JP5690599B2

JP5690599B2 - Processing equipment

Info

Publication number: JP5690599B2
Application number: JP2011010519A
Authority: JP
Inventors: 隆之小野; 芳雄前杢
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2011-01-21
Filing date: 2011-01-21
Publication date: 2015-03-25
Anticipated expiration: 2031-01-21
Also published as: JP2012148386A

Description

本発明は、被加工物を切削する切削ブレードを備え、切削ブレードが被加工物に対して切り込む際の角度を可変とした切削加工装置に関する。 The present invention relates to a cutting apparatus that includes a cutting blade that cuts a workpiece, and that can vary the angle at which the cutting blade cuts into the workpiece.

半導体ウェーハ等の被加工物（ワーク）を切削する切削装置では、保持手段においてワークを保持し、高速回転する切削ブレードと保持手段とを相対移動させながらワークに対して切削ブレードを切り込ませて切断を行っている。ワークの種類によっては、ワークの表面と直角な面に対して傾斜する切断面が形成されるように切削を行うこともあるため、切削ブレードの回転軸を傾斜させる機構を有する切削装置も提案されている（例えば特許文献１参照）。 In a cutting apparatus that cuts a workpiece (workpiece) such as a semiconductor wafer, the work is held by a holding means, and the cutting blade is cut into the work while the cutting blade and the holding means rotating at high speed are relatively moved. Cutting is in progress. Depending on the type of workpiece, cutting may be performed so that a cutting plane inclined with respect to a plane perpendicular to the surface of the workpiece is formed. Therefore, a cutting apparatus having a mechanism for tilting the rotation axis of the cutting blade has also been proposed. (For example, refer to Patent Document 1).

特許文献１に記載された切削装置では、鉛直方向に配設された雄ネジロッドを回転させることにより移動雌ネジブロックを鉛直方向に移動させ、これによって移動雌ねじブロックの係合穴に係合した係合突起を鉛直方向に移動させて係合突起と一体に形成されたスピンドルユニット支持部材を傾斜させ、スピンドルに装着された切削ブレードを傾斜させる構成としている。 In the cutting apparatus described in Patent Document 1, the moving female screw block is moved in the vertical direction by rotating the male screw rod arranged in the vertical direction, and thereby the engagement engaged with the engaging hole of the moving female screw block. The mating protrusion is moved in the vertical direction to tilt the spindle unit support member formed integrally with the engaging protrusion, and the cutting blade mounted on the spindle is tilted.

特開２００３−１２４１５５号公報JP 2003-124155 A

しかし、上記特許文献１に記載された切削装置では、係合穴と係合突起との間のバックラッシュに起因し、スピンドルカバーの傾斜角度を正確に制御することが困難であるという問題がある。 However, the cutting device described in Patent Document 1 has a problem that it is difficult to accurately control the inclination angle of the spindle cover due to backlash between the engagement hole and the engagement protrusion. .

本発明は、このような点にかんがみてなされたものであり、その目的は、切削加工装置において、バックラッシュのないスピンドル傾斜機構を実現し、切削ブレードの傾斜を正確に制御可能とすることにある。 The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to realize a spindle tilt mechanism without backlash in a cutting apparatus, and to accurately control the tilt of a cutting blade. is there.

本発明は、ワークを保持する保持手段と、保持手段に保持されたワークを切削加工する切削ブレードと、切削ブレードが装着され回転可能なスピンドルと、スピンドルを囲むスピンドルカバーと、切削ブレードの回転軸を保持手段に保持されたワークの表面に対して傾斜させる傾斜機構とを含む切削加工手段と、保持手段と切削加工手段とを加工進行方向と加工進行方向に交わる割り出し方向とに相対的に移動させる移動手段とを有する切削加工装置に関し、傾斜機構は、加工進行方向を回転軸としてスピンドルカバーを回転可能に連結する連結部を有するスピンドル支持部と、割り出し方向において連結部が配設された位置と異なった位置に配設されスピンドルカバーを切削ブレードが保持手段側に回転する方向に付勢する付勢部と、割り出し方向において連結部が配設された位置を基準として付勢部が配設された位置側に配設されスピンドルカバーを切削ブレードが保持手段から離れる側に回転する方向に付勢部による付勢よりも大きな力を加える外力付与部とを有し、外力付与部は、スピンドル支持部もしくはスピンドルカバーの一方に配設された接触部材と、スピンドル支持部もしくはスピンドルカバーの一方に配設され接触部材を割り出し方向に沿って移動させる移動部と、スピンドル支持部もしくはスピンドルカバーの他方に配設され接触部材に接触した接触部材の移動方向に対して傾斜した被接触面が形成された被接触部材とを有し、外力付与部によってスピンドルカバーを連結部を回転軸としてスピンドル支持部に対して回転させることによって切削ブレードの回転軸を保持手段に保持されたワークの表面に対して傾斜させる。 The present invention relates to a holding means for holding a work, a cutting blade for cutting the work held by the holding means, a spindle on which the cutting blade is mounted and rotatable, a spindle cover surrounding the spindle, and a rotating shaft of the cutting blade Cutting means including an inclination mechanism for inclining the workpiece with respect to the surface of the workpiece held by the holding means, and the holding means and the cutting means are moved relative to each other in the machining direction and the indexing direction intersecting the machining direction. The tilting mechanism includes a spindle support portion having a connecting portion that rotatably connects the spindle cover with the processing advance direction as a rotation axis, and a position where the connecting portion is disposed in the indexing direction. An urging portion disposed at a position different from the urging portion for urging the spindle cover in a direction in which the cutting blade rotates toward the holding means. The biasing portion is biased in the direction in which the spindle cover is rotated to the side away from the holding means, the spindle cover being disposed on the position side where the biasing portion is disposed with reference to the position where the connecting portion is disposed in the vertical direction. An external force applying portion that applies a greater force than the contact member disposed on one of the spindle support portion or the spindle cover and the contact member disposed on one of the spindle support portion or the spindle cover. And a contacted member formed with a contacted surface inclined with respect to the moving direction of the contact member disposed on the other of the spindle support part or the spindle cover and in contact with the contact member. the a, the cutting blade by rotating relative to the spindle support as a rotation shaft coupling portion of the spindle cover by an external force applying portion times The axis is inclined relative to the surface of the workpiece held by the holding means.

本発明では、切削ブレードが保持手段側に回転する方向に向けてスピンドルカバーを付勢する付勢部を設け、切削ブレードがワークの表面に対していずれの方向に傾く場合でも、常にスピンドルカバーに対して付勢力が働く構成としたため、バックラッシュを回避し、切削ブレードの傾斜角度を正確に制御することが可能となる。 In the present invention, an urging portion for urging the spindle cover in a direction in which the cutting blade rotates toward the holding means is provided, and the spindle cover is always attached to the spindle cover even when the cutting blade is inclined in any direction with respect to the surface of the workpiece. Since the urging force is applied to the configuration, backlash can be avoided and the inclination angle of the cutting blade can be accurately controlled.

また、外力付与部を構成する移動部が接触部材を割り出し方向に沿って移動させ、接触部材がスピンドル支持部もしくはスピンドルカバーの一方に配設され、接触部材の移動方向に対して傾斜した被接触面が形成された被接触部材がスピンドル支持部もしくはスピンドルカバーの他方に配設された構成とすることで、スピンドルの割り出し方向と接触部材の移動方向とが一致するため、外力付与部を無駄なスペースを使用しない構造とすることができ、これにより接触部材の移動距離を長くとることが可能となり、傾斜の分解能を高めることも容易となる。 In addition, the moving part constituting the external force applying part moves the contact member along the indexing direction, and the contact member is disposed on one of the spindle support part or the spindle cover and tilted with respect to the moving direction of the contact member. Since the contacted member on which the surface is formed is arranged on the other side of the spindle support part or the spindle cover, the indexing direction of the spindle and the moving direction of the contact member coincide with each other, so that the external force applying part is wasted. It is possible to use a structure that does not use a space, which makes it possible to increase the moving distance of the contact member, and to easily increase the resolution of the inclination.

切削加工装置の一例を示す正面図である。It is a front view which shows an example of a cutting apparatus. 切削ブレードがワークから遠ざかる方向にスピンドルを傾斜させた状態を示す正面図である。It is a front view which shows the state which inclined the spindle in the direction which a cutting blade leaves | separates from a workpiece | work. 切削ブレードがワークに近づく方向にスピンドルを傾斜させた状態を示す正面図である。It is a front view which shows the state which inclined the spindle in the direction in which the cutting blade approaches a workpiece | work.

図１に示す切削加工装置１は、切削対象の被加工物（ワーク）Ｗを保持する保持する保持手段２と、保持手段２に保持されたワークＷに対して切削加工を施す切削加工手段３とを備えている。保持手段２と切削加工手段３とは、移動手段８によって駆動されて加工進行方向（Ｘ方向）と加工進行方向に交わる割り出し方向（Ｙ方向）とに相対的に移動可能となっている。さらに、保持手段２と切削加工手段３とは、移動手段８によって駆動されて加工進行方向（Ｘ方向）及び割り出し方向（Ｙ方向）に交わるワークの厚み方向（Ｚ方向）にも相対的に移動可能となっている。例えば、保持手段２が加工進行方向に移動し、切削加工手段３が割り出し方向及びワークの切り込み方向に移動する構成となっている。 A cutting apparatus 1 shown in FIG. 1 includes a holding unit 2 that holds a workpiece (workpiece) W to be cut, and a cutting unit 3 that performs cutting on the workpiece W held by the holding unit 2. And. The holding unit 2 and the cutting unit 3 are driven by the moving unit 8 and are relatively movable in a processing direction (X direction) and an indexing direction (Y direction) that intersects the processing direction. Further, the holding means 2 and the cutting means 3 are also moved relative to each other in the thickness direction (Z direction) of the workpiece, which is driven by the moving means 8 and intersects the machining progress direction (X direction) and the indexing direction (Y direction). It is possible. For example, the holding means 2 moves in the machining progress direction, and the cutting means 3 moves in the indexing direction and the workpiece cutting direction.

切削加工手段３は、保持手段２に保持されたワークに作用して切削加工する切削ブレード３０と、切削ブレード３０が装着され回転可能なスピンドル３１と、スピンドル３１を囲んだ状態で回転可能に支持するスピンドルカバー３２と、切削ブレード３０の回転軸３００を保持手段２に保持されたワークＷの表面Ｗ１に対して傾斜させる傾斜機構３３と、スピンドル３１及び切削ブレード３０を回転させるモータ３４を備えている。 The cutting means 3 is supported by a cutting blade 30 that acts on the workpiece held by the holding means 2 to perform cutting, a spindle 31 that is mounted with the cutting blade 30 and is rotatable, and is rotatable while surrounding the spindle 31. A spindle cover 32 that rotates, a tilt mechanism 33 that tilts the rotating shaft 300 of the cutting blade 30 with respect to the surface W1 of the workpiece W held by the holding means 2, and a motor 34 that rotates the spindle 31 and the cutting blade 30. Yes.

切削ブレード３０は、スピンドル３１に装着され、ナット３５をスピンドル３１の先端に形成された雄ねじに締結することにより、スピンドル３１に固定されている。切削ブレード３０は、スピンドル３１の回転軸と同様に割り出し方向の回転軸３００を有している。切削ブレード３０は、フランジ部３０１によって挟持されており、割り出し方向の厚み（例えば数十μｍ程度）を有している。 The cutting blade 30 is mounted on the spindle 31 and is fixed to the spindle 31 by fastening a nut 35 to a male screw formed at the tip of the spindle 31. The cutting blade 30 has a rotation axis 300 in the indexing direction, similar to the rotation axis of the spindle 31. The cutting blade 30 is clamped by the flange portion 301 and has a thickness in the indexing direction (for example, about several tens of μm).

傾斜機構３３は、スピンドル３１、スピンドルカバー３２及び切削ブレード３０を支持するスピンドル支持部４を備えている。スピンドル支持部４は、加工進行方向を回転軸としてスピンドルカバー３２を回転可能に連結する連結部４０を有しており、スピンドルカバー３２は、連結部４０の回転軸４００を回転中心として回転することにより傾斜可能となっている。そして、スピンドルカバー３２が傾斜することにより、スピンドル３１も同様に傾斜し、スピンドル３１に装着された切削ブレード３０もワークＷの表面Ｗ１に対して傾斜する。 The tilt mechanism 33 includes a spindle support portion 4 that supports the spindle 31, the spindle cover 32, and the cutting blade 30. The spindle support portion 4 has a connecting portion 40 that rotatably connects the spindle cover 32 with the processing advance direction as a rotation axis, and the spindle cover 32 rotates around the rotation shaft 400 of the connecting portion 40 as a rotation center. It is possible to incline. When the spindle cover 32 is inclined, the spindle 31 is similarly inclined, and the cutting blade 30 attached to the spindle 31 is also inclined with respect to the surface W1 of the workpiece W.

傾斜機構３３は、スピンドルカバー３２を切削ブレード３０が保持手段２に近づく側に回転する方向に付勢する付勢部５を備えている。図示の例における付勢部５は、例えばテンションスプリングにより構成され、上方に向けて付勢されている。付勢部５は、連結部４０が配設された位置とは割り出し方向において異なった位置に配置されている。付勢部５の上端５０はスピンドル支持部４に回転可能に連結され、下端５１はスピンドルカバー３２に回転可能に連結されている。 The tilt mechanism 33 includes a biasing portion 5 that biases the spindle cover 32 in a direction in which the cutting blade 30 rotates toward the side closer to the holding means 2. The urging portion 5 in the illustrated example is constituted by, for example, a tension spring and is urged upward. The urging portion 5 is disposed at a position different from the position where the connecting portion 40 is disposed in the indexing direction. An upper end 50 of the urging portion 5 is rotatably connected to the spindle support portion 4, and a lower end 51 is rotatably connected to the spindle cover 32.

傾斜機構３３には、スピンドルカバー３２を切削ブレード３０が保持手段２から離れる側に回転する方向に、付勢部５による付勢力よりも大きな力を加える外力付与部６を備えている。外力付与部６は、連結部４０が配設された位置を基準として、割り出し方向において付勢部５が配設された位置側に配設されている。 The tilt mechanism 33 includes an external force applying unit 6 that applies a force larger than the urging force of the urging unit 5 in the direction in which the spindle cover 32 rotates in a direction away from the holding unit 2. The external force imparting portion 6 is disposed on the position side where the urging portion 5 is disposed in the indexing direction with reference to the position where the connecting portion 40 is disposed.

外力付与部６は、連結部４０の回転軸４００を回転中心としてスピンドルカバー３２をスピンドル支持部４に対して回転させることによって、切削ブレード３０の回転軸３００を保持手段２に保持されたワークＷの表面Ｗ１に対して傾斜させる機能を有する。 The external force applying unit 6 rotates the spindle cover 32 with respect to the spindle support unit 4 with the rotation shaft 400 of the coupling unit 40 as the rotation center, whereby the workpiece W with the rotation shaft 300 of the cutting blade 30 held by the holding means 2 is supported. It has the function to incline with respect to the surface W1.

外力付与部６は、割り出し方向の回転軸を有し正逆回転可能なボールネジ６０と、カップリング６１を介してボールネジ６０と接続されたモータ６２と、ボールネジ６０に螺合するナットを内部に備えボールネジ６０の回転により割り出し方向に駆動される接触部材支持部６３とを備えている。例えば、ボールネジ６０を正方向に回転させることにより接触部材支持部６３が図１における左方向に移動し、ボールネジ６０を逆方向に回転することにより接触部材支持部６３が図１における右方向に移動する構成となっている。 The external force applying unit 6 includes a ball screw 60 having a rotation axis in the indexing direction and capable of rotating in the forward and reverse directions, a motor 62 connected to the ball screw 60 via a coupling 61, and a nut screwed into the ball screw 60. And a contact member support portion 63 that is driven in the indexing direction by the rotation of the ball screw 60. For example, when the ball screw 60 is rotated in the forward direction, the contact member support portion 63 is moved in the left direction in FIG. 1, and when the ball screw 60 is rotated in the reverse direction, the contact member support portion 63 is moved in the right direction in FIG. It is the composition to do.

接触部材支持部６３は、円板状に形成された接触部材６３０を回転可能に支持しており、接触部材６３０も接触部材支持部６３と同方向に移動する構成となっている。ボールネジ６０とカップリング６１とモータ６２とで、接触部材６３０を割り出し方向に沿って移動させる移動部６４が構成されている。図示の例における接触部材６３０は、スピンドル支持部４に配設されている。 The contact member support part 63 rotatably supports the contact member 630 formed in a disk shape, and the contact member 630 is configured to move in the same direction as the contact member support part 63. The ball screw 60, the coupling 61, and the motor 62 constitute a moving unit 64 that moves the contact member 630 along the indexing direction. The contact member 630 in the illustrated example is disposed on the spindle support portion 4.

スピンドルカバー３２には、接触部材６３０の割り出し方向への移動を案内する被接触部材７が連結されている。被接触部材７には、接触部材６３０の移動方向である割り出し方向に対してワークＷの厚み方向に傾斜した被接触面７０が形成されている。被接触面７０は、被接触部材７の始点部３２０に近づくほどスピンドルカバー３２に近づく様な傾斜を有している。 A contacted member 7 that guides the movement of the contact member 630 in the indexing direction is connected to the spindle cover 32. The contacted member 7 is formed with a contacted surface 70 that is inclined in the thickness direction of the workpiece W with respect to the indexing direction that is the moving direction of the contact member 630. The contacted surface 70 has an inclination that approaches the spindle cover 32 as it approaches the start point portion 320 of the contacted member 7.

このように構成される切削加工装置１において、保持手段２に保持されたワークＷの切削時は、移動手段８による制御の下で、保持手段２と切削加工手段３とを割り出し方向に相対移動させて切削ブレード３０を割り出し方向の所定箇所に位置付けた後、保持手段２と切削加工手段３とをワークの厚み方向に移動させることにより切削ブレード３０をワークＷに対して相対的に降下させ、保持手段２と切削加工手段３とを加工進行方向に移動させることにより、高速回転する切削ブレード３０をワークＷの表面Ｗ１側から切り込ませて切削を行う。 In the cutting apparatus 1 configured as described above, when the workpiece W held by the holding means 2 is cut, the holding means 2 and the cutting means 3 are relatively moved in the indexing direction under the control of the moving means 8. After the cutting blade 30 is positioned at a predetermined position in the indexing direction, the cutting blade 30 is moved down relative to the workpiece W by moving the holding means 2 and the cutting processing means 3 in the thickness direction of the workpiece, By moving the holding means 2 and the cutting processing means 3 in the processing progress direction, the cutting blade 30 that rotates at a high speed is cut from the surface W1 side of the workpiece W to perform cutting.

図１に示したように、切削ブレード３０の回転軸３００が割り出し方向と一致する状態、すなわち、切削ブレード３０の面方向３０ａがワークの切り込み方向と一致する状態では、接触部材支持部６３がボールネジ６０のほぼ中央に位置し、接触部材６３０も被接触面７０のほぼ中央に位置している。 As shown in FIG. 1, in a state where the rotating shaft 300 of the cutting blade 30 coincides with the indexing direction, that is, in a state where the surface direction 30a of the cutting blade 30 coincides with the cutting direction of the workpiece, the contact member support portion 63 is a ball screw. 60, the contact member 630 is also located approximately in the center of the contacted surface 70.

この状態から、切削ブレード３０の面方向３０ａを傾斜させる場合は、外力付与部６による制御によって連結部４０を中心としてスピンドルカバー３２をいずれかの方向に回転させて傾斜させる。 In this state, when the surface direction 30a of the cutting blade 30 is inclined, the spindle cover 32 is rotated in any direction and tilted about the connecting portion 40 under the control of the external force applying unit 6.

例えば、図２に示すように、切削ブレード３０がワークＷから遠ざかる方向（矢印Ａ方向）にスピンドルカバー３２を回転させる場合は、外力付与部６のボールネジ６０を正回転させることにより接触部材支持部６３を図２における左方向（矢印Ｂ方向）に駆動する。そうすると、接触部材６３０が被接触部７を下方に押圧するため、付勢部５が付勢力に抗して伸張しつつ、支点部３２０を支点としてスピンドルカバー３２の後部側（切削ブレード３０から離れた側：図における左側）が降下する。そして、連結部４０の回転軸４００を回転中心としてスピンドルカバー３２の前部側（切削ブレード３０に近い側：図における右側）が持ち上げられ、切削ブレード３０の面方向３０ａの角度が変化する。 For example, as shown in FIG. 2, when the spindle cover 32 is rotated in the direction in which the cutting blade 30 moves away from the workpiece W (arrow A direction), the contact member support portion is rotated by forwardly rotating the ball screw 60 of the external force applying portion 6. 63 is driven in the left direction (arrow B direction) in FIG. Then, since the contact member 630 presses the contacted portion 7 downward, the urging portion 5 expands against the urging force, and the fulcrum portion 320 serves as a fulcrum and the rear side of the spindle cover 32 (away from the cutting blade 30). The lower side (left side in the figure) descends. Then, the front side of the spindle cover 32 (the side close to the cutting blade 30: the right side in the drawing) is lifted around the rotation shaft 400 of the connecting portion 40, and the angle of the surface direction 30a of the cutting blade 30 changes.

一方、例えば、図３に示すように、切削ブレード３０がワークＷに近づく方向（矢印Ｃ方向）にスピンドルカバー３２を回転させる場合は、外力付与部６のボールネジ６０を逆回転させることにより接触部材支持部６３を図３における右方向（矢印Ｄ方向）に駆動する。そうすると、付勢力によって付勢部５が伸縮し、支点部３２０を支点としてスピンドルカバー３２の後部側が上昇する。そして、連結部４０の回転軸４００を回転中心としてスピンドルカバー３２の前部側が降下し、切削ブレード３０の面方向３０ａの角度が変化する。 On the other hand, for example, as shown in FIG. 3, when the spindle cover 32 is rotated in the direction in which the cutting blade 30 approaches the workpiece W (the direction of arrow C), the contact member is obtained by reversely rotating the ball screw 60 of the external force applying unit 6. The support part 63 is driven in the right direction (arrow D direction) in FIG. Then, the urging portion 5 expands and contracts due to the urging force, and the rear side of the spindle cover 32 rises with the fulcrum portion 320 as a fulcrum. Then, the front side of the spindle cover 32 descends with the rotation shaft 400 of the connecting portion 40 as the rotation center, and the angle of the surface direction 30a of the cutting blade 30 changes.

このようにして切削ブレード３０を傾斜させる際には、付勢部５によってスピンドルカバー３２が切削ブレード３０が保持手段２側に回転する方向に常に付勢されており、切削ブレード３０をワーク２に対していずれの方向に傾斜させる場合でも、常にスピンドルカバー３２に対して付勢力が働く。したがって、バックラッシュを回避し、切削ブレードの傾斜角度を正確に制御することが可能となる。 When the cutting blade 30 is tilted in this manner, the spindle cover 32 is always urged by the urging portion 5 in the direction in which the cutting blade 30 rotates toward the holding means 2, and the cutting blade 30 is moved toward the workpiece 2. Regardless of the direction of inclination, the urging force always acts on the spindle cover 32. Accordingly, backlash can be avoided and the inclination angle of the cutting blade can be accurately controlled.

また、外力付与部６を構成するボールネジ６０を割り出し方向に配設することにより、スピンドル３１の割り出し方向と接触部材６３０の移動方向とが一致するため、外力付与部６を無駄なスペースを使用しない構成とすることができる。そして、ボールネジ６０を割り出し方向に配設することによって、ボールネジ６０を長くすることが容易となるため、切削ブレード３０の傾斜の分解能を高くすることが可能となる。 In addition, since the ball screw 60 constituting the external force applying unit 6 is arranged in the indexing direction, the indexing direction of the spindle 31 and the moving direction of the contact member 630 coincide with each other, so that the external force applying unit 6 does not use a useless space. It can be configured. By disposing the ball screw 60 in the indexing direction, it becomes easy to lengthen the ball screw 60, so that the resolution of the inclination of the cutting blade 30 can be increased.

なお、本実施形態では、接触部材６３０及び接触部材６３０を割り出し方向に沿って移動させる移動部６４をスピンドル支持部４側に配設し、被接触部材７をスピンドルカバー３２側に配設した構成としたが、接触部材６３０及び移動部６４をスピンドルカバー３２側に配設し、被接触部材７をスピンドル支持部４側に配設するようにしてもよい。すなわち、接触部材６３０及び移動部６４がスピンドル支持部４もしくはスピンドルカバー３２の一方に配設され、被接触部材７がスピンドル支持部４もしくはスピンドルカバー３２の他方に配設されていればよい。 In the present embodiment, the contact member 630 and the moving portion 64 that moves the contact member 630 along the indexing direction are disposed on the spindle support portion 4 side, and the contacted member 7 is disposed on the spindle cover 32 side. However, the contact member 630 and the moving part 64 may be arranged on the spindle cover 32 side, and the contacted member 7 may be arranged on the spindle support part 4 side. That is, the contact member 630 and the moving part 64 may be provided on one of the spindle support part 4 and the spindle cover 32, and the contacted member 7 may be provided on the other side of the spindle support part 4 or the spindle cover 32.

１：切削加工装置
２：保持手段
３：切削加工手段
３０：切削ブレード３１：スピンドル
３２：スピンドルカバー３２０：支点部
３３：傾斜機構
３４：モータ３５：ナット
４：スピンドル支持部
４０：連結部４００：回転軸
５：付勢部
６：外力付与部
６０：ボールネジ６１：カップリング６２：モータ
６３：接触部材支持部６３０：接触部材
６４：移動部
７：被接触部材７０：被接触面
８：移動手段
Ｗ：ワークＷ１：表面 1: Cutting device 2: Holding means 3: Cutting means 30: Cutting blade 31: Spindle 32: Spindle cover 320: Support point portion 33: Tilting mechanism 34: Motor 35: Nut 4: Spindle support portion 40: Connecting portion 400: Rotating shaft 5: Energizing portion 6: External force applying portion 60: Ball screw 61: Coupling 62: Motor 63: Contact member support portion 630: Contact member 64: Moving portion 7: Contacted member 70: Contacted surface 8: Moving means W: Work W1: Surface

Claims

Holding means for holding the workpiece;
A cutting blade for cutting the work held by the holding means, a spindle mounted with the cutting blade and rotatable, a spindle cover surrounding the spindle, and a rotating shaft of the cutting blade are held by the holding means. A cutting mechanism including an inclination mechanism for inclining with respect to the surface of the workpiece;
Moving means for relatively moving the holding means and the cutting means in a machining direction and an indexing direction intersecting the machining direction;
A cutting device comprising:
The tilt mechanism is
A spindle support portion having a connecting portion for rotatably connecting the spindle cover with the working direction as a rotation axis;
A biasing portion disposed at a position different from the position where the coupling portion is disposed in the indexing direction, and biasing the spindle cover in a direction in which the cutting blade rotates toward the holding means;
A direction in which the urging portion is disposed with respect to a position where the coupling portion is disposed in the indexing direction, and the spindle cover rotates in a direction away from the holding means. And an external force applying unit that applies a force larger than the urging force by the urging unit;
Have
The external force applying unit is
A contact member disposed on one of the spindle support or the spindle cover;
A moving part disposed on one of the spindle support part or the spindle cover and moving the contact member along the indexing direction;
A contacted member provided on the other of the spindle support or the spindle cover and formed with a contacted surface inclined with respect to the moving direction of the contact member in contact with the contact member;
Have
Cutting that causes the rotation axis of the cutting blade to be inclined with respect to the surface of the workpiece held by the holding means by rotating the spindle cover with respect to the spindle support portion with the connecting portion as a rotation axis by the external force applying portion. Processing equipment.