JP5561747B2 - 耐クラック性熱曲げアクチュエータを有するインクジェットノズル組立体 - Google Patents
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Description
駆動回路構成に接続するためのアクティブビームと、
アクティブビームに電流を通したときに、アクティブビームがパッシブビームに対して膨張し、結果的にアクチュエータの曲げが生じるように、アクティブビームと機械的に協働するパッシブビームと、
を備え、パッシブビームが、窒化シリコンから構成される第1層と、二酸化シリコンから構成される第2層とを含み、第2層が第1層とアクティブビームとの間に狭持された、熱曲げアクチュエータを提供する。
ノズル開口およびインク入口を有するノズルチャンバと、
ノズル開口を介してインクを噴射させるための熱曲げアクチュエータと、
を備えたインクジェットノズル組立体であって、アクチュエータが
駆動回路構成に接続するためのアクティブビームと、
アクティブビームに電流を通したときに、アクティブビームがパッシブビームに対して膨張し、結果的にアクチュエータの曲げが生じるように、アクティブビームと機械的に協働するパッシブビームと、
を含み、
パッシブビームが、窒化シリコンから構成された第1層と、二酸化シリコンから構成された第2層とを含み、第2層が第1層とアクティブビームとの間に狭持された、インクジェットノズル組立体を提供する。
ノズル開口およびインク入口を有するノズルチャンバと、
ノズル開口を介してインクを噴射させるための熱曲げアクチュエータと、
を含み、アクチュエータが、
駆動回路構成に接続されたアクティブビームと、
アクティブビームに電流を通したときに、アクティブビームがパッシブビームに対して膨張し、結果的にアクチュエータの曲げが生じるように、アクティブビームと機械的に協働するパッシブビームと、
を含み、
パッシブビームが、窒化シリコンから構成された第1層と二酸化シリコンから構成された第2層とを含み、第2層が第1層とアクティブビームとの間に狭持された、インクジェットプリントヘッドを提供する。
駆動回路構成に接続されたアクティブビームと、
アクティブビームに電流を通したときに、アクティブビームがパッシブビームに対して膨張し、結果的にアクチュエータの曲げが生じるように、アクティブビームと機械的に協働するパッシブビームと、
を含み、
パッシブビームが、窒化シリコンから構成された第1層と二酸化シリコンから構成された第2層とを含み、第2層が第1層とアクティブビームとの間に狭持された、MEMSデバイスを提供する。
(a)窒化シリコンから構成される第1層を犠牲足場上に堆積するステップと、
(b)二酸化シリコンから構成される第2層を第1層上に堆積するステップと、
(c)アクティブビーム層を第2層上に堆積するステップと、
(d)熱曲げアクチュエータがアクティブビームとパッシブビームとを含み、パッシブビームが第1および第2層を含み、アクティブビーム層、第1層、および第2層をエッチングして、熱曲げアクチュエータを画成するステップと、
(e)犠牲足場を除去することによって熱曲げアクチュエータを解放するステップと、
を含む方法を提供する。
Claims (7)
- ノズル開口およびインク入口を有するノズルチャンバと、
前記ノズル開口を介してインクを噴射させるための熱曲げアクチュエータと、
を備えたインクジェットノズル組立体であって、
前記アクチュエータが、
導電性熱弾性材料で構成され、駆動回路構成に接続するためのアクティブビームと、
前記アクティブビームに機械的に融着されたパッシブビームであって、前記アクティブビームに電流が流れたときに、前記アクティブビームがパッシブビームに対して膨張し、結果的に前記アクチュエータの曲げが生じるようにした、パッシブビームと、
を含み、
前記パッシブビームが、第1層および第2層だけを備え、第1層は窒化シリコンで構成され、第2層は二酸化シリコンで構成され、前記第2層が、前記第1層と前記アクティブビームとの間に狭持された、インクジェットノズル組立体。 - 前記ノズルチャンバが、フロアと、可動部分を有するルーフと、を含み、
前記アクチュエータが作動すると、前記可動部分が前記フロアの方向に移動する、請求項1に記載のインクジェットノズル組立体。 - 前記可動部分が前記アクチュエータを含む、請求項2に記載のインクジェットノズル組立体。
- 前記アクティブビームが前記ノズルチャンバのフロアに対して前記パッシブビームの上面に堆積される、請求項1に記載のインクジェットノズル組立体。
- 前記ノズル開口が前記フロアに対して相対的に移動可能であるように、前記ノズル開口が前記可動部分に画成された、請求項2に記載のインクジェットノズル組立体。
- 前記アクチュエータが前記ノズル開口に対して相対的に移動可能である、請求項2に記載のインクジェットノズル組立体。
- 前記ルーフがポリマー材で被覆される、請求項2に記載のインクジェットノズル組立体。
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