JP6285375B2 - Double-head surface grinding machine - Google Patents
Double-head surface grinding machine Download PDFInfo
- Publication number
- JP6285375B2 JP6285375B2 JP2015028627A JP2015028627A JP6285375B2 JP 6285375 B2 JP6285375 B2 JP 6285375B2 JP 2015028627 A JP2015028627 A JP 2015028627A JP 2015028627 A JP2015028627 A JP 2015028627A JP 6285375 B2 JP6285375 B2 JP 6285375B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- work
- stopper
- holders
- grinding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 1
- 239000011435 rock Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/07—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
- B24B37/08—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for double side lapping
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/27—Work carriers
- B24B37/28—Work carriers for double side lapping of plane surfaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/34—Accessories
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
本発明は、両頭平面研削装置に関するものである。 The present invention relates to a double-sided surface grinding apparatus.
従来より、半導体ウェーハ等の薄板状ワークの両面を研削する両頭平面研削装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。 2. Description of the Related Art Conventionally, a double-sided surface grinding apparatus for grinding both surfaces of a thin plate workpiece such as a semiconductor wafer is known (see, for example, Patent Document 1).
この両頭平面研削装置は、ワークを挟み込むように配置されて流体の圧力によりワークを非接触支持する一対のワーク保持体と、ワーク保持体を摺動可能に支持する案内ロッドと、案内ロッドに沿ってワーク保持体を摺動させるスライド駆動機構とを備えている。そして、一対のワーク保持体によりワークを支持した状態で、ワークと研削砥石とを回転させることにより、ワーク両面の被研削面を研削している。 This double-head surface grinding apparatus is arranged so as to sandwich a workpiece and supports a workpiece in a non-contact manner by a fluid pressure, a guide rod that slidably supports the workpiece holder, and a guide rod And a slide drive mechanism for sliding the work holder. And in the state which supported the workpiece | work with a pair of workpiece holding body, the to-be-ground surface of a workpiece | work both surfaces is ground by rotating a workpiece | work and a grinding wheel.
ところで、近年、ウェーハ表面に形成するパターンの微細化が進み、露光装置の焦点深度が非常に浅くなってきたことに伴い、ウェーハ表面の平坦度についてもより高いレベルが要求されるようになっている。 By the way, in recent years, as the pattern formed on the wafer surface has been miniaturized and the depth of focus of the exposure apparatus has become very shallow, a higher level of flatness of the wafer surface has been required. Yes.
しかしながら、ワークの被研削面を研削砥石で研削する際には、研削中に生じる振動がワーク保持体に伝わることで、ワーク保持体が研削時位置からずれて動いてしまうおそれがある。そして、ワーク保持体が動いてしまうと、一対のワーク保持体間の距離が大きくなり、ワークの姿勢が不安定となってウェーハ表面の平坦度の要求を満たすことができなくなる。 However, when the surface to be ground of the workpiece is ground with a grinding wheel, vibration generated during grinding is transmitted to the workpiece holder, which may cause the workpiece holder to move away from the grinding position. When the workpiece holder moves, the distance between the pair of workpiece holders increases, the workpiece posture becomes unstable, and the wafer surface flatness requirement cannot be satisfied.
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ワークの研削中に振動が生じた場合でも、ワーク保持体が研削時位置から動きにくくすることにある。 The present invention has been made in view of this point, and an object of the present invention is to make it difficult for the workpiece holder to move from the grinding position even when vibration occurs during grinding of the workpiece.
本発明は、薄板状のワークを挟み込むように配置されて該ワークを保持する第1及び第2ワーク保持体と、該第1及び第2ワーク保持体を摺動可能に支持する複数の案内ロッドと、該案内ロッドに沿って該第1及び第2ワーク保持体を摺動させる第1及び第2シリンダと、該第1及び第2ワーク保持体に保持された該ワークの両面の被研削面を研削する一対の研削砥石とを備えた両頭平面研削装置を対象とし、次のような解決手段を講じた。 The present invention provides a first and second workpiece holders that are arranged so as to sandwich a thin plate-like workpiece and hold the workpiece, and a plurality of guide rods that slidably support the first and second workpiece holders. And first and second cylinders for sliding the first and second workpiece holders along the guide rod, and surfaces to be ground on both sides of the workpiece held by the first and second workpiece holders The following solution was taken for a double-sided surface grinding machine provided with a pair of grinding wheels for grinding.
すなわち、第1の発明は、前記第1及び第2ワーク保持体で前記ワークを保持する研削時位置において、該第1及び第2ワーク保持体のうち少なくとも一方を、前記案内ロッドの軸方向に対して傾いた姿勢で位置決めする複数の位置決め部材を備えたことを特徴とするものである。 That is, according to the first aspect of the present invention, at the grinding position where the workpiece is held by the first and second workpiece holders, at least one of the first and second workpiece holders is placed in the axial direction of the guide rod. A plurality of positioning members for positioning in a tilted posture are provided.
第1の発明では、第1及び第2ワーク保持体は、複数の位置決め部材によって研削時位置に位置決めされる。このとき、第1及び第2ワーク保持体のうち少なくとも一方は、案内ロッドの軸方向に対して傾いた姿勢となっている。 In the first invention, the first and second workpiece holders are positioned at the grinding position by the plurality of positioning members. At this time, at least one of the first and second workpiece holders is inclined with respect to the axial direction of the guide rod.
このような構成とすれば、第1及び第2ワーク保持体が案内ロッドに対して拗れた状態となるので、ワークの研削中に振動が生じても、第1及び第2ワーク保持体が研削時位置から動きにくくなる。これにより、第1及び第2ワーク保持体でワークを安定して保持することができ、ワークの研削精度を高めることができる。 With such a configuration, the first and second workpiece holders are in a state of being twisted with respect to the guide rod. Therefore, even if vibration occurs during grinding of the workpiece, the first and second workpiece holders are It becomes difficult to move from the grinding position. Thereby, a workpiece | work can be stably hold | maintained with a 1st and 2nd workpiece holding body, and the grinding precision of a workpiece | work can be raised.
第2の発明は、第1の発明において、
前記第1及び第2ワーク保持体は、前記研削時位置において、前記案内ロッドの軸方向に対して傾いた姿勢で且つ互いに平行となるように位置決めされていることを特徴とするものである。
According to a second invention, in the first invention,
The first and second workpiece holders are positioned so as to be inclined with respect to the axial direction of the guide rod and parallel to each other at the grinding position.
第2の発明では、第1及び第2ワーク保持体は、研削時位置において、案内ロッドの軸方向に対して傾いた姿勢で且つ互いに平行となっている。これにより、第1及び第2ワーク保持体の間の距離を一定に維持して、ワークの姿勢を安定させることができる。 In the second invention, the first and second work holders are inclined with respect to the axial direction of the guide rod and are parallel to each other at the grinding position. Thereby, the distance between the first and second workpiece holders can be kept constant, and the posture of the workpiece can be stabilized.
第3の発明は、第1又は第2の発明において、
前記第1及び第2ワーク保持体を収容するケースを備え、
前記位置決め部材は、前記第1及び第2ワーク保持体にそれぞれ設けられた複数のストッパボルトと、前記ケースに設けられて該ストッパボルトの先端部が当接する複数のストッパブロックとを有し、
前記複数のストッパボルトのうち少なくとも1つの先端部は、残りの該ストッパボルトの先端部に対して、前記第1及び第2ワーク保持体の摺動方向にシフトして配設されていることを特徴とするものである。
According to a third invention, in the first or second invention,
A case for accommodating the first and second workpiece holders;
The positioning member has a plurality of stopper bolts respectively provided on the first and second work holders, and a plurality of stopper blocks provided on the case and abutting against the tip portions of the stopper bolts.
At least one tip of the plurality of stopper bolts is disposed so as to be shifted in the sliding direction of the first and second workpiece holders with respect to the tip of the remaining stopper bolts. It is a feature.
第3の発明では、複数のストッパボルトが第1及び第2ワーク保持体に設けられ、複数のストッパブロックがケースに設けられる。そして、少なくとも1つのストッパボルトの先端部は、残りのストッパボルトの先端部に対して摺動方向にシフトして配設される。これにより、ストッパボルトがストッパブロックに当接したときに、ストッパボルトの先端部をシフトさせていた分だけ、第1及び第2ワーク保持体を傾けることができる。 In the third invention, a plurality of stopper bolts are provided on the first and second work holders, and a plurality of stopper blocks are provided on the case. And the front-end | tip part of at least 1 stopper bolt is shifted and arrange | positioned with respect to the front-end | tip part of the remaining stopper bolt in the sliding direction. As a result, when the stopper bolt comes into contact with the stopper block, the first and second workpiece holders can be inclined by an amount corresponding to the shift of the tip of the stopper bolt.
第4の発明は、第1又は第2の発明において、
前記第1及び第2ワーク保持体を収容するケースを備え、
前記位置決め部材は、前記第1及び第2ワーク保持体にそれぞれ設けられた複数のストッパボルトと、前記ケースに設けられて該ストッパボルトの先端部が当接する複数のストッパブロックとを有し、
前記複数のストッパブロックのうち少なくとも1つの当接面は、残りの該ストッパブロックの当接面に対して、前記第1及び第2ワーク保持体の摺動方向にシフトして配設されていることを特徴とするものである。
4th invention is 1st or 2nd invention,
A case for accommodating the first and second workpiece holders;
The positioning member has a plurality of stopper bolts respectively provided on the first and second work holders, and a plurality of stopper blocks provided on the case and abutting against the tip portions of the stopper bolts.
At least one abutment surface of the plurality of stopper blocks is arranged to be shifted in the sliding direction of the first and second workpiece holders with respect to the abutment surfaces of the remaining stopper blocks. It is characterized by this.
第4の発明では、複数のストッパボルトが第1及び第2ワーク保持体に設けられ、複数のストッパブロックがケースに設けられる。そして、少なくとも1つのストッパブロックの当接面は、残りのストッパブロックの当接面に対して摺動方向にシフトして配設される。これにより、ストッパボルトがストッパブロックに当接したときに、ストッパブロックの当接面をシフトさせていた分だけ、第1及び第2ワーク保持体を傾けることができる。 In the fourth invention, a plurality of stopper bolts are provided on the first and second work holders, and a plurality of stopper blocks are provided on the case. The abutting surface of at least one stopper block is arranged to be shifted in the sliding direction with respect to the abutting surfaces of the remaining stopper blocks. As a result, when the stopper bolt comes into contact with the stopper block, the first and second work holders can be tilted by the amount that the contact surface of the stopper block is shifted.
第5の発明は、第1乃至第4の発明のうち何れか1つにおいて、
前記第1及び第2シリンダのうち少なくとも一方を揺動可能に支持して、前記第1及び第2ワーク保持体の摺動方向に対してシリンダロッドが傾いた姿勢で進退することを許容する芯ズレ吸収機構を備えたことを特徴とするものである。
According to a fifth invention, in any one of the first to fourth inventions,
A core that supports at least one of the first and second cylinders so as to be swingable and allows the cylinder rod to move forward and backward in a tilted posture with respect to the sliding direction of the first and second work holders. The present invention is characterized in that a deviation absorbing mechanism is provided.
第5の発明では、第1及び第2シリンダのうち少なくとも一方は、芯ズレ吸収機構によって揺動可能に支持される。芯ズレ吸収機構は、例えば、球面軸受によって構成される。これにより、第1及び第2ワーク保持体が研削時位置において傾いた姿勢となった場合でも、その傾きを芯ズレ吸収機構によって吸収することができるので、シリンダロッドをスムーズに進退させることができる。 In the fifth invention, at least one of the first and second cylinders is swingably supported by the misalignment absorbing mechanism. The misalignment absorbing mechanism is constituted by, for example, a spherical bearing. Accordingly, even when the first and second workpiece holders are inclined at the grinding position, the inclination can be absorbed by the misalignment absorbing mechanism, so that the cylinder rod can be smoothly advanced and retracted. .
本発明によれば、第1及び第2ワーク保持体が案内ロッドに対して拗れた状態となるので、ワークの研削中に振動が生じても、第1及び第2ワーク保持体が研削時位置から動きにくくなる。これにより、第1及び第2ワーク保持体でワークを安定して保持することができ、ワークの研削精度を高めることができる。 According to the present invention, since the first and second workpiece holders are in a state of being bent with respect to the guide rod, even if vibration occurs during grinding of the workpiece, the first and second workpiece holders are in grinding. It becomes difficult to move from the position. Thereby, a workpiece | work can be stably hold | maintained with a 1st and 2nd workpiece holding body, and the grinding precision of a workpiece | work can be raised.
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものではない。各図には、上下や前後左右の方向を矢印で示してある。特に言及しない限り、上下等の方向についてはこれら矢印で示す方向に従って説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. It should be noted that the following description of the preferred embodiment is merely illustrative in nature and is not intended to limit the present invention, its application, or its use. In each figure, the up / down and front / rear / left / right directions are indicated by arrows. Unless stated otherwise, the vertical direction will be described according to the directions indicated by these arrows.
《実施形態1》
図1〜図4に示すように、両頭平面研削装置1は、半導体ウェーハ等の薄板円板状のワークWを保持して回転駆動するワークドライブ装置2と、ワークドライブ装置2により保持及び回転されるワークWの両面を研削砥石3により研削する砥石装置4とを備えている。ワークドライブ装置2及び砥石装置4は、水平なベッド5上に着脱自在に固定されている。
As shown in FIGS. 1 to 4, the double-sided
ワークドライブ装置2は、ワークWの両面を研削する際にワークWを保持して回転駆動するもので、ワークWをその周縁部及び両面側から保持するワーク保持機構6と、ワーク保持機構6で保持されたワークWを回転駆動するワーク回転機構7と、ワーク保持機構6を収容してワーク保持機構6を移動可能に支持する内部ケース8と、ワーク保持機構6を内部ケース8に対してスライド移動させるスライド駆動機構9と、内部ケース8を支持するとともにその外側を覆う外部ケース10とを備えている。
The work drive device 2 holds and rotates the workpiece W when grinding both surfaces of the workpiece W. The workpiece drive device 2 includes a
内部ケース8は、上方及び下方が開口した略矩形の箱状に形成されており、外部ケース10内の上部側に配置されている。外部ケース10は、上方が開口した略矩形の箱状に形成され、その底面がベッド5の上面に固定されている。外部ケース10の前側及び後側には、内部ケース8の前側及び後側を支持する前側支持部13及び後側支持部14が設けられている。
The
前側支持部13は、内部ケース8をその前側で揺動可能に支持するもので、外部ケース10の左右の側壁板の前側上部にそれぞれ設けられた一対の支持ロッド16と、内部ケース8の前側左右に設けられて支持ロッド16が摺動可能に挿通された支持ブラケット17とを備えている。これにより、内部ケース8は、その前側の支持ブラケット17を介して支持ロッド16により揺動可能に支持されている。
The
後側支持部14は、内部ケース8をその後側で高さ位置調整可能に支持するためのもので、カム21と、カム軸22を介してカム21を回転駆動するカムモータ23と、内部ケース8の後側に設けられたカムフォロア24とを備えている。
The
ここで、カムモータ23を作動させると、カム軸22を介してカム21が回転し、カム21に摺接しているカムフォロア24の位置が上下する。すなわち、内部ケース8は、その後側のカムフォロア24を介してカム21により高さ位置調整可能に支持されている。
Here, when the
外部ケース10内の下部には、研削砥石3のドレッシングを行うドレッシング装置25が配置されている。ドレッシング装置25は、例えば、ベッド5に着脱自在に固定されている。
A dressing
ワーク保持機構6は、互いに対向するように配置され且つ内部ケース8により左右方向に移動可能に支持される第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40により構成されている。
The
第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40は、それぞれ、前後方向の鉛直面に平行に配置された第1支持プレート31及び第2支持プレート41と、第1支持プレート31及び第2支持プレート41の対向面側にそれぞれ設けられた第1サポートパッド32及び第2サポートパッド42とを備えている。
The first
なお、図4では、第1支持プレート31及び第1サポートパッド32の側面のみを図示しているが、第1支持プレート31及び第2支持プレート41、第1サポートパッド32及び第2サポートパッド42は、基本的に略同じ構成であるため、第2支持プレート41及び第2サポートパッド42の側面については図示を省略する。
In FIG. 4, only the side surfaces of the
第1サポートパッド32及び第2サポートパッド42は、水等の流体の圧力によりワークWを両面側から非接触支持するためのもので、略円板状に形成されている。第1サポートパッド32及び第2サポートパッド42の対向面側には、流体を吐出する流体供給孔65が複数形成されている。
The
第1サポートパッド32及び第2サポートパッド42の下部側には、その外縁側から第1サポートパッド32及び第2サポートパッド42の中心位置を若干越えた位置まで研削砥石3に対応する円弧状の砥石用切り欠き部66が形成されている。
On the lower side of the
第1支持プレート31及び第2支持プレート41は、上下方向寸法が第1サポートパッド32及び第2サポートパッド42と略等しく、前後方向寸法が第1サポートパッド32及び第2サポートパッド42よりも大きい略矩形状に形成されており、その対向面側の略中央位置に、第1サポートパッド32及び第2サポートパッド42が着脱可能に固定されている。第1支持プレート31及び第2支持プレート41には、第1サポートパッド32及び第2サポートパッド42側の砥石用切り欠き部66に対応する切り欠き部67が形成されている。
The
第1ワーク保持体30の第1支持プレート31には、第2ワーク保持体40との対向面側であって第1サポートパッド32の周辺部に、4個の支持ローラ61が、第1サポートパッド32の外周に沿って略等ピッチで配置されており、これら4個の支持ローラ61により、ワークWを保持するワーク保持キャリア60が回転自在に支持されている。
Four
ワーク保持キャリア60は、ワークWを遊嵌可能なリング状に形成されており、内周側の一部に半径方向内側に向けて形成された図示しない突起部とワークW側のノッチとが噛み合っている。これにより、ワーク保持キャリア60が周方向に回転するのに連動して、ワークWが回転するようになっている。
The
ワーク回転機構7は、先端にワーク駆動ギア(図示省略)が取り付けられたワーク回転軸26を回転させるワーク回転モータ27を備えている。ワーク回転モータ27の回転駆動力は、ワーク回転軸26を介してワーク保持キャリア60に伝達され、ワーク保持キャリア60が回転するとともにワークWも回転する。
The
第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40は、内部ケース8側に左右方向に延びる複数本、例えば4本の案内ロッド51により左右方向に摺動自在に支持されている。すなわち、内部ケース8側には、前後上下各1本、計4本の案内ロッド51が架設されている。
The first
第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40には、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40上で且つ第1サポートパッド32及び第2サポートパッド42の左右両側の位置に、案内ロッド51に対応する4個の貫通孔52が設けられている。第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40は、内部ケース8側の案内ロッド51に対して貫通孔52をブッシュ53を介して摺動自在に嵌合されることにより、左右方向に摺動可能に支持されている。
The first
ここで、ブッシュ53は、ワークWの研削時に案内ロッド51が撓まないように、ダブルブッシュを用いるのが好ましい。ただし、全てのブッシュ53をダブルブッシュにすると、装置の全長が大きくなってしまうため、本実施形態では、第1ワーク保持体30側で上側前部及び下側後部の案内ロッド51を支持するブッシュ53と、第2ワーク保持体40側で下側前部及び上側後部の案内ロッド51を支持するブッシュ53とについて、ダブルブッシュを用いることにしている。
Here, the
第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40は、上下の案内ロッド51の間で且つワークWを挟んで第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40の左右両側に配置されたスライド駆動機構9により、案内ロッド51に沿ってスライド駆動されるようになっている。
The first
スライド駆動機構9は、第1ワーク保持体30を摺動させる第1シリンダ35と、第2ワーク保持体40を摺動させる第2シリンダ45とを備えている。第1シリンダ35及び第2シリンダ45は、例えば、空気圧式のシリンダで構成されている。
The
第1シリンダ35は、第1シリンダ本体36と、第1シリンダ本体36から進退する第1シリンダロッド37とを有する。第1シリンダ本体36の右端部は、内部ケース8の左側壁に取り付けられている。第1シリンダ本体36の左端部は、外部ケース10を貫通して外部ケース10の左外方に突出している。
The
第1シリンダロッド37の先端部は、内部ケース8を貫通して、球面軸受55を介して第1ワーク保持体30の第1支持プレート31に揺動可能に取り付けられている。なお、球面軸受55の構成については後述する。
The tip of the
第2シリンダ45は、第2シリンダ本体46と、第2シリンダ本体46から進退する第2シリンダロッド47とを有する。第2シリンダ本体46の左端部は、第2ワーク保持体40の第2支持プレート41に取り付けられている。第2シリンダ本体46の右端部は、内部ケース8及び外部ケース10を貫通して外部ケース10の右外方に突出している。第2シリンダロッド47の先端部は、球面軸受55を介して第1ワーク保持体30の第1支持プレート31に揺動可能に取り付けられている。なお、球面軸受55の構成については後述する。
The
スライド駆動機構9により、ワークWの研削時には、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40が、内部ケース8内の左右方向の略中央位置において第1サポートパッド32及び第2サポートパッド42が互いに近接する「研削時位置」(図1参照)に保持される。
When the workpiece W is ground by the
第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40には、「研削時位置」において、案内ロッド51や第2シリンダロッド47が露出しないように覆う筒状のカバー54が設けられている。具体的に、上側前部及び下側後部の案内ロッド51を覆うためのカバー54は、第2支持プレート41の対向面側に設けられている。第2シリンダロッド47を覆うためのカバー54は、第2支持プレート41の対向面側に設けられている。下側前部及び上側後部の案内ロッド51を覆うためのカバー54は、第1支持プレート31の対向面側に設けられている。
The first
ワークWの着脱時には、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40が「研削時位置」にある状態から、第2シリンダ45側のみが第2シリンダロッド47を突出させる方向に作動され、第2ワーク保持体40が第1ワーク保持体30から所定距離だけ離間した「ワーク着脱時位置」(図2参照)に保持される。
When the workpiece W is attached / detached, the
また、ドレッシング装置25により研削砥石3のドレッシングを行う際には、例えば、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40が「研削時位置」にある状態から、第2シリンダ45側が第2シリンダロッド47を突出させる方向(左方向)に作動され、さらに、第1シリンダ35側が第1シリンダロッド37を引き込む方向(左方向)に作動され、これによって第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40が互いに離間する方向に移動し、「ドレッシング作業時位置」(図3参照)に保持される。
When dressing the
ところで、「研削時位置」において、流体の圧力によってワークWを非接触支持するために、第1サポートパッド32及び第2サポートパッド42の間の距離が非常に重要となる。そこで、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40を「研削時位置」に正確に位置決めするために、複数の位置決め部材70を設けるようにしている。
By the way, in the “grinding position”, the distance between the
図5にも示すように、位置決め部材70は、ストッパボルト62と、ストッパブロック63とを有する。ストッパボルト62は、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40の4つの角部にそれぞれ配設され、ボルト保持部64によって保持されている。ストッパボルト62は、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40の摺動方向に沿って先端部を進退させることで、ボルト保持部64からの突出量を調整可能となっている。
As shown in FIG. 5, the positioning
ストッパブロック63は、内部ケース8側に設けられている。前側のストッパブロック63と後側のストッパブロック63とは、前後方向に一列に並ぶように配置されている。これにより、ストッパブロック63におけるストッパボルト62の先端部との当接面は、前後方向に延びる同一平面上に位置している。
The
ここで、第1ワーク保持体30では、後側のストッパボルト62の先端部が、前側のストッパボルト62の先端部よりも所定のシフト量だけ突出している。一方、第2ワーク保持体40では、前側のストッパボルト62の先端部が、後側のストッパボルト62の先端部よりも所定のシフト量だけ突出している。
Here, in the
なお、図5では、前側及び後側に配設されたストッパボルト62の先端部が互いにシフトして配設されていることを分かりやすく説明するために、ストッパボルト62の突出量を強調して図示している。実際には、前後のストッパボルト62のシフト量をx[mm]、前後のストッパボルト62の中心間距離をD[mm]としたときに、下記の(1)式を満たすように設定されている。
In FIG. 5, the protrusion amount of the
0<x/D<0.001 ・・・(1) 0 <x / D <0.001 (1)
具体的に、ストッパボルト62の中心間距離Dが100mmの場合には、シフト量xは、0〜0.1mm(0〜100μm)となる。より好ましくは、シフト量xを、0.02〜0.07mm(20〜70μm)に設定するのがよい。
Specifically, when the center distance D of the
例えば、ワークWとして300mmウェーハを研削できる研削装置の場合、ストッパボルト62の中心間距離Dは400mm程度である。この場合には、シフト量xを、0.08〜0.28mm(80〜280μm)に設定するのがよい。
For example, in the case of a grinding apparatus capable of grinding a 300 mm wafer as the workpiece W, the distance D between the centers of the
そして、図6に示すように、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40のストッパボルト62が、内部ケース8側のストッパブロック63に当接すると、ストッパボルト62の先端部をシフトさせていた分だけ、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40が案内ロッド51の軸方向に対して傾いた姿勢で「研削時位置」に位置決めされる。
As shown in FIG. 6, when the
このような構成とすれば、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40が案内ロッド51に対して拗れた状態となるので、ワークWの研削中に振動が生じても、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40が研削時位置から動きにくくなる。これにより、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40でワークWを安定して保持することができ、ワークWの研削精度を高めることができる。
With such a configuration, the first
また、「研削時位置」においては、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40が互いに平行となるように傾いているので、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40の間の距離を一定に維持して、ワークWの姿勢を安定させることができる。
Further, in the “grinding position”, the first
また、本実施形態では、第2シリンダ45の第2シリンダロッド47が第1ワーク保持体30に取り付けられ、第2シリンダ本体46が第2ワーク保持体40に取り付けられている。つまり、第2シリンダ45は、内部ケース8には直接取り付けられていない。そのため、「研削時位置」において、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40のストッパボルト62がストッパブロック63に当接したときの衝撃力は、内部ケース8側ではなく、ストッパボルト62を介して第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40の間で伝達されることとなる。
In the present embodiment, the
これにより、内部ケース8側に振動、撓み、歪み、変形等が生じるのを抑えることができる。その結果、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40の間の距離を安定させて、ワークWを高精度に研削することが可能となる。
Thereby, it can suppress that a vibration, bending, distortion, a deformation | transformation, etc. arise in the
ところで、「研削時位置」において、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40が傾いた姿勢となっているため、第1シリンダロッド37及び第2シリンダロッド47をスムーズに進退させることができないおそれがある。
Incidentally, since the first
そこで、本実施形態では、第1シリンダロッド37及び第2シリンダロッド47が傾いた姿勢で進退することを許容するために、芯ズレ吸収機構としての球面軸受55を設けるようにしている。
Therefore, in the present embodiment, in order to allow the
具体的に、図7にも示すように、球面軸受55は、球体の左右両側が平坦となるように加工された形状とされ、左右方向に貫通する孔が形成されている。第1シリンダロッド37の先端部には、締結ボルト58によって球面軸受55が締結固定されている。また、第2シリンダロッド47の先端部にも同様に、締結ボルト58によって球面軸受55が締結固定されている。
Specifically, as shown in FIG. 7, the
第1支持プレート31の左側面及び右側面には、軸受ブロック56がそれぞれ埋め込まれている。軸受ブロック56は、球面軸受55の湾曲凸面に対応した湾曲凹面を有し、球面軸受55を摺動可能に支持している。左側の軸受ブロック56の左方には、挟持板57が配設されている。右側の軸受ブロック56の右方にも同様に、挟持板57が配設されている。左右の挟持板57は、第1支持プレート31を左右方向に貫通する締結ボルト58によって共締めされることで、左右の軸受ブロック56及び第1支持プレート31を挟持している。
Bearing blocks 56 are embedded in the left side surface and the right side surface of the
このように、第1シリンダロッド37及び第2シリンダロッド47の先端部を、球面軸受55を介して第1ワーク保持体30の第1支持プレート31に揺動可能に取り付けることで、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40が「研削時位置」において傾いた姿勢となった場合でも、その傾きを球面軸受55によって吸収することができる。これにより、第1シリンダロッド37及び第2シリンダロッド47をスムーズに進退させることができる。
In this manner, the tip portions of the
砥石装置4は、カップ型の研削砥石3と、研削砥石3を回転駆動する駆動モータ(図示省略)とを備え、ワークドライブ装置2の左右両側にそれぞれ1台ずつ配置されている。砥石装置4の研削砥石3は、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40の切り欠き部67及び第1サポートパッド32及び第2サポートパッド42の砥石用切り欠き部66を介して、ワーク保持キャリア60で保持されたワークWの両面側に対向するように配置されている。
The grindstone device 4 includes a cup-
なお、砥石装置4は、研削砥石3を軸方向(左右方向)に移動可能に構成されており、ワークWの着脱時には、研削砥石3を、「研削位置」から所定の「待機位置」まで移動させるようになっている。
The grindstone device 4 is configured to move the grinding
以上のような構成を有する両頭平面研削装置1において、ワークWの研削を行う際には、研削砥石3を「待機位置」に、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40を「ワーク着脱時位置」にそれぞれ保持した状態で、ワークWが、図示しないローダにより、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40間を経てワーク保持キャリア60に装着される(図2参照)。
In the double-head
ワークWがワーク保持キャリア60に装着されると、第2シリンダ45が第2シリンダロッド47を引き込む方向に作動されて第2ワーク保持体40が第1ワーク保持体30に向かって移動し、第1サポートパッド32及び第2サポートパッド42がワークWの両面側に近接する「ワーク研削時位置」に保持される。そして、第1サポートパッド32及び第2サポートパッド42側の流体供給孔65から空気や水等の流体が吐出され、ワークWは、研削砥石3による研削位置よりも外側の領域において、その両面側からこの流体の圧力を受けることにより非接触状態で保持される。
When the workpiece W is mounted on the
この状態で、ワーク回転モータ27の駆動によりワーク保持キャリア60が回転を開始し、それによってワークWも回転を開始し、また左右の研削砥石3も回転を開始する。ワークWが回転を開始すると、左右の研削砥石3が回転を開始するとともに、「待機位置」から徐々にワークWの被研削面に接近し、やがて左右の研削砥石3によりワークWが研削位置において両側から挟まれた状態となり、ワークWの研削が始まる。
In this state, the
ワークWの研削が終了すると、研削砥石3が「研削位置」から「待機位置」まで移動され、第2ワーク保持体40が「研削時位置」から「ワーク着脱時位置」まで移動され、図示しないローダにより研削後のワークWがワーク保持キャリア60から取り出され、搬出される。
When grinding of the workpiece W is completed, the
《実施形態2》
以下、前記実施形態1と同じ部分については同じ符号を付し、相違点についてのみ説明する。図8に示すように、位置決め部材70は、ストッパボルト62と、ストッパブロック63とを有する。ストッパボルト62は、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40の4つの角部にそれぞれ配設され、ボルト保持部64によって保持されている。ストッパボルト62は、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40の摺動方向に沿って先端部を進退させることで、ボルト保持部64からの突出量を調整可能となっている。
<< Embodiment 2 >>
Hereinafter, the same portions as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and only differences will be described. As shown in FIG. 8, the positioning
そして、第1ワーク保持体30では、前側及び後側のストッパボルト62の先端部が、前後方向に延びる同一平面上に位置するように調整されている。また、第2ワーク保持体40においても同様に、前側及び後側のストッパボルト62の先端部が、前後方向に延びる同一平面上に位置するように調整されている。
And in the 1st
ストッパブロック63は、内部ケース8側に設けられている。ここで、前側のストッパブロック63は、後側のストッパブロック63に対して、所定のシフト量だけ右方向にシフトして配設されている。その結果、前側のストッパブロック63の左右の当接面は、後側のストッパブロック63の左右の当接面に対して、所定のシフト量だけ右方向にシフトして配設されている。
The
なお、ストッパブロック63のシフト量x[mm]と、前後のストッパボルト62の中心間距離D[mm]との関係は、前記実施形態1と同様であるため、説明を省略する。
The relationship between the shift amount x [mm] of the
そして、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40のストッパボルト62が、内部ケース8側のストッパブロック63に当接すると、ストッパブロック63の当接面をシフトさせていた分だけ、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40が案内ロッド51の軸方向に対して傾いた姿勢で「研削時位置」に位置決めされる。
When the
《その他の実施形態》
前記実施形態については、以下のような構成としてもよい。
<< Other Embodiments >>
About the said embodiment, it is good also as following structures.
本実施形態では、研削砥石3を左右方向に対向させて配置した両頭平面研削装置の例を示したが、その他の両頭平面研削装置、例えば研削砥石3を上下方向に対向させるように構成したもの等にも同様に適用可能である。
In the present embodiment, an example of a double-head surface grinding device in which the
また、本実施形態では、各図に前後左右の方向を矢印で示し、これら矢印で示す方向に従って装置構成を説明するようにしたが、工場内に設置される両頭平面研削装置1の実際の前後左右の方向は、各図に矢印で示す方向とは逆向きであってもよい。
Further, in the present embodiment, the front, rear, left and right directions are indicated by arrows in each drawing, and the apparatus configuration is described according to the directions indicated by these arrows, but the actual front and rear of the double-head
また、本実施形態では、第1ワーク保持体30及び第2ワーク保持体40を、「研削時位置」において案内ロッド51の軸方向に対して傾いた姿勢で位置決めするようにしたが、例えば、第2ワーク保持体40のみを傾けるようにしても構わない。
In the present embodiment, the first
また、本実施形態では、ストッパボルト62及びストッパブロック63を4つ設けているが、少なくとも3つ設けておけばよい。
In this embodiment, four
以上説明したように、本発明は、ワークの研削中に振動が生じた場合でも、ワーク保持体が研削時位置から動きにくくすることができるという実用性の高い効果が得られることから、きわめて有用で産業上の利用可能性は高い。 As described above, the present invention is extremely useful because it provides a highly practical effect that the workpiece holder can be made difficult to move from the grinding position even when vibration occurs during grinding of the workpiece. And industrial applicability is high.
1 両頭平面研削装置
3 研削砥石
8 内部ケース
30 第1ワーク保持体
35 第1シリンダ
37 第1シリンダロッド
40 第2ワーク保持体
45 第2シリンダ
47 第2シリンダロッド
51 案内ロッド
55 球面軸受(芯ズレ吸収機構)
62 ストッパボルト
63 ストッパブロック
70 位置決め部材
W ワーク
DESCRIPTION OF
62
Claims (5)
前記第1及び第2ワーク保持体で前記ワークを保持する研削時位置において、該第1及び第2ワーク保持体のうち少なくとも一方を、前記案内ロッドの軸方向に対して傾いた姿勢で位置決めする複数の位置決め部材を備えたことを特徴とする両頭平面研削装置。 First and second workpiece holders that are arranged so as to sandwich a thin plate-like workpiece and hold the workpiece, a plurality of guide rods that slidably support the first and second workpiece holders, and the guide A pair of first and second cylinders for sliding the first and second workpiece holders along the rod and grinding surfaces to be ground on both sides of the workpiece held by the first and second workpiece holders. A double-sided surface grinding apparatus comprising a grinding wheel of
At the grinding position where the workpiece is held by the first and second workpiece holders, at least one of the first and second workpiece holders is positioned in a posture inclined with respect to the axial direction of the guide rod. A double-head surface grinding apparatus comprising a plurality of positioning members.
前記第1及び第2ワーク保持体は、前記研削時位置において、前記案内ロッドの軸方向に対して傾いた姿勢で且つ互いに平行となるように位置決めされていることを特徴とする両頭平面研削装置。 In claim 1,
The double-head surface grinding apparatus, wherein the first and second workpiece holders are positioned so as to be parallel to each other in a posture inclined with respect to the axial direction of the guide rod at the grinding position. .
前記第1及び第2ワーク保持体を収容するケースを備え、
前記位置決め部材は、前記第1及び第2ワーク保持体にそれぞれ設けられた複数のストッパボルトと、前記ケースに設けられて該ストッパボルトの先端部が当接する複数のストッパブロックとを有し、
前記複数のストッパボルトのうち少なくとも1つの先端部は、残りの該ストッパボルトの先端部に対して、前記第1及び第2ワーク保持体の摺動方向にシフトして配設されていることを特徴とする両頭平面研削装置。 In claim 1 or 2,
A case for accommodating the first and second workpiece holders;
The positioning member has a plurality of stopper bolts respectively provided on the first and second work holders, and a plurality of stopper blocks provided on the case and abutting against the tip portions of the stopper bolts.
At least one tip of the plurality of stopper bolts is disposed so as to be shifted in the sliding direction of the first and second workpiece holders with respect to the tip of the remaining stopper bolts. A double-sided surface grinding machine.
前記第1及び第2ワーク保持体を収容するケースを備え、
前記位置決め部材は、前記第1及び第2ワーク保持体にそれぞれ設けられた複数のストッパボルトと、前記ケースに設けられて該ストッパボルトの先端部が当接する複数のストッパブロックとを有し、
前記複数のストッパブロックのうち少なくとも1つの当接面は、残りの該ストッパブロックの当接面に対して、前記第1及び第2ワーク保持体の摺動方向にシフトして配設されていることを特徴とする両頭平面研削装置。 In claim 1 or 2,
A case for accommodating the first and second workpiece holders;
The positioning member has a plurality of stopper bolts respectively provided on the first and second work holders, and a plurality of stopper blocks provided on the case and abutting against the tip portions of the stopper bolts.
At least one abutment surface of the plurality of stopper blocks is arranged to be shifted in the sliding direction of the first and second workpiece holders with respect to the abutment surfaces of the remaining stopper blocks. A double-head surface grinding apparatus characterized by the above.
前記第1及び第2シリンダのうち少なくとも一方を揺動可能に支持して、前記第1及び第2ワーク保持体の摺動方向に対してシリンダロッドが傾いた姿勢で進退することを許容する芯ズレ吸収機構を備えたことを特徴とする両頭平面研削装置。 In any one of claims 1 to 4,
A core that supports at least one of the first and second cylinders so as to be swingable and allows the cylinder rod to move forward and backward in a tilted posture with respect to the sliding direction of the first and second work holders. A double-head surface grinding apparatus comprising a displacement absorbing mechanism.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015028627A JP6285375B2 (en) | 2015-02-17 | 2015-02-17 | Double-head surface grinding machine |
TW104141106A TWI648130B (en) | 2015-02-17 | 2015-12-08 | Double-head plane grinding device |
CN201510919110.2A CN105881195B (en) | 2015-02-17 | 2015-12-10 | Double end flat grinding device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015028627A JP6285375B2 (en) | 2015-02-17 | 2015-02-17 | Double-head surface grinding machine |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016150403A JP2016150403A (en) | 2016-08-22 |
JP6285375B2 true JP6285375B2 (en) | 2018-02-28 |
Family
ID=56695776
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015028627A Active JP6285375B2 (en) | 2015-02-17 | 2015-02-17 | Double-head surface grinding machine |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6285375B2 (en) |
CN (1) | CN105881195B (en) |
TW (1) | TWI648130B (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6660202B2 (en) | 2016-02-19 | 2020-03-11 | 株式会社Screenホールディングス | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
CN109158974A (en) * | 2018-11-14 | 2019-01-08 | 芜湖新宝超声波设备有限公司 | Automobile decoration piece Intelligent welding assembling line device for deburring |
CN111015413B (en) * | 2019-12-12 | 2021-02-02 | 日照海恩锯业有限公司 | Automatic deburring device for circular saw blade |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3959933A (en) * | 1975-04-16 | 1976-06-01 | The Bendix Corporation | Clamping fixture for a double disc grinder |
JP2002036078A (en) * | 2001-06-25 | 2002-02-05 | Koyo Mach Ind Co Ltd | Double face grinding device for thin disk work |
JP2004098198A (en) * | 2002-09-06 | 2004-04-02 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Work retainer and double-disc grinding device |
JP3993856B2 (en) * | 2004-01-22 | 2007-10-17 | 光洋機械工業株式会社 | Double-head surface grinding machine |
JP4818995B2 (en) * | 2007-06-25 | 2011-11-16 | 大昌精機株式会社 | Double-head surface grinding machine |
JP4985451B2 (en) * | 2008-02-14 | 2012-07-25 | 信越半導体株式会社 | Double-head grinding apparatus for workpiece and double-head grinding method for workpiece |
JP4780142B2 (en) * | 2008-05-22 | 2011-09-28 | 信越半導体株式会社 | Wafer manufacturing method |
JP2010179390A (en) * | 2009-02-04 | 2010-08-19 | Honda Motor Co Ltd | Clamp device and clamp method for flat thin plate-like work |
US8712575B2 (en) * | 2010-03-26 | 2014-04-29 | Memc Electronic Materials, Inc. | Hydrostatic pad pressure modulation in a simultaneous double side wafer grinder |
JP5891010B2 (en) * | 2011-03-18 | 2016-03-22 | 光洋機械工業株式会社 | Thin plate workpiece grinding method and double-head surface grinding machine |
US9017141B2 (en) * | 2013-01-04 | 2015-04-28 | White Drive Products, Inc. | Deburring machine and method for deburring |
-
2015
- 2015-02-17 JP JP2015028627A patent/JP6285375B2/en active Active
- 2015-12-08 TW TW104141106A patent/TWI648130B/en active
- 2015-12-10 CN CN201510919110.2A patent/CN105881195B/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105881195B (en) | 2019-03-29 |
CN105881195A (en) | 2016-08-24 |
JP2016150403A (en) | 2016-08-22 |
TW201630686A (en) | 2016-09-01 |
TWI648130B (en) | 2019-01-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6285375B2 (en) | Double-head surface grinding machine | |
JP2012056004A (en) | Working table device | |
JP4825635B2 (en) | Roller hemming device | |
JP6926605B2 (en) | Grinder | |
JP2005205528A (en) | Double ended surface grinding attachment | |
JP5863483B2 (en) | Plate member grinding machine | |
JP3177599U (en) | Circular member end grinding machine | |
JP5148400B2 (en) | Gear grinding machine | |
JP6552924B2 (en) | Processing device | |
JP2017159448A (en) | Workpiece support means and workpiece processing device | |
JP6309466B2 (en) | Double-head surface grinding machine | |
JP2015054373A (en) | Processor | |
JP2009233826A (en) | Taper adjustable tailstock | |
JP2014014878A (en) | Grinding device | |
JP6214086B2 (en) | Tool holder shank grinding device | |
JP5916121B2 (en) | Shaft-shaped workpiece processing equipment | |
JP5290084B2 (en) | Grinding equipment | |
JP2005022053A (en) | Inner surface grinding machine | |
JP2014014877A (en) | Grinding device | |
JP6902207B2 (en) | End face processing method and end face processing equipment for glass plates | |
JP2008302440A (en) | Workpiece mounting tool and machine tool | |
TWI628044B (en) | Work processing equipment | |
JP3192069U (en) | Double-head grinding machine | |
JP2014147984A (en) | Grinding wheel unit | |
JP2012148386A (en) | Machining apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170410 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180123 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180125 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180201 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6285375 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |