JP5508466B2

JP5508466B2 - Manufacturing method of glass substrate

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Publication number: JP5508466B2
Application number: JP2012091205A
Authority: JP
Inventors: 浩幸苅谷
Original assignee: Avanstrate Inc
Current assignee: Avanstrate Inc
Priority date: 2012-04-12
Filing date: 2012-04-12
Publication date: 2014-05-28
Anticipated expiration: 2032-04-12
Also published as: JP2013220950A; CN103373803A; CN103373803B

Description

本発明は、ガラス基板を製造するガラス基板の製造方法に関する。 The present invention relates to a glass substrate manufacturing method for manufacturing a glass substrate.

液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（以下、「ＦＰＤ」という。）に用いるガラス基板には、厚さが例えば０．５〜０．７ｍｍと薄いガラス板が用いられている。このＦＰＤ用ガラス基板は、例えば第１世代では３００×４００ｍｍのサイズであるが、第１０世代では２８５０×３０５０ｍｍのサイズになっている。 As a glass substrate used for a flat panel display (hereinafter referred to as “FPD”) such as a liquid crystal display or a plasma display, a thin glass plate having a thickness of, for example, 0.5 to 0.7 mm is used. For example, the FPD glass substrate has a size of 300 × 400 mm in the first generation, but has a size of 2850 × 3050 mm in the tenth generation.

このような大きなサイズのＦＰＤ用ガラス基板を製造するには、オーバーフローダウンドロー法がよく使用される。オーバーフローダウンドロー法は、成形炉において熔融ガラスを成形体の上部から溢れ（オーバーフロー）させることにより成形体の下方においてシートガラス（板状ガラス）を成形する工程と、シートガラスを徐冷炉において徐冷する冷却工程とを含む。徐冷炉は、対になったローラ間にシートガラスを引き込み下方に搬送することにより所望の厚さに引き伸ばしながら、シートガラスを徐冷する。この後、シートガラスは、所定の寸法に切断され、次工程へ送られる。 In order to manufacture such a large size glass substrate for FPD, an overflow down draw method is often used. In the overflow downdraw method, a step of forming a sheet glass (plate glass) below the formed body by causing the molten glass to overflow (overflow) from the upper part of the formed body in a forming furnace, and the sheet glass is gradually cooled in the slow cooling furnace. A cooling step. The slow cooling furnace slowly cools the sheet glass while drawing the sheet glass between a pair of rollers and transporting the sheet glass to a desired thickness. Thereafter, the sheet glass is cut into a predetermined size and sent to the next process.

このようなオーバーフローダウンドロー法を用いるガラス基板の製造方法が特許文献１に開示されている。特許文献１（特に段落００１８〜００２３を参照）には、成形体からオーバーフローされたシートガラスを挟持し、下方に引き下げる一対の引張りローラが開示されている。そして、この一対の引張りローラは、エアシリンダによって前進位置と後退位置との間を水平方向に移動される。つまり、この引張りローラを使用するときは前進挟持させ、使用しないときは後退開放させる。 A method for producing a glass substrate using such an overflow downdraw method is disclosed in Patent Document 1. Patent Document 1 (see particularly paragraphs 0018 to 0023) discloses a pair of pulling rollers that sandwich and pull down a sheet glass overflowed from a formed body. The pair of pulling rollers is moved in the horizontal direction between the forward position and the backward position by the air cylinder. That is, when the tension roller is used, it is clamped forward, and when it is not used, it is opened backward.

特開平５−１９３９６４号公報JP-A-5-193964

ところで、成形体からオーバーフローされた熔融ガラスは、反り、歪が一定の品質基準を満たすように冷却（徐冷）される。具体的には、反り及び歪が所定の値になるように、流れ方向に沿ってシートガラスの幅方向の温度プロファイルが予め設計されている。すなわち、予め設計された温度プロファイルとなるように温度管理を実行することにより、予め想定した反り、歪値のガラス基板を製造することができる。これによって、顧客先の反りおよび歪の品質基準を満たすガラス基板を製造することができる。したがって、シートガラスが設計された温度プロファイルとなるように、冷却装置やヒータなどを用いて厳密な温度管理を行っている。 By the way, the molten glass overflowed from the molded body is cooled (slowly cooled) so that warpage and strain satisfy a certain quality standard. Specifically, a temperature profile in the width direction of the sheet glass is designed in advance along the flow direction so that the warpage and distortion become predetermined values. That is, by performing temperature management so as to obtain a pre-designed temperature profile, it is possible to manufacture a glass substrate having a warp value and a strain value assumed in advance. This makes it possible to manufacture a glass substrate that satisfies the customer's warp and distortion quality standards. Therefore, strict temperature management is performed using a cooling device or a heater so that the sheet glass has a designed temperature profile.

ところが、徐冷工程において、上記のように設計された温度プロファイルとなるように厳密に温度管理を行っていても、その他の要因により製造されたガラス基板の反り、歪が予め想定した値からずれてしまい、その結果、品質基準を満たさなくなってしまう場合がある。例えば、上記のシートガラスを引き下げる引張りローラ対の配置が不適切な場合、シートガラスに対して不適切な応力がかかり、不適切な方向へ無理やり曲げられて引張られてしまう。また、ローラは次第に磨耗するので、適宜再配置（ローラ位置の再調整）が必要である。このように上記引張りローラが適切な位置に精度良く配置されていないと、所望の（予め想定した）反り値を有するガラス基板を得ることができない。 However, even if the temperature control is strictly controlled in the slow cooling process so as to achieve the temperature profile designed as described above, the warp and strain of the glass substrate manufactured due to other factors deviate from the values assumed in advance. As a result, the quality standard may not be satisfied. For example, when the arrangement of the pulling roller pair for pulling down the sheet glass is inappropriate, an inappropriate stress is applied to the sheet glass, and the sheet glass is forcibly bent and pulled in an inappropriate direction. Further, since the roller gradually wears out, it is necessary to rearrange it appropriately (readjustment of the roller position). Thus, if the pulling roller is not accurately arranged at an appropriate position, a glass substrate having a desired (previously assumed) warpage value cannot be obtained.

ところで、上記特許文献１には、後退していた引張りローラをエアシリンダにより前進させて、シートガラスを引張る（引き下げる）ことは記載されているが、具体的にはどのようにローラの位置決めをしているのかについては記載がない。 By the way, in the above-mentioned Patent Document 1, it is described that the pulling roller that has been moved backward is moved forward by an air cylinder and the sheet glass is pulled (pulled down), but specifically, how the roller is positioned. There is no description about whether it is.

そこで、本発明は、設計された温度プロファイルを再現した場合に実現することができるガラス基板の平面度（反り量）を精度良く得ることが可能なガラス基板の製造方法を提供することを目的とする。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a glass substrate manufacturing method capable of accurately obtaining the flatness (warpage amount) of the glass substrate that can be realized when the designed temperature profile is reproduced. To do.

本発明者は、成形体からオーバーフローして流下したシートガラスを下方に引張るローラ対を、シートガラスを挟持するように配置された固定ローラと可動ローラから構成し、固定ローラの位置を所定の適切な位置に精度良く位置決めでき、且つ容易に調整できるようにすることで、長期間の製造においてもシートガラスに不適切な（無理な）力が加わることがなく、上記課題を達成できることを知見し、以下の構成の発明を想到するに至った。 The present inventor configured a roller pair for pulling down the sheet glass that has overflowed and flowed down from the formed body by a fixed roller and a movable roller that are arranged so as to sandwich the sheet glass, and the position of the fixed roller is determined appropriately. It has been found that the above-mentioned problems can be achieved without improper (unreasonable) force being applied to the sheet glass even during long-term production by enabling accurate positioning at a precise position and easy adjustment. The inventors have come up with an invention having the following configuration.

（構成１の発明）
熔融ガラスを成形体からオーバーフローさせてシートガラスを成形し、前記成形体から流下した前記シートガラスをローラ対により下方に引張りながら徐冷するガラス基板の製造方法であって、前記ローラ対は、前記シートガラスを挟持するように配置された固定ローラと可動ローラから構成され、前記固定ローラに対して前記シートガラス側に第1の力を付与し、該第1の力によって前記シートガラス側に付勢された前記固定ローラが所定の位置で停止するように規制手段によって規制され、前記可動ローラに対して前記シートガラス側に第２の力を付与し、前記第１の力は前記第２の力よりも大となるように設定することを特徴とするガラス基板の製造方法である。 (Invention of Configuration 1)
A glass substrate is produced by overflowing molten glass from a molded body, forming a sheet glass, and slowly cooling the sheet glass flowing down from the molded body while pulling downward with a roller pair, A fixed roller and a movable roller are arranged so as to sandwich the sheet glass, and a first force is applied to the fixed roller on the sheet glass side, and the first force is applied to the sheet glass side. The biased fixed roller is regulated by a regulating means so as to stop at a predetermined position, and a second force is applied to the movable glass on the sheet glass side, and the first force is the second force It is a manufacturing method of a glass substrate characterized by setting so that it may become larger than force.

（構成２の発明）
前記シートガラスの反りを低減するように、前記固定ローラの前記シートガラス側への前進位置を前記規制手段によって規制して前記固定ローラの位置決めを行うことを特徴とする構成１に記載のガラス基板の製造方法である。 (Invention of Configuration 2)
The glass substrate according to Configuration 1, wherein the fixing roller is positioned by restricting a forward movement position of the fixing roller toward the sheet glass by the restricting means so as to reduce warpage of the sheet glass. It is a manufacturing method.

（構成３の発明）
前記ローラ対は、前記シートガラスの流下方向に沿って複数段備えられ、複数段のローラ対のそれぞれの前記固定ローラの芯の位置が一直線上になるようにそれぞれの前記固定ローラの位置決めを行うことを特徴とする構成２に記載のガラス基板の製造方法である。
（構成４の発明）
前記ローラ対は、前記シートガラスの流下方向に沿って複数段備えられ、製造されたシートガラスの反りに応じて、複数段のローラ対のそれぞれの前記固定ローラの位置を調整することを特徴とする構成２に記載のガラス基板の製造方法である。 (Invention of Configuration 3)
The roller pairs are provided in a plurality of stages along the flow direction of the sheet glass, and each of the fixed rollers is positioned so that the positions of the cores of the fixed rollers of the plurality of stages of roller pairs are in a straight line. It is a manufacturing method of the glass substrate of the structure 2 characterized by the above-mentioned.
(Invention of Configuration 4)
The roller pair is provided in a plurality of stages along the flow direction of the sheet glass, and the position of the fixed roller of each of the plurality of roller pairs is adjusted according to the warp of the manufactured sheet glass. It is a manufacturing method of the glass substrate of the structure 2 to do.

（構成５の発明）
前記成形体から流下した前記シートガラスを前記ローラ対により下方に引張りながら徐冷する際に形成される前記シートガラスの幅方向の温度プロファイルを、流れ方向に沿って所定の設定に制御することを特徴とする構成１乃至４のいずれか一項に記載のガラス基板の製造方法である。 (Invention of Configuration 5)
Controlling the temperature profile in the width direction of the sheet glass formed when the sheet glass flowing down from the molded body is slowly cooled while being pulled downward by the roller pair, to a predetermined setting along the flow direction. It is the manufacturing method of the glass substrate as described in any one of the structures 1 thru | or 4 characterized by the above-mentioned.

（構成６の発明）
前記シートガラスの幅方向に沿って設けられた熱源を用いて、前記シートガラスに、前記シートガラスの幅方向に沿って温度分布を与えて徐冷することを特徴とする構成１乃至５のいずれか一項に記載のガラス基板の製造方法である。 (Invention of Configuration 6)
Any one of the constitutions 1 to 5, wherein the sheet glass is subjected to a temperature distribution along the width direction of the sheet glass and gradually cooled using a heat source provided along the width direction of the sheet glass. A method for producing a glass substrate according to claim 1.

本発明によれば、徐冷工程において、成形体からオーバーフローして流下したシートガラスを下方に引張るローラ対を、シートガラスを挟持するように配置された固定ローラと可動ローラから構成し、固定ローラの位置を所定の適切な位置に精度良く位置決めでき、且つ容易に調整できるので、長期間の製造においてもシートガラスに不適切な（無理な）力が加わることがなく、予め想定した所望の、すなわち予め設計された温度プロファイルを再現した場合に実現することができるガラス基板の平面度（反り量）を精度良く得ることが可能となる。 According to the present invention, in the slow cooling process, the roller pair that pulls down the sheet glass that has overflowed and flowed down from the formed body is constituted by the fixed roller and the movable roller that are arranged so as to sandwich the sheet glass, and the fixed roller Can be accurately positioned at a predetermined appropriate position, and can be easily adjusted, so that an inappropriate (unreasonable) force is not applied to the sheet glass even in long-term production, In other words, it is possible to accurately obtain the flatness (warp amount) of the glass substrate that can be realized when a pre-designed temperature profile is reproduced.

本発明のガラス基板の製造方法のフローの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the flow of the manufacturing method of the glass substrate of this invention. 本発明における熔解工程乃至切断工程を行う装置の一例を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically an example of the apparatus which performs the melting process thru | or cutting process in this invention. 図２に示す成形装置の概略の側面図である。FIG. 3 is a schematic side view of the molding apparatus shown in FIG. 2. 本発明における温度プロファイルの制御に用いるヒータユニットを説明する図である。It is a figure explaining the heater unit used for control of the temperature profile in this invention. 本発明における複数の温度プロファイルを説明する図である。It is a figure explaining the several temperature profile in this invention. 本発明におけるローラ配置の制御方法の第１の実施の形態を示す要部側面図である。It is a principal part side view which shows 1st Embodiment of the control method of the roller arrangement | positioning in this invention. 本発明におけるローラ配置の制御方法の第２の実施の形態を示す要部側面図である。It is a principal part side view which shows 2nd Embodiment of the control method of the roller arrangement | positioning in this invention.

以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
（ガラス基板の製造方法の全体概要）
図１は、本発明の実施形態であるガラス基板の製造方法のフローを示す図である。
ガラス基板の製造方法は、熔解工程（ＳＴ１）と、清澄工程（ＳＴ２）と、均質化工程（ＳＴ３）と、供給工程（ＳＴ４）と、成形工程（ＳＴ５）と、冷却工程（ＳＴ６）と、切断工程（ＳＴ７）と、を主に有する。また、ガラス基板の製造方法は、研削工程、研磨工程、洗浄工程、検査工程、梱包工程等の他の工程を有する。梱包工程で積層された複数のガラス板は、納入先の業者（顧客）に搬送される。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
(Overall overview of glass substrate manufacturing method)
FIG. 1 is a diagram showing a flow of a glass substrate manufacturing method according to an embodiment of the present invention.
The glass substrate manufacturing method includes a melting step (ST1), a clarification step (ST2), a homogenization step (ST3), a supply step (ST4), a forming step (ST5), a cooling step (ST6), Cutting step (ST7). Moreover, the manufacturing method of a glass substrate has other processes, such as a grinding process, a grinding | polishing process, a washing | cleaning process, an inspection process, and a packing process. The plurality of glass plates stacked in the packing process are transported to a supplier (customer) as a delivery destination.

図２は、熔解工程（ＳＴ１）〜切断工程（ＳＴ７）を行う装置を模式的に示す図である。当該装置は、図２に示すように、熔解装置１００と、成形装置２００と、切断装置３００とを主に有する。熔解装置１００は、熔解槽１０１と、清澄槽１０２と、攪拌槽１０３と、第１配管１０４と、第２配管１０５と、第３配管１０６とを有する。成形装置２００については後述する。 FIG. 2 is a diagram schematically showing an apparatus for performing the melting step (ST1) to the cutting step (ST7). As shown in FIG. 2, the apparatus mainly includes a melting apparatus 100, a forming apparatus 200, and a cutting apparatus 300. The melting apparatus 100 includes a melting tank 101, a clarification tank 102, a stirring tank 103, a first pipe 104, a second pipe 105, and a third pipe 106. The molding apparatus 200 will be described later.

熔解工程（ＳＴ１）では、熔解槽１０１内に供給されたガラス原料を、図示されない火焔及び電気ヒータで加熱して熔解することで熔融ガラスＭＧを得る。清澄工程（ＳＴ２）は、清澄槽１０２において行われ、熔解槽１０１から第１配管１０４を通って供給された清澄槽１０２内の熔融ガラスＭＧを加熱することにより、熔融ガラスＭＧ中に含まれる酸素やＳＯ₂の気泡が、清澄剤の酸化還元反応により成長し液面に浮上して放出される、あるいは、気泡中のガス成分が熔融ガラスＭＧ中に吸収されて、気泡が消滅する。
均質化工程（ＳＴ３）では、清澄槽１０２から第２配管１０５を通って供給された攪拌槽１０３内の熔融ガラスＭＧを、スターラ１０３ａを用いて攪拌することにより、ガラス成分の均質化を行う。
供給工程（ＳＴ４）では、熔融ガラスＭＧが、攪拌槽１０３から第３配管１０６を通って成形装置２００に供給される。 In the melting step (ST1), molten glass MG is obtained by melting the glass raw material supplied into the melting tank 101 by heating with a flame and an electric heater (not shown). The clarification step (ST2) is performed in the clarification tank 102, and oxygen contained in the molten glass MG is heated by heating the molten glass MG in the clarification tank 102 supplied from the melting tank 101 through the first pipe 104. Or SO ₂ bubbles grow by the oxidation-reduction reaction of the clarifying agent and float on the liquid surface and are released, or gas components in the bubbles are absorbed into the molten glass MG, and the bubbles disappear.
In the homogenization step (ST3), the glass component is homogenized by stirring the molten glass MG in the stirring tank 103 supplied from the clarification tank 102 through the second pipe 105 using the stirrer 103a.
In the supply step (ST4), the molten glass MG is supplied from the stirring vessel 103 to the molding apparatus 200 through the third pipe 106.

成形装置２００では、成形工程（ＳＴ５）及び冷却工程（ＳＴ６）が行われる。
成形工程（ＳＴ５）では、熔融ガラスＭＧをシートガラスＳＧ（図３参照）に成形し、シートガラスＳＧの流れを作る。本実施形態では、後述する成形体２１０を用いたオーバーフローダウンドロー法を用いている。この場合、シートガラスＳＧの流れ方向（図中Ｚ方向）は、鉛直下方となる。冷却工程（ＳＴ６）では、成形されて流れるシートガラスＳＧが所望の厚さになり、冷却に起因する反り、歪が生じないように冷却される。
切断工程（ＳＴ７）では、切断装置３００において、成形装置２００から供給されたシートガラスＳＧが所定の長さに切断されることで、板状のガラス基板Ｇを得る。
この後、ガラス基板Ｇの端面の研削・研磨が行われた後、ガラス基板Ｇの洗浄が行われ、さらに、気泡や脈理等の異常欠陥の有無が検査された後、検査合格品のガラス基板Ｇが最終製品として梱包される。 In the molding apparatus 200, a molding process (ST5) and a cooling process (ST6) are performed.
In the forming step (ST5), the molten glass MG is formed into a sheet glass SG (see FIG. 3) to make a flow of the sheet glass SG. In the present embodiment, an overflow down draw method using a molded body 210 described later is used. In this case, the flow direction (Z direction in the figure) of the sheet glass SG is vertically downward. In the cooling step (ST6), the sheet glass SG which is formed and flows has a desired thickness and is cooled so as not to be warped or distorted due to cooling.
In the cutting step (ST7), the sheet glass SG supplied from the forming apparatus 200 is cut into a predetermined length in the cutting apparatus 300, whereby a plate-like glass substrate G is obtained.
Then, after grinding and polishing of the end face of the glass substrate G, the glass substrate G is cleaned, and further, the presence or absence of abnormal defects such as bubbles and striae is inspected, and then the glass that has passed the inspection. The substrate G is packed as a final product.

本実施形態において製造されるガラス基板Ｇは、例えば、液晶ディスプレイ用ガラス基板、有機ＥＬディスプレイ用ガラス基板、カバーガラスに好適に用いられる。また、このガラス基板は、その他、携帯端末機器などのディスプレイや筐体用のカバーガラス、タッチパネル板、太陽電池のガラス基板やカバーガラスとしても用いることができる。特に、ポリシリコンＴＦＴを用いた液晶ディスプレイ用ガラス基板に好適である。
また、ガラス基板Ｇの厚さは、例えば０．１ｍｍ〜１．５ｍｍである。好ましくは０．１〜１．２ｍｍ、より好ましくは０．３〜１．０ｍｍ、さらにより好ましくは０．３〜０．８ｍｍ、特に好ましくは０．３〜０．５ｍｍである。
さらに、ガラス基板Ｇの幅方向の長さは、例えば５００ｍｍ〜３５００ｍｍであり、１０００ｍｍ〜３５００ｍｍであることが好ましく、２０００ｍｍ〜３５００ｍｍであることがより好ましい。一方、ガラス基板Ｇの縦方向の長さも、例えば５００ｍｍ〜３５００ｍｍであり、１０００ｍｍ〜３５００ｍｍであることが好ましく、２０００ｍｍ〜３５００ｍｍであることがより好ましい。 The glass substrate G manufactured in the present embodiment is suitably used for, for example, a glass substrate for liquid crystal display, a glass substrate for organic EL display, and a cover glass. In addition, the glass substrate can also be used as a display for a portable terminal device, a cover glass for a housing, a touch panel plate, a glass substrate for a solar cell, or a cover glass. Particularly, it is suitable for a glass substrate for a liquid crystal display using a polysilicon TFT.
Moreover, the thickness of the glass substrate G is 0.1 mm-1.5 mm, for example. Preferably it is 0.1-1.2 mm, More preferably, it is 0.3-1.0 mm, More preferably, it is 0.3-0.8 mm, Most preferably, it is 0.3-0.5 mm.
Furthermore, the length of the glass substrate G in the width direction is, for example, 500 mm to 3500 mm, preferably 1000 mm to 3500 mm, and more preferably 2000 mm to 3500 mm. On the other hand, the length of the glass substrate G in the vertical direction is, for example, 500 mm to 3500 mm, preferably 1000 mm to 3500 mm, and more preferably 2000 mm to 3500 mm.

（ガラス基板の組成）
ガラス基板Ｇに用いるガラスは、例えば、ボロシリケートガラス、アルミノシリケートガラス、アルミノボロシリケートガラス、ソーダライムガラス、アルカリシリケートガラス、アルカリアルミノシリケートガラス、アルカリアルミノゲルマネイトガラスなどを適用することができる。なお、本発明に適用できるガラスは上記に限定されるものではない。 (Composition of glass substrate)
As the glass used for the glass substrate G, for example, borosilicate glass, aluminosilicate glass, aluminoborosilicate glass, soda lime glass, alkali silicate glass, alkali aluminosilicate glass, alkali aluminogermanate glass, or the like can be used. The glass applicable to the present invention is not limited to the above.

ガラス基板Ｇのガラス組成は例えば以下のものを挙げることができる。以下示す組成の含有率表示は、質量％である。
ＳｉＯ２：５０〜７０％、
Ａｌ２Ｏ３：０〜２５％、
Ｂ２Ｏ３：1〜１５％、
ＭｇＯ：０〜１０％、
ＣａＯ：０〜２０％、
ＳｒＯ：０〜２０％、
ＢａＯ：０〜１０％、
ＲＯ：５〜３０％（ただし、ＲはＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａの合量)、
を含有する無アルカリガラスであることが、好ましい。 The glass composition of the glass substrate G can mention the following, for example. The content rate display of the composition shown below is mass%.
SiO2: 50 to 70%,
Al2O3: 0 to 25%,
B2O3: 1-15%,
MgO: 0 to 10%,
CaO: 0 to 20%,
SrO: 0 to 20%,
BaO: 0 to 10%,
RO: 5 to 30% (where R is the total amount of Mg, Ca, Sr and Ba),
It is preferable that it is an alkali free glass containing.

なお、本実施形態では無アルカリガラスとしたが、ガラス基板Ｇはアルカリ金属を微量含んだアルカリ微量含有ガラスであってもよい。アルカリ金属を含有させる場合、Ｒ'₂Ｏの合計が０．１０％以上０．５％以下、好ましくは０．２０％以上０．５％以下 (ただし、Ｒ'はＬｉ、Ｎａ及びＫから選ばれる少なくとも１種であり、ガラス基板Ｇが含有するものである)含むことが好ましい。勿論、Ｒ’₂Ｏの合計が０．１０％未満であってもよい。また、ガラスの熔解を容易にするために、比抵抗を低下させるという観点から、ガラス中の酸化鉄の含有量が０．０１〜０．２％（好ましくは０．０１〜０．０８％）であることがさらに好ましい。また、清澄剤として添加される酸化錫の含有量が０．０１〜１％（好ましくは０．０１〜０．５％）であることがさらに好ましい。 In the present embodiment, alkali-free glass is used, but the glass substrate G may be alkali-containing glass containing a trace amount of alkali metal. When an alkali metal is contained, the total of R ′ ₂ O is 0.10% or more and 0.5% or less, preferably 0.20% or more and 0.5% or less (where R ′ is selected from Li, Na, and K) It is preferable that the glass substrate G contains at least one kind. Of course, the total of R ′ ₂ O may be less than 0.10%. In order to facilitate melting of the glass, the content of iron oxide in the glass is 0.01 to 0.2% (preferably 0.01 to 0.08%) from the viewpoint of reducing the specific resistance. More preferably. Moreover, it is more preferable that the content of tin oxide added as a fining agent is 0.01 to 1% (preferably 0.01 to 0.5%).

（成形装置の説明）
図３は、ガラス基板Ｇの成形装置２００の構成を示す側面図である。
成形装置２００は、成形工程（ＳＴ５）を行う成形炉２０１と、冷却工程（ＳＴ６）を行う徐冷炉２０２とを含む。 (Description of molding equipment)
FIG. 3 is a side view showing the configuration of the glass substrate G forming apparatus 200.
The molding apparatus 200 includes a molding furnace 201 that performs a molding process (ST5) and a slow cooling furnace 202 that performs a cooling process (ST6).

本実施形態で行う冷却工程（ＳＴ６）では、ガラス基板Ｇの反りおよび歪を低減するために、成形工程（ＳＴ５）で成形されたシートガラスＳＧの幅方向（図２に示す成形装置２００における水平方向）に沿って設けられた冷却ユニットおよびヒータユニットを用いて、シートガラスＳＧに、シートガラスＳＧの幅方向に沿って温度分布を与えながら冷却する徐冷処理を行う。 In the cooling step (ST6) performed in this embodiment, in order to reduce warpage and distortion of the glass substrate G, the width direction of the sheet glass SG formed in the forming step (ST5) (horizontal in the forming apparatus 200 shown in FIG. 2). Using the cooling unit and the heater unit provided along (direction), the sheet glass SG is cooled while being given a temperature distribution along the width direction of the sheet glass SG.

成形炉２０１及び徐冷炉２０２は、耐火レンガ、耐火断熱レンガ、あるいはファイバー系断熱材等の耐火物で構成された炉壁に囲まれて構成されている。成形炉２０１は、徐冷炉２０２に対して鉛直上方に設けられている。成形炉２０１及び徐冷炉２０２の炉壁で囲まれた炉内部空間には、成形体２１０と、雰囲気仕切り部材２２０と、冷却ローラ２３０と、冷却ユニット２４０と、搬送ローラ２５０ａ〜２５０ｃを含む複数の搬送ローラと、複数の温度調整装置とが設けられている。 The forming furnace 201 and the slow cooling furnace 202 are configured to be surrounded by a furnace wall made of a refractory material such as a refractory brick, a refractory heat insulating brick, or a fiber-based heat insulating material. The forming furnace 201 is provided vertically above the slow cooling furnace 202. In the furnace internal space surrounded by the furnace walls of the forming furnace 201 and the slow cooling furnace 202, a plurality of transports including a molded body 210, an atmosphere partition member 220, a cooling roller 230, a cooling unit 240, and transport rollers 250a to 250c. A roller and a plurality of temperature adjusting devices are provided.

成形体２１０は、図２に示すように、第３配管１０６を通して熔解装置１００から流れてくる熔融ガラスＭＧを、シートガラスＳＧに成形する。これにより、成形装置２００内で、鉛直下方のシートガラスＳＧの流れが作られる。成形体２１０は、耐火レンガ等によって構成された細長い構造体であり、図３に示すように断面が楔形状を成している。成形体２１０の上部には、熔融ガラスＭＧを導く流路となる溝２１２が設けられている。溝２１２は、成形体２１０に設けられた供給口において第３配管１０６と接続され、第３配管１０６を通して流れてくる熔融ガラスＭＧは、溝２１２を伝って流れる。溝２１２の深さは、熔融ガラスＭＧの流れの下流ほど浅くなっており、溝２１２から熔融ガラスＭＧが鉛直下方に向かって溢れ出るようになっている。
溝２１２から溢れ出た熔融ガラスＭＧは、成形体２１０の両側の側壁を伝わって流下する。側壁を流れた熔融ガラスＭＧは、成形体２１０の下方端部２１３（図３に示す）で合流し、１つのシートガラスＳＧが成形される。シートガラスＳＧは、図３に示すシートガラスＳＧの流下方向であるＺ方向に流れる。なお、成形体２１０の下方端部２１３の直下におけるシートガラスＳＧの温度は、１０^5.7〜１０^7.5ｐｏｉｓｅの粘度に相当する温度（例えば１０００〜１１３０℃）である。 As shown in FIG. 2, the formed body 210 forms molten glass MG flowing from the melting apparatus 100 through the third pipe 106 into a sheet glass SG. Thereby, the flow of the sheet glass SG in the vertically lower direction is created in the forming apparatus 200. The molded body 210 is a long and narrow structure made of firebrick or the like, and has a wedge-shaped cross section as shown in FIG. A groove 212 serving as a flow path for guiding the molten glass MG is provided in the upper part of the molded body 210. The groove 212 is connected to the third pipe 106 at a supply port provided in the molded body 210, and the molten glass MG flowing through the third pipe 106 flows along the groove 212. The depth of the groove 212 is shallower toward the downstream side of the flow of the molten glass MG, so that the molten glass MG overflows vertically downward from the groove 212.
The molten glass MG overflowing from the groove 212 flows down along the side walls on both sides of the molded body 210. The molten glass MG that has flowed through the side walls merges at the lower end 213 (shown in FIG. 3) of the molded body 210 to form one sheet glass SG. The sheet glass SG flows in the Z direction, which is the flow direction of the sheet glass SG shown in FIG. The temperature of the sheet glass SG immediately below the lower end 213 of the molded body 210 is a temperature corresponding to a viscosity of 10 ^5.7 to 10 ^7.5 poise (for example, 1000 to 1130 ° C.).

成形体２１０の下方端部２１３の下方近傍には、雰囲気仕切り部材２２０が設けられている。雰囲気仕切り部材２２０は、一対の板状の断熱部材であって、シートガラスＳＧを厚さ方向（図中Ｘ方向）の両側から挟むように、シートガラスＳＧの厚さ方向の両側に設けられている。シートガラスＳＧと雰囲気仕切り部材２２０との間には、雰囲気仕切り部材２２０がシートガラスＳＧに接触しない程度に隙間が設けられている。雰囲気仕切り部材２２０は、成形炉２０１の内部空間を仕切ることにより、雰囲気仕切り部材２２０の上方の炉内部空間と下方の炉内部空間との間の熱の移動を遮断する。 An atmosphere partition member 220 is provided near the lower portion of the lower end 213 of the molded body 210. The atmosphere partition member 220 is a pair of plate-like heat insulating members, and is provided on both sides in the thickness direction of the sheet glass SG so as to sandwich the sheet glass SG from both sides in the thickness direction (X direction in the drawing). Yes. A gap is provided between the sheet glass SG and the atmosphere partition member 220 to such an extent that the atmosphere partition member 220 does not contact the sheet glass SG. The atmosphere partition member 220 partitions the internal space of the molding furnace 201, thereby blocking heat transfer between the furnace internal space above the atmosphere partition member 220 and the furnace internal space below.

雰囲気仕切り部材２２０の下方には空冷式の冷却ローラ２３０が設けられている。冷却ローラ２３０は、図３に示すように、シートガラスＳＧを厚さ方向の両側から挟むように、シートガラスＳＧの厚さ方向の両側に設けられている。なお、冷却ローラ２３０は、シートガラスＳＧの幅方向両端部の温度が約１０^9・0ｐｏｉｓｅ以上の粘度に相当する温度（例えば９００℃以下）に低下するまで、冷却することが好ましい。 An air-cooled cooling roller 230 is provided below the atmosphere partition member 220. As shown in FIG. 3, the cooling roller 230 is provided on both sides in the thickness direction of the sheet glass SG so as to sandwich the sheet glass SG from both sides in the thickness direction. In addition, it is preferable to cool the cooling roller 230 until the temperature of the width direction both ends of the sheet glass SG falls to the temperature (for example, 900 degrees C or less) corresponded to the viscosity of about 10 < ⁹ > .0 poise or more.

雰囲気仕切り部材２２０の下方に冷却ユニット２４０が設けられている。冷却ユニット２４０は、複数の冷却装置から構成されている。 A cooling unit 240 is provided below the atmosphere partition member 220. The cooling unit 240 is composed of a plurality of cooling devices.

天板２０２ａの下方の天板２０２ａと天板２０２ｂに挟まれた領域には、温度調整装置が設けられている。この領域には搬送ローラ２５０ａがシートガラスＳＧの厚さ方向の両側のそれぞれに設けられている。さらに、この領域には、熱源であるヒータユニット２７０が、温度調整装置としてシートガラスＳＧの厚さ方向の両側のそれぞれに設けられている。ヒータユニット２７０は、シートガラスＳＧの幅方向の温度プロファイルを制御するように、シートガラスの幅方向に沿って複数設けられたヒータを有する。ヒータはそれぞれ、加熱量が調整可能である。 A temperature adjusting device is provided in a region sandwiched between the top plate 202a and the top plate 202b below the top plate 202a. In this region, conveyance rollers 250a are provided on both sides in the thickness direction of the sheet glass SG. Furthermore, in this region, heater units 270 as heat sources are provided on both sides in the thickness direction of the sheet glass SG as a temperature adjusting device. The heater unit 270 includes a plurality of heaters provided along the width direction of the sheet glass so as to control the temperature profile in the width direction of the sheet glass SG. Each heater can adjust the heating amount.

天板２０ｂの下方に隣接する天板（図示されず）と天板２０２ｂに挟まれた領域には、さらに、別のヒータユニット２７０を用いた温度調整装置が設けられている。 A temperature adjusting device using another heater unit 270 is further provided in a region sandwiched between a top plate (not shown) adjacent to the bottom of the top plate 20b and the top plate 202b.

図４は、上記ヒータユニット２７０を説明する図である。なお、図４では、搬送ローラ２５０ａの図示は省略されている。
ヒータユニット２７０は、シートガラスＳＧの幅方向に沿って５つのヒータ２７０ａ〜２７０ｅに分かれており、それぞれのヒータ２７０ａ〜２７０ｅがそれぞれ熱を発する。ヒータ２７０ａ〜２７０ｅは、例えば、クロム系発熱線等の熱源を備える。５つのヒータ２７０ａ〜２７０ｅのそれぞれの加熱量は個別に調整可能に構成されている。 FIG. 4 is a diagram for explaining the heater unit 270. In FIG. 4, the conveyance roller 250a is not shown.
The heater unit 270 is divided into five heaters 270a to 270e along the width direction of the sheet glass SG, and each of the heaters 270a to 270e generates heat. The heaters 270a to 270e include a heat source such as a chromium-based heating wire, for example. The heating amount of each of the five heaters 270a to 270e is configured to be individually adjustable.

上記冷却ローラ２３０、冷却ユニット２４０およびヒータユニット２７０により、例えば、以下のように、シートガラスＳＧが、予め設計された温度プロファイルに対応した温度分布を持つように、冷却する。図５は、本発明における複数の温度プロファイルを説明する図である。
粘性領域では、例えば、第１温度プロファイルＰ１が設計されている。粘弾性領域では、例えば、第２温度プロファイルＰ２、第３温度プロファイルＰ３および第４温度プロファイルＰ４が設計されている。
第１温度プロファイルＰ１は、シートガラスの幅方向の端部が端部に挟まれた中央領域の温度より低く、且つ、中央領域の温度が均一になるような温度プロファイルである。第１温度プロファイルＰ１により、幅方向の収縮を抑えつつ、シートガラスの板厚を均一にすることができる。
第２温度プロファイルＰ２は、シートガラスの幅方向の温度が中央部から端部に向かって漸減するような温度プロファイルである。第３温度プロファイルＰ３は、第２温度プロファイルＰ２と同様、シートガラスの幅方向の温度が中央部から端部に向かって漸減するような温度プロファイルであるが、温度勾配が第２温度プロファイルＰ２より低減されている。第４温度プロファイルＰ４は、ガラス歪点の近傍の温度領域において、シートガラスの幅方向の端部と中央部との温度勾配がさらに低減し、略均一になるような温度プロファイルである。第２温度プロファイルＰ２、第３温度プロファイルＰ３および第４温度プロファイルＰ４により、反り及び歪（残留応力）を低減できる。なお、シートガラスの中央領域は、板厚を均一にする対象の部分を含む領域であり、シートガラスの端部は、製造後に切断される対象の部分を含む領域である。 The sheet roller SG is cooled by the cooling roller 230, the cooling unit 240, and the heater unit 270 so as to have a temperature distribution corresponding to a temperature profile designed in advance, for example, as follows. FIG. 5 is a diagram illustrating a plurality of temperature profiles in the present invention.
In the viscous region, for example, the first temperature profile P1 is designed. In the viscoelastic region, for example, a second temperature profile P2, a third temperature profile P3, and a fourth temperature profile P4 are designed.
The first temperature profile P1 is a temperature profile in which the end portion in the width direction of the sheet glass is lower than the temperature of the central region sandwiched between the end portions, and the temperature of the central region is uniform. With the first temperature profile P1, it is possible to make the thickness of the sheet glass uniform while suppressing shrinkage in the width direction.
The second temperature profile P2 is a temperature profile in which the temperature in the width direction of the sheet glass gradually decreases from the central portion toward the end portion. Similarly to the second temperature profile P2, the third temperature profile P3 is a temperature profile in which the temperature in the width direction of the sheet glass gradually decreases from the central portion toward the end portion, but the temperature gradient is higher than that of the second temperature profile P2. Has been reduced. The fourth temperature profile P4 is a temperature profile in which the temperature gradient between the end portion and the center portion in the width direction of the sheet glass is further reduced and becomes substantially uniform in the temperature region near the glass strain point. Warpage and distortion (residual stress) can be reduced by the second temperature profile P2, the third temperature profile P3, and the fourth temperature profile P4. In addition, the center area | region of sheet glass is an area | region including the part of the object which makes plate | board thickness uniform, and the edge part of sheet glass is an area | region including the part of the object cut | disconnected after manufacture.

以上説明したとおり、成形体からオーバーフローされた熔融ガラスは、反り及び歪が生じないように、上述の徐冷工程が実施される。この徐冷工程においては、上述したように、反りが生じないように、流れ方向に沿ってシートガラスの幅方向の温度プロファイルが予め設計されており、シートガラスが設計された温度プロファイルとなるように、冷却装置やヒータなどを用いて厳密な温度管理を行っている。ところが、この徐冷工程において、上記のように設計された温度プロファイルとなるように厳密に温度管理を行っていても、その他の要因、例えば、上記のシートガラスを引き下げる搬送ローラ対の配置が不適切な場合、シートガラスに対して不適切な応力がかかり、その結果、製造されたガラス基板に反りが生じてしまい、予め想定した反り値を有するガラス基板を得ることができない。また、ローラは次第に磨耗するので、適宜再配置（ローラ位置の再調整）が必要である。このように上記搬送ローラが適切な位置に精度良く配置されていないと、所望の（予め想定した）反り値を有するガラス基板を得ることができない。 As described above, the above-described slow cooling step is performed on the molten glass overflowed from the formed body so that warpage and distortion do not occur. In this slow cooling step, as described above, the temperature profile in the width direction of the sheet glass is designed in advance along the flow direction so as not to warp, so that the sheet glass has the designed temperature profile. In addition, strict temperature control is performed using a cooling device, a heater, and the like. However, in this slow cooling process, even if temperature control is strictly performed so as to achieve the temperature profile designed as described above, other factors, for example, the arrangement of the pair of conveyance rollers for pulling down the sheet glass are not sufficient. When appropriate, improper stress is applied to the sheet glass. As a result, the manufactured glass substrate is warped, and a glass substrate having a warp value assumed in advance cannot be obtained. Further, since the roller gradually wears out, it is necessary to rearrange it appropriately (readjustment of the roller position). Thus, if the said conveyance roller is not arrange | positioned accurately in the appropriate position, the glass substrate which has a desired (previously assumed) curvature value cannot be obtained.

そこで、本発明では、成形体からオーバーフローして流下したシートガラスを下方に引張るローラ対を、シートガラスを挟持するように配置された固定ローラと可動ローラから構成し、固定ローラの位置を所定の適切な位置に精度良く位置決めでき、且つ容易に調整できるようにすることで、長期間の製造においてもシートガラスに不適切な（無理な）力が加わることがなく、上記課題を達成できることを特徴としている。以下、実施の形態に基づき説明する。 Therefore, in the present invention, the roller pair that pulls down the sheet glass that has overflowed and flowed down from the molded body is composed of a fixed roller and a movable roller that are arranged so as to sandwich the sheet glass, and the position of the fixed roller is set at a predetermined position. By enabling accurate positioning at an appropriate position and easy adjustment, the above-mentioned problems can be achieved without applying inappropriate (unreasonable) force to the sheet glass even during long-term production. It is said. Hereinafter, a description will be given based on the embodiment.

［第１の実施の形態］
図６は、本発明におけるローラ配置の制御方法に関わる第１の実施の形態を示す要部側面図である。
ここで示す固定ローラ１０と可動ローラ２０から構成されるローラ対は、前述の図３に示す成形装置２００における搬送ローラ２５０ａ〜２５０ｃに相当するものである。従って、上記ローラ対は、成形装置の徐冷炉内において、上方から流れてくるシートガラスを挟持し、シートガラスを引き出しながら下方に搬送する。 [First Embodiment]
FIG. 6 is a main part side view showing a first embodiment relating to a roller arrangement control method according to the present invention.
The roller pair composed of the fixed roller 10 and the movable roller 20 shown here corresponds to the transport rollers 250a to 250c in the molding apparatus 200 shown in FIG. Therefore, the roller pair sandwiches the sheet glass flowing from above in the slow cooling furnace of the molding apparatus, and conveys the sheet glass downward while pulling out the sheet glass.

上記固定ローラ１０は、側面視略くの字状のアーム１１の一端（下方端）に取り付けられている。上記アーム１１は、支点１２を軸心として上記固定ローラ１０が円弧を描くように回動可能に構成されている。
上記固定ローラ１０を取り付けたローラ軸１０ａは、図示しない駆動源によって所定方向（図中の反時計方向）に回転する。通常、搬送ローラの材質は断熱材であり、ローラ軸の材質は金属であり、本実施形態においても同様の材質のものが使用される。 The fixed roller 10 is attached to one end (lower end) of a substantially U-shaped arm 11 in side view. The arm 11 is configured to be rotatable so that the fixed roller 10 draws an arc with the fulcrum 12 as an axis.
The roller shaft 10a to which the fixed roller 10 is attached is rotated in a predetermined direction (counterclockwise in the figure) by a driving source (not shown). Usually, the material of the transport roller is a heat insulating material, and the material of the roller shaft is metal, and the same material is also used in this embodiment.

上記アーム１１の他端には、重り（分銅）２が取り付けられており、この重り２の荷重により、固定ローラ１０に対してシートガラスＳＧ側に向けて所定の力が付与されている。この力は、上記アーム１１の他端に加わる荷重によって調整でき、具体的には、重り２の数や取付位置によって調整する。 A weight (weight) 2 is attached to the other end of the arm 11, and a predetermined force is applied to the fixed roller 10 toward the sheet glass SG by the load of the weight 2. This force can be adjusted by the load applied to the other end of the arm 11, and specifically, it is adjusted by the number of weights 2 and the mounting position.

また、上記固定ローラ１０のローラ軸１０ａを支持するハウジングには係止部材１３が取り付けられており、この係止部材１３中をネジ１４が係合できるように係止部材１３内は螺刻されている。そして、ネジ１４の先端は所定位置に固定されたストッパー１５に当接する。従って、上記重り２の荷重によってシートガラスＳＧ側に付勢された固定ローラ１０は、上記ネジ１４の先端がストッパー１５に当接することで所定の位置で停止するように規制されるため、固定ローラ１０の前進位置をストッパーで規制して位置決めすることができる。上記ネジ１４のねじ込み量を変えると、上記係止部材１３とネジ１４との相対位置が変更されるので、固定ローラ１０の位置を微調整することもできる。なお、上記重り２を取り外すことにより、アーム１１を反時計方向に回動させて上記固定ローラ１０を退避する方向（シートガラスＳＧから離れる方向）に移動させることができる。 A locking member 13 is attached to the housing that supports the roller shaft 10a of the fixed roller 10. The locking member 13 is threaded so that the screw 14 can be engaged in the locking member 13. ing. And the front-end | tip of the screw | thread 14 contacts the stopper 15 fixed to the predetermined position. Accordingly, the fixed roller 10 urged toward the sheet glass SG by the load of the weight 2 is regulated so that it stops at a predetermined position when the tip of the screw 14 abuts against the stopper 15. The ten forward positions can be regulated by a stopper. When the screwing amount of the screw 14 is changed, the relative position between the locking member 13 and the screw 14 is changed, so that the position of the fixed roller 10 can be finely adjusted. In addition, by removing the weight 2, the arm 11 can be rotated in the counterclockwise direction to move the fixed roller 10 in a direction in which it is retracted (a direction away from the sheet glass SG).

一方、上記可動ローラ２０は、側面視略くの字状のアーム２１の一端（下方端）に取り付けられ、上記アーム２１は、支点２２を軸心として上記可動ローラ２０が円弧を描くように回動可能に構成されている。
上記アーム２１の他端には、重り（分銅）２が取り付けられており、この重り２の荷重により、可動ローラ２０に対してシートガラスＳＧ側に向けて所定の力が付与されている。この力は、上記アーム２１の他端に加わる荷重によって調整でき、具体的には、重り２の数や取付位置によって調整できる。 On the other hand, the movable roller 20 is attached to one end (lower end) of a substantially U-shaped arm 21 in a side view, and the arm 21 rotates so that the movable roller 20 draws an arc with a fulcrum 22 as an axis. It is configured to be movable.
A weight (weight) 2 is attached to the other end of the arm 21, and a predetermined force is applied to the movable roller 20 toward the sheet glass SG by the load of the weight 2. This force can be adjusted by the load applied to the other end of the arm 21. Specifically, the force can be adjusted by the number of weights 2 and the mounting position.

上記可動ローラ２０は、図示しない駆動源によって所定方向（図中の反時計方向）に回転する。可動ローラ２０に加わる付勢力（推力）が固定ローラ１０に加わる付勢力（推力）よりも大きいと、固定ローラ１０がシートガラス面から退避する方向に押込まれるため、固定ローラ１０に対してシートガラスＳＧ側に向けて付与される所定の力が、可動ローラ２０に対してシートガラスＳＧ側に向けて付与される所定の力よりも大きくなるように、上記重り２による荷重を調整する必要がある。 The movable roller 20 is rotated in a predetermined direction (counterclockwise in the figure) by a drive source (not shown). If the urging force (thrust) applied to the movable roller 20 is larger than the urging force (thrust) applied to the fixed roller 10, the fixed roller 10 is pushed in the direction of retreating from the sheet glass surface. It is necessary to adjust the load by the weight 2 so that the predetermined force applied toward the glass SG side is larger than the predetermined force applied toward the sheet glass SG side with respect to the movable roller 20. is there.

本実施の形態によれば、成形体からオーバーフローして流下したシートガラスを下方に引張るローラ対を、シートガラスを挟持するように配置された固定ローラ１０と可動ローラ２０から構成し、固定ローラの位置は、所定の適切な位置、すなわちシートガラスを垂直に引き出すための基準位置に精度良く位置決めすることができ、しかもその調整が容易にできる。一方、可動ローラも、重りによる荷重によってシートガラスに向けて所定の力が付与されており、可動ローラに付与される力はシートガラスを挟持する力そのものであるため、ガラス割れを起こさず、しかしガラスを保持できる力が付与されるように、重りによる荷重を調整することができる。つまり、ローラ位置が所定の位置に精度良く位置決めされている固定ローラに可動ローラを従動させるように調整されればよい。また、ローラの磨耗等により、固定ローラ位置の再調整が必要な場合には、上記ネジ１４のねじ込み量の調節により、固定ローラ位置を容易に微調整することが可能である。 According to the present embodiment, the roller pair that pulls downward the sheet glass that has overflowed and flowed down from the formed body is constituted by the fixed roller 10 and the movable roller 20 that are arranged so as to sandwich the sheet glass, The position can be accurately positioned at a predetermined appropriate position, that is, a reference position for pulling out the sheet glass vertically, and can be easily adjusted. On the other hand, the movable roller is also given a predetermined force toward the sheet glass due to the load due to the weight, and the force applied to the movable roller is the force itself for sandwiching the sheet glass, so that the glass does not break, but The load due to the weight can be adjusted so that a force capable of holding the glass is applied. That is, the roller position may be adjusted so that the movable roller is driven by a fixed roller that is accurately positioned at a predetermined position. Further, when it is necessary to readjust the position of the fixed roller due to wear of the roller or the like, the position of the fixed roller can be easily finely adjusted by adjusting the screwing amount of the screw 14.

従って、長期間の製造においてもシートガラスに不適切な（無理な）力が加わることがなく、設計した温度プロファイルにより想定した所望の平面度（反り量）を有するガラス基板を安定して製造することができる。
また、徐冷工程において、通常、上記ローラ対は、シートガラスの流下方向に沿って複数段備えられるが、複数段のローラ対のそれぞれの前記固定ローラの芯の位置が例えば一直線上になるように配置することができる。また、製造されたシートガラスの反りに応じて、各段のそれぞれの固定ローラの芯位置を適宜調整してもよい。本実施の形態によれば、各段の固定ローラの位置決めを精度良く且つ容易に行うことができるので、複数段のローラ対を適切に配置することが可能になる。 Accordingly, an inappropriate (unreasonable) force is not applied to the sheet glass even during long-term production, and a glass substrate having a desired flatness (warping amount) assumed by the designed temperature profile is stably produced. be able to.
In the slow cooling step, the roller pairs are usually provided in a plurality of stages along the flow direction of the sheet glass, and the positions of the cores of the fixed rollers of the plurality of roller pairs are, for example, in a straight line. Can be arranged. Further, the core position of each fixed roller in each stage may be adjusted as appropriate according to the warp of the manufactured sheet glass. According to the present embodiment, it is possible to accurately and easily position each stage of the fixed roller, and thus it is possible to appropriately arrange a plurality of stages of roller pairs.

［第２の実施の形態］
図７は、本発明におけるローラ配置の制御方法に関わる第２の実施の形態を示す要部側面図である。
本実施の形態では、固定ローラと可動ローラをエアシリンダによって前進あるいは後退（退避）させる。
本実施の形態においては、固定ローラ３０を支持するローラ軸３０ａの軸受３１の下部に、ベアリングを内蔵するハウジング３２が設けられており、このハウジング３２には、エアシリンダ３３の作動軸３４が取り付けられている。上記ハウジング３２内のベアリングはレール部材４０と係合している。従って、エアシリンダ３３の作動によって、レール部材４０上を上記枠体３２が水平方向に移動するに伴って、上記固定ローラ３０はシートガラスＳＧに向けて前進（あるいは後退）する。このとき、固定ローラの前進位置は、上記レール部材４０に取り付けられたストッパー４１によって所定の位置（つまりシートガラスを垂直に引き出すための基準位置）に規制される。 [Second Embodiment]
FIG. 7 is a side view of an essential part showing a second embodiment relating to a roller arrangement control method according to the present invention.
In the present embodiment, the fixed roller and the movable roller are moved forward or backward (retracted) by the air cylinder.
In the present embodiment, a housing 32 containing a bearing is provided below the bearing 31 of the roller shaft 30a that supports the fixed roller 30, and an operating shaft 34 of an air cylinder 33 is attached to the housing 32. It has been. The bearing in the housing 32 is engaged with the rail member 40. Accordingly, as the air cylinder 33 is actuated, the fixed roller 30 moves forward (or retracts) toward the sheet glass SG as the frame 32 moves in the horizontal direction on the rail member 40. At this time, the forward movement position of the fixed roller is restricted to a predetermined position (that is, a reference position for pulling out the sheet glass vertically) by the stopper 41 attached to the rail member 40.

一方、可動ローラ５０側も、可動ローラ５０を支持するローラ軸５０ａの軸受５１の下部に、ベアリングを内蔵するハウジング５２が設けられており、このハウジング５２には、エアシリンダ５３の作動軸５４が取り付けられている。上記ハウジング５２内のベアリングは固定ローラ側と同じくレール部材４０と係合している。従って、エアシリンダ５３の作動によって、レール部材４０上を上記枠体５２が水平方向に移動するに伴って、上記可動ローラ５０はシートガラスＳＧに向けて前進（あるいは後退）する。また、固定ローラ３０に対してシートガラスＳＧ側に向けて付与される所定の力が、可動ローラ５０に対してシートガラスＳＧ側に向けて付与される所定の力よりも大きくなるように、エアシリンダにより付与される力を調整する必要がある。 On the other hand, on the movable roller 50 side, a housing 52 containing a bearing is provided below the bearing 51 of the roller shaft 50 a that supports the movable roller 50, and the operating shaft 54 of the air cylinder 53 is provided in the housing 52. It is attached. The bearing in the housing 52 is engaged with the rail member 40 in the same manner as the fixed roller side. Therefore, as the frame body 52 moves in the horizontal direction on the rail member 40 by the operation of the air cylinder 53, the movable roller 50 moves forward (or moves backward) toward the sheet glass SG. Further, the air is applied so that the predetermined force applied to the fixed roller 30 toward the sheet glass SG is larger than the predetermined force applied to the movable roller 50 toward the sheet glass SG. It is necessary to adjust the force applied by the cylinder.

本実施の形態においても、成形体からオーバーフローして流下したシートガラスを下方に引張るローラ対を、シートガラスを挟持するように配置された固定ローラ３０と可動ローラ５０から構成し、固定ローラの位置は、固定ローラの前進位置をストッパー４１で規制して、所定の適切な位置、すなわちシートガラスを垂直に引き出すための基準位置に精度良く位置決めすることができる。しかもその位置決めは容易にできる。一方、可動ローラ５０も、エアシリンダによってシートガラスに向けて所定の力が付与されており、可動ローラに付与される力はシートガラスを挟持する力そのものであるため、ガラス割れを起こさず、しかしガラスを保持できる力が付与されるように、エアシリンダの圧力（圧力調整弁）等により調整することができる。つまり、ローラ位置が所定の位置に精度良く位置決めされている固定ローラに可動ローラを従動させるように調整されればよい。また、ローラの磨耗等により、固定ローラ位置の再調整が必要な場合には、上記ストッパー４１の調節により、固定ローラ位置を容易に微調整することが可能である。 Also in the present embodiment, the roller pair that pulls down the sheet glass that has overflowed and flowed down from the formed body is composed of the fixed roller 30 and the movable roller 50 that are arranged so as to sandwich the sheet glass, and the position of the fixed roller The advance position of the fixed roller is regulated by the stopper 41, and can be accurately positioned at a predetermined appropriate position, that is, a reference position for pulling out the sheet glass vertically. Moreover, the positioning can be easily performed. On the other hand, the movable roller 50 is also given a predetermined force toward the sheet glass by the air cylinder, and the force applied to the movable roller is a force itself for sandwiching the sheet glass, so that the glass does not break, but It can be adjusted by the pressure of the air cylinder (pressure adjusting valve) or the like so that a force capable of holding the glass is applied. That is, the roller position may be adjusted so that the movable roller is driven by a fixed roller that is accurately positioned at a predetermined position. Further, when the fixed roller position needs to be readjusted due to wear of the roller or the like, the fixed roller position can be easily finely adjusted by adjusting the stopper 41.

従って、長期間の製造においてもシートガラスに不適切な（無理な）力が加わることがなく、設計した温度プロファイルにより想定した所望の平面度（反り量）を有するガラス基板を安定して製造することができる。 Accordingly, an inappropriate (unreasonable) force is not applied to the sheet glass even during long-term production, and a glass substrate having a desired flatness (warping amount) assumed by the designed temperature profile is stably produced. be able to.

以下、本発明を実施例によってさらに具体的に説明する。
本発明のガラス基板の製造方法を実施するための本実施形態の製造装置を用いて、ガラス基板を製造した。なお、前述の搬送ローラ（図３）は、前述の図６に示す実施形態によって構成し、そのローラの配置を調整した。また、ガラス原料は、以下の組成となるように調合した。
ＳｉＯ₂ ６１％，
Ａｌ₂Ｏ₃ １７％，
Ｂ₂Ｏ₃ １１％，
ＣａＯ６％，
ＳｒＯ３％，
ＢａＯ１％ Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples.
The glass substrate was manufactured using the manufacturing apparatus of this embodiment for implementing the manufacturing method of the glass substrate of this invention. In addition, the above-mentioned conveyance roller (FIG. 3) was comprised by embodiment shown in above-mentioned FIG. 6, and the arrangement | positioning of the roller was adjusted. Moreover, the glass raw material was prepared so that it might become the following compositions.
SiO ₂ 61%,
Al ₂ O ₃ 17%,
B ₂ O ₃ 11%,
CaO 6%,
SrO 3%,
BaO 1%

製造したガラス基板のそれぞれについて、各１週間に渡って３時間毎に１枚（８枚／日）づつサンプリングし、各５６枚のサンプルにつき平面度（反り量）を測定し、それぞれの平均値を算出した。
その結果、本実施形態のガラス基板の製造装置により製造されたガラス基板の平面度は所定値以下に低減し、良好な結果が得られた。また、ガラス割れの発生の頻度も低減した。
なお、平面度については、レーザ変位計を用いて測定した。
これより、本発明によるガラス基板の製造方法の効果は明確である。 For each of the manufactured glass substrates, one piece (8 pieces / day) was sampled every 3 hours over one week, and the flatness (warp amount) was measured for each 56 pieces of samples, and the average value of each was obtained. Was calculated.
As a result, the flatness of the glass substrate manufactured by the glass substrate manufacturing apparatus of the present embodiment was reduced to a predetermined value or less, and good results were obtained. In addition, the frequency of occurrence of glass breakage was reduced.
In addition, about flatness, it measured using the laser displacement meter.
From this, the effect of the manufacturing method of the glass substrate by this invention is clear.

本実施形態では、熱源としてヒータを複数備えるヒータユニットを用いたが、熱源は、熱を放射する発熱源であるヒータに限られず、熱風をシートガラスＳＧに向けて提供する高温エアー吹き付け装置をシートガラスＳＧの幅方向に複数設けたものであってもよい。 In the present embodiment, a heater unit including a plurality of heaters is used as a heat source. However, the heat source is not limited to a heater that is a heat source that radiates heat, and a high-temperature air blowing device that provides hot air toward the sheet glass SG is used as a sheet. A plurality of glass SGs may be provided in the width direction.

以上、本発明のガラス基板の製造方法について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。 As mentioned above, although the manufacturing method of the glass substrate of this invention was demonstrated in detail, this invention is not limited to the said embodiment, In the range which does not deviate from the main point of this invention, you may make various improvement and a change. Of course.

１０、３０固定ローラ
２０，５０可動ローラ
１５，４１ストッパー
３３，５３エアシリンダ
１００熔解装置
１０１熔解槽
１０２清澄槽
１０３攪拌槽
１０４第１配管
１０５第２配管
１０６第３配管
２００成形装置
２０１成形炉
２０２徐冷炉
２０２ａ，２０２ｂ天板
２１０成形体
２１２溝
２１３下方端部
２２０雰囲気仕切り部材
２３０冷却ローラ
２４０冷却ユニット
２４２中央部冷却ユニット
２４２冷却量調整ユニット
２４４端部冷却ユニット
２５０ａ〜２５０ｃ搬送ローラ
２７０ヒータユニット
２７０ａ〜２７０ｅヒータ
３００切断装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10, 30 Fixed roller 20, 50 Movable roller 15, 41 Stopper 33, 53 Air cylinder 100 Melting apparatus 101 Melting tank 102 Clarification tank 103 Agitation tank 104 1st piping 105 2nd piping 106 3rd piping 200 Molding apparatus 201 Molding furnace 202 Slow cooling furnaces 202a and 202b Top plate 210 Molded body 212 Groove 213 Lower end 220 Atmosphere partition member 230 Cooling roller 240 Cooling unit 242 Central cooling unit 242 Cooling amount adjustment unit 244 End cooling units 250a to 250c Conveying roller 270 Heater units 270a to 270a 270e heater 300 cutting device

Claims

A method for producing a glass substrate, wherein molten glass is overflowed from a molded body to form a sheet glass, and the sheet glass flowing down from the molded body is gradually cooled while being pulled downward by a roller pair,
The roller pair is composed of a fixed roller and a movable roller arranged so as to sandwich the sheet glass,
A first force is applied to the fixed roller on the sheet glass side, and the fixed roller is biased toward the sheet glass by the first force and is regulated by a regulating unit so as to stop at a predetermined position. And
A second force is applied to the movable glass on the sheet glass side,
The method of manufacturing a glass substrate, wherein the first force is set to be larger than the second force.

2. The glass according to claim 1, wherein the fixing roller is positioned by restricting a forward movement position of the fixed roller toward the sheet glass by the restricting means so as to reduce warpage of the sheet glass. A method for manufacturing a substrate.

The roller pairs are provided in a plurality of stages along the flow direction of the sheet glass, and each of the fixed rollers is positioned so that the positions of the cores of the fixed rollers of the plurality of stages of roller pairs are aligned. The manufacturing method of the glass substrate of Claim 2 characterized by the above-mentioned.

The roller pair is provided in a plurality of stages along the flow direction of the sheet glass, and the position of the fixed roller of each of the plurality of roller pairs is adjusted according to the warp of the manufactured sheet glass. The manufacturing method of the glass substrate of Claim 2 to do.

Controlling the temperature profile in the width direction of the sheet glass formed when the sheet glass flowing down from the molded body is slowly cooled while being pulled downward by the roller pair, to a predetermined setting along the flow direction. The manufacturing method of the glass substrate as described in any one of Claims 1 thru | or 4 characterized by the above-mentioned.

The heat source provided along the width direction of the sheet glass is used to gradually cool the sheet glass by giving a temperature distribution along the width direction of the sheet glass. The manufacturing method of the glass substrate as described in any one.