JP5625270B2 - Organic diodes, organic rectifiers and non-contact information media - Google Patents
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Description
本発明は、有機ダイオード、特に積層型の有機ダイオードと、これを用いた有機整流器および非接触型情報媒体に関する。 The present invention relates to an organic diode, in particular, a stacked organic diode, an organic rectifier using the organic diode, and a non-contact information medium.
一般にダイオードはシリコン等の無機半導体材料を用いたpn接合型と、p型あるいはn型の無機半導体材料を用いたショットキー型が用いられてきたが、近年、有機半導体を半導体層に用いた有機ダイオードの開発が進んでいる。有機ダイオードは、無機半導体材料を用いた無機ダイオード製造のような大掛かりな製造装置が不要であり、製造コストが低いという利点がある。また、プロセス温度が低いため、フィルム基板等への作製が容易であるという利点もある。そのため、非接触ICカードや識別タグ、製品タグ等のRFID(Radio Frequency Identification)タグ等の非接触型情報媒体にも有機ダイオードの使用が検討されている(特許文献1)。 In general, a pn junction type using an inorganic semiconductor material such as silicon and a Schottky type using a p-type or n-type inorganic semiconductor material have been used as a diode. Recently, an organic semiconductor using an organic semiconductor as a semiconductor layer is used. Diode development is progressing. Organic diodes do not require a large-scale manufacturing apparatus such as inorganic diode manufacturing using an inorganic semiconductor material, and have the advantage of low manufacturing costs. Moreover, since process temperature is low, there exists an advantage that preparation to a film substrate etc. is easy. For this reason, the use of organic diodes is also being studied for non-contact information media such as RFID (Radio Frequency Identification) tags such as non-contact IC cards, identification tags, and product tags (Patent Document 1).
非接触型情報媒体を用いたシステムでは、リーダ/ライタにて、所定周波数の搬送波を所望のデータ列により変調して送信信号を生成し、この送信信号を非接触型情報媒体に送出している。一方、非接触型情報媒体は、アンテナからの13.56MHzの高周波信号から、ダイオードとコンデンサからなる整流回路を介してデータと電力を取り出し、送信時には、ダイオードとコンデンサ、アンテナを含む回路のインピーダンスを変化させてデータをリーダ/ライタに送信している。
有機ダイオードには、FET(Field Effect Transistor)構造を用いてソース電極とゲート電極を短絡させたFET型と、有機薄膜を2枚の電極で挟持した積層型とがある。有機半導体は無機半導体に比べて移動度が低いため、10μm程度のチャネル長を有するFET型では13.56MHzの高周波で動作させるのは困難である。一方、積層型の有機ダイオードはキャリア移動距離が0.1μm程度であり、移動度が低い有機材料でも13.56MHZの高周波で動作させることが可能となる(非特許文献1)。
In a system using a non-contact type information medium, a reader / writer modulates a carrier wave of a predetermined frequency with a desired data string to generate a transmission signal, and sends the transmission signal to the non-contact type information medium. . On the other hand, a non-contact type information medium extracts data and power from a high frequency signal of 13.56 MHz from an antenna through a rectifier circuit composed of a diode and a capacitor, and at the time of transmission, the impedance of the circuit including the diode, the capacitor and the antenna is obtained. The data is transmitted to the reader / writer with changes.
Organic diodes are classified into an FET type in which a source electrode and a gate electrode are short-circuited using an FET (Field Effect Transistor) structure, and a laminated type in which an organic thin film is sandwiched between two electrodes. Since organic semiconductors have lower mobility than inorganic semiconductors, it is difficult to operate at a high frequency of 13.56 MHz in an FET type having a channel length of about 10 μm. On the other hand, the stacked organic diode has a carrier movement distance of about 0.1 μm, and even an organic material with low mobility can be operated at a high frequency of 13.56 MHZ (Non-patent Document 1).
しかし、一方で、積層型の有機ダイオードを13.56MHzの高周波数で動作させる場合、素子の寄生容量に由来する変位電位が整流特性を低下させるため、変位電流よりも十分に大きな電流密度が必要となる。一般的に有機薄膜に高い電流密度の電流を流すと、発熱の影響で熱による有機ダイオードの性能低下(経時的な電流の減少が大きくなったり、有機薄膜を挟持する上下の電極に短絡が発生して逆バイアス印加時の漏れ電流が大きくなって整流比が小さくなる)が生じるという問題があった。この問題は樹脂フィルム等の熱伝導率の悪い基板を用いた場合に顕著である。また、このような問題はダイオードの電極面積が大きくなると顕著になるため、従来の積層型の有機ダイオードでは、電極面積を小さくすることで発熱を抑制し、電流密度を高めることが行われていたが、電極面積を小さくした結果、高抵抗なデバイスとなることが多かった。 However, on the other hand, when a stacked organic diode is operated at a high frequency of 13.56 MHz, the displacement potential derived from the parasitic capacitance of the element lowers the rectification characteristics, so that a current density sufficiently larger than the displacement current is required. It becomes. Generally, when a current with high current density is passed through an organic thin film, the performance of the organic diode deteriorates due to heat (current decrease over time increases or a short circuit occurs between the upper and lower electrodes that sandwich the organic thin film) As a result, the leakage current during reverse bias application increases and the rectification ratio decreases). This problem is remarkable when a substrate having poor thermal conductivity such as a resin film is used. In addition, since such a problem becomes prominent when the electrode area of the diode increases, in the conventional stacked organic diode, heat generation is suppressed and current density is increased by reducing the electrode area. However, as a result of reducing the electrode area, the device often has a high resistance.
一方、ICや有機発光ダイオード等の駆動素子を備えた非接触型情報媒体では、これらを動作させ、かつ、通信性能に悪影響を与えないだけの電圧が必要となるが、従来の有機ダイオードを用いた整流回路では、特に負荷抵抗が小さい場合、高周波信号から十分な電圧を取り出すことができないという問題があった。
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、発熱を抑制することで低抵抗化した有機ダイオードと、それを用いた高い直流電圧の供給が可能な有機整流器と、信頼性の高い非接触型情報媒体を提供することを目的とする。
On the other hand, in a non-contact type information medium having a driving element such as an IC or an organic light emitting diode, a voltage sufficient to operate these and do not adversely affect communication performance is required. However, the rectifier circuit has a problem that a sufficient voltage cannot be extracted from the high-frequency signal, particularly when the load resistance is small.
The present invention has been made in view of such circumstances, an organic diode whose resistance is reduced by suppressing heat generation, an organic rectifier capable of supplying a high DC voltage using the organic diode, and a reliable An object is to provide a high non-contact information medium.
このような目的を達成するために、本発明の有機ダイオードは、ホール輸送層あるいは電子輸送層としての有機半導体層と、該有機半導体層を挟持するように配設された1対の電極とを備え、高周波信号を整流する有機ダイオードにおいて、前記電極の少なくとも一方の電極は、開口径が10μm〜1mmの範囲である複数の円形の開口をピッチ10μm〜5mmの範囲で有するメッシュ形状、および、幅10μm〜1mmの範囲の電極材料がハニカム形状に形成され、開口長が10〜5mmの範囲である複数の六角形の開口を有するメッシュ形状のいずれかの形状のパターン電極であるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記電極の一方が前記パターン電極であり、電極形成領域に占める前記パターン電極の面積占有率は30〜70%の範囲であるような構成とした。
本発明の他の態様として、1対の前記電極が共に前記パターン電極であり、電極形成領域に占める各パターン電極の面積占有率は20〜80%の範囲であるような構成とした。
In order to achieve such an object, an organic diode of the present invention comprises an organic semiconductor layer as a hole transport layer or an electron transport layer, and a pair of electrodes arranged so as to sandwich the organic semiconductor layer. In the organic diode for rectifying a high-frequency signal, at least one of the electrodes has a mesh shape having a plurality of circular openings having an opening diameter in a range of 10 μm to 1 mm in a range of 10 μm to 5 mm, and a width The electrode material in the range of 10 μm to 1 mm is formed in a honeycomb shape, and is configured to be a pattern electrode in any shape of a mesh shape having a plurality of hexagonal openings having an opening length in the range of 10 to 5 mm. .
As another aspect of the present invention, one of the electrodes is the pattern electrode, and the area occupation rate of the pattern electrode in the electrode formation region is in the range of 30 to 70%.
As another aspect of the present invention, the pair of electrodes are both the pattern electrodes, and the area occupation ratio of each pattern electrode in the electrode formation region is in the range of 20 to 80%.
本発明の有機整流器は、上述のいずれかの有機ダイオードを少なくとも1個備えるような構成とした。 The organic rectifier of the present invention is configured to include at least one of the organic diodes described above.
本発明の非接触型情報媒体は、高周波信号を受信して増幅するための共振回路と、該共振回路で増幅された高周波信号を整流する整流回路と、該整流回路で得られる電圧によって駆動素子を駆動させる負荷回路と、を少なくとも有し、前記整流回路は上述のいずれかの有機ダイオードを少なくとも1個有するような構成とした。 A non-contact information medium according to the present invention includes a resonance circuit for receiving and amplifying a high-frequency signal, a rectifier circuit for rectifying the high-frequency signal amplified by the resonance circuit, and a drive element based on a voltage obtained by the rectification circuit At least one of the organic diodes described above.
本発明の有機ダイオードは、有機半導体層を挟持するように配設された1対の電極の少なくとも一方が、複数の開口を有するメッシュ形状および複数のストライプ状電極を平行に有するストライプ形状のいずれかの形状を有するパターン電極であるため、単位面積あたりの発熱が小さく、高い電流密度で、かつ、大面積のデバイスが作製でき、そのため、低抵抗で優れた整流特性を有する。
また、本発明の有機ダイオードを少なくとも1個備える本発明の有機整流器は、高周波信号から高い直流電圧を取り出すことができる。
さらに、整流回路に本発明の有機ダイオードを少なくとも1個備える本発明の非接触型情報媒体は、受信した高周波信号から高い直流電圧を取り出し、駆動素子を安定して駆動させることができ、信頼性の高いものである。
In the organic diode of the present invention, at least one of the pair of electrodes arranged so as to sandwich the organic semiconductor layer is either a mesh shape having a plurality of openings or a stripe shape having a plurality of stripe electrodes in parallel. Therefore, a device having a large area can be manufactured with a small current generation, a high current density, and a low resistance and excellent rectifying characteristics.
Moreover, the organic rectifier of the present invention including at least one organic diode of the present invention can extract a high DC voltage from a high-frequency signal.
Furthermore, the non-contact type information medium of the present invention having at least one organic diode of the present invention in the rectifier circuit can extract a high DC voltage from the received high-frequency signal and drive the driving element stably, and is reliable. Is high.
次に、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。
[有機ダイオード]
図1は、本発明の有機ダイオードの一実施形態を示す概略構成図である。図1において、有機ダイオード1は、有機半導体層2と、この有機半導体層2を挟持するように配設された1対の電極3,4とを備えている。そして、本発明では、電極3,4の少なくとも一方の電極が、複数の開口を有するメッシュ形状および複数のストライプ状電極を平行に配したストライプ形状のいずれかの形状を有するパターン電極である。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[Organic diode]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of an organic diode of the present invention. In FIG. 1, the organic diode 1 includes an
有機ダイオード1を構成する有機半導体層2は、ホール輸送層あるいは電子輸送層である。ホール輸送能力を有する有機化合物としは、従来公知の化合物を使用することができ、例えば、フタロシアニン、ナフタロシアニン、ポリフィリン、オキサジアゾール、トリフェニルアミン、トリアゾール、イミダゾール、イミダゾロン、ピラゾリン、テトラヒドロイミダゾール、ヒドラゾン、スチルベン、ペンタセン、ポリチオフェン、ブタジエン等、および、これらの誘導体等を挙げることができる。また、電子輸送能力を有する有機化合物としは、従来公知の化合物を使用することができ、例えば、フラーレン、アントラキノジメタン、フルオレニリデンメンタ、テトラシアノエチレン、フルオレノン、ジフェノキノンオキサジアゾール、アントロン、チオピランジオキシド、ジフェノキノン、ベンゾキノン、マロノニトリル、ジニトロベンゼン、ニトロアントラキノン、無水マレイン酸、ペリレンテトラカルボン酸等、および、これらの誘導体等を挙げることができる。
The
有機ダイオード1を構成する電極3,4は、その一方の電極が有機半導体層2と大きなキャリア注入障壁をなし(以下、便宜的にショットキー接触と呼ぶ)、他方の電極が有機半導体層2と小さなキャリア注入障壁をなす(以下、便宜的にオーミック接触と呼ぶ)ものである。
有機半導体層2がホール輸送層である場合、有機半導体層2とオーミック接触をなす電極は、ホール輸送層のHOMOと同程度または大きな仕事関数を有する材料、例えば、金、プラチナ、パラジウム、ニッケル、酸化インジウム錫(ITO)、酸化イリジウム亜鉛、酸化亜鉛、ポリアニリン、ポリ(3,4)エチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルホネート(PEDOT/PSS)等のいずれか1種、あるいは、これらの組み合わせからなる電極材料で形成することができる。また、有機半導体層2とショットキー接触をなす電極は、ホール輸送層のHOMOより0.5eV以上小さい仕事関数を有する材料、例えば、アルミニウム、銀、錫、鉛、アルカリ土類金属、Ca−Al、Mg−Ag、Li−Al等の金属合金、ナノ銀等のいずれか1種、あるいは、これらの組み合わせからなる電極材料で形成することができる。
One of the
When the
一方、有機半導体層2が電子輸送層である場合、有機半導体層2とショットキー接触をなす電極は、電子輸送層のLUMOより0.5eV以上大きい仕事関数を有する材料、例えば、金、プラチナ、パラジウム、ニッケル、インジウム、酸化インジウム錫(ITO)、酸化イリジウム亜鉛、酸化亜鉛、ポリアニリン、ポリ(3,4)エチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルホネート(PEDOT/PSS)等のいずれか1種、あるいは、これらの組み合わせからなる電極材料で形成することができる。また、有機半導体層2とオーミック接触をなす電極は、電子輸送層のLUMOと同程度または小さな仕事関数を有する材料、例えば、アルミニウム、銀、錫、鉛、アルカリ土類金属、Ca−Al、Mg−Ag、Li−Al等の金属合金等のいずれか1種、あるいは、これらの組み合わせからなる電極材料で形成することができる。
On the other hand, when the
また、有機ダイオード1を構成する電極3,4は、上述のように、少なくとも一方の電極が、複数の開口を有するメッシュ形状および複数のストライプ状電極を平行に有するストライプ形状のいずれか形状のパターン電極である。図2〜図4は、メッシュ形状のパターン電極の例を示す平面図であり、図示例では電極4がパターン電極である場合を例として示しているが、電極3がパターン電極であってもよいことは勿論である。
図2に示されるパターン電極4は、電極材料が格子形状に形成され、矩形の開口5を複数有するものである。この場合、格子形状の電極の幅Wは10μm〜1mm、開口5の開口長Lは10μm〜5mm程度の範囲で設定することができる。
図3に示されるパターン電極4は、円形の開口5を複数有するものである。この場合、円形の開口5の開口径Dは10μm〜1mm、隣接する開口5のピッチPは10μm〜5mm程度の範囲で設定することができる。
In addition, as described above, the
The
The
図4に示されるパターン電極4は、電極材料がハニカム形状に形成され、六角形の開口5を複数有するものである。この場合、ハニカム形状の電極の幅Wは10μm〜1mm、開口5の開口長Lは10μm〜5mm程度の範囲で設定することができる。
図5は、ストライプ形状のパターン電極の例を示す平面図である。この図5に示される例では、電極4はストライプ形状の電極4aが複数平行に配設されたパターン電極である。この場合、電極4aの幅Wは10μm〜1mm、ピッチPは10μm〜5mm程度の範囲で設定することができる。尚、図5では、電極4がストライプ形状のパターン電極である場合を例として示しているが、電極3がストライプ形状のパターン電極であってもよい。
The
FIG. 5 is a plan view showing an example of a stripe-shaped pattern electrode. In the example shown in FIG. 5, the
上述のような電極(パターン電極)4が電極形成領域(図2〜5に一点鎖線で示した領域)に占める面積占有率は30〜70%、好ましくは40〜60%の範囲である。面積占有率が30%未満であると、電極の抵抗が大きくなり素子特性が低下するので好ましくない。また、電極の面積占有率が70%を超えると、発熱の影響を回避することができず、歩留まりが低下するので好ましくない。
また、本発明では、電極3,4の両方がメッシュ形状、あるいはストライプ形状のパターン電極であってもよく、電極3,4の一方がメッシュ形状のパターン電極であり、他方がストライプ形状のパターン電極であってもよい。また、電極3,4の両方がストライプ形状のパターン電極である場合、電極3を構成するストライプ形状の電極と、電極4を構成するストライプ形状の電極が、有機半導体層2を介して交差していることが好ましい。このように、電極3,4が共にパターン電極である場合、電極形成領域(図2〜5に一点鎖線で示した領域)に占める各電極(パターン電極)3,4の面積占有率は20〜80%、好ましくは30〜70%の範囲である。面積占有率が20%未満であると、電極の抵抗が大きくなり素子特性が低下するので好ましくない。また、電極の面積占有率が80%を超えると、発熱の影響を回避することができず、歩留まりが低下するので好ましくない。
The area occupancy of the electrode (pattern electrode) 4 as described above in the electrode formation region (the region indicated by the alternate long and short dash line in FIGS. 2 to 5) is in the range of 30 to 70%, preferably 40 to 60%. An area occupancy of less than 30% is not preferable because the resistance of the electrode increases and the device characteristics deteriorate. Further, if the area occupation ratio of the electrodes exceeds 70%, the influence of heat generation cannot be avoided, and the yield is lowered, which is not preferable.
In the present invention, both the
また、上述のパターン電極の例では、開口5は均一に分布しており、ストライプ状の電極4aは均一ピッチで配設されているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、電極形成領域内の中央と周辺部において、開口5の分布密度やストライプ状の電極4aの配設ピッチに変化をもたせてもよい。
上述のようなパターン電極は、塗布方法、真空成膜方法等により形成した電極膜にレジストパターンを設け、エッチングにより形成することができる。また、マスクを介して真空成膜方法により形成してもよく、さらに、インクジェット法、スクリーン印刷法等により形成することができる。
尚、本発明の有機ダイオード1は、基材上に設けられたものであってもよい。この場合、基材は有機ダイオード1を保持するに十分な機械的強度、熱的強度を有するものであれば特に制限はなく、例えば、ガラス等の無機基材、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンテレナフタレート、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリイミド等の樹脂基材等を用いることができる。
このような本発明の有機ダイオードは、単位面積当りの発熱を抑制しながら電極面積を増加させることができるので、低抵抗で優れた整流特性を安定して発現可能である。
In the example of the pattern electrode described above, the
The pattern electrode as described above can be formed by etching by providing a resist pattern on an electrode film formed by a coating method, a vacuum film forming method, or the like. Further, it may be formed by a vacuum film forming method through a mask, and further, it can be formed by an ink jet method, a screen printing method or the like.
The organic diode 1 of the present invention may be provided on a base material. In this case, the substrate is not particularly limited as long as it has sufficient mechanical strength and thermal strength to hold the organic diode 1, for example, an inorganic substrate such as glass, polyethylene terephthalate, polyethylene terephthalate, polycarbonate. Resin base materials such as polypropylene, polyethylene, polymethyl methacrylate, and polyimide can be used.
Such an organic diode of the present invention can increase the electrode area while suppressing heat generation per unit area, and thus can stably exhibit excellent rectification characteristics with low resistance.
[有機整流器]
本発明の有機整流器は、ダイオードとして本発明の有機ダイオードを少なくとも1個備えるものである。
図6は、本発明の有機整流器の一実施形態を示す半波整流回路図であり、有機整流器11は、有機ダイオード12とコンデンサ16を備え、有機ダイオード12は本発明の有機ダイオードである。尚、有機発光ダイオードのように負荷自身が十分な容量成分を有している場合には、コンデンサ16は必要ない。
また、図7は、本発明の有機整流器の他の実施形態を示す両波整流回路図であり、有機整流器21は、有機ダイオード22、23とコンデンサ26を備え、有機ダイオード22、23は本発明の有機ダイオードである。
[Organic rectifier]
The organic rectifier of the present invention comprises at least one organic diode of the present invention as a diode.
FIG. 6 is a half-wave rectifier circuit diagram showing an embodiment of the organic rectifier of the present invention. The
FIG. 7 is a double-wave rectifier circuit diagram showing another embodiment of the organic rectifier of the present invention. The
また、図8は、本発明の有機整流器の他の実施形態を示すブリッジ整流回路図であり、有機整流器31は、有機ダイオード32、33、34、35とコンデンサ36を備え、有機ダイオード32、33、34、35は本発明の有機ダイオードである。
また、図9は、本発明の有機整流器の他の実施形態を示す半波倍電圧整流回路図であり、有機整流器41は、有機ダイオード42、43とコンデンサ46、47を備え、有機ダイオード42、43は本発明の有機ダイオードである。
さらに、図10は、本発明の有機整流器の他の実施形態を示す両波倍電圧整流回路図であり、有機整流器51は、有機ダイオード52、53とコンデンサ56、57を備え、有機ダイオード52、53は本発明の有機ダイオードである。
このような本発明の有機整流器は、本発明の有機ダイオードを用いているので、電流密度を高くして安定した整流特性を維持でき、高周波信号から高い直流電圧を取り出すことができる。
FIG. 8 is a bridge rectifier circuit diagram showing another embodiment of the organic rectifier of the present invention. The
FIG. 9 is a half-wave voltage doubler rectifier circuit diagram showing another embodiment of the organic rectifier of the present invention. The
Further, FIG. 10 is a double-wave voltage doubler rectifier circuit diagram showing another embodiment of the organic rectifier of the present invention. The
Since the organic rectifier of the present invention uses the organic diode of the present invention, the current density can be increased to maintain stable rectification characteristics, and a high DC voltage can be extracted from the high-frequency signal.
[非接触型情報媒体]
本発明の非接触型情報媒体は、高周波信号を受信して増幅するための共振回路と、この共振回路で増幅された高周波信号を整流する整流回路と、この整流回路で得られる電圧によって駆動素子を駆動させる負荷回路と、を少なくとも有するものであり、整流回路は本発明の有機ダイオードを少なくとも1個有している。
図11は、本発明の非接触型情報媒体の一実施形態を示す回路構成図である。図11において、非接触型情報媒体71は、共振回路72と整流回路73と負荷回路74と備えている。
共振回路72は、アンテナコイル81とコンデンサ82を並列接続してなり、共振周波数を非接触型情報媒体とリーダ/ライタとの通信周波数(13.56MHz)に合わせておくことにより、共振によって起電力を大きくとることができる。
[Non-contact information media]
The non-contact information medium of the present invention includes a resonance circuit for receiving and amplifying a high-frequency signal, a rectifier circuit for rectifying the high-frequency signal amplified by the resonance circuit, and a drive element by a voltage obtained by the rectification circuit And a rectifier circuit having at least one organic diode of the present invention.
FIG. 11 is a circuit configuration diagram showing an embodiment of the non-contact information medium of the present invention. In FIG. 11, the non-contact
The
整流回路73は、本発明の有機ダイオード83とコンデンサ84からなり、共振回路71で増幅された高周波信号を整流するものである。図示例では、整流回路72は半波整流回路であるが、上述の本発明の有機整流器の説明で挙げたような両波整流回路、ブリッジ整流回路、半波倍電圧整流回路、両波倍電圧整流回路等であってもよい。
負荷回路74は、整流回路73で得られる電圧によって駆動素子を駆動させる回路である。駆動素子としては、ICや有機発光ダイオード、各種センサー等が挙げられるが、図示例では駆動素子を想定して負荷抵抗85で表している。
このような本発明の非接触型情報媒体は、受信した高周波信号から高い直流電圧を取り出し、駆動素子を安定して駆動させることができ、信頼性の高いものである。
上述に実施形態は本発明の例示であり、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではない。
The
The
Such a non-contact type information medium of the present invention is highly reliable because it can extract a high DC voltage from the received high-frequency signal and drive the drive element stably.
The embodiments described above are examples of the present invention, and the present invention is not limited to these embodiments.
次に、実施例を示して本発明を更に詳細に説明する。
(試料1の作製)
基材として、厚み100μmのポリエチレンテレナフタレートフィルム(帝人デュポン(株)製)を準備した。
この基材の一方の面に真空蒸着法により厚さ100nmの金薄膜を成膜し、この金薄膜上にポジ型感光性レジストをスピンコート法で塗布して厚さ1μmのレジスト膜を形成した。次いで、所定のマスクを介して露光、現像して、幅30μmのストライプ状のパターンがピッチ70μmで平行に5本配列したレジストパターンを形成した。
次に、上記のレジストパターンをマスクとして、王水を用いて金薄膜をエッチングして、500μm×500μmの電極形成領域に、図5に示されるようなストライプ形状の電極(長さ500μm、幅30μm)がピッチ70μmで平行に5本配列したパターン電極を形成した。電極形成領域に占める金のパターン電極の面積占有率は30%であった。
Next, an Example is shown and this invention is demonstrated further in detail.
(Preparation of sample 1)
A polyethylene telenaphthalate film (manufactured by Teijin DuPont Co., Ltd.) having a thickness of 100 μm was prepared as a substrate.
A gold thin film having a thickness of 100 nm was formed on one surface of the substrate by vacuum deposition, and a positive photosensitive resist was applied on the gold thin film by spin coating to form a resist film having a thickness of 1 μm. . Next, exposure and development were performed through a predetermined mask to form a resist pattern in which five stripe patterns having a width of 30 μm were arranged in parallel at a pitch of 70 μm.
Next, using the above resist pattern as a mask, the gold thin film is etched using aqua regia, and a stripe-shaped electrode (length: 500 μm, width: 30 μm) is formed in an electrode formation area of 500 μm × 500 μm. ) Formed a pattern electrode in which five lines were arranged in parallel at a pitch of 70 μm. The area occupation ratio of the gold pattern electrode in the electrode formation region was 30%.
次いで、このパターン電極を被覆するように、3−ヘキシルチオフェン(P3HT)の2重量%トルエン溶液をスピンコート法で上記のパターン電極を被覆するように塗布し、乾燥して有機半導体層(厚さ120nm)を形成した。この有機半導体層と上記の金のパターン電極とはオーミック接触をなすものであった。
次に、有機半導体層上に、真空蒸着法により厚さ100nmのアルミニウム薄膜をマスク蒸着によって成膜し、アルミニウム電極を形成した。このアルミニウム電極は、上記の有機半導体層とショットキー接触をなすものであった。これにより、有機ダイオード(試料1)を得た。
この有機ダイオードを組み込んだ整流回路として、図12に示されるような整流回路を作製し、この整流回路で得られる直流電圧を測定して下記の表1に示した。図12に示される整流回路100は、13.56MHzの交流電圧を−7/7Vで供給する交流電源101と、上記の有機ダイオード102と、容量1nFのコンデンサ103と、10kΩの負荷抵抗104を有するものとした。
Next, a 2 wt% toluene solution of 3-hexylthiophene (P3HT) is applied by spin coating so as to cover the pattern electrode, and dried to dry the organic semiconductor layer (thickness). 120 nm). The organic semiconductor layer and the gold pattern electrode were in ohmic contact.
Next, an aluminum thin film having a thickness of 100 nm was formed on the organic semiconductor layer by mask vapor deposition by vacuum vapor deposition to form an aluminum electrode. This aluminum electrode was in Schottky contact with the organic semiconductor layer. Thereby, an organic diode (sample 1) was obtained.
As a rectifier circuit incorporating this organic diode, a rectifier circuit as shown in FIG. 12 was produced, and the DC voltage obtained by this rectifier circuit was measured and shown in Table 1 below. The
(試料2、3の作製)
ストライプ形状の電極の幅を変更することにより、金のパターン電極の占有面積率を45%、60%とした他は、上記の試料1と同様にして、有機ダイオード(試料2、3)を作製し、上記と同様の整流回路で得られる直流電圧を測定して下記の表1に示した。
(Preparation of
Organic diodes (
(試料4の作製)
ストライプ形状の電極の幅を変更することにより、金のパターン電極の面積占有率を20%とした他は、上記の試料1と同様にして、有機半導体層の形成までを行った。
次に、有機半導体層上に、真空蒸着法により厚さ100nmのアルミニウム薄膜をマスク蒸着によって成膜し、ストライプ状にパターンされたアルミニウム電極を形成した。ストライプ状電極のパターンは500μm×500μmの電極形成領域に、図5に示されるようなストライプ形状の電極(長さ500μm、幅20μm)がピッチ80μmで平行に5本配列したパターン電極を形成した。アルミニウムのパターン電極が電極形成領域に占めるの面積占有率は20%であった。
このように作製した有機ダイオード(試料4)を用いて、上記と同様の整流回路で得られる直流電圧を測定して下記の表1に示した。
(Preparation of sample 4)
The organic semiconductor layer was formed in the same manner as in Sample 1 except that the area occupancy of the gold pattern electrode was changed to 20% by changing the width of the stripe-shaped electrode.
Next, on the organic semiconductor layer, an aluminum thin film having a thickness of 100 nm was formed by mask vapor deposition by vacuum vapor deposition to form an aluminum electrode patterned in a stripe shape. The stripe electrode pattern was formed in a 500 μm × 500 μm electrode formation region in which five stripe-shaped electrodes (length 500 μm, width 20 μm) as shown in FIG. 5 were arranged in parallel at a pitch of 80 μm. The area occupation ratio of the aluminum pattern electrode in the electrode formation region was 20%.
Using the organic diode thus prepared (Sample 4), the DC voltage obtained by the same rectifier circuit as described above was measured and shown in Table 1 below.
(試料5、6の作製)
ストライプ形状の電極の幅を変更することにより、金のパターン電極の面積占有率、および、アルミニウムのパターン電極の面積占有率を45%、70%とした他は、上記の試料4と同様にして、有機ダイオード(試料5、6)を作製し、上記と同様の整流回路で得られる直流電圧を測定して下記の表1に示した。
(Preparation of
By changing the width of the stripe-shaped electrode, the area occupancy of the gold pattern electrode and the area occupancy of the aluminum pattern electrode were changed to 45% and 70%, respectively. Organic diodes (
(試料7、8の作製)
ストライプ形状の電極の幅を変更することにより、金のパターン電極の占有面積率を20%、70%とした他は、上記の試料1と同様にして、有機ダイオード(試料7、8)を作製し、上記と同様の整流回路で得られる直流電圧を測定して下記の表1に示した。
(Preparation of samples 7 and 8)
Organic diodes (Samples 7 and 8) were prepared in the same manner as Sample 1 above, except that the area ratio of the gold pattern electrode was changed to 20% and 70% by changing the width of the stripe-shaped electrode. The direct current voltage obtained by the same rectifier circuit as described above was measured and shown in Table 1 below.
(試料9、10の作製)
ストライプ形状の電極の幅を変更することにより、金のパターン電極の面積占有率、および、アルミニウムのパターン電極の面積占有率を10%、80%とした他は、上記の試料4と同様にして、有機ダイオード(試料9、10)を作製し、上記と同様の整流回路で得られる直流電圧を測定して下記の表1に示した。
(Preparation of samples 9 and 10)
By changing the width of the stripe-shaped electrode, the area occupancy of the gold pattern electrode and the area occupancy of the aluminum pattern electrode were changed to 10% and 80%, respectively. Then, organic diodes (Samples 9 and 10) were prepared, and the DC voltage obtained by the same rectifier circuit as described above was measured and shown in Table 1 below.
(試料11の作製)
金のパターン電極の代わりに、全面で金の電極を形成した他は、上記の試料1と同様にして、有機ダイオード(試料11)を作製し、上記と同様の整流回路で得られる直流電圧を測定して下記の表1に示した。
(Preparation of sample 11)
An organic diode (sample 11) was produced in the same manner as in the above sample 1 except that the gold electrode was formed on the entire surface instead of the gold pattern electrode, and a DC voltage obtained by a rectifier circuit similar to the above was applied. The measured values are shown in Table 1 below.
有機整流器、非接触ICカードや識別タグ、製品タグ等のRFID(Radio Frequency Identification)タグ等の非接触型情報媒体の製造において有用である。 It is useful in the production of non-contact information media such as organic rectifiers, non-contact IC cards, identification tags, RFID (Radio Frequency Identification) tags such as product tags.
1…有機ダイオード
2…有機半導体層
3,4…電極
4a…ストライプ形状の電極
5…開口
11,21,31,41,51…有機整流器
12,22,23,32,33,34,35,42,43,52,53…有機ダイオード
71…非接触型情報媒体
72…共振回路
73…整流回路
74…負荷回路
83…有機ダイオード
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ...
Claims (5)
前記電極の少なくとも一方の電極は、開口径が10μm〜1mmの範囲である複数の円形の開口をピッチ10μm〜5mmの範囲で有するメッシュ形状、および、幅10μm〜1mmの範囲の電極材料がハニカム形状に形成され、開口長が10〜5mmの範囲である複数の六角形の開口を有するメッシュ形状のいずれかの形状のパターン電極であることを特徴とする有機ダイオード。 In an organic diode comprising an organic semiconductor layer as a hole transport layer or an electron transport layer, and a pair of electrodes arranged so as to sandwich the organic semiconductor layer, and rectifies a high-frequency signal ,
At least one of the electrodes has a mesh shape having a plurality of circular openings having an opening diameter in a range of 10 μm to 1 mm in a pitch range of 10 μm to 5 mm, and an electrode material in a range of a width of 10 μm to 1 mm in a honeycomb shape An organic diode, characterized in that it is a patterned electrode of any one of mesh shapes having a plurality of hexagonal openings having an opening length in the range of 10 to 5 mm.
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