JP6554979B2

JP6554979B2 - Pressure sensor

Info

Publication number: JP6554979B2
Application number: JP2015151928A
Authority: JP
Inventors: 江崎　隆博; 隆博江崎
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2015-07-31
Filing date: 2015-07-31
Publication date: 2019-08-07
Anticipated expiration: 2035-07-31
Also published as: JP2017032389A

Description

本発明は、圧力導入孔を有するハウジング部、受圧部としてのダイアフラム部、シール部が金属製の単一部品よりなり、ダイアフラム部にはセンサチップがガラス接合され、シール部にて測定対象物にシールされる圧力センサに関する。 In the present invention, a housing part having a pressure introduction hole, a diaphragm part as a pressure receiving part, and a seal part are made of a single metal part, and a sensor chip is glass-bonded to the diaphragm part. It relates to a pressure sensor to be sealed.

従来、この種の圧力センサとしては、特許文献１に記載のものが提案されている。このものにおいて、単一部品は、ハウジング部、ダイアフラム部、シール部が一体となった金属性の単一部品であり、鍛造や切削等により形成されるものである。 Conventionally, as this kind of pressure sensor, one described in Patent Document 1 has been proposed. In this, a single part is a metallic single part in which a housing part, a diaphragm part, and a seal part are integrated, and is formed by forging or cutting.

ここで、ハウジング部は、測定対象物に取り付けられる中空筒状の部材である。そして、ハウジング部に設けられている圧力導入孔は、ハウジング部の軸方向における一端側に測定対象物からの測定圧力を導入する開口部を有し、軸方向における他端側へ延びる内孔として設けられている。 Here, the housing part is a hollow cylindrical member attached to the measurement object. And the pressure introduction hole provided in the housing part has an opening part which introduces the measurement pressure from the measurement object on one end side in the axial direction of the housing part, and is an inner hole extending to the other end side in the axial direction. Is provided.

また、シール部は、ハウジング部の軸方向における一端側に設けられ、測定対象物に押し付けられてシールされることで、測定対象物からの測定圧力が漏れなく圧力導入孔に導入されるようになっている。 Further, the seal portion is provided on one end side in the axial direction of the housing portion, and is pressed against the measurement object to be sealed, so that the measurement pressure from the measurement object is introduced into the pressure introduction hole without leakage. It has become.

また、ダイアフラム部は、ハウジングの軸方向における他端側に設けられた薄肉部であり、圧力導入孔からの測定圧力を受圧して歪むものである。そして、ダイアフラム部の外表面には、ダイアフラム部の歪みを電気信号に変換するためのセンサチップが設けられている。 The diaphragm part is a thin part provided on the other end side in the axial direction of the housing, and is distorted by receiving the measurement pressure from the pressure introduction hole. A sensor chip for converting the distortion of the diaphragm portion into an electric signal is provided on the outer surface of the diaphragm portion.

ここで、ダイアフラム部の外表面とセンサチップとの間には、これら両者を接合するガラスよりなるガラス接合体が介在されている。このガラス接合体は、低融点ガラスよりなるもので、加熱による焼成処理を経て、接合を行うものである。 Here, between the outer surface of the diaphragm part and the sensor chip, a glass joined body made of glass for joining the two is interposed. This glass joined body is made of low-melting glass, and is joined through a baking treatment by heating.

特開２００７−２４８２３２号公報JP 2007-248232 A

しかしながら、上記従来の圧力センサにおいては、ダイアフラム部の外表面にガラス接合体を介してセンサチップを接合するとき、ガラス接合体の放熱は、ダイアフラム部の外表面側すなわちダイアフラム部におけるセンサチップ搭載面側からが主となる。 However, in the conventional pressure sensor, when the sensor chip is bonded to the outer surface of the diaphragm portion via the glass bonded body, the heat dissipation of the glass bonded body is performed on the outer surface side of the diaphragm portion, that is, the sensor chip mounting surface on the diaphragm portion. Mainly from the side.

そのため、ガラス接合体の冷却速度の分布に偏りが発生し、接合後における残留応力がガラス接合体に発生し、これがセンサ精度向上の妨げとなっていた。 Therefore, the distribution of the cooling rate of the glass bonded body is biased, and residual stress after bonding is generated in the glass bonded body, which hinders improvement in sensor accuracy.

また、ハウジング部、ダイアフラム部およびシール部が一体化した単一部品の場合、シール部にて単一部品を測定対象物に取り付けた際に、単一部品においてシール部側からダイアフラム部側へと軸方向に歪みが伝わってしまい、この歪みがセンサ精度向上の妨げとなっていた。 In addition, in the case of a single part in which the housing part, the diaphragm part and the seal part are integrated, when the single part is attached to the measurement object in the seal part, the seal part side to the diaphragm part side in the single part Strain is transmitted in the axial direction, and this strain hinders improvement in sensor accuracy.

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、ハウジング部、ダイアフラム部、シール部が金属製の単一部品よりなり、ダイアフラム部にはセンサチップがガラス接合され、シール部にて測定対象物にシールされる圧力センサにおいて、ガラス接合体を介してセンサチップをダイアフラム部に接合した際の残留応力を低減してセンサ精度の向上を図るとともに、圧力センサを測定対象物に取り付けた際のハウジング部の歪み抑制を図ることを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and the housing part, the diaphragm part, and the seal part are made of a single metal part, and the sensor chip is glass-bonded to the diaphragm part, and the measurement object at the seal part. In the pressure sensor sealed to the object, the residual stress when the sensor chip is bonded to the diaphragm portion through the glass bonded body is reduced to improve the sensor accuracy, and the pressure sensor is attached to the measurement object. It aims at suppressing distortion of a housing part.

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、測定対象物（Ｋ１）に取り付けられる中空筒状の部材であって、当該部材の軸方向における一端（２０ａ）側に測定対象物からの測定圧力を導入する開口部（２１ａ）を有し当該部材の軸方向における他端（２０ｂ）側へ延びる内孔としての圧力導入孔（２１）を有するハウジング部（２０）と、
ハウジング部の軸方向における一端側に設けられ、測定対象物に押し付けられてシールされるシール部（３０）と、
ハウジングの軸方向における他端側に設けられ、圧力導入孔からの測定圧力を受圧して歪むダイアフラム部（４０）と、
ダイアフラム部の外表面に設けられ、ダイアフラム部の歪みを電気信号に変換するためのセンサチップ（６０）と、
ダイアフラム部の外表面とセンサチップとの間に設けられ、ダイアフラム部とセンサチップとを接合するガラスよりなるガラス接合体（６１）と、を備え、
ハウジング部、シール部、および、ダイアフラム部は、金属よりなる単一部品（１０）として構成されている圧力センサであって、
単一部品においてダイアフラム部とシール部との間のうちダイアフラム部寄りの部位に、単一部品の軸方向における最小径を有するようにくびれている、くびれ部（１１）が設けられており、
くびれ部の径（Ｄ１）は、ガラス接合体の径（Ｄ２）よりも小さいことを特徴とする。 In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, there is provided a hollow cylindrical member attached to the measurement object (K1) from the measurement object to one end (20a) side in the axial direction of the member. A housing part (20) having an opening (21a) for introducing the measurement pressure of the member and having a pressure introduction hole (21) as an inner hole extending toward the other end (20b) in the axial direction of the member;
A seal part (30) provided on one end side in the axial direction of the housing part and pressed against the object to be measured and sealed;
A diaphragm portion (40) provided on the other end side in the axial direction of the housing and distorted by receiving the measurement pressure from the pressure introduction hole;
A sensor chip (60) provided on the outer surface of the diaphragm part for converting the distortion of the diaphragm part into an electrical signal;
A glass joined body (61) made of glass that is provided between the outer surface of the diaphragm part and the sensor chip and joins the diaphragm part and the sensor chip;
The housing part, the seal part, and the diaphragm part are pressure sensors configured as a single part (10) made of metal,
In a single part, a constricted part (11) that is constricted to have a minimum diameter in the axial direction of the single part is provided in a portion near the diaphragm part between the diaphragm part and the seal part ,
The diameter (D1) of the constricted part is smaller than the diameter (D2) of the glass joined body .

それによれば、単一部品におけるダイアフラム部寄りの部位に、単一部品のうちで最小径部であるくびれ部を設けることで、ガラス接合体の焼成時の放熱（冷却）を、センサチップ搭載面であるダイアフラム部の外表面側だけでなく、ダイアフラム部の外表面とは反対側にて、くびれ部の外表面からも行える。そのため、ガラス接合体の放熱性向上が図れ、ガラス接合体の残留応力を低減することができ、センサ精度の向上が図れる。 According to this, by providing a constricted portion, which is the smallest diameter portion of a single component, at a portion near the diaphragm portion in a single component, heat radiation (cooling) during firing of the glass joined body is reduced. This can be performed not only from the outer surface side of the diaphragm portion, but also from the outer surface of the constricted portion on the side opposite to the outer surface of the diaphragm portion. Therefore, the heat dissipation of the glass bonded body can be improved, the residual stress of the glass bonded body can be reduced, and the sensor accuracy can be improved.

また、本発明によれば、単一部品におけるダイアフラム部とシール部との間、すなわちハウジング部に、くびれ部を設けているので、測定対象物に圧力センサを取り付けたときにハウジング部に発生する歪みを、くびれ部で吸収できる。 Further, according to the present invention, since the constricted portion is provided between the diaphragm portion and the seal portion in the single component, that is, in the housing portion, it is generated in the housing portion when the pressure sensor is attached to the measurement object. Strain can be absorbed by the constriction.

よって、本発明によれば、ガラス接合体を介してセンサチップをダイアフラム部に接合した際の残留応力を低減してセンサ精度の向上を図れるとともに、圧力センサを測定対象物に組み付けた際のハウジング部の歪み抑制を図ることができる。 Therefore, according to the present invention, the residual stress when the sensor chip is bonded to the diaphragm portion through the glass bonded body can be reduced to improve the sensor accuracy, and the housing when the pressure sensor is assembled to the measurement object. The distortion of the part can be suppressed.

また、本発明によれば、ガラス接合体の周辺部の直下にくびれ部による空間が存在し、その空間に面するくびれ部の外表面から、ガラス接合体の焼成および冷却時の放熱がなされることになる。そのため、くびれ部側からの放熱性の更なる向上が期待できる。 Further, according to the present invention, there is a space due to the constricted portion immediately below the peripheral portion of the glass joined body, and heat is released from the outer surface of the constricted portion facing the space during firing and cooling of the glass joined body. It will be. Therefore, the further improvement of the heat dissipation from the constricted part side can be expected.

なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。 In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each means described in the claim and this column is an example which shows a corresponding relationship with the specific means as described in embodiment mentioned later.

本発明の第１実施形態にかかる圧力センサを示す概略的な断面図である。1 is a schematic cross-sectional view showing a pressure sensor according to a first embodiment of the present invention. 図１中の単一部品１０におけるくびれ部およびその近傍部を拡大した拡大図である。It is the enlarged view to which the constriction part in the single component 10 in FIG. 1 and its vicinity part were expanded. 本発明の第２実施形態にかかる圧力センサの要部を示す概略的な断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the principal part of the pressure sensor concerning 2nd Embodiment of this invention.

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各図相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following drawings, parts that are the same or equivalent to each other are given the same reference numerals in the drawings for the sake of simplicity.

（第１実施形態）
本発明の第１実施形態にかかる圧力センサＳ１について、図１、図２を参照して述べる。なお、図２では、単一部品１０のハウジング部２０は、コネクタケース５０とのかしめ前の状態にて示されている。 (First embodiment)
The pressure sensor S1 according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In FIG. 2, the housing part 20 of the single component 10 is shown in a state before caulking with the connector case 50.

この圧力センサＳ１は、たとえば測定対象物Ｋ１としての自動車に搭載され、排気圧や吸気圧、あるいは、オイル圧等の各種の測定圧力を検出するための装置として適用されるものである。 This pressure sensor S1 is mounted on, for example, an automobile as the measurement object K1, and is applied as a device for detecting various measurement pressures such as exhaust pressure, intake pressure, or oil pressure.

本実施形態の圧力センサＳ１は、大きくは、ハウジング部２０、シール部３０、および、ダイアフラム部４０が一体化された単一の部品としての単一部品１０と、この単一部品１０と一体化されたコネクタケース５０と、を備えて構成されている。 The pressure sensor S1 of the present embodiment is roughly integrated with a single part 10 as a single part in which the housing part 20, the seal part 30, and the diaphragm part 40 are integrated, and the single part 10. Connector case 50 is provided.

単一部品１０は、ハウジング部２０、シール部３０およびダイアフラム部４０が一体となった段付き円柱状をなす単一の部材である。 The single component 10 is a single member having a stepped columnar shape in which the housing part 20, the seal part 30, and the diaphragm part 40 are integrated.

この単一部品１０は、この種の圧力センサとして通常用いられるステンレス等の鉄系金属を鍛造処理や切削加工することにより形成されたものである。さらに言えば、単一部品１０は、ハウジング部２０、シール部３０およびダイアフラム部４０が接合部を持たない連続した１個の部品として構成されたものである。 This single component 10 is formed by forging or cutting a ferrous metal such as stainless steel that is usually used as this type of pressure sensor. Furthermore, the single component 10 is configured as one continuous component in which the housing portion 20, the seal portion 30, and the diaphragm portion 40 do not have a joint portion.

ここで、単一部品１０におけるハウジング部２０は、単一部品１０の主体をなす中空筒状のもので、測定対象物Ｋ１に取り付けられる部材である。ここで、ハウジング部２０において、軸方向における一端２０ａを軸一端２０ａといい、軸方向における他端２０ｂを軸他端２０ｂということにする。そして、ハウジング部２０には、圧力導入孔２１が設けられている。 Here, the housing part 20 in the single component 10 is a hollow cylindrical member that forms the main body of the single component 10, and is a member attached to the measurement object K1. Here, in the housing portion 20, one end 20a in the axial direction is referred to as a shaft one end 20a, and the other end 20b in the axial direction is referred to as a second shaft end 20b. The housing part 20 is provided with a pressure introducing hole 21.

この圧力導入孔２１は、ハウジング部２０の軸一端２０ａ側に測定対象物Ｋ１からの測定圧力を導入する開口部２１ａを有し、ハウジング部２０の軸他端２０ｂ側へ延びる内孔として構成されている。ここでは、圧力導入孔２１は、ハウジング部２０の軸一端２０ａ側から軸他端２０ｂ側へのびるストレートな孔とされている。 The pressure introduction hole 21 has an opening 21a for introducing measurement pressure from the measurement object K1 on the shaft one end 20a side of the housing portion 20, and is configured as an inner hole extending toward the shaft other end 20b side. ing. Here, the pressure introducing hole 21 is a straight hole extending from the shaft one end 20 a side to the shaft other end 20 b side of the housing portion 20.

また、シール部３０は、ハウジング部２０の軸一端２０ａ側に設けられ、測定対象物Ｋ１に押し付けられて気密に接触する部位である。具体的には、シール部３０は、ハウジング部２０の軸周りの全周に設けられたテーパ面を有して構成されるものである。 Further, the seal portion 30 is a portion that is provided on the shaft end 20a side of the housing portion 20 and is pressed against the measurement object K1 to be hermetically contacted. Specifically, the seal part 30 is configured to have a tapered surface provided on the entire circumference around the axis of the housing part 20.

このシール部３０が、測定対象物Ｋ１に押し付けられて測定対象物Ｋ１との間をシールすることにより、測定対象物Ｋ１からの測定圧力が、漏れなく圧力導入孔２１に導入されるようになっている。 The sealing portion 30 is pressed against the measurement object K1 to seal the measurement object K1, so that the measurement pressure from the measurement object K1 is introduced into the pressure introduction hole 21 without leakage. ing.

ここで、このハウジング部２０の外周面には、測定対象物Ｋ１に取り付けられる取付部としてのネジ部２２が形成されている。具体的に、測定対象物Ｋ１とは、たとえば上述のような自動車における排気系統、吸気系統、あるいはオイル系統等の各種の配管などである。 Here, on the outer peripheral surface of the housing portion 20, a screw portion 22 is formed as an attachment portion attached to the measurement object K1. Specifically, the measurement object K1 is, for example, various pipes such as an exhaust system, an intake system, or an oil system in an automobile as described above.

このような配管の管壁に対してハウジング部２０の軸一端２０ａ側を挿入し、ネジ部２２を介してネジ結合を行うことにより、圧力センサＳ１は当該配管に組み付けられる。そして、このネジ結合の軸力をシール部３０が受けて上記のシールがなされ、圧力センサＳ１は、当該配管内の圧力を測定圧力として検出するようにしている。 By inserting the shaft end 20a side of the housing part 20 into the pipe wall of such a pipe and performing screw connection via the screw part 22, the pressure sensor S1 is assembled to the pipe. Then, the sealing portion 30 receives the axial force of the screw connection, and the above-described sealing is performed, and the pressure sensor S1 detects the pressure in the pipe as the measurement pressure.

また、ダイアフラム部４０は、ハウジング部２０の軸他端２０ｂ側に設けられた薄肉部であり、圧力導入孔２１からの測定圧力を受圧して歪むものである。さらに言えば、ダイアフラム部４０は、開口部２１ａを始端とする圧力導入孔２１の終端を閉塞する薄肉部であり、ダイアフラム部４０の内表面つまりダイアフラム部４０の裏面が、圧力導入孔２１内に位置しているものである。 The diaphragm portion 40 is a thin wall portion provided on the shaft other end 20 b side of the housing portion 20, and is distorted by receiving the measurement pressure from the pressure introducing hole 21. Furthermore, the diaphragm portion 40 is a thin-walled portion that closes the end of the pressure introducing hole 21 starting from the opening portion 21 a, and the inner surface of the diaphragm portion 40, that is, the back surface of the diaphragm portion 40 is in the pressure introducing hole 21. It is what is located.

そして、図１に示されるように、ダイアフラム部４０の外表面には、ダイアフラム部４０の歪みを電気信号に変換するためのセンサチップ６０が設けられている。ここでは、センサチップ６０は、ガラス接合体６１を介して、ダイアフラム部４０の外表面に接合され、固定されている。 As shown in FIG. 1, a sensor chip 60 is provided on the outer surface of the diaphragm unit 40 to convert the distortion of the diaphragm unit 40 into an electrical signal. Here, the sensor chip 60 is bonded and fixed to the outer surface of the diaphragm portion 40 via the glass bonded body 61.

このセンサチップ６０は、この種の圧力センサにおいて圧力検出素子として適用される典型的なセンサチップである。具体的には、センサチップ６０は、たとえばシリコン基板等の半導体基板を用いて形成されており、この半導体基板の表面に図示しない歪みゲージが備えられたものとされる。このようなセンサチップ６０は、通常の半導体プロセス等により形成される。 This sensor chip 60 is a typical sensor chip applied as a pressure detection element in this type of pressure sensor. Specifically, the sensor chip 60 is formed using, for example, a semiconductor substrate such as a silicon substrate, and a strain gauge (not shown) is provided on the surface of the semiconductor substrate. Such a sensor chip 60 is formed by a normal semiconductor process or the like.

ここで、当該歪みゲージは、たとえばＰ型不純物をドーピングして形成したホイートストンブリッジ状をなすものとされる。そして、圧力導入孔２１から導入された圧力によってダイアフラム部４０が変形したときに、この変形に応じた当該歪みゲージの抵抗値変化を電気信号に変換して出力する。たとえば、このようにして、センサチップ６０は、圧力検出部として機能するようになっている。 Here, the strain gauge has a Wheatstone bridge shape formed by doping a P-type impurity, for example. And when the diaphragm part 40 deform | transforms with the pressure introduce | transduced from the pressure introduction hole 21, the resistance value change of the said strain gauge according to this deformation | transformation is converted into an electrical signal, and it outputs. For example, in this way, the sensor chip 60 functions as a pressure detection unit.

また、ガラス接合体６１は、具体的に低融点ガラスよりなるもので、ペーストやタブレットの状態で、ダイアフラム部４０とセンサチップ６０との間に介在するように配置されて、その後、焼成されることで、接合を行うようにしたものである。 The glass joined body 61 is specifically made of low-melting glass, and is disposed so as to be interposed between the diaphragm portion 40 and the sensor chip 60 in a paste or tablet state, and then fired. Thus, bonding is performed.

なお、ガラス接合体６１の外郭は、センサチップ６０と同一であってもよいが、典型的には、センサチップ６０の位置合わせ等の問題から、図１、図２に示されるように、ガラス接合体６１の外郭は、センサチップ６０の外郭よりも大きいものされる。たとえば、センサチップ６０は矩形板状であるが、ガラス接合体６１の平面形状は、センサチップ６０よりも一回り大きい矩形状とされる。 The outline of the glass bonded body 61 may be the same as that of the sensor chip 60. However, typically, due to problems such as alignment of the sensor chip 60, as shown in FIG. 1 and FIG. The outline of the joined body 61 is larger than the outline of the sensor chip 60. For example, the sensor chip 60 has a rectangular plate shape, but the planar shape of the glass bonded body 61 is a rectangular shape that is slightly larger than the sensor chip 60.

また、コネクタケース５０は、図１に示されるように、単一部品１０におけるハウジング部２０の軸他端２０ｂ側に接合されている。これにより、コネクタケース５０と単一部品１０とは一体化されている。このコネクタケース５０は、ＰＰＳ（ポリプロピレンサルファイド）やＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）などの樹脂を成形してなる。 Further, as shown in FIG. 1, the connector case 50 is joined to the shaft other end 20 b side of the housing part 20 in the single component 10. Thereby, the connector case 50 and the single component 10 are integrated. The connector case 50 is formed by molding a resin such as PPS (polypropylene sulfide) or PBT (polybutylene terephthalate).

また、コネクタケース５０は、外部との信号のやりとりを行うための金属などよりなる導電性のターミナルピン５１を有する。ここで、ターミナルピン５１は、インサート成形などによりコネクタケース５０を構成する樹脂に対して一体に固定されている。 The connector case 50 also has conductive terminal pins 51 made of metal or the like for exchanging signals with the outside. Here, the terminal pin 51 is integrally fixed to the resin constituting the connector case 50 by insert molding or the like.

ここで、コネクタケース５０の上端部（図１中の上端側）には、コネクタケース５０を図示しない外部コネクタなどの外部配線部材に接続するための第１の開口部５０ａが設けられている。 Here, a first opening 50a for connecting the connector case 50 to an external wiring member such as an external connector (not shown) is provided at the upper end portion (the upper end side in FIG. 1) of the connector case 50.

そして、ターミナルピン５１の上端部は、この第１の開口部５０ａより外部に露出しており、上記した外部配線部材に接続されることにより、圧力センサＳ１の外部に設けられている相手側の回路等へ電気的に接続されるようになっている。 And the upper end part of the terminal pin 51 is exposed outside from this 1st opening part 50a, and is connected to the above-mentioned external wiring member, By this, the other party side provided in the exterior of pressure sensor S1 It is electrically connected to a circuit or the like.

このように、コネクタケース５０は、圧力センサＳ１で検出された圧力値の信号を外部に出力するためのコネクタ、いわゆるケースプラグをなすものである。ここでは、コネクタケース５０は筒状をなすものとなっており、その下端部（図１中の下端側）が筒状のハウジング部２０に接続されている。 As described above, the connector case 50 is a connector for outputting the signal of the pressure value detected by the pressure sensor S1 to the outside, that is, a so-called case plug. Here, the connector case 50 has a cylindrical shape, and a lower end portion (a lower end side in FIG. 1) is connected to the cylindrical housing portion 20.

具体的には、図１に示されるように、ハウジング部２０は、コネクタケース５０の下端部を受ける出っ張り部分としての受け部２３を備えている。そして、コネクタケース５０の下端部は、ダイアフラム部４０を含むハウジング部２０の軸他端２０ｂ側を取り囲むように、受け部２３に取り付けられている。 Specifically, as shown in FIG. 1, the housing portion 20 includes a receiving portion 23 as a protruding portion that receives the lower end portion of the connector case 50. And the lower end part of the connector case 50 is attached to the receiving part 23 so that the shaft other end 20b side of the housing part 20 including the diaphragm part 40 may be surrounded.

そして、コネクタケース５０の下端部に対して受け部２３の一部を、かしめることで、かしめ部２３ａを形成し、これにより、コネクタケース５０と単一部品１０とが固定されている。なお、コネクタケース５０の外周部とハウジング部２０の受け部２３の内周部との間には、Ｏリング７０が配置されており、これにより、コネクタケース５０と単一部品１０との間のシールが確保されている。 And the caulking part 23a is formed by caulking a part of the receiving part 23 with respect to the lower end part of the connector case 50, whereby the connector case 50 and the single part 10 are fixed. Note that an O-ring 70 is disposed between the outer peripheral portion of the connector case 50 and the inner peripheral portion of the receiving portion 23 of the housing portion 20, and thereby, between the connector case 50 and the single component 10. The seal is secured.

ここで、図１に示されるように、単一部品１０とコネクタケース５０とで区画される空間内には、接続部材８０が設けられている。この接続部材８０は、センサチップ６０とコネクタケース５０のターミナルピン５１とを電気的に接続するための部材である。 Here, as shown in FIG. 1, a connection member 80 is provided in a space defined by the single component 10 and the connector case 50. The connection member 80 is a member for electrically connecting the sensor chip 60 and the terminal pin 51 of the connector case 50.

具体的に、接続部材８０は、リードフレーム８１と、これを封止して支持するモールド樹脂８２とよりなる。そして、接続部材８０は、センサチップ６０およびダイアフラム部４０とは干渉しない位置に設けられ、接着等により、ハウジング部２０の軸他端２０ｂ側に固定されている。 Specifically, the connection member 80 includes a lead frame 81 and a mold resin 82 that seals and supports the lead frame 81. The connection member 80 is provided at a position where it does not interfere with the sensor chip 60 and the diaphragm portion 40, and is fixed to the shaft other end 20b side of the housing portion 20 by adhesion or the like.

リードフレーム８１は、Ｃｕや４２アロイ等よりなる典型的なもので、ダイアフラム部４０およびセンサチップ６０の周囲に配置されたものである。モールド樹脂８２は、典型的なエポキシ樹脂等のモールド材料よりなる。 The lead frame 81 is typically made of Cu, 42 alloy or the like, and is disposed around the diaphragm portion 40 and the sensor chip 60. The mold resin 82 is made of a mold material such as a typical epoxy resin.

この接続部材８０において、リードフレーム８１の一部がモールド樹脂８２より露出しており、この露出部分にて、リードフレーム８１とセンサチップ６０とがワイヤ９０により結線されている。このワイヤ９０は、通常のワイヤボンディング等により形成されるもので、たとえばＡｕ、Ａｌ、Ｃｕ、Ａｇ等よりなる。 In this connection member 80, a part of the lead frame 81 is exposed from the mold resin 82, and the lead frame 81 and the sensor chip 60 are connected by a wire 90 at this exposed portion. The wire 90 is formed by ordinary wire bonding or the like, and is made of, for example, Au, Al, Cu, Ag, or the like.

また、接続部材８０においては、リードフレーム８１の一部がモールド樹脂８２より突出するアウターリード８１ａとされている。図１に示されるように、このアウターリード８１ａは、モールド樹脂８２側の根元部分で曲げられてターミナルピン５１の方向へ延びている。そして、アウターリード８１ａの先端側の部分は、ターミナルピン５１に対して溶接等によって接合されている。 In the connection member 80, a part of the lead frame 81 is an outer lead 81 a that protrudes from the mold resin 82. As shown in FIG. 1, the outer lead 81 a is bent at the base portion on the mold resin 82 side and extends in the direction of the terminal pin 51. A portion on the distal end side of the outer lead 81a is joined to the terminal pin 51 by welding or the like.

こうして、センサチップ６０は、リードフレーム８１、ターミナルピン５１を介して、外部と電気的に接続されるようになっている。そして、センサチップ６０からの電気信号は、出力信号として外部へ出力されるようになっている。 Thus, the sensor chip 60 is electrically connected to the outside via the lead frame 81 and the terminal pin 51. The electric signal from the sensor chip 60 is output to the outside as an output signal.

また、コネクタケース５０のうちアウターリード８１ａとターミナルピン５１との接合部に対応する位置には、第２の開口部５２が設けられている。ここでは、筒状のコネクタケース５０における側面部に、第２の開口部５２が設けられている。そして、アウターリード８１ａとターミナルピン５１との溶接等による接合は、この第２の開口部５２を通して行われている。 A second opening 52 is provided in the connector case 50 at a position corresponding to the joint between the outer lead 81 a and the terminal pin 51. Here, a second opening 52 is provided on a side surface of the cylindrical connector case 50. The outer lead 81 a and the terminal pin 51 are joined by welding or the like through the second opening 52.

また、コネクタケース５０には、この第２の開口部５２を被覆するように、カバー部材５３が取り付けられている。このようなカバー部材５３は、樹脂、セラミック、金属などよりなる例えば板状のものである。 A cover member 53 is attached to the connector case 50 so as to cover the second opening 52. Such a cover member 53 is, for example, a plate-shaped member made of resin, ceramic, metal, or the like.

そして、カバー部材５３は、接着や圧入、嵌合などの手法により、コネクタケース５０に固定されている。このカバー部材５３により、第２の開口部５２が閉塞され、圧力センサＳ１の内部の各部品や電気的接続部等が、湿気や機械的外力等より保護されるようになっている。 The cover member 53 is fixed to the connector case 50 by a technique such as adhesion, press fitting, or fitting. The cover member 53 closes the second opening 52 so that the components, electrical connections, and the like inside the pressure sensor S1 are protected from moisture, mechanical external force, and the like.

［単一部品および製造方法について］
このような圧力センサＳ１における単一部品１０の特徴的構成、および、圧力センサＳ１の製造方法について、さらに述べる。 [Single parts and manufacturing method]
The characteristic configuration of the single component 10 in the pressure sensor S1 and the manufacturing method of the pressure sensor S1 will be further described.

図１、図２に示されるように、本実施形態では、単一部品１０においてダイアフラム部４０とシール部３０との間のうちダイアフラム部４０寄りの部位に、くびれたくびれ部１１が設けられている。このくびれ部１１は、単一部品１０の軸方向に延びる部位のうち最小径を有するようにくびれている部位、つまり軸方向において最も細い部位である。 As shown in FIG. 1 and FIG. 2, in the present embodiment, a constricted constricted portion 11 is provided in a portion near the diaphragm portion 40 between the diaphragm portion 40 and the seal portion 30 in the single component 10. Yes. The constricted portion 11 is a portion constricted to have the smallest diameter among the portions extending in the axial direction of the single component 10, that is, the narrowest portion in the axial direction.

このようなくびれ部１１は、たとえば切削や鍛造等により形成される。こうして、単一部品１０は、凹みとしてのくびれ部１１、凸部としての受け部２３および内孔としての圧力導入孔２１を有する段付き円筒状の部材として構成されている。 Such a neck portion 11 is formed by, for example, cutting or forging. Thus, the single component 10 is configured as a stepped cylindrical member having a constricted portion 11 as a recess, a receiving portion 23 as a convex portion, and a pressure introducing hole 21 as an inner hole.

ここで、図１の例では、外部との信号のやりとりを行うためのターミナルピン５１を有するコネクタケース５０を備え、このコネクタケース５０は、単一部品１０におけるハウジング部２０に接合されてハウジング部２０と一体化されている。そして、くびれ部１１は、ハウジング部２０において、コネクタケース５０との接合部位である受け部２３よりもダイアフラム部４０寄りの部位に設けられている。 Here, in the example of FIG. 1, a connector case 50 having terminal pins 51 for exchanging signals with the outside is provided, and the connector case 50 is joined to the housing part 20 in the single component 10 to be connected to the housing part. 20 is integrated. The constricted portion 11 is provided in a portion of the housing portion 20 that is closer to the diaphragm portion 40 than the receiving portion 23 that is a joint portion with the connector case 50.

かかる本実施形態の圧力センサＳ１の製造方法について述べると、まず、鍛造や切削により、ハウジング部２０、シール部３０およびダイアフラム部４０が一体化され、くびれ部１１を有する単一部品１０を形成する。 The manufacturing method of the pressure sensor S1 of this embodiment will be described. First, the housing part 20, the seal part 30, and the diaphragm part 40 are integrated by forging or cutting to form the single part 10 having the constricted part 11. .

その後は、このできあがった単一部品１０において、ガラス接合体６１を介してセンサチップ６０の接合、固定を行い、さらに、接続部材８０を接着等により固定する。その後、ワイヤボンディング等を行うことにより、センサチップ６０を、接続部材８０のリードフレーム８１に接続する。 Thereafter, in the single component 10 thus completed, the sensor chip 60 is bonded and fixed via the glass bonded body 61, and the connecting member 80 is fixed by adhesion or the like. Thereafter, the sensor chip 60 is connected to the lead frame 81 of the connection member 80 by performing wire bonding or the like.

次に、単一部品１０とコネクタケース５０とをＯリング７０を介して組み付け、かしめ固定する。そして、コネクタケース５０の第２の開口部５２を介して、ターミナルピン５１とアウターリード８１ａとを溶接し、接続する。その後は、コネクタケース５０の第２の開口部５２にカバー部材５３を取り付ける。 Next, the single component 10 and the connector case 50 are assembled via an O-ring 70 and fixed by caulking. Then, the terminal pin 51 and the outer lead 81a are welded and connected through the second opening 52 of the connector case 50. Thereafter, the cover member 53 is attached to the second opening 52 of the connector case 50.

こうして、本実施形態の圧力センサＳ１ができあがる。このできあがった圧力センサＳ１は、上述のように、測定対象物Ｋ１に対してネジ部２２を介してネジ結合することにより組み付けられる。 Thus, the pressure sensor S1 of this embodiment is completed. As described above, the completed pressure sensor S1 is assembled by screw coupling to the measurement object K1 via the screw portion 22.

ところで、本実施形態の圧力センサＳ１によれば、単一部品１０におけるダイアフラム部４０寄りの部位に、単一部品１０のなかでも最小径部であるくびれ部１１を設けたものとしている。 By the way, according to the pressure sensor S <b> 1 of the present embodiment, the constricted portion 11, which is the smallest diameter portion of the single component 10, is provided in a portion near the diaphragm portion 40 in the single component 10.

こうすることで、本実施形態では、ガラス接合体６１の焼成時の放熱（冷却）を、センサチップ搭載面であるダイアフラム部４０の外表面側だけでなく、ダイアフラム部４０の外表面とは反対側にて、くびれ部１１の外表面からも行うことができる。そのため、本実施形態によれば、ガラス接合体６１の放熱性向上が図れ、ガラス接合体６１の残留応力を低減することができ、センサ精度の向上が図れる。 By doing so, in the present embodiment, the heat dissipation (cooling) at the time of firing the glass bonded body 61 is not only on the outer surface side of the diaphragm portion 40 which is the sensor chip mounting surface but also on the outer surface of the diaphragm portion 40. On the side, it can also be carried out from the outer surface of the constricted part 11. Therefore, according to this embodiment, the heat dissipation of the glass joined body 61 can be improved, the residual stress of the glass joined body 61 can be reduced, and the sensor accuracy can be improved.

また、本実施形態によれば、単一部品１０におけるダイアフラム部４０とシール部３０との間、すなわちハウジング部２０に、くびれ部１１を設けているので、測定対象物Ｋ１に圧力センサＳ１を取り付けたときにハウジング部２０に発生する歪みを、くびれ部１１で吸収することが可能となる。 Moreover, according to this embodiment, since the constriction part 11 is provided between the diaphragm part 40 and the seal | sticker part 30 in the single component 10, ie, the housing part 20, the pressure sensor S1 is attached to the measuring object K1. It is possible for the constricted portion 11 to absorb the distortion generated in the housing portion 20 when it is broken.

つまり、圧力センサＳ１の取り付け時には、上記の歪み応力は、ハウジング部２０をシール部３０側からダイアフラム部４０側へ伝わるが、この応力はくびれ部１１で妨げられる。このように、本実施形態によれば、くびれ部１１をダイアフラム部４０寄りに設けることで、くびれ部１１は、チップ接合時における放熱性向上と、センサ取り付け時におけるハウジング部２０の歪み抑制との両効果を発揮する。 That is, when the pressure sensor S <b> 1 is attached, the strain stress is transmitted from the seal portion 30 side to the diaphragm portion 40 side, but this stress is prevented by the constricted portion 11. As described above, according to the present embodiment, by providing the constricted portion 11 closer to the diaphragm portion 40, the constricted portion 11 can improve heat dissipation during chip bonding and suppress distortion of the housing portion 20 during sensor attachment. Exhibits both effects.

よって、本実施形態によれば、ガラス接合体６１を介してセンサチップ６０をダイアフラム部４０に接合した際の残留応力を低減してセンサ精度の向上を図れるとともに、圧力センサＳ１を測定対象物Ｋ１に組み付けた際のハウジング部２０の歪み抑制を図ることが可能となる。 Therefore, according to this embodiment, the residual stress when the sensor chip 60 is bonded to the diaphragm portion 40 via the glass bonded body 61 can be reduced to improve the sensor accuracy, and the pressure sensor S1 can be measured with the measurement object K1. It is possible to suppress distortion of the housing portion 20 when assembled to the housing.

また、本実施形態では、図２に示されるように、くびれ部１１の径Ｄ１は、ガラス接合体６１の径Ｄ２よりも小さいものとされることが望ましい。ここで、ガラス接合体６１の径Ｄ２とは、ガラス接合体６１が平面円形ではなく平面矩形あるいは平面多角形の場合には、ガラス接合体６１の幅寸法に相当するものである。 In the present embodiment, as shown in FIG. 2, it is desirable that the diameter D1 of the constricted portion 11 is smaller than the diameter D2 of the glass joined body 61. Here, the diameter D2 of the glass joined body 61 corresponds to the width dimension of the glass joined body 61 when the glass joined body 61 is not a plane circle but a plane rectangle or a plane polygon.

なお、くびれ部１１の径Ｄ１が、単一部品１０のうちの最小径であるならば、くびれ部１１の径Ｄ１が、ガラス接合体の径Ｄ２と同等かそれ以上のものである構成を採用してもよい。 In addition, if the diameter D1 of the constricted portion 11 is the minimum diameter of the single parts 10, a configuration in which the diameter D1 of the constricted portion 11 is equal to or larger than the diameter D2 of the glass joined body is adopted. May be.

しかし、くびれ部１１の径Ｄ１を、ガラス接合体６１の径Ｄ２よりも小さいものとすれば、図２に示されるように、ガラス接合体６１の周辺部の直下にくびれ部１１による空間が存在する。そのため、その空間に面するくびれ部１１の外表面から、ガラス接合体６１の焼成および冷却時の放熱がなされることになり、くびれ部１１側からの放熱性の更なる向上が期待できる。 However, if the diameter D1 of the constricted portion 11 is smaller than the diameter D2 of the glass joined body 61, a space due to the constricted portion 11 exists immediately below the peripheral portion of the glass joined body 61 as shown in FIG. To do. For this reason, heat dissipation during firing and cooling of the glass bonded body 61 is performed from the outer surface of the constricted portion 11 facing the space, and further improvement in heat dissipation from the constricted portion 11 side can be expected.

（第２実施形態）
本発明の第２実施形態にかかる圧力センサについて、図３を参照して、上記第１実施形態との相違点を中心に述べることとする。図３において（ａ）は本実施形態の第１の例、（ｂ）は本実施形態の第２の例、（ｃ）は本実施形態の第３の例を示す。 (Second Embodiment)
The pressure sensor according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 3, focusing on the differences from the first embodiment. 3A shows a first example of this embodiment, FIG. 3B shows a second example of this embodiment, and FIG. 3C shows a third example of this embodiment.

図３に示されるように、本実施形態では、くびれ部１１の外表面に、凹凸１１ａが形成された構成としている。ここで、図３（ａ）に示される第１の例では、くびれ部１１における径方向に延びる外表面のうちダイアフラム部４０寄りの外表面に、凹凸１１ａが形成されている。 As shown in FIG. 3, in the present embodiment, the concavities and convexities 11 a are formed on the outer surface of the constricted portion 11. Here, in the first example shown in FIG. 3A, the unevenness 11 a is formed on the outer surface near the diaphragm portion 40 among the outer surfaces extending in the radial direction in the constricted portion 11.

また、図３（ｂ）に示される第２の例では、くびれ部１１における径方向に延びる外表面のうちダイアフラム部４０とは反対側に寄った外表面に、凹凸１１ａが形成されている。また、図３（ｃ）に示される第３の例では、くびれ部１１における軸方向に延びる外表面に、凹凸１１ａが形成されている。 Further, in the second example shown in FIG. 3B, the unevenness 11 a is formed on the outer surface of the constricted portion 11 that extends in the radial direction and that is on the opposite side of the diaphragm portion 40. Moreover, in the 3rd example shown by FIG.3 (c), the unevenness | corrugation 11a is formed in the outer surface extended in the axial direction in the constriction part 11. FIG.

凹凸１１ａが形成されるくびれ部１１の外表面としては、上記した第１〜第３の各例のいずれであってもよい。更には、第１〜第３の各例の面のすべて、あるいは、いずれか２個に、凹凸１１ａが形成されたものであってもよい。このような凹凸１１ａは、たとえば切削により形成される。そして、本実施形態によれば、凹凸１１ａにより、くびれ部１１の外表面の面積が増加するため、さらなる放熱性の向上が期待できる。 The outer surface of the constricted part 11 where the irregularities 11a are formed may be any of the first to third examples described above. Further, the unevenness 11a may be formed on all or any two of the surfaces of the first to third examples. Such irregularities 11a are formed by cutting, for example. And according to this embodiment, since the area of the outer surface of the constriction part 11 increases by the unevenness | corrugation 11a, the further improvement of heat dissipation can be anticipated.

（他の実施形態）
なお、上記図１では、くびれ部１１は、ハウジング部２０において、コネクタケース５０との接合部位である受け部２３よりもダイアフラム部４０寄りの部位に設けられていた。しかし、くびれ部１１は、単一部品１０のうちシール部３０よりもダイアフラム部４０に寄った部位に設けられていればよい。 (Other embodiments)
In FIG. 1, the constricted part 11 is provided in a part of the housing part 20 closer to the diaphragm part 40 than the receiving part 23 that is a joint part with the connector case 50. However, the constricted portion 11 only needs to be provided in a portion of the single component 10 that is closer to the diaphragm portion 40 than the seal portion 30.

ただし、上記した、くびれ部１１によるガラス接合体６１の放熱性向上効果を考慮すれば、単一部品１０においてダイアフラム部４０とくびれ部１１との間には、たとえば上記した受け部２３のようなダイアフラム部４０よりも径の大きい部位が存在しないことが望ましい。 However, in consideration of the effect of improving the heat dissipation of the glass joined body 61 by the constricted portion 11 described above, between the diaphragm portion 40 and the constricted portion 11 in the single component 10, for example, the receiving portion 23 described above. It is desirable that there is no portion having a diameter larger than that of the diaphragm portion 40.

また、上記した各実施形態では、ハウジング部２０は、測定対象物Ｋ１とネジ結合されるネジ部２２を備え、シール部３０は、ハウジング部２０と測定対象物Ｋ１とをネジ結合するときにハウジング部２０に発生する軸力によりシールが行われるものであった。これに対して、ハウジング部２０における取付部としては、たとえば圧入される部分としてもよい。 In each of the above-described embodiments, the housing portion 20 includes the screw portion 22 that is screw-coupled to the measurement object K1, and the seal portion 30 is a housing that is screw-coupled between the housing portion 20 and the measurement object K1. Sealing is performed by the axial force generated in the portion 20. On the other hand, as an attachment part in the housing part 20, it is good also as a part press-fit, for example.

また、上記した各実施形態では、圧力導入孔２１は、ハウジング部２０の軸一端２０ａ側から軸他端２０ｂ側へのびるストレートな孔であったが、圧力導入孔２１としては、鍛造による孔開け加工等で形成できるものならば、カーブしている孔であってもよい。 Further, in each of the above-described embodiments, the pressure introduction hole 21 is a straight hole extending from the shaft one end 20a side to the shaft other end 20b side. A curved hole may be used as long as it can be formed by processing or the like.

また、圧力センサとしては、単一部品１０およびセンサチップ６０を備えるものであればよく、圧力センサと外部との信号のやり取りを行う機能を持つものとしては、上記したコネクタケース５０や接続部材８０に限定するものではない。 The pressure sensor only needs to include the single component 10 and the sensor chip 60, and those having the function of exchanging signals between the pressure sensor and the outside include the connector case 50 and the connecting member 80 described above. It is not limited to.

また、上記した圧力センサＳ１は、自動車用の各種の測定圧力を検出するものに限定されるものではなく、測定対象物Ｋ１としては自動車以外のものであってもよいことは、もちろんである。 Further, the pressure sensor S1 described above is not limited to one that detects various measurement pressures for automobiles, and it is needless to say that the measurement object K1 may be other than an automobile.

また、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能であり、また、上記各実施形態は、上記の図示例に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。また、上記各実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その形状、位置関係等に限定されるものではない。 Further, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately changed within the scope described in the claims. The above embodiments are not irrelevant to each other, and can be combined as appropriate unless the combination is clearly impossible, and the above embodiments are not limited to the illustrated examples. Absent. In each of the above-described embodiments, it is needless to say that elements constituting the embodiment are not necessarily essential unless explicitly stated as essential and clearly considered essential in principle. Yes. Further, in each of the above embodiments, when numerical values such as the number, numerical value, quantity, range, etc. of the constituent elements of the embodiment are mentioned, it is clearly limited to a specific number when clearly indicated as essential and in principle. The number is not limited to the specific number except for the case. Further, in each of the above embodiments, when referring to the shape, positional relationship, etc. of the component, etc., the shape, unless otherwise specified and in principle limited to a specific shape, positional relationship, etc. It is not limited to the positional relationship or the like.

１０単一部品
１１くびれ部
２０ハウジング部
２０ａハウジング部の軸一端
２０ｂハウジング部の軸他端
２１ａ圧力導入孔の開口部
２１圧力導入孔
３０シール部
４０ダイアフラム部
６０センサチップ
６１ガラス接合体
Ｄ１くびれ部の径
Ｄ２ガラス接合体の径
Ｋ１測定対象物 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Single part 11 Constriction part 20 Housing part 20a One end of shaft of housing part 20b Other end of shaft of housing part 21a Opening part of pressure introduction hole 21 Pressure introduction hole 30 Seal part 40 Diaphragm part 60 Sensor chip 61 Glass joined body D1 Constriction part Diameter D2 Glass bonded body diameter K1 Object to be measured

Claims

A hollow cylindrical member attached to the measurement object (K1), and having an opening (21a) for introducing measurement pressure from the measurement object on one end (20a) side in the axial direction of the member A housing part (20) having a pressure introducing hole (21) as an inner hole extending toward the other end (20b) in the axial direction of the member;
A seal portion (30) provided on one end side in the axial direction of the housing portion and pressed and sealed against the measurement object;
A diaphragm portion (40) provided on the other end side in the axial direction of the housing and receiving and distorting the measurement pressure from the pressure introduction hole;
A sensor chip (60) provided on the outer surface of the diaphragm part for converting the distortion of the diaphragm part into an electrical signal;
A glass joined body (61) made of glass which is provided between the outer surface of the diaphragm part and the sensor chip and which joins the diaphragm part and the sensor chip;
The housing part, the seal part, and the diaphragm part are pressure sensors configured as a single part (10) made of metal,
In the single component, a constricted portion (11) is provided at a portion near the diaphragm portion between the diaphragm portion and the seal portion so as to have a minimum diameter in the axial direction of the single component. It is and,
The diameter (D1) of the said constriction part is smaller than the diameter (D2) of the said glass joined body, The pressure sensor characterized by the above-mentioned .

The pressure sensor according to claim 1 , wherein the outer surface of the constricted portion is formed with irregularities (11a).

The housing part includes a screw part (22) screwed to the measurement object,
The said sealing part is what the said sealing is performed by the axial force which generate | occur | produces in the said housing part when the said housing part and the said measurement object are screw-coupled, The Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned. Pressure sensor.

The pressure introducing hole, the pressure sensor according to any one of claims 1 to 3, characterized in that from one end of the housing portion is a straight hole extending to the other end side.

The pressure sensor according to any one of claims 1 to 4 , wherein the single component is made of an iron-based metal.

A connector case (50) having terminal pins (51) for exchanging signals with the outside;
The connector case is joined to the housing part in the single part and integrated with the housing part,
The pressure sensor according to any one of claims 1 to 5 , wherein the constricted portion is provided in a portion of the housing portion that is closer to the diaphragm portion than a portion that is joined to the connector case.