JP5613553B2 - カーボンナノチューブアレイ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図1を参照すると、本実施例は、カーボンナノチューブアレイ100を提供する。該カーボンナノチューブアレイ100は、柔軟性基材102及び複数のカーボンナノチューブ110を含む。前記複数のカーボンナノチューブ110は、前記基材102の少なくとも一つの表面に垂直に配列されている。該カーボンナノチューブアレイ100は、立体構造−平面構造−立体構造の可変性を有する。即ち、該カーボンナノチューブアレイ100は、立体構造でも、立体構造から平面構造に変化してもよい。本実施例において、前記カーボンナノチューブアレイ100は、筒状の立体構造に変化している。
図5を参照すると、本実施例は、カーボンナノチューブアレイ200を提供する。前記カーボンナノチューブアレイ200は、実施例1に係るカーボンナノチューブアレイ100と比較すると、次の異なる点がある。本実施例の柔軟性基材202は、対向する二つの表面204を有し、前記二つの表面204にそれぞれ触媒層208が形成されている。複数のカーボンナノチューブ210がそれぞれ前記二つの触媒層208に成長している。
104、204 表面
103、203 貫通孔
102、202 基材
106、206 隔離層
108、208 触媒層
110、210 カーボンナノチューブ
120、220 反応炉
122、222 ガス注入口
124、224 ガス出口
132、232 固定装置
134、234 支持架
130 支持装置
240 加熱装置
250 支持物
Claims (1)
- 平板状の柔軟性基材の少なくとも一つの表面に隔離層を形成させる第一ステップと、
前記隔離層の表面に触媒層を堆積させる第二ステップと、
一つの反応炉を提供し、前記触媒層が形成されている基材を曲げた後、前記反応炉の内に置く第三ステップと、
前記基材を所定の温度まで加熱させる第四ステップと、
前記反応炉の中に反応ガスを導入して、所定の温度で化学気相堆積法で、前記基材の触媒層が堆積された表面に複数のカーボンナノチューブからなるカーボンナノチューブアレイを成長させる第五ステップと、
前記第五ステップの後、前記曲げられた基材を平面構造に変形することにより、カーボンナノチューブアレイを展開する第六ステップと、
を含み、
前記基材が弾性変形性を有する金属片であり、前記金属片は外力の作用で弾性変形でき、且つ前記外力を除去した後、前記金属片は最初の形状に戻り、
前記隔離層がシリコンからなることを特徴とするカーボンナノチューブアレイの製造方法。
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