JP5603798B2 - 欠陥検出装置、欠陥検出方法及びコンピュータプログラム - Google Patents
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- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims description 215
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 80
- 238000004590 computer program Methods 0.000 title claims description 9
- 230000009467 reduction Effects 0.000 claims description 150
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 104
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 95
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 44
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 18
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 7
- 238000011946 reduction process Methods 0.000 description 14
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- PXFBZOLANLWPMH-UHFFFAOYSA-N 16-Epiaffinine Natural products C1C(C2=CC=CC=C2N2)=C2C(=O)CC2C(=CC)CN(C)C1C2CO PXFBZOLANLWPMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000003708 edge detection Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
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- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
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Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る欠陥検出装置の一構成例を示すブロック図である。図1において、本実施の形態1に係る欠陥検出装置1は、撮像手段2と、画像処理部3と、記憶手段4と、入力受付/画像表示部5とで構成される。
D’(i,j)=Min(D(i,j)+N, 0)×G (D(i,j)が負の場合)
・・・ (2)
D’(i,j)=Min(D(i,j)+Nb, 0)×Gb (D(i,j)が負の場合)
・・・ (3)
Z(i,j)=Clip(D’(i,j)+255,0,255) (負の差分画像を選択する場合)
Z(i,j)=Clip(D’(i,j)+128,0,255) (正、負両方の差分画像を選択する場合)
・・・ (4)
図9は、本発明の実施の形態2に係る欠陥検出装置で用いる欠陥検出方法の各設定データの算出工程を示すフローチャートである。本発明に係る欠陥検出方法の各設定データの算出工程は、画像処理部3の内部に格納された本発明に係るコンピュータプログラムに従って実行される。図9の処理フローのうち、図2と同じ処理を実行するフローについては、同一の符号を付することにより詳細な説明は省略する。
上述した実施の形態1及び2では、多値画像を縮小してフィルタ処理をした後に拡大することにより、欠陥を検出するための差分画像生成の基礎となる拡大画像(第一の拡大画像)を生成しているが、画像縮小をすることなく、フィルタサイズ又はフィルタ通過回数を大きくすることにより差分画像生成の基礎となる拡大画像(実際には拡大していない)を生成しても良い。
一様に連続している背景模様(連続模様)が1つの方向だけでなく、2つの方向に存在する場合であっても、実施の形態1及び2の欠陥検出方法を適用することができる。すなわち、まずは第一の方向(例えばX方向)の指定を受け付け、実施の形態1と同様、設定された画像縮小率で元の多値画像を第一の方向へ縮小した縮小画像を生成し、縮小画像に対して縮小画像における欠陥を除去するためのフィルタ処理を第一の方向に実行し、フィルタ処理が実行された縮小画像を、画像縮小率の逆数に相当する画像拡大率で第一の方向へ拡大した第一の拡大画像を生成する。生成した第一の拡大画像と元の多値画像との差分画像を生成することにより、第一の方向の連続模様を除去することができる。
2 撮像手段
3 画像処理部
4 記憶手段
5 入力受付/画像表示部
31 サイズ設定・記憶手段
32 縮小率設定手段
33 画像縮小手段
34 フィルタ処理手段
35 画像拡大手段
36 差分演算手段
37 ノイズ低減処理手段
38 強調処理手段
39 差分画像選択手段
40 方向設定・記憶手段
41 画像回転手段
51 サイズ設定受付手段
52 ノイズ低減度設定受付手段
53 ゲイン設定受付手段
54 差分画像選択受付手段
55 元画像表示手段
56 拡大画像表示手段
57 差分画像表示手段
58 表示画像選択受付手段
59 方向指定受付手段
Claims (12)
- 撮像手段で撮像された多値画像から、撮像されている物体表面の欠陥を検出する欠陥検出装置において、
検出対象の欠陥のサイズの設定を受け付けるサイズ設定受付手段と、
該サイズ設定受付手段にて設定を受け付けた欠陥のサイズを記憶するサイズ記憶手段と、
背景模様が一様に連続している第一の方向の指定を受け付ける方向指定受付手段と、
該方向指定受付手段で指定を受け付けた第一の方向を記憶する方向記憶手段と、
記憶された欠陥のサイズに応じた画像縮小率で、記憶された第一の方向へ前記多値画像を縮小した縮小画像を生成する画像縮小手段と、
前記縮小画像に対して前記縮小画像における欠陥を除去するためのフィルタ処理を前記第一の方向に実行するフィルタ処理手段と、
該フィルタ処理手段によりフィルタ処理が実行された縮小画像を、前記画像縮小率の逆数に相当する画像拡大率で前記第一の方向へ拡大した第一の拡大画像を生成する画像拡大手段と、
前記多値画像と前記第一の拡大画像との差分演算を実行した差分画像を生成する差分演算手段と
を備えることを特徴とする欠陥検出装置。 - 前記差分演算手段により生成された差分画像に対してノイズの低減度の設定を受け付けるノイズ低減度設定受付手段と、
受け付けた前記ノイズの低減度を前記差分画像に対して減算又は加算して、ノイズ低減処理画像を生成するノイズ低減処理手段と
を備えることを特徴とする請求項1記載の欠陥検出装置。 - 前記差分画像に対してゲインの設定を受け付けるゲイン設定受付手段と、
受け付けた前記ゲインを前記差分画像に乗算して、強調処理画像を生成する強調処理手段と
を備えることを特徴とする請求項1又は2記載の欠陥検出装置。 - 前記差分演算手段は、正の差分画像及び負の差分画像を生成するようにしてあり、
前記正の差分画像及び前記負の差分画像のうち少なくとも一方の差分画像の選択を受け付ける差分画像選択受付手段と、
受け付けた差分画像を選択する差分画像選択手段と
を備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の欠陥検出装置。 - 前記フィルタ処理手段は、前記サイズ設定手段により設定された欠陥のサイズが大きいほど、フィルタサイズ又はフィルタ通過回数を大きく設定するようにしてあることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の欠陥検出装置。
- 前記背景模様のエッジ情報を抽出するエッジ情報抽出手段と、
抽出したエッジ情報に基づいて前記第一の方向を特定する方向特定手段と
を備えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の欠陥検出装置。 - 特定した前記第一の方向を、垂直方向又は水平方向となるよう画像を回転させる画像回転手段を備えることを特徴とする請求項6記載の欠陥検出装置。
- 前記画像縮小率を1に設定し、
前記フィルタ処理手段は、前記サイズ設定手段により設定された欠陥のサイズに応じて、フィルタサイズ又はフィルタ通過回数を設定するようにしてあることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の欠陥検出装置。 - 前記方向指定受付手段により、前記第一の方向とは異なる方向である第二の方向の指定を受け付け、
前記方向記憶手段は、前記方向指定受付手段で指定を受け付けた第二の方向も記憶し、
前記画像縮小手段は、前記第一の拡大画像と前記多値画像との差分画像を、前記画像縮小率で前記第二の方向へ縮小した縮小画像を生成し、
前記フィルタ処理手段は、前記縮小画像に対して欠陥を除去するためのフィルタ処理を前記第二の方向に実行し、
前記画像拡大手段は、フィルタ処理が実行された縮小画像を、前記画像縮小率の逆数に相当する画像拡大率で前記第二の方向へ拡大した第二の拡大画像を生成し、
前記差分演算手段は、前記第二の拡大画像と、前記第一の拡大画像と前記多値画像との差分画像である第一の差分画像との差分演算を実行した第二の差分画像を生成するようにしてあることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の欠陥検出装置。 - 前記画像縮小手段は、前記多値画像を、前記画像縮小率で前記第二の方向へ縮小した縮小画像を生成し、
前記フィルタ処理手段は、前記縮小画像に対して欠陥を除去するためのフィルタ処理を前記第二の方向に実行し、
前記画像拡大手段は、フィルタ処理が実行された縮小画像を、前記画像縮小率の逆数に相当する画像拡大率で前記第二の方向へ拡大した第三の拡大画像を生成し、
前記差分演算手段は、前記第一の拡大画像と前記第三の拡大画像とを合成した合成画像と前記多値画像との差分演算を実行した差分画像を生成するようにしてあることを特徴とする請求項9記載の欠陥検出装置。 - 撮像手段で撮像された多値画像から、撮像されている物体表面の欠陥を検出する欠陥検出装置で用いる欠陥検出方法において、
検出対象の欠陥のサイズの設定を受け付けるサイズ設定受付工程と、
該サイズ設定受付工程にて設定を受け付けた欠陥のサイズを記憶するサイズ記憶工程と、
背景模様が一様に連続している第一の方向の指定を受け付ける方向指定受付工程と、
該方向指定受付工程で指定を受け付けた第一の方向を記憶する方向記憶工程と、
記憶された欠陥のサイズに応じた画像縮小率で、記憶された第一の方向へ前記多値画像を縮小した縮小画像を生成する画像縮小工程と、
前記縮小画像に対して前記縮小画像における欠陥を除去するためのフィルタ処理を前記第一の方向に実行するフィルタ処理工程と、
該フィルタ処理工程によりフィルタ処理が実行された縮小画像を、前記画像縮小率の逆数に相当する画像拡大率で前記第一の方向へ拡大した第一の拡大画像を生成する画像拡大工程と、
前記多値画像と前記第一の拡大画像との差分演算を実行した差分画像を生成する差分演算工程と
を含むことを特徴とする欠陥検出方法。 - 撮像手段で撮像された多値画像から、撮像されている物体表面の欠陥を検出する欠陥検出装置で実行することが可能なコンピュータプログラムにおいて、
検出対象の欠陥のサイズの設定を受け付けるサイズ設定受付処理と、
該サイズ設定受付手段にて設定を受け付けた欠陥のサイズを記憶するサイズ記憶処理と、
背景模様が一様に連続している第一の方向の指定を受け付ける方向指定受付処理と、
該方向指定受付処理で指定を受け付けた第一の方向を記憶する方向記憶処理と、
記憶された欠陥のサイズに応じた画像縮小率で、記憶された第一の方向へ前記多値画像を縮小した縮小画像を生成する画像縮小処理と、
前記縮小画像に対して前記縮小画像における欠陥を除去するためのフィルタ処理を前記第一の方向に実行するフィルタ処理と、
該フィルタ処理が実行された縮小画像を、前記画像縮小率の逆数に相当する画像拡大率で前記第一の方向へ拡大した第一の拡大画像を生成する画像拡大処理と、
前記多値画像と前記第一の拡大画像との差分演算を実行した差分画像を生成する差分演算処理と
を前記欠陥検出装置に実行させることを特徴とするコンピュータプログラム。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011029066A JP5603798B2 (ja) | 2011-02-14 | 2011-02-14 | 欠陥検出装置、欠陥検出方法及びコンピュータプログラム |
US13/352,427 US9341579B2 (en) | 2011-02-14 | 2012-01-18 | Defect detection apparatus, defect detection method, and computer program |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011029066A JP5603798B2 (ja) | 2011-02-14 | 2011-02-14 | 欠陥検出装置、欠陥検出方法及びコンピュータプログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012168013A JP2012168013A (ja) | 2012-09-06 |
JP5603798B2 true JP5603798B2 (ja) | 2014-10-08 |
Family
ID=46636622
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011029066A Active JP5603798B2 (ja) | 2011-02-14 | 2011-02-14 | 欠陥検出装置、欠陥検出方法及びコンピュータプログラム |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9341579B2 (ja) |
JP (1) | JP5603798B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3044767B1 (fr) * | 2015-12-08 | 2017-12-01 | Techni-Modul Eng | Moyens de production et/ou de controle d’une piece en materiaux composites |
CN107404628B (zh) * | 2016-05-18 | 2020-09-01 | 佳能株式会社 | 图像处理装置及方法以及监视系统 |
US10408764B2 (en) * | 2017-09-13 | 2019-09-10 | Applied Materials Israel Ltd. | System, method and computer program product for object examination |
CN108435456A (zh) * | 2018-03-23 | 2018-08-24 | 四川恒立智方自动化工程有限公司 | 工业机器人喷涂控制系统 |
CN110572636B (zh) * | 2019-07-23 | 2020-08-04 | RealMe重庆移动通信有限公司 | 摄像头脏污检测方法、装置、存储介质及电子设备 |
CN110769246B (zh) * | 2019-09-06 | 2023-04-11 | 华为技术有限公司 | 一种检测监控设备故障的方法、装置 |
CN112508824B (zh) * | 2021-02-04 | 2021-04-23 | 湖南九九智能环保股份有限公司 | 一种堆场粉尘治理方法 |
CN112950618B (zh) * | 2021-03-25 | 2023-03-21 | 深圳市华汉伟业科技有限公司 | 一种外观缺陷检测方法与系统 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5287290A (en) * | 1989-03-10 | 1994-02-15 | Fujitsu Limited | Method and apparatus for checking a mask pattern |
WO1998059213A1 (fr) * | 1997-06-25 | 1998-12-30 | Matsushita Electric Works, Ltd. | Procede et dispositif de controle de motifs |
US6757645B2 (en) * | 1997-09-17 | 2004-06-29 | Numerical Technologies, Inc. | Visual inspection and verification system |
JP2004108845A (ja) * | 2002-09-17 | 2004-04-08 | Dainippon Printing Co Ltd | 紙カップ検査装置 |
JP3870208B2 (ja) | 2004-08-05 | 2007-01-17 | 山形カシオ株式会社 | 画像処理方法及び検査装置 |
GB2428506A (en) * | 2005-07-18 | 2007-01-31 | Hewlett Packard Development Co | Masking an image to prevent obscuration of a coded pattern |
JP4921253B2 (ja) * | 2007-06-13 | 2012-04-25 | 富士フイルム株式会社 | 画像処理装置および画像処理プログラム |
JP5422129B2 (ja) * | 2008-02-07 | 2014-02-19 | 株式会社キーエンス | 欠陥検出装置、欠陥検出方法及びコンピュータプログラム |
JP5086830B2 (ja) | 2008-02-08 | 2012-11-28 | 株式会社キーエンス | 画像検査装置、画像検査方法、及びコンピュータプログラム |
JP4969478B2 (ja) * | 2008-02-19 | 2012-07-04 | 株式会社キーエンス | 欠陥検出装置、欠陥検出方法及びコンピュータプログラム |
US20100177347A1 (en) * | 2009-01-15 | 2010-07-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Image forming processing controller and method and computer-readable medium thereof |
JP5315157B2 (ja) * | 2009-07-27 | 2013-10-16 | キヤノン株式会社 | 情報処理装置、ライン状ノイズ低減処理方法、及びプログラム |
-
2011
- 2011-02-14 JP JP2011029066A patent/JP5603798B2/ja active Active
-
2012
- 2012-01-18 US US13/352,427 patent/US9341579B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20120206593A1 (en) | 2012-08-16 |
JP2012168013A (ja) | 2012-09-06 |
US9341579B2 (en) | 2016-05-17 |
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
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|
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|
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|
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