JP5563191B2 - 半導体微細機械素子及びその製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、化合物半導体で構成された微細な可動部を備える半導体微細機械素子及びその製造方法に関するものである。
近年、微細な可動部を備えるマイクロマシーンを利用した技術が重要となっている。このようなマイクロマシーンを実現するために、半導体集積回路の技術を利用して作製した半導体微細機械素子がある。半導体微細機械素子は、よく知られたリソグラフィーに代表される半導体微細加工技術を用い、シリコンなどの半導体薄膜を加工して梁構造を形成している。このように作製される半導体微細機械素子の例として、外部から加えられた力による運動を梁により高感度に検出することで、所定の機能を発現させるものがある。この代表的な例として、半導体力検出素子がある。
また、他の例においては、所定の機構を用いて梁に力を加えることにより梁に運動を発生させ、所定の機能を発現させるようにしている。この代表的な例として、光通信用交換機に用いられる光スイッチがある。
特に、圧電材料を用いて梁を構成し、材料による圧電効果で梁に所定の運動をさせ、また梁の運動を検出する微細機械素子は、外部に駆動や検出のための機構を必要としない自己駆動・検出型微細機構素子として広く用いられている。
図3は、上述した自己駆動・検出型微細機構素子の構成例を示す断面図である。この素子は、圧電材料であるZnOを用いた自己駆動・検出型の原子間力顕微鏡用のカンチレバーである。この素子は、シリコン基板より形成した基部301の上に、熱酸化により形成した酸化シリコン層308の一部でカンチレバー309を構成している。また、酸化シリコン層308の上には、CrAu薄膜よりなる下部電極配線層302,下部電極配線層302の上に形成されたZnOよりなる圧電層305,圧電層305の上に形成されたCrAu薄膜よりなる上部電極304、上部電極304に接続するCrAu薄膜よりなる配線層303,一部の下部電極配線層302と圧電層305と上部電極304とを覆う酸化シリコンよりなる保護層306,下部電極配線層302と配線層303とを絶縁分離するための層間絶縁層307とを備えている。
この素子では、下部電極配線層302と配線層303(上部電極304)との間に電圧を印加すると、圧電効果により圧電層305はカンチレバー309の長手方向(紙面左右方向)に歪みを受ける。この歪みにより、カンチレバー309は、基部301の方向(紙面上下方向)に曲げられる。このように、この素子では、下部電極配線層302と配線層303との間への電圧印加により、カンチレバー309を振動させることができる。
また、カンチレバー309に力が印加されてこれが曲がると、圧電層305の圧電効果により、下部電極配線層302と上部電極304との間に電圧が発生する。この電圧を検出することにより、カンチレバー309の振動を検出することができる。
上述したような圧電効果を利用した自己駆動・検出型微細機構素子は、例えば、原子間力顕微鏡などへ応用されている(非特許文献1参照)。
T.Itoh and T.Suga, Appl. Phys. Lett., Vol.64, pp.37- ,1994.
ところで、原子間力顕微鏡をはじめとしたカンチレバーの応用技術が発展するに伴い、これまでより各段に高速に応答するカンチレバーが必要とされてきている。原子間力顕微鏡などに応用するためには、微細化が必要となり、微細化したカンチレバーにおいても、高速に応答することが必要となる。ところが、カンチレバーの応答速度は、機械的共振周波数で決定されるが、前述した従来技術の構成では、電極として用いる金属薄膜や圧電材料は、蒸着やスパッタ法などにより形成されるために単結晶ではなく、微細化に伴い機械的特性が劣化するという問題があった。また、従来技術のカンチレバーでは、圧電材料におけるリーク電流の問題もあった。微細化に伴い圧電材料の膜厚が減少し、これに伴い電極間に印加できる電圧が小さくなる。
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、原子間力顕微鏡のカンチレバーなどに適用可能な微細な機械素子が、より高速に応答できるようにすることを目的とする。
本発明に係る半導体微細機械素子は、基板の上に形成された支持部と、この支持部に支持された可動部とを備え、可動部は、第1化合物半導体からなる下部導電層と、この下部導電層の上に形成され、第1化合物半導体より大きなバンドギャップエネルギーを有し、かつ圧電効果を有する絶縁性の第2化合物半導体からなる圧電体層と、この圧電体層の上に形成された導電層およびこの導電層にオーミック接続する電極から構成された電圧印加検出部とを少なくとも備えるようにしたものである。
上記半導体微細機械素子において、下部導電層及び圧電体層は、変調ドープ構造とされていてもよい。また、電圧印加検出部は、第2化合物半導体より小さなバンドギャップを持つ第3化合物半導体からなる上部導電層及びこの上部導電層の上に形成された電極とを少なくとも備えるものであればよい。また、電圧印加検出部は、圧電体層の上にショットキー接続して形成されたショットキー電極を少なくとも備えるものであってもよい。
また、本発明に係る半導体微細機械素子は、基板の上に形成された支持部と、この支持部に支持された可動部とを備え、可動部は、第1化合物半導体からなる下部導電層と、この下部導電層の上に形成され、第1化合物半導体よりバンドギャップエネルギーの大きい絶縁性の第2化合物半導体からなる圧電体層と、この圧電体層の上に形成された導電層およびこの導電層にオーミック接続する電極から構成された電圧印加検出部とを少なくとも備え、下部導電層と電圧印加検出部との間に印加された電圧により可動部が変形するようにしたものである。
また、本発明に係る半導体微細機械素子は、基板の上に形成された支持部と、この支持部に支持された可動部とを備え、可動部は、第1化合物半導体からなる下部導電層と、この下部導電層の上に形成され、第1化合物半導体よりバンドギャップエネルギーの大きい絶縁性の第2化合物半導体からなる圧電体層と、この圧電体層の上に形成された導電層およびこの導電層にオーミック接続する電極から構成された電圧印加検出部とを少なくとも備え、可動部の変形により発生した電圧が、下部導電層及び電圧印加検出部を介して検出されるようにしたものである。
また、本発明に係る半導体微細機械素子の製造方法は、基板の上に支持部が形成された状態とする工程と、支持部の上に第1化合物半導体からなる下部導電層が形成された状態とする工程と、下部導電層の上に第1化合物半導体よりバンドギャップエネルギーの大きい絶縁性の第2化合物半導体をエピタキシャル成長することで、圧電体層が形成された状態とする工程と、圧電体層の上に導電層およびこの導電層にオーミック接続する電極から構成された電圧印加検出部が形成された状態とする工程とを少なくとも備えるようにしたものである。
以上説明したように、本発明によれば、可動部が、第1化合物半導体からなる下部導電層と、この下部導電層の上に形成されて第1化合物半導体よりバンドギャップエネルギーの大きい第2化合物半導体からなる圧電体層とを備えるようにしたので、原子間力顕微鏡のカンチレバーなどに適用可能な微細な機械素子が、より高速に応答できるようになるという優れた効果が得られる。
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
[実施の形態1]
始めに、本発明の実施の形態1について説明する。図1は、本発明の実施の形態における半導体微細機械素子の構成例を模式的に示す斜視図である。本実施の形態における半導体微細機械素子は、例えば面方位が(001)のGaAsからなる基板101の上に、まず、単結晶のAlGaAsからなる犠牲層102,単結晶の絶縁性GaAsからなる絶縁層103を備えている。また、シリコンがドープされた単結晶の導電性GaAs(第1化合物半導体)からなる導電層104,単結晶の絶縁性Al0.7Ga0.3As(第2化合物半導体)からなる圧電体層105,及びシリコンがドープされた単結晶の導電性GaAs(第3化合物半導体)からなる導電層106を備えている。
また、半導体微細機械素子は、上述した積層構造体により、支持部111及びこれに支持された可動部112が形成されているようにしたものである。可動部112は、この下面が基板101の表面より離間し、可動部112と基板101との対向面の間に空間を形成している。この構造は、後述に例示するように、犠牲層102を用いることで形成可能である。
また、支持部111の導電層106の上には、オーミック接続する電極107が形成されている。また、支持部111は、一部の導電層104の上が露出され、この露出面に、オーミック接続する電極108が形成されている。電極107及び電極108は、例えば、AuGeNi合金から構成されている。また、電極107には、配線109が接続し、電極108には、配線110が接続している。
ここで、半導体微細機械素子の製造について簡単に説明する。例えば、基板101の上に、犠牲層102を結晶成長し、次いで、犠牲層102の上に絶縁性GaAsを結晶成長させる。引き続いて、この絶縁性GaAs層の上にシリコンがドープされた単結晶の導電性GaAsを結晶成長させ、導電性GaAs層に上に絶縁性Al0.3Ga0.7Asを結晶成長させ、続いて、絶縁性Al0.3Ga0.7Asの上に、シリコンがドープされた単結晶の導電性GaAsを結晶成長させる。これらはヘテロエピタキシャル成長により作製すればよい。
この後、これらの積層膜を、公知のリソグラフィー技術とエッチング技術とにより、支持部111及び可動部112の平面形状に微細加工する。この状態で、他の層に対して犠牲層102を選択的に除去することで、可動部112の領域においては、可動部112と基板101との対向面の間に空間が形成された状態とする。例えば、他の層よりAlが多い比率の組成とした犠牲層102を用いることで、犠牲層102を例えばフッ酸水溶液により選択的にエッチング除去することができる。
ここで、可動部112以外の支持部においても、犠牲層102は側面よりエッチング除去される。しかしながら、可動部112となる部分は、支持部111となる領域に比較して、幅が狭く形成されているため、可動部112の領域の犠牲層102が除去された状態としても、他の領域の犠牲層102は残すことが可能である。例えば、可動部112の領域の犠牲層102が除去されたら、上記エッチングを停止することで、支持部111及び支持部106の領域の犠牲層102は残すことができる。この処理により、支持部111の領域においては、他の層に比較して犠牲層102が内側に入り込んだ形状となる。なお、上述した製造方法に限るものではなく、他の方法により、梁の部分を形成するようにしても良いことは、言うまでもない。
また、電極108を形成する領域においては、支持部111を構成している一部の導電層106及び圧電体層105を除去し、この箇所において、導電性GaAs層(導電層104)が露出した状態とする。この後、よく知られたリフトオフ法などを用いることで、電極107及び電極108が形成された状態とすることができる。
上述したように構成した本実施の形態における半導体微細機械素子において、弾性体である可動部112が延在している方向を、GaAsの[110]方向にする。この場合、電極107と電極108との間(導電層106と導電層104との間)に電圧を印加することで、AlGaAs(圧電体層105)が持つ圧電効果により、圧電体層105には、上記延在方向に、印加された電圧に比例した歪みが発生する。この歪みにより、可動部112は、屈曲(変形)することになる。
また、可動部112が外力により曲げられると、AlGaAs(圧電体層105)が持つ圧電効果により、圧電体層105の両方の界面間に電圧が発生し、これが、電極107(導電層106)及び電極108(導電層104)の間に発生する電圧として、配線109及び配線110により検出される。
本実施の形態では、一例として、絶縁性AlGaAsの層を導電性GaAsの層で挟む積層構造より可動部112が構成されているようにした。従って、まず、可動部112が、単結晶で構成されたものとなり、優れた機械特性が得られるようになる。また、GaAsからなる導電層104及び導電層106に比較し、これらを構成している化合物半導体よりバンドギャップが大きい化合物半導体であるAlGaAsから圧電体層105を構成したので、微細化に伴い可動部が薄くなっても、大きな耐圧を有している。
なお、本実施の形態では、導電層104及び導電層106を、同じ導電性GaAsから構成するようにしたが、これに限るものではない。導電層104及び導電層106は、圧電体層105を構成している化合物半導体に対し、小さなバンドギャップをもつ化合物半導体から構成されていればよく、例えば結晶成長が可能な範囲で、導電層104及び導電層106は、異なる化合物半導体から構成されていても良い。
[実施の形態2]
次に、本発明の実施の形態2について説明する。図2は、本発明の実施の形態における半導体微細機械素子の構成例を模式的に示す斜視図である。本実施の形態における半導体微細機械素子は、例えば面方位が(001)のGaAsからなる基板201の上に、まず、単結晶のAlGaAsからなる犠牲層202,単結晶の絶縁性GaAsからなる絶縁層203,シリコンがドープされた単結晶の導電性GaAsからなる導電層204,及び単結晶の絶縁性Al0.7Ga0.3Asからなる圧電体層205を備えている。
また、圧電体層205の上には、シリコンがドープされた単結晶の導電性GaAsからなる導電層206及び導電層207が、互いに絶縁分離して配置されている。また、本実施の形態における半導体微細機械素子は、上述した積層構造体により、支持部214及びこれに支持された可動部215が形成されている。可動部215は、この下面が基板201の表面より離間し、可動部215と基板201との対向面の間に空間を形成している。また、導電層206及び導電層207は、支持部214の領域に配置された基部206a及び基部207aと、可動部215の上にまで延在している延在部206b及び延在部207bを備えている。
また、基部206a及び基部207aの上には、オーミック接続する電極208及び電極209が形成されている。また、支持部214は、一部の導電層204の上が露出され、この露出面に、オーミック接続する電極210が形成されている。電極208,電極209,及び電極210は、例えば、AuGeNi合金から構成されている。また、電極208には、配線211が接続し、電極209には、配線212が接続し、電極210には、配線213が接続している。
上述したように構成した本実施の形態における半導体微細機械素子において、弾性体である可動部215が延在している方向を、GaAsの[110]方向にする。この場合、電極209と電極210との間(導電層207と導電層204との間)に電圧を印加することで、AlGaAs(圧電体層205)が持つ圧電効果により、圧電体層205には、上記延在方向に、印加された電圧に比例した歪みが発生する。この歪みにより、可動部215は、屈曲(変形)することになる。
また、可動部215が外力により曲げられると、AlGaAs(圧電体層205)が持つ圧電効果により、圧電体層205の両方の界面間に電圧が発生し、これが、電極208(導電層206)及び電極210(導電層204)の間に発生する電圧として、配線109及び配線110により検出される。
このように、本実施の形態2における半導体微細機械素子では、圧電体層205の上に、2つの導電層206及び導電層207を形成し、各々に電極208及び電極209を形成し、励振と検出との電極を分離しているため、相互のクロストークによる検出感度の低下を抑制することができる。
本実施の形態では、一例として、絶縁性AlGaAsの層を導電性GaAsの層で挟む積層構造より可動部215が構成されているようにした。従って、まず、可動部215が、単結晶で構成されたものとなり、優れた機械特性が得られるようになる。また、GaAsからなる導電層204及び導電層206,207に比較してバンドギャップが大きいAlGaAsから圧電体層205を構成したので、微細化に伴い可動部が薄くなっても、大きな耐圧を有している。
なお、上述した実施の形態1及び実施の形態2においては、圧電体層の上に、シリコンをドープした単結晶の導電性GaAsより構成した導電層を設け、これにオーミック接続する電極を形成し、電極及び導電層により圧電体層に電圧を印加するようにし、また、圧電体層で発生した電圧を検出するようにしている。これらの場合、導電層と電極とにより、電圧印加検出部が構成されていることになる。なお、導電層は、圧電体層を構成している化合物半導体よりバンドギャップが小さい化合物半導体から構成されていればよい。また、電極は、オーミック接続している必要はない。
しかしながら、これに限るものではなく、例えば、圧電体層にショットキー接続する金属材料からなるショットキー電極を設け、ショットキー電極により電圧印加検出部を構成しても良い。上述した本発明の半導体微細機械素子では、圧電体層の下層(一方の面)に、単結晶ヘテロ接合する導電層を備えているため、圧電体層の上層(他方の面)は、ショットキー電極が設けられている構成としても、十分な圧電効果が得られる。このように、本発明の半導体微細機械素子では、可動部が、ヘテロ接合して積層されたバンドギャップエネルギーの異なる2つの化合物半導体層より構成されている所に特徴がある。
また、上述では、圧電体層を絶縁性Al0.7Ga0.3Asから構成し、この下の導電層は、シリコンがドープされたGaAsから構成したが、これに限るものではない。例えば、シリコンがドープされたAl0.7Ga0.3Asから圧電体層を構成し、この下の層にノンドープのGaAsからなる層を用いるようにしても良い。このように構成した場合、圧電体層に発生した伝導電子が、圧電体層及びノンドープGaAs層の間のバンドギャップの差によりノンドープGaAs層に蓄積していわゆる2次元電子ガス層を形成するため、ノンドープGaAs層を導電層として機能させることができる。このような、いわゆる変調ドープ構造は、よく知られているように優れた電気的特性を示すので、半導体微細機械素子の性能をより向上させることができる。
なお、上述では、可動部を片持ちの梁構造(カンチレバー)としたが、これに限るものではない。可動部は、量持ち梁構造としてもよく、また、ねじり梁の構造,周辺が固定された薄膜(ダイヤフラム)など、変位可能な機械的構造となっていればよい。また、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、InAs,InP,InSb,InN,GaP,GaSb,GaN,AlP,AlSb,及びAlNなどの他の化合物半導体を用いることができる。
本発明の実施の形態1における半導体微細機械素子の構成例を示す斜視図である。 本発明の実施の形態2における半導体微細機械素子の構成例を示す斜視図である。 従来よりある原子火力顕微鏡用のカンチレバーの構成を示す断面図である。
符号の説明
101…基板、102…犠牲層、103…絶縁層、104…導電層、105…圧電体層、106…導電層、107…電極、108…電極、109…配線、110…配線、111…支持部、112…可動部。

Claims (7)

  1. 基板の上に形成された支持部と、この支持部に支持された可動部とを備え、
    前記可動部は、
    第1化合物半導体からなる下部導電層と、
    この下部導電層の上に形成され、前記第1化合物半導体より大きなバンドギャップエネルギーを有し、かつ圧電効果を有する絶縁性の第2化合物半導体からなる圧電体層と、
    この圧電体層の上に形成された導電層および前記導電層にオーミック接続する電極から構成された電圧印加検出部と
    を少なくとも備えることを特徴とする半導体微細機械素子。
  2. 請求項1記載の半導体微細機械素子において、
    前記下部導電層及び圧電体層は、変調ドープ構造とされている
    ことを特徴とする半導体微細機械素子。
  3. 請求項1又は2記載の半導体微細機械素子において、
    前記電圧印加検出部は、前記第2化合物半導体より小さなバンドギャップを持つ第3化合物半導体からなる上部導電層及びこの上部導電層の上に形成された電極と
    を少なくとも備えることを特徴とする半導体微細機械素子。
  4. 請求項1又は2記載の半導体微細機械素子において、
    前記電圧印加検出部は、前記圧電体層の上にショットキー接続して形成されたショットキー電極を少なくとも備えることを特徴とする半導体微細機械素子。
  5. 基板の上に形成された支持部と、この支持部に支持された可動部とを備え、
    前記可動部は、
    第1化合物半導体からなる下部導電層と、
    この下部導電層の上に形成され、前記第1化合物半導体よりバンドギャップエネルギーの大きい絶縁性の第2化合物半導体からなる圧電体層と、
    この圧電体層の上に形成された導電層および前記導電層にオーミック接続する電極から構成された電圧印加検出部と
    を少なくとも備え、
    前記下部導電層と前記電圧印加検出部との間に印加された電圧により前記可動部が変形する
    ことを特徴とする半導体微細機械素子。
  6. 基板の上に形成された支持部と、この支持部に支持された可動部とを備え、
    前記可動部は、
    第1化合物半導体からなる下部導電層と、
    この下部導電層の上に形成され、前記第1化合物半導体よりバンドギャップエネルギーの大きい絶縁性の第2化合物半導体からなる圧電体層と、
    この圧電体層の上に形成された導電層および前記導電層にオーミック接続する電極から構成された電圧印加検出部と
    を少なくとも備え、
    前記可動部の変形により発生した電圧が、前記下部導電層及び前記電圧印加検出部を介して検出される
    ことを特徴とする半導体微細機械素子。
  7. 基板の上に支持部が形成された状態とする工程と、
    前記支持部の上に第1化合物半導体からなる下部導電層が形成された状態とする工程と、
    前記下部導電層の上に前記第1化合物半導体よりバンドギャップエネルギーの大きい絶縁性の第2化合物半導体をエピタキシャル成長することで、圧電体層が形成された状態とする工程と、
    前記圧電体層の上に導電層および前記導電層にオーミック接続する電極から構成された電圧印加検出部が形成された状態とする工程と
    を少なくとも備えることを特徴とする半導体微細機械素子の製造方法。
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