JP5593360B2 - 光ファイバ研磨方法及び研磨装置 - Google Patents

Description

本発明は、光ファイバ研磨方法及び研磨装置に関する。

例えば、光ファイバ心線、光ファイバ素線等の、光ファイバガラス部（クラッド部、裸光ファイバ）の外周に合成樹脂製の被覆材（コーティング被覆）が被着、一体化された構成の光ファイバの研磨方法としては、光ファイバの被覆材を除去してからクラッド部を保護することなく、把持部材で光ファイバのクラッド部を直接固定し、光ファイバ先端を研磨、レーザーなどで加工する方法が知られている。
また、機械的被覆除去、または化学的（化学処理による）被覆除去したクラッド部をパラフィンなどで樹脂固定し、その上から把持固定し、光ファイバ先端を研磨加工する方法が知られている。

さらに、特許文献１に記載されているように、光ファイバのＵＶ被覆上から割りスリーブを被せてコレットチャックに挿入し、加圧、固定した状態で斜め研磨する方法も知られている。

特開２００３−３１１５９７号公報

しかしながら、クラッド部を保護することなく把持部材で光ファイバを直接固定する方法の場合、光ファイバを把持して加工しているときに、クラッド部に傷が付くことで光ファイバに強度劣化が生じるという問題がある。
また、パラフィンなどで樹脂固定する方法の場合、加工前のパラフィン固定、及び加工後のパラフィン洗浄が必要となり、工数が余計にかかることによってコストアップする問題がある。また、洗浄で落ちずに残った樹脂による不良や、樹脂固定と洗浄工程において、クラッド部に傷が付くことがあるという問題もある。

また、特許文献１に記載の方法の場合、コレットチャックで加圧して押し付けることによって光ファイバを固定するため、
・複雑な構造の治具（コレットチャック）が必要である、
・治具のセットに時間がかかる、
・スリーブの厚みが斜め研磨の邪魔になる、
などの問題がある。

本発明は、このような事情を考慮してなされたもので、その目的は、コレットチャックのような複雑な構造の治具を用いず、また、パラフィンによる樹脂固定などの手間のかかる工程を必要とせずに、光ファイバの強度劣化を防ぐことができる光ファイバ研磨方法を提供することにある。

前記課題を解決するため、本発明は、被覆付き光ファイバの被覆の中間部分をファイバホルダで把持する把持工程と、前記ファイバホルダを被覆除去装置に設置して把持している被覆付き光ファイバの被覆の先端部分を除去して、前記被覆付き光ファイバからクラッド部を露出させる露出工程と、前記ファイバホルダを切断装置に設置し、把持している前記被覆付き光ファイバの露出された前記クラッド部を、除去せずに残した被覆残部の先端から所定寸法突出するように切断する切断工程と、前記ファイバホルダを研磨装置に設置し、把持している前記被覆付き光ファイバの前記被覆残部の先端部を、前記被覆付き光ファイバの周方向の摺動を許容するような挿通孔を有する研磨装置の保持治具に挿入し、前記保持治具の一端面から、露出された前記クラッド部全体を突出させる工程と、前記ファイバホルダで把持すると共に、前記被覆付き光ファイバの前記被覆残部の先端部を前記保持治具で保持した状態で前記クラッド部の先端を研磨装置で研磨する研磨工程と、研磨後に、前記ファイバホルダを被覆除去装置に設置して把持している前記被覆付き光ファイバの前記被覆残部における前記保持治具に保持された先端部を除去する被覆除去工程と、を含むことを特徴とする光ファイバ研磨方法を提供する。

前記研磨工程において、研磨台の研磨面の法線と前記クラッド部の軸線とを所定角度で交差させて、前記クラッド部の先端を斜めに研磨することが好ましい。

上記光ファイバ研磨方法において、前記被覆付き光ファイバを軸線回りに回転させることによって、前記クラッド部の先端の少なくとも２面を研磨することが好ましい。

また、本発明は、被覆の先端部分が除去され、露出されたクラッド部が、除去されずに残された被覆残部の先端から所定寸法突出するように切断された被覆付き光ファイバの中間部分を把持するファイバホルダと、前記被覆付き光ファイバの前記被覆残部の先端部を挿入した状態で、前記被覆付き光ファイバの周方向の摺動を許容するような挿通孔を有し、その一端面から、露出された前記クラッド部全体を突出さる保持治具と、前記被覆付き光ファイバの前記被覆残部の先端部を前記保持治具で保持した状態で前記クラッド部の先端を研磨する研磨台と、を有し、前記保持治具の一端面から前記クラッド部を突出させて前記クラッド部の先端を研磨する光ファイバ研磨装置を提供する。

上記光ファイバ研磨装置において、前記被覆付き光ファイバの軸線を前記研磨台の研磨面の法線に対して所定角度で交差するように、前記被覆付き光ファイバを回動させる第一回転機構と、前記被覆付き光ファイバを軸線回りに回転させる第二回転機構と、を有することが好ましい。

本発明によれば、被覆付き光ファイバのクラッド部の先端を研磨する際、研磨面に接触するクラッド部先端の被研磨面を除いては、被覆付き光ファイバの被覆部のみが保持治具と接触することにより固定されるので、クラッド部に損傷を与える可能性を低減することができる。上記固定方法で研磨された光ファイバに対して、所定量の被覆除去を後工程ですることにより、クラッド部の強度劣化を防止することができる。

本発明の実施形態に係る研磨装置の側面図である。 θ軸回転機構により、研磨装置本体を回転させた様子を示す側面図である。 Ｙ２軸稼働機構により、Ｙ２軸稼働部基礎を移動させた様子を示す側面図である。 Ｙ１軸稼働機構により、Ｙ１軸稼働部基礎を移動させた様子を示す側面図である。 保持治具の斜視図である。 図５のＡ−Ａ断面図である。 本発明の実施形態に係る研磨装置を用いた研磨方法を順に説明する図である。 保持治具によって保持された研磨加工側の光ファイバ先端部の拡大図である。 本実施形態の研磨方法で加工された光ファイバの被覆除去部と従来の研磨方法で加工された光ファイバの被覆除去部の破断強度比較を行ったグラフである。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
図１は、この実施形態の光ファイバ研磨装置１（以下、研磨装置と呼ぶ）の全体構成を示した側面図である。本実施形態の研磨装置１は、研磨台３０（図７参照）と組み合せて使用するものであり、研磨台３０に対して光ファイバを移動、回転させるための装置である。

なお、本実施形態で説明される光ファイバは、光ファイバ心線、光ファイバ素線等の、光ファイバガラス部（裸光ファイバ）の外周に合成樹脂製の被覆材（ＵＶ被覆、コーティング被覆）が被着、一体化された構成の被覆付き光ファイバ２０である。以下の説明においては、ＵＶ被覆が施されている部分を被覆部２１と呼び、ＵＶ被覆が除去されている部分をクラッド部２２と呼ぶ。

図１に示すように、研磨装置１は、被覆付き光ファイバ２０の被覆部２１をファイバホルダ１０（把持部材）で把持し、さらに、被覆部２１の先端部を保持治具１１に挿入した上で、被覆付き光ファイバ２０を移動、回転させる装置である。
研磨装置１は、研磨装置１全体の基礎部１３と、基礎部１３に対してＹ２軸稼働機構１２を介して接続されたＹ２軸稼働部基礎２と、Ｙ２軸稼働部基礎２に取り付けられているθ軸回転機構３（第一回転機構）と、θ軸回転機構３を介してＹ２軸稼働部基礎２にθ軸回りに回転自在に取り付けられている研磨装置１の本体部である研磨装置本体４とを有している。

研磨装置本体４は、θ軸回転機構３を介してＹ２軸稼働部基礎２に取り付けられている第一ベース部５と、第一ベース部５上に固定された第二ベース部６と、第二ベース部６に所定方向に移動自在に取り付けられたＹ１軸稼働部基礎７と、Ｙ１軸稼働部基礎７上に設置されたφ軸回転機構８（第二回転機構）と、回転軸９と介してφ軸回転機構８に取り付けられたファイバホルダ１０と、第二ベース部６に固定された保持治具１１と、を主な構成要素として備えている。

θ軸回転機構３は、Ｙ２軸稼働部基礎２に取り付けられており、図示しない電動機により、Ｙ２軸稼働部基礎２の一面と平行に設けられた板状の第一ベース部５を中心軸Ｃ回りに回転させる機構である。即ち、図２に示すように、θ軸回転機構３によって、研磨装置本体４の基礎をなす第一ベース部５が、第一ベース部５の一面に直交する中心軸Ｃ回りに回転する。これにより、第一ベース部５に取り付けられている第二ベース部６、φ軸回転機構８、及びファイバホルダ１０によって把持されている被覆付き光ファイバ２０などが、第一ベース部５とともに回動する。

第二ベース部６は、第一ベース部５と直交するように設置された板状の部材であり、第一ベース部５に取り付けられている。第二ベース部６の一方側先端には、ステー１４を介して固定具２４が設けられており、この固定具２４には、被覆付き光ファイバ２０の被覆部２１が挿入される保持治具１１が固定されている。保持治具１１の詳細形状は後述する。

Ｙ２軸稼働機構１２は、ボールねじと直動ガイド（直動軸受、リニアガイド）などから構成されており、Ｙ２軸稼働部基礎２を水平方向に移動させる機構である。即ち、図３に示すように、Ｙ２軸稼働機構１２によって、Ｙ２軸稼働部基礎２、θ軸回転機構３を介してＹ２軸稼働部基礎２に取り付けられている研磨装置本体４などが、水平方向に移動する。

Ｙ１軸稼働部基礎７は、第二ベース部６と平行に設けられた板状の部材であり、Ｙ１軸稼働機構１５を介して第二ベース部６に取り付けられている。Ｙ１軸稼働機構１５は、Ｙ２軸稼働機構１２と同様にボールねじとリニアガイドなどから構成されており、Ｙ１軸稼働部基礎７を所定方向に移動させる機構である。即ち、図４に示すように、Ｙ１軸稼働機構１５によって、Ｙ１軸稼働部基礎７、φ軸回転機構８、及びファイバホルダ１０によって把持されている被覆付き光ファイバ２０などが、第二ベース部６上で所定方向に移動する。

Ｙ１軸稼働機構１５によってＹ１軸稼働部基礎７が移動すると、
第二ベース部６とは相対的に移動不可とされている保持治具１１と、ファイバホルダ１０との距離が変化する。

φ軸回転機構８は、Ｙ１軸稼働部基礎７の他方側に設けられている。φ軸回転機構８はステッピングモータなどによって構成されており、所定方向Ｙに沿う方向に延在する回転軸９が取り付けられている。回転軸９には、ファイバホルダ１０が取り付けられている。ここで、ファイバホルダ１０と回転軸９とは、ファイバホルダ１０に把持された光ファイバの中心軸と、φ軸回転機構８の回転軸９の中心軸とが一致するような位置関係となるように配置されている。

また、光ファイバは、クラッド部２２の先端部分が保持治具１１より僅かに突出するように保持される。そして、保持治具１１は、光ファイバの先端がθ軸回転機構３の回転中心軸上に位置するように配置されている。

次に、保持治具１１について説明する。
図５に示すように、保持治具１１は、その中心軸上に光ファイバのクラッド部２２が挿通される断面円形のファイバ挿通孔１６が形成された円柱形をなしている。保持治具１１は、例えばジルコニア等のセラミックによって形成されている。
保持治具１１を形成する材料としては、例えばＰＥＥＫ樹脂等のエンジニアリングプラスチックを採用することもできるが、ファイバ挿通孔１６を加工する際の加工精度を確保する点からジルコニアが最も好ましい。また、保持治具１１を形成する材料としては、金属、ガラス等も採用可能である。

なお、後述するように、保持治具１１には、光ファイバの被覆部２１が挿入されるが、光ファイバが挿入される側を他方側と呼び、挿入された光ファイバの先端が突出する側を一方側と呼ぶ。ファイバ挿通孔１６は、保持治具１１の軸方向一方側の端面の中心からから他方側の端面の中心に亘って形成されている。

図６に示すように、ファイバ挿通孔１６の内径は、一方側が細く、他方側が太く形成されている。具体的には、ファイバ挿通孔１６の一方側が、被覆保持部１７とされており、その内径は、例えば、直径が２５０μｍの被覆部２１に対して、約２６０μｍ〜２８０μｍとされている。
より具体的には、被覆保持部１７は、被覆部２１との隙間を５０μｍ以下に抑えるような内径とされている。例えば、被覆部２１の直径が２４５±１５μｍとすると、被覆部２１の最小値は２３０μｍとなり、被覆保持部１７の内径が２８０μｍとすると被覆保持部１７と被覆部２１との間に形成される隙間は５０μｍとなる。被覆保持部１７の内径をこのように設定することによって、光ファイバの研磨中に、被覆付き光ファイバ２０の周方向の摺動を許容するとともに、光ファイバが暴れることによる加工精度の低下を防止することができる。

ファイバ挿通孔１６の他方側は、被覆保持部１７に対して拡径された拡径部１８とされており、この拡径部１８の内径は、約５００μｍに形成されている。即ち、拡径部１８の内径は、被覆部２１の直径の約２倍とされている。
また、被覆保持部１７と拡径部１８との境界部においては、徐々にファイバ挿通孔１６の内径が、一方側から他方側に向かうに従って徐々に拡径するように形成されている。

また、保持治具１１の一方側には、面取部１９が形成されている。面取部１９は、図６に示すように、保持治具１１の中心軸を含む断面形状において、保持治具１１の高さが、保持治具１１の軸方向の所定位置から一方側の端面に向かって徐々にその高さが低くなるように形成されている。言い換えると、保持治具１１の一方側の端部には、保持治具１１の一方側の端面と保持治具１１の外周面とからなる円形の陵角の一部が削られるように平面が形成されている。
保持治具１１の面取部１９の角度により、研磨装置１で加工できる楔形の形状が制限される。即ち、面取部１９の角度以上に急な角度をもつ楔形形状は作製出来ない。

次に、本実施形態に係る研磨装置１の作用について説明する。
研磨装置１は、研磨台３０の研磨面３０ａに設けられた研磨紙に対して光ファイバ先端を自在に当接させる装置であり、被覆付き光ファイバ２０を把持する機能と、研磨台３０に対して被覆付き光ファイバ２０を傾斜させる機能（θ軸回転）と、被覆付き光ファイバ２０をその軸回りに回転させる機能（φ軸回転）と、被覆付き光ファイバ２０を研磨台３０の方向に移動させる機能（Ｙ２軸移動）と、光ファイバ先端を保持治具１１に挿通させる機能（Ｙ１軸移動）と、を有している。

次に、本実施形態に係る研磨装置１を用いた研磨方法について説明する。
まず、研磨装置１に被覆付き光ファイバ２０をセットする。即ち、図７（ａ）に示すように、被覆付き光ファイバ２０の被覆部２１をファイバホルダ１０で把持させる。次いで、所定の被覆除去装置（図示せず）を用いて、被覆付き光ファイバ２０のＵＶ被覆を除去してクラッド部２２を露出させる（露出工程）。

ここで、被覆付き光ファイバ２０の被覆部２１の直径は約２５０μｍであり、クラッド部２２の直径は約１２５μｍである。被覆除去装置は、内径がクラッド部２２の外径より大きく、かつ、被覆部２１の外径より小さい刃を有している。この工程では、この刃を有する被覆除去装置を用いて、ＵＶ被覆のみを被覆付き光ファイバ２０より引き剥がす。

次いで、図７（ｂ）に示すように、被覆付き光ファイバ２０のクラッド部２２を切断することによって、被覆部２１からクラッド部２２を適切な長さに口出しする（切断工程）。即ち、クラッド部２２が被覆部２１から所定寸法突出するように切断する。
本実施形態のように、被覆付き光ファイバ２０の被覆部２１の直径が約２５０μｍであり、クラッド部２２の直径が約１２５μｍである場合、口出し長は０．２〜０．５ｍｍが適当である。

ここで、切断箇所以外のクラッド部２２には、切断工具などの接触がないことが、クラッド部２２の強度を確保する上で必要とされる。例えば、被覆付き光ファイバ２０に張力を印加した上で、側方から刃で傷を入れて切断する高強度融着用の切断か、レーザーによる切断を行うことが好ましい。

次いで、図７（ｃ）に示すように、Ｙ１軸稼働機構１５を用いて被覆付き光ファイバ２０を移動させ、被覆部２１を保持治具１１のファイバ挿通孔１６に挿入する（挿入工程）。この際、図８に示すように、保持治具１１の先端（一端面）から被覆部２１の先端が所定寸法突出するように位置合わせを行う。これは、保持治具１１にクラッド部２２が接触しないためであり、所定寸法より突出量が大きいと、口出ししたクラッド部２２が撓むなどして適当でない。

また、突出量は、後述する研磨工程においてクラッド部２２先端の被研磨面を削る角度によって最適な寸法が異なっている。例えば、削る角度が４５°以下の鈍角である場合は、３００μｍ〜４００μｍの突出量で対応可能である。一方、角度が例えば、図８に示す面取部１９に近い鋭角である場合、５００μｍ以上突出させて、保持治具１１と研磨台３０との干渉を回避させる必要がある。

被覆付き光ファイバ２０の被覆部２１の外周面と保持治具１１の被覆保持部１７の内周面との間には、所定の隙間が生じる。具体的には、５０μｍ以下の隙間が生じる。即ち、研磨中は、被覆付き光ファイバ２０の被覆部２１の外周面が保持治具１１の内周面との間に適度な圧力で接触することにより摩擦で固定される。また、研磨面に非接触のときは、被覆付き光ファイバ２０の被覆部２１の外周面と保持治具１１の被覆保持部１７の内周面との間に所定の隙間があるので、被覆付き光ファイバ２０を軸回りに回転させることができる。

次いで、図７（ｄ）に示すように、Ｙ２軸稼働機構１２を用いて被覆付き光ファイバ２０及び保持治具１１を移動させて、クラッド部２２先端の被研磨面を研磨台３０の研磨面３０ａに当接させることにより、光ファイバ先端の研磨を行う（研磨工程）。ここで、必要に応じて、θ軸回転機構３を用いて研磨台３０の研磨面３０ａに対する被覆付き光ファイバ２０の角度を変えて斜め研磨を行うことができる。即ち、研磨面３０ａの法線とクラッド部２２の軸線とを所定角度で交差させて、クラッド部２２の先端を斜めに研磨することができる。

また、必要に応じて、φ軸回転機構８を用いて被覆付き光ファイバ２０を被覆付き光ファイバ２０の軸線回りに回転させることで、上記研磨工程によって研磨した側とは反対側を研磨することができる。即ち、φ軸回転機構８を稼働させて、保持治具１１によって保持されたクラッド部２２を保持治具１１内で回転させて、クラッド部２２の先端の少なくとも２面を研磨することができる。

そして、図７（ｅ）に示すように、先端の研磨が終了した被覆付き光ファイバ２０が最終的な用途に適した形態となるようにＵＶ被覆を除去する（被覆除去工程）。具体的には、例えばレーザーの出射ユニット（パッケージ）への組み付けに適した形態となるようにＵＶ被覆を除去する。

光ファイバの先端は、光ファイバのコアを稜線上に位置させて稜線の両側を斜めに研磨した光ファイバの先端に対して、研磨加工や放電加工、あるいはレーザー加工により、コアが位置する稜線を用途に適した曲率を設けたものとする。
以上の工程により、光ファイバ先端を例えばＬＤ素子と効率よく空間結合するための形状に加工することができる。

次に、本実施形態に係る光ファイバ研磨方法を用いて製造した被覆付き光ファイバの引張強度を確認するために、従来の被覆付き光ファイバとあわせて引張試験を行った。引張試験においては、被覆付き光ファイバ２０のクラッド部２２の先端を固定樹脂を介して固定治具に固定した上で、被覆付き光ファイバ２０に固定治具から離れる方向に張力を印加した。

それぞれの被覆付き光ファイバの破断強度に関するワイブルプロットを図９に示す。グラフの横軸は破断強度、縦軸は故障確率の対数表示である。

図９が示すように、従来の研磨加工を施した光ファイバの被覆除去部に比べ、本実施形態の研磨加工を施した光ファイバの被覆除去部は、約４倍以上の強度がある。

上記実施形態によれば、被覆付き光ファイバ２０のクラッド部２２の先端を研磨する際、研磨面３０ａに接触するクラッド部２２先端の被研磨面を除いては、被覆付き光ファイバ２０の被覆部２１のみが保持治具１１と接触して固定されるので、クラッド部２２に損傷を与える可能性を低減することができるため、強度劣化を防止することができる。即ち、最終的なＵＶ被覆の除去が、光ファイバ先端の研磨工程の後に行われるため、クラッド部２２の強度劣化を防ぐことができる。

また、保持治具１１に面取部１９が形成されていることによって、斜め研磨する際も研磨面が保持治具１１に干渉することがない。
また、ＵＶ被覆の除去の際は、クラッド部２２に刃が触れることがないため、クラッド部２２の強度劣化を防ぐことができる。
また、保持治具１１による被覆付き光ファイバ２０の被覆部２１の保持は、被覆部２１を保持治具１１のファイバ挿通孔１６に挿通させるのみであるため、光ファイバの把持固定にかかる工数を短くすることができる。特に、光ファイバ先端を特殊な形状にする場合は、研磨中に光ファイバの向きを複数回変更する必要があるが、簡単に回転させて向きを変更することができる。

なお、本発明の技術範囲は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変更を加えることが可能である。例えば、以上で説明した実施形態では、保持治具１１の面取部１９は平面としたが、平面ではなく、保持治具１１の先端を周方向に円錐状に形成してもよい。
また、上記実施形態では、被覆付き光ファイバ２０の被覆部２１の直径を２５０μｍとしたが、被覆部２１の直径はこれに限定されない。同様に、クラッド部２２の直径は１２５μｍに限定されず、よって、口出し長さも０．２〜０．５ｍｍに限定されることはない。

１…研磨装置 ２…Ｙ２軸稼働部基礎 ３…θ軸回転機構 ４…研磨装置本体 ５…第一ベース部 ６…第二ベース部 ７…Ｙ１軸稼働部基礎 ８…φ軸回転機構 １０…ファイバホルダ １１…保持治具 １２…Ｙ２軸稼働機構 １３…基礎部 １４…ステー １５…Ｙ１軸稼働機構 １６…ファイバ挿通孔 １７…被覆保持部 １９…面取部 ２０…被覆付き光ファイバ ２１…被覆部 ２２…クラッド部 ３０…研磨台 ３０ａ…研磨面

Claims (5)

1. 被覆付き光ファイバの被覆の中間部分をファイバホルダで把持する把持工程と、
   前記ファイバホルダを被覆除去装置に設置して把持している被覆付き光ファイバの被覆の先端部分を除去して、前記被覆付き光ファイバからクラッド部を露出させる露出工程と、
   前記ファイバホルダを切断装置に設置し、把持している前記被覆付き光ファイバの露出された前記クラッド部を、除去せずに残した被覆残部の先端から所定寸法突出するように切断する切断工程と、
   前記ファイバホルダを研磨装置に設置し、把持している前記被覆付き光ファイバの前記被覆残部の先端部を、前記被覆付き光ファイバの周方向の摺動を許容するような挿通孔を有する研磨装置の保持治具に挿入し、前記保持治具の一端面から、露出された前記クラッド部全体を突出させる工程と、
   前記ファイバホルダで把持すると共に、前記被覆付き光ファイバの前記被覆残部の先端部を前記保持治具で保持した状態で前記クラッド部の先端を研磨装置で研磨する研磨工程と、
   研磨後に、前記ファイバホルダを被覆除去装置に設置して把持している前記被覆付き光ファイバの前記被覆残部における前記保持治具に保持された先端部を除去する被覆除去工程と、を含むことを特徴とする光ファイバ研磨方法。
2. 前記研磨工程において、研磨台の研磨面の法線と前記クラッド部の軸線とを所定角度で交差させて、前記クラッド部の先端を斜めに研磨することを特徴とする請求項１に記載の光ファイバ研磨方法。
3. 前記被覆付き光ファイバを軸線回りに回転させることによって、前記クラッド部の先端の少なくとも２面を研磨することを特徴とする請求項２に記載の光ファイバ研磨方法。
4. 被覆の先端部分が除去され、露出されたクラッド部が、除去されずに残された被覆残部の先端から所定寸法突出するように切断された被覆付き光ファイバの中間部分を把持するファイバホルダと、
   前記被覆付き光ファイバの前記被覆残部の先端部を挿入した状態で、前記被覆付き光ファイバの周方向の摺動を許容するような挿通孔を有し、その一端面から、露出された前記クラッド部全体を突出さる保持治具と、
   前記被覆付き光ファイバの前記被覆残部の先端部を前記保持治具で保持した状態で前記クラッド部の先端を研磨する研磨台と、を有し、
   前記保持治具の一端面から前記クラッド部を突出させて前記クラッド部の先端を研磨することを特徴とする光ファイバ研磨装置。
5. 前記被覆付き光ファイバの軸線を前記研磨台の研磨面の法線に対して所定角度で交差するように、前記被覆付き光ファイバを回動させる第一回転機構と、
   前記被覆付き光ファイバを軸線回りに回転させる第二回転機構と、を有することを特徴とする請求項４に記載の光ファイバ研磨装置。

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