JP5651670B2 - Pressure detection unit - Google Patents

Pressure detection unit Download PDF

Info

Publication number
JP5651670B2
JP5651670B2 JP2012235429A JP2012235429A JP5651670B2 JP 5651670 B2 JP5651670 B2 JP 5651670B2 JP 2012235429 A JP2012235429 A JP 2012235429A JP 2012235429 A JP2012235429 A JP 2012235429A JP 5651670 B2 JP5651670 B2 JP 5651670B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
adhesive
flow tube
receiving member
cover
pressure detection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2012235429A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2014085266A (en
Inventor
琢郎 石川
琢郎 石川
和哉 滝本
和哉 滝本
和徳 石橋
和徳 石橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Saginomiya Seisakusho Inc
Original Assignee
Saginomiya Seisakusho Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Saginomiya Seisakusho Inc filed Critical Saginomiya Seisakusho Inc
Priority to JP2012235429A priority Critical patent/JP5651670B2/en
Priority to CN201310511417.XA priority patent/CN103776583B/en
Publication of JP2014085266A publication Critical patent/JP2014085266A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5651670B2 publication Critical patent/JP5651670B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、力検知ユニットに関し、特に、防水性が要求される力検知ユニットに関する。 The present invention relates to a pressure detection unit, in particular, relates to pressure sensing unit waterproofness is required.

従来、圧力検知ユニットとして、例えば、特許文献1に開示されたものがある。特許文献1に記載された圧力検知ユニットとしての圧力センサ800は、図3に示すように、円環状に形成されたステンレス製の受け部材802と、略円筒状に形成され、一端を塞ぐように受け部材802を収容する合成樹脂製のカバー860と、受け部材802の内側の開口802bに嵌合されるとともにロウ付けされて固定された流体流入管811と、受け部材802とカバー860との間を接着するシリコーン系又はウレタン系の接着剤872と、を有するケースを備えている。   Conventionally, as a pressure detection unit, for example, there is one disclosed in Patent Document 1. As shown in FIG. 3, a pressure sensor 800 as a pressure detection unit described in Patent Document 1 is formed in a ring-shaped stainless steel receiving member 802 and a substantially cylindrical shape so as to block one end. A synthetic resin cover 860 that accommodates the receiving member 802, a fluid inflow pipe 811 that is fitted into the opening 802 b inside the receiving member 802 and is fixed by brazing, and between the receiving member 802 and the cover 860. And a silicone-based or urethane-based adhesive 872.

この圧力センサ800では、接着剤872が受け部材802とカバー860とを固定するようにこれらの隙間に充填されており、受け部材802とカバー860とが互いに接着されている。また、この接着剤872は受け部材802に密に接して設けられており、接着剤872と受け部材802との界面からケース内部に水分が浸入することを防いで防水性を確保していた。   In the pressure sensor 800, an adhesive 872 is filled in the gap so as to fix the receiving member 802 and the cover 860, and the receiving member 802 and the cover 860 are bonded to each other. Further, the adhesive 872 is provided in close contact with the receiving member 802 to prevent moisture from entering the case from the interface between the adhesive 872 and the receiving member 802 and ensure waterproofness.

特開2012−68105号公報JP 2012-68105 A

しかしながら、このような圧力センサ800は、受け部材802がステンレス製であることから、受け部材802の外表面における接着剤872の端部から上記界面に徐々に水分が浸入してしまうことがあり、防水性について改良の余地があった。   However, in such a pressure sensor 800, since the receiving member 802 is made of stainless steel, moisture may gradually enter the interface from the end of the adhesive 872 on the outer surface of the receiving member 802. There was room for improvement in waterproofness.

また、このような圧力センサ800以外にも、防水性が要求されるケースであって、該ケースにおけるある第1部分と、この第1部分に隣接して設けられた第2部分と、第1部分に接して設けられた接着剤と、を有する構成のケースにおいても、上記圧力センサ800と同様に、防水性について改良の余地がある場合があった。   In addition to the pressure sensor 800, the case is required to be waterproof, and includes a first portion in the case, a second portion provided adjacent to the first portion, a first portion Even in the case of the configuration having the adhesive provided in contact with the portion, there is a case where there is room for improvement in waterproofness as in the case of the pressure sensor 800 described above.

そこで、本発明は、上記課題を解決することを目的とする。即ち、本発明は、防水性を向上できる力検知ユニットを提供することを目的としている。 Therefore, an object of the present invention is to solve the above problems. That is, the present invention aims at providing a pressure sensing unit capable of improving the waterproofness.

請求項1に記載された発明は、上記目的を達成するために、流管接続部材と、前記流管接続部材に隣接して設けられた流管部材と、前記流管接続部材に接して設けられた接着剤と、筒状のカバーと、を有する容器を備えた圧力検知ユニットであって、前記流管部材が、該流管部材と前記接着剤との界面の耐水性が前記流管接続部材と前記接着剤との界面の耐水性より高くなるように、前記流管接続部材と異なる材料で構成され、前記流管接続部材が前記カバー内側に配置されるとともに前記流管部材が前記カバーの一端部から突出するように配置され、前記接着剤が、前記カバーの前記一端部に充填されて、少なくとも前記流管接続部材の外表面全体及び前記流管部材における前記流管接続部材の外表面に隣接する箇所を覆うように設けられていることを特徴とする圧力検知ユニットである。 In order to achieve the above object, the invention described in claim 1 is provided in contact with the flow tube connecting member, the flow tube member provided adjacent to the flow tube connecting member, and the flow tube connecting member. an adhesive that is, a pressure sensing unit comprising a container having a cylindrical cover, wherein the flow tube member, water resistance the flow tube connecting the interface between the adhesive and the flow tube member The flow tube connecting member is made of a material different from that of the flow tube connecting member so as to be higher than the water resistance of the interface between the member and the adhesive, and the flow tube connecting member is disposed inside the cover and the flow tube member is the cover It is arranged from one end portion so as to protrude, wherein the adhesive is filled into the end portion of the cover, out of the flow tube connecting members in the entire outer surface of at least said flow tube connecting member and the flow tube member It is provided so as to cover the part adjacent to the surface. A pressure sensing unit, characterized in that there.

請求項2に記載された発明は、請求項1に記載された発明において、前記流管接続部材を構成する材料が、ステンレス又はアルミニウムであることを特徴とするものである。 The invention described in claim 2 is characterized in that, in the invention described in claim 1, the material constituting the flow tube connecting member is stainless steel or aluminum.

請求項3に記載された発明は、請求項1又は2に記載された発明において、前記流管部材を構成する材料が、合成樹脂、銅又は銅合金であることを特徴とするものである。 The invention described in claim 3 is the invention described in claim 1 or 2, wherein the material constituting the flow tube member is a synthetic resin, copper or a copper alloy.

請求項4に記載された発明は、請求項1〜3のいずれか一項に記載された発明において、前記接着剤が、エポキシ系接着剤、ウレタン系接着剤又はシリコーン系接着剤であることを特徴とするものである。   The invention described in claim 4 is the invention described in any one of claims 1 to 3, wherein the adhesive is an epoxy adhesive, a urethane adhesive, or a silicone adhesive. It is a feature.

本発明によれば、流管部材が、この流管部材と接着剤との界面の耐水性が流管接続部材と接着剤との界面の耐水性より高くなるように、流管接続部材と異なる材料で構成され、接着剤が、少なくとも流管接続部材の外表面全体及び流管部材における流管接続部材の外表面に隣接する箇所を覆うように設けられている。そのため、流管接続部材と接着剤との界面(境界)が露出されずに、流管部材と接着剤との界面が露出され、そして、これらの露出された流管部材と接着剤との界面は、流管接続部材と接着剤との界面より耐水性が高くされており、これにより、各部材と接着剤との露出される界面の耐水性を高めて防水性を向上できる。 According to the present invention, the flow tube member, so that the water resistance of the interface between the flow tube member and the adhesive is higher than the water resistance of the interface between the flow tube connecting members and the adhesive, different from the flow tube connecting members is formed of a material, the adhesive is provided so as to cover a portion adjacent to the outer surface of the flow tube connecting members in the entire outer surface of at least flow tube connecting members and the flow tube member. Therefore, without being exposed interface (boundary) of the flow tube connecting members and the adhesive interface between the flow tube member and the adhesive is exposed and the interface between these exposed flowtube member and the adhesive The water resistance is higher than the interface between the flow tube connecting member and the adhesive, whereby the water resistance of the exposed interface between each member and the adhesive can be increased to improve the waterproof property.

本発明の一実施形態の圧力検知ユニットの縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the pressure detection unit of one Embodiment of this invention. 図1の圧力検知ユニットの変形例の構成を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the structure of the modification of the pressure detection unit of FIG. 従来の圧力検知ユニットの縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the conventional pressure detection unit.

(第1の実施形態)
以下に、本発明の第1の実施形態の圧力検知ユニットを、図1を参照して説明する。
(First embodiment)
Below, the pressure detection unit of the 1st Embodiment of this invention is demonstrated with reference to FIG.

図1は、本発明の一実施形態の圧力検知ユニットの縦断面図である。なお、以下の説明における「上下」の概念は、図1における上下に対応しており、各部材の相対的な位置関係を示すものであって、絶対的な位置関係を示すものではない。   FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a pressure detection unit according to an embodiment of the present invention. In addition, the concept of “upper and lower” in the following description corresponds to the upper and lower sides in FIG. 1 and indicates the relative positional relationship between the members, and does not indicate the absolute positional relationship.

図1に示す圧力検知ユニット(図中、符号1で示す)は、ベース11と、受け部材12と、ダイヤフラム13と、圧力検知素子14と、電気接続部20と、継手部30と、カバー40と、第1接着剤51と、第2接着剤52と、を備えている。また、受け部材12、継手部30、カバー40及び第2接着剤52により、圧力検知ユニット1の外形となる容器10を構成している。   1 includes a base 11, a receiving member 12, a diaphragm 13, a pressure detecting element 14, an electrical connecting portion 20, a joint portion 30, and a cover 40. The pressure detecting unit shown in FIG. And a first adhesive 51 and a second adhesive 52. In addition, the receiving member 12, the joint portion 30, the cover 40, and the second adhesive 52 constitute a container 10 that is the outer shape of the pressure detection unit 1.

ベース11は、円板状のベース本体11aと、ベース本体11aの周縁から図中下方に向けて直角に立設された鍔部11bと、を備える蓋状に形成されている。   The base 11 is formed in a lid shape including a disc-shaped base main body 11a and a flange portion 11b erected at a right angle from the periphery of the base main body 11a downward in the figure.

ベース本体11aには、後述する受圧空間17へのオイル封入用のオイル充填孔11cが、当該ベース本体11aを貫通して形成されている。このオイル充填孔11cは、オイル充填後にボール15によって封じられる。また、ベース本体11aには、後述する電気接続部20のリードピン22が通されるリードピン取出孔11dが、当該ベース本体11aを貫通して形成されている。   In the base body 11a, an oil filling hole 11c for enclosing oil into a pressure receiving space 17 described later is formed so as to penetrate the base body 11a. The oil filling hole 11c is sealed by a ball 15 after oil filling. The base body 11a is formed with a lead pin extraction hole 11d through which a lead pin 22 of the electrical connecting portion 20 described later passes, through the base body 11a.

受け部材12は、円板状の受け部材本体12aと、受け部材本体12aの周縁にその中心から離れるように図中斜め上方向に向けて立設された鍔部12bと、を備える皿状に形成されている。鍔部12bの先端は、受け部材本体12aと略平行な平坦に形成されている。受け部材本体12aの中心部分には開口12cが形成されている。ベース11と受け部材12とは、ベース11の鍔部11bの先端と受け部材12の鍔部12bとの先端が後述するダイヤフラム13を挟んで重なるように配置されている。   The receiving member 12 has a disc-like shape including a disc-shaped receiving member main body 12a and a flange portion 12b erected on the periphery of the receiving member main body 12a obliquely upward in the figure so as to be away from the center thereof. Is formed. The front end of the flange portion 12b is formed flat and substantially parallel to the receiving member main body 12a. An opening 12c is formed in the central portion of the receiving member main body 12a. The base 11 and the receiving member 12 are arranged so that the tip of the flange 11b of the base 11 and the tip of the flange 12b of the receiving member 12 overlap with each other with a diaphragm 13 described later.

ダイヤフラム13は、円形の膜状に形成されており、その外周縁部13aが、ベース11の鍔部11bの先端と受け部材12の鍔部12bとの先端に挟まれて配置されている。   The diaphragm 13 is formed in a circular film shape, and the outer peripheral edge portion 13 a is disposed between the tip of the flange portion 11 b of the base 11 and the tip of the flange portion 12 b of the receiving member 12.

ベース11の鍔部11bの先端、受け部材12の鍔部12bの先端、及び、ダイヤフラム13の外周縁部13aは、それら接合箇所Sがレーザー溶接等によって互いに溶接されて、この接合箇所Sにおいて互いに一体的かつ密封して連結・固定されている。これにより、ベース11とダイヤフラム13との間には、オイルが封入される受圧空間17が形成され、受け部材12とダイヤフラム13との間には加圧空間18が形成されている。   The tip of the flange 11b of the base 11, the tip of the flange 12b of the receiving member 12, and the outer peripheral edge 13a of the diaphragm 13 are welded to each other by laser welding or the like. Connected and fixed integrally and sealed. Thereby, a pressure receiving space 17 in which oil is sealed is formed between the base 11 and the diaphragm 13, and a pressure space 18 is formed between the receiving member 12 and the diaphragm 13.

ベース11、受け部材12及びダイヤフラム13は、ステンレスを材料として構成されていることが好ましい。または、これらの一部又は全部が、例えば、アルミニウム(アルミニウム合金を含む)を材料として構成されていてもよい。   The base 11, the receiving member 12, and the diaphragm 13 are preferably made of stainless steel. Alternatively, some or all of these may be made of, for example, aluminum (including an aluminum alloy).

圧力検知素子14は、(a)シリコン基板の裏面中央部をエッチングして形成されたダイヤフラム部(シリコンダイヤフラム)と、(b)複数の検知素子部(ピエゾ抵抗素子)を含んでダイヤフラム部に形成されたブリッジ回路、並びに、該ブリッジ回路の出力信号を処理する増幅回路、直線補正回路、温度補正回路及び補正データ保持回路などを有する電子回路部と、が半導体回路集積化技術により集積化されている。圧力検知素子14の金属端子部(ボンディングパッド)は後述するリードピン22と受圧空間17内にてワイヤボンディングにより接続されている。圧力検知素子14は、ダイヤフラム部からなる受圧部14aに加えられた圧力に応じた圧力信号を出力する。   The pressure detecting element 14 includes (a) a diaphragm portion (silicon diaphragm) formed by etching the center of the back surface of the silicon substrate, and (b) a plurality of detecting element portions (piezoresistive elements). And an electronic circuit unit including an amplifier circuit, a linear correction circuit, a temperature correction circuit, a correction data holding circuit, and the like that process an output signal of the bridge circuit are integrated by a semiconductor circuit integration technique. Yes. A metal terminal portion (bonding pad) of the pressure detecting element 14 is connected to a lead pin 22 (described later) in the pressure receiving space 17 by wire bonding. The pressure detection element 14 outputs a pressure signal corresponding to the pressure applied to the pressure receiving part 14a formed of a diaphragm part.

圧力検知素子14は、受圧空間17内に配置された状態でベース11に取り付けられている。圧力検知素子14は、ベース11のベース本体11aを貫通して形成されているリードピン取出孔11dを通して延びる電気接続部20のリードピン22を通じて基板21に電気的に接続されている。ベース11のリードピン取出孔11dは、ハーメチックシール16によってオイル漏れがないように封じられている。   The pressure detection element 14 is attached to the base 11 in a state of being disposed in the pressure receiving space 17. The pressure detection element 14 is electrically connected to the substrate 21 through the lead pin 22 of the electrical connection portion 20 extending through the lead pin extraction hole 11d formed through the base body 11a of the base 11. The lead pin outlet hole 11d of the base 11 is sealed by a hermetic seal 16 so that there is no oil leakage.

電気接続部20は、後述するカバー40内に配置されており、基板21と、基板21と圧力検知素子14とを電気的に接続するリードピン22と、基板21に接続されたコネクタ23と、コネクタ23に接続されたリード線24とを有している。これにより、圧力検知素子14から出力された圧力信号が、リードピン22、基板21及びコネクタ23を通じて、リード線24から外部へと取り出される。   The electrical connection unit 20 is disposed in a cover 40 described later, and includes a substrate 21, lead pins 22 that electrically connect the substrate 21 and the pressure detection element 14, a connector 23 connected to the substrate 21, and a connector. And a lead wire 24 connected to 23. As a result, the pressure signal output from the pressure detection element 14 is taken out from the lead wire 24 through the lead pin 22, the substrate 21, and the connector 23.

リードピン22とリード線24とは、それらの引き出し方向(図中上下方向)に対して交差する方向(図中左右方向)にずれて配置されており、リードピン22とリード線24の接続は基板21を介して行われている。   The lead pin 22 and the lead wire 24 are arranged so as to be shifted in a direction (left and right direction in the figure) intersecting with the drawing direction (up and down direction in the figure), and the connection between the lead pin 22 and the lead wire 24 is the board 21. Is done through.

継手部30は、銅を材料として構成されている。または、継手部30は、真鍮などの銅合金や後述するカバー40と同一の合成樹脂等を材料として構成されていてもよい。継手部30は、略筒状でその図中上方の一端部が段階的に縮径する階段状に形成されている。継手部30は、その一端部の先端30aが受け部材12の開口12cに挿入されることにより、継手部30の内側の流体導入通路32と加圧空間18とが連通される。また、継手部30は、その一端部の先端30aと受け部材12の開口12cの周縁とがそれら間を密封するようにロウ付けされることにより、受け部材12に固定して取り付けられている。継手部30は、受け部材12に該受け部材12の外表面(外側を向く表面部分)から突出するように設けられている。   The joint portion 30 is made of copper. Alternatively, the joint portion 30 may be made of a copper alloy such as brass or the same synthetic resin as the cover 40 described later. The joint part 30 is substantially cylindrical and is formed in a stepped shape in which the upper end in the drawing is gradually reduced in diameter. The joint portion 30 has a tip 30 a at one end thereof inserted into the opening 12 c of the receiving member 12, whereby the fluid introduction passage 32 inside the joint portion 30 and the pressurizing space 18 are communicated with each other. The joint portion 30 is fixedly attached to the receiving member 12 by brazing the tip 30a at one end thereof and the peripheral edge of the opening 12c of the receiving member 12 so as to seal between them. The joint portion 30 is provided on the receiving member 12 so as to protrude from the outer surface (surface portion facing outward) of the receiving member 12.

継手部30の他端部内側には、雌ねじが切られた結合用ねじ部31が設けられており、図示しない流体導入管を螺合して接続可能とされている。つまり、継手部30は流管部材を構成し、受け部材12は、流管部材である継手部30が接続される流管接続部材を構成する。   Inside the other end of the joint portion 30, a coupling thread portion 31 having a female thread is provided, which can be connected by screwing a fluid introduction pipe (not shown). That is, the joint portion 30 constitutes a flow tube member, and the receiving member 12 constitutes a flow tube connection member to which the joint portion 30 that is a flow tube member is connected.

継手部30の結合用ねじ部31に流体導入管が接続されると、継手部30の流体導入通路32を通じて、流体の圧力が加圧空間18に導入されてダイヤフラム13に伝達される。ダイヤフラム13は極めて薄いため圧力損失が生ずることなく圧力伝達が行われる。この圧力を圧力検知素子14の受圧部14aで受けて、それをピエゾ抵抗素子で検出した電気信号が電子回路部で処理され、圧力信号としてリードピン22に出力される。   When the fluid introduction pipe is connected to the coupling thread portion 31 of the joint portion 30, the fluid pressure is introduced into the pressurizing space 18 and transmitted to the diaphragm 13 through the fluid introduction passage 32 of the joint portion 30. Since the diaphragm 13 is very thin, pressure is transmitted without causing pressure loss. This pressure is received by the pressure receiving portion 14a of the pressure detecting element 14, and an electric signal detected by the piezoresistive element is processed by the electronic circuit portion and output to the lead pin 22 as a pressure signal.

カバー40は、例えば、ポリフェニレンエーテル(PPE)等の合成樹脂を材料として構成されている。または、カバー40は、銅又は銅合金(真鍮など)を材料として構成されていてもよい。カバー40は、電気接続部20のコネクタ23を収容する図中上方の端部が、リード線24を取り囲むように縮径されて小径端部41として形成されており、ベース11及び受け部材12を収容する図中下方の端部が、内径を大きくして且つ筒状スカート状に延びる大径端部42として形成されている。   The cover 40 is made of a synthetic resin such as polyphenylene ether (PPE), for example. Alternatively, the cover 40 may be made of copper or a copper alloy (such as brass) as a material. The cover 40 is formed as a small-diameter end 41 by reducing the diameter of the upper end portion of the electrical connecting portion 20 in the figure that accommodates the connector 23 so as to surround the lead wire 24, and the base 11 and the receiving member 12. A lower end portion in the drawing is formed as a large-diameter end portion 42 having an enlarged inner diameter and extending in a cylindrical skirt shape.

小径端部41の内周面には、その全周にわたり突出した突出部41aが形成されている。この突出部41aは、カバー40内の後述する第1空間47に充填された第1接着剤51の抜け止めとして機能する。   On the inner peripheral surface of the small-diameter end portion 41, a protruding portion 41a protruding over the entire periphery is formed. The protruding portion 41a functions as a retainer for the first adhesive 51 filled in a first space 47 described later in the cover 40.

大径端部42の内周側には、ベース11の外径とほぼ同径の環状段部42aが形成されている。この環状段部42aには、ベース11がその外径角部である環状角部11eにおいて嵌合し且つ座着するように載置されている。これにより、大径端部42の図中下方の開口を塞ぐようにベース11に一体に固定された受け部材12が配置される。この状態において、カバー40が、受け部材12の周囲を囲むように当該受け部材12に隣接して設けられている。また、継手部30が、受け部材12の中央部分に設けられた開口12cに一端を挿入した状態で固定されており、つまり、継手部30が、カバー40との間に受け部材12を挟むように受け部材12に隣接して設けられている。   An annular step 42 a having the same diameter as the outer diameter of the base 11 is formed on the inner peripheral side of the large diameter end portion 42. The base 11 is placed on the annular step 42a so as to be fitted and seated at an annular corner 11e which is an outer diameter corner. As a result, the receiving member 12 that is integrally fixed to the base 11 is disposed so as to close the lower opening of the large diameter end portion 42 in the drawing. In this state, the cover 40 is provided adjacent to the receiving member 12 so as to surround the receiving member 12. Further, the joint portion 30 is fixed in a state where one end is inserted into the opening 12 c provided in the central portion of the receiving member 12, that is, the joint portion 30 sandwiches the receiving member 12 with the cover 40. Is provided adjacent to the receiving member 12.

大径端部42の内周側における環状段部42aよりも図中下方の開口寄りの箇所には、ベース11の外径よりも大径の筒状内周面42bが設けられている。この筒状内周面42bと、ベース11の鍔部11bの外周面11fや受け部材12の鍔部12bの周面12dとの間に、後述する接着剤のための環状隙間45が全周に渡って形成されている。環状隙間45は、大径端部42の図中下方の開口付近において、後述する開き空間46と連なって、第2空間48を構成する。   A cylindrical inner peripheral surface 42b having a diameter larger than the outer diameter of the base 11 is provided at a position closer to the opening in the figure than the annular step portion 42a on the inner peripheral side of the large diameter end portion 42. Between this cylindrical inner peripheral surface 42b and the outer peripheral surface 11f of the flange portion 11b of the base 11 and the peripheral surface 12d of the flange portion 12b of the receiving member 12, an annular gap 45 for an adhesive, which will be described later, is formed on the entire circumference. It is formed across. The annular gap 45 is connected to an open space 46 to be described later in the vicinity of the opening of the large-diameter end portion 42 in the lower part of the drawing, and constitutes a second space 48.

カバー40の内側は、カバー40に収容されたベース11で区切られており、ベース11のベース本体11aから小径端部41側には、第1空間47が形成されている。この第1空間47には、電気接続部20(具体的には、基板21、リードピン22、コネクタ23及びリード線24)が収容されている。   The inner side of the cover 40 is partitioned by the base 11 accommodated in the cover 40, and a first space 47 is formed on the base 11 from the base main body 11 a to the small diameter end portion 41 side. In the first space 47, the electrical connecting portion 20 (specifically, the substrate 21, the lead pin 22, the connector 23, and the lead wire 24) is accommodated.

第1空間47には、第1接着剤51が充填、硬化されている。第1接着剤51は、カバー40やリード線24との接着性が高く、且つ弾性が高い、例えば、エポキシ系接着剤が用いられる。   The first space 47 is filled and cured with the first adhesive 51. As the first adhesive 51, for example, an epoxy adhesive is used which has high adhesiveness to the cover 40 and the lead wire 24 and high elasticity.

第1接着剤51は、第1空間47に充填後硬化されることにより、基板21、リードピン22、コネクタ23及びリード線24が埋設状態になり、これらのパーツをカバー40内に封止する。   When the first adhesive 51 is filled in the first space 47 and cured, the substrate 21, the lead pin 22, the connector 23, and the lead wire 24 are embedded, and these parts are sealed in the cover 40.

小径端部41は大径端部42より縮径して形成されており、且つ小径端部41は内周において第1空間47内に突出する突出部41aが形成されているため、第1空間47内の充填物である第1接着剤51に対して抜け止め作用を発揮する。これにより、第1接着剤51が第1空間47から剥がれてカバー40の外部に抜け出ることが阻止され、カバー40に対するリード線24の確実な固定及び更なる気密性の確保を図ることができる。また、ベース11が嵌合されるカバー40の大径端部42の環状段部42aにおいて、第1接着剤51がベース11とカバー40とを接着する構造にすれば、更にベース11の固定強度が上昇し、気密性を高めて外部からの液体侵入に対する封止効果も高められる。   The small-diameter end portion 41 is formed with a diameter smaller than that of the large-diameter end portion 42, and the small-diameter end portion 41 is formed with a protruding portion 41a that protrudes into the first space 47 on the inner periphery. The first adhesive 51 which is the filling in 47 exhibits a retaining action. Accordingly, the first adhesive 51 is prevented from being peeled off from the first space 47 and coming out of the cover 40, and the lead wire 24 can be securely fixed to the cover 40 and further airtight can be secured. Further, if the first adhesive 51 adheres the base 11 and the cover 40 at the annular step 42a of the large-diameter end portion 42 of the cover 40 to which the base 11 is fitted, the fixing strength of the base 11 is further increased. As a result, the airtightness is increased and the sealing effect against liquid intrusion from the outside is enhanced.

カバー40の大径端部42の図中下方の開口付近には、第2空間48が形成されている。この第2空間48は、環状隙間45及び開き空間46を含んで構成されている。   A second space 48 is formed in the vicinity of the lower opening of the large-diameter end portion 42 of the cover 40 in the drawing. The second space 48 includes an annular gap 45 and an open space 46.

環状隙間45は、上述したようにベース11の鍔部11bの外周面11f及びベース11に溶接された受け部材12の鍔部12bの周面12dとこれらの外周面11f及び周面12dに対向する大径端部42の筒状内周面42bとの間に形成されている比較的幅の狭い環状空間である。   As described above, the annular gap 45 faces the outer peripheral surface 11f of the flange portion 11b of the base 11 and the peripheral surface 12d of the flange portion 12b of the receiving member 12 welded to the base 11, and the outer peripheral surface 11f and the peripheral surface 12d. This is a relatively narrow annular space formed between the large-diameter end portion 42 and the cylindrical inner peripheral surface 42b.

開き空間46は、環状隙間45に連なる空間であって、受け部材12の鍔部12bの周面12dに連なる環状下面12e、この環状下面12eに連なる外側テーパ周面12f、及び、この外側テーパ周面12fに連なる受け部材12の受け部材本体12aの環状下面12gと、大径端部42の筒状内周面42bの開口端側部分及びそれに連なる傾斜端面42cと、継手部30の一端部の端面30bと、によって囲まれる空間である。   The open space 46 is a space that is continuous with the annular gap 45, and includes an annular lower surface 12 e that is continuous with the peripheral surface 12 d of the flange 12 b of the receiving member 12, an outer tapered peripheral surface 12 f that is continuous with this annular lower surface 12 e, and this outer tapered periphery. An annular lower surface 12g of the receiving member main body 12a of the receiving member 12 connected to the surface 12f, an opening end side portion of the cylindrical inner peripheral surface 42b of the large diameter end portion 42 and an inclined end surface 42c connected thereto, and one end portion of the joint portion 30 A space surrounded by the end face 30b.

第2空間48には、第2接着剤52が充填される。即ち、図1において第2接着剤52が充填されている空間が第2空間48である。この第2接着剤52は、ステンレス製のベース11や受け部材12、銅製の継手部30及び合成樹脂製のカバー40との接着性が高く且つ弾性の高い、エポキシ系接着剤が用いられている。または、第2接着剤52は、ウレタン系接着剤又はシリコーン系接着剤でもよい。   The second space 48 is filled with the second adhesive 52. That is, the space filled with the second adhesive 52 in FIG. As the second adhesive 52, an epoxy adhesive having high adhesiveness and high elasticity to the stainless base 11, the receiving member 12, the copper joint 30, and the synthetic resin cover 40 is used. . Alternatively, the second adhesive 52 may be a urethane-based adhesive or a silicone-based adhesive.

継ぎ手部30は銅(又は銅合金、合成樹脂)を材料として構成されているので、継ぎ手部30とエポキシ系接着剤、ウレタン系接着剤又はシリコーン系接着剤の第2接着剤52との界面の耐水性(具体的には、当該界面への水分の浸入しにくさ)は比較的高い。また、受け部材12はステンレス(又はアルミニウム)を材料として構成されているので、受け部材12と第2接着剤52との界面の耐水性は、銅製の継ぎ手部30と第2接着剤52との界面の耐水性に比べて低い。   Since the joint portion 30 is made of copper (or copper alloy, synthetic resin) as a material, the interface portion between the joint portion 30 and the second adhesive 52 of the epoxy adhesive, urethane adhesive, or silicone adhesive is used. The water resistance (specifically, the difficulty of entering water into the interface) is relatively high. In addition, since the receiving member 12 is made of stainless steel (or aluminum), the water resistance at the interface between the receiving member 12 and the second adhesive 52 is determined between the copper joint portion 30 and the second adhesive 52. Low compared to the water resistance of the interface.

第2接着剤52は、第2空間48に充填されることにより、(1)受け部材12の外表面全体である鍔部12bの周面12d、環状下面12e及び外側テーパ周面12f、並びに、受け部材本体12aの環状下面12gと、(2)カバー40における受け部材12の外表面に隣接する箇所である大径端部42の筒状内周面42b及び傾斜端面42cと、(3)継手部30における受け部材12の外表面に隣接する箇所であるその一端部の端面30bと、にまたがってそれらを覆うように設けられている。つまり、第2接着剤52は、少なくとも受け部材12の外表面全体及び継ぎ手部30における受け部材12の外表面に隣接する箇所を覆う(被覆する)ように設けられている。   When the second adhesive 52 is filled in the second space 48, (1) the peripheral surface 12d of the flange 12b, which is the entire outer surface of the receiving member 12, the annular lower surface 12e, the outer tapered peripheral surface 12f, and An annular lower surface 12g of the receiving member main body 12a, (2) a cylindrical inner peripheral surface 42b and an inclined end surface 42c of the large-diameter end portion 42 that are adjacent to the outer surface of the receiving member 12 in the cover 40, and (3) a joint. The portion 30 is provided so as to cover the end surface 30b of the one end portion which is a portion adjacent to the outer surface of the receiving member 12 in the portion 30. That is, the second adhesive 52 is provided so as to cover (cover) at least the entire outer surface of the receiving member 12 and a portion adjacent to the outer surface of the receiving member 12 in the joint portion 30.

そして、第2接着剤52は、第2空間48に充填後硬化されることにより、カバー40の大径端部42の筒状内周面42bとベース11の外周面11f及び受け部材12の周面12dとの間を封止するように接着するので、ベース11及び受け部材12とカバー40との固定強度やそれら間の密封性が更に高められる。   The second adhesive 52 is filled in the second space 48 and cured, so that the cylindrical inner peripheral surface 42b of the large-diameter end portion 42 of the cover 40, the outer peripheral surface 11f of the base 11, and the periphery of the receiving member 12 are obtained. Since bonding is performed so as to seal between the surface 12d, the fixing strength of the base 11 and the receiving member 12 and the cover 40 and the sealing performance between them are further enhanced.

また、第2接着剤52は、受け部材12の外表面全体及びカバー40及び継手部30における受け部材12に隣接する箇所にまたがってそれらを覆うように設けられているので、ステンレス製の受け部材12と第2接着剤52との界面(境界)が露出せず、合成樹脂製のカバー40と第2接着剤52との界面及び銅製の継手部30と第2接着剤52との界面が露出される。これにより、ステンレス製の受け部材12と第2接着剤52との界面に直接水分が触れることがない。つまり、圧力検知ユニット1の容器10は、ステンレス製の受け部材12と第2接着剤52との界面の耐水性ではなく、銅製の継手部30と第2接着剤52との界面の耐水性によって、その全体の防水性が定まる。   In addition, since the second adhesive 52 is provided so as to cover the entire outer surface of the receiving member 12 and a portion of the cover 40 and the joint portion 30 adjacent to the receiving member 12, the second adhesive 52 is made of stainless steel. 12 and the second adhesive 52 are not exposed, and the interface between the synthetic resin cover 40 and the second adhesive 52 and the interface between the copper joint 30 and the second adhesive 52 are exposed. Is done. Thereby, moisture does not directly touch the interface between the stainless steel receiving member 12 and the second adhesive 52. That is, the container 10 of the pressure detection unit 1 is not water-resistant at the interface between the stainless steel receiving member 12 and the second adhesive 52 but is water-resistant at the interface between the copper joint 30 and the second adhesive 52. The overall waterproofness is determined.

以上、説明したように、本実施形態の圧力検知ユニット1の容器10は、流管接続部材としての受け部材12と、受け部材12に隣接して設けられた流管部材としての継手部30と、受け部材12に接して設けられた第2接着剤52と、を有している。そして、継手部30が、この継手部30と第2接着剤52との界面の耐水性が受け部材12と第2接着剤52との界面の耐水性より高くなるように、受け部材12と異なる材料で構成され、第2接着剤52が、受け部材12の外表面全体及び継手部30における受け部材12の外表面に隣接する箇所を覆うように設けられている。   As described above, the container 10 of the pressure detection unit 1 of the present embodiment includes the receiving member 12 as the flow tube connecting member and the joint portion 30 as the flow tube member provided adjacent to the receiving member 12. And a second adhesive 52 provided in contact with the receiving member 12. The joint portion 30 is different from the receiving member 12 so that the water resistance at the interface between the joint portion 30 and the second adhesive 52 is higher than the water resistance at the interface between the receiving member 12 and the second adhesive 52. It is comprised with material and the 2nd adhesive agent 52 is provided so that the location adjacent to the outer surface of the receiving member 12 in the whole outer surface of the receiving member 12 and the coupling part 30 may be covered.

また、受け部材12を構成する材料が、ステンレスである。   The material constituting the receiving member 12 is stainless steel.

また、継手部30を構成する材料が、銅である。   Moreover, the material which comprises the coupling part 30 is copper.

また、第2接着剤52が、エポキシ系接着剤である。   The second adhesive 52 is an epoxy adhesive.

また、本実施形態の圧力検知ユニット1は、上述した容器10を備えている。   Moreover, the pressure detection unit 1 of this embodiment is provided with the container 10 mentioned above.

本実施形態によれば、継手部30が、この継手部30と第2接着剤52との界面の耐水性が受け部材12と第2接着剤52との界面の耐水性より高くなるように、受け部材12と異なる材料で構成され、第2接着剤52が、受け部材12の外表面全体及び継手部30における受け部材12の外表面に隣接する箇所を覆うように設けられている。そのため、受け部材12と第2接着剤52との界面(境界)が露出されずに、継手部30と第2接着剤52との界面が露出され、そして、この露出された継手部30と第2接着剤52との界面は、受け部材12と第2接着剤52との界面より耐水性が高くされており、これにより、各部材と接着剤との露出される界面の耐水性を高めて防水性を向上できる。   According to the present embodiment, the joint portion 30 has a higher water resistance at the interface between the joint portion 30 and the second adhesive 52 than the water resistance at the interface between the receiving member 12 and the second adhesive 52. The second adhesive 52 is made of a material different from that of the receiving member 12 and is provided so as to cover the entire outer surface of the receiving member 12 and a portion of the joint portion 30 adjacent to the outer surface of the receiving member 12. Therefore, the interface (boundary) between the receiving member 12 and the second adhesive 52 is not exposed, and the interface between the joint part 30 and the second adhesive 52 is exposed, and the exposed joint part 30 and the second adhesive 52 are exposed. The interface between the two adhesives 52 is higher in water resistance than the interface between the receiving member 12 and the second adhesive 52, thereby increasing the water resistance of the exposed interface between each member and the adhesive. Waterproofness can be improved.

以上、本発明について、好ましい実施形態を挙げて説明したが、本発明の力検知ユニットは上記実施形態の構成に限定されるものではない。 While the invention has been described by way of preferred embodiments, pressure sensing unit of the present invention is not limited to the configuration of the above embodiment.

例えば、上述した実施形態では、容器10に図示しない流体導入管が接続される継手部30を含む構成であったが、これに限定されるものではなく、例えば、図2に示すように、継手部30に代えて、流管部材としての合成樹脂、銅又は銅合金(真鍮など)製の流体導入管35を流管接続部材である受け部材12に直接ロウ付けして取り付けた構成の圧力検知ユニット1Aとしてもよい。図2は、図1の圧力検知ユニットの変形例の構成を示す縦断面図である。   For example, in the above-described embodiment, the configuration includes the joint portion 30 to which the fluid introduction pipe (not shown) is connected to the container 10. However, the present invention is not limited to this. For example, as shown in FIG. In place of the portion 30, pressure detection of a configuration in which a fluid introduction pipe 35 made of synthetic resin, copper, or a copper alloy (such as brass) as a flow pipe member is directly brazed and attached to the receiving member 12 which is a flow pipe connection member. It is good also as unit 1A. FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing a configuration of a modification of the pressure detection unit of FIG.

この構成の場合、第2接着剤52は、(1)受け部材12の外表面全体である鍔部12bの周面12d、環状下面12e及び外側テーパ周面12f、並びに、受け部材本体12aの環状下面12gと、(2)カバー40における受け部材12の外表面に隣接する箇所である大径端部42の筒状内周面42b及び傾斜端面42cと、(3’)流体導入管35における受け部材12の外表面に隣接する箇所であるその一端部のフランジ状外周面35aと、にまたがってそれらを覆うように設けられる。つまり、第2接着剤52は、少なくとも受け部材12の外表面全体及び流体導入管35における受け部材12の外表面に隣接する箇所を覆う(被覆する)ように設けられる。これにより、受け部材12と第2接着剤52との界面(境界)が露出されずに、流体導入管35と第2接着剤52との界面が露出され、上述した実施形態と同様の効果を奏する。   In the case of this configuration, the second adhesive 52 is (1) the peripheral surface 12d of the flange 12b, the annular lower surface 12e and the outer tapered peripheral surface 12f, which is the entire outer surface of the receiving member 12, and the annular shape of the receiving member main body 12a. A lower surface 12g, (2) a cylindrical inner peripheral surface 42b and an inclined end surface 42c of the large-diameter end 42 that are adjacent to the outer surface of the receiving member 12 in the cover 40, and (3 ′) a receiver in the fluid introduction pipe 35. It is provided so as to cover the flange-like outer peripheral surface 35a at one end thereof, which is a portion adjacent to the outer surface of the member 12, and to cover them. That is, the second adhesive 52 is provided so as to cover (cover) at least the entire outer surface of the receiving member 12 and a portion of the fluid introduction pipe 35 adjacent to the outer surface of the receiving member 12. Thereby, the interface (boundary) between the receiving member 12 and the second adhesive 52 is not exposed, and the interface between the fluid introduction pipe 35 and the second adhesive 52 is exposed, and the same effect as the above-described embodiment is obtained. Play.

また、上述した実施形態では、ベース11、受け部材12及びダイヤフラム13からなる構成体、並びに、電気接続部20がカバー40に収容された構成であったが、これに限定されるものではない。例えば、カバー40を備えずに、単一の接着剤で、上記構成体及び電気接続部20を覆う構成としてもよい。この場合、上記接着剤は、少なくとも、それぞれステンレス製のベース11、受け部材12及びダイヤフラム13からなる上記構成体(第1部分に相当)全体、及び、継手部30(第2部分に相当)における上記構成体(具体的には受け部材12)に隣接する箇所を覆うように設けられる。勿論、電気接続部20についても何らかの防水対策を施す必要がある。これにより、ステンレス製の上記構成体とそれを覆う上記接着剤との界面(境界)が露出されずに、継手部30と上記接着剤との界面が露出され、上述した実施形態と同様の効果を奏する。   In the above-described embodiment, the structure including the base 11, the receiving member 12, and the diaphragm 13, and the electrical connection unit 20 are accommodated in the cover 40. However, the present invention is not limited to this. For example, it is good also as a structure which does not provide the cover 40 but covers the said structure and the electrical connection part 20 with a single adhesive agent. In this case, the adhesive is at least in the entire structure (corresponding to the first part) and the joint part 30 (corresponding to the second part) each made of a stainless base 11, a receiving member 12 and a diaphragm 13. It is provided so that the location adjacent to the said structure (specifically receiving member 12) may be covered. Of course, it is necessary to take some waterproof measures for the electrical connection portion 20 as well. As a result, the interface (boundary) between the stainless steel structure and the adhesive covering the stainless steel is not exposed, and the interface between the joint portion 30 and the adhesive is exposed. Play.

また、上述した実施形態では、圧力センサや圧力スイッチなどに応用可能な圧力検知ユニット1について説明するものであったが、本発明はこれに限定されるものではなく、圧力検知ユニット以外に適用されてもよい。つまり、本発明は、第1部分と、この第1部分に隣接して設けられた第2部分と、第1部分に接して設けられた接着剤と、を有するケース、及び、それを有するものであれば、本発明の目的に反しない限り、適用可能である。   In the above-described embodiment, the pressure detection unit 1 that can be applied to a pressure sensor, a pressure switch, or the like has been described. However, the present invention is not limited to this, and is applied to other than the pressure detection unit. May be. That is, the present invention includes a case having a first portion, a second portion provided adjacent to the first portion, and an adhesive provided in contact with the first portion, and the case having the same. As long as the object of the present invention is not violated, it is applicable.

なお、前述した実施形態は本発明の代表的な形態を示したに過ぎず、本発明は、実施形態に限定されるものではない。即ち、当業者は、従来公知の知見に従い、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。かかる変形によってもなお本発明の力検知ユニットの構成を具備する限り、勿論、本発明の範疇に含まれるも
のである。
In addition, embodiment mentioned above only showed the typical form of this invention, and this invention is not limited to embodiment. That is, those skilled in the art can implement various modifications in accordance with conventionally known knowledge without departing from the scope of the present invention. As long as having a configuration of a pressure sensing unit of the still present invention by such modifications, of course, are intended to be included within the scope of the present invention.

1 圧力検知ユニット
10 容器(ケース)
11 ベース
12 受け部材(流管接続部材、第1部分)
13 ダイヤフラム
14 圧力検知素子
17 受圧空間
18 加圧空間
20 電気接続部
21 基板
22 リードピン
23 コネクタ
24 リード線
30 継手部(流管部材、第2部分)
35 流体導入管(流管部材、第2部分)
40 カバー
47 第1空間
48 第2空間
51 第1接着剤
52 第2接着剤(接着剤)
1 Pressure detection unit 10 Container (case)
11 Base 12 Receiving member (flow pipe connecting member, first part)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 13 Diaphragm 14 Pressure sensing element 17 Pressure receiving space 18 Pressurizing space 20 Electrical connection part 21 Board | substrate 22 Lead pin 23 Connector 24 Lead wire 30 Joint part (flow pipe member, 2nd part)
35 Fluid introduction pipe (flow pipe member, second part)
40 Cover 47 First Space 48 Second Space 51 First Adhesive 52 Second Adhesive (Adhesive)

Claims (4)

流管接続部材と、前記流管接続部材に隣接して設けられた流管部材と、前記流管接続部材に接して設けられた接着剤と、筒状のカバーと、を有する容器を備えた圧力検知ユニットであって、
前記流管部材が、該流管部材と前記接着剤との界面の耐水性が前記流管接続部材と前記接着剤との界面の耐水性より高くなるように、前記流管接続部材と異なる材料で構成され、
前記流管接続部材が前記カバー内側に配置されるとともに前記流管部材が前記カバーの一端部から突出するように配置され、
前記接着剤が、前記カバーの前記一端部に充填されて、少なくとも前記流管接続部材の外表面全体及び前記流管部材における前記流管接続部材の外表面に隣接する箇所を覆うように設けられている
ことを特徴とする圧力検知ユニット
A container having: a flow tube connecting member; a flow tube member provided adjacent to the flow tube connecting member; an adhesive provided in contact with the flow tube connecting member; and a cylindrical cover. A pressure sensing unit,
Said flow tube member, so that the water resistance of the interface between the said flow tube member wherein said adhesive is higher than the water resistance of the interface between the adhesive and the flow tube connecting members, different from the flow tube connecting member material Consists of
The flow tube connecting member is disposed inside the cover and the flow tube member is disposed so as to protrude from one end of the cover,
The adhesive is filled in the one end of the cover so as to cover at least the entire outer surface of the flow tube connecting member and a portion of the flow tube member adjacent to the outer surface of the flow tube connecting member. A pressure detection unit characterized by
前記流管接続部材を構成する材料が、ステンレス又はアルミニウムであることを特徴とする請求項1に記載の圧力検知ユニットThe pressure detection unit according to claim 1, wherein the material constituting the flow tube connecting member is stainless steel or aluminum. 前記流管部材を構成する材料が、合成樹脂、銅又は銅合金であることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧力検知ユニットThe pressure detection unit according to claim 1 or 2, wherein the material constituting the flow tube member is a synthetic resin, copper, or a copper alloy. 前記接着剤が、エポキシ系接着剤、ウレタン系接着剤又はシリコーン系接着剤であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の圧力検知ユニットThe pressure detection unit according to any one of claims 1 to 3, wherein the adhesive is an epoxy adhesive, a urethane adhesive, or a silicone adhesive.
JP2012235429A 2012-10-25 2012-10-25 Pressure detection unit Active JP5651670B2 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012235429A JP5651670B2 (en) 2012-10-25 2012-10-25 Pressure detection unit
CN201310511417.XA CN103776583B (en) 2012-10-25 2013-10-25 Housing and there is the pressure sensing cell of this housing

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012235429A JP5651670B2 (en) 2012-10-25 2012-10-25 Pressure detection unit

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014085266A JP2014085266A (en) 2014-05-12
JP5651670B2 true JP5651670B2 (en) 2015-01-14

Family

ID=50569092

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012235429A Active JP5651670B2 (en) 2012-10-25 2012-10-25 Pressure detection unit

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP5651670B2 (en)
CN (1) CN103776583B (en)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6389698B2 (en) * 2014-08-26 2018-09-12 株式会社不二工機 Pressure sensor
CN106404271A (en) * 2015-08-10 2017-02-15 浙江三花制冷集团有限公司 Pressure sensor
CN106124116A (en) * 2016-07-27 2016-11-16 安费诺(常州)连接系统有限公司 For detecting pressure transducer and the method for opposing liquid freezing and expansion pressure thereof of hydraulic pressure
JP6480969B2 (en) * 2017-03-17 2019-03-13 株式会社鷺宮製作所 Pressure sensor
JP6527193B2 (en) * 2017-04-07 2019-06-05 株式会社鷺宮製作所 Pressure sensor

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19612964A1 (en) * 1996-04-01 1997-10-02 Bosch Gmbh Robert Pressure sensor and method for manufacturing a pressure sensor
US6076409A (en) * 1997-12-22 2000-06-20 Rosemount Aerospace, Inc. Media compatible packages for pressure sensing devices
JP4768281B2 (en) * 2005-02-08 2011-09-07 株式会社ジェイテクト Pressure sensor and manufacturing method thereof
JP2008241489A (en) * 2007-03-28 2008-10-09 Nidec Copal Electronics Corp Diaphragm type pressure sensor
ITTO20080484A1 (en) * 2008-06-19 2009-12-20 Eltek Spa PRESSURE SENSOR DEVICE
JP5888843B2 (en) * 2010-09-22 2016-03-22 株式会社不二工機 Pressure sensor

Also Published As

Publication number Publication date
CN103776583A (en) 2014-05-07
CN103776583B (en) 2016-02-10
JP2014085266A (en) 2014-05-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5973357B2 (en) Pressure detection unit and method for manufacturing pressure detection unit
JP5651670B2 (en) Pressure detection unit
JP5888843B2 (en) Pressure sensor
JP2005249795A (en) Method for mounting semiconductor chip and suitable semiconductor chip alignment
JP2005106796A (en) Pressure sensor
JP2005249595A (en) Pressure sensor
JP6389698B2 (en) Pressure sensor
KR20170096575A (en) Pressure detecting unit and pressure sensor using the same
JP2017134014A (en) Pressure sensor
US20080099861A1 (en) Sensor device package having thermally compliant die pad
JP2014055826A (en) Pressure sensor
JP5656320B2 (en) pressure sensor
JP2008286627A (en) Pressure sensor
WO2021065554A1 (en) Pressure detection unit and pressure sensor using same
JP2007024771A (en) Pressure sensor
KR101567938B1 (en) Pressure sensor
JP4622666B2 (en) Electronic equipment
JP6554979B2 (en) Pressure sensor
JP5542638B2 (en) Pressure detector
JP5002420B2 (en) Pressure sensor manufacturing method and pressure sensor
JP4952271B2 (en) Pressure sensor
JP5656319B2 (en) pressure sensor
JP2016183943A (en) Semiconductor Pressure Sensor
JP2014102115A (en) Pressure detection unit and method for manufacturing the same
JP4045988B2 (en) Pressure sensor

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20140806

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140812

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140930

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20141021

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20141117

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5651670

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150