JP5485355B2 - Optical waveguide component and method for manufacturing optical waveguide component - Google Patents

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Description

本発明は、光導波路部品および光導波路部品の製造方法に関するもので、特に光の導波方向を変換することができる光導波路部品および光導波路部品の製造方法に関する。   The present invention relates to an optical waveguide component and a method for manufacturing the optical waveguide component, and more particularly, to an optical waveguide component capable of changing the waveguide direction of light and a method for manufacturing the optical waveguide component.

現在、電気回路の動作速度は光伝送回路の動作速度に近づきつつあることから、電気回路の高速動作の一部を光導波路で補うために、電気回路と光伝送路を融合させることが行われている。光導波路の一例としては光ファイバが用いられている。   At present, the operation speed of an electric circuit is approaching that of an optical transmission circuit. Therefore, in order to compensate a part of the high-speed operation of the electric circuit with an optical waveguide, the electric circuit and the optical transmission line are fused. ing. An optical fiber is used as an example of the optical waveguide.

具体的には、VCSEL(垂直共振器型表面発光レーザー)が電気回路基板に実装され、VCSELから出射された光信号が光導波路に入射して伝播され、電気回路基板に実装されたPD(フォトダイオード)で受光して信号伝送を行う。   Specifically, a VCSEL (Vertical Cavity Surface Emitting Laser) is mounted on an electric circuit board, an optical signal emitted from the VCSEL is incident on an optical waveguide, propagated, and mounted on a PD (photograph) mounted on the electric circuit board. The light is received by a diode) and transmitted.

電気回路基板に埋め込まれた光導波路は、電気回路基板と平行方向に光を導波するので、VCSELのレーザ光を、これらの光導波路に結合されるようにするには、90度の光導波方向の変換が必要となる。
このような90度の光導波方向の変換方法として、光ファイバの端面を45度に研磨し、研磨面に金属蒸着などを施してミラーとし、90度の光導波方向の変換を行う方法や、45度の角度を持ったミラーで光導波方向の変換を行う方法が検討されている。
The optical waveguide embedded in the electric circuit board guides light in a direction parallel to the electric circuit board. Therefore, in order to couple the laser light of the VCSEL to these optical waveguides, the optical waveguide of 90 degrees is used. A change of direction is required.
As such a 90-degree optical waveguide direction conversion method, the end face of the optical fiber is polished at 45 degrees, and metal polishing is applied to the polished surface to form a mirror, and the 90-degree optical waveguide direction conversion is performed, A method of converting the direction of the optical waveguide with a mirror having an angle of 45 degrees has been studied.

そこで、90度の光導波方向の変換を行う方法としては、所望部分を所定の曲げ半径で曲線状に曲げた光導波路が提案されている(例えば、特許文献1参照)。   Therefore, as a method of performing the 90-degree optical waveguide direction conversion, an optical waveguide in which a desired portion is bent in a curved shape with a predetermined bending radius has been proposed (for example, see Patent Document 1).

特開2005−292718号公報JP 2005-292718 A

ところが、特許文献1に記載された本発明者らが提案した光導波路は、小さな曲げ部分を形成することはできたのであるが、小型で簡単な構造を採用することで、シングルモード光導波路だけでなく大口径のマルチモード光導波路であっても、その曲げ部分により確実に光の導波方向を変換できることが望まれている。   However, the optical waveguide proposed by the present inventors described in Patent Document 1 was able to form a small bent portion, but by adopting a small and simple structure, only a single mode optical waveguide was adopted. In addition, even for a multi-mode optical waveguide having a large diameter, it is desired that the light guiding direction can be reliably changed by the bent portion.

そこで、本発明は上記課題を解消するために、部品点数が少なく、位置合わせが不要であり、所望の半径で曲げた小さな曲げ部分でシングルモード光導波路だけでなく大口径のマルチモード光導波路であっても光の導波方向を変換することができる光導波路、光導波路部品および光導波路の製造方法を提供することを目的とする。   Therefore, in order to solve the above-described problems, the present invention has a small number of parts, does not require alignment, and is not only a single-mode optical waveguide but also a large-diameter multimode optical waveguide with a small bent portion bent at a desired radius. Even if it exists, it aims at providing the manufacturing method of the optical waveguide which can change the waveguide direction of light, optical waveguide components, and an optical waveguide.

上記課題を解決するために、本発明の光導波路部品は、対象部分が所定の曲げ半径で曲線状に曲げられた曲げ部分を有する光導波路と、前記光導波路の少なくとも前記曲げ部分が収納される固定部材と、を備え、前記光導波路は、コアと前記コアを被覆するクラッドを有するマルチモード光ファイバであり、前記曲げ部分の前記コアと前記クラッドの断面積比が1/5以上であり、前記曲げ部分の直径が50μm以上であり、前記固定部材は、前記光導波路の前記曲げ部分の両側を直接固定する固定部位と、前記曲げ部分を収納する空間部を有し、前記空間部には、前記曲げ部分の表面部の屈折率よりも小さい屈折率を有する屈折率整合剤が充填されていることを特徴とする。   In order to solve the above problems, an optical waveguide component according to the present invention accommodates an optical waveguide having a bent portion in which a target portion is bent in a curved shape with a predetermined bending radius, and at least the bent portion of the optical waveguide. A multi-mode optical fiber having a core and a clad covering the core, wherein a cross-sectional area ratio of the core and the clad in the bent portion is 1/5 or more, The bending portion has a diameter of 50 μm or more, and the fixing member has a fixing portion that directly fixes both sides of the bending portion of the optical waveguide, and a space portion that houses the bending portion, The refractive index matching agent having a refractive index smaller than the refractive index of the surface portion of the bent portion is filled.

本発明の光導波路部品は、好ましくは前記固定部材が、前記光導波路の前記曲げ部分の曲げ中心の方向の端面に開口部を有し、前記開口部から前記屈折率整合剤が充填可能であることを特徴とする。   In the optical waveguide component of the present invention, preferably, the fixing member has an opening at an end surface in the direction of the bending center of the bent portion of the optical waveguide, and the refractive index matching agent can be filled from the opening. It is characterized by that.

本発明の光導波路部品は、好ましくは前記光導波路の曲げ部分の外径が、直線部分の外径よりも小さいことを特徴とする。   The optical waveguide component of the present invention is preferably characterized in that the outer diameter of the bent portion of the optical waveguide is smaller than the outer diameter of the linear portion.

本発明の光導波路部品は、好ましく前記曲げ部分の前記コアの外径が30μm以上であることを特徴とする。   The optical waveguide component of the present invention is preferably characterized in that the outer diameter of the core of the bent portion is 30 μm or more.

本発明の光導波路部品は、好ましくは前記曲げ部分の直径が125μm以下であることを特徴とする。   The optical waveguide component of the present invention is preferably characterized in that the bent portion has a diameter of 125 μm or less.

本発明の光導波路部品は、好ましくは前記光導波路の曲げ部分の曲げ半径が、5.0mm以下であることを特徴とする。   The optical waveguide component of the present invention is preferably characterized in that the bending radius of the bent portion of the optical waveguide is 5.0 mm or less.

本発明の光導波路部品は、好ましくは前記光導波路が複数本並べられていることを特徴とする。   The optical waveguide component of the present invention is preferably characterized in that a plurality of the optical waveguides are arranged.

本発明の光導波路部品は、好ましくは前記屈折率整合剤が、紫外線硬化型樹脂であることを特徴とする。   The optical waveguide component of the present invention is preferably characterized in that the refractive index matching agent is an ultraviolet curable resin.

本発明の光導波路部品は、好ましくは前記屈折率整合剤が、熱硬化型樹脂であることを特徴とする。 The optical waveguide component of the present invention is preferably characterized in that the refractive index matching agent is a thermosetting resin.

本発明の光導波路部品の製造方法は、光導波路の加熱対象部分を加熱し、前記加熱対象部分を所定の曲げ半径で曲線状に曲げて曲げ部分を形成する工程と、
前記光導波路の前記曲げ部分の両側を直接固定する固定部位と、前記曲げ部分を収納する空間部を有する固定部材に前記光導波路を収納する工程と、前記空間部に前記曲げ部分の表面部の屈折率よりも小さい屈折率を有する屈折率整合剤を充填する工程を有し、前記光導波路は、コアと前記コアを被覆するクラッドを有するマルチモード光ファイバであり、前記曲げ部分の前記コアと前記クラッドの断面積比が1/5以上であり、前記曲げ部分の直径が50μm以上であることを特徴とする。
The method of manufacturing an optical waveguide component of the present invention includes heating a heating target portion of the optical waveguide, bending the heating target portion into a curved shape with a predetermined bending radius, and forming a bent portion;
A fixing portion for directly fixing both sides of the bent portion of the optical waveguide; a step of storing the optical waveguide in a fixing member having a space portion for storing the bent portion; and a surface portion of the bent portion in the space portion. Filling a refractive index matching agent having a refractive index smaller than the refractive index, wherein the optical waveguide is a multimode optical fiber having a core and a clad covering the core, and the core of the bent portion A cross-sectional area ratio of the clad is 1/5 or more, and a diameter of the bent portion is 50 μm or more.

本発明の光導波路部品の製造方法は、好ましくは前記光導波路を前記固定部材に収納する前に、前記光導波路の前記曲げ部分の外径を直線部分の外径よりも小さくする工程を有することを特徴とする。   The method for manufacturing an optical waveguide component of the present invention preferably includes a step of making the outer diameter of the bent portion of the optical waveguide smaller than the outer diameter of the linear portion before the optical waveguide is housed in the fixing member. It is characterized by.

本発明の光導波路部品の製造方法は、好ましくは前記光導波路の前記曲げ部分の外径を小さくする工程は、前記曲げ部分の前記クラッドをフッ酸で溶かす工程であることを特徴とする。   In the method of manufacturing an optical waveguide component according to the present invention, preferably, the step of reducing the outer diameter of the bent portion of the optical waveguide is a step of melting the clad of the bent portion with hydrofluoric acid.

本発明の光導波路部品および光導波路の製造方法によれば、部品点数が少なく、位置合わせが不要であり、所望の半径で曲げた小さな曲げ部分で大口径のマルチモード光導波路であっても光の導波方向を変換することができ、光導波路部品の小型化が可能である。   According to the optical waveguide component and the optical waveguide manufacturing method of the present invention, the number of components is small, alignment is unnecessary, and even a multi-mode optical waveguide having a large diameter with a small bent portion bent at a desired radius can be used. The waveguide direction can be changed, and the optical waveguide component can be downsized.

本発明の光導波路の好ましい第1実施形態を示す斜視図である。1 is a perspective view showing a first preferred embodiment of an optical waveguide of the present invention. 曲げ部分を有する光導波路の形状例を示す図である。It is a figure which shows the example of a shape of the optical waveguide which has a bending part. 本発明の光導波路部品の第1実施形態と第2実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows 1st Embodiment and 2nd Embodiment of the optical waveguide component of this invention. 図3の光導波路部品の固定部材から光導波路とガイドピンを除いた状態を示す図である。It is a figure which shows the state which remove | excluded the optical waveguide and the guide pin from the fixing member of the optical waveguide component of FIG. 図4の光導波路部品のG―G線における断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line GG of the optical waveguide component in FIG. 4. 図5に示す光導波路部品の空間部分に充填用の物質を配置した状態を示す図である。It is a figure which shows the state which has arrange | positioned the substance for filling in the space part of the optical waveguide component shown in FIG. 屈折率分布の例を示す図である。It is a figure which shows the example of refractive index distribution. 本発明の光導波路部品の第3実施形態を示す図である。It is a figure which shows 3rd Embodiment of the optical waveguide component of this invention. 光導波路のコアとクラッドの断面を示す図である。It is a figure which shows the cross section of the core of an optical waveguide, and a clad. 曲げ部分のみが細径化された状態を示す図である。It is a figure which shows the state by which only the bending part was reduced in diameter. 図10の実施形態が位置決めして固定された光導波路部品の固定部材の断面を示す図である。It is a figure which shows the cross section of the fixing member of the optical waveguide component in which the embodiment of FIG. 10 was positioned and fixed. コア/面積比での曲げロスの測定結果例を示す図である。It is a figure which shows the example of a measurement result of the bending loss in a core / area ratio.

以下、図面を参照して、本発明の好ましい実施形態を詳細に説明する。
<第1実施形態>
図1は、本発明の光導波路の好ましい実施形態を示す図である。図1(A)および(B)では、光導波路1と、光導波路部品100と、光導波路1の曲げ部分製造装置200を示している。
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
<First Embodiment>
FIG. 1 is a diagram showing a preferred embodiment of the optical waveguide of the present invention. 1A and 1B show an optical waveguide 1, an optical waveguide component 100, and a bending portion manufacturing apparatus 200 for the optical waveguide 1.

図1(A)に示す光導波路1は例えば石英系の光ファイバであり、全長にわたって一定のコアとクラッドの屈折率差を有している。光導波路1はコア2と、このコア2を被覆するクラッド3を有する光ファイバである。光導波路1のクラッド3の外径Dは、例えば125μmであり、コア径Sが62.5μmであるGIファイバ(グレーデッドインデックス光ファイバ)である。このGIファイバは、外径が50μm以上の光ファイバの一例である。   An optical waveguide 1 shown in FIG. 1A is, for example, a silica-based optical fiber, and has a constant refractive index difference between a core and a clad over the entire length. The optical waveguide 1 is an optical fiber having a core 2 and a clad 3 covering the core 2. The outer diameter D of the cladding 3 of the optical waveguide 1 is a GI fiber (graded index optical fiber) having a core diameter S of 62.5 μm, for example, 125 μm. This GI fiber is an example of an optical fiber having an outer diameter of 50 μm or more.

図1(A)に示す直線状の光導波路1は、図1に示す曲げ部分製造装置200を用いて図1(B)に示すように、曲げ部分10を加熱することにより形成する。図1(B)に例示するように、曲げ部分製造装置200は、2つの電極4,5と制御部6を有しており、制御部6が電極4,5に通電して電極4,5の間でアーク放電7を発生させる。このアーク放電7を、直線状の光導波路1の加熱対象部分9で発生させることで、図1(B)に示すように曲げ部分10を形成する。   The linear optical waveguide 1 shown in FIG. 1 (A) is formed by heating the bent portion 10 as shown in FIG. 1 (B) using the bent portion manufacturing apparatus 200 shown in FIG. As illustrated in FIG. 1B, the bending portion manufacturing apparatus 200 includes two electrodes 4 and 5 and a control unit 6, and the control unit 6 energizes the electrodes 4 and 5 to provide electrodes 4 and 5. Arc discharge 7 is generated between the two. The arc discharge 7 is generated in the heating target portion 9 of the linear optical waveguide 1 to form the bent portion 10 as shown in FIG.

図1(A)に示す直線状の光導波路1の所望の加熱対象部分9が、図1(B)に示すアーク放電7により加熱されると、加熱対象部分9は屈曲点以上、軟化点以下の範囲の温度で加熱されることになり、光導波路1の加熱対象部分9は加工状態(曲げる等の加工が可能な状態)に移行する。そして、加工状態に移行した加熱対象部分9が、図2に示す所定の曲げ半径Rで曲線状に曲げられて曲げ部分10が形成され、冷却されることにより形状が安定する。   When the desired heating target portion 9 of the linear optical waveguide 1 shown in FIG. 1 (A) is heated by the arc discharge 7 shown in FIG. 1 (B), the heating target portion 9 is above the bending point and below the softening point. Therefore, the heating target portion 9 of the optical waveguide 1 shifts to a processing state (a state where processing such as bending is possible). Then, the heated portion 9 that has shifted to the processed state is bent into a curved shape with a predetermined bending radius R shown in FIG. 2 to form a bent portion 10, and the shape is stabilized by being cooled.

このように、曲げ部分10が形成される際、光導波路1の曲げ部分10は高温状態で曲げられ、曲げられた後に常温(室温)まで冷却されるので、曲げることによる歪は生じない。すなわち、光導波路1の曲げ部分10は、屈曲点以上、軟化点以下の状態で曲げられ、この曲げられた状態が初期状態となるように加工されている。光導波路1は、屈曲点以下で変形すると歪が発生し、歪みが大きくなると破断することになるが、屈曲点以上で曲げ部分10が加工された後は、変形することなくその形状を使用状態としている。このため、使用時には歪が発生せず破断しない。   In this way, when the bent portion 10 is formed, the bent portion 10 of the optical waveguide 1 is bent at a high temperature and is cooled to room temperature (room temperature) after being bent, so that distortion due to bending does not occur. That is, the bent portion 10 of the optical waveguide 1 is bent in a state not less than the bending point and not more than the softening point, and is processed so that the bent state becomes an initial state. When the optical waveguide 1 is deformed below the bending point, distortion occurs, and when the distortion increases, the optical waveguide 1 breaks. After the bent portion 10 is processed above the bending point, the shape is used without deformation. It is said. For this reason, at the time of use, distortion does not occur and it does not break.

なお、本発明の実施形態の光導波路部品100では、微小な空間で光導波の方向を確実にかつ簡単に変換することが目的である。すなわち、本発明の実施形態の光導波路1は、小さな曲げ部分10を用いて、曲げ損失を小さくして光の導波方向を90度変換することができる。このため、使用する光導波路1の物理的な大きさから現実的に使用できる大きさが規定されている。   In the optical waveguide component 100 according to the embodiment of the present invention, the object is to reliably and easily change the direction of the optical waveguide in a minute space. That is, the optical waveguide 1 according to the embodiment of the present invention can change the waveguide direction of light by 90 degrees with a small bending portion 10 and a small bending loss. For this reason, the size which can be practically used is defined from the physical size of the optical waveguide 1 to be used.

図2は、曲げ部分10の一実施形態を示すものであるが、光導波路1の曲げ半径Rは、好ましくは5.0mm以下である。このように曲げ半径Rを5.0mm以下とすることで、光導波路1は、配置の制限がある屋内や狭い空間においても簡単に配置することができる。   FIG. 2 shows an embodiment of the bent portion 10, but the bending radius R of the optical waveguide 1 is preferably 5.0 mm or less. In this way, by setting the bending radius R to 5.0 mm or less, the optical waveguide 1 can be easily arranged even in an indoor or narrow space where arrangement is limited.

曲げ半径Rを5.0mm以下とすることは、本発明の光導波路の製造方法を採用する利点が生かされる。すなわち、曲げ半径Rが5.0mmを超えた場合では細径の光ファイバを用いると、曲げ半径Rの値によっては破断歪に至らない場合がある。   Setting the bending radius R to 5.0 mm or less makes use of the advantage of employing the method for manufacturing an optical waveguide of the present invention. That is, when the bending radius R exceeds 5.0 mm, if a small-diameter optical fiber is used, the fracture strain may not be reached depending on the value of the bending radius R.

また、光導波路部品100の他の部位のサイズは、図1(B)に示すように、光導波路1の直径(外径)Dが、好ましくは50μm以上である。すなわち、図1(B)と図2に記載された半径Rと直径Dを考慮すると、直径Dが50μmの光導波路1に対して、単純に曲げ半径Rを50μm未満で曲げることは物理的に不可能である。また、直径Dが50μm未満の光導波路を取り扱うことは容易ではないことから、光導波路1の最小の外径Dを例えば50μmに規定することで取り扱いやすさを確保して、曲げ半径Rの数値としては、使用する光導波路1の最小直径の10倍とすることで、物理的に曲げを実現させる構造としている。本実施形態では、直径Dが例えば80μmである光ファイバを、曲げ半径Rを1.0mmにして、90度の角度に曲げている。   As for the size of the other part of the optical waveguide component 100, the diameter (outer diameter) D of the optical waveguide 1 is preferably 50 μm or more, as shown in FIG. That is, considering the radius R and the diameter D described in FIGS. 1B and 2, it is physically possible to bend the bending radius R less than 50 μm with respect to the optical waveguide 1 having the diameter D of 50 μm. Impossible. In addition, since it is not easy to handle an optical waveguide having a diameter D of less than 50 μm, the minimum outer diameter D of the optical waveguide 1 is regulated to, for example, 50 μm to ensure ease of handling, and the numerical value of the bending radius R As for, it is set as the structure which implement | achieves bending physically by setting it as 10 times the minimum diameter of the optical waveguide 1 to be used. In the present embodiment, an optical fiber having a diameter D of, for example, 80 μm is bent at an angle of 90 degrees with a bending radius R of 1.0 mm.

さらに、光導波路1の直径Dは、好ましい一実施形態として125μmとした。これは、現在一般的に光伝送用途として使用されている代表的な光導波路と互換性の高い外径と言えるからである。この直径Dが125μmを有する光導波路を用いることで、光導波路部品の適用範囲を大幅に広げることが出来る。
次に、図3ないし図5を参照して、光導波路部品100の光導波路1を固定する固定部材について説明する。図3は、本発明の光導波路部品の好ましい実施形態を示す斜視図であり、図4は、図3に示す光導波路部品の固定部材を示す斜視図であり、図5は、図3の光導波路部品の構造例を示す断面図である。
Furthermore, the diameter D of the optical waveguide 1 is set to 125 μm as a preferred embodiment. This is because it can be said that the outer diameter is highly compatible with a typical optical waveguide currently generally used for optical transmission. By using an optical waveguide having a diameter D of 125 μm, the applicable range of the optical waveguide component can be greatly expanded.
Next, with reference to FIG. 3 thru | or FIG. 5, the fixing member which fixes the optical waveguide 1 of the optical waveguide component 100 is demonstrated. 3 is a perspective view showing a preferred embodiment of the optical waveguide component of the present invention, FIG. 4 is a perspective view showing a fixing member of the optical waveguide component shown in FIG. 3, and FIG. It is sectional drawing which shows the structural example of waveguide components.

図3に示す光導波路部品100は、複数本の光導波路1をアレイ化して固定部材120により固定したものである。固定部材120は、固定手段あるいはコネクタフェルールとも呼ぶことができる。なお、図3は複数本の光導波路1を固定している実施形態を示したが、光導波路1は、単数本でも構わない。
なお、複数本の光導波路1をアレイ状に配置させ、固定部材12で固定させることにより、多チャンネルの信号光を、一括して光導波方向を90度変換することができる。さらに、詳述はしないが、光導波路部品100の入出力部分が、一般の光導波路とMFDが同等の光導波路とすることにより、光導波路部品100は、例えばガイドピン191,192で、はめ合わせにより他のコネクタのような外部の器具に対して精密な位置合わせにより接続が可能となる。
An optical waveguide component 100 shown in FIG. 3 is obtained by arraying a plurality of optical waveguides 1 and fixing them with a fixing member 120. The fixing member 120 can also be called a fixing means or a connector ferrule. Although FIG. 3 shows an embodiment in which a plurality of optical waveguides 1 are fixed, a single optical waveguide 1 may be used.
In addition, by arranging a plurality of optical waveguides 1 in an array and fixing them with the fixing member 12, it is possible to collectively change the optical waveguide direction by 90 degrees for multi-channel signal light. Further, although not described in detail, the input / output portion of the optical waveguide component 100 is an optical waveguide equivalent to a general optical waveguide and MFD, so that the optical waveguide component 100 is fitted with, for example, guide pins 191 and 192. Thus, it is possible to connect to an external instrument such as another connector by precise alignment.

固定部材120は、第1部分121と第2部分122を有しており、第1部分121はX方向に沿って形成された板状部分であり、厚みF1を有している。第2部分122はZ方向に沿って形成された板状部分であり、厚みF2を有している。第1部分121と第2部分122は、図5に示すようにL字型の断面を有しており、X方向はY方向とZ方向に対して相互に直交している。この第1部分121と第2部分122の突合せ角度は、基本的に光導波路1の曲げ部分10の曲げ角度と合わせればよい。   The fixing member 120 has a first portion 121 and a second portion 122, and the first portion 121 is a plate-like portion formed along the X direction and has a thickness F1. The second portion 122 is a plate-like portion formed along the Z direction and has a thickness F2. As shown in FIG. 5, the first portion 121 and the second portion 122 have an L-shaped cross section, and the X direction is orthogonal to the Y direction and the Z direction. The butt angle between the first portion 121 and the second portion 122 may basically be matched with the bending angle of the bending portion 10 of the optical waveguide 1.

固定部材120の内部には、図5に示すように空間部分200が形成されている。空間部分200は、略断面L字型を有している。空間部分200は、第1部分121の外面161と第2部分122の外面162において開口部170を通じて外部空間に通じている。なお、固定部材120の材質は、特に限定されていないが、金属やプラスチックあるいはセラミックスにより作られている。   A space portion 200 is formed inside the fixing member 120 as shown in FIG. The space portion 200 has a substantially cross-sectional L shape. The space portion 200 communicates with the external space through the opening 170 on the outer surface 161 of the first portion 121 and the outer surface 162 of the second portion 122. The material of the fixing member 120 is not particularly limited, but is made of metal, plastic, or ceramics.

また、固定部材120は、図3および図4に示すように、複数本の光導波路1を配置させる場合、光導波路1が平行に配置され保持できるように位置決め部130,131が設けられている。位置決め部130,131は、固定部材120に設けられた精密な位置決め機構の一例であり、光導波路1のガイド穴である。   As shown in FIGS. 3 and 4, the fixing member 120 is provided with positioning portions 130 and 131 so that the optical waveguide 1 can be arranged and held in parallel when a plurality of optical waveguides 1 are arranged. . The positioning portions 130 and 131 are an example of a precise positioning mechanism provided in the fixing member 120 and are guide holes of the optical waveguide 1.

位置決め部130は、複数の位置決め穴140から構成されている。位置決め機構131は、複数の位置決め穴141から構成されている。複数の位置決め穴140は第1部分121においてX方向に沿って形成されており、複数の位置決め穴140はガイドピン191,191の間にY方向に沿って直列に配列されている。複数の位置決め穴141は第2部分122においてZ方向に沿って形成されており、複数の位置決め穴141はガイドピン192,192の間にY方向に沿って直列に配列されている。   The positioning unit 130 includes a plurality of positioning holes 140. The positioning mechanism 131 is composed of a plurality of positioning holes 141. The plurality of positioning holes 140 are formed along the X direction in the first portion 121, and the plurality of positioning holes 140 are arranged in series along the Y direction between the guide pins 191 and 191. The plurality of positioning holes 141 are formed in the second portion 122 along the Z direction, and the plurality of positioning holes 141 are arranged in series along the Y direction between the guide pins 192 and 192.

複数の位置決め穴140は、図5に示す空間部分200の一端部分201に対して接続されており、図3と図4に示す複数の位置決め穴141は、図5に示す空間部分200の他端部分202に対して接続されている。
複数の位置決め穴140と空間部分200の一端部分201の接続部分は、テーパー状の部分203を有しており、複数の位置決め穴141と空間部分200の他端部分202の接続部分は、テーパー状の部分204を有している。複数の位置決め穴140,141は、光導波路1の外周部分を保持することができる内径を有している。
The plurality of positioning holes 140 are connected to one end portion 201 of the space portion 200 shown in FIG. 5, and the plurality of positioning holes 141 shown in FIGS. 3 and 4 are the other end of the space portion 200 shown in FIG. Connected to portion 202.
A connection portion between the plurality of positioning holes 140 and one end portion 201 of the space portion 200 has a tapered portion 203, and a connection portion between the plurality of positioning holes 141 and the other end portion 202 of the space portion 200 is tapered. Portion 204. The plurality of positioning holes 140 and 141 have an inner diameter that can hold the outer peripheral portion of the optical waveguide 1.

図5と図3に示すように、各光導波路1は、それぞれ位置決め穴140,141により挿入された状態で空間部分200内を通るようにして確実に保持されており、各光導波路1では、入力側端部(一端部側)から出力側端部(他端部側)に対して90度の光導波方向の変換が行われる。図5に示すように、各光導波路1の少なくとも一部分である対象部分300が、L字型の状態で、空間部分200内に配置されている。この対象部分300は、上述したようにして形成された曲げ部分10を含んでいる。   As shown in FIGS. 5 and 3, each optical waveguide 1 is securely held so as to pass through the space portion 200 in a state of being inserted through the positioning holes 140 and 141. The optical waveguide direction is converted by 90 degrees from the input side end (one end side) to the output side end (other end side). As shown in FIG. 5, the target portion 300 that is at least a part of each optical waveguide 1 is disposed in the space portion 200 in an L-shaped state. The target portion 300 includes the bent portion 10 formed as described above.

図5に示すように、各光導波路1が位置決め穴140,141により固定される固定部位1Pの固定長さSは、例えば0.5mmと微少な長さであるが、これに限ることはない。   As shown in FIG. 5, the fixing length S of the fixing portion 1P where each optical waveguide 1 is fixed by the positioning holes 140 and 141 is as small as 0.5 mm, for example, but is not limited thereto. .

なお、固定部材120は、図3に示すように、2本のガイドピン191,191と2本のガイドピン192,192とにより、他の固定部材あるいはコネクタのような外部要素に対して位置決め固定する機構となっている。
2本のガイドピン191,191は、第1部分121の第1端面186においてガイド穴193にはめ込まれており、X方向に突出して固定されている。2本のガイドピン192,192は、第2部分122の第2端面188においてガイド穴194にはめ込まれており、Z方向に突出して固定されている。
図6は、図5に示す固定部材120の空間部分200内に、充填用の屈折率整合部350を形成する屈折率整合剤が充填されている状態を示している。各光導波路1の対象部分300が空間部分200内において屈折率整合剤により覆われた状態を示している。この屈折率整合部350を形成する屈折率整合剤は、開口部170から空間部分200内に充填あるいは注入される。
As shown in FIG. 3, the fixing member 120 is positioned and fixed to an external element such as another fixing member or a connector by two guide pins 191 and 191 and two guide pins 192 and 192. It is a mechanism to do.
The two guide pins 191 and 191 are fitted into the guide hole 193 at the first end surface 186 of the first portion 121 and are fixed to protrude in the X direction. The two guide pins 192 and 192 are fitted into the guide hole 194 on the second end surface 188 of the second portion 122, and are fixed to protrude in the Z direction.
FIG. 6 shows a state where the space portion 200 of the fixing member 120 shown in FIG. 5 is filled with a refractive index matching agent that forms the refractive index matching portion 350 for filling. The state where the target portion 300 of each optical waveguide 1 is covered with the refractive index matching agent in the space portion 200 is shown. The refractive index matching agent forming the refractive index matching portion 350 is filled or injected into the space portion 200 from the opening 170.

屈折率整合部350は、各光導波路1の固定部位1P(図5を参照)を除く各光導波路1の対象部分300の表面上に形成されている。言い換えれば、各光導波路1の対象部分300の表面部は、この対象部分300の表面部(クラッド部分)の屈折率よりも小さい屈折率を有する屈折率整合剤(屈折率整合部350)で、覆われるようにして満たされている。なお、屈折率整合部350を形成する屈折率整合剤としては、例えば屈折率が約1.32を有する熱硬化型樹脂を採用する。さらに、図6では、固定部材120の空間部分200内すべてに屈折率整合剤を充填させた状態を示しているが、これに限らず、少なくとも光導波路1の対象部分300の表面に屈折率整合部350が形成されていれば良い(図示しない)。   The refractive index matching portion 350 is formed on the surface of the target portion 300 of each optical waveguide 1 except for the fixed portion 1P (see FIG. 5) of each optical waveguide 1. In other words, the surface portion of the target portion 300 of each optical waveguide 1 is a refractive index matching agent (refractive index matching portion 350) having a refractive index smaller than the refractive index of the surface portion (cladding portion) of the target portion 300. Filled to be covered. In addition, as a refractive index matching agent which forms the refractive index matching part 350, the thermosetting resin which has a refractive index of about 1.32 is employ | adopted, for example. Further, FIG. 6 shows a state in which the refractive index matching agent is filled in the entire space portion 200 of the fixing member 120. However, the present invention is not limited to this, and at least the refractive index matching is performed on the surface of the target portion 300 of the optical waveguide 1. The part 350 should just be formed (not shown).

上述のような構造の光導波路部品100では、各光導波路1(光ファイバ)の表面部19(クラッド部分)の屈折率が例えば1.44であるのに対し、屈折率整合部350の屈折率が1.32であるため、この光導波路1の表面部19と屈折率整合部350との界面では、約8.2%という大きな屈折率差がある。この屈折率差により、光導波路1の曲がり部10を含む対象部分300では、光の閉じ込め効果が良好となり、伝播される信号の漏れを防止することができる。   In the optical waveguide component 100 having the structure as described above, the refractive index of the surface portion 19 (cladding portion) of each optical waveguide 1 (optical fiber) is, for example, 1.44, whereas the refractive index of the refractive index matching portion 350 is. Therefore, there is a large refractive index difference of about 8.2% at the interface between the surface portion 19 of the optical waveguide 1 and the refractive index matching portion 350. Due to this refractive index difference, the target portion 300 including the bent portion 10 of the optical waveguide 1 has a good light confinement effect and can prevent leakage of a propagated signal.

また、屈折率整合部350は、固定部材120内において各光導波路1の曲げ部分10を含む対象部分300を埋め込んで対象部分300の外周囲を覆っているだけでなく、固定部材120内における光導波路部品100の組み立て用接着剤としても作用することになる。この結果、光導波路部品モジュール100の固定部材120内の内部が強固な構造となるメリットも生じる。   Further, the refractive index matching unit 350 not only embeds the target portion 300 including the bent portion 10 of each optical waveguide 1 in the fixing member 120 to cover the outer periphery of the target portion 300, but also guides the light in the fixing member 120. This also acts as an adhesive for assembling the waveguide component 100. As a result, there is a merit that the inside of the fixing member 120 of the optical waveguide component module 100 has a strong structure.

さらに、この実施形態では、各光導波路1内のGI部分の屈折率分布は、コア中心屈折率(1.474)とクラッド屈折率差が2%である2乗分布形状であり、屈折率整合部350(熱硬化部分)の屈折率を基準に考えると、各光導波路(光ファイバ)1の中心は約10%という高屈折率差であり、屈折率整合部350と光導波路1からなる光導波路構造は、全体としては、図7に示すような階段型(一般的にはDual shapeと呼ばれる)屈折率分布を持った構造の光導波路として機能する。   Furthermore, in this embodiment, the refractive index distribution of the GI portion in each optical waveguide 1 is a square distribution shape in which the difference between the core center refractive index (1.474) and the clad refractive index is 2%. Considering the refractive index of the portion 350 (thermosetting portion) as a reference, the center of each optical waveguide (optical fiber) 1 has a high refractive index difference of about 10%. The waveguide structure as a whole functions as an optical waveguide having a stepped (generally called dual shape) refractive index distribution as shown in FIG.

さらに、図6に示すような光導波路部品100は高屈折率構造を有しているので、例えばコア径120μmの大口径なマルチモードの伝送光でも、この光導波路部品100が他のモジュールと接続されて、光導波路部品100の光導波方向を90度変換しても、その変換部の曲げ部分10による光信号の伝送損失が小さい。例えば、本実施形態では、光導波路1の曲げ半径が1mmでは、曲げによる光信号の伝送損失は約0.5dBという値になっている。   Furthermore, since the optical waveguide component 100 as shown in FIG. 6 has a high refractive index structure, the optical waveguide component 100 can be connected to other modules even in a large-diameter multimode transmission light having a core diameter of 120 μm, for example. Even if the optical waveguide direction of the optical waveguide component 100 is converted by 90 degrees, the transmission loss of the optical signal due to the bent portion 10 of the conversion part is small. For example, in this embodiment, when the bending radius of the optical waveguide 1 is 1 mm, the transmission loss of the optical signal due to the bending is about 0.5 dB.

<第2実施形態>
本発明の第2実施形態の光導波路部品100を説明する。
第2実施形態の光導波路部品100は、屈折率整合部350の特性を除いては、第1実施形態とほぼ同じ構成である。
Second Embodiment
An optical waveguide component 100 according to a second embodiment of the present invention will be described.
The optical waveguide component 100 of the second embodiment has substantially the same configuration as that of the first embodiment except for the characteristics of the refractive index matching unit 350.

第2実施形態では、屈折率整合部350を形成する屈折率整合剤として、UV硬化型樹脂(紫外線硬化型樹脂)を使用している。この屈折率整合剤は、例えば屈折率が1.38を有するUV硬化型樹脂であり、開口部170を通じて外部の光照射手段により紫外線を照射し、硬化させることにより屈折率整合部350を形成する。   In the second embodiment, a UV curable resin (ultraviolet curable resin) is used as a refractive index matching agent that forms the refractive index matching portion 350. This refractive index matching agent is, for example, a UV curable resin having a refractive index of 1.38. The refractive index matching portion 350 is formed by irradiating and curing ultraviolet rays through an opening 170 by an external light irradiation means. .

なお、第1実施形態と同様に第2実施形態においても、この屈折率整合部350は、固定部材120内における光導波路部品100の組み立ての接着剤としても作用するので、光導波路部品100の内部が強固な構造となるメリットがある。   In the second embodiment as well as in the first embodiment, the refractive index matching portion 350 also functions as an adhesive for assembling the optical waveguide component 100 in the fixing member 120. There is an advantage that becomes a strong structure.

第2実施形態の屈折率整合部350の屈折率は1.38であり、光導波路1(光ファイバ)の表面部(クラッド部分)の屈折率は1.44であることから、光導波路1の表面部19と屈折率整合部350との界面では、屈折率差が約6.2%となる。第1実施形態よりも屈折率差は小さくなるが、第1実施形態と同様の効果を得ることができる。   The refractive index matching unit 350 of the second embodiment has a refractive index of 1.38, and the refractive index of the surface portion (cladding portion) of the optical waveguide 1 (optical fiber) is 1.44. At the interface between the surface portion 19 and the refractive index matching portion 350, the refractive index difference is about 6.2%. Although the refractive index difference is smaller than in the first embodiment, the same effect as in the first embodiment can be obtained.

このように、光導波路1と、屈折率整合部350を備えた光導波路部品100は、高屈折率構造(屈折率整合部350とクラッドの屈折率差が大きい構造)を有しているので、例えばコア径120μmの大口径なマルチモードの伝播光や、光導波方向を90度変換するような漏れ光が発生しやすい構造でも、光信号の伝送損失を小さくすることができる。例えば、本実施形態では、光導波路1の曲げ半径が1mmでは、曲げによる光信号の伝送損失は約0.7dBという値になっている。   As described above, the optical waveguide component 100 including the optical waveguide 1 and the refractive index matching portion 350 has a high refractive index structure (a structure in which the refractive index difference between the refractive index matching portion 350 and the clad is large). For example, even in a structure in which a large-diameter multi-mode propagating light having a core diameter of 120 μm or a leakage light that changes the optical waveguide direction by 90 degrees is likely to occur, the transmission loss of the optical signal can be reduced. For example, in this embodiment, when the bending radius of the optical waveguide 1 is 1 mm, the transmission loss of the optical signal due to the bending is about 0.7 dB.

<第3実施形態>
本発明の光導波路部品の第3実施形態を、図8を参照して説明する。
第3実施形態の光導波路部品100は、屈折率整合部350(図6参照)が空気(空間)であることを除いては、第2実施形態とほぼ同じ構成である。すなわち、第3実施形態の固定部材120の空間部分200は、屈折率整合剤等を充填しないことから、空気が満たされた中空構造となっている。
<Third Embodiment>
A third embodiment of the optical waveguide component of the present invention will be described with reference to FIG.
The optical waveguide component 100 of the third embodiment has substantially the same configuration as that of the second embodiment except that the refractive index matching unit 350 (see FIG. 6) is air (space). That is, the space portion 200 of the fixing member 120 of the third embodiment has a hollow structure filled with air since it is not filled with a refractive index matching agent or the like.

このため、図8に示す光導波路1の対象部分300の表面部19は、空気界面となっている。
なお、図8の各光導波路1の固定部位1P、1Pは、それぞれ対応する位置決め穴140,141の内周面に対して熱硬化型樹脂を接着剤600として用いて固定されている。
For this reason, the surface portion 19 of the target portion 300 of the optical waveguide 1 shown in FIG. 8 is an air interface.
Note that the fixing portions 1P and 1P of each optical waveguide 1 in FIG. 8 are fixed to the inner peripheral surfaces of the corresponding positioning holes 140 and 141 using a thermosetting resin as the adhesive 600, respectively.

第3実施形態の光導波路部品100では、光導波路1のクラッドを空間部分200で覆っているため、空気の屈折率1とクラッドの屈折率1.44および光導波路1の中心屈折率1.47との階段型の屈折率分布を有することになり、屈折率差Δは約27%にもなる。   In the optical waveguide component 100 of the third embodiment, since the cladding of the optical waveguide 1 is covered with the space portion 200, the refractive index of air 1, the refractive index of the cladding 1.44, and the central refractive index of the optical waveguide 1 1.47. And the refractive index difference Δ is about 27%.

このような屈折率差が大きい構造では、第1実施形態、第2実施形態と同様に、例えばコア径120μmの大口径なマルチモードの伝送光でも、光導波路部品100の光導波方向を90度変換するような構造でも、光信号の伝送損失をより小さくすることが可能である。例えば、本実施形態では、光導波路1の曲げ半径が1mmでは、曲げによる光信号の伝送損失は約0.2dBという値になっている。   In such a structure having a large difference in refractive index, as in the first and second embodiments, the optical waveguide direction of the optical waveguide component 100 is set to 90 degrees even for large-diameter multimode transmission light having a core diameter of 120 μm, for example. Even with a structure for conversion, it is possible to further reduce the transmission loss of the optical signal. For example, in this embodiment, when the bending radius of the optical waveguide 1 is 1 mm, the transmission loss of the optical signal due to the bending is about 0.2 dB.

図9は、本発明の実施形態の光導波路の好ましい断面形状を模式的に表したものである。外側の円が光導波路1のクラッド3を示し、内側の円が光導波路1のコア2を示している。コア2の半径をa、クラッド3の半径をbとし、a^2/b^2(=a/b)をコア2とクラッド3の面積比と定義する。
このコア2とクラッド3の面積比が1/5以上となる光導波路1を使用する。この面積比が大きくなることで、図1に示す曲げ部分10でコア2からクラッド3に漏れる光のパワーが減少し、且つ、コア2からクラッド3に漏れた後、クラッド3と外部環境の境界で反射してコア2に戻ってきてコア2に再結合する光のパワーが増大し、これら複合現象の結果として、曲げ部分10での曲げによる損失を減少させることが可能となる。
FIG. 9 schematically shows a preferable cross-sectional shape of the optical waveguide according to the embodiment of the present invention. The outer circle indicates the cladding 3 of the optical waveguide 1, and the inner circle indicates the core 2 of the optical waveguide 1. The radius of the core 2 a, the radius of the cladding 3 is b, is defined as a ^ 2 / b ^ 2 ( = a 2 / b 2) the area ratio of the core 2 and the cladding 3.
An optical waveguide 1 in which the area ratio of the core 2 and the cladding 3 is 1/5 or more is used. By increasing this area ratio, the power of light leaking from the core 2 to the clad 3 at the bent portion 10 shown in FIG. 1 is reduced, and after leaking from the core 2 to the clad 3, the boundary between the clad 3 and the external environment The power of the light reflected back to the core 2 and recombined with the core 2 increases, and as a result of these composite phenomena, it is possible to reduce the loss due to bending at the bent portion 10.

図10は、本発明の実施形態の光導波路1の曲げ部分10の付近を示している。光導波路1のコア2とクラッド3の面積比は、必ずしも光導波路1の全長にわたって成立している必要は無く、好ましくは曲げ加工された曲げ部分10でのみ前記のコア2とクラッド4の面積比を成立させればよい。この理由としては、上述した光の損失低減効果は曲げ部分10が特に有効な現象となるからである。図10では、曲げ部分10以外の光導波路1の面積比が、曲げ部分10の面積比よりも小さな構造を用いている。   FIG. 10 shows the vicinity of the bent portion 10 of the optical waveguide 1 according to the embodiment of the present invention. The area ratio between the core 2 and the clad 3 of the optical waveguide 1 does not necessarily have to be established over the entire length of the optical waveguide 1, and preferably the area ratio between the core 2 and the clad 4 only at the bent portion 10 that is bent. Can be established. This is because the bending loss 10 is a particularly effective phenomenon in the light loss reduction effect described above. In FIG. 10, a structure in which the area ratio of the optical waveguide 1 other than the bent portion 10 is smaller than the area ratio of the bent portion 10 is used.

上述した面積比の例えば一実施例としては、例えばコア2の外径を30μm、クラッド3の外径を125μmの光ファイバを曲げ加工したものである、曲げ部分10をフッ酸で溶かすことで、曲げ部分のみクラッド外径を65μmにまで細径化した。元々の30μm/125μmの径では、その面積比は36/625=0.0576と1/5(=0.2)より小さい。しかしながら、クラッド外径を65μmに細径化することにより、曲げ部分10での面積比は36/169=0.213となり、曲げ部分10の面積比は1/5(=0.2)より大きくなる。すなわち、曲げ部分10のみを残部に比べて細径化してコア/クラッド比を大きくすることができる。   As an example of the area ratio described above, for example, by bending an optical fiber having an outer diameter of the core 2 of 30 μm and an outer diameter of the cladding 3 of 125 μm, the bent portion 10 is melted with hydrofluoric acid, The outer diameter of the clad was reduced to 65 μm only at the bent portion. In the original diameter of 30 μm / 125 μm, the area ratio is 36/625 = 0.0576, which is smaller than 1/5 (= 0.2). However, by reducing the cladding outer diameter to 65 μm, the area ratio at the bent portion 10 becomes 36/169 = 0.213, and the area ratio of the bent portion 10 is larger than 1/5 (= 0.2). Become. That is, the core / cladding ratio can be increased by reducing the diameter of only the bent portion 10 as compared with the remaining portion.

本発明の別の実施例としては、コア2の外径=62.5μm、クラッドの外径=125μmの光ファイバを曲げ加工し、曲げ部分10をフッ酸で溶かすことで、曲げ部分10のみクラッド3の外径を85μmにまで細径化したものである。この実施例では、細径化前の面積比が62.5μm/125μmなので1/4=0.25であり、1/5(=0.2)より大きい。このため、コア2とクラッド3の面積比が1/5より大きいという条件を満たしている。しかしながら、クラッドをより細径化することにより、曲げ部分10での面積比は625/1156=0.541となり、1/5(=0.2)より、非常に大きくすることができる。この結果、曲げ部分10における曲げ損失低減効果がより顕著となる。   As another embodiment of the present invention, an optical fiber having an outer diameter of the core 2 of 62.5 μm and an outer diameter of the cladding of 125 μm is bent, and the bent portion 10 is melted with hydrofluoric acid so that only the bent portion 10 is clad. The outer diameter of 3 is reduced to 85 μm. In this embodiment, since the area ratio before the diameter reduction is 62.5 μm / 125 μm, 1/4 = 0.25, which is larger than 1/5 (= 0.2). For this reason, the condition that the area ratio of the core 2 and the clad 3 is larger than 1/5 is satisfied. However, by reducing the diameter of the cladding, the area ratio at the bent portion 10 becomes 625/1156 = 0.541, which can be much larger than 1/5 (= 0.2). As a result, the bending loss reduction effect at the bent portion 10 becomes more prominent.

なお、図9、図10に示す面積比を有する光導波路1は、第1ないし第3実施形態と同様の光導波路部品構造としても良い。具体的に説明すると、コア2とクラッド3の面積比が1/5以上の光導波路は、図11の固定部材120は、図3〜図6に示す光導波路部品100の固定部材120と同様な構造を有している。   The optical waveguide 1 having the area ratio shown in FIGS. 9 and 10 may have an optical waveguide component structure similar to that of the first to third embodiments. Specifically, in the optical waveguide having an area ratio of the core 2 and the clad 3 of 1/5 or more, the fixing member 120 in FIG. 11 is the same as the fixing member 120 of the optical waveguide component 100 shown in FIGS. It has a structure.

図11の固定部位1Pの固定長さSは、両端とも約0.5mmの長さである。好ましくは、固定部位1P以外の部分は、図11に示すように固定部材120内は、屈折率が1.38の紫外線硬化型樹脂のような屈折率整合部350が形成されている。固定部材120に設定される光導波路1の本数は、横一直線に例えば12本であり、各光導波路1は250μm間隔で並んだものとなっており、高密度実装に対応出来るものとなっている。
図11では、ガラスファイバのような光導波路1の全長に渡ってコアとクラッドの面積比を1/5以上とするか、または図11に示すように曲げ部分10のみでコアとクラッドの面積比を1/5以上とする。
図11に示すように、固定部材12の内にはこの紫外線硬化型樹脂のような屈折率整合部350が形成され、部品組み立ての接着剤としても作用するので、モジュール内部が強固な構造となるという利点がある。
The fixing length S of the fixing part 1P in FIG. 11 is about 0.5 mm at both ends. Preferably, as shown in FIG. 11, a portion other than the fixing portion 1P is formed with a refractive index matching portion 350 such as an ultraviolet curable resin having a refractive index of 1.38 in the fixing member 120. The number of the optical waveguides 1 set in the fixing member 120 is, for example, 12 in a horizontal straight line, and the optical waveguides 1 are arranged at intervals of 250 μm, and can be used for high-density mounting. .
In FIG. 11, the area ratio of the core and the clad is set to 1/5 or more over the entire length of the optical waveguide 1 such as a glass fiber, or the area ratio of the core and the clad is formed only by the bent portion 10 as shown in FIG. Is 1/5 or more.
As shown in FIG. 11, a refractive index matching portion 350 such as this ultraviolet curable resin is formed in the fixing member 12 and also acts as an adhesive for assembling components, so that the inside of the module has a strong structure. There is an advantage.

なお、光導波路(光ファイバ)の表面(クラッド)の屈折率は、1.444であり、このファイバ表面と紫外線硬化型樹脂の界面では、約4%という大きな屈折率差を有する。
光ファイバの外径が125μm全体をコアとする光導波路として機能し、且つ、コアとクラッドの面積比が1/5以上であることによる、曲げ損失低減効果が働いている。
また、この実施例で光ファイバ内のコアであるGI部分の屈折率分布は、コア中心屈折率(1.474)とクラッド屈折率差が2%である2乗分布形状であり、紫外線硬化型樹脂部分の屈折率を基準に考えると、ファイバ中心は約6%という屈折率差となっている。この実施例では、曲げ半径が1mmとなっており、曲げ損失は約1.3dBである。
The refractive index of the surface (cladding) of the optical waveguide (optical fiber) is 1.444, and there is a large refractive index difference of about 4% at the interface between the fiber surface and the ultraviolet curable resin.
The optical fiber functions as an optical waveguide having the entire outer diameter of 125 μm as a core, and the effect of reducing the bending loss due to the area ratio between the core and the clad being 1/5 or more.
Further, in this embodiment, the refractive index distribution of the GI portion which is the core in the optical fiber is a square distribution shape in which the difference between the core center refractive index (1.474) and the clad refractive index is 2%, which is an ultraviolet curable type. Considering the refractive index of the resin portion as a reference, the fiber center has a refractive index difference of about 6%. In this embodiment, the bending radius is 1 mm and the bending loss is about 1.3 dB.

さらに他の実施例では、コア2の外径を62.5μm、クラッド3の外径を125μmの曲げ部分のみを、フッ酸で溶かしてクラッド外径を85μmにしている。クラッド外部は屈折率1.38の紫外線硬化型樹脂であるのは同一である。このとき、曲げ部分10におけるコア2とクラッド3の面積比は上述のように、625/1156=0.541であり、曲げ部分10での曲げ損失低減効果が顕著に作用し、この実施例での曲げ損失は約0.25dBとなっており、フッ酸で溶かす前の実施例と比較して、約1dBの低損失化が達成されている。   In still another embodiment, only the bent portion where the outer diameter of the core 2 is 62.5 μm and the outer diameter of the cladding 3 is 125 μm is melted with hydrofluoric acid so that the outer diameter of the cladding is 85 μm. The outside of the cladding is the same as the ultraviolet curable resin having a refractive index of 1.38. At this time, the area ratio between the core 2 and the clad 3 in the bent portion 10 is 625/1156 = 0.541 as described above, and the bending loss reducing effect in the bent portion 10 is significantly affected. The bending loss is about 0.25 dB, and a reduction in loss of about 1 dB is achieved as compared with the example before melting with hydrofluoric acid.

さらにその他の実施例では、コア2を30μm、クラッド3を125μmのGIファイバ(屈折率差Δは前実施例と同じ)を、曲げ部分のみフッ酸で溶かして、クラッド外径を65μmに細径化し、その外部を屈折率1.38の紫外線硬化型樹脂で埋められている。
前述のように細径化前ではコアとクラッドの面積比は36/625=0.0576と1/5(=0.2)より小さいが、曲げ部分10では、その面積比は36/169=0.213となっている。細径化前では曲げ半径1mmにて、曲げ損失は約2.3dBであったが、細径化後には約0.7dBにまで曲げ損失が低減されている。なお、この実施例でのコア/クラッド面積比0.213が前実施例の細径化前の面積比1/4より小さいのに、曲げ損失が小さいのは、屈折率分布、屈折率差Δが同一でコア径だけが30μmと62.5μmと異なる場合、大きい62.5μmのコア径の方が、光ファイバの伝送モード数が多
く、高次モードが励振された場合に、高次モードの曲げ損失耐性が低い為、損失が大きいと考えられる。
In another embodiment, the core 2 is 30 μm and the cladding 3 is 125 μm GI fiber (refractive index difference Δ is the same as in the previous embodiment). Only the bent portion is melted with hydrofluoric acid, and the cladding outer diameter is reduced to 65 μm. The outside is filled with an ultraviolet curable resin having a refractive index of 1.38.
As described above, the area ratio between the core and the clad is 36/625 = 0.0576, which is smaller than 1/5 (= 0.2) before the diameter reduction, but in the bent portion 10, the area ratio is 36/169 = 0.213. Before the diameter reduction, the bending loss was about 2.3 dB at a bending radius of 1 mm, but after the diameter reduction, the bending loss was reduced to about 0.7 dB. Although the core / cladding area ratio 0.213 in this example is smaller than the area ratio 1/4 before the diameter reduction in the previous example, the bending loss is small because the refractive index distribution and the refractive index difference Δ Are the same and only the core diameter is different from 30 μm and 62.5 μm, the larger 62.5 μm core diameter has a higher number of transmission modes of the optical fiber and the higher order mode is excited. Since the bending loss resistance is low, the loss is considered large.

さらにその他の実施例では、コア径が50μm、クラッド径が80μmであるGIファイバ(屈折率分布形状、屈折率差Δは前実施例と同一)を用いて、125μmピッチで12本を横一列に並べて光導波路部品化して、曲げ部分10を屈折率1.38の紫外線硬化型樹脂で埋めた。コア/クラッド面積比は、この場合には25/64=0.391であり、曲げ半径1mmでの曲げ損失は約0.2dBである。
この実施例と、コア径62.5μmの細径化後の実施例のコア/クラッド面積比が、0.391と0.541であるのに、0.391の本実施例の方が曲げ損失が小さいのは、前述したコア径の大小によるモード数の違いによると考えられ、本実施例の50μmのコア径よりも、62.5μmのコア径の方がモード数が多く、高次モードが曲げ損失耐性が小さい為、曲げ損失が大きいと考えられる。
In another embodiment, 12 fibers are arranged in a horizontal row at a 125 μm pitch using a GI fiber (refractive index distribution shape, refractive index difference Δ is the same as in the previous embodiment) having a core diameter of 50 μm and a cladding diameter of 80 μm. The bent portions 10 were filled with an ultraviolet curable resin having a refractive index of 1.38. The core / cladding area ratio is 25/64 = 0.391 in this case, and the bending loss at a bending radius of 1 mm is about 0.2 dB.
The core / cladding area ratio of this example and the example after the core diameter of 62.5 μm is 0.391 and 0.541, but the present example of 0.391 has a bending loss. Is considered to be due to the difference in the number of modes depending on the size of the core diameter described above. The core diameter of 62.5 μm has a larger number of modes than the 50 μm core diameter of the present embodiment, and higher order modes It is considered that the bending loss is large because the bending loss resistance is small.

図12には、幾つかのコア/クラッド面積比について、曲げ半径を変えて曲げ損失を測定した測定グラフを示している。図12のグラフは右下がりの傾向を示し、直線近似すると、曲げ半径1mmではコア/クラッド面積比が1/5=0.2以上で実用的な曲げ損失である1.5dB以下を達成することが可能と見受けられる。   FIG. 12 shows measurement graphs in which bending loss was measured by changing the bending radius for several core / cladding area ratios. The graph of FIG. 12 shows a downward-sloping tendency. When a straight line is approximated, a practical bending loss of 1.5 dB or less is achieved with a core / cladding area ratio of 1/5 = 0.2 or more at a bending radius of 1 mm. Seems to be possible.

次に、図11に示す光導波路部品100の別の実施形態を説明する。図11の光導波路部品100の固定部材120は、前記のコア径62.5μm、50μm、30μmのGI型屈折率分布を持つ外径aが80μm又は125μmの光ファイバを位置決めして固定している。
具体的には、コア/クラッドが62.5/125、曲げ部分10のみ62.5/85(曲げ部分以外の残部は62.5/125)、50/80、曲げ部分10のみ30/65(曲げ部分以外の残部は30/125)の合計4種類である。
Next, another embodiment of the optical waveguide component 100 shown in FIG. 11 will be described. The fixing member 120 of the optical waveguide component 100 in FIG. 11 positions and fixes an optical fiber having an outer diameter a of 80 μm or 125 μm having a GI-type refractive index distribution with a core diameter of 62.5 μm, 50 μm, and 30 μm. .
Specifically, the core / cladding is 62.5 / 125, only the bent portion 10 is 62.5 / 85 (the remaining portion other than the bent portion is 62.5 / 125), 50/80, only the bent portion 10 is 30/65 ( The remaining parts other than the bent part are a total of four types of 30/125).

固定部材120の固定部位1Pの固定長さSは両端とも約0.5mmであり、固定部位1P以外の部分固定部材120内は、空間となっており光導波路表面は空気界面となっている。すなわち光導波路部品1の内部が中空構造となっている。この構造では、前記の紫外線効果型樹脂を充填した構造よりもモジュールの強固度合いは弱くなるが、この構造では中空部分は空気の屈折率1とファイバクラッドの屈折率1.44及びファイバ中心屈折率1.474との階段型屈折率分布の光導波路構造となり、屈折率差Δは約27%にもなる。   The fixing length S of the fixing part 1P of the fixing member 120 is about 0.5 mm at both ends, the inside of the partial fixing member 120 other than the fixing part 1P is a space, and the surface of the optical waveguide is an air interface. That is, the inside of the optical waveguide component 1 has a hollow structure. In this structure, the module is weaker than the structure filled with the ultraviolet effect resin, but in this structure, the hollow portion has an air refractive index of 1, a fiber cladding refractive index of 1.44, and a fiber center refractive index. The optical waveguide structure has a staircase type refractive index distribution of 1.474, and the refractive index difference Δ is about 27%.

このような高屈折率差では、例えばコア径120μmの大口径なマルチモードの光導波路1が、本光導波路部品1と接続されて、その光導波方向を90度変換しても、その変換部である曲げ部分10の曲げによる伝送損失が小さい。この実施例での光ファイバにおける曲げ半径が1mmの場合では、どのコア/クラッド面積比の実施例でも、曲げ損失が1dB以下という値になっている。なお、例えば光導波路の本数は横一直線に12本が250μmの間隔または125μmの間隔(50/80の実施例)で並んだものとなっており、高密度実装に対応できるものとなっている。   With such a high refractive index difference, for example, even if the large-diameter multimode optical waveguide 1 having a core diameter of 120 μm is connected to the optical waveguide component 1 and its optical waveguide direction is converted by 90 degrees, the conversion unit The transmission loss due to bending of the bent portion 10 is small. When the bending radius of the optical fiber in this embodiment is 1 mm, the bending loss is 1 dB or less in any core / cladding area ratio embodiment. For example, the number of optical waveguides is 12 in a horizontal line with 250 μm intervals or 125 μm intervals (50/80 example), and can be used for high-density mounting.

各実施形態では外径が125μmまたは80μm、コア径が62.5μm、50μm、30μmのGIファイバを用いたが、これらサイズはあくまでも実施の一例であり、これらの値に限定されるものではなく、コアとクラッドの面積比が1/5以上であることが本質である。また、コアの屈折率分布も実施例のGIファイバに限定されるものではなく、ステップインデックスやW型など、任意の分布に適用される。屈折率差Δも同様に、実施例の屈折率差Δに限定されるものではない。   In each embodiment, a GI fiber having an outer diameter of 125 μm or 80 μm and a core diameter of 62.5 μm, 50 μm, or 30 μm was used, but these sizes are merely examples of implementation, and are not limited to these values. It is essential that the area ratio of the core and the clad is 1/5 or more. Further, the refractive index distribution of the core is not limited to the GI fiber of the embodiment, and can be applied to an arbitrary distribution such as a step index or a W type. Similarly, the refractive index difference Δ is not limited to the refractive index difference Δ of the embodiment.

本発明の実施形態の光導波路1では、光導波路1の加熱対象部分が加熱されて加工状態に移行し、加工状態に移行した加熱対象部分9を所定の曲げ半径で曲線状に曲げることで曲げ部分10を形成しており、曲げ部分10は冷却されて形状が安定する。加工状態に移行する曲げ部分10を固定部材120の空間部分200に収納して、固定部材120に収納された曲げ部分10において曲げ部分10の表面部の屈折率よりも小さな光の屈折率を有する物質350によって表面部19が満たされていることで形成されている。
これにより、構造が簡単であり部品点数が少なく、曲げようとする部分において光ファイバ同士の位置合わせが不要であり、所望の半径で曲げた小さな曲げ部分で大口径のマルチモード光導波路であっても光の導波方向を変換することができる。本発明の光導波路1では、曲げ部分10を屈曲点以上、軟化点以下の範囲内の温度に加熱して、加工状態に移行させている。これにより、加熱する際に、確実に加工状態に移行させることができる。
In the optical waveguide 1 according to the embodiment of the present invention, the part to be heated of the optical waveguide 1 is heated to shift to the processing state, and the heating target part 9 that has shifted to the processing state is bent by bending with a predetermined bending radius. The portion 10 is formed, and the bent portion 10 is cooled and the shape is stabilized. The bending portion 10 that shifts to the processing state is accommodated in the space portion 200 of the fixing member 120, and the bending portion 10 accommodated in the fixing member 120 has a light refractive index smaller than the refractive index of the surface portion of the bending portion 10. It is formed by filling the surface portion 19 with the substance 350.
As a result, the structure is simple, the number of parts is small, the optical fibers need not be aligned at the part to be bent, and the multi-mode optical waveguide has a large diameter with a small bent part bent at a desired radius. Can also change the waveguide direction of light. In the optical waveguide 1 of the present invention, the bent portion 10 is heated to a temperature within the range of the bending point or more and the softening point or less to shift to the processed state. Thereby, when heating, it can be made to shift to a processing state reliably.

本発明の光導波路1では、外径が50μm以上のコアとコアを被覆するクラッドを有する光ファイバ、またはコアのみを有する全コア型光ファイバ、またはクラッドのみを有するガラス棒である。   The optical waveguide 1 of the present invention is an optical fiber having a core having an outer diameter of 50 μm or more and a clad covering the core, an all-core optical fiber having only the core, or a glass rod having only the clad.

本発明の光導波路は、好ましくは前記光導波路の前記曲げ半径は、5.0mm以下である。これにより、小さな空間や角部であっても光導波路が配置できる。
本発明の光導波路部品は、好ましくは光導波路が複数本アレイ状に並べられており、複数本の前記光導波路の少なくとも一部が位置決め機構を有する前記固定部材により固定されている。
In the optical waveguide of the present invention, the bending radius of the optical waveguide is preferably 5.0 mm or less. Thereby, an optical waveguide can be arranged even in a small space or corner.
In the optical waveguide component of the present invention, a plurality of optical waveguides are preferably arranged in an array, and at least a part of the plurality of optical waveguides is fixed by the fixing member having a positioning mechanism.

本発明の光導波路部品では、光導波路の表面を覆う屈折率整合部は、光導波路の表面のクラッドよりも屈折率が低ければ良く、材質としては紫外線硬化型樹脂、熱硬化型樹脂もしくは空気であってもよい。いずれの材質でも、光導波路とクラッドとの界面における屈折率差を大きくすることが可能となり、光伝送損失を抑制することができる。   In the optical waveguide component of the present invention, the refractive index matching portion that covers the surface of the optical waveguide only needs to have a refractive index lower than that of the cladding on the surface of the optical waveguide, and the material is an ultraviolet curable resin, a thermosetting resin, or air. There may be. Any material can increase the refractive index difference at the interface between the optical waveguide and the clad, thereby suppressing optical transmission loss.

ところで、本発明は、上記実施形態に限定されず種々の変形例を採用することができる。
例えば、図1の曲げ部分の製造装置200は、光導波路1において曲げ部分10の形成を行う際に、光導波路1の所望の加熱対象部分9を加熱するために、アーク放電による加熱を行っている。しかし、曲げ部分の製造装置200としては、これに限らずバーナーによる加熱、炉による加熱等の各種の手段を採用できる。
By the way, this invention is not limited to the said embodiment, A various modified example is employable.
For example, when the bent portion manufacturing apparatus 200 in FIG. 1 forms the bent portion 10 in the optical waveguide 1, in order to heat the desired heating target portion 9 of the optical waveguide 1, heating is performed by arc discharge. Yes. However, the bending portion manufacturing apparatus 200 is not limited to this, and various means such as heating by a burner and heating by a furnace can be adopted.

上述した本発明の実施形態では、光導波路としては、例えば外径が125μmのコア径62.5μmのGIファイバ(グレーデッドインデックス・マルチモード光ファイバ)を用いている。このGIファイバは、外径が50μm以上のコアとコアを被覆するクラッドを有する光ファイバの一例である。
しかし、これに限らず、本発明の実施形態と実施例では、光導波路は、コアのみを有する全コア型光ファイバ、またはクラッドのみを有するガラス棒型の光ファイバであっても良い。本発明の各実施形態は、任意に組み合わせることができる。
In the embodiment of the present invention described above, for example, a GI fiber (graded index multimode optical fiber) having a core diameter of 62.5 μm and an outer diameter of 125 μm is used as the optical waveguide. This GI fiber is an example of an optical fiber having a core having an outer diameter of 50 μm or more and a clad covering the core.
However, the present invention is not limited to this, and in the embodiments and examples of the present invention, the optical waveguide may be an all-core type optical fiber having only a core or a glass rod type optical fiber having only a clad. Each embodiment of the present invention can be arbitrarily combined.

本発明の光導波路は、このような種類の光導波路の外側の物質との光屈折率差を利用することで、高屈折率構造の光導波路として機能させることができることができ、光ファイバの材質、光ファイバの屈折率分布や光ファイバの外径寸法に限定されない。
光導波路の材料としては、石英系、全プラスチック、プラスチッククラッドなどがある。
The optical waveguide of the present invention can function as an optical waveguide having a high refractive index structure by utilizing the difference in optical refractive index with the material outside the optical waveguide of this kind, and the material of the optical fiber. It is not limited to the refractive index distribution of the optical fiber or the outer diameter of the optical fiber.
Examples of optical waveguide materials include quartz, all plastic, and plastic cladding.

図示例の光導波路1は、光の変更方向が90度であるが、90度に限らず任意の角度を選択できる。   In the illustrated optical waveguide 1, the light changing direction is 90 degrees, but the angle is not limited to 90 degrees, and an arbitrary angle can be selected.

1 光導波路
1P 光導波路の固定部位
4,5 電極
6 制御部
9 加熱対象部分
10 曲げ部分
19 光導波路1の表面部
100 光導波路部品
120 固定部材
121 固定部材の第1部分
122 固定部材の第2部分
130 位置決め部(位置決め機構)
131 位置決め部(位置決め機構)
140 位置決め穴
141 位置決め穴
170 開口部
200 光導波路の曲げ部分製造装置
300 対象部分
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical waveguide 1P Fixed part of optical waveguide 4,5 Electrode 6 Control part 9 Heating part 10 Bending part 19 Surface part of optical waveguide 1 100 Optical waveguide component 120 Fixing member 121 First part of fixing member 122 Second of fixing member Part 130 Positioning part (positioning mechanism)
131 Positioning part (positioning mechanism)
140 Positioning hole 141 Positioning hole 170 Opening portion 200 Optical waveguide bending portion manufacturing apparatus 300 Target portion

Claims (9)

対象部分が所定の曲げ半径で曲線状に曲げられた曲げ部分を有する光導波路と、
前記光導波路の少なくとも前記曲げ部分が収納される固定部材と、を備え、
前記光導波路は、コアと前記コアを被覆するクラッドを有するマルチモード光ファイバであり、
前記曲げ部分の前記コアと前記クラッドの断面積比が1/5以上であり、
前記曲げ部分の直径が50μm以上であり、
前記固定部材は、前記光導波路の前記曲げ部分の両側を直接固定する固定部位と、前記曲げ部分を収納する空間部を有し、
前記空間部には、前記曲げ部分の表面部の屈折率よりも小さい屈折率を有する屈折率整合剤が充填されている光導波路部品であって、
前記固定部材は、前記光導波路の曲げの内側であって、前記光導波路の前記曲げ部分の両側の直線部分に沿った該固定部材の外面に開口部を有し、前記開口部から前記屈折率整合剤が充填可能であり、
前記屈折率整合剤は、UV硬化型樹脂または熱硬化型樹脂であることを特徴とする光導波路部品。
An optical waveguide having a bent portion in which the target portion is bent in a curved shape with a predetermined bending radius;
A fixing member for storing at least the bent portion of the optical waveguide,
The optical waveguide is a multimode optical fiber having a core and a clad covering the core,
A cross-sectional area ratio of the core and the clad of the bent portion is 1/5 or more;
A diameter of the bent portion is 50 μm or more;
The fixing member has a fixing portion that directly fixes both sides of the bent portion of the optical waveguide, and a space portion that stores the bent portion,
The space portion is an optical waveguide component filled with a refractive index matching agent having a refractive index smaller than the refractive index of the surface portion of the bent portion,
The fixing member includes an inner bend of the optical waveguide has an opening on the outer surface of the fixing member along the both sides of the linear portion of the bending portion of the optical waveguide, the refractive through the opening Rate matching agent can be filled,
The optical waveguide component, wherein the refractive index matching agent is a UV curable resin or a thermosetting resin.
前記光導波路の曲げ部分の外径は、直線部分の外径よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の光導波路部品。   The optical waveguide component according to claim 1, wherein an outer diameter of the bent portion of the optical waveguide is smaller than an outer diameter of the linear portion. 前記曲げ部分の前記コアの外径が30μm以上であることを特徴とする請求項1または2に記載の光導波路部品。   The optical waveguide component according to claim 1, wherein an outer diameter of the core of the bent portion is 30 μm or more. 前記曲げ部分の直径が125μm以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の光導波路部品。   The optical waveguide component according to claim 1, wherein a diameter of the bent portion is 125 μm or less. 前記光導波路の曲げ部分の曲げ半径は、5.0mm以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の光導波路部品。   The optical waveguide component according to any one of claims 1 to 4, wherein a bending radius of a bent portion of the optical waveguide is 5.0 mm or less. 前記光導波路が複数本並べられていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の光導波路部品。   6. The optical waveguide component according to claim 1, wherein a plurality of the optical waveguides are arranged. 光導波路の加熱対象部分を加熱し、前記加熱対象部分を所定の曲げ半径で曲線状に曲げて曲げ部分を形成する工程と、
前記光導波路の前記曲げ部分の両側を直接固定する固定部位と、前記曲げ部分を収納する空間部を有する固定部材に前記光導波路を収納する工程と、
前記空間部に前記曲げ部分の表面部の屈折率よりも小さい屈折率を有する屈折率整合剤を充填する工程を有し、
前記光導波路は、コアと前記コアを被覆するクラッドを有するマルチモード光ファイバであり、
前記曲げ部分の前記コアと前記クラッドの断面積比が1/5以上であり、
前記曲げ部分の直径が50μm以上であり
前記固定部材は、前記光導波路の曲げの内側であって、前記光導波路の前記曲げ部分の両側の直線部分に沿った該固定部材の外面に開口部を有し、前記開口部から前記屈折率整合剤が充填され
前記屈折率整合剤は、UV硬化型樹脂または熱硬化型樹脂である
ことを特徴とする光導波路部品の製造方法。
Heating the heating target portion of the optical waveguide, bending the heating target portion in a curved shape with a predetermined bending radius, and forming a bent portion;
Storing the optical waveguide in a fixing member that directly fixes both sides of the bent portion of the optical waveguide, and a fixing member having a space that stores the bent portion;
Filling the space with a refractive index matching agent having a refractive index smaller than the refractive index of the surface portion of the bent portion;
The optical waveguide is a multimode optical fiber having a core and a clad covering the core,
A cross-sectional area ratio of the core and the clad of the bent portion is 1/5 or more;
The bending portion of the diameter is not less 50μm or more the fixing member, an inner bend of the optical waveguide, the opening on the outer surface of the bending the fixing member along the linear portion of each side portion of the optical waveguide And filled with the refractive index matching agent from the opening,
The method of manufacturing an optical waveguide component, wherein the refractive index matching agent is a UV curable resin or a thermosetting resin.
前記光導波路を前記固定部材に収納する前に、
前記光導波路の前記曲げ部分の外径を直線部分の外径よりも小さくする工程を有することを特徴とする請求項7に記載の光導波路部品の製造方法。
Before storing the optical waveguide in the fixing member,
8. The method of manufacturing an optical waveguide component according to claim 7, further comprising a step of making an outer diameter of the bent portion of the optical waveguide smaller than an outer diameter of the straight portion.
前記光導波路の前記曲げ部分の外径を小さくする工程は、前記曲げ部分の前記クラッドをフッ酸で溶かす工程であることを特徴とする請求項8に記載の光導波路部品の製造方法。
9. The method of manufacturing an optical waveguide component according to claim 8, wherein the step of reducing the outer diameter of the bent portion of the optical waveguide is a step of dissolving the clad of the bent portion with hydrofluoric acid.
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