JP5659222B2 - アンペロメトリック電気化学センサ及びその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 85
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 39
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 36
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 claims description 28
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 21
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 19
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 16
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 15
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 11
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 7
- 230000000249 desinfective effect Effects 0.000 claims description 6
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- QWPPOHNGKGFGJK-UHFFFAOYSA-N hypochlorous acid Chemical compound ClO QWPPOHNGKGFGJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 3
- QDHHCQZDFGDHMP-UHFFFAOYSA-N Chloramine Chemical compound ClN QDHHCQZDFGDHMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- NHYCGSASNAIGLD-UHFFFAOYSA-N Chlorine monoxide Chemical compound Cl[O] NHYCGSASNAIGLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 claims description 2
- CUILPNURFADTPE-UHFFFAOYSA-N hypobromous acid Chemical compound BrO CUILPNURFADTPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 claims 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 12
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 12
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 6
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 5
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 239000000017 hydrogel Substances 0.000 description 4
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910021607 Silver chloride Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 3
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 3
- 229920005597 polymer membrane Polymers 0.000 description 3
- -1 polysiloxane Polymers 0.000 description 3
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 3
- 238000006479 redox reaction Methods 0.000 description 3
- WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N Glucose Natural products OC[C@H]1OC(O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 239000008103 glucose Substances 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 229920002818 (Hydroxyethyl)methacrylate Polymers 0.000 description 1
- GNFTZDOKVXKIBK-UHFFFAOYSA-N 3-(2-methoxyethoxy)benzohydrazide Chemical compound COCCOC1=CC=CC(C(=O)NN)=C1 GNFTZDOKVXKIBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FGUUSXIOTUKUDN-IBGZPJMESA-N C1(=CC=CC=C1)N1C2=C(NC([C@H](C1)NC=1OC(=NN=1)C1=CC=CC=C1)=O)C=CC=C2 Chemical compound C1(=CC=CC=C1)N1C2=C(NC([C@H](C1)NC=1OC(=NN=1)C1=CC=CC=C1)=O)C=CC=C2 FGUUSXIOTUKUDN-IBGZPJMESA-N 0.000 description 1
- 238000000018 DNA microarray Methods 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000002421 anti-septic effect Effects 0.000 description 1
- 239000012736 aqueous medium Substances 0.000 description 1
- 239000013060 biological fluid Substances 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003651 drinking water Substances 0.000 description 1
- 235000020188 drinking water Nutrition 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 238000002848 electrochemical method Methods 0.000 description 1
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000126 in silico method Methods 0.000 description 1
- 239000011244 liquid electrolyte Substances 0.000 description 1
- 239000002609 medium Substances 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000005191 phase separation Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920002338 polyhydroxyethylmethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000005171 square wave anodic stripping voltammetry Methods 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
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Description
−前記絶縁体基板上に導電性材料の層を堆積するステップと、
−前記作用電極と前記対極とのうちの少なくとも1つを画定するために前記導電性材料をエッチングするステップと、
−導電性材料の層上に低温特異的絶縁体層を堆積するステップと、
−絶縁体層に、前記作用電極と前記対極とのうちの少なくとも1つを露出する少なくとも1つの開口部を作製するステップと、
を含む方法に関する。
Claims (21)
- 絶縁体基板(2)と、少なくとも3つの電極、すなわち作用電極(3)、対極(4)、及び参照電極(20)からなり、前記作用電極(3)と前記対極(4)とのうちの少なくとも1つが前記絶縁体基板(2)上に構成される、一組の電極とを備える、液体中に溶解した酸化還元物質の含有量を測定するための定電位でのアンペロメトリック電気化学センサ(1)であって、少なくとも前記作用電極(3)が、少なくとも前記作用電極(3)を露出する少なくとも1つの開口部を備える絶縁体層(8)で覆われること、及び、前記開口部において現れる前記作用電極(3)が、測定されるべき前記溶解した酸化還元物質への選択性を有し且つ前記酸化還元物質のための拡散層を画定する少なくとも第1のポリマー濾過膜(10)で完全に覆われ、前記絶縁体層(8)が、一組の電極要素を露出するように絶縁体材料の小アイランド(8a)によって分離された幾つかの開口部をさらに備えることを特徴とする、センサ。
- 前記対極(4)が前記絶縁体層(8)で覆われ、前記絶縁体層が前記対極(4)を露出する少なくとも1つの開口部を備えること、及び、前記開口部において現れる前記対極(4)が少なくとも前記第1のポリマー膜(10)で完全に覆われることを特徴とする、請求項1に記載のセンサ。
- 前記ポリマー膜(10)が、前記開口部の周辺域の全体にわたって前記絶縁体層(8)上に突き出ることによって前記開口部を完全に覆うことを特徴とする、請求項1又は2に記載のセンサ。
- 前記作用電極が非平面型であり且つ前記絶縁体基板の中に配置され、前記ポリマー膜(10)が、その上面が前記対極を備える前記絶縁体基板にあるように作製されることを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか一項に記載のセンサ。
- 拡散層を画定するための第1のポリマー膜(10)と、測定されるべき種を選択するために前記第1の膜(10)上に堆積された第2のポリマー膜(12)とを備えることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか一項に記載のセンサ。
- 前記第1のポリマー膜(10)がすべての前記開口部を覆うことを特徴とする、請求項1に記載のセンサ。
- 前記第1のポリマー膜(10)が、前記各開口部のそれぞれの周辺域にわたって前記絶縁体層(8)上に個々に突き出ることによって前記各開口部をそれぞれ覆う、幾つかの膜要素を含むことを特徴とする、請求項1に記載のセンサ。
- 前記絶縁体層(8)が、均質にナノ構造化された開口部を備えることを特徴とする、請求項1乃至7のいずれか一項に記載のセンサ。
- 前記基板(2)が、シリコン、ガラス、セラミックス、及び石英からなる群の中から選択された材料で作製されることを特徴とする、請求項1乃至8のいずれか一項に記載のセンサ。
- 前記作用電極(3)と前記対極(4)とのうちの少なくとも1つが、円形の形状、微細穿孔された形状、又はインターデジタル形の形状からなる群から選択された形状を有することができることを特徴とする、請求項1乃至9のいずれか一項に記載のセンサ。
- 前記電極を測定回路に接続するための接続手段を備え、前記接続手段が前記電極に直接接続されることを特徴とする、請求項1乃至10のいずれか一項に記載のセンサ。
- 絶縁体基板(2)と、少なくとも3つの電極、すなわち作用電極(3)、対極(4)、及び参照電極(20)からなる一組の電極とを備え、前記作用電極(3)と前記対極(4)とのうちの少なくとも1つが前記絶縁体基板(2)上に構成される、請求項1から請求項12までのいずれか一項に記載の定電位でのアンペロメトリック電気化学センサを製造するための方法であって、前記方法は、
前記絶縁体基板(2)上に導電性材料の層(17)を堆積するステップと、
少なくとも前記作用電極(3)及び前記対極(4)を画定するために前記導電性材料(17)をエッチングするステップと、
少なくとも前記作用電極(3)上に絶縁体層(8)を堆積するステップと、
前記絶縁体層(8)に、少なくとも前記作用電極(3)を露出する少なくとも1つの開口部を作製するステップと、
前記開口部において露出された前記作用電極を、測定されるべき溶解した前記酸化還元物質への選択性を有し且つ前記酸化還元物質のための拡散層を画定する少なくとも1つのポリマー濾過膜(10)で完全に覆うステップと、
を含むことを特徴とする、方法。 - 前記対極(4)上に前記絶縁体層(8)を堆積するステップと、
前記絶縁体層(8)に、前記対極(4)を露出する少なくとも1つの開口部を作製するステップと、
前記開口部において現れる前記対極を少なくとも1つのポリマー膜(10)で完全に覆うステップと、
を含むことを特徴とする、請求項12に記載の方法。 - 前記ポリマー膜(10)が、前記絶縁体層(8)とその開口部とを覆うように堆積されることを特徴とする、請求項12又は13に記載の方法。
- 請求項1乃至11のいずれか一項に記載の少なくとも1つのセンサ(1)を備える、液体中に溶解した酸化還元物質の含有量を測定するためのアンペロメトリックプローブ。
- 他の前記センサとは異なる溶解した酸化還元物質をそれぞれ検出するために異なる選択膜を各々が備える、少なくとも2つのセンサを備えることを特徴とする、請求項15に記載のプローブ。
- データ処理手段及び伝送手段と電解質なしの取り外し可能な乾式ヘッド(22)とを収容する本体(32)を備え、その中に前記センサ(1)が配置されることを特徴とする、請求項15又は16に記載のプローブ。
- 前記取り外し可能ヘッドが使い捨てであり、且つ前記プローブのための校正情報と前記ヘッドのための独自の数字識別子とを含むことを特徴とする、請求項17に記載のプローブ。
- 液体中に溶解した酸化還元物質の含有量を定電位で測定するための、請求項1乃至11のいずれか一項に記載のセンサの使用。
- 前記酸化還元物質が前記液体の消毒性の種であることを特徴とする、請求項19に記載のセンサの使用。
- 前記液体が水であり、且つ前記消毒性の酸化還元物質が、HOBr、HOCl、ClO2、Cl2、クロラミン、及びオゾンからなる群から選択されることを特徴とする、請求項20に記載のセンサの使用。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP09157979A EP2241882A1 (fr) | 2009-04-15 | 2009-04-15 | Capteur électrochimique ampérométrique et son procédé de fabrication |
EP09157979.7 | 2009-04-15 | ||
PCT/EP2010/054854 WO2010119045A1 (fr) | 2009-04-15 | 2010-04-14 | Capteur electrochimique amperometrique et son procede de fabrication |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012527600A JP2012527600A (ja) | 2012-11-08 |
JP5659222B2 true JP5659222B2 (ja) | 2015-01-28 |
Family
ID=40852917
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012505150A Active JP5659222B2 (ja) | 2009-04-15 | 2010-04-14 | アンペロメトリック電気化学センサ及びその製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8784640B2 (ja) |
EP (2) | EP2241882A1 (ja) |
JP (1) | JP5659222B2 (ja) |
CN (1) | CN102395879B (ja) |
BR (1) | BRPI1014652A2 (ja) |
WO (1) | WO2010119045A1 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2759832B1 (en) | 2013-01-23 | 2020-11-11 | Sciosense B.V. | Electrochemical sensor device |
US9513247B2 (en) * | 2014-02-27 | 2016-12-06 | Ams International Ag | Electrochemical sensor |
JP6653490B2 (ja) | 2014-12-12 | 2020-02-26 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 電気化学測定装置 |
US10620151B2 (en) | 2016-08-30 | 2020-04-14 | Analog Devices Global | Electrochemical sensor, and a method of forming an electrochemical sensor |
US11268927B2 (en) | 2016-08-30 | 2022-03-08 | Analog Devices International Unlimited Company | Electrochemical sensor, and a method of forming an electrochemical sensor |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2009
- 2009-04-15 EP EP09157979A patent/EP2241882A1/fr not_active Withdrawn
-
2010
- 2010-04-14 BR BRPI1014652A patent/BRPI1014652A2/pt not_active IP Right Cessation
- 2010-04-14 CN CN201080016887.3A patent/CN102395879B/zh active Active
- 2010-04-14 EP EP10713935.4A patent/EP2419721B1/fr active Active
- 2010-04-14 US US13/263,247 patent/US8784640B2/en active Active
- 2010-04-14 WO PCT/EP2010/054854 patent/WO2010119045A1/fr active Application Filing
- 2010-04-14 JP JP2012505150A patent/JP5659222B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8784640B2 (en) | 2014-07-22 |
BRPI1014652A2 (pt) | 2016-04-12 |
CN102395879B (zh) | 2015-08-26 |
WO2010119045A1 (fr) | 2010-10-21 |
EP2419721B1 (fr) | 2019-04-10 |
CN102395879A (zh) | 2012-03-28 |
EP2241882A1 (fr) | 2010-10-20 |
EP2419721A1 (fr) | 2012-02-22 |
US20120036921A1 (en) | 2012-02-16 |
JP2012527600A (ja) | 2012-11-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A529 | Written submission of copy of amendment under article 34 pct |
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|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130319 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130816 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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