JP5631204B2 - ホットフィルム式エアフローメータ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、流体媒体、特に、流れ管路を流過する流体媒体の少なくとも1つのパラメータを測定するための公知の装置から出発しており、このような装置は種々様々な技術分野において公知である。例えば方法技術、又は化学、又は機械の分野における多くのプロセスでは、流体媒体を規定の通り、特に所定の特性(例えば温度、圧力、流れ速度、質量流等)をもったガス質量(例えば空気質量)が供給されなければならない。このようなことは特に、制御された条件下で経過する燃焼プロセスがあげられる。
従って、流体媒体の少なくとも1つのパラメータを検出するための装置が提案されるが、この装置は例えば、内燃機関の吸気質量を検出するための装置である。有利には、この装置は、ホットフィルム式エアフローメータである。さらに、このような形式の装置を製造するための方法、特に本発明の装置の特徴を有した装置を製造するための方法が提案される。
図1には、主流方向で流れる流体媒体のパラメータを検出するための装置110の例が示されている。この実施例では、この装置110は、以下の実施例の通り(発明の保護範囲を限定するものではないが)、ホットフィルム式エアフローメータ112であり、内燃機関(図1には図示されていない)の吸気管114に装着されている。このような形式のホットフィルム式エアフローメータ112は市販されており、例えばドイツ連邦共和国特許出願公開第10246069号明細書、ドイツ連邦共和国特許出願公開第10348400号明細書に開示されている。
Claims (10)
- 流体媒体の少なくとも1つのパラメータ、特に内燃機関の吸気質量を検出するための装置(110,112)であって、前記パラメータを測定するためのセンサチップ(148)と、回路支持体(160)を備えた制御電子機器及び評価電子機器(156)とを有しており、センサチップ(148)が、流体媒体内に配置可能なチップ支持体(146)上に配置されている形式のものにおいて、
チップ支持体(146)が、回路支持体(160)に一体的に形成された回路支持体(160)の突出部(166)を有しており、センサチップ(148)が前記突出部(166)に位置固定されており、
チップ支持体(146)がさらにフレーム(170)を有しており、該フレーム(170)が前記突出部(166)上に取り付けられていて、センサチップ(148)を少なくとも部分的に取り囲んでおり、
前記突出部(166)と前記センサチップ(148)と前記フレーム(170)の各表面によって平らな表面を有するセンサエレメント(150)を形成していることを特徴とする、流体媒体の少なくとも1つのパラメータを検出するための装置(110,112)。 - センサチップ(148)の突出部(166)への位置固定が、少なくとも1つの以下の位置固定法により行われる、即ち、材料接続的な位置固定、特に接着、特に、接着シート(168)又は硬化可能な接着剤による接着、摩擦接続的な位置固定、形状接続的な位置固定により行われる、請求項1記載の装置(110,112)。
- フレーム(170)が少なくとも1つの以下の位置固定法により前記突出部(166)に結合されている、即ち、材料接続的な位置固定、特に接着、特に接着シート(168)又は硬化可能な接着剤による接着、摩擦接続的な位置固定、形状接続的な位置固定により結合されている、請求項1又は2記載の装置(110,112)。
- フレーム(170)が切欠(172)を有しており、該切欠(172)にセンサチップ(148)が嵌め込まれている、請求項1から3までのいずれか1項記載の装置(110,112)。
- フレーム(170)が付加的に流れガイドエレメント(178)を有しており、特に、丸く面取りされた流れ当接突起(180)を有しており、該流れ当接突起は、突出部(166)を流れ当接側で少なくとも部分的に取り囲むために形成されている、請求項1から4までのいずれか1項記載の装置(110,112)。
- 流体媒体の少なくとも1つのパラメータ、特に内燃機関の吸気質量を検出するための装置(110,112)を製造するための方法であって、
回路支持体(160)に一体的に形成された突出部(166)を有する回路支持体(160)を備えた制御電子機器及び評価電子機器(156)を使用し、
前記突出部(166)上に、センサチップ(148)を少なくとも部分的に取り囲むフレーム(170)を設けるステップと、
前記突出部(166)上にセンサチップ(148)を設けるステップと、
前記突出部(166)と前記センサチップ(148)と前記フレーム(170)の各表面によって平らな表面を有するセンサエレメント(150)を形成するステップと、
を有していることを特徴とする、流体媒体の少なくとも1つのパラメータを検出するための装置(110,112)を製造するための方法。 - センサチップ(148)の取り付け前にフレーム(170)を取り付ける、請求項6記載の方法。
- センサチップ(148)の取り付け後にフレーム(170)を取り付ける、請求項6記載の方法。
- まず、接着層、特に接着シート(168)を突出部(166)上に取り付け、次いでフレーム(170)とセンサチップ(148)とを接着層上に取り付ける、請求項6から8までのいずれか1項記載の方法。
- 少なくとも1つの取り付けステップのためにピック・アンド・プレイス法を使用する、請求項6から9までのいずれか1項記載の方法。
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