JP5558865B2

JP5558865B2 - 磁気ヘッドスライダの製造方法

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Publication number: JP5558865B2
Application number: JP2010047390A
Authority: JP
Inventors: 国博上田; 雅浩栗林
Original assignee: SAE Magnetics HK Ltd
Current assignee: SAE Magnetics HK Ltd
Priority date: 2010-03-04
Filing date: 2010-03-04
Publication date: 2014-07-23
Anticipated expiration: 2030-03-04
Also published as: JP2011181160A

Description

本発明は、磁気ヘッドスライダの製造方法に関し、特にラッピングの前工程として行われるローバーの研削工程に関する。

磁気ヘッドスライダを製造するには、まずウエハ工程で、記録素子と再生素子とを備えたスライダとなるべき部分（以下、スライダ形成部という。）を基板上に形成する。その後ウエハを切断して、スライダ形成部が一列に配列したローバーを切り出し、媒体対向面を形成する（例えば、特許文献１）。媒体対向面の形成は、ローバーを作業単位として行われる。ローバーは専用のジグに保持され、切断面を円形の回転砥石で研削加工（グラインド加工）する。この研削加工は次に続く研摩加工（ラッピング加工）の前工程として行われ、ラッピング加工における必要研磨量が数μｍのオーダーとなる程度まで、切断面が削られる。

研削工程では、ローバーにあらかじめ複数の基準マーカーを形成しておき、ローバーの両端に位置する２つの基準マーカーを結ぶ線と研削砥石の研削面とが平行になるように、ジグにローバーをセットする。基準マーカーは媒体対向面となるべきローバー内部の面（またはこれと平行な面）である仮想面に対し所定の位置関係で設けられているため、仮想面の位置を示す指標として利用することができる。２つの基準マーカーを結ぶ線と仮想面とが互いに平行であれば、２つの基準マーカーを結ぶ線と研削砥石の研削面とが平行になるようにして研削することで、ローバーの研削面は仮想面と平行になる。

次いで、ラップ定盤を用いてラッピング加工を行う。ラッピング加工では、再生素子であるＭＲ(Magneto Resistive)素子のＭＲハイト（媒体対向面と直交する方向に測ったＭＲ素子の長さをいう。）が正確に形成され、さらに、必要に応じ最終仕上げ工程であるファインラッピング（最終ラッピング）が行われる。

ラッピング加工はローバーを単位として行われるため、ローバーを構成する各スライダ形成部の研磨量が変動し、一つのローバー内でＭＲハイトがばらつく可能性がある。そこで、あらかじめローバーに、ラッピングの進行に伴い電気抵抗値が変化する抵抗体を埋設しておき、抵抗体の電気抵抗値から、ローバーの長手方向における研磨量の分布を求める技術が知られている。ＭＲハイトのローバー内でのばらつきを抑えるために、このような抵抗体を用いてローバーの傾きを算出する技術も知られている（特許文献２）。この技術では、ローバーの傾きに応じて、ラップ定盤へのローバーの押し付け力をローバーの長手方向各位置で変化させ、傾きを補正する。さらに、同様の抵抗体を用いて、ＭＲハイトだけでなく記録素子のネックハイトを正確に制御する技術も知られている（特許文献３）。

特開２０００−２２２７１１号公報特開２００２−１５７７２３号公報特開２００６―１９０４３８号公報

上記仮想面はローバーの研削面と平行になるのが理想であるが、実際には、ローバーのジグへの取付け条件など種々の原因によって、平行にならないことがある。このような状況は、ローバーの研削される面が、中央部が張り出したり、全体的に波打ったりする状態でジグに取り付けられる場合に生じる。この状態で、２つの基準マーカーを結ぶ線と研削砥石の面とが平行になるようにローバーをセットして研削を行うと、２つの基準マーカーの近傍位置ではほぼ所定の量だけ研削されるが、２つの基準マーカーから離れた位置では、本来意図していた研削量で研削されない場合がある。この結果、ローバーの研削される面は砥石の研削面と平行に、かつ平坦に形成されるにも拘わらず、仮想面に凹凸が生じる。例えば、ローバーの中央部が研削砥石側に膨らむように取り付けられると、中央部が過剰に研削され、仮想面がローバーの研削面に接近する。逆に、中央部が研削砥石から遠ざかる方向に凹状に変形して取り付けられると、中央部の研削量が不足し、仮想面はローバーの研削面から離れることになる。

このような研削量のバラつきは、通常は抵抗体の電気抵抗値の変化を監視しながら、個々のスライダ形成部の研磨量を調整してラッピングを行うことによって解消される。しかしそのためには、ラッピング工程における研磨代をある程度確保しておく必要がある。そのため、従来技術の研削工程では、ラッピング工程における研磨代を確保するために、研削量を小さめに設定していた。その結果、ラッピングに長時間を要し、スライダ製造効率の低下を招来していた。

本発明はかかる課題に鑑みてなされ、ラッピング時間の低減が可能な磁気ヘッドスライダの製造方法を提供することを目的とする。

本発明の磁気ヘッドスライダの製造方法は、磁気ヘッドスライダとなるべきスライダ形成部が一列に配列した第１及び第２のローバーを含むブロックであって、第１及び第２のローバーが各々、その長手方向に沿って、研削及びラッピングによって電気抵抗値が変化する抵抗体を複数個備え、かつ媒体対向面となるべき面またはこれと平行な面のいずれかである仮想面に対して互いに同一の位置関係にある２つの基準マーカーを有するブロックを準備することと、ジグでブロックを保持したまま、媒体対向面側の面が露出した第１のローバーを研削して第１の研削面を形成する第１の研削ステップと、第１の研削面をラッピングして媒体対向面を形成し、第１のローバーをブロックから切り出すステップと、第１のローバーがブロックから切り出された後に、媒体対向面側の面が露出した第２のローバーを研削して第２の研削面を形成する第２の研削ステップと、第２の研削面をラッピングして媒体対向面を形成するステップとを行うことと、を含んでいる。第１の研削ステップは、第１のローバーに設けられた２つの基準マーカーから第１の研削面までの距離が各々第１の基準距離となるまで第１のローバーを研削することを含み、第２の研削ステップは、第２のローバーに設けられた２つの基準マーカーから第２の研削面までの距離が各々第２の基準距離となるまで第２のローバーを研削することを含み、第１の研削ステップと第２の研削ステップとの間に、抵抗体の電気抵抗値から、第１のローバーの長手方向に沿った仮想面と第１の研削面との距離の分布を求めるステップを有している。

本発明の一態様では、第１のローバーの長手方向に沿って分布する仮想面と第１の研削面との間の距離の最小値が所定の値より大きい場合に、第２の基準距離は第１の基準距離より小さい値に設定される。本発明の他の態様では、分布を示す仮想線が実質的に水平である場合に、第２の基準距離は第１の基準距離より小さい値に設定される。

仮想面と第１の研削面は、本来は互いに平行となる。しかし上述のように、様々な要因によって、仮想面に凹凸が生じる。本発明では、ジグでブロックを保持したまま、第１の研削ステップから、第２の研削面をラッピングして媒体対向面を形成するステップまでの各ステップを行う。ジグでブロックを保持したままであるため、仮想面に生じる凹凸形状は各ローバーで引き継がれ、第１の研削ステップで生じた凹凸形状は第２の研削ステップでも再現される可能性が高い。このため、第１の研削ステップで生じた凹凸形状を測定することによって、第２の研削ステップで生じる凹凸形状を予測することができる。凹凸が小さければ、第２の研削ステップでの研削量を増やすことができる。具体的には、仮想面と第１の研削面との間の距離の最小値が所定の値より大きい場合と、距離の分布を示す仮想線が実質的に水平である場合には、第２の研削ステップでの研削量を増やすことができ、ラッピング時間の低減が可能となる。

このように本発明によれば、ラッピング時間の低減が可能な磁気ヘッドスライダの製造方法を提供することが可能となる。

本発明が適用される磁気ヘッドスライダの概念的な断面図である。ウエハの平面図である。図２に示す範囲を切り出して作成されたブロックの斜視図である。ジグに保持されたブロックを示す図である。研削とラッピングが行われる範囲を示す模式図である。研削の方法を示す概略図である。研削される第１のローバーを示す概念図である。第１の研削面の様々な形状を示す模式図である。

まず、本発明の対象となる磁気ヘッドスライダについて説明する。図１は、磁気ヘッドスライダの概念的な断面図である。磁気ヘッドスライダ１は、回転駆動される円盤状の記録媒体であるハードディスク（図示せず）に対向するように、ハードディスク装置内に配置される。磁気ヘッドスライダ１は、ほぼ六面体形状をなしており、図１に示すように、Ａｌ₂Ｏ₃−ＴｉＣからなる基板２の上に再生素子であるＭＲ素子３と、記録素子４とが積層されて構成されている。ＭＲ素子３及び記録素子４が露出する面は、ハードディスクと対向する媒体対向面Ｓとなっている。ＭＲ素子３は、ＣＰＰ(Current Perpendicular to the Plane)−ＧＭＲ(Giant Magneto-Resistance)素子、ＴＭＲ(Tunneling Magneto-Resistance)素子、ＣＩＰ(Current In Plane)−ＧＭＲ素子３など、公知の任意のＭＲ素子３であってよい。

次に、このような磁気ヘッドスライダ１の製造方法について説明する。

（ステップ１：ブロックの製造ステップ）
磁気ヘッドスライダ１を製造するには、まず磁気ヘッドスライダ１となるべきスライダ形成部５が形成されたウエハ６を、ウエハ工程で製作する。図２はこのようなウエハ６の平面図であり、Ａｌ₂Ｏ₃−ＴｉＣからなる基板２の上に、各々が上述のＭＲ素子３と記録素子４とを備えたスライダ形成部５が複数個形成されている。スライダ形成部５の各列は、スライダ形成部５が一列に配列したローバー７を構成している。ローバー７同士の間には切り代（図示せず）が設けられている。

このようなウエハ６を上記の切り代に沿って切断し、ブロック８に分離する。ブロック８は、縦横に各々複数個配列されたスライダ形成部５を含んでいる。換言すれば、ブロック８は複数のローバー７を含んでおり、各ローバー７は一列に配列したスライダ形成部５を含んでいる。ブロック８に含まれるローバー７の数は図２の例では８個であるが、最低２つ、望ましくは３つ以上である。

図３は、図２に太線で示す範囲を切り出して作成されたブロック８の斜視図であり、特に個々のローバー７の構成を示している。同図（ａ）はウエハ工程における積層方向上側を上面としたブロック８の斜視図である。同図（ｂ）は媒体対向面側を上面としたブロック８の斜視図であり、図３（ａ）のブロック８を矢印に示す方向に立て起こしたときの状態を示している。ローバー７の構成はいずれのローバー７についても同一である。同図（ａ）では、一番手前のローバー７の外面Ｓ１と一番奥のローバー７の外面Ｓ２がウエハ６からブロック８を切り出す際の切断面となっており、同図（ｂ）では、一番上のローバー７の外面Ｓ２と一番下のローバー７の外面Ｓ１がウエハ６からブロック８を切り出す際の切断面となっている。

ローバー７のスライダ形成部５同士の間には切り代９が設けられており、一部の切り代９には抵抗体１０が形成されている。この抵抗体１０は、ＲＬＧ(Resistance Lapping Guide)またはＥＬＧ(Electric Lapping Guide)と呼ばれる。抵抗体１０は、予めウエハ工程で作成され、抵抗体１０に接続された配線（図示せず）によってローバー７上のパッドと接続されている。パッドを介して抵抗体１０に電圧を印加することによって、抵抗体１０の電気抵抗値を検出することができる。抵抗体１０の電気抵抗値はローバー７の研削及びラッピングに伴い変化する。抵抗体１０の電気抵抗値と抵抗体１０のハイトとの関係は予め求められている。このため、抵抗体１０の電気抵抗値を知れば、抵抗体１０のハイトが分かり、これによって研削及びラッピング中のＭＲハイトを推定することができる。

抵抗体１０は必ずしもすべての切り代９に設ける必要はないが、ローバー７の長手方向に沿った複数個所に設けられている。これによって、ローバー７の長手方向におけるＭＲハイトの分布を推定することができる。後述するように、ブロック８内のローバー７は順次研削とラッピングを受けるが、面Ｓ２を有するローバー７が最初に研削とラッピングを受ける第１のローバー７ａとなる。

以降のステップを行う前に、ブロック８をジグ１１に保持させる。図４はジグ１１に保持されたブロック８を示している。第１のローバー７ａがブロック８の先端部に位置しており、媒体対向面側、すなわち研削及びラッピングを受ける面（切断面）Ｓ２が外側を向いている。各ローバー（第１〜第７のローバー７ａ〜７ｇ）はジグ１１に保持されたまま、研削され、ラッピングされる。第１〜第７のローバー７ａ〜７ｇは研削された後ラッピングされ、その後ブロック８から切断される。第８のローバー７ｈは最終ローバー専用のジグに保持されて研削されることが望ましい。なお、各ローバー上にある丸印は記録素子のコイル１３を表わしている。本来は各ローバー上には電極パッドが見えるが、説明の便宜上、内部のコイル１３を示している。

（ステップ２：第１の研削ステップ）
ブロック８をジグ１１で保持した状態で、第１のローバー７ａの切断面Ｓ２を研削して第１の研削面１２を形成する。研削は、ラッピングに先立ちローバーを媒体対向面の近傍まで削る工程であり、媒体対向面側のスライダの形状を粗く形成する。図５に示すように、切断面Ｓ２から媒体対向面となるべき面Ｓまでの部分の大半は研削で除去され、その後に行われるラッピング及びファインラッピングで媒体対向面となるべき面Ｓまで研磨され、ＭＲハイトが正確に形成される。ここで、媒体対向面はラッピングが終わった時点で初めて形成される面であることから、以降の説明では、符号Ｓで示される面を、「媒体対向面となるべき面」と呼ぶ。なお、第１の研削ステップ以降のステップにおいて、ブロック８はジグ１１から取り外されることなく、ジグ１１によって保持された状態を維持し続ける。

図４に示すように、各ローバー７の両端には、基準マーカー（光学マーカー）１４が形成されている。基準マーカー１４は、各スライダ形成部５に設けてもよい。基準マーカー１４はウエハ工程であらかじめ作成され、どのローバー７のどの基準マーカー１４も、媒体対向面となるべき面Ｓまたはこれと平行な面のいずれかである仮想面Ｓ’に対して同一の位置関係にある。本実施形態では、媒体対向面となるべき面Ｓと平行で、かつ各スライダ形成部のＭＲハイトが０となる位置を通る面を仮想面Ｓ’としている。基準マーカー１４は仮想面Ｓ’の位置を示す目印であり、必ずしも仮想面Ｓ’の位置と一致している必要はない。研削ステップにおいて、基準マーカー１４を目印とすることで、仮想面Ｓ’と研削面との位置関係（距離）を知ることができる。基準マーカー１４の形状は特に限定されず、矩形、十字形など任意の形状をとることができる。

図６は研削の方法を示す概略図である。矢印の方向に回転する砥石１５を第１のローバー７ａの切断面Ｓ２に当接させ、ブロック８を長手方向Ｌに動かして、切断面Ｓ２を長手方向Ｌに研削する。砥石１５は円筒状の形状を有しており、その端面が、切断面Ｓ２に当接する研削面１５ａとなっている。

図７は研削される第１のローバー７ａを示す概念図である。図７に示す例では、ウエハ６はローバー７の長辺に対して斜めに切断されており、研削で除去すべき部分１８は三角形断面となっている。第１のローバー７ａの両端付近に設けられた２つの基準マーカー１４の位置をカメラなどの光学的手段によって監視しながら、２つの基準マーカー１４を結んだ線１９と砥石１５の研削面１５ａとが平行になるように、ブロック８を砥石１５の研削面１５ａに当接させる。この結果、ブロック８の切断面Ｓ２は、砥石１５の研削面１５ａに対して斜めに当接させられる。基準マーカー１４と研削されつつある面との距離を監視しながら研削を続け、両端の基準マーカー１４からの距離が研削されつつある面に対して一定の値（第１の基準距離Ｐ１）に達したときに研削を終了する。これによって、砥石１５の研削面１５ａに対して平行でかつ平坦な第１の研削面１２が形成される。

（ステップ３）
抵抗体１０の電気抵抗値から、仮想面Ｓ’と第１の研削面１２との距離の分布を求める。この分布は、第１のローバー７ａの長手方向に沿ったＭＲハイトの分布として求めることができる。このステップは第１の研削ステップと第２の研削ステップとの間で行う。第１の研削面をラッピングする前に行ってよいし、第１の研削面を軽くラッピングしてから行ってもよい。図８は、ＭＲ素子の位置で見たローバーの模式的断面図で、第１の研削面１２と仮想面Ｓ’との関係を模式的に示している。仮想面Ｓ’の分布は仮想線Ｘ、すなわちＭＲハイトの分布として示されている。同図（ａ）に示すように、仮想線Ｘは理想的には、第１の研削面１２と平行になる。しかし、ブロック８のジグへの取付け条件等により、実際には、仮想線Ｘにミクロンオーダーの傾斜ないしは凹凸が生じることがある。同図（ｂ）は第１のローバー７ａの中央部が過度に研削され、仮想線Ｘが第１のローバー７ａの外方を向いて湾曲している例を、同図（ｃ）は第１のローバー７ａの中央部での研削量が不足し、仮想線Ｘが第１のローバー７ａの内方を向いて湾曲している例を示している。

ラッピング工程では個々のスライダ形成部５の研磨量を調整することができる。このため、仮想面Ｓ’がそれほど大きな凹凸を有していない限り、凹凸は修正され、ローバーは全てのスライダ形成部５が所定のＭＲハイトを持つようにラッピングされる。しかし、仮想面Ｓ’が比較的平坦に形成された場合、凹凸の修正に要する研磨量は少なくてよいため、ラッピング工程における研磨代を減らすことができるはずである。

ところで、ブロック８は一旦ジグ１１に保持されると、当該ブロック８の、少なくとも最後から２番目のローバーの研削及びラッピングが終了するまで、ジグ１１に保持された状態を維持する。仮想面Ｓ’の不規則な凹凸形状はブロック８をジグ１１に装着する際の様々な取付け条件に依存していると考えられる。しかし、ブロック８をジグ１１に保持したままであれば、この取付け条件は不変であるから、他のローバー７ｂ〜７ｇにおいても、第１のローバー７ａで得られた仮想面Ｓ’とほぼ同様の形状が再現される可能性が高い。例えば、仮想面Ｓ’が図８（ａ）に示す形状であれば、第２〜第７のローバー７ｂ〜７ｇでも図８（ａ）と同様の仮想面Ｓ’形状が得られることが期待できる。そこで、第１のローバー７ａで得られた仮想面Ｓ’が比較的平坦であれば、第２のローバー７以降のローバー７ｂ〜７ｇについては研削量を増やし、研磨量を低減することが可能となる。具体的には、（１）仮想面Ｓ’と第１の研削面１２との間の距離の最小値Ｂが所定の値より大きい場合、または（２）仮想面Ｓ’と第１の研削面１２との間の距離の分布を示す仮想線Ｘが実質的に水平である場合に、ローバー７ｂ〜７ｇの研削量を増やすことが可能となる。このような判定ステップを設けることによって、第２のローバー以降のローバー７ｂ〜７ｇについて、研削量の増加が可能であるかどうかを知ることができる。

（ステップ４：第１のローバー７ａをブロック８から切り出すステップ）
ブロック８を引き続きジグ１１で保持しながら、第１の研削面１２をラッピングして、媒体対向面Ｓを形成する。ラッピングは従来から行われてきた方法をそのまま適用することができる。一例では、ラップ定盤を回転させながら、ダイヤモンド研磨剤のスラリーをラップ定盤に供給し、第１のローバー７ａをラップ定盤に押し付ける。そして、抵抗体１０の電気抵抗値を監視しながら所定のＭＲハイトが得られるまでラッピングを行う。その後さらに、ファインラッピングを行う。その後、第１のローバー７ａをブロック８から切り出す。そして、第１のローバー７ａから切り代９に沿って各スライダ形成部を切り出し、洗浄、検査等の工程を経て、磁気ヘッドスライダ１が完成する。なお、前述のように、本ステップの初期段階でＭＲハイトを測定してもよい。この段階ではラッピングがほとんど進んでいないので、測定された仮想面Ｓ’の形状は、ほぼ研削直後の状態を反映している。

（ステップ５：第２の研削ステップ）
引き続き、ブロック８をジグ１１で保持したまま、第２のローバー７ｂの研削を行う。第２のローバー７ｂは、第１のローバー７ａをブロック８から切り出す際に生じた切断面Ｓ３（図４参照。）を媒体対向面となるべき面Ｓの側に有している。この切断面Ｓ３を研削することによって、第２の研削面が形成される。

第２の研削ステップでは、第２のローバー７ｂに設けられた２つの基準マーカー１４から第２の研削面までの距離が各々第２の基準距離Ｐ２となるまで第２のローバー７ｂを研削する。この際、仮想面Ｓ’と第１の研削面１２との間の距離の最小値Ｂが所定の値より大きい場合に、第２の基準距離Ｐ２は第１の基準距離Ｐ１より小さい値に設定することができる。分布を示す仮想線Ｘが実質的に水平である場合にも、第２の基準距離Ｐ２は第１の基準距離Ｐ１より小さい値に設定することができる。すなわち、第２のローバー７ｂの研削量を第１のローバー７ａの研削量よりも大きく設定することができる。仮想線Ｘが第１のローバー７ａの内方を向いて湾曲している場合（図８（ｃ））にも同様の処理が可能である。仮想線Ｘが第１のローバー７ａの外方を向いて湾曲し（図８（ｂ））、かつ仮想線Ｘの両端を結んだ線Ｘ’と仮想線Ｘとの最大離隔距離Ｃが所定の値より小さい場合にも、第２の基準距離Ｐ２を第１の基準距離Ｐ１より小さい値に設定することができる。

研削は第１のローバー７ａと同様にして行われる。第２のローバー７ｂの切断面Ｓ３は、２つの基準マーカー１４と研削されつつある面との距離が第２の基準距離Ｐ２となるまで研削され、第２の研削面が形成される。

（ステップ６：第２のローバー７ｂをブロック８から切り出すステップ）
ブロック８を引き続きジグ１１で保持しながら、第２の研削面をラッピングして媒体対向面Ｓを形成し、第２のローバー７ｂをブロック８から切り出す。ラッピングは第１のローバー７ａと同様に行うことができる。第２のローバー７ｂは第１のローバー７ａよりも深い位置まで研削されているため、ラッピングにおける研磨量が低減される。さらに、第３のローバー７ｃ以降についても、同様の工程を繰り返す。なお、最後のローバー７ｈ（第８のローバー７ｈ）の研削及びラッピングには専用のホルダを使うことが好ましい。この場合、第８のローバー７についてはジグからホルダに移し替えるために、参照すべき基準距離が存在しない。このため、第１の基準距離Ｐ１を用いることが望ましい。このように最後のローバー７で別の処理を行う場合、ローバー７の数が３個以上ないと、本願発明の効果が得られない。しかし、最後のローバー７についてもジグ１１で保持しながら研削を行う場合は、ローバー７が２個あれば本願発明の効果が得られる。

仮想面Ｓ’と第１の研削面１２との間の距離の最小値Ｂが所定の値より小さい場合には、第２のローバー７ｂの研削量を減らすこともできる。仮想面Ｓ’が大きな凹凸を持つ場合には、ラッピング工程でＭＲハイトのばらつきを完全に補正しきれずに、歩留まりの低下につながる可能性があるためである。この場合は、第２のローバー７ｂの基準マーカー１４と研削されつつある面との距離が第１の基準距離Ｐ１より大きい段階で、第２のローバー７ｂの研削を停止することが望ましい。また、距離の最小値Ｂの大きさによっては、第２のローバー７ｂの研削に第１の基準距離Ｐ１をそのまま適用してもよい。

上記の説明では、第１のローバー７ａを基準ローバーとして用い、その結果を第２のローバー７ｂにフィードバックさせる態様を示した。しかし、基準ローバーと、基準ローバーの仮想面形状に基づき研削量が調整されるローバーと、の関係はこれに限定されない。基準ローバーと研削量が調整されるローバーは、同一ブロックに属するローバーであって、研削が行われる順序が先後の関係にある任意のローバーの組み合わせとすることができる。例えば、第１のローバー７ａを基準ローバーとして用いて、第２のローバー７ｂ以降の任意のローバーの研削量を第１のローバー７ａの研削結果に基づき調整することができる。あるいは、直前に研削されたローバーを基準ローバーとして用いて、その直後に研削されるローバーの研削量を調整してもよい。例えば、第１のローバー７ａを基準ローバーとして用いて、第２のローバー７ｂの研削量を第１のローバー７ａの仮想面形状に基づき調整し、次に第２のローバー７ｂを基準ローバーとして用いて、第３のローバー７ｃの研削量を第２のローバー７ｂの仮想面形状に基づき調整することも可能である。

次に、実施例について説明する。図８に示す３ケースについて、第１のローバー７ａのＭＲハイトの分布を測定し、それに基づき、第２のローバー７ｂの研削量を設定した。横軸をローバーの長手軸、縦軸をＭＲハイトとして描いた線を上述の仮想線とした。各ケースでは、第１のローバー７ａの研削面と基準マーカー１４との離隔距離の目標値を１８μｍとして研削を行った。これは、ＭＲハイトに換算すると５μｍである。また、ラッピング工程ではＭＲハイトが１μｍとなるまで研磨した。

図８（ａ）に示す、ＭＲハイトが比較的均一に分布しているケースでは、ＭＲハイトはローバー７の長手方向Ｌに渡り５μｍであった。仮想線の両端を直線で結び、仮想線上の各点とその直線との離隔距離を比較し、その最大値（図８（ｂ）のＣ）を求めたところ、ほぼ０であった。そこで、研削面と基準マーカー１４との離隔距離の目標値１８μｍから、補正値として１μｍを減じ、新たな目標値を１７μｍとして研削を行った。これは、目標ＭＲハイトに換算すると４μｍである。

図８（ｂ）は、ローバーの長手方向中央部が研削面側に膨らんだ仮想線が得られたケースであり、最大値Ｃは０．６μｍであった。また、仮想線の両端を結んだ直線は研削面と概ね平行であった。仮想線が研削面側に膨らんでおり、ローバー７の中央部の研磨代が不足気味であることから、次ローバーのグラインディング目標値は変えずに１８ミクロンとした。

図８（ｃ）は、ローバーの長手方向中央部がローバーの内方に引きこんだ仮想線が得られたケースであり、最大値Ｃは０．６μｍであった。本ケースでは目標値を１８μｍとして研削を行った。

このようにして個々のローバーの研削量を調整した実施例と、研削量の調整をしない（一定値とした）比較例についてラッピングに要した時間を求めた。試験は、実施例、比較例とも、ローバー１５０００本を対象として実施した。ラッピングに要した時間は、実施例では平均８．４８分、比較例では平均９．３分であり、０．８２分の時間短縮を図ることができた。これは比較的平坦な仮想面が得られたブロックについて研削量を増やした効果であると考えられる。なお、ＭＲハイトの標準偏差は、実施例では４．８６ｎｍ、比較例では５．１７ｎｍであり、ラッピングに要した時間が減少したにもかかわらず、歩留まりへの影響は生じなかった。

１磁気ヘッドスライダ
３ＭＲ素子
４記録素子
５スライダ形成部
６ウエハ
７ローバー
７ａ〜７ｈ第１〜第８のローバー
８ブロック
１０抵抗体
１１ジグ
１２第１の研削面
１４基準マーカー
Ｓ媒体対向面、媒体対向面となるべき面
Ｓ’ 仮想面
Ｓ２切断面
Ｐ１〜Ｐ２第１〜第２の基準距離

Claims

磁気ヘッドスライダとなるべきスライダ形成部が一列に配列した第１及び第２のローバーを含むブロックであって、前記第１及び第２のローバーが各々、その長手方向に沿って、研削及びラッピングによって電気抵抗値が変化する抵抗体を複数個備え、かつ前記第１及び第２のローバーが各々、媒体対向面となるべき面またはこれと平行な面のいずれかである仮想面に対して互いに同一の位置関係にある２つの基準マーカーを備えるブロックを準備することと、
ジグで前記ブロックを保持したまま、媒体対向面側の面が露出した第１のローバーを研削して第１の研削面を形成する第１の研削ステップと、前記第１の研削面をラッピングして媒体対向面を形成し、該第１のローバーを前記ブロックから切り出すステップと、前記第１のローバーが前記ブロックから切り出された後に、媒体対向面側の面が露出した第２のローバーを研削して第２の研削面を形成する第２の研削ステップと、前記第２の研削面をラッピングして媒体対向面を形成するステップとを行うことと、
を含み、
前記第１の研削ステップは、該第１のローバーに設けられた２つの前記基準マーカーから前記第１の研削面までの距離が各々第１の基準距離となるまで第１のローバーを研削することを含み、
前記第２の研削ステップは、該第２のローバーに設けられた２つの前記基準マーカーから前記第２の研削面までの距離が各々第２の基準距離となるまで第２のローバーを研削することを含み、
前記第１の研削ステップと前記第２の研削ステップとの間に、前記抵抗体の電気抵抗値から、前記第１のローバーの前記長手方向に沿った、前記仮想面と前記第１の研削面との間の距離の分布を求めるステップを有し、
前記第１のローバーの前記長手方向に沿って分布する前記仮想面と前記第１の研削面との間の距離の最小値が所定の値より大きい場合に、前記第２の基準距離は前記第１の基準距離より小さい値に設定される、磁気ヘッドスライダの製造方法。
磁気ヘッドスライダとなるべきスライダ形成部が一列に配列した第１及び第２のローバーを含むブロックであって、該第１及び第２のローバーが各々、その長手方向に沿って、研削及びラッピングによって電気抵抗値が変化する抵抗体を複数個備え、かつ媒体対向面となるべき面またはこれと平行な面のいずれかである仮想面に対して互いに同一の位置関係にある２つの基準マーカーを有するブロックを準備することと、
ジグで前記ブロックを保持したまま、媒体対向面側の面が露出した第１のローバーを研削して第１の研削面を形成する第１の研削ステップと、前記第１の研削面をラッピングして媒体対向面を形成し、該第１のローバーを前記ブロックから切り出すステップと、前記第１のローバーが前記ブロックから切り出された後に、媒体対向面側の面が露出した第２のローバーを研削して第２の研削面を形成する第２の研削ステップと、前記第２の研削面をラッピングして媒体対向面を形成するステップとを行うことと、
を含み、
前記第１の研削ステップは、該第１のローバーに設けられた２つの前記基準マーカーから前記第１の研削面までの距離が各々第１の基準距離となるまで第１のローバーを研削することを含み、
前記第２の研削ステップは、該第２のローバーに設けられた２つの前記基準マーカーから前記第２の研削面までの距離が各々第２の基準距離となるまで第２のローバーを研削することを含み、
前記第１の研削ステップと前記第２の研削ステップとの間に、前記抵抗体の電気抵抗値から、前記第１のローバーの前記長手方向に沿った前記仮想面と前記第１の研削面との距離の分布を求めるステップを有し、
前記分布を示す仮想線が実質的に水平である場合に、前記第２の基準距離は前記第１の基準距離より小さい値に設定される、磁気ヘッドスライダの製造方法。
前記仮想線が前記第１のローバーの内側を向いて湾曲している場合、または、前記第１のローバーの外側を向いて湾曲しかつ前記仮想線の両端を結んだ線と前記仮想線との最大離隔距離が所定の値より小さい場合にも、前記第２の基準距離は前記第１の基準距離より小さい値に設定される、請求項２に記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。