JP5603554B2 - Cleaning device and printing device equipped with the cleaning device - Google Patents

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Description

この発明は、マスクの下面およびマスク開口部から付着物を除去するクリーニング装置および該クリーニング装置を装備する印刷装置に関するものである。   The present invention relates to a cleaning device for removing deposits from a lower surface of a mask and a mask opening, and a printing device equipped with the cleaning device.

この種の印刷装置としては、例えばプリント基板に半田ペーストを印刷する装置が知られている。この装置では、プリント基板の上方においてマスクが該プリント基板に対して正確に位置決めされた後、マスク上に載せた半田ペーストがスキージにより広げられる。このとき、マスクに設けた開口部を介して半田ペーストが基板の上面に印刷される。このような印刷処理を繰り返して行うと、半田ペーストがマスクの下面やマスク開口部に付着していき、この付着量が多くなると印刷不良の原因となる。そこで、例えば印刷処理を所定回数行う度にマスクのクリーニングを行う必要がある。   As this type of printing apparatus, for example, an apparatus for printing a solder paste on a printed board is known. In this apparatus, after the mask is accurately positioned with respect to the printed board above the printed board, the solder paste placed on the mask is spread by a squeegee. At this time, the solder paste is printed on the upper surface of the substrate through the opening provided in the mask. When such a printing process is repeated, the solder paste adheres to the lower surface of the mask and the mask opening, and if this amount of adhesion increases, it causes printing failure. Therefore, for example, it is necessary to clean the mask every time the printing process is performed a predetermined number of times.

そこで、マスクをクリーニングするクリーニングユニットが印刷装置に装備されている。このクリーニングユニットとしては例えば特許文献1に記載されたクリーニング装置がある。この特許文献1に記載のクリーニング装置では、未使用の綿製拭き取り布(本願発明の「クリーニングシート」に相当)を巻装した供給ロールが設けられている。そして、この供給ロールから拭き取り布が繰り出される一方、巻き取りロールに巻き取り可能となっている。また、供給ロールの右斜め上方および巻き取りロールの左斜め上方に押し当て台が配置されている。より詳しくは、クリーニング装置を側方から見た場合に、これら供給ロール、巻き取りロールおよび押し当て台により三角形が形成されており、供給ロールから繰り出される綿製拭き取り布の途中部が上記三角形の頂点に位置する押し当て台に掛け回されるとともに、さらに押し当て台よりも先端側の綿製拭き取り布が巻き取りロールに巻き取られている。   Therefore, a cleaning unit for cleaning the mask is provided in the printing apparatus. As this cleaning unit, for example, there is a cleaning device described in Patent Document 1. In the cleaning device described in Patent Document 1, a supply roll around which an unused cotton wiping cloth (corresponding to the “cleaning sheet” of the present invention) is wound is provided. And while wiping cloth is drawn out from this supply roll, it can wind up to a winding roll. In addition, a pressing table is disposed on the upper right side of the supply roll and the upper left side of the winding roll. More specifically, when the cleaning device is viewed from the side, a triangle is formed by these supply roll, take-up roll and pressing table, and the middle part of the cotton wiping cloth fed out from the supply roll has the above-mentioned triangle shape. While being wound around a pressing table located at the apex, a cotton wiping cloth on the tip side of the pressing table is wound around a winding roll.

このように構成された供給ロール、巻き取りロールおよび押し当て台はシリンダにより一体的に昇降駆動される。そして、上昇駆動により押し当て台に掛け回された綿製拭き取り布の途中部がマスクの下面に接触してクリーニング処理が実行される。一方、下降駆動することで供給ロール、巻き取りロールおよび押し当て台が一体的に下降して綿製拭き取り布の途中部がマスクの下面から離間してクリーニング処理を終了する。なお、巻き取りロールと供給ロールは駆動モータから動力を受けて回転するように構成されており、マスクのクリーニング完了後、駆動モータを作動させることで所定の長さ分だけ拭き取り布が供給ロールから繰り出されるとともに、使用済の拭き取り布、つまり途中部が巻き取りロールに巻き取られる。   The supply roll, the take-up roll, and the pressing table configured as described above are integrally driven up and down by the cylinder. Then, the middle part of the cotton wiping cloth wound around the pressing table by the upward drive comes into contact with the lower surface of the mask, and the cleaning process is executed. On the other hand, by driving downward, the supply roll, the take-up roll, and the pressing table are integrally lowered, and the middle portion of the cotton wiping cloth is separated from the lower surface of the mask, thereby completing the cleaning process. The take-up roll and the supply roll are configured to rotate by receiving power from the drive motor. After the mask cleaning is completed, the drive motor is operated to remove the wipe from the supply roll by a predetermined length. At the same time, the used wiping cloth, that is, the middle part is taken up by the take-up roll.

特開平10−217433号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-217433

ところで、クリーニング装置やクリーニングユニットに用いられる拭き取り布は高価な消耗品であるため、クリーニングに使用されない領域を極力抑制してランニングコストの低減を図りたい。この要望を満足するためには、クリーニング処理が完了した後に拭き取り布を繰り出す長さを1回のクリーニング処理で使用される操出方向での拭き取り布の長さと一致させる必要がある。このため、従来装置では、駆動モータの回転角を定量化することで拭き取り布の送り量の調整を図っていた。   By the way, since the wiping cloth used for the cleaning device or the cleaning unit is an expensive consumable product, it is desired to reduce the running cost by suppressing the area not used for cleaning as much as possible. In order to satisfy this demand, it is necessary to match the length of the wiping cloth fed out after the cleaning process is completed with the length of the wiping cloth in the operation direction used in one cleaning process. For this reason, in the conventional apparatus, adjustment of the feed amount of the wiping cloth was attempted by quantifying the rotation angle of the drive motor.

しかしながら、回転角を一定としただけでは上記要望を完全に満足させることはできない。というのも、供給ロールの直径および巻き取りロールの直径はいずれも使用状況に応じて変化して拭き取り布の送り量が変動するからである。この問題を解消するために、拭き取り布の送り量を検出する検出手段を別途設けるとともに、検出手段からの出力に基づき駆動モータを制御することも考えられる。しかしながら、検出手段を追加的に設ける必要があり、装置構成が複雑になる上に経済的ではない。   However, the above-mentioned demand cannot be satisfied completely only by keeping the rotation angle constant. This is because the diameter of the supply roll and the diameter of the take-up roll both change according to the use situation, and the amount of wiping cloth feed varies. In order to solve this problem, it is conceivable to separately provide detection means for detecting the amount of the wipe wiped and to control the drive motor based on the output from the detection means. However, it is necessary to additionally provide detection means, which makes the apparatus configuration complicated and not economical.

この発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、シート供給部からクリーナーヘッドに送られるクリーニングシートの送り量を検出することなく、送り量を正確に制御して低ランニングコストでマスク下面をクリーニングすることができるクリーニング装置および該クリーニング装置を装備した印刷装置を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems, and can accurately control the feed amount to clean the lower surface of the mask at a low running cost without detecting the feed amount of the cleaning sheet sent from the sheet supply unit to the cleaner head. It is an object of the present invention to provide a cleaning device that can be used and a printing device equipped with the cleaning device.

の発明にかかるクリーニング装置は、上記目的を達成するため、長尺状のクリーニングシートを長尺方向に繰り出すシート供給部と、マスクの下方側でクリーニング位置と待機位置との間で昇降自在に設けられ、待機位置に降下することでマスクの下面から離間する一方、クリーニング位置まで上昇することでシート供給部から繰り出されたクリーニングシートの未使用のシート部をマスクの下面に接触させてマスクの下面をクリーニングするクリーナーヘッドと、巻取軸を巻取方向に回転させてクリーニングシートを巻き取ることでクリーニング使用済のシート部を回収するシート回収部とを備え、シート供給部はクリーニング位置よりも低い位置に配置され、巻取軸の反巻取方向への回転を規制した状態でクリーナーヘッドがクリーニング位置に上昇してシート供給部からクリーニングシートを繰り出し、シート供給部からクリーニングシートを送り出す、シート送出位置をクリーニング位置に対して調整してクリーナーヘッドがクリーニング位置に上昇した際にシート供給部から繰り出されるクリーニングシートの送り量を制御する第2調整部をさらに備えたことを特徴としている。
Cleaning equipment according to the invention of this, in order to achieve the above object, a sheet feeding unit for feeding the elongated cleaning sheet in the longitudinal direction, vertically movable between a standby position and the cleaning position in the lower side of the mask The mask is separated from the lower surface of the mask by lowering to the standby position, while the unused sheet portion of the cleaning sheet fed from the sheet supply unit is brought into contact with the lower surface of the mask by moving up to the cleaning position. A cleaner head that cleans the lower surface of the sheet, and a sheet collection unit that collects the cleaning-used sheet unit by rotating the winding shaft in the winding direction to wind up the cleaning sheet. The cleaner head is placed in a lower position and the cleaner head is in a state where the rotation of the take-up shaft in the anti-winding direction is restricted. When the cleaning head is raised to the cleaning position by adjusting the sheet feeding position with respect to the cleaning position, the cleaning sheet is fed out from the sheet feeding unit and the cleaning sheet is fed out from the sheet feeding unit. It is further characterized by further comprising a second adjustment unit for controlling the feed amount of the cleaning sheet that is fed out.

また、この発明にかかる印刷装置は、上記目的を達成するため、開口部を有するマスクの下面に基板を配置した状態で開口部を介してペーストを印刷するスキージヘッドと、上記クリーニング装置と同一構成を有し、マスクの下面を清掃するクリーニングユニットとを備えたことを特徴としている。   In order to achieve the above object, the printing apparatus according to the present invention has the same configuration as the squeegee head for printing paste through the opening with the substrate disposed on the lower surface of the mask having the opening, and the cleaning apparatus. And a cleaning unit for cleaning the lower surface of the mask.

このように構成された発明(クリーニング装置および印刷装置)では、シート供給部はクリーニング位置よりも低い位置に配置されているため、クリーナーヘッドがクリーニング位置よりも低い待機位置で待機している間、シート供給部から既に繰り出され、しかもシート回収部に巻き取られていないシート部はクリーニング位置の下方に位置している。そして、本発明では、巻取軸の反巻取方向への回転を規制した状態でクリーナーヘッドが待機位置からクリーニング位置に上昇する。これにより、クリーナーヘッドはシート部を下方側からクリーナーヘッドに向けて押し上げて移動し、シート供給部とシート回収部の間でクリーニングシートに張力が与えられるが、上記したように巻取軸の反巻取方向への回転が規制されているため、その移動量に応じた送り量だけ未使用のクリーニングシートがシート供給部から繰り出される。このようにシート供給部から未使用クリーニングシートの繰出がクリーナーヘッドの上昇動作のみにより行われる。しかも、クリーニングシートの送り量を検出するための検出手段を設けることなく、クリーナーヘッドの移動量に応じた送り量だけ未使用クリーニングシートを正確に繰り出すことができる。   In the invention configured as described above (cleaning device and printing device), since the sheet supply unit is disposed at a position lower than the cleaning position, while the cleaner head stands by at a standby position lower than the cleaning position, The sheet portion that has already been fed out from the sheet supply unit and has not been wound around the sheet collection unit is positioned below the cleaning position. In the present invention, the cleaner head rises from the standby position to the cleaning position in a state where the rotation of the winding shaft in the counter-winding direction is restricted. As a result, the cleaner head moves by pushing the sheet portion upward from the lower side toward the cleaner head, and tension is applied to the cleaning sheet between the sheet supply unit and the sheet collection unit. Since rotation in the winding direction is restricted, unused cleaning sheets are fed out from the sheet supply unit by a feed amount corresponding to the movement amount. In this manner, the unused cleaning sheet is fed from the sheet supply unit only by the lifting operation of the cleaner head. In addition, an unused cleaning sheet can be accurately fed out by a feed amount corresponding to the amount of movement of the cleaner head without providing a detection means for detecting the feed amount of the cleaning sheet.

ところで、上記のようにしてクリーナーヘッドがクリーニング位置に上昇してクリーニング処理を行った後、クリーナーヘッドが待機位置に戻るが、そのとき、シート供給部とシート回収部の間にあるクリーニングシートに弛み部が形成される。そこで、次のように構成することで当該弛み部を解消してクリーニング処理を連続的に行うことが可能となる。すなわち、シート供給部に対してクリーニングシートの操出を規制する規制手段が設けられ、シート供給部からのクリーニングシートの操出を規制した状態でクリーナーヘッドが待機位置に降下しながら又は降下した後に、巻取軸が巻取方向に回転して使用済のシート部を回収するとともにシート供給部とシート回収部の間でクリーニングシートに張力を与えるように構成してもよい。   By the way, after the cleaner head has moved up to the cleaning position and performed the cleaning process as described above, the cleaner head returns to the standby position, but at that time, the cleaning sheet is loosened by the cleaning sheet between the sheet supply unit and the sheet collection unit. Part is formed. Therefore, by configuring as follows, it becomes possible to eliminate the slack portion and perform the cleaning process continuously. That is, after the cleaner head is lowered or lowered to the standby position in a state where regulation of the operation of the cleaning sheet with respect to the sheet supply unit is provided and the operation of the cleaning sheet from the sheet supply unit is restricted. The take-up shaft may be rotated in the take-up direction to collect the used sheet portion and apply tension to the cleaning sheet between the sheet supply unit and the sheet collection unit.

また、クリーナーヘッドの待機位置については、クリーニング位置よりも低い位置であればよく、待機位置でクリーナーヘッドはクリーニングシートと係合してもよいし、クリーニングシートからさらに下方に離間してもよい。これらのうち、待機位置でクリーニングシートと係合しながらクリーナーヘッドを待機させる場合には、待機位置をクリーニング位置に対して上下方向に調整してクリーナーヘッドがクリーニング位置に上昇した際にシート供給部から繰り出されるクリーニングシートの送り量を制御する第1調整部を設けてもよい。これによってクリーニングシートの送り量を柔軟に、しかもさらに高精度に調整することが可能となる。   The standby position of the cleaner head may be a position lower than the cleaning position, and the cleaner head may engage with the cleaning sheet at the standby position, or may be further spaced downward from the cleaning sheet. Among these, when the cleaner head is made to wait while being engaged with the cleaning sheet at the standby position, the sheet supply unit is adjusted when the standby position is adjusted vertically with respect to the cleaning position and the cleaner head is raised to the cleaning position. You may provide the 1st adjustment part which controls the feed amount of the cleaning sheet drawn | fed out from. As a result, it is possible to adjust the feeding amount of the cleaning sheet flexibly and with higher accuracy.

また、クリーニングシートの送り量を調整するためには、上記第1調整部とともに、あるいは第2調整部に代えて、シート供給部からクリーニングシートを送り出す、シート送出位置をクリーニング位置に対して調整する第2調整部を設けてもよい。つまり、第2調整部によるシート送出位置の調整によって、クリーナーヘッドがクリーニング位置に上昇した際にシート供給部から繰り出されるクリーニングシートの送り量が制御される。   Further, in order to adjust the feeding amount of the cleaning sheet, the cleaning sheet is fed from the sheet feeding unit together with the first adjusting unit or instead of the second adjusting unit, and the sheet sending position is adjusted with respect to the cleaning position. A second adjustment unit may be provided. That is, the adjustment of the sheet delivery position by the second adjustment unit controls the amount of cleaning sheet fed from the sheet supply unit when the cleaner head is raised to the cleaning position.

また、クリーニングシートの後端部を固着しながらクリーニングシートをロール状に巻き取ったロール軸を有し、ロール軸が回転することでクリーニングシートを繰り出す場合には、次のように構成してもよい。すなわち、ロール軸の回転を検出する回転検出部と、クリーナーヘッドをクリーニング位置に上昇させようとした際に回転検出部によりロール軸の回転が検出されないことをもって、クリーニングシートの使い切りを検出する使い切り検出部とを設けることによって、クリーニングシートの使い切りを正確に検出することができる。   In addition, when the cleaning sheet is fed out by rotating the roll shaft while the cleaning sheet is rolled up while fixing the rear end portion of the cleaning sheet, the following configuration may be adopted. Good. That is, a rotation detection unit that detects the rotation of the roll shaft, and a use-up detection that detects whether the rotation of the roll shaft is not detected by the rotation detection unit when the cleaner head is raised to the cleaning position. The use of the cleaning part can be accurately detected.

さらに、シート回収部は、巻取軸の動力源を構成するエアーアクチュエータと、エアーアクチュエータと巻取軸の間に設けられてエアーアクチュエータで発生した動力を巻取方向にのみ伝達するワンウェイクラッチとを有するように構成してもよい。このような構成を採用することで、モータや減速機構などを組み合わせてシート回収部を構成する従来装置に比べ、より安価に装置を構成することができる。   Further, the sheet collecting unit includes an air actuator that constitutes a power source of the take-up shaft, and a one-way clutch that is provided between the air actuator and the take-up shaft and transmits power generated by the air actuator only in the take-up direction. You may comprise so that it may have. By adopting such a configuration, the apparatus can be configured at a lower cost than the conventional apparatus that configures the sheet collection unit by combining a motor, a speed reduction mechanism, and the like.

以上のように、本発明によれば、シート供給部からの未使用クリーニングシートの繰出をクリーナーヘッドの上昇動作により行っているので、シート供給部からクリーナーヘッドに送られるクリーニングシートの送り量を検出することなく、送り量を正確に制御して低ランニングコストでマスク下面をクリーニングすることができる。   As described above, according to the present invention, since the unused cleaning sheet is fed from the sheet supply unit by the lifting operation of the cleaner head, the amount of cleaning sheet fed from the sheet supply unit to the cleaner head is detected. Without this, the mask lower surface can be cleaned at a low running cost by accurately controlling the feed amount.

図1は本発明にかかる印刷装置の一実施形態を示す斜視図である。同図においては、装置内部の構成を明示するために、本体カバーを取り外した状態が図示されている。また、図2はマスクを設置していない状態での印刷装置の概略構成を示す平面図であり、図3はマスクを設置した状態での印刷装置の概略構成を示す側面図である。さらに、図4は印刷装置の電気的構成を示すブロック図である。この印刷装置では、基台10上で基板テーブル20が装置の前後方向(Y軸方向)に移動自在となっている。また、基台10上にはコンベア21、21が設けられ、搬入コンベア31、31が装置の右側面部に設けられる一方、搬出コンベア32、32が装置の左側面部に設けられている。   FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a printing apparatus according to the present invention. In the figure, a state in which the main body cover is removed is shown in order to clearly show the internal configuration of the apparatus. FIG. 2 is a plan view showing a schematic configuration of the printing apparatus in a state where no mask is installed, and FIG. 3 is a side view showing a schematic configuration of the printing apparatus in a state where a mask is installed. FIG. 4 is a block diagram showing the electrical configuration of the printing apparatus. In this printing apparatus, the substrate table 20 is movable on the base 10 in the front-rear direction (Y-axis direction) of the apparatus. Further, conveyors 21 and 21 are provided on the base 10, and carry-in conveyors 31 and 31 are provided on the right side of the apparatus, while carry-out conveyors 32 and 32 are provided on the left side of the apparatus.

この搬入コンベア31は半田ペーストを印刷すべき未処理の基板1を支持しながらX軸方向に搬送するために設けられたものである。そして、基板テーブル20をY軸方向に移動し、基板テーブル20上のコンベア21、21を搬入コンベア31、31と搬出コンベア32、32間に位置決めした状態で搬入コンベア31、31が駆動されると、印刷処理前の基板1が基板テーブル20に搬送される。   The carry-in conveyor 31 is provided to carry the unprocessed substrate 1 on which the solder paste is to be printed while conveying it in the X-axis direction. When the substrate table 20 is moved in the Y-axis direction and the conveyors 21 and 21 on the substrate table 20 are positioned between the conveyors 31 and 31 and the conveyors 32 and 32, the conveyors 31 and 31 are driven. The substrate 1 before the printing process is transported to the substrate table 20.

この基板1は基板クランプユニット(図示省略)により基板テーブル20に保持される。また、この基板テーブル20は制御ユニット40の基板テーブル制御部43により駆動され、基板テーブル20の上方で周囲を枠部材50により保持されたマスク51がマスククランプユニット52により固定保持されている。そして、半田供給ユニット60からマスク51上に供給された半田ペーストはスキージユニット70のスキージ71をY軸方向に往復移動させることでマスク51上に広げられる。このとき、マスク51に設けた開口部を介して半田ペーストが基板1の上面に印刷される。   The substrate 1 is held on the substrate table 20 by a substrate clamp unit (not shown). The substrate table 20 is driven by a substrate table control unit 43 of the control unit 40, and a mask 51 whose periphery is held by a frame member 50 above the substrate table 20 is fixedly held by a mask clamp unit 52. The solder paste supplied from the solder supply unit 60 onto the mask 51 is spread on the mask 51 by reciprocating the squeegee 71 of the squeegee unit 70 in the Y-axis direction. At this time, the solder paste is printed on the upper surface of the substrate 1 through the opening provided in the mask 51.

この印刷処理の後に、基板テーブル20は再び搬入コンベア31、31と搬出コンベア32、32間に移動して位置決めされる。そして、基板テーブル20に設けられたコンベア21、21が基板テーブル制御部43により駆動されることで印刷処理を受けた処理済基板1が搬出コンベア32、32に搬送される。その後、搬出コンベア32、32が駆動されると、印刷処理済の基板1が印刷装置から搬出される。   After this printing process, the substrate table 20 is again moved and positioned between the carry-in conveyors 31, 31 and the carry-out conveyors 32, 32. And the processed board | substrate 1 which received the printing process by the conveyors 21 and 21 provided in the board | substrate table 20 being driven by the board | substrate table control part 43 is conveyed to the carrying-out conveyors 32 and 32. FIG. Thereafter, when the carry-out conveyors 32 and 32 are driven, the printed substrate 1 is carried out from the printing apparatus.

この実施形態では、基板1のフィデューシャルマーク等を撮像するための基板カメラ81が基台10に固定されたビーム12に沿ってX軸方向に移動自在に取り付けられている。また、基板テーブル20にはマスク51下面のフィデューシャルマーク(図示せず)を撮像してマスク51の位置や種類等を識別するためのマスクカメラ82がX軸方向に移動自在に設けられている。   In this embodiment, a substrate camera 81 for imaging a fiducial mark or the like of the substrate 1 is attached so as to be movable in the X-axis direction along a beam 12 fixed to the base 10. The substrate table 20 is provided with a mask camera 82 for capturing a fiducial mark (not shown) on the lower surface of the mask 51 and identifying the position, type, etc. of the mask 51 movably in the X-axis direction. Yes.

さらに、基板テーブル20のY軸方向の前側に本発明の「クリーニング装置」および「クリーニングユニット」に相当するクリーナー90が取り付けられており、基板テーブル20のY軸方向移動に伴ってクリーナー90がY軸方向に移動する。このクリーナー90は基板1への半田ペーストの印刷処理によりマスク51に付着した半田ペースト等をクリーニング除去する装置である。なお、当該クリーナー90の構成およびクリーニング動作などについては後で詳述する。   Further, a cleaner 90 corresponding to the “cleaning device” and the “cleaning unit” of the present invention is attached to the front side of the substrate table 20 in the Y-axis direction. Move in the axial direction. The cleaner 90 is a device that cleans and removes the solder paste and the like attached to the mask 51 by printing the solder paste on the substrate 1. The configuration and cleaning operation of the cleaner 90 will be described in detail later.

上記のように構成された印刷装置では、印刷装置全体を制御する制御ユニット40が設けられている。この制御ユニット40は、演算処理部41と、プログラム記憶部42と、基板テーブル制御部43と、クリーナー制御部44とを有している。この演算処理部41はCPU等により構成されており、プログラム記憶部42に予め記憶されている印刷プログラムにしたがって印刷装置各部を制御して印刷処理を繰り返して行う。また、印刷処理を繰り返して行うことでマスク51に半田ペースト等が付着するため、演算処理部41はプログラム記憶部42に予め記憶されているクリーニングプログラムにしたがってクリーナー制御部44を介してクリーナー90を制御し、所定タイミング(例えば印刷処理の所定回数実行後)でマスク51のクリーニングを行う。なお、同図中の符号45は印刷プログラムやクリーニングプログラムなどを表示したり、作業者が制御ユニット40に対して各種データや指令などの情報を入力するための表示/操作ユニットである。また、符号46は入出力制御部である。   In the printing apparatus configured as described above, a control unit 40 for controlling the entire printing apparatus is provided. The control unit 40 includes an arithmetic processing unit 41, a program storage unit 42, a substrate table control unit 43, and a cleaner control unit 44. The arithmetic processing unit 41 is constituted by a CPU or the like, and repeats the printing process by controlling each unit of the printing apparatus according to a printing program stored in advance in the program storage unit 42. Since the solder paste or the like adheres to the mask 51 by repeatedly performing the printing process, the arithmetic processing unit 41 causes the cleaner 90 to be removed via the cleaner control unit 44 in accordance with a cleaning program stored in the program storage unit 42 in advance. The mask 51 is cleaned at a predetermined timing (for example, after a predetermined number of executions of the printing process). Reference numeral 45 in the figure is a display / operation unit for displaying a printing program, a cleaning program, etc., and for an operator to input information such as various data and commands to the control unit 40. Reference numeral 46 denotes an input / output control unit.

次に、クリーナー90の構成およびクリーニング動作について詳述する。図5はクリーナーの全体構成を示す斜視図である。また、図6は図5のクリーナーの側面図である。このクリーナー90では、ベース部材911がX軸方向に延設されるとともに、ベース部材911のX軸方向の両端部に側板912a、912bがそれぞれ立設されている。これらベース部材911、側板912a、912bによりクリーナー90の本体部91が形成されている。また、本体部91の上方部にクリーニングシートCSによりマスク51をクリーニングするクリーナーヘッド92が設けられている。このクリーニングシートCSとしては、従来より天然材や人工材からなり、可撓性と通気性のある布、紙、皮革等からなる長尺シートが用いられている。   Next, the configuration of the cleaner 90 and the cleaning operation will be described in detail. FIG. 5 is a perspective view showing the overall configuration of the cleaner. FIG. 6 is a side view of the cleaner of FIG. In the cleaner 90, the base member 911 extends in the X-axis direction, and side plates 912a and 912b are erected on both ends of the base member 911 in the X-axis direction. The base member 911 and the side plates 912a and 912b form a main body 91 of the cleaner 90. Further, a cleaner head 92 for cleaning the mask 51 with the cleaning sheet CS is provided above the main body 91. As the cleaning sheet CS, conventionally, a long sheet made of a natural material or an artificial material and made of flexible, breathable cloth, paper, leather, or the like has been used.

また、クリーナーヘッド92の下方位置に未使用のクリーニングシートCSをクリーナーヘッド92に向けて供給するシート供給部93が本体部91に設けられており、シート供給部93から繰り出した未使用のクリーニングシート(未使用シート部)を用いてクリーナーヘッド92がマスク51の下面をクリーニングした後、使用済のクリーニングシートCSが下方に搬送されてシート供給部93の下方位置で本体部91に設けられたシート回収部94の巻取軸に巻き取られて回収される。以下、シート供給部93、シート回収部94およびクリーナーヘッド92の順で構成について説明する。   Further, a sheet supply unit 93 that supplies an unused cleaning sheet CS toward the cleaner head 92 at a position below the cleaner head 92 is provided in the main body unit 91, and an unused cleaning sheet fed from the sheet supply unit 93 is provided. After the cleaner head 92 cleans the lower surface of the mask 51 using the (unused sheet portion), the used cleaning sheet CS is conveyed downward and is provided in the main body portion 91 at a position below the sheet supply portion 93. It is wound around the winding shaft of the recovery unit 94 and recovered. Hereinafter, the configuration of the sheet supply unit 93, the sheet collection unit 94, and the cleaner head 92 will be described in this order.

このシート供給部93は長尺状の未使用クリーニングシートCSをロール状に巻き取った供給ロール931を2本のシャフト932a、932bにより本体部91に対して回転自在に支持している。これら2本のシャフト932a、932bのうちシャフト932aは矢印状の先端部を有しており、当該先端部を左方側板912bに向けた状態で右方側板912aの中央部に回転自在に設けられている。また、他方のシャフト932bも矢印状の先端部を有しており、当該先端部を右方側板912aに向けた状態で左方側板912bの中央部に回転自在に設けられている。このように配置された供給用シャフト932a、932bの間に、未使用の長尺クリーニングシートCSを中空ロール軸(送り出し軸)にロール状で巻き取った供給ロール931が配置されている。そして、ロール軸の右方中空端部に対してシャフト932aの先端部が挿入されるとともに、左方中空端部に対してシャフト932bの先端部が図示を省略するスプリングにより押し込まれている。このため、供給ロール931は左方から右方に押圧されながら2つのシャフト932a、932bで挟み込まれて本体部91に対して回転自在に支持されている。   The sheet supply unit 93 rotatably supports a supply roll 931 obtained by winding a long unused cleaning sheet CS in a roll shape with respect to the main body 91 by two shafts 932a and 932b. Of these two shafts 932a, 932b, the shaft 932a has an arrow-shaped tip, and is provided rotatably at the center of the right side plate 912a with the tip facing the left side plate 912b. ing. The other shaft 932b also has an arrow-shaped tip, and is rotatably provided at the center of the left side plate 912b with the tip facing the right side plate 912a. Between the supply shafts 932a and 932b arranged in this way, a supply roll 931 in which an unused long cleaning sheet CS is wound around a hollow roll shaft (feed-out shaft) in a roll shape is disposed. And while the front-end | tip part of the shaft 932a is inserted with respect to the right hollow end part of a roll axis | shaft, the front-end | tip part of the shaft 932b is pushed in with the spring which abbreviate | omits illustration with respect to the left hollow end part. For this reason, the supply roll 931 is sandwiched between the two shafts 932a and 932b while being pressed from the left to the right, and is rotatably supported by the main body 91.

また、本実施形態では、シート供給部93は本発明の「規制手段」に相当する電磁クラッチ933を有している。すなわち、シャフト932aの後端部が電磁クラッチ933を介して本体部91の右方側板912aに接続されている。このため、電磁クラッチ933が閉じている間、シャフト932aは右方側板912aに接続されてシャフト932aの回転が規制される。その結果、供給ロール931に対してブレーキがかかった状態となり、クリーニングシートCSの操出が禁止される。一方、クリーナー制御部44により電磁クラッチ933が開いてシャフト932aと右方側板912aとの接続が解除されると、供給ロール931はクリーナー90の本体部91に対して回転自在となり、供給ロール931からのクリーニングシートCSの操出が可能となる。   In the present embodiment, the sheet supply unit 93 includes an electromagnetic clutch 933 corresponding to the “regulator” of the present invention. That is, the rear end portion of the shaft 932 a is connected to the right side plate 912 a of the main body portion 91 via the electromagnetic clutch 933. For this reason, while the electromagnetic clutch 933 is closed, the shaft 932a is connected to the right side plate 912a and the rotation of the shaft 932a is restricted. As a result, the supply roll 931 is braked, and the cleaning sheet CS is prohibited from operating. On the other hand, when the electromagnetic clutch 933 is opened by the cleaner control unit 44 and the connection between the shaft 932a and the right side plate 912a is released, the supply roll 931 is rotatable with respect to the main body 91 of the cleaner 90, and from the supply roll 931. The cleaning sheet CS can be operated.

また、繰り出されたクリーニングシートCSをクリーナーヘッド92に案内するために、シート供給部93には、ガイドバー934が設けられている。このガイドバー934の両端部はそれぞれ左右側板912a、912bに穿設された支持孔913に挿入されるとともにナットなどの固定金具により左右側板912a、912bに着脱自在に固定されている。なお、この実施形態では、左右側板912a、912bの各々に3つの支持孔913が形成されており、ガイドバー934の取付位置を位置P1、P2、P3の3段階で変更可能となっている。これは後述するようにしてクリーニングシートCSを繰り出した際のシートCSの送り量を変更する機能を担っている。この点については後で詳述する。   Further, a guide bar 934 is provided in the sheet supply unit 93 to guide the fed cleaning sheet CS to the cleaner head 92. Both end portions of the guide bar 934 are inserted into support holes 913 formed in the left and right side plates 912a and 912b, respectively, and are detachably fixed to the left and right side plates 912a and 912b by fixing brackets such as nuts. In this embodiment, three support holes 913 are formed in each of the left and right side plates 912a and 912b, and the mounting position of the guide bar 934 can be changed in three stages of positions P1, P2, and P3. This has a function of changing the feeding amount of the sheet CS when the cleaning sheet CS is fed out as will be described later. This point will be described in detail later.

なお、シート供給部93の構成はこれに限定されるものではなく、長尺状のクリーニングシートCSを長尺方向に繰り出すことができる限り任意の構成を採用することができる。また、規制手段についても電磁クラッチ以外に限定されるものではなく、クリーニングシートCSの操出を規制できる構成であれば任意である。また、ガイドバー934の取付位置も「3」に限定されるものではなく、任意である。   The configuration of the sheet supply unit 93 is not limited to this, and any configuration can be adopted as long as the long cleaning sheet CS can be fed out in the long direction. Further, the restricting means is not limited to those other than the electromagnetic clutch, and any means can be used as long as the operation of the cleaning sheet CS can be restricted. Further, the mounting position of the guide bar 934 is not limited to “3”, and is arbitrary.

このようにシート供給部93から繰り出された未使用のクリーニングシートCSはクリーナーヘッド92でマスク51のクリーニングに使用された後、シート回収部94に案内される。このシート回収部94は巻取軸941を2本のシャフト942a、942bにより本体部91に対して回転自在に支持している。これら2本のシャフト942a、942bはシート供給部93と同様にして本体部91に回転自在に支持されている。つまり、シャフト942aは矢印状の先端部を有しており、当該先端部を左方側板912bに向けた状態で右方側板912aの下方部に回転自在に設けられている。また、他方のシャフト942bも矢印状の先端部を有しており、当該先端部を右方側板912aに向けた状態で左方側板912bの下方部に回転自在に設けられている。このように配置された巻取用シャフト942a、942bの間に使用済のクリーニングシートを巻き取るための中空巻取軸941が配置され、巻取軸941の右方中空端部に対してシャフト942aの先端部が挿入されるとともに、左方中空端部に対してシャフト942bの先端部が図示を省略するスプリングにより押し込まれており、巻取軸941を左方から右方に押圧した状態で2つのシャフト942a、942bで挟み込み、巻取軸941を本体部91に対して回転自在に支持している。   As described above, the unused cleaning sheet CS fed from the sheet supply unit 93 is used for cleaning the mask 51 by the cleaner head 92 and then guided to the sheet collection unit 94. The sheet collecting unit 94 supports a winding shaft 941 rotatably with respect to the main body 91 by two shafts 942a and 942b. These two shafts 942 a and 942 b are rotatably supported by the main body 91 in the same manner as the sheet supply unit 93. That is, the shaft 942a has an arrow-shaped tip, and is rotatably provided on the lower portion of the right side plate 912a with the tip facing the left side plate 912b. The other shaft 942b also has an arrow-shaped tip, and is rotatably provided at the lower portion of the left side plate 912b with the tip facing the right side plate 912a. A hollow take-up shaft 941 for taking up the used cleaning sheet is arranged between the take-up shafts 942a and 942b arranged in this way, and the shaft 942a is disposed with respect to the right hollow end of the take-up shaft 941. The distal end portion of the shaft 942b is pushed into the left hollow end portion by a spring (not shown), and the winding shaft 941 is pushed from the left side to the right side. The shaft 941 is sandwiched between the two shafts 942 a and 942 b, and the winding shaft 941 is rotatably supported with respect to the main body 91.

また、この実施形態では、図7に示すように、巻取軸941が所定の巻取方向(+α)にのみ回転し、反巻取方向(−α)に回転するのを規制するため、ワンウェイクラッチ944が用いられている。すなわち、巻取用シャフト942aの中央部がワンウェイクラッチ944を介して右方側板912aに支持され、巻取用シャフト942aおよび巻取軸941は巻取方向(+α)にのみ回転自在となっている。   Further, in this embodiment, as shown in FIG. 7, in order to restrict the winding shaft 941 from rotating only in a predetermined winding direction (+ α) and rotating in the counter-winding direction (−α), one-way. A clutch 944 is used. That is, the central portion of the winding shaft 942a is supported by the right side plate 912a via the one-way clutch 944, and the winding shaft 942a and the winding shaft 941 are rotatable only in the winding direction (+ α). .

また、このように構成された巻取軸941に使用済のクリーニングシートCSを巻き取って回収するために、シート回収部94には、巻取用シャフト942aの後端部に駆動機構945が設けられている。この駆動機構945では、巻取軸941の動力源としてエアーシリンダ945aが用いられている。ここでは、エアーシリンダ945aの後端部、つまり反ピストン側端部が右方側板912aに回動自在に支持されている。そして、エアーシリンダ945aのピストン部に対してリンクプレート945bの一方端が接続される一方、リンクプレート945bの他方端がワンウェイクラッチ945cを介して巻取用シャフト942aの後端部に接続されている。このため、クリーナー制御部44から伸長指令を受けてエアーシリンダ945aのピストン部が伸長すると、その伸長運動がリンクプレート945bにより回転運動に変換され、ワンウェイクラッチ945cを介して巻取用シャフト942aに伝達される。その結果、巻取用シャフト942aおよび巻取軸941が巻取方向(+α)に回転し、使用済クリーニングシートCSの巻取が可能となる。逆に、クリーナー制御部44によりエアーシリンダ945aのピストン部が後退した場合においても、2つのワンウェイクラッチ944、945cの作用により巻取用シャフト942aおよび巻取軸941が反巻取方向(−α)に回転するのが防止される。   Further, in order to take up and collect the used cleaning sheet CS on the take-up shaft 941 configured as described above, the sheet collecting unit 94 is provided with a drive mechanism 945 at the rear end of the take-up shaft 942a. It has been. In this drive mechanism 945, an air cylinder 945 a is used as a power source for the winding shaft 941. Here, a rear end portion of the air cylinder 945a, that is, an end portion on the side opposite to the piston is rotatably supported by the right side plate 912a. One end of the link plate 945b is connected to the piston portion of the air cylinder 945a, while the other end of the link plate 945b is connected to the rear end portion of the winding shaft 942a via the one-way clutch 945c. . For this reason, when the piston portion of the air cylinder 945a extends upon receiving an extension command from the cleaner control unit 44, the extension motion is converted into a rotational motion by the link plate 945b and transmitted to the winding shaft 942a via the one-way clutch 945c. Is done. As a result, the winding shaft 942a and the winding shaft 941 rotate in the winding direction (+ α), and the used cleaning sheet CS can be wound. Conversely, even when the piston portion of the air cylinder 945a is retracted by the cleaner control unit 44, the two one-way clutches 944 and 945c act to cause the winding shaft 942a and the winding shaft 941 to be in the counter-winding direction (−α). Rotation is prevented.

図8はクリーナーヘッドを上方から見た平面図である。このクリーナーヘッド92では、ヘッド本体921が本体部91の上方部に対して昇降自在に設けられている。このヘッド本体921には、側板912aの外面上方部に固定されたエアーシリンダ922のピストン部が接続されており、エアーシリンダ922のピストン部が後退しているときには、図6の実線で示すように、ヘッド本体921は本体部91の上方後側に形成された切欠部に入り込んでいる。このときのヘッド本体921の位置Pwが本発明の「待機位置」に相当する。一方、クリーナー制御部44によりエアーシリンダ922のピストン部が伸長すると、同図の1点鎖線で示すように、ヘッド本体921がクリーニングシートと共に上昇する。このときのヘッド本体921の位置Pcが本発明の「クリーニング位置」に相当し、後述するようにヘッド本体921の上昇移動により未使用のクリーニングシートCSがシート供給部93から繰り出され、ヘッド本体921で支持するクリーニングシートCSのシート部がマスク51の下面に押し当て付けられてマスク51のクリーニング処理が実行される。   FIG. 8 is a plan view of the cleaner head as viewed from above. In the cleaner head 92, the head main body 921 is provided so as to be movable up and down with respect to the upper portion of the main body 91. The head main body 921 is connected to a piston portion of an air cylinder 922 fixed to an upper portion of the outer surface of the side plate 912a. When the piston portion of the air cylinder 922 is retracted, as shown by a solid line in FIG. The head main body 921 is inserted into a notch formed on the upper rear side of the main body 91. The position Pw of the head main body 921 at this time corresponds to the “standby position” of the present invention. On the other hand, when the piston portion of the air cylinder 922 is extended by the cleaner control unit 44, the head main body 921 is lifted together with the cleaning sheet, as indicated by a one-dot chain line in FIG. The position Pc of the head main body 921 at this time corresponds to the “cleaning position” of the present invention, and as will be described later, an unused cleaning sheet CS is fed out from the sheet supply section 93 by the upward movement of the head main body 921, and the head main body 921 The sheet portion of the cleaning sheet CS supported by the above is pressed against the lower surface of the mask 51, and the cleaning process of the mask 51 is executed.

このヘッド本体921の頂部に設けられたシート支持面923には、2種類の貫通孔924、925が穿設されている。一方の貫通孔924は吸引ノズルであり、ヘッド本体921の側部から延設された吸引ホース926の一方端と接続されている。また、この吸引ホース926はホースガイド927にガイドされながら吸引ユニット928(図4)に接続されている。このため、バキューム弁(図示省略)が開放状態になると吸引ノズル924に負圧が供給されて吸引を行う一方、バキューム弁が閉止状態となって大気圧に開放されると吸引ノズルによる吸引が停止される。   Two types of through holes 924 and 925 are formed in the sheet support surface 923 provided on the top of the head main body 921. One through-hole 924 is a suction nozzle, and is connected to one end of a suction hose 926 extending from the side of the head main body 921. The suction hose 926 is connected to a suction unit 928 (FIG. 4) while being guided by a hose guide 927. For this reason, when the vacuum valve (not shown) is opened, suction is performed by supplying negative pressure to the suction nozzle 924, while suction by the suction nozzle is stopped when the vacuum valve is closed and opened to atmospheric pressure. Is done.

また、もう一方の貫通孔925は溶剤吐出ノズルであり、溶剤供給チューブ929を介して溶剤供給ユニット(図示省略)に接続されている。このため、溶剤を用いる必要がある場合には、溶剤供給ユニットが作動して溶剤供給チューブ929を通じて溶剤吐出ノズル925に溶剤が圧送されると、ヘッド本体921とマスク51の間に位置するクリーニングシートCSのシート部に溶剤が供給されてクリーニング処理を良好に行うことができる。   The other through-hole 925 is a solvent discharge nozzle and is connected to a solvent supply unit (not shown) via a solvent supply tube 929. Therefore, when it is necessary to use a solvent, when the solvent supply unit is activated and the solvent is pumped to the solvent discharge nozzle 925 through the solvent supply tube 929, the cleaning sheet positioned between the head main body 921 and the mask 51 is used. The solvent can be supplied to the CS sheet portion so that the cleaning process can be performed satisfactorily.

次に、上記のように構成されたクリーナー90の動作について図9を参照しつつ詳述する。印刷装置において印刷処理が行われている間、クリーナー90は待機状態となっている。つまり、図9(a)に示すように、シート供給部93では、電磁クラッチ933が閉じて供給ロール931に対してブレーキが作用している。また、クリーナーヘッド92では、エアーシリンダ922のピストン部が後退してヘッド本体921は待機位置Pwに降下しており、マスク51の下面から大きく離間している。さらに、シート回収部94では、エアーシリンダ945aのピストン部は後退した位置で静止している。なお、同図中の符号SA1は前回のクリーニング処理において使用した使用済シート部である。また、この実施形態では、ヘッド本体921のシート支持面923に対してクリーニングシートCSが巻き掛けられた状態(係合状態)で、しかもシート供給部93とシート回収部94の間でクリーニングシートCSに対して張力を与えた状態で待機している。   Next, the operation of the cleaner 90 configured as described above will be described in detail with reference to FIG. While the printing process is being performed in the printing apparatus, the cleaner 90 is in a standby state. That is, as shown in FIG. 9A, in the sheet supply unit 93, the electromagnetic clutch 933 is closed and a brake is applied to the supply roll 931. Further, in the cleaner head 92, the piston portion of the air cylinder 922 is retracted and the head main body 921 is lowered to the standby position Pw and is largely separated from the lower surface of the mask 51. Further, in the sheet collecting portion 94, the piston portion of the air cylinder 945a is stationary at the retracted position. Note that reference numeral SA1 in the drawing denotes a used sheet portion used in the previous cleaning process. In this embodiment, the cleaning sheet CS is wound around the sheet support surface 923 of the head main body 921 (engaged state), and between the sheet supply unit 93 and the sheet collection unit 94. Is waiting in a state where tension is applied.

そして、予め設定しておいた条件、例えば印刷処理を所定回数実行する等のクリーニング開始条件に達すると、演算処理部41はプログラム記憶部42に予め記憶されているクリーニングプログラムにしたがってクリーナー制御部44を介してクリーナー90を制御して「ヘッド上昇」、「クリーナー90のY軸方向移動」、「ヘッド降下」および「巻取」をこの順序で行った後、元の待機状態に戻る。以下、各動作について説明する。   When reaching a preset condition, for example, a cleaning start condition such as executing a printing process a predetermined number of times, the arithmetic processing unit 41 performs a cleaner control unit 44 according to a cleaning program stored in the program storage unit 42 in advance. After the cleaner 90 is controlled via “”, “head up”, “movement of the cleaner 90 in the Y-axis direction”, “head down” and “winding” are performed in this order, and then the original standby state is restored. Hereinafter, each operation will be described.

この「ヘッド上昇」動作では、電磁クラッチ933が開いて供給ロール931に対するブレーキを解除する。また、これと同時あるいはブレーキ解除後に、エアーシリンダ922のピストン部を伸長させてヘッド本体921をクリーニング位置Pcまで上昇させる。このとき、ヘッド本体921の上昇によりシート供給部93とシート回収部94の間でクリーニングシートCSが引っ張られる形でシート回収部94に応力が作用するが、ワンウェイクラッチ944の作用により巻取軸941が反巻取方向(−α)に回転するのを効果的に防止することができる。このヘッド本体921の上昇移動に伴う応力はシート供給部93にも作用するが、このシート供給部93に対するブレーキは同時に解除される、あるいは既に解除されているため、その応力を受けて供給ロール931から未使用のクリーニングシートCSが繰り出されて使用済シート部SA1に対してシート供給部93側に隣接する未使用シート部SA2がヘッド本体921のシート支持面923に移動する一方、それと入れ替わって使用済シート部SA1がヘッド本体921のシート支持面923からシート回収部94側に移動する(図9(b))。したがって、ヘッド上昇量を調整することで1回の「ヘッド上昇」によりシート支持面923から使用済シート部SA1の全部をシート回収部94側に移動させるとともに未使用シート部SA2の全部をシート支持面923上に移動させることができる。   In this “head raising” operation, the electromagnetic clutch 933 is opened and the brake for the supply roll 931 is released. At the same time or after releasing the brake, the piston of the air cylinder 922 is extended to raise the head main body 921 to the cleaning position Pc. At this time, although the cleaning sheet CS is pulled between the sheet supply unit 93 and the sheet collection unit 94 due to the rising of the head main body 921, stress acts on the sheet collection unit 94, but the winding shaft 941 is acted on by the one-way clutch 944. Can be effectively prevented from rotating in the anti-winding direction (−α). The stress accompanying the upward movement of the head main body 921 also acts on the sheet supply unit 93. However, since the brake for the sheet supply unit 93 is released at the same time or has already been released, the supply roll 931 receives the stress. The unused cleaning sheet CS is fed out from the used sheet portion SA1, and the unused sheet portion SA2 adjacent to the sheet supply portion 93 side moves to the sheet support surface 923 of the head main body 921, while the replacement is used. The finished sheet portion SA1 moves from the sheet support surface 923 of the head main body 921 to the sheet collecting portion 94 side (FIG. 9B). Therefore, by adjusting the head lift amount, the entire used sheet portion SA1 is moved from the sheet support surface 923 to the sheet collecting portion 94 side by one “head lift”, and the entire unused sheet portion SA2 is supported by the sheet. It can be moved on the surface 923.

なお、クリーニング処理に際して溶剤を使用する場合には、この「ヘッド上昇」中に溶剤供給ユニットを作動させて未使用シート部SA2に溶剤を吐出する。これにより未使用シート部SA2にクリーニングに適した溶剤が含まれてマスク51下面の洗浄を良好に行うことができる。   When a solvent is used in the cleaning process, the solvent supply unit is operated during this “head rise” to discharge the solvent to the unused sheet portion SA2. As a result, the unused sheet portion SA2 contains a solvent suitable for cleaning, and the lower surface of the mask 51 can be cleaned well.

「ヘッド上昇」によりシート支持面923への未使用シート部SA2の送り出しが完了すると、電磁クラッチ933を閉じてシート供給部93に対してブレーキを作用させる(図9(c))。これによって供給ロール931からのクリーニングシートCSの繰出や巻戻が防止されてシート支持面923に対する未使用シート部SA2の位置ズレが防止される。この状態で基板テーブル制御部43により基板テーブル20をY軸方向前側からY軸方向後側に移動させる。この基板テーブル20のY軸方向の移動に伴ってクリーナー90がY軸方向に移動してマスク51の下面に対して(溶剤供給を行った場合には溶剤を含んだ)未使用シート部SA2がY軸方向に相対移動し、これによってマスク51の下面がクリーニングされる。   When the feeding of the unused sheet part SA2 to the sheet support surface 923 is completed by “head rise”, the electromagnetic clutch 933 is closed and a brake is applied to the sheet supply part 93 (FIG. 9C). This prevents the cleaning sheet CS from being fed out and rewound from the supply roll 931 and prevents the unused sheet portion SA2 from being displaced relative to the sheet support surface 923. In this state, the substrate table controller 43 moves the substrate table 20 from the Y axis direction front side to the Y axis direction rear side. As the substrate table 20 moves in the Y-axis direction, the cleaner 90 moves in the Y-axis direction, and the unused sheet portion SA2 (including the solvent when solvent is supplied) is applied to the lower surface of the mask 51. The relative movement in the Y-axis direction causes the lower surface of the mask 51 to be cleaned.

クリーナー90がマスク51のY軸方向後側まで移動してマスク51の下面全体に対するクリーニングが完了すると、シート供給部93にブレーキを作用させたまま、エアーシリンダ922のピストン部を後退させてヘッド本体921をクリーニング位置Pcから待機位置Pwまで降下させる。これにより、ヘッド本体921に対してシート回収部94側でクリーニングシートCSに弛み部が形成されるとともに、使用済のシート部SA1、SA2がシート回収部94側に近づく(図9(d))。   When the cleaner 90 moves to the rear side in the Y-axis direction of the mask 51 and the cleaning of the entire lower surface of the mask 51 is completed, the piston body of the air cylinder 922 is moved backward while the brake is applied to the sheet supply unit 93 to make the head body. 921 is lowered from the cleaning position Pc to the standby position Pw. As a result, a slack portion is formed in the cleaning sheet CS on the sheet collecting portion 94 side with respect to the head main body 921, and the used sheet portions SA1 and SA2 approach the sheet collecting portion 94 side (FIG. 9D). .

ヘッド本体921の待機位置Pwへの下降後に、シート供給部93にブレーキを作用させたまま、エアーシリンダ945aのピストン部を伸長させて巻取用シャフト942aおよび巻取軸941を巻取方向(+α)に回転させる(図9(e))。これによって、使用済クリーニングシートCSをシート供給部93とシート回収部94の間の弛み分だけ巻き取り、再びシート供給部93とシート回収部94の間でクリーニングシートCSに対して張力を与える。   After the head main body 921 is lowered to the standby position Pw, the piston portion of the air cylinder 945a is extended while the brake is applied to the sheet supply portion 93, so that the winding shaft 942a and the winding shaft 941 are wound in the winding direction (+ α ) (FIG. 9E). Thus, the used cleaning sheet CS is wound up by the slack between the sheet supply unit 93 and the sheet collection unit 94, and tension is applied to the cleaning sheet CS again between the sheet supply unit 93 and the sheet collection unit 94.

こうして「巻取」まで完了すると、ヘッド本体921を待機位置Pwに位置決めしたまま基板テーブル制御部43により基板テーブル20をY軸方向前側に移動させることでクリーナー90を元の待機位置Pw(図9(a))に戻す。   When the “winding” is completed in this way, the cleaner 90 is moved to the original standby position Pw (FIG. 9) by moving the substrate table 20 forward in the Y-axis direction by the substrate table control unit 43 while the head main body 921 is positioned at the standby position Pw. Return to (a)).

以上のように、本実施形態によれば、シート供給部93はクリーニング位置Pcよりも低い位置に配置されているため、クリーナーヘッド92が待機位置Pwで待機している間、シート供給部93から既に繰り出され、しかもシート回収部94に巻き取られていないクリーニングシートCS(シート部)はクリーニング位置Pcの下方に位置している。また、待機状態では、シート供給部93とシート回収部94の間にあるクリーニングシート(シート部)に対して張力が与えられており、しかも巻取軸941の反巻取方向(−α)への回転が規制されている。そして、クリーニング処理を開始する場合には、クリーナーヘッド92が待機位置Pwからクリーニング位置Pcに上昇し、その移動量に応じた送り量だけ未使用のクリーニングシートCSをシート供給部93から繰り出している。したがって、クリーニングシートCSの送り量を検出するための検出手段を設けることなく、クリーナーヘッド92の移動量に応じた送り量だけ未使用クリーニングシートCSを正確に繰り出すことができる。その結果、低ランニングコストでマスク51の下面をクリーニングすることができる。   As described above, according to the present embodiment, since the sheet supply unit 93 is disposed at a position lower than the cleaning position Pc, while the cleaner head 92 is waiting at the standby position Pw, the sheet supply unit 93 is The cleaning sheet CS (sheet part) that has already been fed and that has not been wound around the sheet collecting part 94 is located below the cleaning position Pc. Further, in the standby state, tension is applied to the cleaning sheet (sheet portion) between the sheet supply unit 93 and the sheet collection unit 94, and in the anti-winding direction (−α) of the winding shaft 941. The rotation of is regulated. When the cleaning process is started, the cleaner head 92 is raised from the standby position Pw to the cleaning position Pc, and the unused cleaning sheet CS is fed out from the sheet supply unit 93 by a feeding amount corresponding to the moving amount. . Accordingly, the unused cleaning sheet CS can be accurately fed out by the feed amount corresponding to the movement amount of the cleaner head 92 without providing a detection means for detecting the feed amount of the cleaning sheet CS. As a result, the lower surface of the mask 51 can be cleaned at a low running cost.

また、クリーニング処理が完了してクリーナーヘッド92が待機位置Pwに降下した後に、シート供給部93にブレーキ力を与えてクリーニングシートCSの操出を規制した状態で巻取軸941を巻取方向(+α)に回転させて使用済のシート部を回収するとともにシート供給部93とシート回収部94の間でクリーニングシートに張力を与えて元の待機状態に戻している。したがって、次のクリーニング処理を円滑に開始することができる。なお、この実施形態では、クリーナーヘッド92が待機位置Pwに降下した直後に使用済クリーニングシートCSの巻取を行っているが、下降後に一定時間が経過した時点や当該下降と並行して使用済クリーニングシートCSの巻取を実行してもよい。要は、次のクリーニング処理を実行する時点でクリーナー90が上記した待機状態となっていればよい。   In addition, after the cleaning process is completed and the cleaner head 92 is lowered to the standby position Pw, the take-up shaft 941 is moved in the take-up direction (with the brake force applied to the sheet supply unit 93 to restrict the operation of the cleaning sheet CS). The used sheet portion is recovered by rotating to + α), and the cleaning sheet is tensioned between the sheet supply portion 93 and the sheet recovery portion 94 to return to the original standby state. Therefore, the next cleaning process can be started smoothly. In this embodiment, the used cleaning sheet CS is wound immediately after the cleaner head 92 is lowered to the standby position Pw. However, the used cleaning sheet CS is wound at a certain time after the descent or in parallel with the descent. The cleaning sheet CS may be wound up. In short, it is only necessary that the cleaner 90 is in the above-described standby state when the next cleaning process is executed.

また、上記実施形態では、巻取軸941の動力源としてエアーシリンダ945aを用いるとともに、エアーシリンダ945aで発生した動力をワンウェイクラッチ945cにより巻取軸941に伝達して巻取軸941が反巻取方向(−α)に回転するのを防止している。このような構成を採用することで、モータや減速機構などを組み合わせてシート回収部を構成する従来装置に比べ、装置コストを低減させることができる。なお、この実施形態では、エアーシリンダ945aとリンクプレート945bを用いて回転動力を発生させているが、これらに代えて例えばエアー方式のロータリーアクチュエータを用いてもよく、エアーアクチュエータ全般を巻取軸941の動力源として用いることができる。   In the above embodiment, the air cylinder 945a is used as a power source for the take-up shaft 941, and the power generated by the air cylinder 945a is transmitted to the take-up shaft 941 by the one-way clutch 945c so that the take-up shaft 941 is anti-winded. This prevents rotation in the direction (−α). By adopting such a configuration, the cost of the apparatus can be reduced as compared with the conventional apparatus in which the sheet collection unit is configured by combining a motor, a speed reduction mechanism, and the like. In this embodiment, rotational power is generated by using the air cylinder 945a and the link plate 945b. However, instead of these, for example, an air-type rotary actuator may be used, and the entire air actuator may be a winding shaft 941. It can be used as a power source.

さらに、上記実施形態では、シート供給部93のガイドバー934からクリーニングシートCSをクリーナーヘッド92に向けて送り出しており、ガイドバー934の取付位置P1、P2、P3が本発明の「シート送出位置」に相当している。そして、上記クリーナー90ではガイドバー934の取付位置P1、P2、P3を3段階で変更可能に構成しており、シート送出位置P1、P2、P3の調整が可能となっている。つまり、支持孔931およびガイドバー934が本発明の「第2調整部」に相当しており、ガイドバー934の取付位置を変更することでクリーナーヘッド92の上昇により繰り出されるクリーニングシートCSの送り量を制御することができる。特に、クリーニングシートCSは上記したように可撓性を有しており、クリーニングシートCSの材質、幅および厚みなどにより伸び量が異なる。したがって、使用するクリーニングシートCSに応じて送り量を制御することでクリーニングシートCSを常に適切な送り量でクリーナーヘッド92に送り込むことができる。   Further, in the above embodiment, the cleaning sheet CS is sent out from the guide bar 934 of the sheet supply unit 93 toward the cleaner head 92, and the mounting positions P1, P2, and P3 of the guide bar 934 are the “sheet sending position” of the present invention. It corresponds to. In the cleaner 90, the mounting positions P1, P2, and P3 of the guide bar 934 can be changed in three stages, and the sheet feeding positions P1, P2, and P3 can be adjusted. That is, the support hole 931 and the guide bar 934 correspond to the “second adjusting portion” of the present invention, and the amount of feed of the cleaning sheet CS that is fed out by raising the cleaner head 92 by changing the mounting position of the guide bar 934 is changed. Can be controlled. In particular, the cleaning sheet CS has flexibility as described above, and the amount of elongation varies depending on the material, width, thickness, and the like of the cleaning sheet CS. Therefore, the cleaning sheet CS can always be fed into the cleaner head 92 with an appropriate feeding amount by controlling the feeding amount according to the cleaning sheet CS to be used.

なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態では、シート送出位置P1、P2、P3の調整によりクリーニングシートCSの送り量を最適化しているが、クリーナーヘッド92の移動量を調整することでクリーニングシートCSの送り量を制御してもよい。例えば上記実施形態のように待機位置Pwでクリーナーヘッド92がクリーニングシートCSと係合するクリーナー90では、待機位置Pwをクリーニング位置Pcに対して上下方向に変更すると、待機位置Pwからクリーニング位置Pcまでの距離が変わる。その結果、クリーニング処理を行うためにクリーナーヘッド92がクリーニング位置Pcに移動した際の移動量が変わり、それに応じてシート供給部93からの未使用クリーニングシートCSの送り量も増減する。そこで、クリーナーヘッド92を昇降駆動するために、クリーニング位置Pcに対する待機位置Pwを多段階に変更させることができるアクチュエータを本発明の「第1調整部」として装備し、使用するクリーニングシートCSに応じて待機位置Pwを調整して送り量を制御してもよい。このように構成することで、クリーニングシートCSを常に適切な送り量でクリーナーヘッド92に送り込むことができる。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications other than those described above can be made without departing from the spirit of the present invention. For example, in the above embodiment, the feed amount of the cleaning sheet CS is optimized by adjusting the sheet delivery positions P1, P2, and P3. However, the feed amount of the cleaning sheet CS is controlled by adjusting the movement amount of the cleaner head 92. May be. For example, in the cleaner 90 in which the cleaner head 92 engages with the cleaning sheet CS at the standby position Pw as in the above embodiment, when the standby position Pw is changed in the vertical direction with respect to the cleaning position Pc, the standby position Pw to the cleaning position Pc. The distance changes. As a result, the amount of movement when the cleaner head 92 moves to the cleaning position Pc to perform the cleaning process changes, and the amount of unused cleaning sheet CS fed from the sheet supply unit 93 increases or decreases accordingly. Therefore, in order to drive the cleaner head 92 up and down, an actuator that can change the standby position Pw with respect to the cleaning position Pc in multiple stages is equipped as the “first adjusting portion” of the present invention, and according to the cleaning sheet CS to be used. Then, the feed position may be controlled by adjusting the standby position Pw. With this configuration, the cleaning sheet CS can always be fed into the cleaner head 92 with an appropriate feed amount.

また、上記実施形態では、未使用の長尺クリーニングシートCSの後端部を中空ロール軸(送り出し軸)に固着しながらロール状で巻き取った供給ロール931を用いており、クリーナーヘッド92の上昇に伴ってクリーニングシートCSが繰り出される。このとき、シート送りに伴ってロール軸が回転する。一方、クリーニングシートCSが使い切られた時には、クリーニングシートCSの繰出が行われず、ロール軸は回転停止状態となる。そこで、例えば図10に示すように、ロール軸の回転を検出する回転検出部95を設け、当該回転検出部95の検出結果に基づきクリーニングシートCSの使い切りを検出してもよい。この回転検出部95としては、同図に示すように、回転検出用ドグ951と光センサ952とを組み合わせたものと使用することができる。この回転検出用ドグ951は、円盤部材の外周部に切欠を複数個等角度間隔で設けたものであり、ロール軸を回転自在に支持しているシャフト932aに固定されている。このため、クリーニングシートCSの繰出によりロール軸、シャフト932aおよび回転検出用ドグ951が回転する。また、光センサ952は回転検出用ドグ951の外周部を検出するように配置されており、ドグ951の回転に応じて光センサ952からパルス信号が出力される。この光センサ952は入出力制御部46に接続され、上記パルス信号が入出力制御部46を介して演算処理部41に与えられる。そして、このパルス信号に基づき演算処理部41は、クリーナーヘッド92がクリーニング位置Pcに上昇した際にロール軸が回転しているか否かを判定し、ロール軸が回転していないことを検出したとき、クリーニングシートCSの使い切りと判断している。この実施形態では、演算処理部41が本発明の「使い切り検出部」として機能しており、クリーニングシートCSの使い切りを自動的に検出することができる。なお、使い切りを検出した際には、その旨を表示/操作ユニット45に表示したり、報知してもよい。   Further, in the above-described embodiment, the supply roll 931 that is wound up in a roll shape while the rear end portion of the unused long cleaning sheet CS is fixed to the hollow roll shaft (feeding shaft) is used, and the cleaner head 92 is lifted. Accordingly, the cleaning sheet CS is fed out. At this time, the roll shaft rotates as the sheet is fed. On the other hand, when the cleaning sheet CS is used up, the cleaning sheet CS is not fed out, and the roll shaft is stopped. Therefore, for example, as illustrated in FIG. 10, a rotation detection unit 95 that detects the rotation of the roll shaft may be provided, and the use of the cleaning sheet CS may be detected based on the detection result of the rotation detection unit 95. As the rotation detection unit 95, a combination of a rotation detection dog 951 and an optical sensor 952 can be used as shown in FIG. This rotation detecting dog 951 is provided with a plurality of notches at equal angular intervals on the outer periphery of the disk member, and is fixed to a shaft 932a that rotatably supports the roll shaft. Therefore, the roll shaft, the shaft 932a, and the rotation detection dog 951 are rotated by feeding the cleaning sheet CS. The optical sensor 952 is arranged so as to detect the outer periphery of the rotation detection dog 951, and a pulse signal is output from the optical sensor 952 according to the rotation of the dog 951. The optical sensor 952 is connected to the input / output control unit 46, and the pulse signal is given to the arithmetic processing unit 41 via the input / output control unit 46. Based on this pulse signal, the arithmetic processing unit 41 determines whether or not the roll shaft is rotating when the cleaner head 92 is raised to the cleaning position Pc, and detects that the roll shaft is not rotating. It is determined that the cleaning sheet CS is used up. In this embodiment, the arithmetic processing unit 41 functions as the “use-up detection unit” of the present invention, and can automatically detect use-up of the cleaning sheet CS. In addition, when the use-up is detected, the fact may be displayed on the display / operation unit 45 or notified.

また、上記実施形態では、シート供給部93側でシートの使い切りを検出しているが、シート回収部94側でシートの使い切りを検出してもよく、上記実施形態と同様の作用効果が得られる。すなわち、クリーニングシートCSを使い切った場合、シート回収部94のエアーシリンダ945aに伸長指令を出したとしても、クリーニングシートCSの巻取が不可能であるため、エアーシリンダ945aのピストン部は後退したままとなっている。そこで、エアーシリンダ945aのピストン部が原位置(後退している位置)にあることを検出するセンサを設け、演算処理部41から伸長指令を2回出力したとしてもピストン部が原位置から離れないことをセンサが検出した場合、演算処理部41がクリーニングシートCSの使い切りを検出するように構成してもよい。   In the above embodiment, the use of the sheet is detected on the sheet supply unit 93 side. However, the use of the sheet may be detected on the sheet collection unit 94 side, and the same effect as the above embodiment can be obtained. . That is, when the cleaning sheet CS is used up, even if an extension command is issued to the air cylinder 945a of the sheet collecting unit 94, the cleaning sheet CS cannot be wound, so the piston portion of the air cylinder 945a remains retracted. It has become. Therefore, even if a sensor is provided to detect that the piston portion of the air cylinder 945a is at the original position (retracted position), and the extension command is output twice from the arithmetic processing portion 41, the piston portion does not leave the original position. If the sensor detects this, the arithmetic processing unit 41 may be configured to detect the use up of the cleaning sheet CS.

さらに、上記実施形態において、供給ロール931の両端部に摩擦伝動面を設けると、クリーニングシートCSは所定の力で引かれることにより回転するように調整がすることができる。このようにすることで、ブレーキが解除されたときにも繰り出したクリーニングシートCSは張力を保持したままとなる。   Furthermore, in the above embodiment, when the friction transmission surfaces are provided at both ends of the supply roll 931, the cleaning sheet CS can be adjusted to rotate by being pulled with a predetermined force. By doing so, the cleaning sheet CS that has been fed out even when the brake is released maintains the tension.

本発明にかかる印刷装置の一実施形態を示す斜視図である。1 is a perspective view showing an embodiment of a printing apparatus according to the present invention. 印刷装置の概略構成を示す平面図である。1 is a plan view illustrating a schematic configuration of a printing apparatus. 印刷装置の概略構成を示す側面図である。1 is a side view illustrating a schematic configuration of a printing apparatus. 印刷装置の電気的構成を示すブロック図である。2 is a block diagram illustrating an electrical configuration of the printing apparatus. FIG. 本発明にかかるクリーニング装置の一実施形態であるクリーナーの全体構成を示す斜視図である。It is a perspective view showing the whole cleaner composition which is one embodiment of the cleaning device concerning the present invention. 図5のクリーナーの側面図である。It is a side view of the cleaner of FIG. シート回収部の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of a sheet | seat collection | recovery part. クリーナーヘッドを上方から見た平面図である。It is the top view which looked at the cleaner head from the upper part. 図5のクリーナーの動作を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically operation | movement of the cleaner of FIG. 本発明にかかるクリーニング装置の他の実施形態を示す図である。It is a figure which shows other embodiment of the cleaning apparatus concerning this invention.

1…基板
41…演算処理部
44…クリーナー制御部
51…マスク
90…クリーナー(クリーニング装置、クリーニングユニット)
92…クリーナーヘッド
93…シート供給部
94…シート回収部
95…回転検出部
913…支持孔(第2調整部)
931…供給ロール
933…電磁クラッチ(規制手段)
934…ガイドバー(第2調整部)
941…巻取軸
944…ワンウェイクラッチ
945…駆動機構
945a…エアーシリンダ
945c…ワンウェイクラッチ
951…回転検出用ドグ
952…光センサ
CS…クリーニングシート
P1、P2、P3…シート送り出し位置
Pc…クリーニング位置
Pw…待機位置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Board | substrate 41 ... Arithmetic processing part 44 ... Cleaner control part 51 ... Mask 90 ... Cleaner (cleaning apparatus, cleaning unit)
92 ... Cleaner head 93 ... Sheet supply unit 94 ... Sheet collection unit 95 ... Rotation detection unit 913 ... Support hole (second adjustment unit)
931 ... Supply roll 933 ... Electromagnetic clutch (regulator)
934 ... Guide bar (second adjusting part)
941 ... Winding shaft 944 ... One-way clutch 945 ... Drive mechanism 945 a ... Air cylinder 945 c ... One-way clutch 951 ... Rotation detection dog 952 ... Optical sensor CS ... Cleaning sheets P1, P2, P3 ... Sheet feeding position Pc ... Cleaning position Pw ... Standby position

Claims (4)

長尺状のクリーニングシートを長尺方向に繰り出すシート供給部と、
マスクの下方側でクリーニング位置と待機位置との間で昇降自在に設けられ、前記待機位置に降下することで前記マスクの下面から離間する一方、前記クリーニング位置まで上昇することで前記シート供給部から繰り出された前記クリーニングシートの未使用のシート部を前記マスクの下面に接触させて前記マスクの下面をクリーニングするクリーナーヘッドと、
巻取軸を巻取方向に回転させて前記クリーニングシートを巻き取ることでクリーニング使用済のシート部を回収するシート回収部とを備え、
前記シート供給部は前記クリーニング位置よりも低い位置に配置され、
前記巻取軸の反巻取方向への回転を規制した状態で前記クリーナーヘッドが前記クリーニング位置に上昇して前記シート供給部から前記クリーニングシートを繰り出し、
前記シート供給部から前記クリーニングシートを送り出す、シート送出位置を前記クリーニング位置に対して調整して前記クリーナーヘッドが前記クリーニング位置に上昇した際に前記シート供給部から繰り出される前記クリーニングシートの送り量を制御する第2調整部をさらに備えたクリーニング装置。
A sheet supply unit for feeding out a long cleaning sheet in the longitudinal direction;
A lower side of the mask is provided so as to be movable up and down between a cleaning position and a standby position, and is separated from the lower surface of the mask by being lowered to the standby position, while being raised to the cleaning position from the sheet supply unit. A cleaner head for cleaning the lower surface of the mask by bringing an unused sheet portion of the cleaning sheet that has been paid out into contact with the lower surface of the mask;
A sheet collecting unit that collects the cleaning-used sheet unit by rotating the winding shaft in the winding direction and winding the cleaning sheet;
The sheet supply unit is disposed at a position lower than the cleaning position,
The cleaner head rises to the cleaning position in a state where the rotation of the take-up shaft in the anti-winding direction is restricted, and the cleaning sheet is fed out from the sheet supply unit,
The cleaning sheet is sent out from the sheet supply unit, and the amount of the cleaning sheet fed out from the sheet supply unit when the cleaner head is raised to the cleaning position by adjusting the sheet delivery position with respect to the cleaning position is set. A cleaning device further comprising a second adjusting unit to be controlled.
前記シート供給部は、前記クリーニングシートの後端部を固着しながら前記クリーニングシートをロール状に巻き取ったロール軸を有し、前記ロール軸が回転することで前記クリーニングシートが繰り出される請求項1に記載のクリーニング装置であって、
前記ロール軸の回転を検出する回転検出部と、
前記クリーナーヘッドを前記クリーニング位置に上昇させようとした際に前記回転検出部により前記ロール軸の回転が検出されないことをもって、前記クリーニングシートの使い切りを検出する使い切り検出部と
をさらに備えるクリーニング装置。
The sheet feeding unit includes a roll shaft wound with the cleaning sheet into a roll while fixing a rear end portion of the cleaning sheet, according to claim 1, wherein said roll axis is the cleaning sheet is fed out by rotating A cleaning device according to claim 1,
A rotation detector that detects rotation of the roll shaft;
A cleaning device further comprising a use-up detecting unit that detects use-up of the cleaning sheet when the rotation detection unit does not detect rotation of the roll shaft when the cleaner head is raised to the cleaning position.
前記シート回収部は、前記巻取軸の動力源を構成するエアーアクチュエータと、前記エアーアクチュエータと前記巻取軸の間に設けられて前記エアーアクチュエータで発生した動力を前記巻取方向にのみ伝達するワンウェイクラッチとを有している請求項1または2に記載のクリーニング装置。 The sheet collection unit is provided between the air actuator and the take-up shaft that constitutes a power source of the take-up shaft, and transmits the power generated by the air actuator only in the take-up direction. The cleaning device according to claim 1 , further comprising a one-way clutch. 開口部を有するマスクの下方に基板を配置した状態で前記開口部を介してペーストを前記基板表面に印刷するスキージヘッドと、
請求項1ないし3のいずれか一項に記載のクリーニング装置と同一構成を有し、前記マスクの下面を清掃するクリーニングユニットと
を備えたことを特徴とする印刷装置。
A squeegee head for printing a paste on the surface of the substrate through the opening in a state in which the substrate is disposed below a mask having an opening;
A printing apparatus having the same configuration as the cleaning apparatus according to claim 1 , further comprising a cleaning unit that cleans a lower surface of the mask.
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