JP5532850B2 - 半導体ウェーハの形状測定方法およびそれに用いる形状測定装置 - Google Patents
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Description
前記形状測定装置は、前記第1揺動機構の揺動軸と前記第2揺動機構の揺動軸との所定の距離が一定であるとともに、前記距離測定手段が単一であり、前記半導体ウェーハの表面と前記第2揺動機構の揺動軸を平行にし、かつ、前記半導体ウェーハを前記第2揺動機構の揺動軸が貫通するようにして、前記半導体ウェーハの端部を測定領域に配置する第1ステップと、前記第1ステップの後で、前記第2揺動機構の所定角度ごとにおいて、前記距離測定手段の発光部が発する光を前記半導体ウェーハの端部に反射させ、受光部で受光量を測定し、受光量が最大となる前記第1揺動機構の角度を求め、当該角度における前記距離測定手段により測定した距離と、前記第1揺動機構の当該角度および前記第2揺動機構の所定角度から座標変換により輪郭点を算出することにより、前記半導体ウェーハの端部の輪郭形状を示す点郡データを得る第2ステップと、前記点郡データから求められる輪郭形状を画像解析することにより、前記半導体ウェーハの端部の寸法を測定する第3ステップとを含み、前記所定角度を、前記第2揺動機構の測定を開始する角度から測定を終了する角度までを一定角度ごととすることを特徴とする半導体ウェーハの形状測定方法。
本発明の形状測定方法は、発光部が発する光を半導体ウェーハの端部で反射させ、受光部で検出することにより半導体ウェーハの端部との距離を測定する距離測定手段と、距離測定手段を一定の角度範囲で揺動可能に支持する第1揺動機構と、第1揺動機構の揺動軸と平行かつ所定の距離を設けた位置に揺動軸を有し、第1揺動機構を一定の角度範囲で揺動可能に支持する第2揺動機構とを備える形状測定装置を用いて半導体ウェーハの端部形状を測定する方法である。
図5は、本発明の半導体ウェーハの形状測定装置の構成例を説明する図であり、(a)は上面図、(b)は正面図、(c)は側面図である。同図に示す形状測定装置1は、測定対象物との距離を測定する距離測定センサー2と、距離測定センサー2を装着する固定台5と、固定台5に装着された距離測定センサー2を一定の角度範囲で揺動可能に支持するクランクアーム7と、クランクアーム7を一定の角度範囲で揺動可能に支持する架台9と、固定台5の揺動を駆動するセンサー用モーター6と、クランクアーム7の揺動を駆動するクランク用モーター8とから構成されている。
図7は、本発明の形状測定方法における座標変換による輪郭点の算出要領を説明する図である。同図は、第1揺動機構の揺動軸3aと、第2揺動機構の揺動軸4aと、ウェーハ端部における点であって受光量が最大となる輪郭点Xを示す。第1揺動機構の揺動軸3aと第2揺動機構の揺動軸4aとの軸間距離lは、装置仕様により決定される定数であり、第1揺動機構の揺動軸と輪郭点Xとの測定距離dは、距離測定手段により測定された距離である。同図に示す通り、第1揺動機構の揺動角度をθ1とし、第2揺動機構の揺動角度をθ2とする。
上記条件により算出された輪郭点の分布を確認し、輪郭形状を正確に得ることができるか確認した。輪郭点の分布の確認は、ウェーハ厚さの中心面上に第2揺動機構の揺動軸を配置した場合と、ウェーハ厚さの中心と第2揺動機構の揺動軸との間に距離を設けて配置した場合とについて行った。
3:第1揺動機構、 3a:第1揺動機構の揺動軸、 4:第2揺動機構、
4a:第2揺動機構の揺動軸、 5:固定台、 5a:固定台の揺動軸、
6:センサー用モーター、 7:クランクアーム、 7a:クランクアームの揺動軸、
8:クランク用モーター、 9:架台、 10:ガイド、 12:半導体ウェーハ、
12a:ウェーハ厚さ中心、 12b:ウェーハ表面、 12c:ウェーハ外周面、
12d:ラウンド部、 13:ローラー、 14:ローラー固定部、
15:ローラー用モーター、 16:照射部、 17:投影部、
A:距離ベクトル、 B:軸間ベクトル、 d:測定距離、 e:測定領域、
l:軸間距離、 m:線分、n:第2揺動機構の揺動軌道、 X:輪郭点、
α:入射角、 θ1:第1揺動機構の揺動角度、 θ2:第2揺動機構の揺動角度
Claims (2)
- 発光部が発する光を半導体ウェーハの端部で反射させ、受光部で検出することにより前記半導体ウェーハの端部との距離を測定する距離測定手段と、
前記距離測定手段を一定の角度範囲で揺動可能に支持する第1揺動機構と、
前記第1揺動機構の揺動軸と平行かつ所定の距離を設けた位置に揺動軸を有し、前記第1揺動機構を一定の角度範囲で揺動可能に支持する第2揺動機構とを備える形状測定装置を用いて半導体ウェーハの端部形状を測定する方法であって、
前記形状測定装置は、前記第1揺動機構の揺動軸と前記第2揺動機構の揺動軸との所定の距離が一定であるとともに、前記距離測定手段が単一であり、
前記半導体ウェーハの表面と前記第2揺動機構の揺動軸を平行にし、かつ、前記半導体ウェーハを前記第2揺動機構の揺動軸が貫通するようにして、前記半導体ウェーハの端部を測定領域に配置する第1ステップと、
前記第1ステップの後で、前記第2揺動機構の所定角度ごとにおいて、
前記距離測定手段の発光部が発する光を前記半導体ウェーハの端部に反射させ、受光部で受光量を測定し、受光量が最大となる前記第1揺動機構の角度を求め、当該角度における前記距離測定手段により測定した距離と、前記第1揺動機構の当該角度および前記第2揺動機構の所定角度から座標変換により輪郭点を算出することにより、
前記半導体ウェーハの端部の輪郭形状を示す点郡データを得る第2ステップと、
前記点郡データから求められる輪郭形状を画像解析することにより、前記半導体ウェーハの端部の寸法を測定する第3ステップとを含み、
前記所定角度を、前記第2揺動機構の測定を開始する角度から測定を終了する角度までを一定角度ごととすることを特徴とする半導体ウェーハの形状測定方法。 - 請求項1に記載の半導体ウェーハの形状測定方法に用いる半導体ウェーハの端部形状を測定する装置であって、
発光部が発する光を前記半導体ウェーハの端部で反射させ、受光部で検出することにより前記半導体ウェーハの端部との距離を測定する距離測定手段と、
前記距離測定手段を一定の角度範囲で揺動可能に支持する第1揺動機構と、
前記第1揺動機構の揺動軸と平行かつ所定の距離を設けた位置に揺動軸を有し、前記第1揺動機構を一定の角度範囲で揺動可能に支持する第2揺動機構と、
前記半導体ウェーハの表面と前記第2揺動機構の揺動軸を平行にし、かつ、前記半導体ウェーハを前記第2揺動機構の揺動軸が貫通するようにして、前記半導体ウェーハの端部を測定領域に配置した状態で支持するガイドと、
前記距離測定手段、前記第1揺動機構および前記第2揺動機構を動作させる制御手段と、
前記距離測定手段により測定された距離および前記第1揺動機構ならびに前記第2揺動機構の角度から座標変換により輪郭点を算出する座標変換手段と、
得られる点郡データが示す輪郭形状を画像解析することにより、前記半導体ウェーハの端部の寸法を演算する画像解析手段とを備え、
前記形状測定装置は、前記第1揺動機構の揺動軸と前記第2揺動機構の揺動軸との所定の距離が一定であるとともに、前記距離測定手段が単一であり、
前記ガイドは、前記半導体ウェーハを周方向に回転可能に支持することを特徴とする半導体ウェーハの形状測定装置。
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