JP5701196B2 - 樹脂薄膜形成装置 - Google Patents
樹脂薄膜形成装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5701196B2 JP5701196B2 JP2011240122A JP2011240122A JP5701196B2 JP 5701196 B2 JP5701196 B2 JP 5701196B2 JP 2011240122 A JP2011240122 A JP 2011240122A JP 2011240122 A JP2011240122 A JP 2011240122A JP 5701196 B2 JP5701196 B2 JP 5701196B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- light source
- nozzle unit
- laser beam
- laser light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
Description
樹脂組成物を塗布する対象の基板を保持するテーブルと、
前記テーブルに保持された基板に対向し、樹脂組成物の液滴を前記基板に向かって吐出する複数のノズルが設けられたノズルユニットと、
前記テーブルを、前記基板の面内方向に移動させる移動機構と、
前記ノズルユニットの複数のノズルから選択された1つのノズル及びその近傍を局所的に加熱する局所加熱装置と
を有し、
前記局所加熱装置は、前記ノズルにレーザビームを照射するレーザ光源を含み、
前記レーザ光源は、前記ノズルユニットに対して相対位置が固定されており、
前記局所加熱装置は、さらに、
前記テーブルに固定され、前記レーザ光源から出射されたレーザビームを反射する第1のミラーと、
前記第1のミラーで反射された前記レーザビームを、入射させるべきノズルに位置決めして入射させるガルバノミラーと
を含む樹脂薄膜形成装置が提供される。
樹脂組成物を塗布する対象の基板を保持するテーブルと、
前記テーブルに保持された基板に対向し、樹脂組成物の液滴を前記基板に向かって吐出する複数のノズルが設けられたノズルユニットと、
前記テーブルを、前記基板の面内方向に移動させる移動機構と、
前記ノズルユニットの複数のノズルから選択された1つのノズル及びその近傍を局所的に加熱する局所加熱装置と
を有し、
前記局所加熱装置は、前記ノズルにレーザビームを照射するレーザ光源を含み、
前記レーザ光源は、前記ノズルユニットに対して相対位置が固定されており、
前記局所加熱装置は、さらに、
前記レーザ光源から出射されたレーザビームの進行方向を前記テーブルに向けるとともに、前記レーザビームを走査するガルバノミラーと、
前記テーブルを介して前記ノズルユニットに対向し、前記テーブルが、前記ノズルユニットに対向する位置から退避されたとき、前記ガルバノミラーで走査されたレーザビームを、前記ノズルユニットに向けて反射する固定ミラーと
を含む樹脂薄膜形成装置が提供される。
図1に、実施例1による樹脂薄膜形成装置の概略図を示す。定盤20の上に、移動機構21によりテーブル25が保持されている。移動機構21は、Xステージ22、Yステージ23、及びθステージ24を含む。水平面をXY面とし、鉛直方向をZ軸とするXYZ直交座標系を定義する。Xステージ22は、Yステージ23をX軸方向に移動させる。Yステージ23は、θステージ24をY方向に移動させる。θステージ24は、Z軸に平行な軸を回転中心として、テーブル25の回転方向の姿勢を変化させる。テーブル25は、樹脂薄膜を形成すべき基板(例えば、プリント配線板)50を保持する。テーブル25には、例えば真空チャックテーブルが用いられる。
図6に、実施例2による樹脂薄膜形成装置に用いられる局所加熱装置47(図1)の側面図を示す。局所加熱装置47以外の構成は、実施例1による樹脂薄膜形成装置の構成と同一である。局所加熱装置47は、レーザ光源60及び二次元ガルバノミラー65を含む。レーザ光源60及び二次元ガルバノミラー65は、テーブル25を挟んでノズルユニット40に対向する位置に配置され、定盤20に支持されている。すなわち、レーザ光源60及び二次元ガルバノミラー65は、ノズルユニット40に対して相対位置が固定されている。
図7A及び図7Bに、それぞれ実施例3による樹脂薄膜形成装置に用いられる局所加熱装置47(図1)の平面図及び側面図を示す。局所加熱装置47以外の構成は、実施例1による樹脂薄膜形成装置の構成と同一である。局所加熱装置47は、レーザ光源60、固定ミラー66、及び一次元ガルバノミラー67を含む。レーザ光源60は、定盤20(図1)に支持されており、固定ミラー66及び一次元ガルバノミラー67は、テーブル25に支持されている。
図8に、実施例4による樹脂薄膜形成装置に用いられる局所加熱装置47(図1)の概略図を示す。局所加熱装置47以外の構成は、実施例1による樹脂薄膜形成装置の構成と同一である。局所加熱装置47は、レーザ光源60、二次元ガルバノミラー68、及び固定ミラー69を含む。レーザ光源60及び二次元ガルバノミラー68は、梁31に支持されており、固定ミラー69は定盤20(図1)に支持されている。すなわち、レーザ光源60、二次元ガルバノミラー68、及び固定ミラー69は、ノズルユニット40に対して相対位置が固定されている。
21 移動機構
22 Xステージ
23 Yステージ
24 θステージ
25 テーブル
30 支柱
31 梁
32 撮像装置
33 制御装置
34 記憶装置
35 入力装置
36 出力装置
40 ノズルユニット
41 支持部材
42A〜42D ノズルヘッド
43 光源
45 ノズル
46a、46b ノズル列
47 局所加熱装置
50 基板
60 レーザ光源
61 ミラー
62 ビームスポット
65 二次元ガルバノミラー
66 固定ミラー
67 一次元ガルバノミラー
68 二次元ガルバノミラー
69 固定ミラー
Claims (3)
- 樹脂組成物を塗布する対象の基板を保持するテーブルと、
前記テーブルに保持された基板に対向し、樹脂組成物の液滴を前記基板に向かって吐出する複数のノズルが設けられたノズルユニットと、
前記テーブルを、前記基板の面内方向に移動させる移動機構と、
前記ノズルユニットの複数のノズルから選択された1つのノズル及びその近傍を局所的に加熱する局所加熱装置と
を有し、
前記局所加熱装置は、前記ノズルにレーザビームを照射するレーザ光源を含み、
前記レーザ光源は、前記ノズルユニットに対して相対位置が固定されており、
前記局所加熱装置は、さらに、
前記テーブルに固定され、前記レーザ光源から出射されたレーザビームを反射する第1のミラーと、
前記第1のミラーで反射された前記レーザビームを、入射させるべきノズルに位置決めして入射させるガルバノミラーと
を含む樹脂薄膜形成装置。 - 樹脂組成物を塗布する対象の基板を保持するテーブルと、
前記テーブルに保持された基板に対向し、樹脂組成物の液滴を前記基板に向かって吐出する複数のノズルが設けられたノズルユニットと、
前記テーブルを、前記基板の面内方向に移動させる移動機構と、
前記ノズルユニットの複数のノズルから選択された1つのノズル及びその近傍を局所的に加熱する局所加熱装置と
を有し、
前記局所加熱装置は、前記ノズルにレーザビームを照射するレーザ光源を含み、
前記レーザ光源は、前記ノズルユニットに対して相対位置が固定されており、
前記局所加熱装置は、さらに、
前記レーザ光源から出射されたレーザビームの進行方向を前記テーブルに向けるとともに、前記レーザビームを走査するガルバノミラーと、
前記テーブルを介して前記ノズルユニットに対向し、前記テーブルが、前記ノズルユニットに対向する位置から退避されたとき、前記ガルバノミラーで走査されたレーザビームを、前記ノズルユニットに向けて反射する固定ミラーと
を含む樹脂薄膜形成装置。 - さらに、前記レーザ光源及び前記ノズルユニットを制御する制御装置を有し、
前記制御装置は、前記レーザ光源から出射されたレーザビームを1つのノズルに入射させている期間、当該ノズルから樹脂組成物の液滴が吐出するように前記ノズルユニットを制御する請求項1または2に記載の樹脂薄膜形成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011240122A JP5701196B2 (ja) | 2011-11-01 | 2011-11-01 | 樹脂薄膜形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011240122A JP5701196B2 (ja) | 2011-11-01 | 2011-11-01 | 樹脂薄膜形成装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013098372A JP2013098372A (ja) | 2013-05-20 |
JP5701196B2 true JP5701196B2 (ja) | 2015-04-15 |
Family
ID=48620020
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011240122A Expired - Fee Related JP5701196B2 (ja) | 2011-11-01 | 2011-11-01 | 樹脂薄膜形成装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5701196B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005186352A (ja) * | 2003-12-25 | 2005-07-14 | Seiko Epson Corp | キャッピング装置及びその制御方法、液滴吐出装置、並びにデバイス製造方法 |
JP2008233624A (ja) * | 2007-03-22 | 2008-10-02 | Toppan Printing Co Ltd | インクジェットヘッドのリペア方法及びリペア装置 |
JP2010276988A (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-09 | Ulvac Japan Ltd | インクジェットヘッド再生方法及びインクジェットヘッド再生装置 |
JP5861166B2 (ja) * | 2011-06-09 | 2016-02-16 | 株式会社ブイ・テクノロジー | ディスペンサ装置、パターン欠陥修正装置、ディスペンサの詰まり解消方法 |
-
2011
- 2011-11-01 JP JP2011240122A patent/JP5701196B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013098372A (ja) | 2013-05-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5748291B2 (ja) | 液体吐出装置、ナノインプリントシステム及び液体吐出方法 | |
KR100870451B1 (ko) | 액적 토출 장치 및 식별 코드 | |
TW201221265A (en) | Laser irradiation apparatus, laser irradiation method, and insulation film forming apparatus | |
JP2009537324A (ja) | 移動する基板上の薄膜をパターニングするための方法およびツール | |
KR101446950B1 (ko) | 잉크젯 헤드 어셈블리 및 이를 이용한 인쇄 방법 | |
JP2007125876A (ja) | パターン形成方法及び液滴吐出装置 | |
CN1659937A (zh) | 描绘装置和描绘方法 | |
JP2007098282A (ja) | パターン形成方法及び液滴吐出装置 | |
JP5701196B2 (ja) | 樹脂薄膜形成装置 | |
JP2007050662A (ja) | 構造体の製造方法及び構造体、並びに液滴吐出装置 | |
JP2013110236A (ja) | 薄膜パターン形成装置及び薄膜パターン形成方法 | |
CN110892334B (zh) | 用于光敏聚合物印刷版的直接固化的系统和过程 | |
JP2006272191A (ja) | 液滴吐出装置、パターン形成方法、識別コードの製造方法、識別コード、電気光学装置の製造方法、電気光学装置 | |
US20080206482A1 (en) | Droplet jetting applicator and method of manufacturing coated body | |
JP2013094742A (ja) | 描画方法 | |
JP5672698B2 (ja) | 記録方法 | |
JP2010214262A (ja) | 液滴吐出装置および液滴吐出方法 | |
JP2010276988A (ja) | インクジェットヘッド再生方法及びインクジェットヘッド再生装置 | |
JP7433967B2 (ja) | クリーニング装置 | |
JP2011136273A (ja) | 記録方法 | |
JP2002001563A (ja) | レーザ加工装置およびその方法 | |
JP2011136270A (ja) | 記録方法 | |
JP2017087445A (ja) | 画像形成装置及び画像形成方法 | |
JP2006272293A (ja) | パターン形成方法及び液滴吐出装置 | |
JP2013043110A (ja) | 印刷物の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140115 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140922 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140930 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150217 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150217 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5701196 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |