JP5512742B2 - Work collection device - Google Patents

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Description

本発明は、ワークを収容した処理容器を、一連の装置に順次搬送して各装置における作業に供することによって、表面処理されたワークを得る、ワークの表面処理システム、において特に用いられ、処理容器からワークを回収する、ワーク回収装置、に関する。ワークとしては、例えば、0.5〜5000μmの粉体、チップコンデンサー、ダイオード、コネクタ、リードスイッチ、釘、ボルト、ナット、ワッシャ等の、小物(小型部品)がある。また、表面処理としては、(1)電気めっき処理、(2)無電解めっき処理;例えば、浸漬めっき処理、化学めっき処理、(3)複合めっき処理、化学複合めっき処理、(4)電着塗装処理;例えば、アニオン電着塗装処理、カチオン電着塗装処理、(5)前処理;例えば、脱脂処理、電解脱脂処理、バレル研磨処理、アルカリ浸漬洗浄処理、酸洗い処理、酸電解処理、化学研磨処理、電解研磨処理、中和処理、(6)後処理;例えば、水切り変色防止処理、水溶性樹脂処理、クロメート処理、がある。   The present invention is particularly used in a surface processing system for a workpiece, in which a processing container containing a workpiece is sequentially transferred to a series of apparatuses and used for work in each apparatus to obtain a surface-treated workpiece. It relates to a work collection device for collecting a work from a work. Examples of the work include small items (small parts) such as powder of 0.5 to 5000 μm, chip capacitors, diodes, connectors, reed switches, nails, bolts, nuts, and washers. The surface treatment includes (1) electroplating treatment, (2) electroless plating treatment; for example, immersion plating treatment, chemical plating treatment, (3) composite plating treatment, chemical composite plating treatment, and (4) electrodeposition coating. Treatment: for example, anion electrodeposition coating treatment, cationic electrodeposition coating treatment, (5) pretreatment; for example, degreasing treatment, electrolytic degreasing treatment, barrel polishing treatment, alkali dipping washing treatment, pickling treatment, acid electrolysis treatment, chemical polishing Treatment, electrolytic polishing treatment, neutralization treatment, (6) post-treatment; for example, draining discoloration prevention treatment, water-soluble resin treatment, chromate treatment.

ワークを表面処理するための表面処理装置としては、例えば特許文献1、2に示された装置が知られている。これらの装置では、処理容器を受板に載せた状態で、ワークの表面処理や水洗を行ったり、処理容器の洗浄等を行ったりしている。
特表平11−505295号公報 米国特許第5,879,520公報
As a surface treatment apparatus for surface-treating a workpiece, for example, apparatuses disclosed in Patent Documents 1 and 2 are known. In these apparatuses, with the processing container placed on the receiving plate, the surface treatment of the workpiece and water washing are performed, and the processing container is cleaned and the like.
Japanese National Patent Publication No. 11-505295 US Pat. No. 5,879,520

しかしながら、従来の上記装置においては、1台の装置で表面処理や水洗などの種々の処理を行うため、効率が悪く、また、各処理自体が不十分となってしまう恐れがあった。また、処理容器からワークを回収するのが面倒であった。   However, in the conventional apparatus, since various processes such as surface treatment and water washing are performed with one apparatus, the efficiency is low and each process itself may be insufficient. Moreover, it was troublesome to collect the workpiece from the processing container.

そこで、表面処理されたワークを簡単な作動で回収できる、ワーク回収装置が、望まれていた。   Therefore, a workpiece recovery device that can recover the surface-treated workpiece with a simple operation has been desired.

本発明は、処理容器を載せる受板と、受板上の処理容器を上方から覆うホッパと、処理容器を覆ったホッパを受板及び処理容器と共に上下反転させる反転機構と、を備えており、上下反転された処理容器内に、ホッパに設けられた噴出部から水を吹きかけて、処理容器内のワークを、ホッパ内へ洗い出してホッパから回収槽へ排出させて捕集するよう、構成されていることを特徴とするワーク回収装置である。   The present invention includes a receiving plate on which the processing container is placed, a hopper that covers the processing container on the receiving plate from above, and a reversing mechanism that vertically inverts the hopper that covers the processing container together with the receiving plate and the processing container. Water is sprayed from the jetting part provided in the hopper into the processing container that is turned upside down, and the work in the processing container is washed out into the hopper and discharged from the hopper to the collection tank and collected. It is the workpiece collection device characterized by being.

本発明によれば、表面処理されたワークを簡単な作動で回収できる。また、処理容器内のワークをホッパで受けるので、ワークが飛散するのを防止でき、したがって、ワークを回収槽に確実に捕集することができる。   According to the present invention, the surface-treated workpiece can be collected with a simple operation. Moreover, since the workpiece | work in a processing container is received with a hopper, it can prevent that a workpiece | work disperses, Therefore A workpiece | work can be reliably collected by a collection tank.

[第1実施形態]
(1)全体構成
図1は本発明の第1実施形態のワーク回収装置を備えたワークの表面処理システムを示す斜視図である。このシステム1は、搬送装置2と、搬入搬出装置3と、表面処理装置4と、本発明のワーク回収装置5と、剥離装置6と、水洗装置7と、を備えている。ワークは、例えばチップコンデンサーである。表面処理は、例えばニッケルめっき処理である。
[First Embodiment]
(1) Overall Configuration FIG. 1 is a perspective view showing a workpiece surface treatment system provided with a workpiece collection apparatus according to a first embodiment of the present invention. The system 1 includes a transport device 2, a carry-in / carry-out device 3, a surface treatment device 4, a work collection device 5 according to the present invention, a peeling device 6, and a water washing device 7. The workpiece is, for example, a chip capacitor. The surface treatment is, for example, nickel plating treatment.

搬送装置2は、処理容器9をシステム1内の一連の装置4、5、6、7に順次搬送する。具体的には、搬送装置2は、図2に示されるように、処理容器9を、表面処理装置4、ワーク回収装置5、剥離装置6、及び水洗装置7に、この順で搬送する。   The transfer device 2 sequentially transfers the processing container 9 to a series of devices 4, 5, 6, 7 in the system 1. Specifically, as shown in FIG. 2, the transport device 2 transports the processing container 9 to the surface treatment device 4, the workpiece recovery device 5, the peeling device 6, and the water washing device 7 in this order.

搬入搬出装置3は、処理容器9を搬送装置2に搬入し、また、処理容器9を搬送装置2から搬出する。搬入搬出装置3は、搬送カート31を備えている。   The carry-in / carry-out device 3 carries the processing container 9 into the transport device 2 and carries the processing container 9 out of the transport device 2. The carry-in / carry-out device 3 includes a transport cart 31.

表面処理装置4は、搬送装置2から処理容器9を受け取り、処理容器9を回転させながら処理容器9内に表面処理液を供給して、ワークに表面処理を施す。   The surface treatment device 4 receives the treatment container 9 from the transport device 2, supplies the surface treatment liquid into the treatment container 9 while rotating the treatment container 9, and performs surface treatment on the workpiece.

ワーク回収装置5は、搬送装置2から処理容器9を受け取り、処理容器9を上下反転させ、処理容器9内に下方から水を吹きかけてワークを流し出して、ワークを捕集する。   The workpiece collection device 5 receives the processing container 9 from the transport device 2, inverts the processing container 9, sprays water into the processing container 9 from below, and collects the workpiece.

剥離装置6は、搬送装置2から処理容器9を受け取り、処理容器9を回転させながら処理容器9内に剥離液を供給して、処理容器9内面に剥離処理を施す。   The peeling device 6 receives the processing container 9 from the transport device 2, supplies the peeling liquid into the processing container 9 while rotating the processing container 9, and performs a peeling process on the inner surface of the processing container 9.

水洗装置7は、搬送装置2から処理容器9を受け取り、処理容器9を上下反転させ、処理容器9内に下方から水を吹きかけて、処理容器9内を水洗する。   The water washing device 7 receives the processing container 9 from the transport device 2, inverts the processing container 9, sprays water into the processing container 9 from below, and rinses the processing container 9 with water.

(2)搬入搬出装置3
図3は搬入搬出装置3を示す斜視図である。搬入搬出装置3は、搬送装置2の一端に設けられた受取部32と、受取部32へ連結可能な搬送カート31と、を備えている。受取部32は、立設された支持柱33と、支持柱33に沿って上下動可能な載置部34と、搬送カート31を支持柱33近傍の所定位置へガイドするガイド部35と、を備えている。
(2) Loading / unloading device 3
FIG. 3 is a perspective view showing the loading / unloading apparatus 3. The carry-in / carry-out device 3 includes a receiving unit 32 provided at one end of the transfer device 2 and a transfer cart 31 that can be connected to the receiving unit 32. The receiving unit 32 includes a support column 33 erected, a placement unit 34 that can move up and down along the support column 33, and a guide unit 35 that guides the transport cart 31 to a predetermined position near the support column 33. I have.

搬送カート31は、略直方体状に組み立てられた枠体311からなっており、ハンドル312を有している。搬送カート31の上面の4箇所には、処理容器9を支持する支持片313が設けられている。支持片313の上端部3131は外側に折れ曲がっており、処理容器9は、4本の支持片313の上端部3131によって、下方から支持される。4本の支持片313で囲まれた部分は、下方に、載置部34を上下動可能に収容し得る空間314を有している。   The transport cart 31 includes a frame 311 assembled in a substantially rectangular parallelepiped shape, and has a handle 312. Support pieces 313 for supporting the processing container 9 are provided at four locations on the upper surface of the transport cart 31. The upper end portion 3131 of the support piece 313 is bent outward, and the processing container 9 is supported from below by the upper end portions 3131 of the four support pieces 313. A portion surrounded by the four support pieces 313 has a space 314 that can accommodate the mounting portion 34 in a vertically movable manner.

ガイド部35は、搬送カート31に両側から当接するガイド板351を有している。ガイド部35は、搬送カート31をストッパ352に当接するまでガイドして、空間314を、載置部34が上下動する範囲に位置させる。   The guide part 35 has a guide plate 351 that comes into contact with the transport cart 31 from both sides. The guide unit 35 guides the transport cart 31 until it abuts against the stopper 352, and positions the space 314 in a range in which the placement unit 34 moves up and down.

載置部34は、一端が支持柱33に連結された水平アーム341と、水平アーム341の他端から上方に延びた垂直アーム342と、垂直アーム342の上端縁から水平に且つ十字方向に延びたバー343とで、構成されている。バー343は、処理容器9を載置可能な長さだけ延びている。水平アーム341の端部344は、図3のIV矢視縦断面図である図4に示されるように、支持柱33のレール331を摺動しながら上下動するよう、支持柱33に連結されている。なお、垂直アーム342の上端には、処理容器9の凸部902が嵌合する凹部が形成されているので、処理容器9を垂直アーム342の中心に置くことができる。したがって、搬送装置2に対する処理容器9の位置を高精度で決めることができ、それ故、搬送装置2によって処理容器9を確実に把持できる。   The mounting portion 34 has a horizontal arm 341 having one end connected to the support pillar 33, a vertical arm 342 extending upward from the other end of the horizontal arm 341, and extending horizontally and crosswise from the upper end edge of the vertical arm 342. Bar 343. The bar 343 extends for a length that allows the processing container 9 to be placed thereon. The end 344 of the horizontal arm 341 is connected to the support column 33 so as to move up and down while sliding on the rail 331 of the support column 33, as shown in FIG. ing. In addition, since the recessed part in which the convex part 902 of the processing container 9 fits is formed in the upper end of the vertical arm 342, the processing container 9 can be placed in the center of the vertical arm 342. Therefore, the position of the processing container 9 with respect to the transport apparatus 2 can be determined with high accuracy, and therefore the processing container 9 can be reliably gripped by the transport apparatus 2.

支持柱33には、チェーン332が上下に渡されている。水平アーム341の端部344は、チェーン332に連結されている。チェーン332の駆動ギヤ3321は、ギヤ3322、チェーン3323、及びギヤ3324を介して、モータ3325に連結されている。これにより、チェーン332は、水平アーム341の端部344と共に上下動するよう駆動される。   A chain 332 is passed up and down on the support pillar 33. An end 344 of the horizontal arm 341 is connected to the chain 332. The drive gear 3321 of the chain 332 is connected to the motor 3325 through the gear 3322, the chain 3323, and the gear 3324. As a result, the chain 332 is driven to move up and down together with the end 344 of the horizontal arm 341.

(3)搬送装置2
図5は搬送装置2の斜視部分図である。搬送装置2は、作動部21及びレール部22を備えている。レール部22は、水平な下レール221と、水平な上レール222とを、有している。
(3) Transport device 2
FIG. 5 is a perspective partial view of the conveying device 2. The transport device 2 includes an operation unit 21 and a rail unit 22. The rail portion 22 has a horizontal lower rail 221 and a horizontal upper rail 222.

作動部21は、下レール221上を摺動する基台部23と、基台部23から上に延びた垂直な柱部24と、柱部24に沿って上下動する把持部26と、を備えている。なお、柱部24は、柱部24から横に延びており、上レール222上を摺動する、支持部25を、備えている。   The operating part 21 includes a base part 23 that slides on the lower rail 221, a vertical pillar part 24 that extends upward from the base part 23, and a grip part 26 that moves up and down along the pillar part 24. I have. The column portion 24 includes a support portion 25 that extends laterally from the column portion 24 and slides on the upper rail 222.

図6は図5のVI−VI断面図である。基台部23は、箱体である。基台部23は、下レール221の水平板部2211に上方から当接している駆動車輪231を、内部に有している。車輪231は、基台部23に外付けされているモータ232から延びた駆動軸233に連結されている。駆動軸233は、2つの軸受234、235で支持されている。基台部23の下面には、水平板部2211の両縁に両側から当接するローラ236、237と、水平板部2211の下面に当接するローラ238と、が設けられている。基台部23は、モータ232を作動させると、下レール221に対してローラ236、237、238によって支持された状態で、車輪231の回転によって、下レール221上を摺動する。   6 is a cross-sectional view taken along the line VI-VI in FIG. The base part 23 is a box. The base part 23 has a drive wheel 231 in contact with the horizontal plate part 2211 of the lower rail 221 from above. The wheels 231 are connected to a drive shaft 233 that extends from a motor 232 that is externally attached to the base portion 23. The drive shaft 233 is supported by two bearings 234 and 235. On the lower surface of the base portion 23, rollers 236 and 237 that are in contact with both edges of the horizontal plate portion 2211 from both sides and rollers 238 that are in contact with the lower surface of the horizontal plate portion 2211 are provided. When the motor 232 is operated, the base unit 23 slides on the lower rail 221 by the rotation of the wheel 231 while being supported by the rollers 236, 237, and 238 with respect to the lower rail 221.

柱部24は、間隔を開けて配置された2枚の垂直な縦板241、242を天板243で連結して構成されている。2枚の縦板241、242は、下レール221に沿って間隔を開けて配置されており、互いに平行であり、対向している。縦板241は、内面の幅方向中央に、縦に延びた板状のレール244を有している。縦板242も、同様に、板状のレール245を有している。レール244とレール245は対向している。2枚の縦板241、242の間には、縦方向に回動するよう、チェーン246が設けられている。チェーン246は、上側の駆動軸247と、下側の従動軸248と、の間に張り渡されている。駆動軸247は、柱部24に外付けされたモータ249に連結されている。   The column portion 24 is configured by connecting two vertical vertical plates 241 and 242 arranged at intervals with a top plate 243. The two vertical plates 241 and 242 are arranged at intervals along the lower rail 221 and are parallel to each other and face each other. The vertical plate 241 has a plate-like rail 244 extending vertically at the center in the width direction of the inner surface. Similarly, the vertical plate 242 has a plate-like rail 245. The rail 244 and the rail 245 face each other. A chain 246 is provided between the two vertical plates 241 and 242 so as to rotate in the vertical direction. The chain 246 is stretched between the upper drive shaft 247 and the lower driven shaft 248. The drive shaft 247 is connected to a motor 249 externally attached to the column portion 24.

把持部26は、柱部24に連結された連結部27と、連結部27から水平に延びたアーム28と、アーム28の先端に設けられ、処理容器9を保持するための、保持部29と、を備えている。   The grip portion 26 includes a connection portion 27 connected to the column portion 24, an arm 28 extending horizontally from the connection portion 27, and a holding portion 29 provided at the tip of the arm 28 for holding the processing container 9. It is equipped with.

連結部27は、柱部24の内部空間に位置しており、箱体271と多数のローラとで構成されている。図7は図6のVII−VII断面矢視図である。箱体271の底板2711には、チェーン246が固定された固定部2461とチェーン246が通過する貫通孔2462とが形成されている。箱体271の天板2712には、チェーン246が通過する貫通孔(図示せず)が2個形成されている。箱体271の両側板2713、2714には、それぞれ6個のローラが設けられている。側板2713において、上部にはローラ27A、27B、27Cが設けられ、下部にはローラ27D、27E、27Fが設けられている。ローラ27A、27Bは、レール244に両側から当接している。ローラ27Cは、箱体271のフランジ2715に設けられており、縦板241の内面2411に当接している。ローラ27D、27Eは、レール244に両側から当接している。ローラ27Fは、箱体271のフランジ2715に設けられており、縦板241の内面2411に当接している。側板2714においても、同様に、6個のローラ27A、27B、27C、27D、27E、27Fが設けられている。すなわち、ローラ27A、27Bは、レール245に両側から当接している。ローラ27Cは、箱体271のフランジ2716に設けられており、縦板242の内面2421に当接している。ローラ27D、27Eは、レール245に両側から当接している。ローラ27Fは、箱体271のフランジ2716に設けられており、縦板242の内面2421に当接している。   The connection part 27 is located in the internal space of the pillar part 24, and is comprised by the box 271 and many rollers. 7 is a sectional view taken along the line VII-VII in FIG. The bottom plate 2711 of the box body 271 is formed with a fixing portion 2461 to which the chain 246 is fixed and a through hole 2462 through which the chain 246 passes. Two through holes (not shown) through which the chain 246 passes are formed in the top plate 2712 of the box body 271. Each side plate 2713 and 2714 of the box body 271 is provided with six rollers. In the side plate 2713, rollers 27A, 27B, and 27C are provided at the upper portion, and rollers 27D, 27E, and 27F are provided at the lower portion. The rollers 27A and 27B are in contact with the rail 244 from both sides. The roller 27 </ b> C is provided on the flange 2715 of the box body 271 and is in contact with the inner surface 2411 of the vertical plate 241. The rollers 27D and 27E are in contact with the rail 244 from both sides. The roller 27 </ b> F is provided on the flange 2715 of the box body 271 and is in contact with the inner surface 2411 of the vertical plate 241. Similarly, the side plate 2714 is provided with six rollers 27A, 27B, 27C, 27D, 27E, and 27F. That is, the rollers 27A and 27B are in contact with the rail 245 from both sides. The roller 27 </ b> C is provided on the flange 2716 of the box body 271 and is in contact with the inner surface 2421 of the vertical plate 242. The rollers 27D and 27E are in contact with the rail 245 from both sides. The roller 27 </ b> F is provided on the flange 2716 of the box body 271 and is in contact with the inner surface 2421 of the vertical plate 242.

図8は保持部29の斜視図である。保持部29は、アーム28の先端から垂下された2本のアーム291、292と、2本のアーム291、292の下端にそれぞれ設けられた把持具293、294と、を備えている。2本のアーム291、292は、処理容器9の直径より少し大きな間隔を開けて、設けられている。把持具293、294は、2本のアーム291、292の下端において、対向して設けられている。把持具293は、水平な支持板2931と、支持板2931の両縁にて起立しているガイド板2932、2933と、からなっている。把持具294も、水平な支持板2941と、支持板2941の両縁にて起立しているガイド板2942、2943と、からなっている。保持部29は、図9に示されるように、処理容器9の下方から把持具293、294を処理容器9にアクセスさせて、処理容器9を支持板2931及び支持板2941の上に載せるとともに、処理容器9の周面をガイド板2932、2933及びガイド板2942、2943の端縁で支持するようになっている。   FIG. 8 is a perspective view of the holding portion 29. The holding unit 29 includes two arms 291 and 292 suspended from the tip of the arm 28, and gripping tools 293 and 294 provided at the lower ends of the two arms 291 and 292, respectively. The two arms 291 and 292 are provided with a gap slightly larger than the diameter of the processing container 9. The gripping tools 293 and 294 are provided to face each other at the lower ends of the two arms 291 and 292. The gripping tool 293 includes a horizontal support plate 2931 and guide plates 2932 and 2933 standing at both edges of the support plate 2931. The gripping tool 294 also includes a horizontal support plate 2941 and guide plates 2942 and 2943 that stand on both edges of the support plate 2941. As shown in FIG. 9, the holding unit 29 causes the grippers 293 and 294 to access the processing container 9 from below the processing container 9 and places the processing container 9 on the support plate 2931 and the support plate 2941. The peripheral surface of the processing container 9 is supported by the edges of the guide plates 2932 and 2933 and the guide plates 2942 and 2943.

(4)表面処理装置4
図10は作動前の表面処理装置4の縦断面図である。表面処理装置4は、処理容器9を図11に示されように載せるための水平な受板411と、受板411を水平面内で回転させる回転駆動機構42と、受板411の下方に位置し、表面処理液及び洗浄水を受ける、受槽412と、受板411上の処理容器9を上方から覆うためのカバー体413と、カバー体413を図11に示されるように処理容器9に対して開閉させる開閉機構43と、受板411上の処理容器9に対して表面処理液と洗浄水とを別々に供給する供給機構44と、受槽412に連通したドレイン機構45と、を備えている。
(4) Surface treatment device 4
FIG. 10 is a longitudinal sectional view of the surface treatment apparatus 4 before operation. The surface treatment apparatus 4 is located below the horizontal receiving plate 411 for placing the processing container 9 as shown in FIG. 11, the rotational drive mechanism 42 for rotating the receiving plate 411 in a horizontal plane, and the receiving plate 411. The receiving tank 412 for receiving the surface treatment liquid and the cleaning water, the cover body 413 for covering the processing container 9 on the receiving plate 411 from above, and the cover body 413 with respect to the processing container 9 as shown in FIG. An opening / closing mechanism 43 that opens and closes, a supply mechanism 44 that separately supplies the surface treatment liquid and the cleaning water to the processing container 9 on the receiving plate 411, and a drain mechanism 45 that communicates with the receiving tank 412 are provided.

図12及び図13は受板411と処理容器9との関係を示す縦断面図である。処理容器9は、導電性の基板93と、非導電性の底板94と、電極リング91と、カバー95とを、この順に下から重ねて、電極リング91を貫通するボルト96によって一体化して構成されるとともに、処理容器9の内から外へ表面処理液を流出させる流出機構を有している。電極リング91は、垂直回転軸421、基板93、及びボルト96を経て、通電可能となっている。すなわち、垂直回転軸421、基板93、及びボルト96によって、電極リング91へ通電させるための通電機構が構成されている。そして、表面処理装置4は、ワークを収容した処理容器9を回転させてワークを電極リング91へ接触させながら、且つ、表面処理液を流出機構を介して処理容器9の内から外へ流通させながら、処理容器9内の表面処理液に電極(図示せず)から通電することによって、ワークに表面処理を施すようになっている。流出機構として、底板94と電極リング91との間に構成した間隙通路を採用している。間隙通路は、底板94と電極リング91との間の円周方向適当間隔置きに、同じ大きさの樹脂製のシート部材92を配置して、該シート部材92を底板94と電極リング91とで挟むことによって、隣接するシート部材92間に構成されている。   12 and 13 are longitudinal sectional views showing the relationship between the receiving plate 411 and the processing container 9. The processing container 9 is configured by stacking a conductive substrate 93, a non-conductive bottom plate 94, an electrode ring 91, and a cover 95 in this order from below, and integrating them with a bolt 96 penetrating the electrode ring 91. In addition, an outflow mechanism for allowing the surface treatment liquid to flow out from the inside of the processing container 9 is provided. The electrode ring 91 can be energized through the vertical rotation shaft 421, the substrate 93, and the bolt 96. That is, the vertical rotation shaft 421, the substrate 93, and the bolt 96 constitute an energization mechanism for energizing the electrode ring 91. And the surface treatment apparatus 4 distribute | circulates surface treatment liquid from the inside of the processing container 9 through an outflow mechanism, rotating the processing container 9 which accommodated the workpiece | work, and contacting a workpiece | work to the electrode ring 91. However, the surface treatment is applied to the surface treatment liquid in the treatment container 9 from an electrode (not shown) so that the workpiece is subjected to the surface treatment. As the outflow mechanism, a gap passage formed between the bottom plate 94 and the electrode ring 91 is employed. In the gap passage, resin sheet members 92 of the same size are arranged at appropriate intervals in the circumferential direction between the bottom plate 94 and the electrode ring 91, and the sheet member 92 is connected to the bottom plate 94 and the electrode ring 91. It is comprised between the adjacent sheet members 92 by pinching.

なお、処理容器9の流出機構としては、次の構成(a)、(b)を採用してもよい。
(a)底板94、電極リング91、又はカバー95に、処理容器9の内から外へ通じる溝を形成する。この溝が上記間隙通路となる。溝の深さは、ワークの径よりも浅く設定する。この構成によれば、処理容器9を分解して洗浄することができ、したがって、処理容器9のメンテナンスを簡素化できる。
(b)電極リング91と底板94との間に、又は、電極リング91とカバー95との間に、多孔質材料でできたリングを挟む。リングの多数の孔が、上記間隙通路となる。この構成によれば、間隙通路の大きさが10μm程度であっても、表面処理液が流出するので、より小さなワークを扱うことができる。これに対して、上述したシート部材91を挟む場合、及び、上記構成(a)の場合には、間隙通路の大きさが30μm以下であると、表面処理液の流出が少なく、流出機構として機能しない。
In addition, as the outflow mechanism of the processing container 9, the following configurations (a) and (b) may be adopted.
(A) Grooves are formed in the bottom plate 94, the electrode ring 91, or the cover 95 to communicate from the inside of the processing container 9 to the outside. This groove becomes the gap passage. The depth of the groove is set shallower than the workpiece diameter. According to this configuration, the processing container 9 can be disassembled and cleaned, and therefore maintenance of the processing container 9 can be simplified.
(B) A ring made of a porous material is sandwiched between the electrode ring 91 and the bottom plate 94 or between the electrode ring 91 and the cover 95. A number of holes in the ring serve as the gap passage. According to this configuration, even if the size of the gap passage is about 10 μm, the surface treatment liquid flows out, so that a smaller workpiece can be handled. On the other hand, in the case of sandwiching the above-described sheet member 91 and in the case of the configuration (a), when the size of the gap passage is 30 μm or less, the surface treatment liquid flows out little and functions as an outflow mechanism. do not do.

処理容器9は、着脱機構90を介して、受板411上に載置される。着脱機構90は、処理容器9を垂直回転軸421に対して着脱自在に固定するための機構である。受板411は、垂直回転軸421の上端に固定されている。着脱機構90は、受板411の回転中心に形成された凹部901と、処理容器9の基板93の下面の回転中心に設けられた凸部902と、受板411の複数箇所に設けられた突部903と、処理容器9の基板93及び底板94に形成された穴部904と、で構成されている。凹部901は、テーパ状に窄まった形態を有している。凸部902は、凹部901に嵌合する形態を有している。突部903は、受板411の上面から突出することができるよう設けられている。穴部904は、受板411の上面から突出した突部903が嵌合する形態を有している。なお、突部903は、受板411において、円周方向等間隔置きに位置するのが好ましく、その数は、例えば、2個、4個、5個、6個、8個等である。穴部904は、突部903と同じ配置で同じ数だけ設けられている。穴部904は、ここでは4個設けられている。   The processing container 9 is placed on the receiving plate 411 via the attaching / detaching mechanism 90. The attachment / detachment mechanism 90 is a mechanism for removably fixing the processing container 9 to the vertical rotation shaft 421. The receiving plate 411 is fixed to the upper end of the vertical rotation shaft 421. The attachment / detachment mechanism 90 includes a recess 901 formed at the rotation center of the receiving plate 411, a protrusion 902 provided at the rotation center of the lower surface of the substrate 93 of the processing container 9, and protrusions provided at a plurality of locations of the receiving plate 411. A portion 903 and a hole portion 904 formed in the substrate 93 and the bottom plate 94 of the processing container 9 are configured. The concave portion 901 has a tapered shape. The convex portion 902 has a form that fits into the concave portion 901. The protrusion 903 is provided so as to protrude from the upper surface of the receiving plate 411. The hole 904 has a form in which a protrusion 903 protruding from the upper surface of the receiving plate 411 is fitted. The protrusions 903 are preferably positioned at equal intervals in the circumferential direction on the receiving plate 411, and the number thereof is, for example, 2, 4, 5, 6, 8, or the like. The same number of holes 904 are provided in the same arrangement as the protrusions 903. Here, four holes 904 are provided.

より具体的には、突部903は、受板411に設けられた凹部911内に、ピン913で支持されたスプリング912によって上向きに付勢された状態で、設けられている。突部903の上端面910は球面である。そして、基板93の下面の平坦部分が凹部911に面した場合には、突部903は、当該平坦部分によって下方へ押されて、凹部911内に押し込められる。また、基板93及び底板94に形成された穴部904が凹部911に面した場合には、突部903は、スプリング912によって上向きに押されて、穴部904内に嵌合する。   More specifically, the protrusion 903 is provided in a recess 911 provided in the receiving plate 411 in a state of being biased upward by a spring 912 supported by a pin 913. An upper end surface 910 of the protrusion 903 is a spherical surface. When the flat portion on the lower surface of the substrate 93 faces the recess 911, the protrusion 903 is pushed downward by the flat portion and is pushed into the recess 911. Further, when the hole 904 formed in the substrate 93 and the bottom plate 94 faces the recess 911, the protrusion 903 is pushed upward by the spring 912 and is fitted in the hole 904.

上記着脱機構90により、処理容器9は、凸部902を受板411の凹部901に嵌合させ且つ穴部904に受板411の突部903を嵌合させた状態で、受板411を介して垂直回転軸421に固定される。そして、固定された処理容器9には、垂直回転軸421の回転力が受板411を介して伝達される。したがって、処理容器9は、受板411を介して垂直回転軸421に固定された状態で、垂直回転軸421と共に回転することができる。   By the attachment / detachment mechanism 90, the processing container 9 causes the convex portion 902 to be fitted into the concave portion 901 of the receiving plate 411 and the protruding portion 903 of the receiving plate 411 is fitted to the hole portion 904 via the receiving plate 411. The vertical rotation shaft 421 is fixed. Then, the rotational force of the vertical rotation shaft 421 is transmitted to the fixed processing container 9 via the receiving plate 411. Therefore, the processing container 9 can rotate together with the vertical rotation shaft 421 while being fixed to the vertical rotation shaft 421 via the receiving plate 411.

回転駆動機構42は、垂直回転軸421をモータ422で回転させるようになっている。   The rotation drive mechanism 42 is configured to rotate the vertical rotation shaft 421 with a motor 422.

カバー体413は、中央に開口4131を有している。開閉機構43は、カバー体413の側部から延びたアーム431と、アーム431を移動させるシリンダ機構432とで、構成されている。アーム431は、ロッド433に回動自在に連結されている。シリンダ機構432は、ロッド433を上下動させる。アーム431の途中には、アーム431から直交方向に分岐したアーム434が形成されており、アーム434の先端にはローラ435が設けられている。ローラ435は、装置本体40のフランジ401の先端部に回転自在に固定されている。開閉機構43は、図10の状態において、ロッド433が上方に移動すると、アーム431が、ローラ435を支点として矢印A方向に回動し、その結果、カバー体413を、図10の垂直状態から図11の水平状態へ変える。すなわち、開閉機構43は、カバー体413を閉じる。カバー体413を開く場合には、上記とは逆に、ロッド433を下方へ移動させればよい。   The cover body 413 has an opening 4131 at the center. The opening / closing mechanism 43 includes an arm 431 extending from the side portion of the cover body 413 and a cylinder mechanism 432 that moves the arm 431. The arm 431 is rotatably connected to the rod 433. The cylinder mechanism 432 moves the rod 433 up and down. An arm 434 branched from the arm 431 in the orthogonal direction is formed in the middle of the arm 431, and a roller 435 is provided at the tip of the arm 434. The roller 435 is rotatably fixed to the distal end portion of the flange 401 of the apparatus main body 40. In the state of FIG. 10, when the rod 433 moves upward in the state of FIG. 10, the arm 431 rotates in the direction of arrow A with the roller 435 as a fulcrum. As a result, the cover body 413 is moved from the vertical state of FIG. Change to the horizontal state of FIG. That is, the opening / closing mechanism 43 closes the cover body 413. When the cover body 413 is opened, the rod 433 may be moved downward, contrary to the above.

供給機構44は、図11に示されるように、垂直柱441と、垂直柱441から水平に延びたアーム442と、表面処理液供給管443と、洗浄水供給管444と、を備えている。アーム442は、先端にヘッド部445を有している。ヘッド部445には、ケース4451と、電極端子4452と、が設けられている。また、表面処理液供給管443の供給口及び洗浄水供給管444の供給口は、ヘッド部445に位置している。アーム442の基端部は、ブロック4421を介して、垂直柱441に沿って延びたレール4411に対して摺動するようになっている。よって、アーム442は、シリンダ機構446によって、垂直柱441に沿って上下動可能となっている。垂直柱441は、図11の紙面の表裏方向に延びた水平レール447上を移動可能に設けられている。なお、垂直柱441から直交方向に分岐したアーム4412の先端には、2個のローラ4413、4414が設けられている。2個のローラ4413、4414は、装置本体40の水平レール448に両側から当接しており、これによって、垂直柱441が装置本体40において支持されている。水平レール448は水平レール447と平行である。   As shown in FIG. 11, the supply mechanism 44 includes a vertical column 441, an arm 442 extending horizontally from the vertical column 441, a surface treatment liquid supply tube 443, and a cleaning water supply tube 444. The arm 442 has a head portion 445 at the tip. The head portion 445 is provided with a case 4451 and an electrode terminal 4452. The supply port of the surface treatment liquid supply pipe 443 and the supply port of the cleaning water supply pipe 444 are located in the head portion 445. The base end portion of the arm 442 is configured to slide with respect to a rail 4411 extending along the vertical column 441 via the block 4421. Therefore, the arm 442 can be moved up and down along the vertical column 441 by the cylinder mechanism 446. The vertical column 441 is provided so as to be movable on a horizontal rail 447 extending in the front and back direction of the paper surface of FIG. Two rollers 4413 and 4414 are provided at the tip of the arm 4412 branched from the vertical column 441 in the orthogonal direction. The two rollers 4413 and 4414 are in contact with the horizontal rail 448 of the apparatus main body 40 from both sides, whereby the vertical column 441 is supported on the apparatus main body 40. The horizontal rail 448 is parallel to the horizontal rail 447.

ドレイン機構45は、受槽412の排出口4121に連通して設けられている。図14はドレイン機構45の斜視図である。ドレイン機構45は、排出口4121に連通した受容器451と、受容器451に連通して下方に延びている可撓性のホース452と、ホース452の先端部4521が挿し込まれた分別槽453と、ホース452の先端部4521を水平面内の所定範囲で移動させる移動機構454と、を備えている。分別槽453は、上面に、ホース452の先端部4521が挿し込まれる長孔4531を有している。分別槽453は、内部が隔壁4532によって、2つの部屋4533、4534に仕切られている。移動機構454は、モータ4541と、アーム4542と、を備えている。アーム4542の一端は、ホース452の先端部4521に連結されており、他端はモータ4541の駆動軸4543に連結されている。移動機構454は、モータ4541を作動させることにより、アーム4542を、駆動軸4543を支点として回動させることができる。これにより、ホース452の先端部4521が、長孔4531の両端の間で、移動する。ドレイン機構45において、ホース452の先端部4521が長孔4531の一端に位置している場合には、先端部4521は、分別槽453の一方の部屋4533上に位置し、ホース452の先端部4521が長孔4531の他端に位置している場合には、先端部4521は、分別槽453の他方の部屋4534上に位置する。2つの部屋4533、4534の底面からは、それぞれ、配管4551、4552が延びている。   The drain mechanism 45 is provided in communication with the outlet 4121 of the receiving tank 412. FIG. 14 is a perspective view of the drain mechanism 45. The drain mechanism 45 includes a receptacle 451 communicating with the discharge port 4121, a flexible hose 452 communicating with the receptacle 451 and extending downward, and a sorting tank 453 into which a tip 4521 of the hose 452 is inserted. And a moving mechanism 454 for moving the tip 4521 of the hose 452 within a predetermined range in the horizontal plane. The sorting tank 453 has a long hole 4531 on the top surface into which the tip 4521 of the hose 452 is inserted. The separation tank 453 is partitioned into two chambers 4533 and 4534 by a partition wall 4532 inside. The moving mechanism 454 includes a motor 4541 and an arm 4542. One end of the arm 4542 is connected to the tip 4521 of the hose 452, and the other end is connected to the drive shaft 4543 of the motor 4541. The moving mechanism 454 can rotate the arm 4542 around the drive shaft 4543 by operating the motor 4541. As a result, the tip 4521 of the hose 452 moves between both ends of the long hole 4531. In the drain mechanism 45, when the tip 4521 of the hose 452 is located at one end of the long hole 4531, the tip 4521 is located on one chamber 4533 of the separation tank 453 and the tip 4521 of the hose 452. Is located at the other end of the long hole 4531, the tip 4521 is located on the other chamber 4534 of the separation tank 453. Pipings 4551 and 4552 extend from the bottom surfaces of the two rooms 4533 and 4534, respectively.

カバー体413は、図15に示されるように、洗浄機構47及び吸気機構48を備えている。洗浄機構47は、カバー体413の内面に環状に設けられた給水管471で構成されている。給水管471は、カバー体413の内面に向いた多数の噴出口472と、処理容器9のカバー95の外面に向いた多数の噴出口473と、を有している。吸気機構48は、カバー体413の開口4131の周縁に沿って設けられた吸気通路481で構成されている。吸気通路481は、開口4131の中心に向かって開いた多数の吸気口482を有している。   As shown in FIG. 15, the cover body 413 includes a cleaning mechanism 47 and an intake mechanism 48. The cleaning mechanism 47 is composed of a water supply pipe 471 provided in an annular shape on the inner surface of the cover body 413. The water supply pipe 471 has a large number of jet ports 472 facing the inner surface of the cover body 413 and a large number of jet ports 473 facing the outer surface of the cover 95 of the processing container 9. The intake mechanism 48 includes an intake passage 481 provided along the periphery of the opening 4131 of the cover body 413. The intake passage 481 has a large number of intake ports 482 that open toward the center of the opening 4131.

(5)ワーク回収装置5
図16はワーク回収装置5の斜視図、図17は図16のXVII矢視図、図18は図16のXVIII矢視図である。ワーク回収装置5は、処理容器9が載せられる水平な受板51と、ホッパ52と、受板51上の処理容器9とホッパ52とを共に上下反転させる反転機構53と、ワークを回収するための回収槽54と、を備えている。なお、受板51には、処理容器9の凸部902が嵌合する凹部が形成されているので、処理容器9を受板51の中心に置くことができる。したがって、搬送装置2に対する処理容器9の位置を高精度で決めることができ、それ故、搬送装置2によって処理容器9を確実に把持できる。
(5) Work collection device 5
16 is a perspective view of the workpiece collection device 5, FIG. 17 is a view taken along arrow XVII in FIG. 16, and FIG. 18 is a view taken along arrow XVIII in FIG. The workpiece collection device 5 is configured to collect a horizontal receiving plate 51 on which the processing container 9 is placed, a hopper 52, a reversing mechanism 53 that vertically inverts the processing container 9 and the hopper 52 on the receiving plate 51, and a workpiece. Recovery tank 54. In addition, since the recessed part in which the convex part 902 of the processing container 9 fits is formed in the receiving plate 51, the processing container 9 can be placed in the center of the receiving plate 51. FIG. Therefore, the position of the processing container 9 with respect to the transport apparatus 2 can be determined with high accuracy, and therefore the processing container 9 can be reliably gripped by the transport apparatus 2.

ホッパ52は、拡開された受入部521と、筒状の本体部522と、傾斜した排出部526と、排出口523と、スプリンクラー525と、を有している。排出口523は、外側から、蓋524によって開閉自在に塞がれている。蓋524は、排出部526に設けられた軸を中心として回動して開閉するようになっている。蓋524は、蓋524と本体部522との間に掛け渡されたバネ529によって、常時閉状態となるよう付勢されている。蓋524が常時閉状態となるよう付勢されているので、蓋524を開けるまでは、ワークがホッパ52から出ることはなく、したがって、全てのワークを回収槽54に確実に回収することができる。スプリンクラー525は、本体部522側から受入部521側へ向けて洗浄水を噴出するように、設けられている。ホッパ52は、ホッパ52を、矢印(図17)に示されるように、90度回動させて処理容器9に装着するための、回動機構55を備えている。図17は非装着状態のホッパ52を示し、図18は装着状態のホッパ52を示している。ホッパ52は、装着状態においては、受板51に載せられた処理容器9を上方から軽く押さえ付けている。なお、受入部521、本体部522、及び排出部526の、内面は、鏡面研磨されているので、全てのワークをホッパ52内から円滑に滑り落とすことができ、したがって、全てのワークを回収槽54に確実に回収することができる。   The hopper 52 has an expanded receiving portion 521, a cylindrical main body portion 522, an inclined discharge portion 526, a discharge port 523, and a sprinkler 525. The discharge port 523 is closed from the outside by a lid 524 so as to be opened and closed. The lid 524 rotates about an axis provided in the discharge portion 526 and opens and closes. The lid 524 is biased so as to be normally closed by a spring 529 spanned between the lid 524 and the main body 522. Since the lid 524 is biased so as to be normally closed, the workpiece does not come out of the hopper 52 until the lid 524 is opened. Therefore, all the workpieces can be reliably collected in the collection tank 54. . The sprinkler 525 is provided so as to eject cleaning water from the main body portion 522 side toward the receiving portion 521 side. The hopper 52 includes a rotation mechanism 55 for rotating the hopper 52 by 90 degrees and mounting the hopper 52 on the processing container 9 as indicated by an arrow (FIG. 17). FIG. 17 shows the hopper 52 in a non-mounted state, and FIG. 18 shows the hopper 52 in a mounted state. In the mounted state, the hopper 52 lightly presses the processing container 9 placed on the receiving plate 51 from above. Since the inner surfaces of the receiving portion 521, the main body portion 522, and the discharge portion 526 are mirror-polished, all the workpieces can be smoothly slid down from the hopper 52, and therefore all the workpieces are collected in the collection tank. 54 can be reliably recovered.

回動機構55は、L形アーム551と、水平な回動軸552と、回動軸552を回動させるシリンダ機構553と、を備えている。L形アーム551の一端は、ホッパ52に側方から連結されており、他端は、回動軸552に固定されている。回動軸552は、アーム554を介して、シリンダ機構553のロッド5531の先端に連結されている。アーム554は、ロッド5531に回動自在に連結されている。図17においては、ロッド5531は後退した状態にある。回動機構55は、ロッド5531を前進させることにより、アーム554を介して、回動軸552を回動させ、それに伴って、ホッパ52を、矢印に示されるように、回動させる。なお、ホッパ52の受入部521は、ホッパ52が回動すると、処理容器9の開口951に密着するようになっている。したがって、処理容器9及びホッパ52が反転する際に、ワークが漏出するのを防止でき、それ故、全てのワークを回収槽54に確実に回収することができる。   The rotation mechanism 55 includes an L-shaped arm 551, a horizontal rotation shaft 552, and a cylinder mechanism 553 that rotates the rotation shaft 552. One end of the L-shaped arm 551 is connected to the hopper 52 from the side, and the other end is fixed to the rotating shaft 552. The rotation shaft 552 is connected to the tip of the rod 5531 of the cylinder mechanism 553 via the arm 554. The arm 554 is rotatably connected to the rod 5531. In FIG. 17, the rod 5531 is in a retracted state. The rotation mechanism 55 advances the rod 5531 to rotate the rotation shaft 552 via the arm 554, and accordingly, the hopper 52 is rotated as indicated by an arrow. The receiving portion 521 of the hopper 52 is brought into close contact with the opening 951 of the processing container 9 when the hopper 52 rotates. Therefore, when the processing container 9 and the hopper 52 are reversed, the work can be prevented from leaking out, and therefore, all the work can be reliably collected in the collection tank 54.

反転機構53は、回動軸531と、回動軸531を駆動するモータ(図示せず)と、を備えている。上述したホッパ52及び回動機構55と、受板51とは、回動軸531に固定されている。反転機構53は、回動軸531を回動させることにより、受板51、処理容器9、及び装着状態のホッパ52を、矢印(図18)に示されるように、反転させる。   The reversing mechanism 53 includes a rotating shaft 531 and a motor (not shown) that drives the rotating shaft 531. The hopper 52 and the rotation mechanism 55 described above and the receiving plate 51 are fixed to a rotation shaft 531. The reversing mechanism 53 rotates the rotating shaft 531 to reverse the receiving plate 51, the processing container 9, and the mounted hopper 52 as indicated by an arrow (FIG. 18).

回収槽54は、反転機構53の回動軸531に対して直交する方向(Y方向)に長い形状を有している。回収槽54内には、ワークを捕集するためのバスケット56が設けられている。バスケット56は、カート561によってY方向に移動可能に支持されている。カート561は、回収槽54の縁541上をローラ562によって移動するようになっている。バスケット56は、回収槽54内の水中に位置している。したがって、回収したワークが空気に触れるのを防止でき、それ故、表面処理で形成された被膜が酸化されるのを防止して、表面処理後のワークの品質を高く保持できる。回収槽54の一端側は、反転されたホッパ52の排出口523の下方に位置している。回収槽54の一端側には、シリンダ機構57が設けられている。シリンダ機構57は、図18に示されるように、水平方向にロッド571を移動させることにより、ロッド571の先端によって、ホッパ52の排出口523を塞いでいる蓋524を、バネ529の力に抗して開くようになっている。   The collection tank 54 has a long shape in a direction (Y direction) orthogonal to the rotation shaft 531 of the reversing mechanism 53. A basket 56 for collecting workpieces is provided in the collection tank 54. The basket 56 is supported by a cart 561 so as to be movable in the Y direction. The cart 561 is moved by a roller 562 on the edge 541 of the collection tank 54. The basket 56 is located in the water in the collection tank 54. Therefore, it is possible to prevent the collected work from coming into contact with air, and therefore, it is possible to prevent the film formed by the surface treatment from being oxidized and to keep the quality of the work after the surface treatment high. One end side of the collection tank 54 is located below the outlet 523 of the inverted hopper 52. A cylinder mechanism 57 is provided on one end side of the collection tank 54. As shown in FIG. 18, the cylinder mechanism 57 moves the rod 571 in the horizontal direction, thereby causing the tip of the rod 571 to resist the lid 524 closing the discharge port 523 of the hopper 52 against the force of the spring 529. And then open.

(6)剥離装置6
剥離装置6は、一部のみが表面処理装置4と異なるだけである。すなわち、剥離装置6は、表面処理液供給管443の代わりに剥離液供給管443を備えている。
(6) Peeling device 6
The peeling device 6 is only partially different from the surface treatment device 4. That is, the peeling device 6 includes a peeling liquid supply pipe 443 instead of the surface treatment liquid supply pipe 443.

(7)水洗装置7
図19は水洗装置7の斜視図、図20は図19のXX矢視図である。水洗装置7は、処理容器9が載せられる水平な受板71と、受板71上に処理容器9を固定する固定機構72と、受板71と共に処理容器9を反転させる反転機構73と、ホッパ74と、を備えている。なお、受板71には、処理容器9の凸部902が嵌合する凹部が形成されているので、処理容器9を受板71の中心に置くことができる。したがって、搬送装置2に対する処理容器9の位置を高精度で決めることができ、それ故、搬送装置2によって処理容器9を確実に把持できる。
(7) Flushing device 7
FIG. 19 is a perspective view of the water washing apparatus 7, and FIG. 20 is a view taken along arrow XX in FIG. 19. The water washing apparatus 7 includes a horizontal receiving plate 71 on which the processing container 9 is placed, a fixing mechanism 72 that fixes the processing container 9 on the receiving plate 71, a reversing mechanism 73 that reverses the processing container 9 together with the receiving plate 71, and a hopper 74. In addition, since the recessed part in which the convex part 902 of the processing container 9 fits is formed in the receiving plate 71, the processing container 9 can be placed in the center of the receiving plate 71. FIG. Therefore, the position of the processing container 9 with respect to the transport apparatus 2 can be determined with high accuracy, and therefore the processing container 9 can be reliably gripped by the transport apparatus 2.

反転機構73は、水平な回動軸731と、回動軸731を回動させるモータ(図示せず)と、を備えている。   The reversing mechanism 73 includes a horizontal rotation shaft 731 and a motor (not shown) that rotates the rotation shaft 731.

受板71は、回動軸731に固定されている。   The receiving plate 71 is fixed to the rotating shaft 731.

固定機構72は、受板71の下面に固定された2個のシリンダ機構721、722で構成されている。シリンダ機構721、722は、受板71の直径方向に並設されており、ロッド7211、7221を外向きに進退させるように設けられている。ロッド7211、7221は、先端に、把持板7212、7222を有している。固定機構72は、シリンダ機構721、722のロッド7211、7221を進退させることにより、把持板7212、7222の間隔を拡縮するようになっており、把持板7212、7222の間隔を縮めた場合に、処理容器9を両側から挟持するようになっている。把持板7212、7222の先端縁7213、7223は円弧状である。把持板7212、7222は、先端縁7213、7223が処理容器9の最大径よりも小さい径の部分に当接するので、処理容器9を受板71に押さえ付ける役割も有している。   The fixing mechanism 72 includes two cylinder mechanisms 721 and 722 that are fixed to the lower surface of the receiving plate 71. The cylinder mechanisms 721 and 722 are arranged side by side in the diameter direction of the receiving plate 71 and are provided so as to advance and retract the rods 7211 and 7221 outward. The rods 7211 and 7221 have grip plates 7212 and 7222 at their tips. The fixing mechanism 72 is configured to expand and contract the distance between the grip plates 7212 and 7222 by advancing and retracting the rods 7211 and 7221 of the cylinder mechanisms 721 and 722. When the distance between the grip plates 7212 and 7222 is reduced, The processing container 9 is sandwiched from both sides. The tip edges 7213 and 7223 of the grip plates 7212 and 7222 are arcuate. The gripping plates 7212 and 7222 also have a role of pressing the processing container 9 against the receiving plate 71 because the tip edges 7213 and 7223 abut on a portion having a diameter smaller than the maximum diameter of the processing container 9.

ホッパ74は、下方の受槽76に通じている。ホッパ74の入口741は、反転された処理容器9のカバー95の開口951に下方から対向している。ホッパ74内には、上向きに洗浄水を噴出するスプリンクラー742が設けられている。スプリンクラー742は、可撓性のホース743を経て、洗浄水供給源(図示せず)に接続されている。   The hopper 74 communicates with the lower receiving tank 76. The inlet 741 of the hopper 74 faces the opening 951 of the cover 95 of the inverted processing container 9 from below. In the hopper 74, a sprinkler 742 for ejecting cleaning water upward is provided. The sprinkler 742 is connected to a cleaning water supply source (not shown) via a flexible hose 743.

ホッパ74は、昇降機構75を備えている。昇降機構75は、アーム751と、シリンダ機構752と、を備えている。アーム751は、一端がホッパ74に連結され、他端がシリンダ機構752のロッド7521の先端に連結されている。昇降機構75は、ロッド7521を上下動させることによって、ホッパ74を上下動させる。なお、ホッパ74の入口741は、ホッパ74が上昇すると、処理容器9の開口951に密着するようになっている。したがって、水洗装置7の周囲に水が飛散するのを防止でき、それ故、水洗装置7の周囲が汚染されるのを防止できる。   The hopper 74 includes an elevating mechanism 75. The lifting mechanism 75 includes an arm 751 and a cylinder mechanism 752. One end of the arm 751 is connected to the hopper 74 and the other end is connected to the tip of the rod 7521 of the cylinder mechanism 752. The elevating mechanism 75 moves the hopper 74 up and down by moving the rod 7521 up and down. The inlet 741 of the hopper 74 comes into close contact with the opening 951 of the processing container 9 when the hopper 74 is raised. Therefore, it is possible to prevent water from being scattered around the water washing device 7, and therefore, it is possible to prevent the surroundings of the water washing device 7 from being contaminated.

(8)次に、上記構成の表面処理システム1の作動について説明する。 (8) Next, the operation of the surface treatment system 1 having the above configuration will be described.

(A)搬入工程
まず、搬送カート31の4本の支持片313上に処理容器9を載せる。次に、処理容器9にワークを入れる。そして、搬送カート31を、移動させて、受取部32へ連結させる。その後、システムの作動開始ボタンを押す。これにより、まず、受取部32が作動する。
受取部32が作動すると、載置部34が、搬送カート31に載せられている処理容器9を下方から支持して、図4において矢印Cで示されるように、上昇する。このとき、処理容器9は、凸部902が垂直アーム342の上端の凹部に嵌合するので、垂直アーム342の中央に案内される。そして、載置部34は、搬送装置2の保持部29の高さ位置で停止する。
(A) Loading Step First, the processing container 9 is placed on the four support pieces 313 of the transport cart 31. Next, a work is put in the processing container 9. Then, the transport cart 31 is moved and connected to the receiving unit 32. Then press the system start button. Thereby, first, the receiving part 32 operates.
When the receiving unit 32 is operated, the mounting unit 34 supports the processing container 9 placed on the transport cart 31 from below, and ascends as indicated by an arrow C in FIG. At this time, the processing container 9 is guided to the center of the vertical arm 342 because the convex portion 902 fits into the concave portion at the upper end of the vertical arm 342. Then, the placement unit 34 stops at the height position of the holding unit 29 of the transport device 2.

(B)搬送工程[1]
次に、搬送装置2が作動を開始する。まず、保持部29が載置部34上の処理容器9を把持する。そして、作動部21が、図2の経路[1-1]に示されるように、レール部22に沿って横方向に移動する。
次に、作動部21の把持部26が、図2の経路[1-2]に示されるように、下降して、表面処理装置4の受板411に処理容器9を載せた後、処理容器9より低い位置まで下降して停止する。その停止位置は、把持部26の把持具293、294が水平移動する際に、ガイド板2932、2933、2942、2943が処理容器9に衝突しない高さ位置である。その後、作動部21は、図2の経路[1-3]に示されるように、レール部22に沿って横方向に少しだけ移動し、これにより、把持部26が待機位置となる。
(B) Conveying process [1]
Next, the transport device 2 starts operating. First, the holding unit 29 holds the processing container 9 on the mounting unit 34. Then, the actuating part 21 moves in the lateral direction along the rail part 22 as indicated by the route [1-1] in FIG.
Next, as shown in the path [1-2] in FIG. 2, the gripping portion 26 of the operating unit 21 descends and places the processing container 9 on the receiving plate 411 of the surface processing apparatus 4. Descent to a position lower than 9 and stop. The stop position is a height position at which the guide plates 2932, 2933, 2942, and 2943 do not collide with the processing container 9 when the gripping tools 293 and 294 of the gripper 26 move horizontally. Thereafter, as shown in the route [1-3] in FIG. 2, the operating unit 21 moves slightly in the lateral direction along the rail unit 22, and thereby the gripping unit 26 becomes the standby position.

(C)表面処理工程
(C-1)カバー体閉工程
把持部26が待機位置となると、表面処理装置4が作動を開始する。まず、開閉機構43が作動して、カバー体413が閉じる。すなわち、カバー体413が受板411上の処理容器9を覆う。
(C) Surface treatment step (C-1) Cover body closing step When the gripping portion 26 reaches the standby position, the surface treatment device 4 starts to operate. First, the opening / closing mechanism 43 operates to close the cover body 413. That is, the cover body 413 covers the processing container 9 on the receiving plate 411.

(C-2)ドレイン作動工程[1]
次に、ドレイン機構45が作動して、ホース452の先端部4521が、分別槽453の、洗浄水を回収する部屋4534上に、位置する。
(C-2) Drain operation process [1]
Next, the drain mechanism 45 is activated, and the tip 4521 of the hose 452 is positioned on the chamber 4534 of the separation tank 453 for collecting the washing water.

(C-3)洗浄工程[1]
次に、供給機構44において、垂直柱441が水平に移動した後、アーム442が下降して、ヘッド部445が、受板411上の処理容器9の開口951中に位置する。
次に、供給機構44の洗浄水供給管444から処理容器9内に洗浄水が投入されるとともに、回転駆動機構42が作動して、処理容器9が回転する。これにより、処理容器9内が洗浄される。一定時間後、洗浄水の供給は停止されるが、処理容器9は回転を続ける。これにより、脱水処理が行われる。
次に、カバー体413の洗浄機構47が作動する。これにより、カバー体413の内面及び処理容器9のカバー95の外面が、洗浄される。一定時間後、洗浄機構47は停止し、処理容器9の回転も停止する。
(C-3) Cleaning process [1]
Next, in the supply mechanism 44, after the vertical column 441 moves horizontally, the arm 442 descends, and the head portion 445 is positioned in the opening 951 of the processing container 9 on the receiving plate 411.
Next, cleaning water is introduced into the processing container 9 from the cleaning water supply pipe 444 of the supply mechanism 44, and the rotation drive mechanism 42 is operated to rotate the processing container 9. Thereby, the inside of the processing container 9 is cleaned. After a certain time, the supply of cleaning water is stopped, but the processing container 9 continues to rotate. Thereby, a dehydration process is performed.
Next, the cleaning mechanism 47 of the cover body 413 operates. Thereby, the inner surface of the cover body 413 and the outer surface of the cover 95 of the processing container 9 are cleaned. After a certain time, the cleaning mechanism 47 stops and the rotation of the processing container 9 also stops.

(C-4)ドレイン作動工程[2]
次に、ドレイン機構45が作動して、ホース452の先端部4521が、分別槽453の、表面処理液を回収する部屋4533上に、位置する。
(C-4) Drain operation process [2]
Next, the drain mechanism 45 is activated, and the tip 4521 of the hose 452 is positioned on the chamber 4533 for collecting the surface treatment liquid in the separation tank 453.

(C-5)処理工程
次に、供給機構44の表面処理液供給管443から処理容器9内に表面処理液が投入されるとともに、回転駆動機構42が作動して、処理容器9が回転する。また、カバー体413の吸気機構48が作動して、吸気口482から吸気が行われる。このとき、表面処理液の成分を含んだミストが吸気口482から吸引されるので、表面処理装置4の周辺の空気が汚染されるのを防止できる。また、表面処理が電解処理である場合には、処理容器9の電極リング91への通電が行われる。そして、一定時間後、表面処理液の投入が停止され、更に、一定時間後、処理容器9の回転が停止される。これにより、脱液処理が行われる。
(C-5) Treatment Step Next, the surface treatment liquid is introduced into the treatment container 9 from the surface treatment liquid supply pipe 443 of the supply mechanism 44, and the rotation drive mechanism 42 is operated to rotate the treatment container 9. . Further, the intake mechanism 48 of the cover body 413 is operated, and intake is performed from the intake port 482. At this time, since the mist containing the component of the surface treatment liquid is sucked from the intake port 482, the air around the surface treatment device 4 can be prevented from being contaminated. In addition, when the surface treatment is an electrolytic treatment, the electrode ring 91 of the treatment container 9 is energized. Then, after a certain time, the introduction of the surface treatment liquid is stopped, and further, after a certain time, the rotation of the processing container 9 is stopped. Thereby, the liquid removal process is performed.

(C-6)ドレイン作動工程[3]
次に、ドレイン機構45が作動して、ホース452の先端部4521が、分別槽453の、洗浄水を回収する部屋4534上に、位置する。
(C-6) Drain operation process [3]
Next, the drain mechanism 45 is activated, and the tip 4521 of the hose 452 is positioned on the chamber 4534 of the separation tank 453 for collecting the washing water.

(C-7)洗浄工程[2]
次に、供給機構44の洗浄水供給管444から処理容器9内に洗浄水が投入されるとともに、回転駆動機構42が作動して、処理容器9が回転する。これにより、処理容器9内が洗浄される。一定時間後、洗浄水の供給は停止されるが、処理容器9は回転を続ける。これにより、脱水処理が行われる。
次に、カバー体413の洗浄機構47が作動する。これにより、カバー体413の内面及び処理容器9のカバー95の外面が、洗浄される。一定時間後、洗浄機構47は停止し、処理容器9の回転も停止する。
そして、吸気機構48も停止する。
(C-7) Cleaning process [2]
Next, cleaning water is introduced into the processing container 9 from the cleaning water supply pipe 444 of the supply mechanism 44, and the rotation drive mechanism 42 is operated to rotate the processing container 9. Thereby, the inside of the processing container 9 is cleaned. After a certain time, the supply of cleaning water is stopped, but the processing container 9 continues to rotate. Thereby, a dehydration process is performed.
Next, the cleaning mechanism 47 of the cover body 413 operates. Thereby, the inner surface of the cover body 413 and the outer surface of the cover 95 of the processing container 9 are cleaned. After a certain time, the cleaning mechanism 47 stops and the rotation of the processing container 9 also stops.
Then, the intake mechanism 48 is also stopped.

(C-8)カバー体開工程
そして、開閉機構43が作動して、カバー体413が開く。
(C-8) Cover Body Opening Step Then, the opening / closing mechanism 43 operates to open the cover body 413.

(D)搬送工程[2]
次に、搬送装置2が作動する。まず、作動部21が、図2の経路[2-1]に示されるように、レール部22に沿って横方向に少しだけ移動する。すなわち、把持部26が、待機位置から受板411上の処理容器9の位置まで移動する。そして、把持部26が処理容器9を保持する。
次に、作動部21の把持部26が、図2の経路[2-2]に示されるように、上昇する。次に、作動部21が、図2の経路[2-3]に示されるように、レール部22に沿って横方向に移動し、ワーク回収装置5の位置で停止する。
次に、作動部21の把持部26が、図2の経路[2-4]に示されるように、下降して、ワーク回収装置5の受板51に処理容器9を載せた後、処理容器9より低い位置まで下降して停止する。その停止位置は、把持部26の把持具293、294が水平移動する際に、ガイド板2932、2933、2942、2943が処理容器9に衝突しない高さ位置である。このとき、処理容器9は、凸部902が受板51の凹部に嵌合するので、受板51の中央に案内される。その後、作動部21は、図2の経路[2-5]に示されるように、レール部22に沿って横方向に少しだけ移動し、これにより、把持部26が待機位置となる。
(D) Conveying process [2]
Next, the transfer device 2 operates. First, as shown in the path [2-1] in FIG. 2, the operating unit 21 slightly moves in the lateral direction along the rail unit 22. That is, the gripping part 26 moves from the standby position to the position of the processing container 9 on the receiving plate 411. The gripper 26 holds the processing container 9.
Next, the gripping portion 26 of the operating portion 21 is raised as shown by the path [2-2] in FIG. Next, as shown in the route [2-3] in FIG. 2, the operation unit 21 moves in the lateral direction along the rail unit 22 and stops at the position of the workpiece collection device 5.
Next, as shown in the route [2-4] in FIG. 2, the gripping portion 26 of the operating unit 21 descends and places the processing container 9 on the receiving plate 51 of the workpiece collection device 5. Descent to a position lower than 9 and stop. The stop position is a height position at which the guide plates 2932, 2933, 2942, and 2943 do not collide with the processing container 9 when the gripping tools 293 and 294 of the gripper 26 move horizontally. At this time, the processing container 9 is guided to the center of the receiving plate 51 because the convex portion 902 fits into the concave portion of the receiving plate 51. Thereafter, as shown in the route [2-5] in FIG. 2, the operating unit 21 slightly moves in the lateral direction along the rail unit 22, and thereby the gripping unit 26 becomes the standby position.

(E)ワーク回収工程
受板51上に処理容器9が載せられたこと、及び、バスケット56が所定の回収位置にあることが、センサー(図示せず)によって検知されると、回動機構55が作動して、ホッパ52が処理容器9に装着されるとともに、チャイムが鳴る。
次に、反転機構53が作動して、処理容器9及びホッパ52が反転される。
次に、スプリンクラー525から水が噴出され、その直後に、シリンダ機構57が作動して、蓋524が開かれる。このとき、水はスプリンクラー525から噴出されるので、処理容器9の内面全体に水を吹きかけることができ、したがって、処理容器9内のワークを確実に流れ落とすことができる。これにより、処理容器9内のワークが、水と共に処理容器9から流出し、ホッパ52の排出口523から排出される。排出されたワークは、バスケット56に貯まる。
一定時間後、スプリンクラー525が停止し、その後、シリンダ機構57が作動して、蓋524が閉じられる。
次に、反転機構53が作動して、処理容器9及びホッパ52が再び反転されて、元の状態に戻る。そして、回動機構55が作動して、ホッパ52が非装着状態となるとともに、チャイムが鳴る。
なお、ワークは、バスケット56をカート561によって手前に移動させて、バスケット56を取り出して、回収する。
(E) Workpiece collection step When a sensor (not shown) detects that the processing container 9 has been placed on the receiving plate 51 and that the basket 56 is in a predetermined collection position, the rotation mechanism 55 is detected. The hopper 52 is mounted on the processing container 9 and a chime sounds.
Next, the reversing mechanism 53 is operated to reverse the processing container 9 and the hopper 52.
Next, water is spouted from the sprinkler 525, and immediately after that, the cylinder mechanism 57 is operated and the lid 524 is opened. At this time, since the water is ejected from the sprinkler 525, the water can be sprayed over the entire inner surface of the processing container 9, so that the work in the processing container 9 can be surely flowed down. Thereby, the workpiece | work in the processing container 9 flows out from the processing container 9 with water, and is discharged | emitted from the discharge port 523 of the hopper 52. FIG. The discharged work is stored in the basket 56.
After a certain time, the sprinkler 525 is stopped, and then the cylinder mechanism 57 is operated to close the lid 524.
Next, the reversing mechanism 53 is operated, the processing container 9 and the hopper 52 are reversed again, and return to the original state. Then, the rotation mechanism 55 is activated, and the hopper 52 is not attached, and a chime sounds.
Note that the workpiece is collected by moving the basket 56 forward by the cart 561 and taking out the basket 56.

(F)搬送工程[3]
次に、搬送装置2が作動する。まず、作動部21が、図2の経路[3-1]に示されるように、レール部22に沿って横方向に少しだけ移動する。すなわち、把持部26が、待機位置から受板51上の処理容器9の位置まで移動する。そして、把持部26が処理容器9を保持する。
次に、作動部21の把持部26が、図2の経路[3-2]に示されるように、上昇する。次に、作動部21が、図2の経路[3-3]に示されるように、レール部22に沿って横方向に移動し、剥離装置6の位置で停止する。
次に、作動部21の把持部26が、図2の経路[3-4]に示されるように、下降して、剥離装置6の受板411に処理容器9を載せた後、処理容器9より低い位置まで下降して停止する。その停止位置は、把持部26の把持具293、294が水平移動する際に、ガイド板2932、2933、2942、2943が処理容器9に衝突しない高さ位置である。その後、作動部21は、図2の経路[3-5]に示されるように、レール部22に沿って横方向に少しだけ移動し、これにより、把持部26が待機位置となる。
(F) Conveying process [3]
Next, the transfer device 2 operates. First, the operating part 21 moves slightly in the lateral direction along the rail part 22 as shown in the path [3-1] in FIG. That is, the gripper 26 moves from the standby position to the position of the processing container 9 on the receiving plate 51. The gripper 26 holds the processing container 9.
Next, the gripping portion 26 of the operating portion 21 is lifted as indicated by the path [3-2] in FIG. Next, as shown in the route [3-3] in FIG. 2, the operation unit 21 moves laterally along the rail unit 22 and stops at the position of the peeling device 6.
Next, as shown in the path [3-4] of FIG. 2, the gripping portion 26 of the operating unit 21 descends and places the processing container 9 on the receiving plate 411 of the peeling device 6. Descent to a lower position and stop. The stop position is a height position at which the guide plates 2932, 2933, 2942, and 2943 do not collide with the processing container 9 when the gripping tools 293 and 294 of the gripper 26 move horizontally. Thereafter, as shown in the path [3-5] in FIG. 2, the operating unit 21 slightly moves in the lateral direction along the rail unit 22, whereby the gripping unit 26 becomes the standby position.

(G)剥離処理工程
(G-1)カバー体閉工程
把持部26が待機位置となると、剥離装置6が作動を開始する。まず、開閉機構43が作動して、カバー体413が閉じる。すなわち、カバー体413が受板411上の処理容器9を覆う。
(G) Peeling process step (G-1) Cover body closing step When the gripping portion 26 reaches the standby position, the peeling device 6 starts operating. First, the opening / closing mechanism 43 operates to close the cover body 413. That is, the cover body 413 covers the processing container 9 on the receiving plate 411.

(G-2)ドレイン作動工程[1]
次に、ドレイン機構45が作動して、ホース452の先端部4521が、分別槽453の、剥離液を回収する部屋(図示せず)上に位置する。
(G-2) Drain operation process [1]
Next, the drain mechanism 45 is actuated, and the tip 4521 of the hose 452 is positioned on the separation tank 453 in the chamber (not shown) for collecting the stripping solution.

(G-3)処理工程
次に、供給機構44において、垂直柱441が水平に移動した後、アーム442が下降して、ヘッド部445が、受板411上の処理容器9の開口951中に位置する。
次に、供給機構44の剥離液供給管443から処理容器9内に剥離液が投入されるとともに、回転駆動機構42が作動して、処理容器9が回転する。また、カバー体413の吸気機構48が作動して、吸気口482から吸気が行われる。これにより、処理容器9の内面への付着物(例えばめっき被膜)が剥離される。一定時間後、剥離液の供給は停止されるが、処理容器9は回転を続ける。これにより、脱液処理が行われる。そして、処理容器9の回転が停止する。
(G-3) Processing Step Next, in the supply mechanism 44, after the vertical column 441 moves horizontally, the arm 442 descends, and the head portion 445 is placed in the opening 951 of the processing container 9 on the receiving plate 411. To position.
Next, the stripping liquid is introduced into the processing container 9 from the stripping liquid supply pipe 443 of the supply mechanism 44, and the rotation driving mechanism 42 is operated to rotate the processing container 9. Further, the intake mechanism 48 of the cover body 413 is operated, and intake is performed from the intake port 482. Thereby, the deposit (for example, plating film) on the inner surface of the processing container 9 is peeled off. After a certain time, the supply of the stripping solution is stopped, but the processing container 9 continues to rotate. Thereby, the liquid removal process is performed. Then, the rotation of the processing container 9 stops.

(G-4)ドレイン作動工程[2]
次に、ドレイン機構45が作動して、ホース452の先端部4521が、分別槽453の、洗浄水を回収する部屋4534上に、位置する。
(G-4) Drain operation process [2]
Next, the drain mechanism 45 is activated, and the tip 4521 of the hose 452 is positioned on the chamber 4534 of the separation tank 453 for collecting the washing water.

(G-5)洗浄工程
次に、供給機構44の洗浄水供給管444から処理容器9内に洗浄水が投入されるとともに、回転駆動機構42が作動して、処理容器9が回転する。これにより、処理容器9内が洗浄される。一定時間後、洗浄水の供給は停止されるが、処理容器9は回転を続ける。これにより、脱水処理が行われる。
次に、カバー体413の洗浄機構47が作動する。これにより、カバー体413の内面及び処理容器9のカバー95の外面が、洗浄される。一定時間後、洗浄機構47は停止し、処理容器9の回転も停止する。
そして、吸気機構48も停止する。
(G-5) Cleaning Step Next, cleaning water is introduced into the processing container 9 from the cleaning water supply pipe 444 of the supply mechanism 44, and the rotation drive mechanism 42 is operated to rotate the processing container 9. Thereby, the inside of the processing container 9 is cleaned. After a certain time, the supply of cleaning water is stopped, but the processing container 9 continues to rotate. Thereby, a dehydration process is performed.
Next, the cleaning mechanism 47 of the cover body 413 operates. Thereby, the inner surface of the cover body 413 and the outer surface of the cover 95 of the processing container 9 are cleaned. After a certain time, the cleaning mechanism 47 stops and the rotation of the processing container 9 also stops.
Then, the intake mechanism 48 is also stopped.

(G-6)カバー体開工程
そして、開閉機構43が作動して、カバー体413が開く。
(G-6) Cover Body Opening Step Then, the opening / closing mechanism 43 operates to open the cover body 413.

(H)搬送工程[4]
次に、搬送装置2が作動する。まず、作動部21が、図2の経路[4-1]に示されるように、レール部22に沿って横方向に少しだけ移動する。すなわち、把持部26が、待機位置から受板411上の処理容器9の位置まで移動する。そして、把持部26が処理容器9を保持する。
次に、作動部21の把持部26が、図2の経路[4-2]に示されるように、上昇する。次に、作動部21が、図2の経路[4-3]に示されるように、レール部22に沿って横方向に移動し、水洗装置7の位置で停止する。
次に、作動部21の把持部26が、図2の経路[4-4]に示されるように、下降して、水洗装置7の受板71に処理容器9を載せた後、処理容器9より低い位置まで下降して停止する。その停止位置は、把持部26の把持具293、294が水平移動する際に、ガイド板2932、2933、2942、2943が処理容器9に衝突しない高さ位置である。このとき、処理容器9は、凸部902が受板71の凹部に嵌合するので、受板71の中央に案内される。その後、作動部21は、図2の経路[4-5]に示されるように、レール部22に沿って横方向に少しだけ移動し、これにより、把持部26が待機位置となる。
(H) Conveyance process [4]
Next, the transfer device 2 operates. First, as shown in the path [4-1] in FIG. 2, the operating unit 21 slightly moves in the lateral direction along the rail unit 22. That is, the gripping part 26 moves from the standby position to the position of the processing container 9 on the receiving plate 411. The gripper 26 holds the processing container 9.
Next, the gripping portion 26 of the operating portion 21 is lifted as indicated by the path [4-2] in FIG. Next, as shown in the route [4-3] in FIG. 2, the operation unit 21 moves in the lateral direction along the rail unit 22 and stops at the position of the water washing device 7.
Next, as shown in the path [4-4] in FIG. 2, the gripping portion 26 of the operating unit 21 descends and places the processing container 9 on the receiving plate 71 of the water washing apparatus 7, and then the processing container 9. Descent to a lower position and stop. The stop position is a height position at which the guide plates 2932, 2933, 2942, and 2943 do not collide with the processing container 9 when the gripping tools 293 and 294 of the gripper 26 move horizontally. At this time, the processing container 9 is guided to the center of the receiving plate 71 because the convex portion 902 fits into the concave portion of the receiving plate 71. Thereafter, as shown in the path [4-5] in FIG. 2, the operating unit 21 slightly moves in the lateral direction along the rail unit 22, whereby the gripping unit 26 becomes the standby position.

(I)水洗工程
把持部26が待機位置となると、水洗装置7が作動を開始する。まず、固定機構72が作動して、受板71上に処理容器9が固定される。
次に、反転機構73が作動して、受板71と共に処理容器9が反転される。
次に、昇降機構75が作動して、ホッパ74が処理容器9の直近まで上昇する。
次に、スプリンクラー742から水が噴出される。これにより、処理容器9の内面全体に水が吹きかけられ、処理容器9内に残留している剥離液や付着物の全てが、確実に、処理容器9から流出して、ホッパ74を通って受槽76へ回収される。
一定時間後、スプリンクラー742が停止する。
次に、昇降機構75が作動して、ホッパ74が下降する。
次に、反転機構73が作動して、受板71と共に処理容器9が再び反転されて、元の状態に戻る。
そして、固定機構72が作動して、処理容器9の固定が解除される。
(I) Rinsing step When the gripping portion 26 reaches the standby position, the rinsing device 7 starts operating. First, the fixing mechanism 72 is operated to fix the processing container 9 on the receiving plate 71.
Next, the reversing mechanism 73 is operated, and the processing container 9 is reversed together with the receiving plate 71.
Next, the elevating mechanism 75 is actuated, and the hopper 74 is moved up to the vicinity of the processing container 9.
Next, water is spouted from the sprinkler 742. As a result, water is sprayed on the entire inner surface of the processing container 9, and all of the stripping solution and deposits remaining in the processing container 9 surely flow out of the processing container 9 and pass through the hopper 74. 76 is recovered.
After a certain time, the sprinkler 742 stops.
Next, the elevating mechanism 75 is operated and the hopper 74 is lowered.
Next, the reversing mechanism 73 is activated, and the processing container 9 is reversed again together with the receiving plate 71 to return to the original state.
Then, the fixing mechanism 72 is operated to release the processing container 9 from being fixed.

(J)搬送工程[5]
次に、搬送装置2が作動する。まず、作動部21が、図2の経路[5-1]に示されるように、レール部22に沿って横方向に少しだけ移動する。すなわち、把持部26が、待機位置から受板71上の処理容器9の位置まで移動する。そして、把持部26が処理容器9を保持する。
次に、作動部21の把持部26が、図2の経路[5-2]に示されるように、上昇する。次に、作動部21が、図2の経路[5-3]に示されるように、レール部22に沿って横方向に移動し、受取部32の位置で停止する。
(J) Conveying process [5]
Next, the transfer device 2 operates. First, as shown in the path [5-1] in FIG. 2, the operating unit 21 moves slightly in the lateral direction along the rail unit 22. That is, the gripper 26 moves from the standby position to the position of the processing container 9 on the receiving plate 71. The gripper 26 holds the processing container 9.
Next, the gripping portion 26 of the operating portion 21 is raised as shown by the path [5-2] in FIG. Next, as shown in the path [5-3] in FIG. 2, the operating unit 21 moves laterally along the rail unit 22 and stops at the position of the receiving unit 32.

(K)搬出工程
そして、受取部32が作動する。まず、載置部34が、搬送装置2の保持部29の処理容器9を下方から支持するよう、上昇する。
次に、搬送装置2の作動部21が少しだけ横方向に移動して、保持部29が載置部34から退避する。
次に、載置部34が、処理容器9を載せたまま下降していく。この途中、処理容器9は、搬送カート31の4本の支持片313上に載る。
そして、搬送カート31を、受取部32から移動させて、処理容器9を搬送カート31から取り外し、新たな処理容器9を搬送カート31に載せる。
そして、上述したのと同様の作動を行う。
(K) Unloading step Then, the receiving unit 32 operates. First, the mounting unit 34 is raised so as to support the processing container 9 of the holding unit 29 of the transport device 2 from below.
Next, the operation unit 21 of the transport device 2 moves slightly in the lateral direction, and the holding unit 29 is retracted from the placement unit 34.
Next, the mounting portion 34 moves down with the processing container 9 placed thereon. In the middle of this, the processing container 9 is placed on the four support pieces 313 of the transport cart 31.
Then, the transport cart 31 is moved from the receiving unit 32, the processing container 9 is removed from the transport cart 31, and a new processing container 9 is placed on the transport cart 31.
Then, the same operation as described above is performed.

以上の作動により、上記構成の表面処理システムによれば、ワークを収容した処理容器9を、自動で、表面処理装置4、ワーク回収装置5、剥離装置6、及び水洗装置7に、この順で供することができるので、作業効率良く、表面処理されたワークを得ることができ、更には、洗浄された処理容器9も得ることができる。   With the above operation, according to the surface treatment system configured as described above, the processing container 9 containing the workpiece is automatically transferred to the surface treatment device 4, the workpiece recovery device 5, the peeling device 6, and the water washing device 7 in this order. Therefore, the surface-treated work can be obtained with good work efficiency, and further, the cleaned processing container 9 can be obtained.

[変形例]
上記構成の表面処理システム1は、次のような変形構成を採用してもよい。
(1)図21に示されるように、上記構成のシステム1において、剥離装置6及び水洗装置7を省略してもよい。図22は、その場合における処理容器9の搬送経路を示している。このシステムによっても、表面処理されたワークを得ることができる。
[Modification]
The surface treatment system 1 having the above configuration may employ the following modified configuration.
(1) As shown in FIG. 21, in the system 1 having the above configuration, the peeling device 6 and the water washing device 7 may be omitted. FIG. 22 shows a conveyance path of the processing container 9 in that case. Even with this system, a surface-treated workpiece can be obtained.

(2)図23に示されるように、上記構成のシステム1において、剥離装置6及び水洗装置7に処理容器9を搬送しないで、処理を終了してもよい。 (2) As shown in FIG. 23, in the system 1 having the above-described configuration, the processing may be terminated without transporting the processing container 9 to the peeling device 6 and the water washing device 7.

(3)図24に示されるように、上記構成のシステム1の各装置3、4、5、6、7を平面視円形に配置してもよい。この場合の搬送装置2は、図25に示されるように、回動ポール291と、アーム292と、アーム292の昇降機構293と、アーム292の先端に設けられ、処理容器9を保持するための、保持部29と、を備えている。搬送装置2は、回動ポール291を回動させて、アーム292を回動させることにより、保持部29に保持した処理容器9を、各装置3、4、5、6、7に搬送するようになっている。昇降機構293は、アーム292を昇降させることにより、保持部29に保持した処理容器9を昇降させるようになっている。 (3) As shown in FIG. 24, the devices 3, 4, 5, 6, and 7 of the system 1 having the above-described configuration may be arranged in a circular shape in plan view. As shown in FIG. 25, the transfer device 2 in this case is provided at a rotation pole 291, an arm 292, an elevating mechanism 293 of the arm 292, and a tip of the arm 292, for holding the processing container 9. And a holding unit 29. The transfer device 2 rotates the rotation pole 291 and rotates the arm 292 so that the processing container 9 held by the holding unit 29 is transferred to each device 3, 4, 5, 6, 7. It has become. The raising / lowering mechanism 293 raises / lowers the processing container 9 held by the holding unit 29 by raising / lowering the arm 292.

(4)図26に示されるように、上記構成のシステム1の水洗装置7において、スプリンクラー742を受槽76に固定して設けてもよい。具体的には、スプリンクラー742から、管7421を、鉛直に延ばして、リング7422及び支柱7423で支持して、横方向に延ばす。 (4) As shown in FIG. 26, the sprinkler 742 may be fixed to the receiving tank 76 in the water washing device 7 of the system 1 having the above configuration. Specifically, the pipe 7421 is vertically extended from the sprinkler 742, supported by the ring 7422 and the column 7423, and extended in the lateral direction.

(5)図27に示されるように、ホッパ74を、大径の大型として、受槽76を兼ねるようにしてもよい。 (5) As shown in FIG. 27, the hopper 74 may have a large diameter and serve as the receiving tank 76.

(6)図28に示されるように、第1実施形態のワーク回収装置5と水洗装置7とを一体に設けてもよい。この場合では、第1実施形態のワーク回収装置5において、回収槽54と受槽76とが並設されている。また、ホッパ52において、排出部526が、本体部522に対して、回転継ぎ目5261を介して、回動可能となっている。また、シリンダ機構57が排出部526と一体に設けられている。この装置は、ワーク回収工程においては、排出部526が回収槽54側に向けられて作動し、水洗工程においては、排出部526が受槽76側に向けられて作動する。 (6) As shown in FIG. 28, the workpiece collection device 5 and the water washing device 7 of the first embodiment may be provided integrally. In this case, in the workpiece collection device 5 of the first embodiment, the collection tank 54 and the receiving tank 76 are arranged in parallel. Further, in the hopper 52, the discharge portion 526 is rotatable with respect to the main body portion 522 via a rotation seam 5261. A cylinder mechanism 57 is provided integrally with the discharge portion 526. In the work collection process, this apparatus operates with the discharge section 526 directed toward the collection tank 54, and in the water washing process, the discharge section 526 operates with the discharge tank 526 directed.

(7)表面処理装置4を複数設けてもよい。これによれば、各表面処理装置4で異なる表面処理を行うことができ、したがって、ワークの表面に、2層以上の処理被膜を形成することができる。 (7) A plurality of surface treatment apparatuses 4 may be provided. According to this, different surface treatments can be performed in each surface treatment apparatus 4, and therefore, two or more layers of treatment films can be formed on the surface of the workpiece.

(8)図29に示されるように、第1実施形態のワーク回収装置5におけるホッパ52に代えて、大口のホッパ520を回収槽54の上方に設けてもよい。これによれば、ワーク回収装置5の反転機構53を、水洗装置7の反転機構73と共通の部品で構成できるので、部品の種類を低減して生産性を向上できる。 (8) As shown in FIG. 29, a large hopper 520 may be provided above the collection tank 54 in place of the hopper 52 in the workpiece collection device 5 of the first embodiment. According to this, since the reversing mechanism 53 of the workpiece collecting apparatus 5 can be configured with parts common to the reversing mechanism 73 of the water washing apparatus 7, the types of parts can be reduced and productivity can be improved.

(9)図30に示されるように、上記構成のシステム1の搬送カート31の支持片313のそれぞれに、内向きの水平板315を設けてもよい。処理容器9は、水平板315上に載せられる。これによれば、水平板315上に載せられた処理容器9の側面に、支持片313が接するので、処理容器9が水平方向に動くのを、確実に防止できる。 (9) As shown in FIG. 30, an inward horizontal plate 315 may be provided on each of the support pieces 313 of the transport cart 31 of the system 1 configured as described above. The processing container 9 is placed on the horizontal plate 315. According to this, since the support piece 313 contacts the side surface of the processing container 9 placed on the horizontal plate 315, it is possible to reliably prevent the processing container 9 from moving in the horizontal direction.

本発明のワーク回収装置は、表面処理されたワークを簡単な作動で回収できるので、産業上の利用価値が大である。   Since the workpiece collection apparatus of the present invention can collect a surface-treated workpiece with a simple operation, it has great industrial utility value.

本発明の第1実施形態のワーク回収装置を備えたワークの表面処理システムを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the surface treatment system of the workpiece | work provided with the workpiece | work collection | recovery apparatus of 1st Embodiment of this invention. 図1のシステムの搬送装置の作動経路を示す図である。It is a figure which shows the action | operation path | route of the conveying apparatus of the system of FIG. 搬入搬出装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows a carrying in / out apparatus. 図3のIV矢視縦断面図である。FIG. 4 is a vertical cross-sectional view taken along arrow IV in FIG. 3. 搬送装置の斜視部分図である。It is a perspective partial view of a conveying apparatus. 図5のVI−VI断面図である。It is VI-VI sectional drawing of FIG. 図6のVII−VII断面矢視図である。FIG. 7 is a sectional view taken along the line VII-VII in FIG. 6. 保持部の斜視図である。It is a perspective view of a holding part. 保持部の移動経路を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the movement path | route of a holding | maintenance part. 作動前の表面処理装置の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the surface treatment apparatus before an action | operation. 作動時の表面処理装置の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the surface treatment apparatus at the time of operation. 受板に処理容器を載置する前の状態を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the state before mounting a processing container on a receiving plate. 受板に処理容器を載置した状態を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the state which mounted the processing container in the receiving plate. ドレイン機構の斜視図である。It is a perspective view of a drain mechanism. 処理容器を覆ったカバー体の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the cover body which covered the processing container. ワーク回収装置の斜視図である。It is a perspective view of a workpiece collection device. 図16のXVII矢視図である。It is a XVII arrow directional view of FIG. 図16のXVIII矢視図である。It is a XVIII arrow directional view of FIG. 水洗装置の斜視図である。It is a perspective view of a water washing apparatus. 図19のXX矢視図である。It is a XX arrow line view of FIG. 第1変形例の表面処理システムの斜視図である。It is a perspective view of the surface treatment system of the 1st modification. 図21のシステムにおける搬送装置の作動経路を示す図である。It is a figure which shows the operating path | route of the conveying apparatus in the system of FIG. 第2変形例の表面処理システムにおける搬送装置の作動経路を示す図である。It is a figure which shows the action | operation path | route of the conveying apparatus in the surface treatment system of a 2nd modification. 第3変形例の表面処理システムの平面図である。It is a top view of the surface treatment system of the 3rd modification. 図24のシステムで使用する搬送装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the conveying apparatus used with the system of FIG. 第4変形例の水洗装置の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the water washing apparatus of a 4th modification. 第5変形例の水洗装置の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the water washing apparatus of a 5th modification. 本発明の第6変形例のワーク回収・水洗装置の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the workpiece | work collection | recovery and water washing apparatus of the 6th modification of this invention. 本発明の第7変形例のワーク回収装置の、図17に相当する図である。It is a figure equivalent to FIG. 17 of the workpiece | work collection | recovery apparatus of the 7th modification of this invention. 第8変形例の搬入搬出装置の、図4に相当する図である。It is a figure equivalent to FIG. 4 of the carrying in / out apparatus of an 8th modification.

1 表面処理システム 2 搬送装置 21 作動部 22 レール部 23 基台部 24 柱部 26 把持部 3 搬入搬出装置 4 表面処理装置 5 ワーク回収装置 51 受板 52 ホッパ 525 スプリンクラー 53 反転機構 54 回収槽 71 受板 72 固定機構 73 反転機構 74 ホッパ 742 スプリンクラー   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Surface treatment system 2 Conveyance apparatus 21 Actuating part 22 Rail part 23 Base part 24 Pillar part 26 Grasping part 3 Carrying in / out apparatus 4 Surface treatment apparatus 5 Work collection | recovery apparatus 51 Receptacle 52 Hopper 525 Sprinkler 53 Reversing mechanism 54 Collection tank 71 Receipt Plate 72 Fixing mechanism 73 Inversion mechanism 74 Hopper 742 Sprinkler

Claims (1)

処理容器を載せる受板と、
受板上の処理容器を上方から覆うホッパと、
処理容器を覆ったホッパを受板及び処理容器と共に上下反転させる反転機構と、を備えており、
上下反転された処理容器内に、ホッパに設けられた噴出部から水を吹きかけて、処理容器内のワークを、ホッパ内へ洗い出してホッパから回収槽へ排出させて捕集するよう、構成されていることを特徴とするワーク回収装置。
A receiving plate on which the processing container is placed;
A hopper that covers the processing vessel on the receiving plate from above;
A reversing mechanism that flips the hopper covering the processing container upside down together with the receiving plate and the processing container,
Water is sprayed from an ejection part provided in the hopper into the processing container that is turned upside down, and the work in the processing container is washed out into the hopper and discharged from the hopper to the collection tank and collected. A workpiece collection device characterized by comprising:
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