61 第1平面鏡
62 第2平面鏡
64a、64b、64c、64d、64e 赤外線
71 第1放物面鏡
72 第2放物面鏡
100 物質同定装置
101 試料
102 ステージ
110 X線発生器
111、112 X線検出器
120 赤外線発生器
121、122 赤外線検出器
L 距離
α ずれ角
Claims (5)
- 赤外線を照射するための赤外線発生器と、前記赤外線発生器からの赤外線を分析対象試料に向けて反射させる第1反射鏡と、前記分析対象試料を透過した赤外線を赤外線検出器に向けて反射させる第2反射鏡とを備え、受光した赤外線をフーリエ変換分光法によって分光して前記分析対象試料を測定する赤外透過スペクトル測定装置であって、
前記分析対象試料に照射するためのX線発生器と、
前記分析対象試料を透過したX線を受光する小角散乱検出器または広角散乱検出器のいずれか一方または両方とを備え、
前記X線の中心線を挟む両側のうち一方の側に前記第1反射鏡を配置し、前記X線の中心線を挟む両側のうち他方の側に前記第2反射鏡を配置し、
前記第1反射鏡および前記第2反射鏡は、前記赤外線の中心線と前記X線の中心線とのずれ角が5度以下になるように配置されていることを特徴とする赤外透過スペクトル測定装置。 - 前記第1反射鏡および前記第2反射鏡は、放物面鏡の一部を切り取って形成したものであることを特徴とする請求項1に記載の赤外透過スペクトル測定装置。
- 赤外線を照射するための赤外線発生器と、前記赤外線発生器からの赤外線を分析対象試料に向けて反射させる第1反射鏡と、前記分析対象試料を透過した赤外線を赤外線検出器に向けて反射させる第2反射鏡とを備え、受光した赤外線をフーリエ変換分光法によって分光して前記分析対象試料を測定する赤外透過スペクトル測定装置において、
前記分析対象試料に照射するためのX線発生器と、
前記分析対象試料を透過したX線を受光する小角散乱検出器とを備え、
前記第1反射鏡および第2反射鏡の中心にX線を通す通過孔を設けたことを特徴とする赤外透過スペクトル測定装置。 - 赤外線を照射するための赤外線発生器と、この赤外線を集光するための第1放物面鏡と、集光した赤外線を分析対象試料へ向けて反射させる第1平面鏡と、前記分析対象試料を透過した赤外線を赤外線検出器に向けて反射させる第2平面鏡および第2放物面鏡とを備え、受光した赤外線をフーリエ変換分光法によって分光して前記分析対象試料を測定する赤外透過スペクトル測定装置であって、
前記分析対象試料に照射するためのX線発生器と、
前記分析対象試料を透過したX線を受光する小角散乱検出器または広角散乱検出器のいずれか一方または両方とを備え、
前記X線の中心線を挟む両側のうち一方の側に前記第1平面鏡を配置し、前記X線の中心線を挟む両側のうち他方の側に前記第2平面鏡を配置し、
前記第1平面鏡および前記第2平面鏡は、前記赤外線の中心線と前記X線の中心線とのずれ角が5度以下になるように配置されていることを特徴とする赤外透過スペクトル測定装置。 - 前記第1平面鏡および前記第2平面鏡は、平面鏡の一部を切り取って形成したものであることを特徴とする請求項4に記載の赤外透過スペクトル測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011094231A JP5707213B2 (ja) | 2011-04-20 | 2011-04-20 | 赤外透過スペクトル測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011094231A JP5707213B2 (ja) | 2011-04-20 | 2011-04-20 | 赤外透過スペクトル測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012225802A JP2012225802A (ja) | 2012-11-15 |
JP5707213B2 true JP5707213B2 (ja) | 2015-04-22 |
Family
ID=47276129
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011094231A Expired - Fee Related JP5707213B2 (ja) | 2011-04-20 | 2011-04-20 | 赤外透過スペクトル測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5707213B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109781647A (zh) * | 2018-12-13 | 2019-05-21 | 康美药业股份有限公司 | 一种海风藤和山蒟的区分方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014162536A1 (ja) * | 2013-04-03 | 2014-10-09 | 富士電機株式会社 | 多成分用レーザ式ガス分析計 |
US10202759B2 (en) | 2017-05-19 | 2019-02-12 | Hilti Aktiengesellschaft | Dynamic, fire-resistance-rated thermally insulating and sealing system having a F-rating of 120 min for use with curtain wall structures |
US11713572B2 (en) | 2017-05-19 | 2023-08-01 | Hilti Aktiengesellschaft | Process for assembling a unitized panel for use within an exterior dynamic curtain wall assembly |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4092037B2 (ja) * | 1999-03-05 | 2008-05-28 | 株式会社堀場製作所 | 物質同定装置 |
JP2001183294A (ja) * | 1999-12-27 | 2001-07-06 | Jeol Ltd | 赤外分光装置 |
JP2008275632A (ja) * | 2003-05-20 | 2008-11-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 分光エリプソメータ |
JP2006184066A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Jeol Ltd | 分光分析装置 |
JP4101812B2 (ja) * | 2005-02-09 | 2008-06-18 | 株式会社リガク | 分子構造複合同定装置 |
JP2011203016A (ja) * | 2010-03-24 | 2011-10-13 | Olympus Corp | 観察装置 |
-
2011
- 2011-04-20 JP JP2011094231A patent/JP5707213B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109781647A (zh) * | 2018-12-13 | 2019-05-21 | 康美药业股份有限公司 | 一种海风藤和山蒟的区分方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012225802A (ja) | 2012-11-15 |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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