JP5664697B2 - 反射屈折型の投影光学系、露光装置、および露光方法 - Google Patents
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Description
前記投影光学系は、少なくとも2枚の反射鏡と、第1面側の面が正の屈折力を有する境界レンズとを含み、
前記投影光学系の光路中の雰囲気の屈折率を1とするとき、前記境界レンズと前記第2面との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する媒質で満たされ、
前記投影光学系を構成するすべての透過部材および屈折力を有するすべての反射部材は単一の光軸に沿って配置され、
前記投影光学系は、前記光軸を含まない所定形状の有効結像領域を有することを特徴とする投影光学系を提供する。なお、前記媒質は流体であることが好ましい。そして、前記媒質が液体であることがさらに好ましい。
少なくとも2枚の反射鏡と透過部材とを備え、且つ前記投影光学系の光軸を含まない円弧形状の有効結像領域を備え、
前記有効結像領域を規定する円弧の曲率半径の大きさをRとし、前記第2面上における最大像高をY0とするとき、
1.05<R/Y0<12
の条件を満足することを特徴とする投影光学系を提供する。
5<F1/Y0<15 (1)
1.05<R/Y0<12 (2)
図1は、本発明の実施形態にかかる露光装置の構成を概略的に示す図である。なお、図1において、投影光学系PLの光軸AXに平行にZ軸を、光軸AXに垂直な面内において図1の紙面に平行にY軸を、図1の紙面に垂直にX軸をそれぞれ設定している。
質Lmとして脱イオン水を用いている。
+C4・y4+C6・y6+C8・y8+C10・y10
+C12・y12+C14・y14 (a)
図5は、本実施形態の第1実施例にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。図5を参照すると、第1実施例にかかる投影光学系PLにおいて、第1結像光学系G1は、光の進行方向に沿ってレチクル側から順に、ウェハ側に非球面形状の凸面を向けた両凸レンズL11と、両凸レンズL12と、レチクル側に非球面形状の凹面を向けた負メニスカスレンズL13と、第1凹面反射鏡CM1とを備えている。また、第1結像光学系G1では、第1凹面反射鏡CM1で反射され且つ負メニスカスレンズL13を介した光を第2結像光学系G2に向かって反射するための第2凹面反射鏡CM2の反射面が、両凸レンズL12と負メニスカスレンズL13との間において光軸AXを含まない領域に配置されている。したがって、両凸レンズL11および両凸レンズL12が、正の屈折力を有する第1レンズ群を構成している。また、第1凹面反射鏡CM1が、第1結像光学系G1の瞳面の近傍に配置された凹面反射鏡を構成している。
(主要諸元)
λ=193.306nm
β=+1/4
NA=1.04
Ro=17.0mm
Ri=11.5mm
H=26.0mm
D=4.0mm
R=20.86mm
Y0=17.0mm
(光学部材諸元)
面番号 r d n 光学部材
(レチクル面) 70.25543
1 444.28100 45.45677 1.5603261 (L11)
2* -192.24078 1.00000
3 471.20391 35.53423 1.5603261 (L12)
4 -254.24538 122.19951
5* -159.65514 13.00000 1.5603261 (L13)
6 -562.86259 9.00564
7 -206.23868 -9.00564 (CM1)
8 -562.86259 -13.00000 1.5603261 (L13)
9* -159.65514 -107.19951
10 3162.83419 144.20515 (CM2)
11 -389.01215 43.15699 1.5603261 (L21)
12 -198.92113 1.00000
13 3915.27567 42.01089 1.5603261 (L22)
14 -432.52137 1.00000
15 203.16777 62.58039 1.5603261 (L23)
16* 515.92133 18.52516
17* 356.67027 20.00000 1.5603261 (L24)
18 269.51733 285.26014
19 665.61079 35.16606 1.5603261 (L25)
20 240.55938 32.43496
21* -307.83344 15.00000 1.5603261 (L26)
22 258.17867 58.24284
23 -1143.34122 51.43638 1.5603261 (L27)
24 -236.25969 6.67292
25* 1067.55487 15.00000 1.5603261 (L28)
26 504.02619 18.88857
27 4056.97655 54.00381 1.5603261 (L29)
28 -283.04360 1.00000
29 772.31002 28.96307 1.5603261 (L210)
30 -8599.87899 1.00000
31 667.92225 52.94747 1.5603261 (L211)
32 36408.68946 2.30202
33 ∞ 42.27703 (AS)
34 -2053.34123 30.00000 1.5603261 (L212)
35 -514.67146 1.00000
36 1530.45141 39.99974 1.5603261 (L213)
37 -540.23726 1.00000
38 370.56341 36.15464 1.5603261 (L214)
39* 12719.40982 1.00000
40 118.92655 41.83608 1.5603261 (L215)
41 190.40194 1.00000
42 151.52892 52.42553 1.5603261 (L216)
43* 108.67474 1.12668
44 91.54078 35.50067 1.5603261 (L217:Lb)
45 ∞ 6.00000 1.47 (Lm)
(ウェハ面)
(非球面データ)
2面
κ=0
C4=−8.63025×10-9 C6=2.90424×10-13
C8=5.43348×10-17 C10=1.65523×10-21
C12=8.78237×10-26 C14=6.53360×10-30
5面および9面(同一面)
κ=0
C4=7.66590×10-9 C6=6.09920×10-13
C8=−6.53660×10-17 C10=2.44925×10-20
C12=−3.14967×10-24 C14=2.21672×10-28
16面
κ=0
C4=−3.79715×10-8 C6=2.19518×10-12
C8=−9.40364×10-17 C10=3.33573×10-21
C12=−7.42012×10-26 C14=1.05652×10-30
17面
κ=0
C4=−6.69596×10-8 C6=1.67561×10-12
C8=−6.18763×10-17 C10=2.65428×10-21
C12=−4.09555×10-26 C14=3.25841×10-31
21面
κ=0
C4=−8.68772×10-8 C6=−1.30306×10-12
C8=−2.65902×10-17 C10=−6.56830×10-21
C12=3.66980×10-25 C14=−5.05595×10-29
25面
κ=0
C4=−1.54049×10-8 C6=7.71505×10-14
C8=1.75760×10-18 C10=1.71383×10-23
C12=5.04584×10-29 C14=2.08622×10-32
39面
κ=0
C4=−3.91974×10-11 C6=5.90682×10-14
C8=2.85949×10-18 C10=−1.01828×10-22
C12=2.26543×10-27 C14=−1.90645×10-32
43面
κ=0
C4=8.33324×10-8 C6=1.42277×10-11
C8=−1.13452×10-15 C10=1.18459×10-18
C12=−2.83937×10-22 C14=5.01735×10-26
(条件式対応値)
F1=164.15mm
Y0=17.0mm
R=20.86mm
(1)F1/Y0=9.66
(2)R/Y0=1.227
図7は、本実施形態の第2実施例にかかる投影光学系のレンズ構成を示す図である。図7を参照すると、第2実施例にかかる投影光学系PLにおいて、第1結像光学系G1は、光の進行方向に沿ってレチクル側から順に、ウェハ側に非球面形状の凸面を向けた両凸レンズL11と、両凸レンズL12と、レチクル側に非球面形状の凹面を向けた負メニスカスレンズL13と、第1凹面反射鏡CM1とを備えている。また、第1結像光学系G1では、第1凹面反射鏡CM1で反射され且つ負メニスカスレンズL13を介した光を第2結像光学系G2に向かって反射するための第2凹面反射鏡CM2の反射面が、両凸レンズL12と負メニスカスレンズL13との間において光軸AXを含まない領域に配置されている。したがって、両凸レンズL11および両凸レンズL12が、正の屈折力を有する第1レンズ群を構成している。また、第1凹面反射鏡CM1が、第1結像光学系G1の瞳面の近傍に配置された凹面反射鏡を構成している。
(主要諸元)
λ=193.306nm
β=+1/4
NA=1.04
Ro=17.0mm
Ri=11.5mm
H=26.0mm
D=4.0mm
R=20.86mm
Y0=17.0mm
(光学部材諸元)
面番号 r d n 光学部材
(レチクル面) 72.14497
1 295.66131 46.03088 1.5603261 (L11)
2* -228.07826 1.02581
3 847.63618 40.34103 1.5603261 (L12)
4 -207.90948 124.65407
5* -154.57886 13.00000 1.5014548 (L13)
6 -667.19164 9.58580
7 -209.52775 -9.58580 (CM1)
8 -667.19164 -13.00000 1.5014548 (L13)
9* -154.57886 -109.65407
10 2517.52751 147.23986 (CM2)
11 -357.71318 41.75496 1.5603261 (L21)
12 -196.81705 1.00000
13 8379.53651 40.00000 1.5603261 (L22)
14 -454.81020 8.23083
15 206.30063 58.07852 1.5603261 (L23)
16* 367.14898 24.95516
17* 258.66863 20.00000 1.5603261 (L24)
18 272.27694 274.16477
19 671.42370 49.62123 1.5603261 (L25)
20 225.79907 35.51978
21* -283.63484 15.10751 1.5603261 (L26)
22 261.37852 56.71822
23 -1947.68869 54.63076 1.5603261 (L27)
24 -227.05849 5.77639
25* 788.97953 15.54026 1.5603261 (L28)
26 460.12935 18.83954
27 1925.75038 56.54051 1.5603261 (L29)
28 -295.06884 1.00000
29 861.21046 52.50515 1.5603261 (L210)
30 -34592.86759 1.00000
31 614.86639 37.34179 1.5603261 (L211)
32 39181.66426 1.00000
33 ∞ 46.27520 (AS)
34 -11881.91854 30.00000 1.5603261 (L212)
35 -631.95129 1.00000
36 1465.88641 39.89113 1.5603261 (L213)
37 -542.10144 1.00000
38 336.45791 34.80369 1.5603261 (L214)
39* 2692.15238 1.00000
40 112.42843 43.53915 1.5603261 (L215)
41 189.75478 1.00000
42 149.91358 42.41577 1.5014548 (L216)
43* 107.28888 1.06533
44 90.28791 31.06087 1.5014548 (L217:Lb)
45 ∞ 1.00000 1.47 (Lm)
46 ∞ 3.00000 1.5603261 (Lp)
47 ∞ 5.00000 1.47 (Lm)
(ウェハ面)
(非球面データ)
2面
κ=0
C4=9.57585×10-9 C6=7.09690×10-13
C8=1.30845×10-16 C10=−5.52152×10-22
C12=4.46914×10-25 C14=−2.07483×10-29
5面および9面(同一面)
κ=0
C4=1.16631×10-8 C6=6.70616×10-13
C8=−1.87976×10-17 C10=1.71587×10-20
C12=−2.34827×10-24 C14=1.90285×10-28
16面
κ=0
C4=−4.06017×10-8 C6=2.22513×10-12
C8=−9.05000×10-17 C10=3.29839×10-21
C12=−7.46596×10-26 C14=1.06948×10-30
17面
κ=0
C4=−6.69592×10-8 C6=1.42455×10-12
C8=−5.65516×10-17 C10=2.48078×10-21
C12=−2.91653×10-26 C14=1.53981×10-31
21面
κ=0
C4=−7.97186×10-8 C6=−1.32969×10-12
C8=−1.98377×10-17 C10=−4.95016×10-21
C12=2.53886×10-25 C14=−4.16817×10-29
25面
κ=0
C4=−1.55844×10-8 C6=7.27672×10-14
C8=1.90600×10-18 C10=1.21465×10-23
C12=−7.56829×10-29 C14=1.86889×10-32
39面
κ=0
C4=−6.91993×10-11 C6=7.80595×10-14
C8=3.31216×10-18 C10=−1.39159×10-22
C12=3.69991×10-27 C14=−4.01347×10-32
43面
κ=0
C4=8.30019×10-8 C6=1.24781×10-11
C8=−9.26768×10-16 C10=1.08933×10-18
C12=−3.01514×10-22 C14=5.41882×10-26
(条件式対応値)
F1=178.98mm
Y0=17.0mm
R=20.86mm
(1)F1/Y0=10.53
(2)R/Y0=1.227
Lp 平行平面板
Lm 媒質(脱イオン水)
G1 第1結像光学系
G2 第2結像光学系
CM1,CM2 凹面反射鏡
Li 各レンズ成分
100 レーザ光源
IL 照明光学系
R レチクル
RS レチクルステージ
PL 投影光学系
W ウェハ
WS ウェハステージ
Claims (23)
- 第1面に設けられる物体の縮小像を液体を介して第2面に投影する反射屈折型の投影光学系において、
前記物体からの光の光路に配置された複数のレンズと、
前記光を反射する少なくとも2枚の反射鏡と、を備え、
前記複数のレンズは、前記第1面側の面が正の屈折力を有し前記第2面側の面が前記液体に接するように配置された正レンズを含み、
前記少なくとも2枚の反射鏡は、第1反射鏡と、該第1反射鏡からの前記光をレンズを介さずに反射する第2反射鏡と、を含み、
前記複数のレンズに含まれる各レンズの光軸と前記少なくとも2枚の反射鏡に含まれる各反射鏡の光軸とは単一光軸上に設けられ、
前記縮小像は、前記第2面のうち前記単一光軸を含まない領域に投影されることを特徴とする投影光学系。 - 請求項1に記載の投影光学系において、
前記液体に接するように配置された前記正レンズは、前記第1面側に凸面を向けた平凸レンズであることを特徴とする投影光学系。 - 請求項1または2に記載の投影光学系において、
当該投影光学系の射出瞳は、遮蔽領域を有しないことを特徴とする投影光学系。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の投影光学系において、
前記複数のレンズのうち前記少なくとも2枚の反射鏡からの前記光の光路に配置されたレンズと、開口絞りと、を含む屈折光学系を備えることを特徴とする投影光学系。 - 請求項4に記載の投影光学系において、
前記複数のレンズのうちの前記正レンズは、前記屈折光学系のなかでもっとも前記第2面側に配置されていることを特徴とする投影光学系。 - 請求項4または5に記載の投影光学系において、
前記屈折光学系は、前記開口絞りに対して前記第1面側に配置された複数の負レンズと、前記複数の負レンズと前記開口絞りとの間に配置された複数の正レンズと、を含むことを特徴とする投影光学系。 - 請求項6に記載の投影光学系において、
前記複数の負レンズは、両凹レンズを含むことを特徴とする投影光学系。 - 請求項6に記載の投影光学系において、
前記複数の負レンズは、互いに隣り合わせに配置された第1及び第2負レンズを含むことを特徴とする投影光学系。 - 請求項8に記載の投影光学系において、
前記第1負レンズは、両凹レンズであることを特徴とする投影光学系。 - 請求項8または9に記載の投影光学系において、
前記第1負レンズと第2負レンズとの間の前記単一光軸上の間隔は、前記第1または第2負レンズと前記開口絞りとの間の前記単一光軸上の間隔より短いことを特徴とする投影光学系。 - 請求項8〜10のいずれか一項に記載の投影光学系において、
前記屈折光学系のうち前記第1及び第2負レンズより前記第1面側に配置されたレンズの数は、前記第1及び第2負レンズと前記開口絞りとの間に配置されたレンズの数より少ないことを特徴とする投影光学系。 - 請求項4〜11のいずれか一項に記載の投影光学系において、
前記屈折光学系のうち前記開口絞りより前記第2面側に配置されたレンズの数は、前記開口絞りより前記第1面側に配置されたレンズの数より少ないことを特徴とする投影光学系。 - 請求項4〜12のいずれか一項に記載の投影光学系において、
前記屈折光学系のうちもっとも前記第1面側に配置されたレンズは正レンズであることを特徴とする投影光学系。 - 請求項4〜13のいずれか一項に記載の投影光学系において、
前記複数のレンズのうち前記少なくとも2枚の反射鏡より前記第1面側の前記光の光路に配置されたレンズと前記少なくとも2枚の反射鏡とを含み前記物体の中間像を形成する第1結像光学系を備え、
前記屈折光学系は、前記中間像からの前記光により前記物体の前記縮小像を前記第2面に投影することを特徴とする投影光学系。 - 請求項14に記載の投影光学系において、
前記中間像は、前記単一光軸と交差しない領域に形成されることを特徴とする投影光学系。 - 請求項1〜15のいずれか一項に記載の投影光学系において、
前記第1反射鏡および前記第2反射鏡は、凹面鏡であることを特徴とする投影光学系。 - 請求項1〜16のいずれか一項に記載の投影光学系において、
前記少なくとも2枚の反射鏡は、前記第1反射鏡および前記第2反射鏡のみ含むことを特徴とする投影光学系。 - マスクに設けられたパターンを基板に露光する露光装置であって、
前記基板を保持するステージと、
前記パターンを照明する照明装置と、
前記ステージに保持された前記基板に、前記照明装置によって照明された前記パターンの縮小像を液体を介して投影する請求項1〜17のいずれか一項に記載の投影光学系と、
を備えることを特徴とする露光装置。 - 請求項18に記載の露光装置において、
前記投影光学系と前記ステージに保持された前記基板との間の光路に前記液体を供給する液体供給装置を備えることを特徴とする露光装置。 - マスクに設けられたパターンを基板に露光する露光方法であって、
前記パターンを光で照明することと、
前記光で照明された前記パターンの縮小像を請求項1〜17のいずれか一項に記載の投影光学系により液体を介して前記基板に投影することと、
を含むことを特徴とする露光方法。 - 請求項20に記載の露光方法において、
前記投影光学系と前記基板との間の光路に前記液体を供給することを含むことを特徴とする露光方法。 - 請求項18または19に記載の露光装置を用いて基板にパターンを露光することと、
前記パターンが露光された前記基板を現像することと、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。 - 請求項20または21に記載の露光方法を用いて基板にパターンを露光することと、
前記パターンが露光された前記基板を現像することと、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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