JP5563191B2 - 半導体微細機械素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
始めに、本発明の実施の形態1について説明する。図1は、本発明の実施の形態における半導体微細機械素子の構成例を模式的に示す斜視図である。本実施の形態における半導体微細機械素子は、例えば面方位が(001)のGaAsからなる基板101の上に、まず、単結晶のAlGaAsからなる犠牲層102,単結晶の絶縁性GaAsからなる絶縁層103を備えている。また、シリコンがドープされた単結晶の導電性GaAs(第1化合物半導体)からなる導電層104,単結晶の絶縁性Al0.7Ga0.3As(第2化合物半導体)からなる圧電体層105,及びシリコンがドープされた単結晶の導電性GaAs(第3化合物半導体)からなる導電層106を備えている。
次に、本発明の実施の形態2について説明する。図2は、本発明の実施の形態における半導体微細機械素子の構成例を模式的に示す斜視図である。本実施の形態における半導体微細機械素子は、例えば面方位が(001)のGaAsからなる基板201の上に、まず、単結晶のAlGaAsからなる犠牲層202,単結晶の絶縁性GaAsからなる絶縁層203,シリコンがドープされた単結晶の導電性GaAsからなる導電層204,及び単結晶の絶縁性Al0.7Ga0.3Asからなる圧電体層205を備えている。
Claims (7)
- 基板の上に形成された支持部と、この支持部に支持された可動部とを備え、
前記可動部は、
第1化合物半導体からなる下部導電層と、
この下部導電層の上に形成され、前記第1化合物半導体より大きなバンドギャップエネルギーを有し、かつ圧電効果を有する絶縁性の第2化合物半導体からなる圧電体層と、
この圧電体層の上に形成された導電層および前記導電層にオーミック接続する電極から構成された電圧印加検出部と
を少なくとも備えることを特徴とする半導体微細機械素子。 - 請求項1記載の半導体微細機械素子において、
前記下部導電層及び圧電体層は、変調ドープ構造とされている
ことを特徴とする半導体微細機械素子。 - 請求項1又は2記載の半導体微細機械素子において、
前記電圧印加検出部は、前記第2化合物半導体より小さなバンドギャップを持つ第3化合物半導体からなる上部導電層及びこの上部導電層の上に形成された電極と
を少なくとも備えることを特徴とする半導体微細機械素子。 - 請求項1又は2記載の半導体微細機械素子において、
前記電圧印加検出部は、前記圧電体層の上にショットキー接続して形成されたショットキー電極を少なくとも備えることを特徴とする半導体微細機械素子。 - 基板の上に形成された支持部と、この支持部に支持された可動部とを備え、
前記可動部は、
第1化合物半導体からなる下部導電層と、
この下部導電層の上に形成され、前記第1化合物半導体よりバンドギャップエネルギーの大きい絶縁性の第2化合物半導体からなる圧電体層と、
この圧電体層の上に形成された導電層および前記導電層にオーミック接続する電極から構成された電圧印加検出部と
を少なくとも備え、
前記下部導電層と前記電圧印加検出部との間に印加された電圧により前記可動部が変形する
ことを特徴とする半導体微細機械素子。 - 基板の上に形成された支持部と、この支持部に支持された可動部とを備え、
前記可動部は、
第1化合物半導体からなる下部導電層と、
この下部導電層の上に形成され、前記第1化合物半導体よりバンドギャップエネルギーの大きい絶縁性の第2化合物半導体からなる圧電体層と、
この圧電体層の上に形成された導電層および前記導電層にオーミック接続する電極から構成された電圧印加検出部と
を少なくとも備え、
前記可動部の変形により発生した電圧が、前記下部導電層及び前記電圧印加検出部を介して検出される
ことを特徴とする半導体微細機械素子。 - 基板の上に支持部が形成された状態とする工程と、
前記支持部の上に第1化合物半導体からなる下部導電層が形成された状態とする工程と、
前記下部導電層の上に前記第1化合物半導体よりバンドギャップエネルギーの大きい絶縁性の第2化合物半導体をエピタキシャル成長することで、圧電体層が形成された状態とする工程と、
前記圧電体層の上に導電層および前記導電層にオーミック接続する電極から構成された電圧印加検出部が形成された状態とする工程と
を少なくとも備えることを特徴とする半導体微細機械素子の製造方法。
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JP2007310137A JP5563191B2 (ja) | 2007-11-30 | 2007-11-30 | 半導体微細機械素子及びその製造方法 |
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