JP5509419B2 - 強誘電体膜、電子部品及び強誘電体膜の製造方法 - Google Patents
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本発明の一態様は、結晶化しようとする強誘電体膜の配向を変換して任意に制御した強誘電体膜、その強誘電体膜を用いた電子部品及び強誘電体膜の製造方法を提供することを課題とする。
前記下地膜上に形成された強誘電体膜と、
を具備し、
前記強誘電体膜は、前記所定の結晶面と異なる結晶面に配向されていることを特徴とする強誘電体膜である。
前記強誘電体膜は、前記下地膜上に炭素膜を形成し、前記炭素膜上に強誘電体材料を含むアモルファス薄膜を形成し、前記アモルファス薄膜を加熱して結晶化することにより形成されるものであり、
前記強誘電体材料は、
ABO3あるいは(Bi2O2)2+(Am−1BmO3m+1)2−(式中、AはLi、Na、K、Rb、Pb、Ca、Sr、Ba、Bi、La及びHfからなる群から選択される少なくとも1種、BはRu、Fe、Ti、Zr、Nb、Ta、V、W及びMoからなる群から選択される少なくとも1種、mは5以下の自然数である。)で表されるペロブスカイト及びビスマス層状構造酸化物、
LanBa2Cu3O7、Trm2Ba2Can−1CunO2n+4又はTrmBa2Can−1CunO2n+3(式中、LanはY、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuからなる群から選択される少なくとも1種、TrmはBi、Tl及びHgからなる群から選択される少なくとも1種、nは5以下の自然数である。)で表される超伝導酸化物、
A0.5BO3(正方ブロンズ構造)又はA0.3BO3(六方ブロンズ構造)(式中、AはLi、Na、K、Rb、Cs、Pb、Ca、Sr、Ba、Bi及びLaからなる群から選択される少なくとも1種、BはRu、Fe、Ti、Zr、Nb、Ta、V、W及びMoからなる群から選択される少なくとも1種である。)で表されるタングステンブロンズ構造酸化物、
CaO、BaO、PbO、ZnO、MgO、B2O3、Al2O3、Y2O3、La2O3、Cr2O3、Bi2O3、Ga2O3、ZrO2、TiO2、HfO2、NbO2、MoO3、WO3及びV2O5からなる群から選択される少なくとも1種の材料、
前記少なくとも1種の材料にSiO2を含む材料、及び、
前記少なくとも1種の材料にSiO2及びGeO2を含む材料の少なくとも1つからなることも可能である。
前記下地膜は(111)配向したPt膜であり、
前記強誘電体膜はPZT膜であり、前記PZT膜は、(111)+(001)、(001)、(001)+(110)及び(110)のいずれかに配向されていることも可能である。
前記Pt膜上に形成されたPZT膜と、
を具備し、
前記PZT膜は、(111)+(001)、(001)、(001)+(110)及び(110)のいずれかに配向されていることを特徴とする強誘電体膜である。
前記下地膜は(111)配向したPt膜であり、
前記強誘電体膜は(001)に配向したPZT膜であり、
前記炭素膜は(100)に配向したDLC膜であり、
前記DLC膜と前記PZT膜との間には(100)に配向したLNO膜が形成されていることも可能である。
前記下地膜上に炭素膜を形成する工程と、
前記炭素膜上に強誘電体材料を含むアモルファス薄膜を形成する工程と、
前記アモルファス薄膜を加熱して結晶化することにより、前記下地膜上に強誘電体膜を形成する工程と、
を具備し、
前記強誘電体膜は、前記所定の結晶面と異なる結晶面に配向されることを特徴とする強誘電体膜の製造方法である。
前記下地膜は(111)配向したPt膜であり、
前記強誘電体膜はPZT膜であり、前記PZT膜は、(111)+(001)、(001)、(001)+(110)及び(110)のいずれかに配向されていることも可能である。
前記Pt膜上に炭素膜を形成する工程と、
前記炭素膜上にPZTアモルファス薄膜を形成する工程と、
前記PZTアモルファス薄膜を加熱して結晶化することにより、前記Pt膜上にPZT膜を形成する工程と、
を具備し、
前記PZT膜は、(111)+(001)、(001)、(001)+(110)及び(110)のいずれかに配向されることを特徴とする強誘電体膜の製造方法である。
前記炭素膜を形成する工程と前記アモルファス薄膜を形成する工程との間に、前記炭素膜上に(100)に配向したLNO膜を形成する工程をさらに具備し、
前記下地膜は(111)配向したPt膜であり、
前記強誘電体膜は(001)に配向したPZT膜であり、
前記炭素膜は(100)に配向したDLC膜であることも可能である。
基板上に所定の結晶面に配向した下地膜を形成する。この下地膜には、例えば(111)配向させたPt膜が用いられる。
(1)ABO3あるいは(Bi2O2)2+(Am−1BmO3m+1)2−(式中、AはLi、Na、K、Rb、Pb、Ca、Sr、Ba、Bi、La及びHfからなる群から選択される少なくとも1種、BはRu、Fe、Ti、Zr、Nb、Ta、V、W及びMoからなる群から選択される少なくとも1種、mは5以下の自然数である。)で表されるペロブスカイト及びビスマス層状構造酸化物
(2)LanBa2Cu3O7、Trm2Ba2Can−1CunO2n+4又はTrmBa2Can−1CunO2n+3(式中、LanはY、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuからなる群から選択される少なくとも1種、TrmはBi、Tl及びHgからなる群から選択される少なくとも1種、nは5以下の自然数である。)で表される超伝導酸化物
(3)A0.5BO3(正方ブロンズ構造)又はA0.3BO3(六方ブロンズ構造)(式中、AはLi、Na、K、Rb、Cs、Pb、Ca、Sr、Ba、Bi及びLaからなる群から選択される少なくとも1種、BはRu、Fe、Ti、Zr、Nb、Ta、V、W及びMoからなる群から選択される少なくとも1種である。)で表されるタングステンブロンズ構造酸化物
(4)CaO、BaO、PbO、ZnO、MgO、B2O3、Al2O3、Y2O3、La2O3、Cr2O3、Bi2O3、Ga2O3、ZrO2、TiO2、HfO2、NbO2、MoO3、WO3及びV2O5からなる群から選択される少なくとも1種の材料、
(5)前記少なくとも1種の材料にSiO2を含む材料
(6)前記少なくとも1種の材料にSiO2及びGeO2を含む材料
図1は、本発明の実施例1によるPZT膜の製造方法を説明するための断面図である。
このPZT膜の製造方法は、基板上にPZT膜を製造する方法であり、ダイヤモンドライクカーボン(以下、「DLC」という。)などの炭素膜をバッファ層に用いて強誘電体セラミックス薄膜を製造する方法である。
図示せぬ平行平板型プラズマCVD装置のチャンバー内の基板電極上にサンプル1の基板を設置し、チャンバー内に原料ガスとしてトルエンを30sccmの流量で導入し、チャンバー内の圧力を0.5Paとし、基板温度を室温とし(基板を加熱しない)、基板電極に周波数13.56MHzの高周波を出力900Wで供給し、所定の成膜時間で成膜することにより、サンプル1の基板のPt電極薄膜4上に厚さ10nm のDLC膜を形成した。
図示せぬ平行平板型プラズマCVD装置のチャンバー内の基板電極上にサンプル2の基板を設置し、チャンバー内に原料ガスとしてトルエンを30sccmの流量で導入し、チャンバー内の圧力を0.5Paとし、基板温度を室温とし(基板を加熱しない)、基板電極に周波数13.56MHzの高周波を出力900Wで供給し、所定の成膜時間で成膜することにより、サンプル2の基板のPt電極薄膜4上に厚さ100nmの DLC膜を形成した。
また、上記のサンプル1,2では、成膜時のチャンバー内の圧力を0.5Paとしているが、成膜時のチャンバー内の圧力を0.1〜20Paの範囲としても良い。
また、上記のサンプル1,2では、成膜時の基板温度を室温としているが、成膜時の基板温度を室温〜300℃の範囲としても良い。
また、上記のサンプル1,2では、成膜時の基板電極に出力900Wの電力を供給しているが、成膜時の基板電極に電力密度0.01〜5.00W/cm2の範囲の電力を供給しても良い。
図3は、本発明の実施例2によるPZT膜の製造方法を説明するための断面図である。
このPZT膜の製造方法は、基板上にPZT膜を製造する方法であり、DLCなどの炭素膜及び(100)方向に強く自己配向するLNO膜をバッファ層に用いて強誘電体セラミックス薄膜を製造する方法である。
2…SiO2膜
3…TiOx膜
4…Pt電極薄膜
5…炭素膜
6…PZT膜
7…LNO膜
8…PZT膜
Claims (13)
- 基板上に形成された所定の結晶面に配向した下地膜と、
前記下地膜上に形成された炭素膜と、
前記炭素膜上に形成された強誘電体膜と、
を具備し、
前記強誘電体膜は、前記所定の結晶面と異なる結晶面に配向され、
前記強誘電体膜は、(111)+(001)、(001)、(001)+(110)及び(110)のいずれかに配向され、
前記強誘電体膜が(111)+(001)に配向されるときの前記炭素膜の膜厚は10nm未満であり、前記強誘電体膜が(001)に配向されるときの前記炭素膜の膜厚は10nmであり、前記強誘電体膜が(001)+(110)に配向されるときの前記炭素膜の膜厚は10nm超100nm未満であり、前記強誘電体膜が(110)に配向されるときの前記炭素膜の膜厚は100nm以上であり、
前記強誘電体膜は、前記下地膜上に炭素膜を形成し、前記炭素膜上に強誘電体材料を含むアモルファス薄膜を形成し、前記アモルファス薄膜を加熱して結晶化することにより形成されるものであり、
前記強誘電体材料は、
ABO3あるいは(Bi2O2)2+(Am−1BmO3m+1)2−(式中、AはLi、Na、K、Rb、Pb、Ca、Sr、Ba、Bi、La及びHfからなる群から選択される少なくとも1種、BはRu、Fe、Ti、Zr、Nb、Ta、V、W及びMoからなる群から選択される少なくとも1種、mは5以下の自然数である。)で表されるペロブスカイト及びビスマス層状構造酸化物の少なくとも1つからなることを特徴とする強誘電体膜。 - 請求項1において、
前記下地膜は(111)配向したPt膜であり、
前記強誘電体膜はPZT膜であることを特徴とする強誘電体膜。 - 基板上に形成された(111)配向したPt膜と、
前記Pt膜上に形成された炭素膜と、
前記炭素膜上に形成された強誘電体膜と、
を具備し、
前記強誘電体膜はPZT膜であり、前記PZT膜は、(111)+(001)、(001)、(001)+(110)及び(110)のいずれかに配向されており、
前記PZT膜は、前記Pt膜上に炭素膜を形成し、前記炭素膜上に強誘電体材料を含むアモルファス薄膜を形成し、前記アモルファス薄膜を加熱して結晶化することにより形成されるものであり、
前記強誘電体材料は、
ABO3あるいは(Bi2O2)2+(Am−1BmO3m+1)2−(式中、AはLi、Na、K、Rb、Pb、Ca、Sr、Ba、Bi、La及びHfからなる群から選択される少なくとも1種、BはRu、Fe、Ti、Zr、Nb、Ta、V、W及びMoからなる群から選択される少なくとも1種、mは5以下の自然数である。)で表されるペロブスカイト及びビスマス層状構造酸化物の少なくとも1つからなることを特徴とする強誘電体膜。 - 請求項2または3において、
前記強誘電体膜は(001)に配向したPZT膜であり、
前記炭素膜は(100)に配向したDLC膜であり、
前記DLC膜と前記PZT膜との間には(100)に配向したLNO膜が形成されていることを特徴とする強誘電体膜。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の強誘電体膜を用いることを特徴とする電子部品。
- 基板上に所定の結晶面に配向した下地膜を形成する工程と、
前記下地膜上に炭素膜を形成する工程と、
前記炭素膜上に強誘電体材料を含むアモルファス薄膜を形成する工程と、
前記アモルファス薄膜を加熱して結晶化することにより、前記下地膜上に強誘電体膜を形成する工程と、
を具備し、
前記強誘電体膜は、前記所定の結晶面と異なる結晶面に配向され、
前記強誘電体膜は、(111)+(001)、(001)、(001)+(110)及び(110)のいずれかに配向され、
前記強誘電体膜が(111)+(001)に配向されるときの前記炭素膜の膜厚は、前記強誘電体膜が(001)に配向されるときの前記炭素膜の膜厚より薄く、前記強誘電体膜が(001)に配向されるときの前記炭素膜の膜厚は、前記強誘電体膜が(001)+(110)に配向されるときの前記炭素膜の膜厚より薄く、前記強誘電体膜が(001)+(110)に配向されるときの前記炭素膜の膜厚は、前記強誘電体膜が(110)に配向されるときの前記炭素膜の膜厚より薄く、
前記強誘電体材料は、
ABO3あるいは(Bi2O2)2+(Am−1BmO3m+1)2−(式中、AはLi、Na、K、Rb、Pb、Ca、Sr、Ba、Bi、La及びHfからなる群から選択される少なくとも1種、BはRu、Fe、Ti、Zr、Nb、Ta、V、W及びMoからなる群から選択される少なくとも1種、mは5以下の自然数である。)で表されるペロブスカイト及びビスマス層状構造酸化物の少なくとも1つからなることを特徴とする強誘電体膜の製造方法。 - 請求項6において、
前記下地膜は(111)配向したPt膜であり、
前記強誘電体膜はPZT膜であることを特徴とする強誘電体膜の製造方法。 - 基板上に(111)配向したPt膜を形成する工程と、
前記Pt膜上に炭素膜を形成する工程と、
前記炭素膜上に強誘電体材料を含むアモルファス薄膜を形成する工程と、
前記アモルファス薄膜を加熱して結晶化することにより、前記Pt膜上に強誘電体膜を形成する工程と、
を具備し、
前記強誘電体膜はPZT膜であり、前記PZT膜は、(111)+(001)、(001)、(001)+(110)及び(110)のいずれかに配向され、
前記強誘電体材料は、
ABO3あるいは(Bi2O2)2+(Am−1BmO3m+1)2−(式中、AはLi、Na、K、Rb、Pb、Ca、Sr、Ba、Bi、La及びHfからなる群から選択される少なくとも1種、BはRu、Fe、Ti、Zr、Nb、Ta、V、W及びMoからなる群から選択される少なくとも1種、mは5以下の自然数である。)で表されるペロブスカイト及びビスマス層状構造酸化物の少なくとも1つからなることを特徴とする強誘電体膜の製造方法。 - 請求項8において、前記PZT膜が(111)+(001)に配向されるときの前記炭素膜の膜厚は、前記PZT膜が(001)に配向されるときの前記炭素膜の膜厚より薄く、前記PZT膜が(001)に配向されるときの前記炭素膜の膜厚は、前記PZT膜が(001)+(110)に配向されるときの前記炭素膜の膜厚より薄く、前記PZT膜が(001)+(110)に配向されるときの前記炭素膜の膜厚は、前記PZT膜が(110)に配向されるときの前記炭素膜の膜厚より薄いことを特徴とする強誘電体膜の製造方法。
- 請求項7または8において、
前記炭素膜を形成する工程と前記アモルファス薄膜を形成する工程との間に、前記炭素膜上に(100)に配向したLNO膜を形成する工程をさらに具備し、
前記PZT膜は(001)に配向しており、
前記炭素膜は(100)に配向したDLC膜であることを特徴とする強誘電体膜の製造方法。 - 請求項6乃至10のいずれか一項において、
前記強誘電体膜が(111)+(001)に配向されるときの前記炭素膜の膜厚は10nm未満であり、前記強誘電体膜が(001)に配向されるときの前記炭素膜の膜厚は10nmであり、前記強誘電体膜が(001)+(110)に配向されるときの前記炭素膜の膜厚は10nm超100nm未満であり、前記強誘電体膜が(110)に配向されるときの前記炭素膜の膜厚は100nm以上であることを特徴とする強誘電体膜の製造方法。 - 請求項6乃至10のいずれか一項において、前記炭素膜は厚さ0.1nm〜100nmのDLC膜であることを特徴とする強誘電体膜の製造方法。
- 請求項10または12において、前記DLC膜に含有する水素量は50%以下であることを特徴とする強誘電体膜の製造方法。
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Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP5828293B2 (ja) | 2011-05-17 | 2015-12-02 | 三菱マテリアル株式会社 | Pzt強誘電体薄膜の製造方法 |
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---|---|---|---|---|
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JP2009070926A (ja) * | 2007-09-11 | 2009-04-02 | Tokyo Institute Of Technology | ペロブスカイト型酸化物薄膜の成膜方法および積層体 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10618285B2 (en) | 2016-06-17 | 2020-04-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric substrate and method of manufacturing the piezoelectric substrate, and liquid ejection head |
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