JP5700201B2 - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、および圧電セラミックス - Google Patents
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Description
ペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電セラミックスであって、
前記複合酸化物は、
鉛を含まず、
Aサイトの元素として、ビスマス、ナトリウム、およびバリウムを含み、
Bサイトの元素として、チタンを含み、
前記Bサイトの元素に対する、前記Aサイトの元素のモル比(Aサイトの元素/Bサイトの元素)は、1.04以上1.08以下である。
前記複合酸化物は、さらに、前記Bサイトの元素として、マンガンを含んでもよい。
前記ビスマス、前記ナトリウム、および前記バリウムの総量に対する、前記バリウムの割合は、6mol%以上14mol%以下であってもよい。
前記Aサイトの元素における前記ナトリウムに対する前記ビスマスのモル比(ビスマス/ナトリウム)は、0.85以上1.17以下であってもよい。
圧電体層と、
前記圧電体層に電圧を印加する電極と、
を含み、
前記圧電体層は、上記の圧電セラミックスからなる。
ノズル孔に連通する圧力発生室と、
上記の圧電素子と、
を含む。
本発明に係る記載の液体噴射ヘッドを有する。
まず、本実施形態に係る圧電セラミックスについて説明する。本実施形態に係る圧電セラミックスは、ペロブスカイト型の結晶構造を有する複合酸化物を含む。本実施形態に係る複合酸化物は、ペロブスカイト型構造のAサイトの元素として、ビスマス、ナトリウム、およびバリウムを含み、Bサイトの元素として、チタンを含む。本実施形態に係る複合酸化物は、チタン酸ビスマスナトリウムとチタン酸バリウムとの固溶体であるといえる。
次に、本実施形態に係る圧電素子について、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態にかかる圧電素子100を模式的に示す断面図である。
次に、本実施形態に係る圧電素子の製造方法について説明する。図2〜図4は、本実施形態に係る圧電素子100の製造工程を模式的に示す断面図である。
以下に実施例、比較例、および参考例を示し、本発明をより具体的に説明する。なお、本発明は、以下の実施例によってなんら限定されるものではない。
4.1.1. 実施例1
まず、シリコン基板の表面に、熱酸化法により酸化シリコン層を形成して、基板を得た。次に、基板上に、スパッタ法によりチタン層を形成し、該チタン層上に、スパッタ法により(111)に配向した白金層(第1電極)を形成した。
(Bi0.465,Na0.465,Ba0.15)TiO3 ・・・ (1)
実施例2〜7では、上記一般式(1)で表される複合酸化物を含み、チタンに対する、ビスマス、ナトリウム、およびバリウムの総量のモル比が表1に示す値となるように圧電体層を形成すること以外は、実施例1と同じ方法で形成した。なお、表1では、チタン(Ti)のモル数を100としたときの、ビスマス(Bi)、ナトリウム(Na)、バリウム(Ba)のモル数、およびこれらの総量(Bi+Na+Ba)のモル数を示している。さらに、表1では、ビスマス、ナトリウム、およびバリウムの総量に対する、バリウムの割合(Ba/(Bi+Na+Ba))(mol%)を示している。さらに、表1では、ナトリウムに対するビスマスのモル比(Bi/Na)を示している。
比較例1〜4および参考例1では、チタンに対する、ビスマス、ナトリウム、およびバリウムのモル比が表1に示す値となるように圧電体層を形成すること以外は、実施例1と同じ方法で形成した。
実施例1〜7、比較例1〜4、および参考例1のX線回折評価を行った。X線回折装置としては、Bruker AXS社製の型番D8 Discoverに導入し、X線源としてCu−Kα線を使用して、室温で測定した。
次に、本実施形態にかかる液体噴射ヘッドについて、図面を参照しながら説明する。図9は、液体噴射ヘッド600の要部を模式的に示す断面図である。図10は、液体噴射ヘッド600の分解斜視図であり、通常使用される状態とは上下を逆に示したものである。
次に、本実施形態にかかる液体噴射装置について、図面を参照しながら説明する。図11は、本実施形態にかかる液体噴射装置700を模式的に示す斜視図である。
22 前駆体層、30 第2電極、100 圧電素子、600 液体噴射ヘッド、
610 ノズル板、612 ノズル孔、620 流路形成基板、622 圧力発生室、
624 リザーバー、626 供給口、628 貫通孔、630 筐体、
700 液体噴射装置、710 駆動部、720 装置本体、721 トレイ、
722 排出口、730 ヘッドユニット、731 インクカートリッジ、
732 キャリッジ、741 キャリッジモーター、742 往復動機構、
743 タイミングベルト、744 キャリッジガイド軸、750 給紙部、
751 給紙モーター、752 給紙ローラー、752a 従動ローラー、
752b 駆動ローラー、760 制御部、770 操作パネル
Claims (7)
- ペロブスカイト型構造の複合酸化物を含む圧電セラミックスであって、
前記複合酸化物は、
鉛を含まず、
Aサイトの元素として、ビスマス、ナトリウム、およびバリウムを含み、
Bサイトの元素として、チタンを含み、
前記Bサイトの元素に対する、前記Aサイトの元素のモル比(Aサイトの元素/Bの元素)は、1.04以上1.08以下である、圧電セラミックス。 - 請求項1において、
前記複合酸化物は、さらに、前記Bサイトの元素として、マンガンを含む、圧電セラミックス。 - 請求項1または2において、
前記ビスマス、前記ナトリウム、および前記バリウムの総量に対する、前記バリウムの割合は、6mol%以上14mol%以下である、圧電セラミックス。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記Aサイトの元素における前記ナトリウムに対する前記ビスマスのモル比(ビスマス/ナトリウム)は、0.85以上1.17以下である、圧電セラミックス。 - 圧電体層と、
前記圧電体層に電圧を印加する電極と、
を含み、
前記圧電体層は、請求項1ないし4のいずれか1項に記載の圧電セラミックスからなる、圧電素子。 - ノズル孔に連通する圧力発生室と、
請求項5に記載の圧電素子と、
を含む、液体噴射ヘッド。 - 請求項6に記載の液体噴射ヘッドを有する、液体噴射装置。
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