JP5612533B2 - 石英導波路溝内の充填用材料および光波長合分波回路の屈折率調整方法 - Google Patents
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依存の光波長合分波器の絶対波長および透過波形を調整し、また損失を改善する充填材料に関する。さらに、これら充填材料が充填された光回路に関する。
nTARGET=(n1×A+n2×B)/(A+B)
を満たすようなAおよびBを算出して、A:Bの体積比、重量比もしくはモル比で混合して得られる前記混合物または混合して化学反応させて得られる化合物から成ることを特徴とする充填用材料である。
nTARGET=(n1×A+n2×B+n3×C)/(A+B+C)
を満たすようなA、BおよびCを算出して、A:B:Cの体積比、重量比もしくはモル比で混合して得られる前記混合物または混合して化学反応させて得られる化合物から成ることを特徴とする。
nTARGET=(n1×A+n2×B)/(A+B)
を満たすようなAおよびBを算出して、A:Bの体積比、重量比もしくはモル比で混合して得られる前記混合物または混合して化学反応させて得られる化合物を、前記溝に充填するステップを備えることを特徴とする。
nTARGET=(n1×A+n2×B+n3×C)/(A+B+C)
を満たすようなA、BおよびCを算出して、A:B:Cの体積比、重量比もしくはモル比で混合して得られる前記混合物または混合して化学反応させて得られる化合物を、前記溝に充填するステップを備えることを特徴とする。
(1)dn/dTの1次の係数が大きい
(2)実用温度範囲(通常−40℃から80℃)において、屈折率の転移が無い
(3)1.5μm帯において透明性が高い
(4)粘弾性が小さく、温度を急激に上げても、屈折率が温度に追従する
(5)信頼性が優れている
(6)狭くて深い溝に充填できる(通常、幅数μm〜数10μm、深さ30〜40μm)
(7)混合が可能である
上記の(1)〜(7)の条件を満たす樹脂は非常に限られたものになる。発明者らは、上記条件を満たす樹脂を100種類以上におよぶ樹脂の中から選定した。
n=(n1×A+n2×B)/(A+B) 式(1)
図2は、溝を設けたアサーマルAWGの構造を示す図である。アサーマルAWG100は、入力用チャネル導波路12、入力側スラブ導波路13、移相用チャネル導波路14、出力側スラブ導波路16および出力用チャネル導波路15から構成される。いずれの構成要素も、石英基板11上に形成される。通常のAWGのこれら構成要素に加えて、アサーマルAWGでは、温度無依存化のために入力用スラブ導波路13上に複数の三角溝または三日月溝17をさらに設け、溝17の内部には光学樹脂18が充填されている。ここでは溝17は入力側スラブ導波路13に形成されているが、出力用スラブ導波路16上に形成しても良いし、移相用チャネル導波路14上に形成しても良い。
AWGのスラブ導波路の入力側(移相用チャネル導波路の反対側)に、マッハツェンダ干渉計(MZI)を2段接続(タンデム接続)すると、AWGの透過スペクトルの先端部分の形状を平坦にすることができる(特許文献3)。
シリコーンゲルまたはシリコーンゴムは、石英導波路内の溝に充填するのに最も適した材料である。すなわち、以下の特徴を持っているので溝に充填するのに適している。
(1)dn/dTが−350×10-6と大きい
(2)高温高湿試験でも殆ど特性が変化せず、耐久性がある
(3)粘弾性が小さく、急激に温度を上げたりまたは下げたりしても、屈折率が温度変化に追従して、屈折率−温度依存性にヒステリシスが表れない
通常、充填に使用される樹脂は、1つはジメチルシリコーンゲルであり、その屈折率は波長1.5μmの光(T=30℃)で1.395±0.005である。もう1つは、フェニルシリコーンゲルであり、その屈折率は波長1.5μmの光(T=30℃)で1.53±0.005である。メチル基およびフェニル基をそれぞれ有するこれら2つのシリコーンゲルは、相互の屈折率の差異が0.12あり、大きく離れている。これら2つのシリコーンゲルを直接混ぜ合わせたところ、混合物または混合して化学反応させて得られる化合物は白濁してしまい、光の損失が大きくなる。このため、AWGやMZIの溝に充填する材料としては不適であった。この結果を踏まえて、さらに種々のシリコーンゲルを混合してみた結果、白濁させることなく異なるシリコーンゲルを混ぜ合わせるためには、2つの材料の相互の屈折率差が、大きくても0.04以内であることが必要と分かった。
(1)KE-1056 n=1.399 (1.5μm、T=30℃)(1液性)
(2)KE-1055 n=1.43 (1.5μm、T=30℃)
また、別のフェニルタイプシリコーンゲル(モメンティブ社製)の屈折率は以下の通りである。
(3)IVS5022 n=1.51 (1.5μm、T=30℃)
さらに別のフェニルタイプシリコーンゲル(東レダウコーニング社製)の屈折率は以下の通りである。
(4)OE-6450 n=1.54 (1.5μm、T=30℃)
IVS5022(モメンティブ社製)には、メチル基が少し含まれている。これらの(1)〜(4)のシリコーンゲルは、相互に屈折率が0.03程度しか離れおらず、白濁することなく、混ぜ合わせることが可能であった。当然のことながら、これらの樹脂は充填後硬化させるものであるため、硬化させる前に混合して、混合した後室温放置あるいは加熱することによって硬化させる。
また、メチルフィニルシリコーンゲル(モメンティブ社製)
(5)XE14-C2860 n=1.52 (1.5μm、T=30℃)
さらにメチルフィニルシリコーンゲル(信越化学社製)
(6)KER-6200 n=1.50 (1.5μm、T=30℃)
も、これらと、屈折率が大きく異なっているがOE-6450(東レダウコーニング社製、n=1.54)とを白濁せずに混ぜ合わせることが可能であった。当然のことながら、上述のこれらの樹脂は充填後硬化させるものであるため、硬化させる前に混合して、混合した後で室温放置あるいは加熱することによって硬化させる。
しかしながら、上式(6)は、溝が1本の場合にのみ妥当するものである。すなわち、数本以上の溝が形成された場合であって、溝を通過して導波路コアに入った光(導波路モード)と溝を通過してクラッドに入った光(放射モード)との間で位相がπずれる条件では、放射モードは導波路モードとカップリングする。このため、溝の形成は必ずしも損失とはならない。通常、石英導波路に溝を形成して樹脂を充填する場合、溝は1本ではなく、溝の長さを維持したままで分割をして、数本から数10本にして溝の損失を下げている。従って、溝が1本の場合の、AWGの溝に充填する樹脂の屈折率が高いほど溝群での損失が低くなる関係は必ずしも明確に現れない。溝による損失は、溝幅、溝形状、溝間の導波路の長さおよび波長によって変化する(非特許文献4)。
(1) 石英ガラスの屈折率 nD(25℃)=1.458
(2) Δn=0.75%、コアの屈折率nD(25℃)=1.468
(3) Δn=1%のコア、屈折率nD(25℃)=1.47
(4) Δn=1.5%、コアの屈折率nD(25℃)=1.48
(5) Δn=2.5%、コアの屈折率nD(25℃)=1.4944
(6) Δn=5%、コア屈折率nD(25℃)=1.53
上記の5種類の導波路にそれぞれ溝を形成した場合の透過率を、シミュレーション計算および実験によって求めた。先にも述べたように、溝の分轄数を増やすと溝1つ当たりの幅が短くなるので、溝全体における損失は低下する。通常、溝の分轄数は数本から40本程度である。
ジメチルシリコーンゲル信越化学製 KE-1051J nD(25℃)=1.404
メチルフェニルシリコーンゲル信越化学製 X-32-3178 nD(25℃)=1.445
フェニルシリコーンゲル モメンティブ製 IVS5022 nD(25℃)=1.51
フェニルシリコーンゲル ASP-1120 nD(25℃)=1.57
図12からわかるように、本測定に用いた導波路のコアの屈折率1.4944に精度良く一致させなくても、±0.04程度の誤差の範囲内であれば、損失の改善およびスペクトルの改善に効果がある。図12の場合では、IVS5022(モメンティブ製)の屈折率(1.51)はコアの屈折率1.494に対して±0.04の範囲内に入っているので、あえて混合しない場合であっても良好なスペクトルが得られた。すなわち、シリコーン樹脂(シリコーンゲル)の混合比は、いずれか一方が0でも構わない。
(1) 脂環式エポキシ変性シリコーンオイル X-22-2046 nD(25℃)=1.474
(2) エポキシアラルキル変性シリコーンオイル X-22-3000T nD(25℃)=1.484
(3) メタクリル変性シリコーンオイル X-22-164 nD(25℃)=1.450
(4) アラルキル変性シリコーンオイル KF-410 nD(25℃)=1.480
(5) ポリエーテル変性シリコーンオイル KF-354L nD(25℃)=1.463
(6) フェニル変性シリコーンオイル KF-53nD(25℃)=1.485
(1)ジメチルシリコーンオイル: 1.375〜1.404
(2)高級脂肪酸エステル変成シリコーンオイル: 1.425
(3)アルキルアラルキル変性シリコーンオイル: 1.468〜1.49
(4)アルキル・ポリエーテル変性シリコーンオイル:1.437〜1.45
(5)メチルフェニルシリコーンオイル: 1.424〜1.498
(6)環状シリコーンオイル: 1.396
n=(n1×A+n2×B+n3×C)/(A+B+C) 式(7)
可塑剤2:その他の可塑剤 JP120 n2=1.530 沸点=400℃
ポリマー:ポリエチレン (エチレン酢酸ビニル共重合体)EvaFlex) n3=1.48
これらを、A:B:C=0:50:50の体積比、重量比またはモル比で混合すると屈折率は1.505となり、A:B:C=50:0:50の体積比、重量比またはモル比で混合すると屈折率は1.4825となった。したがって、可塑剤1および可塑剤2の体積混合比を変えれば、最大で0.0225の幅で屈折率を調整可能である。全体で、さらに可塑剤の含まれる比を大きくすれば、屈折率の調整幅をさらに広くできる。
各種シリコーンオイルの屈折率を含む物性値は、例えば、各メーカ(モメンティブ社など)のカタログに記載されている(非特許文献2)。
(1)ジメチルシリコーンオイル: 1.375〜1.404
(2)高級脂肪酸エステル変成シリコーンオイル: 1.425
(3)アルキルアラルキル変性シリコーンオイル: 1.468〜1.49
(4)アルキル・ポリエーテル変性シリコーンオイル: 1.437〜1.45
(5)メチルフェニルシリコーンオイル: 1.424〜1.498
(6)環状シリコーンオイル: 1.396
ジメチルシリコーンオイル、フェニルシリコーンオイル、メチルフェニルシリコーンオイル、メチルハイドロジェンシリコーンオイル、高級脂肪酸エステル変成シリコーンオイル、アルキルアラルキル変性シリコーンオイル、アミノ変性シリコーンオイル、エポキシ変性シリコーンオイル、アルキル・ポリエーテル変性シリコーンオイル、カルビノール変性シリコーンオイルなどのシリコーンオイル群において、同じ種類のシリコーンオイル同士であれば、混合しても透明であり、相溶性が良い。また異種のシリコーンオイル同士でも相溶性が良いものがある。これは、非特許文献2に記載されている。
12 入力用チャネル導波路
13、16、32、35、62 スラブ導波路
14、33 移相用アレイ導波路
15、31 出力チャネル導波路
17、34、53、60、61 溝
36 モード変換部
37、38 MZI
51 導波路
52、54 コア
Claims (9)
- 予め値が知られた屈折率を有する異なる2種類以上の材料を、目標屈折率n TARGET となるように、所定の体積比、重量比もしくはモル比に従って混合して得られる混合物または混合して化学反応させて得られる化合物から成り、石英導波路上に形成した溝内に充填する充填用材料において、
前記屈折率の異なる材料は、シロキサンを基本とする
ジメチルシリコーンゲルもしくはジメチルシリコーンゴムの第1のグループ、
メチルーフェニルシリコーンゲルもしくはメチルーフェニルシリコーンゴムの第2のグループ、並びに、
フェニルシリコーンゲルまたはフェニルシリコーンゴムの第3のグループ
のいずれかのグループから選択され、前記選択された異なる2つのシリコーンゲルまたはゴムの屈折率の差異は0.04以内であって、前記選択された2つのシリコーンゲルもしくはゴムの混合物または混合して化学反応させて得られる化合物の屈折率が、前記目標屈折率nTARGETとなるように、
n1を選択された第1のシリコーンゲルまたはシリコーンゴムの屈折率、n2を選択された第2のシリコーンゲルまたはシリコーンゴムの屈折率、Aを前記第1のシリコーンゲルまたはシリコーンゴムの体積混合比、重量比もしくはモル比、Bを前記第2のシリコーンゲルまたはシリコーンゴムの体積混合比、重量比もしくはモル比とするとき、式
nTARGET=(n1×A+n2×B)/(A+B)
を満たすようなAおよびBを算出して、A:Bの体積比、重量比もしくはモル比で混合して得られる前記混合物または混合して化学反応させて得られる化合物から成ることを特徴とする充填用材料。 - 予め値が知られた屈折率を有する異なる2種類以上の材料を、目標屈折率n TARGET となるように、所定の体積比、重量比もしくはモル比に従って混合して得られる混合物または混合して化学反応させて得られる化合物から成り、石英導波路上に形成した溝内に充填する充填用材料において、
前記屈折率の異なる材料は、
フタル酸エステル系可塑剤、アジピン酸エステル系可塑剤、ポリエステル系可塑剤を含むグループの中から選択された2種類の可塑剤と、
エチレンプロピレンゴムからなるポリマーとであって、
前記2種類の可塑剤と前記ポリマーとの混合物または混合して化学反応させて得られる化合物の屈折率が、前記目標屈折率nTARGETとなるように、
n1を選択された第1可塑剤の屈折率、n2を選択された第2の可塑剤の屈折率、n3を前記ポリマーの屈折率、Aを第1の可塑剤の体積混合比、重量比またはモル比、Bを第2の可塑剤の体積混合比、重量比またはモル比、Cを前記ポリマーの体積混合比、重量比またはモル比とするとき、式
nTARGET=(n1×A+n2×B+n3×C)/(A+B+C)
を満たすようなA、BおよびCを算出して、A:B:Cの体積比、重量比もしくはモル比で混合して得られる前記混合物または混合して化学反応させて得られる化合物から成ることを特徴とする充填用材料。 - 前記目標屈折率nTARGETは、前記石英導波路のコアの屈折率nCとするとき、nC±0.04の範囲にあることを特徴とする請求項1または2に記載の充填用材料。
- 前記石英導波路は、アレイ導波路回折格子(AWG)のスラブ導波路または移相用アレイ導波路であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の充填用材料。
- 前記石英導波路は、前記スラブ導波路の前段に設けられた多段接続した複数のマッハツェンダ干渉計の各々の導波路であることを特徴とする請求項4に記載の充填用材料。
- スラブ導波路および移相用アレイ導波路を少なくとも含むアレイ導波路回折格子(AWG)において、いずれかの前記導波路上に形成された溝内に充填される材料の屈折率を調整する方法において、
前記溝内に、少なくとも2種類の、予め知られた屈折率を有するマッチングオイルまたは予め知られた屈折率を有するマッチングオイル以外の材料を充填するステップと、
前記マッチングオイルまたはマッチングオイル以外の前記材料が充填された状態で、前記マッチングオイルまたはマッチングオイル以外の前記材料の各々に対して、前記AWGの中心透過波長を測定するステップと、
前記測定された波長および前記予め知られた屈折率に基づいて、前記AWGの中心波長が所望の波長になるように、前記溝内に充填されるべき充填材料の目標屈折率nTARGETを算出するステップと、
前記目標屈折率が得られるように、予め屈折率の知られている屈折率の異なる2種類以上の材料を、各々の所定の体積比、重量比もしくはモル比に従って混合して得られる混合物または混合して化学反応させて得られる化合物を前記溝に充填するステップと
を備えることを特徴とする調整方法。 - スラブ導波路と、移相用アレイ導波路とを少なくとも含むアレイ導波路回折格子(AWG)のいずれかの前記導波路上に形成された第1の溝内、または、前記スラブ導波路の前段に設けられた多段接続した複数のマッハツェンダ干渉計をさらに含む前記AWGの前記マッハツェンダ干渉計の各々に形成された第2の溝内に充填される材料の屈折率を調整する方法において、
前記いずれかの溝内に、少なくとも2種類の、予め知られた屈折率を有するマッチングオイルまたは予め知られた屈折率を有するマッチングオイル以外の材料を充填するステップと、
前記マッチングオイルまたはマッチングオイル以外の前記材料が充填された状態で、前記マッチングオイルまたはマッチングオイル以外の前記材料の各々に対して、前記AWGの透過スペクトルを測定するステップと、
前記測定された透過スペクトルの形状および前記予め知られた屈折率に基づいて、前記AWGの透過スペクトルが所望の形状となるように、前記溝内に充填されるべき充填材料の目標屈折率nTARGETを算出するステップと、
前記目標屈折率が得られるように、予め屈折率の知られている屈折率の異なる2種類以上の材料を、前記選択された各材料を所定の体積比、重量比もしくはモル比に従って混合して屈折率を調整した混合物または混合して化学反応させて得られる化合物を前記溝に充填するステップと
を備えることを特徴とする調整方法。 - 前記屈折率の異なる材料は、シロキサンを基本とする
ジメチルシリコーンゲルもしくはジメチルシリコーンゴムの第1のグループ、
メチルーフェニルシリコーンゲルもしくはメチルーフェニルシリコーンゴムの第2のグループ、並びに
フェニルシリコーンゲルまたはフェニルシリコーンゴムの第3のグループ
のいずれかのグループから選択され、前記選択された異なる2つのシリコーンゲルまたはゴムの屈折率の差異は0.04以内であって、前記選択された2つのシリコーンゲルもしくはゴムの混合物または混合して化学反応させて得られる化合物の屈折率が、前記目標屈折率nTARGETとなるように、
n1を選択された第1のシリコーンゲルまたはシリコーンゴムの屈折率、n2を選択された第2のシリコーンゲルまたはシリコーンゴムの屈折率、Aを前記第1のシリコーンゲルまたはシリコーンゴムの体積混合比、重量比もしくはモル比、Bを前記第2のシリコーンゲルまたはシリコーンゴムの体積混合比、重量比もしくはモル比とするとき、式
nTARGET=(n1×A+n2×B)/(A+B)
を満たすようなAおよびBを算出して、A:Bの体積比、重量比もしくはモル比で混合して得られる前記混合物または混合して化学反応させて得られる化合物を、前記溝に充填するステップを備えることを特徴とする請求項6または7に記載の調整方法。 - 前記屈折率の異なる材料は、
フタル酸エステル系可塑剤、アジピン酸エステル系可塑剤、ポリエステル系可塑剤を含むグループの中から選択された2種類の可塑剤と、
エチレンプロピレンゴムから成るポリマーとであって、
前記2種類の可塑剤と前記ポリマーとの混合物または混合して化学反応させて得られる化合物の屈折率が、前記目標屈折率nTARGETとなるように、
n1を選択された第1可塑剤の屈折率、n2を選択された第2の可塑剤の屈折率、n3を前記ポリマーの屈折率、Aを第1の可塑剤の体積混合比、重量比またはモル比、Bを第2の可塑剤の体積混合比、重量比またはモル比、Cを前記ポリマーの体積混合比、重量比またはモル比とするとき、式
nTARGET=(n1×A+n2×B+n3×C)/(A+B+C)
を満たすようなA、BおよびCを算出して、A:B:Cの体積比、重量比もしくはモル比で混合して得られる前記混合物または混合して化学反応させて得られる化合物を、前記溝に充填するステップを備えることを特徴とする請求項6または7に記載の調整方法。
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