JP5574250B2 - 流量がモニタリングされる粒子センサ - Google Patents
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Description
DPIcorr<(1−TOLERANCE)2*DPItarget、または
DPIcorr>(1+TOLERANCE)2*DPItarget
により特定され、
式中、
DPIcorrは、粒子センサ動作中に流れ測定オリフィスの両端にかかる差圧センサ現在値であり、
TOLERANCEは、ユーザ選択の流量許容レベルであり、
DPItargetは、DPCcorr *(BPIcorr/BPCcor)として算出される差圧センサ目標値であり、ここで、
DPCcorrは、システム較正中の差圧センサ値であり、
BPIcorrは、粒子センサ動作中の基準(bench)圧力値であり、
BPCcorrは、システム較正中の基準圧力値である。
APRinsitu<(1−TOLERANCE)*APRcalibration、または、
APRinsitu>(1+TOLERANCE)*APRcalibration
により特定され、式中、
APRinsituは、粒子センサ動作中のAPIcorrおよびBPIcorrの圧力比(BPIcorr/APIcorr)であり、ここで、
APIcorrは、粒子センサ動作中の大気圧値であり、
BPIcorrは、粒子センサ動作中の基準圧力値であり、
TOLERANCEは、ユーザ選択の流量許容レベルであり、
APRcalibrationは、APCcorrおよびBPCcorrの圧力比(BPCcorr/APCcorr)であり、ここで
BPCcorrは、較正時の基準圧力値であり、
APCcorrは、較正時の大気圧である。
DPIcorr<(1−TOLERANCE)2*DPItarget、
DPIcorr>(1+TOLERANCE)2*DPItarget、
APRinsitu<(1−TOLERANCE)*APRcalibration、および
APRinsitu>(1+TOLERANCE)*APRcalibration
によって規定される1つまたは複数の条件を満たす流量誤差を示し、
式中、
DPIcorrは、粒子センサ動作中の前記流れ測定オリフィスの両端にかかる差圧センサ現在値であり、
TOLERANCEは、ユーザ選択の流量許容レベルであり、
DPItargetは、DPCcorr *(BPIcorr/BPCcor)として算出される差圧センサ目標値であり、ここで
DPCcorrは、システム較正中の差圧センサ値であり、
BPIcorrは、粒子センサ動作中の基準圧力値であり、
BPCcorrは、システム較正中の基準圧力値であり、
APRinsituは、粒子センサ動作中のAPIcorrおよびBPIcorrの圧力比(BPIcorr/APIcorr)であり、ここで
APIcorrは、粒子センサ動作中の大気圧値であり、
BPIcorrは、粒子センサ動作中の基準圧力値であり、
APRcalibrationは、APCcorrおよびBPCcorrの圧力比(BPCcorr/APCcorr)であり、ここで
APCcorrは、較正時の大気圧である。
[0036]必要とされる要求臨界圧力降下は、以下の式によって与えられる。
Pv=臨界流オリフィスの真空側の圧力
Pa=臨界流オリフィスの上流側の圧力
k=2原子気体=1.4の場合、ガス比熱比=7/5
Pv/Pa=0.53 (2)
[0042]図1は、流量をインテリジェントにモニタリングするために使用されてもよい粒子センサの流体設計上の特徴を詳細に示す。粒子センサは、周囲環境から粒子センサの光学ブロック200内に周囲空気が引き込まれる噴入口を含む。光学ブロックは、移動している空気に浮遊した粒子が、光学ブロックを出る前にレーザビームを通して引き込まれ、光エネルギーを散乱するときに、粒子検出を実行するシステムの部分である。
Q=体積流量
K=経験的に導かれる定数
ρ=密度
ρ=密度(kg/m3)
P=圧力(kPa)
M=空気のモル質量(28.97kg/kmol)
R=気体定数(8.314kJ/kmol・K
T=温度(°K)
[0062]1つの低コスト差圧センサおよび2つの低コスト絶対圧センサを使用することによって、粒子センサの体積流量をモニタリングするためのデバイスおよび方法が提供される。この方法の焦点は、10%精度より高いこと(例えば、目標流量から10%以上の逸脱を確実に検出可能)、および安価であることを兼ね備えた低コストインテリジェントフローモニタリングの手段を作り出すことである。
DPIcorr<(1−TOLERANCE)2*DPItarget (5)、または、
DPIcorr>(1+TOLERANCE)2*DPItarget (6)
DPIcorrected<0.81*DPItarget (7)、または、
DPIcorrected>1.21*DPItarget (8)
APRinsitu<APRcalibration×(1−TOLERANCE) (9)、または、
APRinsitu>APRcalibration×(1+TOLERANCE) (10)
のように、目標流量からのTOLERANCEレベルの逸脱が大きい場合に、流量不良であるという流動状態である。
APRinsitu<APRcalibration×0.9 (11)、または、
APRinsitu>APRcalibration×1.1 (12)
の条件である場合、流動状態誤差(例えば、10%より高い流量の逸脱)として特定される。
DPItarget=DPCcorrected *(BPIcorrected/BPCcorrected) (13)
Claims (23)
- 粒子センサにおけるガスの流量をモニタリングする方法であって、
粒子センサを用意するステップであり、前記粒子センサが、
流れ測定オリフィスで、該流れ測定オリフィスの両端の差圧を測定するための差圧センサを備える、流れ測定オリフィスと、
臨界オリフィスと、
前記流れ測定オリフィスおよび前記臨界オリフィスの両端にガス流を発生させるための真空システムと
を備えるものである、ステップと、
前記臨界オリフィスの下流の位置での圧力を真空圧力とすることによって、前記粒子センサを通るガス流を発生するステップと、
前記流れ測定オリフィスの両端の圧力降下(DPI)の値を決定するステップと、
大気圧(API)の値を決定するステップと、
前記臨界オリフィスの上流の位置で、前記粒子センサの圧力(BPI)の値を決定するステップと、
前記DPI値、前記API値および前記BPI値から流動状態を特定するステップであって、前記流動状態が流量誤差状態であるステップと、
真空誘導された流量損失または入口誘導された流量損失として前記流量誤差状態を特定するステップと、
を備え、もって前記粒子センサにおいて前記流量をモニタリングする方法。 - 前記真空誘導された流量損失が、
DPIcorr<(1−TOLERANCE)2*DPItarget、または
DPIcorr>(1+TOLERANCE)2*DPItarget
によって特定され、式中、
DPIcorrが、粒子センサ動作中の前記流れ測定オリフィスの両端にかかる差圧センサ現在値であり、
TOLERANCEが、ユーザ選択の流量許容レベルであり、
DPItargetが、DPCcorr *(BPIcorr/BPCcor)として算出される差圧センサ目標値であり、ここで、
DPCcorrが、システム較正中の差圧センサ値であり、
BPIcorrが、粒子センサ動作中の基準圧力値であり、
BPCcorrが、システム較正中の基準圧力値である、請求項1に記載の方法。 - TOLERANCE値が、5%以上、かつ、15%以下の範囲から選択される、請求項2に記載の方法。
- TOLERANCE値が10%である、請求項3に記載の方法。
- 前記入口誘導された流量損失が、
APRinsitu<(1−TOLERANCE)*APRcalibration、
または、
APRinsitu>(1+TOLERANCE)*APRcalibration
により特定され、式中、
APRinsituが、粒子センサ動作中のAPIcorrおよびBPIcorrの圧力比(BPIcorr/APIcorr)であり、ここで、
APIcorrが、粒子センサ動作中の大気圧値であり、
BPIcorrが、粒子センサ動作中の基準圧力値であり、
TOLERANCEが、ユーザ選択の流量許容レベルであり、
APRcalibrationが、APCcorrおよびBPCcorrの圧力比(BPCcorr/APCcorr)であり、ここで、
BPCcorrが、較正時の基準圧力値であり、
APCcorrが、較正時の大気圧である、請求項1に記載の方法。 - TOLERANCE値が、5%以上、かつ、15%以下の範囲から選択される、請求項5に記載の方法。
- TOLERANCE値が10%である、請求項6に記載の方法。
- BPI値が、前記粒子センサの光学ブロック内で測定される、請求項1に記載の方法。
- 前記流れ測定オリフィスが、前記臨界オリフィスの上流に配置される、請求項1に記載の方法。
- 前記真空源がハウス真空である、請求項1に記載の方法。
- 前記ガスが空気である、請求項1に記載の方法。
- 目標流量から10%以上外れた流動状態を特定するステップをさらに備える、請求項1に記載の方法。
- 前記目標流量が1CFMである、請求項12に記載の方法。
- 前記流量誤差状態が、フロー入力障害に関連するか、または真空損失に関連するかを特定するステップをさらに備える、請求項12に記載の方法。
- 粒子センサにおいてガスの体積流量をモニタリングする方法であって、
粒子センサを用意するステップであり、前記粒子センサが
流れ測定オリフィスの両端の差圧を測定するための差圧センサを備える前記流れ測定オリフィスと、
臨界オリフィスと、
前記流れ測定オリフィスおよび前記臨界オリフィスの両端にガス流を発生させるための真空システムと
を備えるものである、ステップと、
前記臨界オリフィスの下流の位置での圧力を真空圧力とすることによって、前記粒子センサを通るガス流を発生させるステップと、
前記流れ測定オリフィスの両端の圧力降下(DPI)の値を決定するステップと、
大気圧(API)の値を決定するステップと、
前記臨界オリフィスの上流の位置で、前記粒子センサの圧力(BPI)の値を決定するステップと、
前記DPI値、前記API値および前記BPI値から流動状態を特定するステップと
を備え、
前記流動状態が、
DPIcorr<(1−TOLERANCE)2*DPItarget、もしくは
DPIcorr>(1+TOLERANCE)2*DPItarget
の場合、真空誘導された流量損失として特定され、式中、
DPIcorrが、粒子センサ動作中の前記流れ測定オリフィスの両端にかかる差圧センサ現在値であり、
TOLERANCEが、ユーザ選択の流量許容レベルであり、
DPItargetが、DPCcorr *(BPIcorr/BPCcorr)として算出される差圧センサ目標値であり、ここで、
DPCcorrが、システム較正中の差圧センサ値であり、
BPIcorrが、粒子センサ動作中の基準圧力値であり、
BPCcorrが、システム較正中の基準圧力値であり、
または、
APRinsitu<(1−TOLERANCE)*APRcalibration、
もしくは、
APRinsitu>(1+TOLERANCE)*APRcalibration
の場合、入口誘導された流量損失として特定され、式中、
APRinsituが、粒子センサ動作中のAPIcorrおよびBPIcorrの圧力比(BPIcorr/APIcorr)であり、
APIcorrが、粒子センサ動作中の大気圧値であり、
BPIcorrが、粒子センサ動作中の基準圧力値であり、
TOLERANCEが、ユーザ選択の流量許容レベルであり、
APRcalibrationが、APCcorrおよびBPCcorrの圧力比(BPCcorr/APCcorr)であり、ここで、
BPCcorrが、較正時の基準圧力値であり、
APCcorrが、較正時の大気圧であり、もって、前記粒子センサにおいて体積流量をモニタリングする、方法。 - 粒子センサであって、
粒子カウンタと、
当該粒子センサの動作中、流れ測定オリフィスの両端の差圧(DPI)を測定するための差圧センサを備える前記流れ測定オリフィスと、
臨界流オリフィスと、
前記粒子カウンタ、前記流れ測定オリフィスおよび前記臨界流オリフィスの各々を通して周囲ガスを吸引するための真空源と、
大気圧(API)の値を決定するための大気圧センサと、
前記粒子センサの圧力(BPI)の値を決定するための基準圧力センサと、
前記差圧センサ、前記大気圧センサおよび前記基準圧力センサの各々に操作可能に接続され、前記DPI値、前記API値および前記BPI値から流量誤差を特定するモニタと、
を備え、
前記流量誤差は、真空誘導された流量損失または入口誘導された流量損失として特定される、粒子センサ。 - 前記モニタが、前記流量誤差を示すアラームである、請求項16に記載の粒子センサ。
- 前記流量誤差が、前記粒子センサを通るガスの目標流量からの逸脱が10%以上である、請求項16に記載の粒子センサ。
- 前記流量誤差が、
DPIcorr<(1−TOLERANCE)2*DPItarget、
DPIcorr>(1+TOLERANCE)2*DPItarget、
APRinsitu<(1−TOLERANCE)*APRcalibration、
および
APRinsitu>(1+TOLERANCE)*APRcalibration
によって規定される1つまたは複数の条件を満たし、式中、
DPIcorrが、粒子センサ動作中の前記流れ測定オリフィスの両端にかかる差圧センサ現在値であり、
TOLERANCEが、ユーザ選択の流量許容レベルであり、
DPItargetが、DPCcorr *(BPIcorr/BPCcor)として算出される差圧センサ目標値であり、ここで、
DPCcorrが、システム較正中の差圧センサ値であり、
BPIcorrが、粒子センサ動作中の基準圧力値であり、
BPCcorrが、システム較正中の基準圧力値であり、
APRinsituが、粒子センサ動作中のAPIcorrおよびBPIcorrの圧力比(BPIcorr/APIcorr)であり、ここで、
APIcorrが、粒子センサ動作中の大気圧値であり、
BPIcorrが、粒子センサ動作中の基準圧力値であり、
APRcalibrationが、APCcorrおよびBPCcorrの圧力比(BPCcorr/APCcorr)であり、ここで、
APCcorrが、較正時の大気圧である、請求項16に記載の粒子センサ。 - 前記流量誤差が、目標流量からの逸脱が10%以上である、請求項16に記載の粒子センサ。
- 前記流れ測定オリフィスが、前記粒子カウンタと前記臨界流オリフィスとの間に配置される、請求項16に記載の粒子センサ。
- 前記基準圧力センサが、前記粒子カウンタの光学ブロック内の圧力を測定する、請求項16に記載の粒子センサ。
- 粒子センサであって、
粒子カウンタと、
当該粒子センサの動作中、流れ測定オリフィスの両端の差圧(DPI)を測定するための差圧センサを備える前記流れ測定オリフィスと、
臨界流オリフィスと、
前記粒子カウンタ、前記流れ測定オリフィスおよび前記臨界流オリフィスの各々を通る周囲ガスを吸引するための真空源と、
大気圧(API)の値を測定するための大気圧センサと、
前記粒子センサの圧力(BPI)の値を測定するための基準圧力センサと、
前記差圧センサ、前記大気圧センサおよび前記基準圧力センサの各々に操作可能に接続され、前記DPI値、前記API値および前記BPI値から流動状態を特定するモニタと、
を備え、前記流動状態が、
DPIcorr<(1−TOLERANCE)2*DPItarget、
DPIcorr>(1+TOLERANCE)2*DPItarget、
APRinsitu<(1−TOLERANCE)*APRcalibration、
および
APRinsitu>(1+TOLERANCE)*APRcalibration
の1つまたは複数を満たす流量誤差であり、
DPIcorrが、粒子センサ動作中の前記流れ測定オリフィスの両端にかかる差圧センサ現在値であり、
TOLERANCEが、ユーザ選択の流量許容レベルであり、
DPItargetが、DPCcorr *(BPIcorr/BPCcor)として算出される差圧センサ目標値であり、ここで、
DPCcorrが、システム較正中の差圧センサ値であり、
BPIcorrが、粒子センサ動作中の基準圧力値であり、
BPCcorrが、システム較正中の基準圧力値であり、
APRinsituが、粒子センサ動作中のAPIcorrおよびBPIcorrの圧力比(BPIcorr/APIcorr)であり、ここで、
APIcorrが、粒子センサ動作中の大気圧値であり、
BPIcorrが、粒子センサ動作中の基準圧力値であり、
APRcalibrationが、APCcorrおよびBPCcorrの圧力比(BPCcorr/APCcorr)であり、ここで、
APCcorrが、較正時の大気圧である、粒子センサ。
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US20120253735A1 (en) * | 2011-03-29 | 2012-10-04 | Searete Llc | Method and apparatus for operating a motor with optimized efficiency |
US10352844B2 (en) | 2013-03-15 | 2019-07-16 | Particles Plus, Inc. | Multiple particle sensors in a particle counter |
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ITRM20130128U1 (it) | 2013-07-23 | 2015-01-24 | Particle Measuring Systems S R L | Dispositivo per il campionamento microbico dell'aria |
US9638344B2 (en) * | 2013-11-19 | 2017-05-02 | Dresser, Inc. | System and method to monitor characteristics of an operating fluid in a process line |
WO2015138695A2 (en) | 2014-03-14 | 2015-09-17 | Particle Measuring Systems, Inc. | Filter and blower geometry for particle sampler |
US9810558B2 (en) | 2014-03-14 | 2017-11-07 | Particle Measuring Systems, Inc. | Pressure-based airflow sensing in particle impactor systems |
US9729945B2 (en) * | 2014-09-03 | 2017-08-08 | Oberon, Inc. | Environmental monitor device with database |
US9311807B2 (en) * | 2014-09-03 | 2016-04-12 | Oberon, Inc. | Environmental monitor device |
DE102014015555B3 (de) * | 2014-10-22 | 2015-11-19 | Bundesrepublik Deutschland, vertr. durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Energie, dieses vertreten durch den Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt | Verfahren zum Detektieren der Kritikalität eines Wirkdruckbauelements und Vorrichtung zur Verkörperung eines Durchflusses |
CN105806755B (zh) * | 2014-12-31 | 2019-11-12 | 上海北分科技股份有限公司 | 一种烟气检测设备 |
CN105444808A (zh) * | 2015-11-30 | 2016-03-30 | 无锡拓能自动化科技有限公司 | 洁净厂房监控系统 |
US9983596B2 (en) * | 2015-12-17 | 2018-05-29 | Venturedyne, Ltd. | Environmental sensor and method of operating the same |
US10557472B2 (en) | 2015-12-17 | 2020-02-11 | Venturedyne, Ltd. | Environmental sensor and method of operating the same |
US9857285B2 (en) | 2015-12-17 | 2018-01-02 | Venturedyne, Ltd. | Environmental sensor and method of operating the same |
CN106979910B (zh) * | 2016-01-19 | 2019-11-15 | 中国计量学院 | 一种基于微米粒子捕捉的pm2.5浓度检测方法 |
KR102406782B1 (ko) | 2016-05-20 | 2022-06-08 | 파티클 머슈어링 시스템즈, 인크. | 유동 및 버블 검출 시스템을 가지는 자동 전력 제어 액체 입자 계수기 |
US10684159B2 (en) * | 2016-06-27 | 2020-06-16 | Applied Materials, Inc. | Methods, systems, and apparatus for mass flow verification based on choked flow |
US10208773B2 (en) * | 2016-08-23 | 2019-02-19 | Caterpillar Inc. | System for hydraulic pump health monitoring |
US10725061B2 (en) | 2017-02-03 | 2020-07-28 | Pentagon Technologies Group, Inc. | Modulated air surface particle detector |
US10712355B2 (en) | 2017-06-20 | 2020-07-14 | Pentagon Technologies Group, Inc. | High resolution surface particle detector |
KR20230156814A (ko) | 2017-10-26 | 2023-11-14 | 파티클 머슈어링 시스템즈, 인크. | 입자 측정을 위한 시스템 및 방법 |
JP2021527198A (ja) * | 2018-06-07 | 2021-10-11 | センサーズ インコーポレイテッド | 粒子濃度分析システム及び方法 |
CN112601948A (zh) | 2018-08-31 | 2021-04-02 | 粒子监测系统有限公司 | 流体折射率优化粒子计数器 |
DE102018214936B4 (de) * | 2018-09-03 | 2021-03-04 | Robert Bosch Gmbh | Portable optische Partikelsensorvorrichtung und entsprechendes Partikelmessverfahren |
TWI728453B (zh) | 2018-09-04 | 2021-05-21 | 美商粒子監測系統有限公司 | 在生產儀器及表面上偵測奈米粒子 |
US11181455B2 (en) | 2018-11-12 | 2021-11-23 | Particle Measuring Systems, Inc. | Calibration verification for optical particle analyzers |
US11385161B2 (en) | 2018-11-12 | 2022-07-12 | Particle Measuring Systems, Inc. | Calibration verification for optical particle analyzers |
CN113015897A (zh) | 2018-11-16 | 2021-06-22 | 粒子监测系统有限公司 | 结合块体尺寸分布的浆料监控和单颗粒检测 |
EP3881049A4 (en) | 2018-11-16 | 2022-01-12 | Particle Measuring Systems, Inc. | PARTICLE SAMPLING SYSTEMS AND METHODS FOR ROBOTIC CONTROLLED MANUFACTURING BARRIER SYSTEMS |
JP2022529213A (ja) | 2019-04-25 | 2022-06-20 | パーティクル・メージャーリング・システムズ・インコーポレーテッド | 軸上粒子検出及び/又は差分検出のための粒子検出システム及び方法 |
WO2021041420A1 (en) | 2019-08-26 | 2021-03-04 | Particle Measuring Systems, Inc | Triggered sampling systems and methods |
JP2022550418A (ja) | 2019-10-07 | 2022-12-01 | パーティクル・メージャーリング・システムズ・インコーポレーテッド | 抗菌粒子検出器 |
EP4042268A4 (en) | 2019-10-07 | 2023-01-18 | Particle Measuring Systems, Inc. | PARTICLE DETECTORS WITH MONITORING AND REMOTE ALARM CONTROL |
IT201900020248A1 (it) | 2019-11-04 | 2021-05-04 | Particle Measuring Systems S R L | Dispositivo di monitoraggio mobile per aree a contaminazione controllata |
EP4094061A1 (en) | 2020-01-21 | 2022-11-30 | Particle Measuring Systems, Inc. | Robotic control for aseptic processing |
US11603214B2 (en) | 2020-06-04 | 2023-03-14 | Saudi Arabian Oil Company | Calibration methods for gas sensors mounted in-stream of drone propeller air flow |
US11454572B2 (en) | 2020-06-04 | 2022-09-27 | Saudi Arabian Oil Company | Method of placing gas sensors on drones to benefit from thrust air flow via placement and scoops |
US11565794B2 (en) | 2020-06-04 | 2023-01-31 | Saudi Arabian Oil Company | Gas sensing for fixed wing drones using scoops |
US20230366709A1 (en) * | 2020-09-28 | 2023-11-16 | Tsi Incorporated | Flow control and measurement through particle counters |
AU2021358511A1 (en) * | 2020-10-06 | 2023-05-11 | QuantAQ, Inc. | Air measurement device |
CN113654944A (zh) * | 2021-07-19 | 2021-11-16 | 中国烟草总公司郑州烟草研究院 | 核查标准恒流孔的方法 |
US20230358646A1 (en) * | 2022-05-09 | 2023-11-09 | Tsi Incorporated | Portable smart flow controller |
Family Cites Families (54)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3941982A (en) | 1974-07-22 | 1976-03-02 | Particle Measuring Systems, Inc. | Method and apparatus for two-dimensional data acquisition |
US4011459A (en) | 1975-12-05 | 1977-03-08 | Particle Measuring Systems, Inc. | Method and apparatus for determining valid sample volume |
JPS6010565B2 (ja) | 1979-09-07 | 1985-03-18 | 株式会社司測研 | 臨界流速ノズルによる流量の分流測定制御装置 |
US4594715A (en) | 1983-11-17 | 1986-06-10 | Particle Measuring Systems, Inc. | Laser with stabilized external passive cavity |
US4571079A (en) | 1983-12-29 | 1986-02-18 | Particle Measuring Systems, Inc. | Aerosol sampling device and method with improved sample flow characteristics |
US4607228A (en) * | 1984-01-13 | 1986-08-19 | Battelle Development Corporation | Apparatus and method for measuring the concentration of solid particles in a fluid stream |
US4636075A (en) | 1984-08-22 | 1987-01-13 | Particle Measuring Systems, Inc. | Particle measurement utilizing orthogonally polarized components of a laser beam |
US4728190A (en) | 1985-10-15 | 1988-03-01 | Particle Measuring Systems, Inc. | Device and method for optically detecting particles in a fluid |
US4798465B2 (en) | 1986-04-14 | 1994-08-30 | Particle Measuring Syst | Particle size detection device having high sensitivity in high molecular scattering environment |
US4893932A (en) | 1986-05-02 | 1990-01-16 | Particle Measuring Systems, Inc. | Surface analysis system and method |
US4740988A (en) | 1986-11-12 | 1988-04-26 | Particle Measuring Systems, Inc. | Laser device having mirror heating |
US4984889A (en) | 1989-03-10 | 1991-01-15 | Pacific Scientific Company | Particle size measuring system with coincidence detection |
US5000052A (en) * | 1989-05-17 | 1991-03-19 | Sipin Anatole J | Controlled sampler |
US4999498A (en) * | 1989-06-05 | 1991-03-12 | Mobay Corporation | Remote sensing gas analyzer |
JPH03296622A (ja) | 1990-04-16 | 1991-12-27 | Mitsubishi Electric Corp | 流量監視装置 |
US5282151A (en) | 1991-02-28 | 1994-01-25 | Particle Measuring Systems, Inc. | Submicron diameter particle detection utilizing high density array |
US5317930A (en) | 1991-09-18 | 1994-06-07 | Wedding & Associates, Inc. | Constant flowrate controller for an aerosol sampler using a filter |
US5467189A (en) | 1993-01-22 | 1995-11-14 | Venturedyne, Ltd. | Improved particle sensor and method for assaying a particle |
JPH08506901A (ja) | 1993-06-10 | 1996-07-23 | ラプレット アンド パタシュニック カンパニー,インコーポレーテッド | 空中浮遊微粒子標本抽出監視装置 |
US5410403A (en) * | 1993-08-12 | 1995-04-25 | Pacific Scientific Company | Particle measuring system with pump adapted to maintain constant flow for different pressures and viscosities |
EP0746752A4 (en) | 1993-08-19 | 2000-02-23 | Venturedyne Ltd | PARTICLE DETECTOR HAVING A LOW PRESSURE DROP AIR CIRCULATION SYSTEM |
US5493123A (en) | 1994-04-28 | 1996-02-20 | Particle Measuring Systems, Inc. | Surface defect inspection system and method |
US5751422A (en) | 1996-02-26 | 1998-05-12 | Particle Measuring Systems, Inc. | In-situ particle detection utilizing optical coupling |
US5671046A (en) | 1996-07-01 | 1997-09-23 | Particle Measuring Systems, Inc. | Device and method for optically detecting particles in a free liquid stream |
US5825487A (en) | 1996-10-10 | 1998-10-20 | Venturedyne, Ltd. | Particle sensor with features for setting, adjusting and trimming the flow rate of the sampled air |
US5805281A (en) | 1997-04-21 | 1998-09-08 | Particle Measuring Systems | Noise reduction utilizing signal multiplication |
US6113947A (en) | 1997-06-13 | 2000-09-05 | Genentech, Inc. | Controlled release microencapsulated NGF formulation |
US5861950A (en) | 1997-07-10 | 1999-01-19 | Particle Measuring Systems, Inc. | Particle detection system utilizing an inviscid flow-producing nozzle |
WO1999022219A1 (en) | 1997-10-28 | 1999-05-06 | Particle Measuring Systems, Inc. | Fluid cavity particle measuring system and methods |
US5903338A (en) | 1998-02-11 | 1999-05-11 | Particle Measuring Systems, Inc. | Condensation nucleus counter using mixing and cooling |
US6246474B1 (en) | 1998-04-29 | 2001-06-12 | Particle Measuring Systems, Inc. | Method and apparatus for measurement of particle size distribution in substantially opaque slurries |
US20050100181A1 (en) | 1998-09-24 | 2005-05-12 | Particle Measuring Systems, Inc. | Parametric transducer having an emitter film |
US6167107A (en) | 1999-07-16 | 2000-12-26 | Particle Measuring Systems, Inc. | Air pump for particle sensing using regenerative fan, and associated methods |
JP4804692B2 (ja) * | 2000-02-24 | 2011-11-02 | 東京エレクトロン株式会社 | ガス漏洩検知システム、ガス漏洩検知方法及び半導体製造装置 |
US6615679B1 (en) | 2000-08-15 | 2003-09-09 | Particle Measuring Systems, Inc. | Ensemble manifold, system and method for monitoring particles in clean environments |
US6709311B2 (en) | 2001-08-13 | 2004-03-23 | Particle Measuring Systems, Inc. | Spectroscopic measurement of the chemical constituents of a CMP slurry |
US7208123B2 (en) | 2002-06-24 | 2007-04-24 | Particle Measuring Systems, Inc. | Molecular contamination monitoring system and method |
US6945090B2 (en) | 2002-06-24 | 2005-09-20 | Particle Measuring Systems, Inc. | Method and apparatus for monitoring molecular contamination of critical surfaces using coated SAWS |
US7576857B2 (en) | 2002-08-27 | 2009-08-18 | Particle Measuring Systems, Inc. | Particle counter with laser diode |
US6859277B2 (en) | 2002-08-27 | 2005-02-22 | Particle Measuring Systems, Inc. | Particle counter with strip laser diode |
US6903818B2 (en) | 2002-10-28 | 2005-06-07 | Particle Measuring Systems, Inc. | Low noise intracavity laser particle counter |
US7235214B2 (en) | 2003-04-23 | 2007-06-26 | Particle Measuring Systems, Inc. | System and method for measuring molecular analytes in a measurement fluid |
US20050028593A1 (en) | 2003-08-04 | 2005-02-10 | Particle Measuring Systems, Inc. | Method and apparatus for high sensitivity monitoring of molecular contamination |
US7088446B2 (en) | 2003-12-31 | 2006-08-08 | Particle Measuring Systems, Inc. | Optical measurement of the chemical constituents of an opaque slurry |
US7030980B1 (en) | 2004-12-29 | 2006-04-18 | Particle Measuring Systems, Inc. | Diode pumped intracavity laser particle counter with improved reliability and reduced noise |
US7088447B1 (en) | 2005-03-01 | 2006-08-08 | Particle Measuring Systems, Inc. | Particle counter with self-concealing aperture assembly |
US7456960B2 (en) | 2005-06-06 | 2008-11-25 | Particle Measuring Systems, Inc. | Particle counter with improved image sensor array |
GB0525517D0 (en) * | 2005-12-15 | 2006-01-25 | Boc Group Plc | Apparatus for detecting a flammable atmosphere |
US7667839B2 (en) * | 2006-03-30 | 2010-02-23 | Particle Measuring Systems, Inc. | Aerosol particle sensor with axial fan |
JP2010522333A (ja) | 2007-03-23 | 2010-07-01 | パーティクル・メージャーリング・システムズ・インコーポレーテッド | 排出冷却式光源を備えた光学式パーティクルセンサ |
US7985949B2 (en) | 2007-07-30 | 2011-07-26 | Particle Measuring Systems, Inc. | Detection of analytes using ion mobility spectrometry |
WO2009065062A1 (en) | 2007-11-16 | 2009-05-22 | Particle Measuring Systems, Inc. | System and method for calibration verification of an optical particle counter |
CN101925809B (zh) | 2007-12-04 | 2013-03-27 | 粒子监测系统有限公司 | 用于粒子检测的二维光学成像方法和系统 |
WO2011025763A1 (en) | 2009-08-24 | 2011-03-03 | Particle Measuring Systems, Inc. | Flow monitored particle sensor |
-
2010
- 2010-08-24 WO PCT/US2010/046438 patent/WO2011025763A1/en active Application Filing
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