JP5520908B2 - 画像処理方法及び画像処理装置 - Google Patents
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Description
21………入力画像
22………画素値分布
23………画素値変化率分布
24………閾値
25………特性領域
26………計測結果
31………分布算出部
32………閾値決定部
33………特性分離部
34………計測部
Claims (5)
- 2種類以上の特性を含む入力画像に対する計測処理を行う画像処理方法であって、
前記入力画像の画素値分布及び画素値変化率分布を算出し、
前記画素値分布に基づく値を入力とする人工知能的アルゴリズムによって、前記特性を分離するための閾値を出力し、
前記入力画像の領域を前記特性ごとの特性領域に分離するために、前記画素値分布に対して前記閾値を用いた輪郭抽出処理を行うことによって、輪郭領域を抽出し、前記輪郭領域内の画素に対して前記画素値変化率分布に基づく絞り込み処理を行うことによって、着目する特性に係る前記特性領域を抽出し、
前記特性領域に基づいて前記計測処理を行う
ことを特徴とする画像処理方法。 - 前記画素値分布に基づく値として、前記画素値分布から算出される画素値ヒストグラムの中央値及び最頻値、並びに、前記画素値分布のダイナミックレンジを入力層とするニューラルネットワークによって、前記閾値を出力する
ことを特徴とする請求項1に記載の画像処理方法。 - 2次元の画像空間に対して、第1の軸と平行な直線上の前記輪郭領域に属する画素を1つずつ走査していき、各画素の画素値変化率が予め定められた正の値以上の画素については急上昇フラグ、及び各画素の画素値変化率が予め定められた負の値以下の画素については急降下フラグを対応付けておき、更に、前記第1の軸と直交する第2の軸の方向に1画素ずつずらした直線に対しても同様の処理を行い、同一の輪郭領域に属する画素群の中で、前記急上昇フラグが付された画素と前記急降下フラグが付された画素に挟まれる画素群を、前記特性領域として絞り込む
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の画像処理方法。 - 前記特性領域は、銅めっきが施された領域であり、
前記計測処理は、前記特性領域の面積の割合を計測する
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の画像処理方法。 - 2種類以上の特性を含む入力画像に対する計測処理を行う画像処理装置であって、
前記画像の画素値分布及び画素値変化率分布を算出する手段と、
前記画素値分布に基づく値を入力とする人工知能的アルゴリズムによって、前記特性を分離するための閾値を出力する手段と、
前記入力画像の領域を前記特性ごとの特性領域に分離するために、前記画素値分布に対して前記閾値を用いた輪郭抽出処理を行うことによって、輪郭領域を抽出し、前記輪郭領域内の画素に対して前記画素値変化率分布に基づく絞り込み処理を行うことによって、着目する特性に係る前記特性領域を抽出する手段と、
前記特性領域に基づいて前記計測処理を行う手段と、
を具備することを特徴とする画像処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011216265A JP5520908B2 (ja) | 2011-09-30 | 2011-09-30 | 画像処理方法及び画像処理装置 |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2013077139A JP2013077139A (ja) | 2013-04-25 |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5520908B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104732533B (zh) * | 2015-03-12 | 2017-06-13 | 浙江大学 | 一种针对扫描探针显微镜的自动化图像畸变评估方法 |
CN112118439B (zh) * | 2019-06-20 | 2024-01-23 | 瑞昱半导体股份有限公司 | 视频品质检测方法与影像处理电路 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2737797B2 (ja) * | 1989-09-07 | 1998-04-08 | 古河電気工業株式会社 | 欠陥自動判別方法 |
JPH04297961A (ja) * | 1991-03-27 | 1992-10-21 | Toyota Motor Corp | 磁粉探傷データ処理装置 |
JPH07260445A (ja) * | 1994-03-17 | 1995-10-13 | Nomura Seimitsu Denshi Kk | リードフレームの自動検査方法及び装置 |
JPH10239245A (ja) * | 1997-02-25 | 1998-09-11 | Hitachi Ltd | リード外観検査方法 |
JP4085871B2 (ja) * | 2003-04-10 | 2008-05-14 | トヨタ自動車株式会社 | 表面検査装置および方法 |
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Publication number | Publication date |
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JP2013077139A (ja) | 2013-04-25 |
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