JP5649426B2 - スパッタリング装置及びスパッタリング成膜方法並びにスパッタリング装置の電源制御方法 - Google Patents
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Description
スパッタリング装置はカソードを複数備えるマルチカソードタイプの装置であり、真空容器2の天井部3に二つのターゲット4,5が設けられている。これらのターゲット4,5は、天井部3において傾斜した状態で取り付けられている。成膜チャンバ1の底面部の中央には、回転駆動機構6によって回転自在に設けられた基板ホルダ7が配置され、基板ホルダ7上には基板10が水平状態を保って搭載されている。成膜時には基板10は基板ホルダ7の回転に伴い回転される。
DC電源12の設定値を高精度で指定するために、DC電源制御部15はPLCを用いたシリアル通信でDC電源12の制御を行っている。DC電源制御部15は、シリアル通信でDC電源12から電源状態を読み出している。この電源状態の読出しは、電源状態読出しコマンド(電源状態読出しの信号:PS Status Read Command)として常時に繰り返し実行(所定時間サイクル処理)されている。なお、本実施形態における電源状態読出しコマンド処理の読み出しサイクルは50〜200ms程度である。
シャッタ開からの電源電圧印加停止要求までの時間(C)は、DC電源制御部15に内蔵されているタイマーによって高精度に管理されている。そして、時間(C)が経過するタイミングから1回分の読み出しサイクルに相当する時間を減算したタイミングで、電源状態読出しコマンド処理の実行を停止させる(PS Status Read Stop)。
電源状態の読出し処理の停止(PS Status Read Stop)は、PLC内部(DC電源制御部15)でDC電源12との通信停止フラグをONさせて、通信停止フラグがONの間は各種の処理命令送信を実行しないようにされている。
2,102 容器
3,103 天井部
4,5,104,105 ターゲット
6,106 回転駆動機構
7,107 基板ホルダ
8 排気ポート
9 排気装置
10 基板
11 ガス供給部
12,112 DC電源
13 磁石ユニット
14 シャッタ機構
15,115 DC電源制御部
21 回転角度検出部
22 シャッタ機構・回転駆動機構制御部
23 開閉駆動部
Claims (5)
- 所定時間サイクルでカソード部に電力供給を行う電源の状態の読み出し処理を行う電源状態読み出し信号と、所定のタイミングで前記カソード部への電力供給を停止する処理を行う電力印加停止信号とを前記電源に対してシリアル通信によって送信する機能を有する電源制御部を備えて構成されているスパッタリング装置であって、
前記電源制御部は、前記電源状態読出しの信号の送信を停止させる読出し停止処理を行って前記電源の状態の読み出し処理を停止させた後に、前記電力印加停止信号を送信することを特徴とするスパッタリング装置。 - 前記読出し停止処理は、前記カソード部への電力供給が停止される所定のタイミングから、前記電源の状態の読み出し処理が1サイクル行われる時間を減算したタイミングで行われることを特徴とする請求項1に記載のスパッタリング装置。
- 請求項1又は2に記載のスパッタリング装置を用いてスパッタリング成膜処理が行われることを特徴とするスパッタリング成膜方法。
- 所定時間サイクルでカソード部に電力供給を行う電源の状態の読み出し処理を行う電源状態読み出し信号と、所定のタイミングで前記カソード部への電力供給を停止させる処理を行う電力印加停止信号とを前記電源に対してシリアル通信によって送信する機能を有するスパッタリング装置の電源制御方法であって、
前記電源状態読み出し信号の送信を停止させる読出し停止処理を行って前記電源の状態の読み出し処理を停止させた後に、前記電力印加停止信号を送信する処理を行うことを特徴とするスパッタリング装置の電源制御方法。 - 前記読出し停止処理は、前記カソード部への電力供給が停止される所定のタイミングから前記電源の状態の読み出し処理が1サイクル行われる時間を減算したタイミングで行われることを特徴とする請求項4に記載のスパッタリング装置の電源制御方法。
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