JP5522183B2 - 光照射装置 - Google Patents

Description

本発明は、太陽電池モジュールに試験用光を照射する寿命加速試験用の光照射装置に関する。

紫外線照射は、被照射物（以下、ワークともいう。）の表面改質、露光、成形、硬化、接着および洗浄などの光照射処理プロセスや、光照射試験等の様々な分野で使用されており、例えば太陽電池モジュールの寿命加速試験にも用いられている。

図１は太陽電池モジュールの構造を模式的に示す説明用断面図である。太陽電池モジュールは、太陽電池セル１０の表面上に例えばＳｉＮ膜などからなる反射防止膜１１が形成され、当該反射防止膜１１上および太陽電池セル１０の裏面上に電極１３Ａ，１３Ｂがそれぞれ印刷によって形成されたものの複数が、同一平面上に並べられ、これらがワイヤからなるインターコネクター材１２によって直列に配線された状態において、エチレン酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）やポリビニルブチラール（ＰＶＢ）、シリコーン樹脂などの透光性の封止材によりパネル１４内に密閉されてなるものである。パネル１４は、封止材によって形成された封止部１５の受光面側（太陽電池セル１０の表面側）に設けられた、外部からの応力や水蒸気の影響からの保護のための光透過性の高いガラスなどよりなる透光板１６と、当該透光板１６に対向するよう、封止部１５の背面側（太陽電池セル１０の裏面側）に設けられた、ポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）やポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン（ＰＥ）などよりなる、バックシートと呼ばれる水蒸気バリア性を持つ保護シート１７Ａ，１７Ｂとよりなり、さらに、これらの透光板１６および保護シート１７Ａ，１７Ｂの周囲（封止部１５の側面側）は、シール材１８を介してアルミニウム製のフレーム１９によって固定されている。

現在、太陽電池市場においては、太陽電池モジュールの長寿命化が要請されている。太陽電池モジュールの寿命には、例えば、Ｐ型半導体、Ｎ型半導体、電極からなる太陽電池セル１０をパネル１４内に封止する封止部１５を形成する封止材や、太陽電池セル１０や封止部１５を保護する保護シート１７Ａ，１７Ｂ等の有機材料の紫外線照射による劣化が影響を及ぼすことが知られており、このような劣化についての対策として、例えば、特許文献１や特許文献２には、太陽光（紫外線）に関する耐候性が良好な材料が提案されている。

一方、近年、太陽電池モジュールの寿命試験に要する時間の短縮化を実現するため、太陽電池モジュールの寿命加速試験方法の検討が進められている。具体的には、ワーク（太陽電池モジュール）の表面上の紫外線照度が、太陽光が照射される場合の紫外線照度より大きくなるよう、ワークの表面に紫外線を照射することが検討されており、このような要請に対応した、より高い照度でワークの光照射面に紫外線を照射することが可能な光照射装置が望まれている。

しかしながら、寿命加速試験に要する時間の短縮化を促進した場合、実使用環境においては発生しない類の故障事象が発生する、つまりは破壊試験となってしまうことが懸念される。従って、より実使用環境に近い条件で加速させることできる寿命加速試験方法や光照射装置が望まれている。

寿命加速試験方法としては、擬似太陽光源を用いた方法があり、自然太陽光の複数倍の照度を持つ紫外線をワークの表面に照射する方法が一般的である。

また、以前は太陽電池モジュールを構成する材料個々についての光照射試験がなされていたが、太陽電池セルや他の材料の組み合わせによって寿命特性が変化する可能性があるため、実際に使用される状態、すなわち太陽電池モジュールの形態において行われる寿命試験が重要視されるようになりつつある。

太陽電池モジュールの形態において寿命試験が行われることが主流になる中、紫外線による劣化の影響を受けやすい封止部１５や保護シート１７Ａ，１７Ｂに関しても、太陽電池モジュールの表面からの紫外線照度を破壊試験にならない程度に大きくすることによって、透光板１６からの透過光や太陽電池セル１０間の漏れ光を利用し、より加速度を高める試験方法や装置の開発がなされてきた。

特開２０１１−１８８７２号公報 特開２０１１−２２８３８２号公報

昨今、様々な分野および場所で太陽電池の普及が拡大している。例えば従来においては個別住宅の屋根に太陽電池モジュールを設置する使用方法が主流であったが、その後、マンションの屋上や遊休中の土地、さらにはメガソーラー発電所での使用に発展している。

個別住宅の屋根以外のような環境で使用される場合、より発電の効率を高めるため、太陽の照射角度に合わせた架台の上に太陽電池モジュールを設置している。またこの際、地面からの湿気の影響を低減させるために、地面より１ｍ程度高い位置に太陽電池モジュールを設置することができる架台を使用することが一般的である。また、メガソーラー発電所などにおいては、太陽光を効率的に受光するための太陽追尾装置が搭載された架台を使用することもある。

このように、太陽電池モジュールがある程度の高さを有する架台の上に設置された場合、最初から傾斜を有する個別住宅の屋根に設置する場合とは異なり、地表（架台の設置面）によって反射・散乱された太陽光が太陽電池モジュールの背面の保護シートに照射される。

地表（架台の設置面）からの反射光は、太陽からの直接光に比較して照度が小さいものではあるが、一般的に太陽からの直接光に対し、草地では３〜４％、コンクリートでは１０％、砂地では１５％、雪面にいたっては８０〜９０％の反射率を持つことが知られており、保護シートの劣化に強く影響を与えることが分かった。

すなわち、太陽電池モジュールの設置形態によっては、地表（架台の設置面）によって反射・散乱される太陽光が太陽電池モジュールの裏面側から当該太陽電池モジュールに照射され、この太陽電池モジュールの裏面側から照射される太陽光が当該太陽電池モジュールを構成する保護シートへ及ぼす影響も考慮する必要があることが判明した。

しかしながら、従来の紫外線を照射する寿命加速試験に用いる光照射装置は、試験用光を太陽電池モジュールの表面側から当該太陽電池モジュールに照射するものであり、地表（架台の設置面）により反射・散乱されて太陽電池モジュールの裏面側から当該太陽電池モジュールに照射される太陽光の影響が考慮された構成のものではなかった。

本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、擬似太陽光源を使用した太陽電池モジュールの寿命加速試験において、実使用に近い環境を再現することができ、従って加速度が高められる寿命加速試験用の光照射装置を提供することにある。

本発明の光照射装置は、光照射ユニットから放出される光を太陽電池モジュールの表面に照射する光照射装置において、
前記太陽電池モジュールの裏面を含む仮想平面より裏面側に、前記光照射ユニットよりの光を当該太陽電池モジュールの裏面に向けて反射する反射手段が設けられていると共に、 前記太陽電池モジュールの裏面に光を照射する補助光照射ユニットが設けられていることを特徴とする。

本発明の光照射装置においては、前記太陽電池モジュールの裏面に照射される光の強度を調整する調光手段が設けられていることが好ましい。

また、本発明の光照射装置においては、前記補助光照射ユニットから放出される光の強度を調整する補助光用調光手段が設けられていることが好ましい。

本発明の光照射装置によれば、太陽電池モジュールの裏面を含む仮想平面より裏面側に、光照射ユニットよりの光を当該太陽電池モジュールの裏面に向けて反射する反射手段が設けられているので、当該太陽電池モジュールの表面および裏面の両面に試験用光を照射することができる。従って、擬似太陽光源を使用した太陽電池モジュールの寿命加速試験において、実使用に近い環境を再現することができ、その結果、加速度が高められた寿命加速試験を実施することができる。

また、太陽電池モジュールの裏面に光を照射する補助光照射ユニットが設けられた構成の光照射装置によれば、太陽電池モジュールの表面および裏面の照度をそれぞれ調整することができるので、より実使用に近い環境を再現することができ、従って、より加速度が高められた寿命加速試験を実施することができる。

太陽電池モジュールの構造を模式的に示す説明用断面図である。 本発明の光照射装置の一例における構成の概略を示す説明用断面図である。 図２−ＡのＸ−Ｘ線断面図である。 ワークホルダの構造の一例を示す説明用斜視図である。 図２−Ａの光照射装置におけるワークホルダの固定状態を示す説明用断面図である。 ワークホルダのサポーターの構造を示す説明用拡大斜視図である。 ワークホルダの支持フレームの構造を示す説明用斜視図である。 ワークホルダ上にワークが載置された状態を示す説明用斜視図である。 ワークホルダ上に載置されたワークが固定された状態を示す説明用斜視図である。 図２−Ａに示す光照射装置における光路を概略的に示す説明用断面図である。 従来の光照射装置における構成の概略を示す説明用断面図である。 図５に示す光照射装置における光路を概略的に示す説明用断面図である。 本発明の第２の実施の形態に係る光照射装置の構成の概略を示す説明用断面図である。 図７に示す光照射装置における光路を概略的に示す説明用断面図である。 本発明の第３の実施の形態に係る光照射装置の構成の概略を示す説明用断面図である。

以下、本発明について具体的に説明する。

＜第１の実施の形態＞
図２−Ａは、本発明の光照射装置の一例における構成の概略を示す説明用断面図、図２−Ｂは、図２−ＡのＸ−Ｘ線断面図である。
この光照射装置１は、光照射ユニット３０から放出される試験用光を、ワークＷである太陽電池モジュールの表面に向けて放射し、当該太陽電池モジュールの表面および裏面に照射する寿命加速試験用のものである。

光照射装置１は、具体的には、ワークＷが収容される処理室Ｒを形成する略箱型のチャンバ２０を有し、当該チャンバ２０の上面には、試験用光を処理室Ｒ内に導入するための開口２０ａが形成されており、このチャンバ２０の上方に、当該チャンバ２０の開口２０ａを塞ぐ状態に、試験用光を放射するランプ３１を有する光照射ユニット３０が配置されて構成されている。

そして、この光照射装置１においては、ワークＷの裏面を含む仮想平面Ｓより下方に、光照射ユニット３０よりの光を当該ワークＷの裏面に向けて反射する反射手段が設けられている。
具体的には、チャンバ２０が、底面が塞がれた角型漏斗状の形状を有している。詳細には、向かい合う側壁２１Ａ，２１Ｂおよび向かい合う側壁２１Ｃ，２１Ｄとからなる略矩形枠状の周壁２４と、当該側壁２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２１Ｄのそれぞれの下辺から連続して下方に向かって中央側に傾斜して伸びてワークＷの裏面に対向する傾斜壁２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄと、当該傾斜壁２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄのすべてに連続すると共に側壁２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２１Ｄと垂直となる状態に伸びる底壁２３とを有している。そして、当該チャンバ２０を構成する傾斜壁２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄが、内面が反射面とされた反射板からなるものとされており、さらに、傾斜壁２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄは、光照射ユニット３０から出射されて当該傾斜壁２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄの内面によって反射された反射光が実質的にワークＷの裏面全域を照射することができる角度に傾斜されている。すなわち、傾斜壁２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄの内面によって、反射手段が形成されている。

また、チャンバ２０を構成する側壁２１Ａ，２１Ｂおよび図示されない２つの側壁からなる周壁２４、並びに底壁２３も、その内面が反射面とされた反射板からなるものとされていることが好ましい。

チャンバ２０を構成する周壁２４、傾斜壁２２Ａ，２２Ｂおよび底壁２３のそれぞれ内面は、各々、全反射する面であってもよく、また、散乱反射する面であってもよい。

チャンバ２０内には、ワークＷを、当該ワークＷとチャンバ２０の周壁２４との間に光照射ユニット３０からの光が通過する領域が形成されると共に当該ワークＷの裏面が露出する状態に保持するためのワークホルダ２５が設けられている。
このワークホルダ２５は、保持すべきワークＷの大きさによってその大きさを調整することができる可変のものとされている。ワークホルダ２５は、具体的には、図３−Ａ〜図３−Ｆに示されるように、２本ずつ縦横に伸びてそれぞれ直交するよう格子状に配置された４本の支持フレーム２７Ａ，２７Ａ，２７Ｂ，２７Ｂと、支持フレーム２７Ａ，２７Ａ，２７Ｂ，２７Ｂによる交差箇所を立体交差状態に保持する４つのサポーター２８と、それぞれの支持フレーム２７Ａ，２７Ａ，２７Ｂ，２７Ｂの一端部および他端部が水平な一方向に移動可能に嵌合される溝部を有するレール２９Ａ，２９Ａ，２９Ｂ，２９Ｂとから構成されている。
具体的には、互いに同方向（図３−Ｂにおいて左右方向）に伸びる支持フレーム２７Ａ，２７Ａは同一の長さを有し、支持フレーム２７Ａ，２７Ａの各々の一端部および他端部が、それぞれ支持フレーム２７Ｂと同方向に伸びるレール２９Ｂ，２９Ｂに嵌合されており、同様に、互いに同方向（図３−Ｂにおいて紙面に垂直な方向）に伸びる支持フレーム２７Ｂ，２７Ｂも同一の長さを有し、支持フレーム２７Ｂ，２７Ｂの各々の一端部および他端部が、それぞれ支持フレーム２７Ａと同方向に伸びるレール２９Ａ，２９Ａに嵌合されている。
レール２９Ｂ，２９Ｂによって規制される支持フレーム２７Ａ，２７Ａの移動方向と、レール２９Ａ，２９Ａによって規制される支持フレーム２７Ｂ，２７Ｂの移動方向とは、互いに直交する状態とされている。

サポーター２８は、図３−Ｃに示されるように、支持フレーム２７Ａの断面形状と同じ形状（この例においては四角形）の断面形状を有する長孔が形成された筒からなる支持フレームＡ用筒部２８ａと、支持フレーム２７Ｂの断面形状と同じ形状（この例においては四角形）の断面形状を有する長孔が形成された筒からなる支持フレームＢ用筒部２８ｂとが、それぞれの長孔の伸びる方向が直交する状態に上下に積層されて一体化されたものである。

このワークホルダ２５は、水平な状態でそのレール２９Ａ，２９Ａ，２９Ｂ，２９Ｂがチャンバ２０の周壁２４に固定されている。

そして、このワークホルダ２５においては、４本の支持フレーム２７Ａ，２７Ａ，２７Ｂ，２７Ｂによって中央領域に形成される矩形枠２６が、ワークＷである太陽電池モジュールのフレーム１９に従った大きさとされ（図３−Ｄ参照）、当該太陽電池モジュールのフレーム１９が矩形枠２６上に載置され（図３−Ｅ参照）、さらにモジュール固定治具２６ｓによって矩形枠２６に固定される（図３−Ｆ参照）。

光照射ユニット３０は、一方（図２−Ａにおいて下方）に光放射口３２ａが開口する略直方体の箱型形状の筐体３２と、この筐体３２の内部における光放射口３２ａ側の領域において、管軸が光放射口３２ａの開口端面と平行な同一平面内に位置されると共に互いに平行に延びる状態で並列に配置された複数本の棒状のランプ３１と、各々のランプ３１に電力を供給する給電手段（図示せず）とを有するものである。本発明の光照射装置１に係る光照射ユニット３０においては、筐体３２の光放射口３２ａの開口端面が水平面とされている。
これらのランプ３１の上方には、ランプ３１の各々からの光を下方に反射する反射板が配置されていてもよい。
光照射ユニット３０におけるランプ３１の配置位置は、当該光照射ユニット３０から放出される光の照射領域が、ワークＷよりも大きくなるよう設定されている。

ランプ３１としては、太陽電池モジュールの寿命加速試験に用いられる擬似太陽光源となるものであればよく、例えば、希ガス蛍光ランプなどを用いることができる。

光照射ユニット３０におけるランプ３１の本数は、ワークＷのサイズ、ワークＷの光照射面での放射照度に応じて適宜定められる。例えば、ワーク（太陽電池モジュール）Ｗの光照射面の放射照度が３〜５Ｓｕｎ（１Ｓｕｎは１００ｍＷ／ｃｍ² ）となるようにするためには、インバータ入力４０Ｗの希ガス蛍光ランプが１０〜３３本用いられる。

この光照射装置１においてワークＷの表面および裏面に照射される光の強度比は、ワークＷの表面に対する放射照度をＡ、ワークＷの裏面に対する放射照度をＢとすると、Ｂ＝０．０３Ａ〜０．９Ａであることが好ましい。ワークＷの表面および裏面に照射される光の強度比が上記の範囲にあることによって、確実に実使用に近い環境を再現することができる。

この光照射装置１において、チャンバ２０内におけるワークＷとチャンバ２０の周壁２４との距離は例えば５０〜５００ｍｍとされる。
また、光照射ユニット３０のランプ３１からワークＷの表面への距離は例えば１００〜１０００ｍｍとされる。
また、ワークＷである太陽電池モジュールのサイズは、縦横が例えば１．２ｍ×１．５ｍとされる。

以上のような光照射装置１においては、光照射ユニット３０から放出される光は、直接、あるいは、チャンバ２０の周壁２４や傾斜壁２２Ａ，２２Ｂの内面（反射面）に反射されて、ワークＷである太陽電池モジュールの表面または裏面に照射される。
すなわち、図４に示されるように、光照射ユニット３０から放出される光は、ワークＷの表面に直接的に照射される光Ａ、周壁２４の内面に反射されてワークＷの表面に照射される光（図４においては矢印省略）、周壁２４の内面に反射されるがワークＷの表面には照射されない光Ｂ、ワークＷの表面には照射されず当該ワークＷと周壁２４との間を通過して傾斜壁２２Ａ，２２Ｂに向かう光Ｃからなる。そして、このワークＷの表面に直接的に照射されない光Ｂ，Ｃの少なくとも一部が、傾斜壁２２Ａ，２２Ｂによって反射されて（図４においてそれぞれ光Ｄ，光Ｅ）ワークＷの裏面に照射される。

なお、図５および図６に示されるように、従来の反射手段が設けられていない光照射装置４においては、光照射ユニット３０から放出される光は、直接、あるいは、チャンバ６０を構成する筐体の周壁の内面に設けられた反射板６１に反射されて、ワークＷである太陽電池モジュールの表面のみに照射される。

以上のような光照射装置１によれば、ワークＷの裏面を含む仮想平面Ｓより裏面側に、光照射ユニット３０よりの光を当該ワークＷの裏面に向けて反射する反射手段が設けられているので、当該ワークＷの表面および裏面の両面に試験用光を照射することができる。従って、擬似太陽光源を使用した太陽電池モジュールの寿命加速試験において、実使用に近い環境を再現することができ、その結果、加速度が高められた寿命加速試験を実施することができる。

以上、本発明の光照射装置の実施形態について説明したが、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。
例えば、周壁２４および傾斜壁２２Ａ，２２Ｂの内面が反射面とされておらず、その代わりに、光照射ユニット３０から放出される光を反射する反射板が別途設けられた構成とされていてもよい。

＜第２の実施の形態＞
図７は、本発明の第２の実施の形態に係る光照射装置の構成の概略を示す説明用断面図である。
本発明の第２の実施の形態に係る光照射装置２は、第１の実施の形態に係る光照射装置１において、底壁２３に補助光照射ユニット４０が設けられてなることの他は、第１の実施の形態に係る光照射装置１と同様の構成を有するものである。
具体的には、この光照射装置２は、チャンバ２０の底壁２３に開口２３ａが形成されており、このチャンバ２０の下方に、当該チャンバ２０の底壁２３の開口２３ａを塞ぐ状態に、ワークＷの裏面に向けて試験用光を放射するランプ４１を有する補助光照射ユニット４０が配置されて構成されている。

補助光照射ユニット４０は、一方（図７において上方）に光放射口４２ａが開口する略直方体の箱型形状の筐体４２と、この筐体４２の内部における光放射口４２ａ側の領域において、管軸が光放射口４２ａの開口端面と平行な同一平面内に位置されると共に互いに平行に延びる状態で並列に配置された複数本の棒状のランプ４１と、各々のランプ４１に電力を供給する給電手段（図示せず）とを有するものである。本発明の光照射装置２に係る補助光照射ユニット４０においては、筐体４２の光放射口４２ａの開口端面が水平面とされている。
これらのランプ４１の下方には、ランプ４１の各々からの光を上方に反射する反射板が配置されていてもよい。
補助光照射ユニット４０におけるランプ４１の配置位置は、当該補助光照射ユニット４０から放出される光の照射領域が、ワークＷよりも小さくなるよう設定されている。
また、当該補助光照射ユニット４０におけるランプ４１の配置位置は、当該補助光照射ユニット４０から放出される光の照射領域が、ワークＷの裏面の中央領域となるよう設定されていることが好ましい。

第１の実施の形態に係る光照射装置１においては、ワークＷの裏面における放射照度分布が、傾斜壁２２Ａ，２２Ｂによる反射光はワークＷの裏面の中央領域においてその光強度が低くなる傾向にあるために、例えばワークＷが大型の太陽電池モジュールなどである場合に顕著な不均一性を示すことがある。すなわち、以上のような光照射装置２によれば、ワークＷが大型の太陽電池モジュールであっても、ワークＷの裏面、具体的には中央領域における光量不足を補助光照射ユニット４０からの光Ｆによって補完することによって、ワークＷの裏面における試験用光の不均一性を小さく抑制することができる。

本発明の第２の実施の形態に係る光照射装置においては、上記の実施の形態に限られず、種々の変更を加えることができる。

＜第３の実施の形態＞
図９は、本発明の第３の実施の形態に係る光照射装置の構成の概略を示す説明用断面図である。
本発明の第３の実施の形態に係る光照射装置は、ワークＷの裏面に照射される光の強度を調整する調光手段が設けられてなることの他は、第２の実施の形態に係る光照射装置２と同様の構成を有するものである。
具体的には、この光照射装置３は、補助光照射ユニット４０とワークＷとの間の空間であって、補助光照射ユニット４０の近傍に当該補助光照射ユニット４０の光放射口４２ａを塞ぐ状態に補助光照射ユニット用調光手段５５が設置されると共に、補助光照射ユニット４０とワークＷとの間の空間であって、ワークＷの裏面近傍に当該ワークＷの裏面全面を覆う状態に反射光用調光手段５１が設置されて構成されている。
補助光照射ユニット用調光手段５５によれば、主として補助光照射ユニット４０から放出される光の光量を調整することができる。また、反射光用調光手段５１によれば、補助光照射ユニット４０から放出される光、および、傾斜壁２２Ａ，２２Ｂからの反射光の光量を調整することができる。

補助光照射ユニット用調光手段５５、反射光用調光手段５１としては、それぞれ、例えば金属ワイヤーを網目状に構成した調光用メッシュを用いることができる。このような調光用メッシュは、網目の大きさを調整することにより、光の減光率を設定することができる。

このような光照射装置３によれば、ワークＷ（太陽電池モジュール）の設置場所に応じた寿命加速試験を行うことができる。
すなわち、地表（架台の設置面）により反射・散乱される太陽光の強度は、地表（架台の設置面）の状態に依存する。例えば、上記したようなマンションの屋上や遊休中の土地、さらにはメガソーラー発電所での地表（架台の設置面）の状態はそれぞれ異なるので、太陽光の反射率、散乱方向もそれぞれ相違するが、補助光照射ユニット用調光手段５５および反射光用調光手段５１によってワークＷの設置場所に従った条件を設定することにより、より実使用に近い環境を再現することができ、従って、より加速度が高められた寿命加速試験を実施することができる。

本発明の第３の実施の形態に係る光照射装置においては、上記の実施の形態に限られず、種々の変更を加えることができる。
例えば、補助光照射ユニット用調光手段５５および反射光用調光手段５１を構成する調光用メッシュとして、調光率が互いに相違する複数種類が予め用意されており、これらの調光用メッシュが試験対象の太陽電池モジュールの設置場所の条件に対応して交換可能とされる交換機構が設けられていてもよい。
また例えば、補助光照射ユニット用調光手段５５および反射光用調光手段５１は両方設けられることに限定されず、一方のみが設けられた構成とすることもできる。

１，２，３，４ 光照射装置
１０ 太陽電池セル
１１ 反射防止膜
１２ インターコネクター材
１３Ａ，１３Ｂ 電極
１４ パネル
１５ 封止部
１６ 透光板
１７Ａ，１７Ｂ 保護シート
１８ シール材
１９ フレーム
２０ チャンバ
２０ａ 開口
２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２１Ｄ 側壁
２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄ 傾斜壁
２３ 底壁
２３ａ 開口
２４ 周壁
２５ ワークホルダ
２６ 矩形枠
２６ｓ モジュール固定治具
２７Ａ，２７Ｂ 支持フレーム
２８ サポーター
２８ａ 支持フレームＡ用筒部
２８ｂ 支持フレームＢ用筒部
２９Ａ，２９Ｂ レール
３０ 光照射ユニット
３１ ランプ
３２ 筐体
３２ａ 光放射口
４０ 補助光照射ユニット
４１ ランプ
４２ 筐体
４２ａ 光放射口
５１ 反射光用調光手段
５５ 補助光照射ユニット用調光手段
６０ チャンバ
６１ 反射板
Ｓ 仮想平面
Ｒ 処理室
Ｗ ワーク

Claims (3)

1. 光照射ユニットから放出される光を太陽電池モジュールの表面に照射する光照射装置において、
   前記太陽電池モジュールの裏面を含む仮想平面より裏面側に、前記光照射ユニットよりの光を当該太陽電池モジュールの裏面に向けて反射する反射手段が設けられていると共に、前記太陽電池モジュールの裏面に光を照射する補助光照射ユニットが設けられていることを特徴とする光照射装置。
2. 前記太陽電池モジュールの裏面に照射される光の強度を調整する調光手段が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の光照射装置。
3. 前記補助光照射ユニットから放出される光の強度を調整する補助光用調光手段が設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の光照射装置。
   

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