JP5507219B2 - Liquid coating apparatus and liquid coating method - Google Patents

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本発明は、液体塗布装置及び液体塗布方法に関するものであり、より詳細には、被塗布物に対し機能性液体を塗布する塗布動作部を備えた液体塗布装置、及びこれを用いた液体塗布方法に関する。   The present invention relates to a liquid application apparatus and a liquid application method, and more specifically, a liquid application apparatus including an application operation unit that applies a functional liquid to an object to be applied, and a liquid application method using the same. About.

インクジェットヘッドを用いてワークにインク液滴を塗布し所定の塗布形状を実現する液体塗布技術の一例としては、液晶テレビジョンなどに用いられるカラーフィルタを製造する技術が挙げられる。このようなカラーフィルタを製造する技術においては、赤、緑、青の各画素を該当色のインクで塗布する。また、この種の技術では、ブラックマトリクスによって物理的に仕切られた領域に赤、緑、青の各色インクを塗布することで着色し、カラーフィルタを形成する。   As an example of a liquid application technique that realizes a predetermined application shape by applying ink droplets to a work using an inkjet head, there is a technique for manufacturing a color filter used in a liquid crystal television or the like. In the technology for manufacturing such a color filter, each pixel of red, green, and blue is applied with ink of a corresponding color. In this type of technology, the color filter is formed by applying red, green, and blue color inks to the areas physically partitioned by the black matrix.

インクジェットヘッドを用いてカラーフィルタを製造する従来技術としては、例えば特許文献1に開示されている。特許文献1に記載の技術では、各画素(被着色部)にインクを吐出するに際し、最初と最後のインク滴の吐出量を減らすことにより、各画素内でインクを均一な高さで埋め、画素内で均一な色のカラーフィルタを実現している。また、特許文献1に記載の技術では、画素内においてインク滴の塗布位置を詳細に設定した塗布パターンを作成し、作成した塗布パターンに従って、インク滴の塗布動作を行っている。さらに、特許文献1に記載の技術では、インク滴の着弾位置がずれた場合にも、隣接する画素への影響を低減して(インク塗布対象エリアから外れることなく)、インク滴の塗布が可能になる。   As a conventional technique for manufacturing a color filter using an inkjet head, for example, it is disclosed in Patent Document 1. In the technique described in Patent Document 1, when ink is ejected to each pixel (colored portion), the ink is filled at a uniform height in each pixel by reducing the ejection amount of the first and last ink droplets. A color filter having a uniform color within the pixel is realized. In the technique disclosed in Patent Document 1, a coating pattern in which the ink droplet coating position is set in detail in a pixel is created, and ink droplet coating operation is performed according to the created coating pattern. Furthermore, with the technique described in Patent Document 1, even when the landing position of the ink droplet is shifted, the influence on the adjacent pixel is reduced (without deviating from the ink application target area) and the ink droplet can be applied. become.

また、特許文献1と異なり、特別な塗布パターンを用いずに液体を塗布する従来技術では、液体塗布装置により一義的に決められた塗布位置へ液体塗布を実行する技術や、観察用カメラ等を利用して直接塗布位置を指定し、指定された塗布位置への塗布を実行する技術が知られている。   Further, unlike Patent Document 1, in the prior art for applying a liquid without using a special application pattern, a technique for executing liquid application to an application position uniquely determined by a liquid application apparatus, an observation camera, etc. A technique is known in which the application position is directly specified using the application and application to the specified application position is executed.

特開2001−154008号公報(2001年6月8日公開)JP 2001-154008 A (released on June 8, 2001)

しかしながら、上述のような従来技術には、以下の問題がある。   However, the conventional techniques as described above have the following problems.

まず、特許文献1に開示されているような塗布パターンは、被塗布物であるワークの種類によって決定されるパターンである。特許文献1に開示された技術では、ワークの種類によって塗布すべき画素のサイズが異なってしまうため、各種類のワークに対応させて、専用の塗布パターンを形成する必要がある。あるいは、該当種類のワーク分だけ塗布パターンを用意しておく必要がある。それゆえ、ワークの種類が変われば、新たに塗布パターンを作成する必要がある。   First, the coating pattern as disclosed in Patent Document 1 is a pattern determined by the type of workpiece that is an object to be coated. In the technique disclosed in Patent Document 1, since the size of the pixel to be applied differs depending on the type of work, it is necessary to form a dedicated application pattern corresponding to each type of work. Alternatively, it is necessary to prepare coating patterns for the corresponding types of workpieces. Therefore, if the type of workpiece changes, it is necessary to create a new coating pattern.

また、直接塗布位置を指定し、指定された塗布位置への塗布を実行する技術では、丸形形状以外の塗布形状の塗布膜を形成する場合等、複数箇所への塗布が必要な場合、以下の問題が生じる。すなわち、この場合、1箇所ずつ塗布位置を直接指定し、その度に塗布位置を選択する必要性が生じる。それゆえ、液体塗布処理までの時間がかかってしまう。また、塗布位置を選択する作業で、位置ずれ等の選択ミスが発生する確率が増えるため、塗布形状の信頼性が欠如する。   In addition, in the technique of directly specifying the application position and executing application to the specified application position, when application to multiple locations is required, such as when forming an application film with an application shape other than a round shape, Problem arises. That is, in this case, it is necessary to directly specify the application position one by one and select the application position each time. Therefore, it takes time until the liquid application process. In addition, in the operation of selecting the application position, the probability of occurrence of a selection error such as misalignment increases, so that the reliability of the application shape is lacking.

このように従来の液体塗布技術では、ワーク毎に専用の塗布パターンを作成して、液体をワークに塗布する必要がある。また、塗布すべき塗布位置が複数である場合、個々の塗布位置を指定して塗布する必要があるため、塗布を行うまでに必要な事前の工程数が多くなる。そして、この工程数の増加に伴う作業ミスの発生が懸念される。また、塗布前の事前工程全てを実行する時間が、実際の塗布処理時間よりも長くなってしまうといった不具合が生じる。   Thus, in the conventional liquid application technique, it is necessary to create a dedicated application pattern for each work and apply the liquid to the work. In addition, when there are a plurality of application positions to be applied, it is necessary to specify and apply each application position, so that the number of steps required before application is increased. And there is a concern about the occurrence of work mistakes accompanying the increase in the number of processes. Moreover, the time which performs all the preliminary processes before application | coating will become the malfunction that it will become longer than the actual application | coating process time.

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、塗布を行うまでに必要な事前の処理時間を短縮し、かつ作業ミスをなくして、ワークの様々な種類または様々な塗布形状に対し信頼性が高い塗布を実行することができる液体塗布装置、及びこれを用いた液体塗布方法を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and its purpose is to reduce various types of workpieces or various types of workpieces by shortening the prior processing time required before coating and eliminating work errors. An object of the present invention is to provide a liquid coating apparatus capable of performing highly reliable coating with respect to various coating shapes, and a liquid coating method using the same.

本発明の液体塗布装置は、上記の課題を解決するために、被塗布物に対し機能性液体を塗布する塗布動作部を備えた液体塗布装置であって、異なる塗布パターンが設定された、複数の塗布マップを記憶するマップ記憶手段と、複数の塗布マップから1つの塗布マップを選択し、当該塗布マップにおける塗布パターンに従った塗布の実行を、上記塗布動作部へ指令する塗布実行手段とを備えたことを特徴としている。   In order to solve the above-described problems, the liquid application apparatus of the present invention is a liquid application apparatus including an application operation unit that applies a functional liquid to an object to be applied, and a plurality of different application patterns are set. Map storage means for storing the application map, and application execution means for selecting one application map from the plurality of application maps and instructing the application operation unit to execute application according to the application pattern in the application map. It is characterized by having prepared.

上記の構成によれば、マップ記憶手段に、予め種々の異なる塗布パターンが塗布マップとして登録されており、塗布実行手段が、これら塗布パターンの中から所望の塗布マップを選択し、当該塗布マップにおける塗布パターンに従った塗布の実行を、上記塗布動作部へ指令するようになっている。また、被塗布物における塗布位置として1箇所だけ設定すれば、その箇所にしたがって塗布マップに設定された塗布が実行される。それゆえ、上記の構成によれば、複数箇所の塗布位置を要する塗布に対しても、一度の塗布位置設定を行えば事足りる。なお、「塗布位置設定」とは、被塗布物おける液体塗布領域にあるセンター位置が、塗布マップにあるセンター位置に合致するような設定のことをいう。   According to the above configuration, various different application patterns are registered in advance in the map storage means as application maps, and the application execution means selects a desired application map from these application patterns, and in the application map The application operation unit is instructed to execute application in accordance with the application pattern. Moreover, if only one place is set as the application position on the object to be applied, the application set in the application map is executed in accordance with that position. Therefore, according to the above-described configuration, it is sufficient to perform one application position setting even for an application that requires a plurality of application positions. Note that “application position setting” refers to a setting in which the center position in the liquid application region of the application object matches the center position in the application map.

したがって、上記の構成によれば、被塗布物の所定の塗布位置に所望の塗布形状の塗布膜を塗布したい場合、被塗布物上の一点の塗布位置と塗布マップとを選択するだけで所望の塗布膜を塗布することができる。また、種々の塗布形状の塗布膜を形成したい場合であっても、被塗布物に塗布すべき塗布形状に対応する塗布パターンが設定された塗布マップを選択するだけで、所望の塗布膜を塗布することができる。   Therefore, according to the above configuration, when a coating film having a desired application shape is to be applied to a predetermined application position of the object to be applied, it is only necessary to select a single application position and application map on the object to be applied. A coating film can be applied. Even if you want to form coating films with various coating shapes, you can apply the desired coating film by simply selecting a coating map that has a coating pattern that corresponds to the coating shape to be coated on the workpiece. can do.

以上のように、上記の構成によれば、塗布を行うまでに必要な事前の処理時間を短縮し、かつ作業ミスをなくして、ワークの様々な種類または様々な塗布形状に対し信頼性が高い塗布を実行することができる液体塗布装置を実現することができる。   As described above, according to the above-described configuration, it is possible to reduce the prior processing time required for performing coating and eliminate work mistakes, and it is highly reliable for various types of workpieces or various coating shapes. A liquid coating apparatus capable of performing coating can be realized.

また、本発明の液体塗布装置では、上記塗布マップは、n個×m個(n及びmは2以上の整数)の格子領域から構成されており、上記塗布パターンは、上記格子領域それぞれについて、塗布実行、または塗布不実行が選択された単位塗布パターンから構成され、塗布実行が選択された単位塗布パターンについて、塗布順序が設定されていることが好ましい。   In the liquid coating apparatus of the present invention, the coating map is composed of n × m (n and m are integers greater than or equal to 2) lattice regions, and the coating pattern is for each of the lattice regions. It is preferable that the application order is set for the unit application pattern that is configured from the unit application pattern for which application execution or application non-execution is selected.

上記の構成によれば、上記塗布マップは、n個×m個(n及びmは2以上の整数)の格子領域から構成されている。そして、上記塗布パターンは、上記格子領域それぞれについて、塗布実行、または塗布不実行が選択された単位塗布パターンから構成され、塗布実行が選択された単位塗布パターンについて、塗布順序が設定されている。このように、塗布マップに設定された塗布パターンを、格子領域毎の塗布実行、または塗布不実行が選択された単位塗布パターンで表現し、該単位塗布パターンの塗布順序を設定することにより、被塗布物に対する塗布形状のバリエーションを多くすることができる。それゆえ、上記の構成によれば、被塗布物上の一点の塗布位置を設定するだけで、様々な塗布形状の塗布膜形成を、新たな塗布パターンを作成することなく実現することができる。   According to said structure, the said application | coating map is comprised from the grid area | region of n piece xm pieces (n and m are integers greater than or equal to 2). The application pattern is composed of unit application patterns for which application execution or application non-execution is selected for each of the lattice regions, and the application order is set for the unit application patterns for which application execution has been selected. In this way, the application pattern set in the application map is expressed by a unit application pattern in which application execution or application non-execution is selected for each lattice area, and the application order of the unit application patterns is set, thereby The variation of the application shape with respect to an application thing can be increased. Therefore, according to the above-described configuration, it is possible to realize formation of coating films having various coating shapes without creating a new coating pattern only by setting a single coating position on an object to be coated.

本発明の液体塗布装置では、上記塗布実行手段は、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを入力する入力部を備えたことが好ましい。   In the liquid coating apparatus according to the aspect of the invention, it is preferable that the coating execution unit includes an input unit that inputs a pitch of a lattice region in the coating map.

上記の構成によれば、上記塗布実行手段は、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを入力する入力部を備えているので、上記マップ記憶手段に記憶された塗布マップの縮尺を変え、設定された塗布パターンのサイズを変えることができる。それゆえ、上記の構成によれば、様々な塗布形状の塗布膜を、様々なサイズで作成することができる。   According to the above configuration, since the application execution unit includes the input unit for inputting the pitch of the lattice area in the application map, the scale of the application map stored in the map storage unit is changed and set. The size of the application pattern can be changed. Therefore, according to the above configuration, coating films having various coating shapes can be formed in various sizes.

本発明の液体塗布装置では、上記入力部は、上記被塗布物の種類に応じて、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを可変させて入力することが好ましい。   In the liquid coating apparatus according to the aspect of the invention, it is preferable that the input unit performs input by changing the pitch of the lattice area in the coating map in accordance with the type of the object to be coated.

これにより、被塗布物の種類が変わっても、塗布マップの縮尺を変えることで、塗布マップにより塗布可能なエリアのサイズを変えることができる。それゆえ、上記の構成によれば、被塗布物の種類が変わっても、常に塗布形状に関する信頼性を維持することができる。また、従来のように、塗布パターンを新たに作成する、あるいは被塗布物の種類分だけ塗布パターンを用意し該当被塗布物の種類に合致した塗布パターンを呼び出すといった作業が必要なくなる。したがって、上記の構成によれば、塗布を行うまでに必要な事前の処理時間を短縮し、かつ作業ミスをなくすことができる。   Thereby, even if the kind of to-be-coated object changes, the size of the area which can be apply | coated by an application map can be changed by changing the reduced scale of an application map. Therefore, according to the configuration described above, it is possible to always maintain the reliability regarding the application shape even if the type of the object to be applied changes. Further, unlike the prior art, it is not necessary to create a new coating pattern, or to prepare a coating pattern corresponding to the type of the object to be coated and to call the coating pattern that matches the type of the object to be coated. Therefore, according to said structure, the prior processing time required before apply | coating can be shortened, and an operation mistake can be eliminated.

本発明の液体塗布装置では、上記被塗布物は、複数のセルによって仕切られた基板であり、上記入力部は、上記被塗布物のセルサイズに応じて、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを可変させて入力することが好ましい。   In the liquid coating apparatus of the present invention, the object to be coated is a substrate partitioned by a plurality of cells, and the input unit sets the pitch of the lattice area in the coating map according to the cell size of the object to be coated. It is preferable that the input is made variable.

上記被塗布物が複数のセルによって仕切られた基板(例えば、液晶パネルの画素)であり、基板の種類によってセルサイズが変わる場合にも、塗布マップの縮尺を変えることができるので、塗布マップにより塗布可能なエリアのサイズを変えることができる。それゆえ、上記の構成によれば、例えば常にセル全体(画素全体)を埋めるような塗布を、新たな塗布パターンを形成することなく実行することができる。   The application object is a substrate (for example, a pixel of a liquid crystal panel) partitioned by a plurality of cells, and even when the cell size changes depending on the type of substrate, the scale of the application map can be changed. The size of the area that can be applied can be changed. Therefore, according to the configuration described above, for example, coating that always fills the entire cell (entire pixel) can be performed without forming a new coating pattern.

本発明の液体塗布装置では、上記塗布動作部は、上記被塗布物に対し機能性液体からなる液滴を吐出する液体吐出部を備えており、上記入力部は、上記被塗布物に対する上記液滴の着弾サイズに応じて、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを可変させて入力することが好ましい。   In the liquid coating apparatus of the present invention, the coating operation unit includes a liquid ejection unit that ejects droplets made of a functional liquid onto the object to be coated, and the input unit includes the liquid for the object to be coated. It is preferable to input by changing the pitch of the lattice area in the application map according to the droplet landing size.

これにより、被塗布物への液滴の濡れ広がり性により塗布形状のサイズが変わってしまう場合でも、上記被塗布物に対する上記液滴の着弾サイズに応じて、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを可変させて入力することで、塗布形状のサイズを変えることができる。例えば画素に対して塗布を行う場合でも、上記の構成によれば、画素のサイズに応じた塗布形状での塗布を実現することができる。   As a result, even when the size of the coating shape changes due to the wettability of the droplets on the coating object, the pitch of the lattice area in the coating map is set according to the landing size of the droplets on the coating object. The size of the coating shape can be changed by changing the input. For example, even when coating is performed on a pixel, according to the above configuration, it is possible to realize coating with a coating shape corresponding to the size of the pixel.

本発明の液体塗布方法は、上記の課題を解決するために、被塗布物に対し機能性液体を塗布する液体塗布方法であって、異なる塗布パターンが設定された、複数の塗布マップを作成し、複数の塗布マップから1つの塗布マップを選択し、当該塗布マップにおける塗布パターンに従った塗布を実行することを特徴としている。   In order to solve the above problems, the liquid application method of the present invention is a liquid application method for applying a functional liquid to an object to be coated, and creates a plurality of application maps in which different application patterns are set. One application map is selected from a plurality of application maps, and application according to the application pattern in the application map is executed.

これにより、被塗布物の所定の塗布位置に所望の塗布形状の塗布膜を塗布したい場合、被塗布物上の一点の塗布位置と塗布マップとを選択するだけで所望の塗布膜を塗布することができる。また、種々の塗布形状の塗布膜を形成したい場合であっても、被塗布物に塗布すべき塗布形状に対応する塗布パターンが設定された塗布マップを選択するだけで、所望の塗布膜を塗布することができる。   As a result, when a coating film having a desired coating shape is to be applied to a predetermined application position of the object to be coated, the desired coating film can be applied only by selecting a single application position and an application map on the object to be coated. Can do. Even if you want to form coating films with various coating shapes, you can apply the desired coating film by simply selecting a coating map that has a coating pattern that corresponds to the coating shape to be coated on the workpiece. can do.

それゆえ、上記の構成によれば、塗布を行うまでに必要な事前の処理時間を短縮し、かつ作業ミスをなくして、ワークの様々な種類または様々な塗布形状に対し信頼性が高い塗布を実行することができる液体塗布方法を実現することができる。   Therefore, according to the above configuration, it is possible to apply a highly reliable coating to various types of workpieces or various coating shapes, reducing the prior processing time required before coating and eliminating work errors. A liquid application method that can be performed can be realized.

本発明の液体塗布装置は、以上のように、被塗布物に対する塗布形状ごとに塗布パターンが設定された、複数の塗布マップを記憶するマップ記憶手段と、複数の塗布マップから1つの塗布マップを選択し、当該塗布マップにおける塗布パターンに従った塗布の実行を、上記塗布動作部へ指令する塗布実行手段とを備えた構成である。   As described above, the liquid coating apparatus of the present invention has a map storage unit that stores a plurality of coating maps in which a coating pattern is set for each coating shape on an object to be coated, and one coating map from the plurality of coating maps. And an application execution unit that instructs the application operation unit to execute application according to the application pattern in the application map.

また、本発明の液体塗布方法は、以上のように、塗布形状ごとに塗布パターンが設定された、複数の塗布マップを作成し、複数の塗布マップから1つの塗布マップを選択し、当該塗布マップにおける塗布パターンに従った塗布を実行する構成である。   Further, as described above, the liquid application method of the present invention creates a plurality of application maps in which application patterns are set for each application shape, selects one application map from the plurality of application maps, and applies the application map. It is the structure which performs application | coating according to the application | coating pattern.

それゆえ、塗布を行うまでに必要な事前の処理時間を短縮し、かつ作業ミスをなくして、ワークの様々な種類または様々な塗布形状に対し信頼性が高い塗布を実行することができる。   Therefore, it is possible to perform highly reliable coating for various types of workpieces or various coating shapes without shortening the pre-processing time required before coating and eliminating work errors.

本発明の実施の一形態の液体塗布装置の概略構成を示した模式図である。It is the schematic diagram which showed schematic structure of the liquid coating device of one Embodiment of this invention. マップ記憶手段に格納する塗布パターンを設定するための、塗布マップの構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the application | coating map for setting the application | coating pattern stored in a map memory | storage means. 塗布マップに対し設定した塗布パターンの一例を示した模式図である。It is the schematic diagram which showed an example of the application pattern set with respect to the application map. 塗布マップに対し設定した塗布パターンの他の例を示した模式図である。It is the schematic diagram which showed the other example of the application pattern set with respect to the application map. ワークに対して図3に示された塗布パターンで液体塗布を実行したときの、液体塗布状態を示し、(a)は、図3に示された塗布パターンを説明するための模式図であり、(b)は、ワークにおける液体塗布状態を示す模式図である。FIG. 3 shows a liquid application state when liquid application is performed on the workpiece with the application pattern shown in FIG. 3, and (a) is a schematic diagram for explaining the application pattern shown in FIG. (B) is a schematic diagram which shows the liquid application state in a workpiece | work. 図5(b)に示されたセルサイズCp1と異なるセルサイズであるワークに対して図3に示された塗布パターンで液体塗布を実行したときの、液体塗布状態を示し、(a)は、図3に示された塗布パターンを説明するための模式図であり、(b)は、ワークにおける液体塗布状態を示す模式図である。FIG. 5B shows a liquid application state when the liquid application is performed with the application pattern shown in FIG. 3 on a workpiece having a cell size different from the cell size Cp1 shown in FIG. 5B. It is a schematic diagram for demonstrating the application | coating pattern shown by FIG. 3, (b) is a schematic diagram which shows the liquid application state in a workpiece | work. ワークに対して図4に示された塗布パターンで液体塗布を実行したときの、液体塗布状態を示し、(a)は、図4に示された塗布パターンを説明するための模式図であり、(b)は、ワークにおける液体塗布状態を示す模式図である。FIG. 4 shows a liquid application state when liquid application is performed on the workpiece with the application pattern shown in FIG. 4, and (a) is a schematic diagram for explaining the application pattern shown in FIG. (B) is a schematic diagram which shows the liquid application state in a workpiece | work. 本発明の実施の一形態の液体塗布方法における、塗布準備作業から塗布実行作業までの工程を示し、図8(a)は塗布準備作業の工程を示すフローチャートであり、図8(b)は塗布実行作業の工程を示すフローチャートである。FIG. 8A is a flowchart showing the steps of the application preparation work, and FIG. 8B is a flow chart showing the steps of the application preparation work in the liquid application method according to the embodiment of the present invention. It is a flowchart which shows the process of execution work.

本発明は、ワークの所定位置に対して所望する形状で機能性材料を含む液体(以下、機能性液体と記す)を塗布する液体塗布装置及びこれを用いる方法に関する。本発明の実施の一形態について、以下に説明する。   The present invention relates to a liquid application apparatus for applying a liquid containing a functional material (hereinafter referred to as a functional liquid) in a desired shape to a predetermined position of a workpiece and a method using the same. One embodiment of the present invention will be described below.

図1は、本実施形態の液体塗布装置の概略構成を示した模式図である。同図に示されるように、本実施形態の液体塗布装置(以下、単に本液体塗布装置と記す)は、インクジェットヘッド1内に充填されているインク(機能性液体)を、被塗布物であるワーク10に滴下することで、ワーク10に機能性材料からなる塗布膜を形成する装置である。   FIG. 1 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the liquid coating apparatus of the present embodiment. As shown in the figure, the liquid coating apparatus of the present embodiment (hereinafter simply referred to as the present liquid coating apparatus) is an object to be coated with ink (functional liquid) filled in the inkjet head 1. It is an apparatus for forming a coating film made of a functional material on the work 10 by dropping the work 10.

本液体塗布装置は、ワーク10に塗布されるインクの塗布パターンをインクジェットヘッド1によるインク吐出動作を行うインク塗布動作部(塗布動作部)100と、インク塗布動作部100によるインク塗布全般を制御する塗布制御部200とを備えている。   The liquid application apparatus controls an ink application operation unit (application operation unit) 100 that performs an ink ejection operation of the ink jet head 1 on an ink application pattern applied to the workpiece 10 and an overall ink application by the ink application operation unit 100. And an application control unit 200.

インク塗布動作部100は、インクジェットヘッド(液体吐出部)1と、ワーク10を観察するための観察カメラ2と、塗布したインク(液体)を高温乾燥するヒーター3と、ワーク10を載置する載置台4と、ワークステージ5と、メンテナンスユニット6と、基台7と、架台8と、ヘッドステージ9とを備えている。   The ink application operation unit 100 includes an inkjet head (liquid ejection unit) 1, an observation camera 2 for observing the workpiece 10, a heater 3 for drying the applied ink (liquid) at a high temperature, and a workpiece 10. The stage 4, the work stage 5, the maintenance unit 6, the base 7, the gantry 8, and the head stage 9 are provided.

基台7は、インク塗布動作部100本体の基盤となる。基台7には、ワークステージ5、メンテナンスユニット6、及び架台8が設けられている。ワークステージ5には、載置台4が取り付けられている。また、ワークステージ5は、図1における手前から奥へ向かう方向、すなわちY方向に移動し位置決めされる。メンテナンスユニット6は、インクジェットヘッド1のクリーニング等を施すユニットである。   The base 7 becomes a base of the main body of the ink application operation unit 100. The base 7 is provided with a work stage 5, a maintenance unit 6, and a gantry 8. A mounting table 4 is attached to the work stage 5. Further, the work stage 5 is moved and positioned in the direction from the front to the back in FIG. 1, that is, in the Y direction. The maintenance unit 6 is a unit for cleaning the inkjet head 1 and the like.

また、インクジェットヘッド1、観察カメラ2、及びヒーター3は、ワーク10におけるインク塗布面と対向するように配置されており、ヘッドステージ9に取り付けられている。ヘッドステージ9は、架台8によって保持され、図1におけるX方向に移動し位置決めされる。   Further, the inkjet head 1, the observation camera 2, and the heater 3 are disposed so as to face the ink application surface of the workpiece 10, and are attached to the head stage 9. The head stage 9 is held by the gantry 8 and moved and positioned in the X direction in FIG.

インク塗布動作部100では、ワークステージ5のY方向移動及びヘッドステージ9のX方向移動により、インクジェットヘッド1とワーク10との相対位置が決定される。そして、インクジェットヘッド1によるインク吐出により、ワーク10にインクが塗布される。そして、塗布されたインクは、ヒーター3により乾燥されることで、ワーク10に機能性材料からなる塗布膜が形成される。   In the ink application operation unit 100, the relative position between the inkjet head 1 and the work 10 is determined by the movement of the work stage 5 in the Y direction and the movement of the head stage 9 in the X direction. Then, ink is applied to the workpiece 10 by ink ejection by the inkjet head 1. Then, the applied ink is dried by the heater 3, whereby a coating film made of a functional material is formed on the workpiece 10.

次に、インク塗布動作部100によるインク塗布全般を制御する塗布制御部200について、説明する。塗布制御部200は、インターフェース部11と、塗布動作制御部12と、モニタ16と、外部データ入力手段(入力部)17とを備えている。   Next, the application control unit 200 that controls the overall ink application by the ink application operation unit 100 will be described. The application control unit 200 includes an interface unit 11, an application operation control unit 12, a monitor 16, and an external data input unit (input unit) 17.

インターフェース部11は、塗布動作制御部12とインク塗布動作部100の各種部材との間の情報のやりとりを仲介するものであり、インクジェットヘッド1、ヘッドステージ9等のドライバを含んでいる。また、外部データ入力手段17は、塗布動作制御部12と通信可能になっており、ワーク10に関する塗布情報等を入力する。この外部データ入力手段17は、操作ボタンやキーボード、もしくはワーク10の塗布情報が格納されている外部機器との通信機能等を備えている。モニタ16は、外部データ入力手段17により入力された情報や観察カメラ2により撮像されたワーク10の画像を表示する。   The interface unit 11 mediates exchange of information between the application operation control unit 12 and various members of the ink application operation unit 100, and includes drivers such as the inkjet head 1 and the head stage 9. The external data input unit 17 can communicate with the application operation control unit 12 and inputs application information regarding the workpiece 10. The external data input means 17 has a communication function with an operation button, a keyboard, or an external device in which application information of the workpiece 10 is stored. The monitor 16 displays information input by the external data input unit 17 and an image of the workpiece 10 captured by the observation camera 2.

塗布動作制御部12は、塗布実行手段13と、塗布動作設定手段14と、マップ記憶手段15とを備えている。マップ記憶手段15は、複数の塗布マップを記憶し格納する。マップ記憶手段15に格納された各塗布マップには、ワーク10に対する塗布形状ごとに塗布パターンが設定されている。塗布動作設定手段14は、外部データ入力手段17から塗布情報を入力するとともに、該塗布情報に基づいて、複数の塗布マップから、ワーク10に塗布すべき塗布形状に対応する塗布パターンが設定された塗布マップを選択し、インク塗布動作の設定を行う。塗布実行手段13は、インク塗布動作部100に対し、塗布動作設定手段14にて設定されたインク塗布動作を指令する。   The application operation control unit 12 includes an application execution unit 13, an application operation setting unit 14, and a map storage unit 15. The map storage means 15 stores and stores a plurality of application maps. In each application map stored in the map storage unit 15, an application pattern is set for each application shape on the workpiece 10. The application operation setting unit 14 inputs application information from the external data input unit 17 and, based on the application information, an application pattern corresponding to the application shape to be applied to the workpiece 10 is set from a plurality of application maps. The application map is selected and the ink application operation is set. The application execution unit 13 instructs the ink application operation unit 100 to perform the ink application operation set by the application operation setting unit 14.

このように、本液体塗布装置においては、マップ記憶手段15に、予めワーク10に対する種々の塗布形状に相当する塗布パターンが塗布マップとして登録されており、これら塗布パターンの中から所望の塗布マップを選択し、インク塗布を実行するようになっている。また、ワーク10における塗布すべき塗布位置として1箇所だけ設定すれば、その箇所にしたがって塗布マップに設定されたインク塗布が実行される。それゆえ、複数箇所の塗布位置を要する塗布に対しても、一度の塗布位置設定を行えば事足りる。   Thus, in the present liquid application apparatus, application patterns corresponding to various application shapes for the workpiece 10 are registered in advance in the map storage means 15 as application maps, and a desired application map is selected from these application patterns. Select and execute ink application. Further, if only one application position is set as the application position on the workpiece 10, the ink application set in the application map is executed according to that position. Therefore, it is sufficient to set the application position once even for application requiring a plurality of application positions.

したがって、本液体塗布装置によれば、ワーク10の所定の塗布位置に所望の塗布形状の塗布膜を塗布したい場合、ワーク10上の一点の塗布位置と塗布マップとを選択するだけで所望の塗布膜を塗布することができる。、種々のまた塗布形状の塗布膜を形成したい場合であっても、ワーク10に塗布すべき塗布形状に対応する塗布パターンが設定された塗布マップを選択するだけで、所望の塗布膜を塗布することができる。   Therefore, according to this liquid coating apparatus, when a coating film having a desired coating shape is to be coated at a predetermined coating position on the workpiece 10, the desired coating can be performed simply by selecting a single coating position on the workpiece 10 and a coating map. A film can be applied. Even when it is desired to form coating films having various coating shapes, a desired coating film can be coated only by selecting a coating map in which a coating pattern corresponding to the coating shape to be coated on the workpiece 10 is selected. be able to.

なお、図1に示される液体塗布装置では、インクジェットヘッド1が1個搭載されているが、複数の液体を塗布するため、複数のインクジェットヘッド1が搭載される場合もある。また、図1では図示していないが、載置台4には、ワーク10を吸着保持する吸着機構が搭載されている。また、本液体塗布装置には、インクジェットヘッド1へインクを供給するインク供給部が備えられている(不図示)。さらに、ワーク10は、載置台4に載置後、ワークステージ5に対して直角平行に保持されている方が塗布位置への移動に関して作業性が高い。このため、本液体塗布装置では、ワーク10の姿勢補正機構であるワークアライメント機構が設けられていることが望ましい。図1では、ワークアライメント機構を省略している。   In the liquid coating apparatus shown in FIG. 1, one inkjet head 1 is mounted. However, in order to apply a plurality of liquids, a plurality of inkjet heads 1 may be mounted. Although not shown in FIG. 1, a suction mechanism that sucks and holds the workpiece 10 is mounted on the mounting table 4. In addition, the liquid application apparatus includes an ink supply unit that supplies ink to the inkjet head 1 (not shown). Furthermore, after the workpiece 10 is mounted on the mounting table 4, the workability of moving the workpiece 10 to the application position is higher when the workpiece 10 is held at a right angle to the workpiece stage 5. For this reason, in this liquid application apparatus, it is desirable that a work alignment mechanism that is a posture correction mechanism of the work 10 is provided. In FIG. 1, the workpiece alignment mechanism is omitted.

次に、本液体塗布装置を用いたワーク10への液体塗布方法(以下、本液体塗布方法と記す)について、説明する。   Next, a liquid application method (hereinafter referred to as the present liquid application method) to the workpiece 10 using the liquid application apparatus will be described.

まず、載置台4にワーク10を載置する。そして、載置されたワーク10について、該ワーク10への塗布情報を外部データ入力手段17により読み込む。   First, the workpiece 10 is mounted on the mounting table 4. Then, with respect to the placed workpiece 10, the application data on the workpiece 10 is read by the external data input means 17.

外部データ入力手段により読み込まれた塗布情報にしたがって、塗布動作設定手段14は、マップ記憶手段3からワーク10への塗布に使用する塗布マップを選択する。そして、塗布実行手段13が、選択された塗布マップにしたがった液体塗布動作をインク塗布動作部100へ指令する。なお、「塗布情報」とは、使用する塗布マップ番号、塗布を行う位置情報、及び塗布マップの格子ピッチを含む情報のことをいう。「塗布情報」の詳細については、後述する。また、ワーク10への塗布情報については、本液体塗布装置の載置台4にワークを載置した後、観察カメラ2でワーク10のカメラ観察を行いながら決定してもよい。   According to the application information read by the external data input unit, the application operation setting unit 14 selects an application map to be used for application to the workpiece 10 from the map storage unit 3. Then, the application execution unit 13 instructs the ink application operation unit 100 to perform a liquid application operation according to the selected application map. Note that “application information” refers to information including the application map number to be used, position information for application, and the grid pitch of the application map. Details of the “application information” will be described later. The application information on the workpiece 10 may be determined while the workpiece 10 is observed by the observation camera 2 after the workpiece is placed on the mounting table 4 of the liquid coating apparatus.

このように、本液体塗布方法では、ワーク10に対する塗布形状ごとに塗布パターンが設定された、複数の塗布マップを作成し、複数の塗布マップから1つの塗布マップを選択し、当該塗布マップにおける塗布パターンに従った塗布を実行する。それゆえ、本液体塗布方法によれば、ワーク10の所定の塗布位置に所望の塗布形状の塗布膜を塗布したい場合、ワーク10上の一点の塗布位置と塗布マップとを選択するだけで所望の塗布膜を塗布することができる。また、種々の塗布形状の塗布膜を形成したい場合であっても、ワーク10に塗布すべき塗布形状に対応する塗布パターンが設定された塗布マップを選択するだけで、所望の塗布膜を塗布することができる。   Thus, in the present liquid application method, a plurality of application maps in which application patterns are set for each application shape on the workpiece 10 are created, one application map is selected from the plurality of application maps, and application in the application map is performed. Apply according to the pattern. Therefore, according to the present liquid application method, when a coating film having a desired application shape is to be applied to a predetermined application position of the workpiece 10, a desired application position and application map on the workpiece 10 are simply selected. A coating film can be applied. Further, even when it is desired to form coating films having various coating shapes, a desired coating film can be coated only by selecting a coating map in which a coating pattern corresponding to the coating shape to be coated on the workpiece 10 is selected. be able to.

次に、塗布マップについて、説明する。この塗布マップは、n個×m個(n及びmは2以上の整数)の格子領域から構成されている。そして、塗布マップに設定されている塗布パターンは、上記格子領域それぞれについて、塗布実行、または塗布不実行が選択された単位塗布パターンから構成されている。   Next, the application map will be described. This application map is composed of n × m (n and m are integers of 2 or more) lattice regions. The application pattern set in the application map is composed of unit application patterns for which application execution or application non-execution is selected for each of the lattice regions.

図2は、マップ記憶手段15に格納する塗布パターンを設定するための、塗布マップの構成を示す模式図である。同図に示されるように、塗布マップ20は、5×5の格子領域21から構成されるマトリックスになっている。また、各格子領域21の場所は、A1〜E5で示されている。そして、A1〜E5で示される格子領域21の各場所に対し、塗布を実行する/実行しないといった設定を行うことで、単位塗布パターンを形成する。それゆえ、塗布マップに設定されている塗布パターンは、「塗布を実行する」と設定された単位塗布パターンから構成されている。したがって、本液体塗布方法によれば、所望の塗布パターンが形成された塗布マップ20を設定することができる。なお、図2に示された塗布マップ20においては、場所C3に配された格子領域21のセンター位置22が、ワーク10への塗布位置情報と一致するように設定される。   FIG. 2 is a schematic diagram showing a configuration of an application map for setting an application pattern to be stored in the map storage unit 15. As shown in the figure, the application map 20 is a matrix composed of 5 × 5 lattice regions 21. The locations of the lattice areas 21 are indicated by A1 to E5. Then, a unit application pattern is formed by performing setting such that application is performed or not performed for each location of the lattice region 21 indicated by A1 to E5. Therefore, the application pattern set in the application map is composed of unit application patterns set to “execute application”. Therefore, according to the present liquid application method, it is possible to set the application map 20 on which a desired application pattern is formed. In the application map 20 shown in FIG. 2, the center position 22 of the lattice area 21 arranged at the location C <b> 3 is set so as to coincide with the application position information on the workpiece 10.

図3は、塗布マップ20に対し設定した塗布パターンの一例を示した模式図である。図3に示される塗布パターンは、場所A2,C2,E2,A4,C4及びE4の格子領域(単位塗布パターン)21に対して塗布がなされるパターンである。なお、図3に示された番号(1) 〜(6) は、塗布する順序を示している。図3に示される塗布パターンでは、(1) から(6) へ順に塗布が実行される。図3に示された塗布パターンは、ワーク10に対して長方形の塗布形状が得られる例である。図3に示された塗布パターンに設定することで得られるワーク10に対する塗布形状については、後述の図5及び図6を参照して、さらに詳述する。   FIG. 3 is a schematic diagram showing an example of an application pattern set for the application map 20. The application pattern shown in FIG. 3 is a pattern that is applied to the lattice areas (unit application patterns) 21 at locations A2, C2, E2, A4, C4, and E4. Note that the numbers (1) to (6) shown in FIG. 3 indicate the order of application. In the coating pattern shown in FIG. 3, coating is executed in order from (1) to (6). The application pattern shown in FIG. 3 is an example in which a rectangular application shape is obtained for the workpiece 10. The coating shape for the workpiece 10 obtained by setting the coating pattern shown in FIG. 3 will be described in more detail with reference to FIGS. 5 and 6 described later.

上記のような塗布パターンの設定、すなわち塗布マップ20の作成は、本液体塗布装置による塗布処理の実行前に行っておくことが望ましい。塗布マップ20は、ワーク10に対して必要となる塗布形状を、塗布パターンとして設定し、該塗布パターンに基づいて、A1〜E5で示される格子領域21の各場所に対し、塗布を実行する/実行しないといった設定を行うことで得られる。ワーク10に対し塗布される塗布パターンの縮尺は、後述する格子領域21のピッチを設定することで調整可能である。   It is desirable to set the coating pattern as described above, that is, to create the coating map 20, before performing the coating process by the liquid coating apparatus. The application map 20 sets an application shape necessary for the workpiece 10 as an application pattern, and executes application to each location of the lattice area 21 indicated by A1 to E5 based on the application pattern. It can be obtained by setting to not execute. The scale of the coating pattern applied to the workpiece 10 can be adjusted by setting the pitch of the lattice area 21 described later.

図4は、塗布マップ20に対し設定した塗布パターンの他の例を示した模式図である。図4に示された塗布パターンは、場所B3、C3、及びD3の格子領域21に対して塗布がなされるパターンである。なお、図4に示された番号(1) 〜(3) は、塗布する順序を示している。図4に示される塗布パターンでは、(1) から(3) へ順に塗布が実行される。図4に示された塗布パターンは、ワーク10に対して細長い長方形の塗布形状が得られる例である。   FIG. 4 is a schematic diagram showing another example of the application pattern set for the application map 20. The application pattern shown in FIG. 4 is a pattern that is applied to the lattice regions 21 at locations B3, C3, and D3. Note that the numbers (1) to (3) shown in FIG. 4 indicate the coating order. In the application pattern shown in FIG. 4, the application is executed in order from (1) to (3). The application pattern shown in FIG. 4 is an example in which an elongated rectangular application shape is obtained with respect to the workpiece 10.

以下に、図3に示された塗布パターンに基づいてワーク10にインク塗布を行う液体塗布方法について、説明する。図5は、ワーク10に対して図3に示された塗布パターンで液体塗布を実行したときの、液体塗布状態を示し、図5(a)は、図3に示された塗布パターンを説明するための模式図であり、図5(b)は、ワーク10における液体塗布状態を示す模式図である。なお、図5に示されたワーク10は、視覚的あるいは物理的に複数のセル30によって仕切られた基板である。このような基板としては、例えば液晶テレビに用いられるカラーフィルタ基板が挙げられる。以下では、ワーク10における複数のセル30のうち1つのセル31(以下、塗布実行セル31とする)を視覚的に隠す、あるいは着色する目的でインクを塗布する例について説明する。   Hereinafter, a liquid application method for applying ink to the workpiece 10 based on the application pattern shown in FIG. 3 will be described. FIG. 5 shows a liquid application state when the liquid application is performed on the workpiece 10 with the application pattern shown in FIG. 3, and FIG. 5A illustrates the application pattern shown in FIG. FIG. 5B is a schematic diagram showing a liquid application state on the workpiece 10. The workpiece 10 shown in FIG. 5 is a substrate that is visually or physically partitioned by a plurality of cells 30. An example of such a substrate is a color filter substrate used for a liquid crystal television. Hereinafter, an example in which ink is applied for the purpose of visually hiding or coloring one cell 31 (hereinafter, referred to as application execution cell 31) of the plurality of cells 30 in the workpiece 10 will be described.

まず、ワーク10の塗布位置として、塗布実行セル31のセンター位置32を液体塗布装置に登録する。本液体塗布方法では、この塗布実行セル31のセンター位置32と塗布マップ20のセンター位置22とが一致するように調整され、インク塗布が実行される。また、ワーク10におけるセル30のサイズ(スケール)は、ワーク10の種類によって決定される。本液体塗布方法においては、塗布すべきワーク10における塗布実行セル31のサイズに対し遮蔽または着色できるように、塗布マップ20のサイズ、すなわち格子領域21のピッチを決定する。具体的には、ワーク10固有のセルサイズCp1の情報を読み込む、あるいは外部入力手段17により入力する。そして、このセルサイズCp1に応じて、塗布マップ20における格子領域21のピッチMp1を設定する。   First, the center position 32 of the application execution cell 31 is registered in the liquid application apparatus as the application position of the workpiece 10. In this liquid application method, the center position 32 of the application execution cell 31 and the center position 22 of the application map 20 are adjusted to coincide with each other, and ink application is executed. Further, the size (scale) of the cell 30 in the workpiece 10 is determined by the type of the workpiece 10. In the present liquid application method, the size of the application map 20, that is, the pitch of the lattice region 21 is determined so that the size of the application execution cell 31 in the workpiece 10 to be applied can be shielded or colored. Specifically, information on the cell size Cp1 unique to the workpiece 10 is read or input by the external input means 17. Then, the pitch Mp1 of the lattice region 21 in the application map 20 is set according to the cell size Cp1.

ピッチMp1の設定においては、図5(b)に示されるように、1つのインク液滴の着弾部分33の濡れ広がり、すなわち着弾部分33の直径(着弾径)を考慮する必要がある。それゆえ、本液体塗布方法においては、ワーク10に対するインク液滴の着弾部分33のサイズを、事前に計測しておくことが望ましい。このような着弾部分33のサイズの事前計測は、適切な格子領域21のピッチMp1設定のために有効である。   In setting the pitch Mp1, as shown in FIG. 5B, it is necessary to consider the wetting and spreading of the landing portion 33 of one ink droplet, that is, the diameter (landing diameter) of the landing portion 33. Therefore, in this liquid application method, it is desirable to measure the size of the landing portion 33 of the ink droplet on the workpiece 10 in advance. Such prior measurement of the size of the landing portion 33 is effective for setting the appropriate pitch Mp1 of the lattice region 21.

なお、図5(a)に示された塗布マップ20は、縦横同ピッチの正方形の格子領域21から構成されている。しかしながら、格子領域21の形状は、正方形に限定されず、ワーク10におけるセル30の形状に応じて適宜設定可能である。この場合、セル30の形状によっては、格子領域21のピッチMp1の縦横比を変更する必要が生じるので、縦方向のピッチMp1、及び横方向のピッチMp1を独立して設定できるようにすればよい。   The application map 20 shown in FIG. 5A is composed of square lattice areas 21 having the same vertical and horizontal pitches. However, the shape of the lattice region 21 is not limited to a square, and can be set as appropriate according to the shape of the cell 30 in the workpiece 10. In this case, depending on the shape of the cell 30, it is necessary to change the aspect ratio of the pitch Mp1 of the lattice region 21, so that the vertical pitch Mp1 and the horizontal pitch Mp1 may be set independently. .

次に、格子領域21のピッチMp1を100μmに設定した場合の、ワーク10に対するインク塗布の様子を説明する。なお、ワーク10におけるセル30のピッチCp1は、600μmである。   Next, how the ink is applied to the workpiece 10 when the pitch Mp1 of the lattice region 21 is set to 100 μm will be described. The pitch Cp1 of the cells 30 in the workpiece 10 is 600 μm.

この場合、最初に塗布実行セル31のセンター位置32に対して、左方向に200μm、上方向に100μm離れた位置にインクを塗布する(インク塗布位置は、塗布マップ20における場所A2にある格子領域21に相当する)。次に、塗布実行セル31において、最初にインク液滴を塗布した位置に対して、右方向に400μm、下方向に200μm離れた位置にインクを塗布する(インク塗布位置は、塗布マップ20における場所E4にある格子領域21に相当する)。このように、塗布マップ21で設定した(1)〜(6)の順番で、塗布実行セル31の6箇所において、塗布が行われる。   In this case, the ink is first applied to the center position 32 of the application execution cell 31 at a position 200 μm leftward and 100 μm upward (the ink application position is a lattice region at the location A2 in the application map 20). 21). Next, in the application execution cell 31, the ink is applied at a position 400 μm rightward and 200 μm downward from the position where the ink droplet was first applied (the ink application position is a place in the application map 20. Corresponding to the lattice region 21 at E4). In this way, the application is performed at the six locations of the application execution cells 31 in the order of (1) to (6) set in the application map 21.

なお、塗布マップ20における格子領域21のピッチMp1は、セルサイズCp1に所定の係数を乗じた値に設定してもよいし、セルサイズCp1に関係なくワーク10毎に設定してもよい。   The pitch Mp1 of the lattice region 21 in the application map 20 may be set to a value obtained by multiplying the cell size Cp1 by a predetermined coefficient, or may be set for each workpiece 10 regardless of the cell size Cp1.

図6は、図5(b)に示されたセルサイズCp1と異なるセルサイズであるワーク10に対して図3に示された塗布パターンで液体塗布を実行したときの、液体塗布状態を示し、図6(a)は、図3に示された塗布パターンを説明するための模式図であり、図6(b)は、ワーク10における液体塗布状態を示す模式図である。   6 shows a liquid application state when the liquid application is executed with the application pattern shown in FIG. 3 on the workpiece 10 having a cell size different from the cell size Cp1 shown in FIG. FIG. 6A is a schematic diagram for explaining the application pattern shown in FIG. 3, and FIG. 6B is a schematic diagram showing a liquid application state on the workpiece 10.

図6(b)に示されたセル30のセルサイズCp2は、図5(b)に示されたセル30のセルサイズCp1よりも小さくなっている。このような場合、塗布すべきワーク10における塗布実行セル31のセルサイズCp2に応じて、塗布マップ20のサイズを縮小して格子領域21のピッチMp2を決定する。これにより、セルサイズがCp1からCp2に変更されても、1つの塗布実行セル31を遮蔽または着色できる塗布形状が得られる。   The cell size Cp2 of the cell 30 shown in FIG. 6B is smaller than the cell size Cp1 of the cell 30 shown in FIG. In such a case, the pitch Mp2 of the lattice region 21 is determined by reducing the size of the coating map 20 according to the cell size Cp2 of the coating execution cell 31 in the workpiece 10 to be coated. Thereby, even if the cell size is changed from Cp1 to Cp2, a coating shape capable of shielding or coloring one coating execution cell 31 is obtained.

ここで、格子領域21のピッチMp2を80μmに設定した場合の、ワーク10に対するインク塗布の様子を説明する。なお、ワーク10におけるセル30のピッチCp2は、480μmである。   Here, how the ink is applied to the workpiece 10 when the pitch Mp2 of the lattice region 21 is set to 80 μm will be described. The pitch Cp2 of the cells 30 in the workpiece 10 is 480 μm.

この場合、最初に塗布実行セル31のセンター位置32に対して、左方向に160μm、上方向に80μm離れた位置にインクを塗布する(インク塗布位置は、塗布マップ20における場所A2にある格子領域21に相当する)。次に、塗布実行セル31において、最初にインク液滴を塗布した位置に対して、右方向に160μm、下方向に80μm離れた位置にインクを塗布する(インク塗布位置は、塗布マップ20における場所E4にある格子領域21に相当する)。このように、塗布マップ21で設定した(1) 〜(6) の順番で、塗布実行セル31の6箇所において、塗布が行われる。   In this case, the ink is first applied to the center position 32 of the application execution cell 31 at a position separated by 160 μm in the left direction and 80 μm in the upward direction (the ink application position is a lattice region at the location A2 in the application map 20). 21). Next, in the application execution cell 31, the ink is applied to a position that is 160 μm rightward and 80 μm downward from the position where the ink droplet was first applied (the ink application position is a place in the application map 20. Corresponding to the lattice region 21 at E4). In this way, application is performed at the six locations of the application execution cells 31 in the order of (1) to (6) set in the application map 21.

このように、本液体塗布方法では、1つの塗布マップ20を用いて、様々なサイズの塗布形状を得ることができる。   Thus, in this liquid application method, application shapes of various sizes can be obtained using one application map 20.

図7は、ワーク10に対して図4に示された塗布パターンで液体塗布を実行したときの、液体塗布状態を示し、図7(a)は、図4に示された塗布パターンを説明するための模式図であり、図7(b)は、ワーク10における液体塗布状態を示す模式図である。   FIG. 7 shows a liquid application state when the liquid application is performed on the workpiece 10 with the application pattern shown in FIG. 4, and FIG. 7A illustrates the application pattern shown in FIG. 4. FIG. 7B is a schematic diagram showing a liquid application state on the workpiece 10.

図7(a)及び(b)に示されるように、1つの塗布実行セル31に液体を塗布できるように、塗布マップ20における格子領域21のピッチMp3は、塗布パターンがセルサイズCp3に納まるように設定されている。具体的には、図7(a)に示された塗布パターン(場所B3、C3、及びD3にある3つの格子領域21)が、セルサイズCp3の塗布実行セル31に収まるように、塗布マップ20における格子領域21のピッチMp3を設定する。これにより、塗布実行セル31のセルサイズが変わっても、セル全体に塗布処理を行うことが可能になる。   As shown in FIGS. 7A and 7B, the pitch Mp3 of the lattice region 21 in the application map 20 is such that the application pattern fits within the cell size Cp3 so that the liquid can be applied to one application execution cell 31. Is set to Specifically, the application map 20 so that the application pattern (three lattice regions 21 at locations B3, C3, and D3) shown in FIG. 7A fits in the application execution cell 31 having the cell size Cp3. The pitch Mp3 of the lattice region 21 at is set. Thereby, even if the cell size of the coating execution cell 31 changes, it becomes possible to perform the coating process on the entire cell.

なお、図5(a)及び(b)〜図7(a)及び(b)においては、便宜上、1つの塗布実行セル31全体にインクを塗布する例を示した。しかしながら、本液体塗布方法は、このような塗布に限定されず、塗布領域を仕切るセル30という概念がないワーク10に対しても適用することができる。このような場合、塗布マップ20における格子領域21のピッチは、セルサイズによらずワーク10の種類ごとに設定すればよい。また、中心位置の格子領域21(場所C3)だけを塗布するような塗布パターンに設定した塗布マップ20を作成した場合には、本液体塗布方法を、ワーク10における1つの塗布位置だけにインク塗布を行うという通常の塗布方法にも適用することができる。また、塗布マップ20における4隅(場所A1,E1,A5,E5)を塗布箇所として選択すると、ワーク10にドット形状の塗布形状を作成することができる。本液体塗布方法では、塗布マップ20における格子領域21で表現できる塗布パターンであれば、ワーク10に様々な塗布形状の塗布膜を生成することができる。   In FIGS. 5A and 5B to FIGS. 7A and 7B, an example in which ink is applied to one entire application execution cell 31 is shown for convenience. However, the present liquid application method is not limited to such application, and can be applied to the workpiece 10 that does not have the concept of the cell 30 that partitions the application region. In such a case, the pitch of the lattice area 21 in the application map 20 may be set for each type of workpiece 10 regardless of the cell size. In addition, when the application map 20 set to an application pattern in which only the lattice area 21 (location C3) at the center position is applied is created, the present liquid application method is applied to only one application position on the workpiece 10. The present invention can also be applied to a normal coating method of performing. When four corners (locations A1, E1, A5, E5) in the application map 20 are selected as application locations, a dot-shaped application shape can be created on the workpiece 10. In this liquid coating method, coating films having various coating shapes can be generated on the workpiece 10 as long as the coating pattern can be expressed by the lattice region 21 in the coating map 20.

次に、本液体塗布方法における工程フローについて、説明する。図8は、本液体塗布方法における、塗布準備作業から塗布実行作業までの工程を示し、図8(a)は塗布準備作業の工程を示すフローチャートであり、図8(b)は塗布実行作業の工程を示すフローチャートである。まず、図8(a)に示されるように、事前の塗布準備作業として、上述した塗布マップ20の作成を行う。そして、実際の塗布実行作業として、図8(b)に示されるように、工程S1にて、ワーク10を載置台4に載置し吸着保持して、アライメント(位置調整)を実行する。   Next, the process flow in the present liquid application method will be described. FIG. 8 shows the steps from the application preparation work to the application execution work in the present liquid application method, FIG. 8A is a flowchart showing the steps of the application preparation work, and FIG. 8B is the application execution work. It is a flowchart which shows a process. First, as shown in FIG. 8A, the application map 20 described above is created as a preliminary application preparation operation. Then, as an actual application execution operation, as shown in FIG. 8B, in step S1, the work 10 is placed on the mounting table 4, held by suction, and alignment (position adjustment) is executed.

次に、工程S2にて、載置台4に載置されたワーク10に基づいて塗布情報を読み込む。ここで、塗布情報とは、液体塗布に使用する塗布マップ番号、塗布領域のセンター位置、及び格子ピッチ情報のことをいう。格子ピッチ情報は、塗布マップ20における格子領域21のピッチ設定に必要なワーク10の情報を意味し、例えば、ワーク10のセルサイズ、またはワーク10の種類に応じて決定された格子領域21のピッチそのものが挙げられる。なお、このような塗布情報について、外部から読み込む代わりに、外部データ入力手段7により、ワーク10ごとに手動で打ち込んで、装置内に登録してもよい。また、塗布領域のセンター位置については、液体塗布装置に設けられた観察カメラ2による観察によって設定してもよい。   Next, application | coating information is read based on the workpiece | work 10 mounted in the mounting base 4 in process S2. Here, the application information refers to an application map number used for liquid application, a center position of the application area, and lattice pitch information. The lattice pitch information means information on the workpiece 10 necessary for setting the pitch of the lattice region 21 in the application map 20. For example, the pitch of the lattice region 21 determined according to the cell size of the workpiece 10 or the type of the workpiece 10. Itself. In addition, about such application | coating information, instead of reading from the outside, you may manually drive for every workpiece | work 10 with the external data input means 7, and may register in an apparatus. In addition, the center position of the application region may be set by observation with an observation camera 2 provided in the liquid application apparatus.

次に、工程S3にて、インクジェット1によるインクの予備吐出といった、塗布実行開始前の準備動作を行う。そして、工程S4にて、塗布マップ20にしたがったワーク10への塗布動作を実行する。塗布動作が終了すると、工程S5にて、ワーク10の吸着保持を解除しワーク10を取り出して、塗布実行作業が終了する。   Next, in step S3, a preparatory operation before the start of coating, such as preliminary ink ejection by the inkjet 1, is performed. In step S4, the application operation to the workpiece 10 according to the application map 20 is executed. When the coating operation is finished, in step S5, the suction holding of the workpiece 10 is released, the workpiece 10 is taken out, and the coating execution operation is finished.

このように、本発明によれば、一箇所の塗布位置の設定だけで、塗布マップに登録した塗布形状での塗布が可能になる。これはワークへの塗布形状のサイズが異なっても塗布マップは一個だけの登録でまかなえるということであり、登録の手間を軽減することができる。塗布実行にあたっての塗布位置設定を一回の塗布ごとに行う必要が無く、塗布形状設定もその都度行う必要が無くなる。したがって塗布実行に関わる時間を短縮できるとともに、複数回の塗布形状設定に起因する設定ミスの発生頻度を抑えることができる。   As described above, according to the present invention, it is possible to perform application in the application shape registered in the application map only by setting one application position. This means that even if the size of the application shape on the workpiece is different, only one registration of the application map can be provided, and the labor of registration can be reduced. There is no need to set the application position for each application, and it is not necessary to set the application shape each time. Accordingly, it is possible to shorten the time related to the execution of the application, and it is possible to suppress the frequency of occurrence of setting mistakes resulting from a plurality of application shape settings.

(別の表現)
本発明は、以下の(1)〜(6)のように表現することができる。
(Another expression)
The present invention can be expressed as the following (1) to (6).

(1)ワークの所定位置に所定形状の機能性液体を塗布する液体塗布装置において、
所定エリアにおける塗布パターンを設定した塗布マップを記憶したマップ記憶手段と、塗布マップに設定された塗布パターンで塗布を実行する塗布実行手段とを備えたことを特徴とする液体塗布装置。
(1) In a liquid application apparatus that applies a functional liquid having a predetermined shape to a predetermined position of a workpiece,
A liquid coating apparatus comprising: a map storage unit that stores a coating map in which a coating pattern in a predetermined area is set; and a coating execution unit that performs coating with a coating pattern set in the coating map.

(2)塗布マップはn個×m個(nおよびmは2以上の整数)のマトリクス状であり、各格子を選択して塗布位置、塗布順序からなる塗布パターンを設定することを特徴とする(1)記載の液体塗布装置。   (2) The application map has a matrix shape of n × m (n and m are integers of 2 or more), and each of the grids is selected to set an application pattern including an application position and an application order. (1) The liquid coating apparatus according to the above.

(3)塗布マップの格子ピッチは、ワークに応じて可変することを特徴とする(2)記載の液体塗布装置。   (3) The liquid coating apparatus according to (2), wherein the grid pitch of the coating map varies according to the workpiece.

(4)塗布マップの格子ピッチは、ワークのセルサイズに応じて可変することを特徴とする(2)記載の液体塗布装置。   (4) The liquid coating apparatus according to (2), wherein the grid pitch of the coating map varies according to the cell size of the workpiece.

(5)塗布マップの格子ピッチは、ワークへの液滴の着弾サイズに応じて可変することを特徴とする(2)記載の液体塗布装置。   (5) The liquid coating apparatus according to (2), wherein the grid pitch of the coating map varies according to the landing size of the droplet on the workpiece.

(6)所定エリアにおける塗布パターンを設定した塗布マップを生成し、ワークへの塗布位置と塗布マップを選択して塗布を行う液体塗布方法。   (6) A liquid application method in which an application map in which an application pattern in a predetermined area is set is generated, and application is performed by selecting an application position on the work and an application map.

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible within the scope shown in the claims, and embodiments obtained by appropriately combining technical means disclosed in different embodiments. Is also included in the technical scope of the present invention.

本発明によれば、ワークへの塗布形状の種類や塗布形状の大きさが容易に設定できるため、様々なワークに対する、もしくは様々な塗布形状に対する塗布を信頼性高く短時間で実施することができる。このため、本発明は、液体塗布装置を使用した製造技術などに好適に利用できる。   According to the present invention, since the type of application shape and the size of the application shape on the workpiece can be easily set, application to various workpieces or to various application shapes can be performed with high reliability and in a short time. . For this reason, this invention can be utilized suitably for the manufacturing technique etc. which use a liquid coating device.

1 インクジェットヘッド
2 観察カメラ
3 ヒーター
4 載置台
5 ワークステージ
6 メンテナンスユニット
7 基台
8 架台
9 ヘッドステージ
10 ワーク
11 インターフェース部
12 塗布動作制御部
13 塗布実行手段
14 塗布動作設定手段
15 マップ記憶手段
16 モニタ
17 外部データ入力手段
20 塗布マップ
21 格子領域
22 センター位置
30 セル
31 塗布実行セル
32 センター位置(ワーク)
33 着弾部分
100 インク塗布動作部
200 塗布制御部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inkjet head 2 Observation camera 3 Heater 4 Mounting stand 5 Work stage 6 Maintenance unit 7 Base 8 Stand base 9 Head stage 10 Work 11 Interface part 12 Application | coating operation control part 13 Application | coating execution means 14 Application | coating operation setting means 15 Map storage means 16 Monitor 17 External data input means 20 Application map 21 Grid area 22 Center position 30 Cell 31 Application execution cell 32 Center position (workpiece)
33 Landing portion 100 Ink application operation unit 200 Application control unit

Claims (8)

被塗布物に対し機能性液体を塗布する塗布動作部を備えた液体塗布装置であって、
異なる塗布パターンが設定された、複数の塗布マップを記憶するマップ記憶手段と、
複数の塗布マップから1つの塗布マップを選択し、当該塗布マップにおける塗布パターンに従った塗布の実行を、上記塗布動作部へ指令する塗布実行手段とを備え
上記塗布マップは、n個×m個(n及びmは2以上の整数)の格子領域から構成されており、
上記塗布パターンは、上記格子領域それぞれについて、塗布実行、または塗布不実行が選択された単位塗布パターンから構成され、塗布実行が選択された単位塗布パターンについて、塗布順序が設定されており、
上記塗布実行手段は、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを入力する入力部を備え、上記入力部は、上記被塗布物の種類に応じて、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを可変させて入力することを特徴とする液体塗布装置。
A liquid application apparatus including an application operation unit that applies a functional liquid to an object to be applied,
Map storage means for storing a plurality of application maps in which different application patterns are set;
Application execution means for selecting one application map from a plurality of application maps and instructing the application operation unit to execute application according to the application pattern in the application map ;
The application map is composed of n × m (n and m are integers of 2 or more) lattice regions,
The application pattern is composed of unit application patterns in which application execution or application non-execution is selected for each of the lattice regions, and the application order is set for the unit application pattern in which application execution is selected,
The application execution means includes an input unit for inputting the pitch of the lattice area in the application map, and the input unit inputs the input by changing the pitch of the lattice area in the application map according to the type of the object to be applied. A liquid coating apparatus characterized by:
上記被塗布物は、複数のセルによって仕切られた基板であり、
上記入力部は、上記被塗布物のセルサイズに応じて、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを可変させて入力することを特徴とする請求項1に記載の液体塗布装置。
The object to be coated is a substrate partitioned by a plurality of cells,
The liquid application apparatus according to claim 1, wherein the input unit performs input by changing a pitch of a lattice region in the application map in accordance with a cell size of the application object.
被塗布物に対し機能性液体を塗布する塗布動作部を備えた液体塗布装置であって、
異なる塗布パターンが設定された、複数の塗布マップを記憶するマップ記憶手段と、
複数の塗布マップから1つの塗布マップを選択し、当該塗布マップにおける塗布パターンに従った塗布の実行を、上記塗布動作部へ指令する塗布実行手段とを備え、
上記塗布マップは、n個×m個(n及びmは2以上の整数)の格子領域から構成されており、
上記塗布パターンは、上記格子領域それぞれについて、塗布実行、または塗布不実行が選択された単位塗布パターンから構成され、塗布実行が選択された単位塗布パターンについて、塗布順序が設定されており、
上記被塗布物は、複数のセルによって仕切られた基板であり、
上記塗布実行手段は、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを入力する入力部を備え、上記入力部は、上記被塗布物のセルサイズに応じて、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを可変させて入力することを特徴とする液体塗布装置。
A liquid application apparatus including an application operation unit that applies a functional liquid to an object to be applied,
Map storage means for storing a plurality of application maps in which different application patterns are set;
Application execution means for selecting one application map from a plurality of application maps and instructing the application operation unit to execute application according to the application pattern in the application map;
The application map is composed of n × m (n and m are integers of 2 or more) lattice regions,
The application pattern is composed of unit application patterns in which application execution or application non-execution is selected for each of the lattice regions, and the application order is set for the unit application pattern in which application execution is selected,
The object to be coated is a substrate partitioned by a plurality of cells,
The coating execution means includes an input unit for inputting the pitch of the grid area in the coating map , and the input unit varies the pitch of the grid area in the coating map according to the cell size of the coating object. liquid applying apparatus characterized by the input.
上記塗布動作部は、上記被塗布物に対し機能性液体からなる液滴を吐出する液体吐出部を備えており、
上記入力部は、上記被塗布物に対する上記液滴の着弾サイズに応じて、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを可変させて入力することを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の液体塗布装置。
The application operation unit includes a liquid discharge unit that discharges droplets made of a functional liquid to the application object,
The input unit in accordance with the landing size of the droplet with respect to the object to be coated, to any one of claim 1 to 3, characterized in that inputting by varying the pitch of the grating region in the coating map The liquid coating apparatus as described.
被塗布物に対し機能性液体を塗布する塗布動作部を備えた液体塗布装置であって、
異なる塗布パターンが設定された、複数の塗布マップを記憶するマップ記憶手段と、
複数の塗布マップから1つの塗布マップを選択し、当該塗布マップにおける塗布パターンに従った塗布の実行を、上記塗布動作部へ指令する塗布実行手段とを備え、
上記塗布マップは、n個×m個(n及びmは2以上の整数)の格子領域から構成されており、
上記塗布パターンは、上記格子領域それぞれについて、塗布実行、または塗布不実行が選択された単位塗布パターンから構成され、塗布実行が選択された単位塗布パターンについて、塗布順序が設定されており、
上記塗布実行手段は、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを入力する入力部を備え、
上記塗布動作部は、上記被塗布物に対し機能性液体からなる液滴を吐出する液体吐出部を備えており、
上記入力部は、上記被塗布物に対する上記液滴の着弾サイズに応じて、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを可変させて入力することを特徴とする液体塗布装置。
A liquid application apparatus including an application operation unit that applies a functional liquid to an object to be applied,
Map storage means for storing a plurality of application maps in which different application patterns are set;
Application execution means for selecting one application map from a plurality of application maps and instructing the application operation unit to execute application according to the application pattern in the application map;
The application map is composed of n × m (n and m are integers of 2 or more) lattice regions,
The application pattern is composed of unit application patterns in which application execution or application non-execution is selected for each of the lattice regions, and the application order is set for the unit application pattern in which application execution is selected,
The application execution means includes an input unit for inputting the pitch of the lattice area in the application map,
The application operation unit includes a liquid discharge unit that discharges droplets made of a functional liquid to the application object,
The input unit is, the depending on the impact the size of the droplet with respect to the coating object, a liquid applying apparatus you characterized in that the input by varying the pitch of the grating region in the coating map.
異なる塗布パターンが設定された、複数の塗布マップを作成し、Create multiple application maps with different application patterns,
複数の塗布マップから1つの塗布マップを選択し、当該塗布マップにおける塗布パターンに従った塗布を実行することによって、被塗布物に対し機能性液体を塗布する液体塗布方法であって、A liquid application method for applying a functional liquid to an object to be applied by selecting one application map from a plurality of application maps and executing application according to an application pattern in the application map,
上記塗布マップは、n個×m個(n及びmは2以上の整数)の格子領域から構成されており、上記塗布パターンは、上記格子領域それぞれについて、塗布実行、または塗布不実行が選択された単位塗布パターンから構成され、塗布実行が選択された単位塗布パターンについて、塗布順序が設定されており、The application map includes n × m (n and m are integers of 2 or more) lattice areas, and the application pattern is selected to be applied or not applied to each of the lattice areas. Application unit order is set for the unit application pattern that is configured from the unit application pattern and the application execution is selected.
上記塗布順序で塗布することによって、塗布パターンに従った塗布を実行し、By applying in the above application sequence, application according to the application pattern is executed,
上記被塗布物の種類に応じて、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを可変させて上記塗布マップの縮尺を変えることを特徴とする液体塗布方法。A liquid application method, wherein the scale of the application map is changed by changing the pitch of the lattice area in the application map in accordance with the type of the object to be applied.
なる塗布パターンが設定された、複数の塗布マップを作成し、
複数の塗布マップから1つの塗布マップを選択し、当該塗布マップにおける塗布パターンに従った塗布を実行することによって、複数のセルによって仕切られた基板である被塗布物に対し機能性液体を塗布する液体塗布方法であって、
上記塗布マップは、n個×m個(n及びmは2以上の整数)の格子領域から構成されており、上記塗布パターンは、上記格子領域それぞれについて、塗布実行、または塗布不実行が選択された単位塗布パターンから構成され、塗布実行が選択された単位塗布パターンについて、塗布順序が設定されており、
上記塗布順序で塗布することによって、塗布パターンに従った塗布を実行し、
上記被塗布物のセルサイズに応じて、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを可変させて上記塗布マップの縮尺を変えることを特徴とする液体塗布方法。
Different application pattern is set, to create a plurality of coating maps,
By selecting one application map from a plurality of application maps and executing application according to the application pattern in the application map, the functional liquid is applied to an object to be applied that is a substrate partitioned by a plurality of cells. A liquid application method comprising:
The application map includes n × m (n and m are integers of 2 or more) lattice areas, and the application pattern is selected to be applied or not applied to each of the lattice areas. Application unit order is set for the unit application pattern that is configured from the unit application pattern and the application execution is selected.
By applying in the above application sequence, application according to the application pattern is executed,
A liquid coating method, wherein the scale of the coating map is changed by changing the pitch of the lattice area in the coating map according to the cell size of the coating object .
異なる塗布パターンが設定された、複数の塗布マップを作成し、Create multiple application maps with different application patterns,
複数の塗布マップから1つの塗布マップを選択し、当該塗布マップにおける塗布パターンに従った塗布を実行することによって、被塗布物に対し機能性液体を塗布する液体塗布方法であって、A liquid application method for applying a functional liquid to an object to be applied by selecting one application map from a plurality of application maps and executing application according to an application pattern in the application map,
上記塗布マップは、n個×m個(n及びmは2以上の整数)の格子領域から構成されており、上記塗布パターンは、上記格子領域それぞれについて、塗布実行、または塗布不実行が選択された単位塗布パターンから構成され、塗布実行が選択された単位塗布パターンについて、塗布順序が設定されており、The application map includes n × m (n and m are integers of 2 or more) lattice areas, and the application pattern is selected to be applied or not applied to each of the lattice areas. Application unit order is set for the unit application pattern that is configured from the unit application pattern and the application execution is selected.
上記塗布順序で、被塗布物に対し機能性液体からなる液滴を吐出することによって、塗布パターンに従った塗布を実行しており、In the above application sequence, the application according to the application pattern is executed by discharging droplets made of a functional liquid onto the object to be applied,
上記被塗布物に対する上記液滴の着弾サイズに応じて、上記塗布マップにおける格子領域のピッチを可変させて上記塗布マップの縮尺を変えることを特徴とする液体塗布方法。A liquid coating method, wherein the scale of the coating map is changed by changing the pitch of the lattice area in the coating map in accordance with the landing size of the droplet on the coating object.
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