JP5479201B2 - 材料加工のためのレーザ装置並びにこの種のレーザ装置を伴うレーザ加工機械 - Google Patents
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Description
・レーザビームを生成するためのレーザビーム源と、
・当該レーザビーム源によって生成されたレーザビームが内部を伝播し、ガスを含んでいるビーム空間と、
・ビーム空間内でのガスの温度状態(Temperaturverhaeltnisse)を検出し、制御装置と接続されている温度検出装置と、
・温度調整装置とを有しており、
前記制御装置は、温度検出装置によって検出された温度状態に依存して、温度調整装置を制御し、それに従って当該温度調整装置はビーム空間内のガスの温度状態を調整する。
・レーザビームを生成するためのレーザビーム源と、
・当該レーザビーム源によって生成されたレーザビームが内部で伝播し、ガスを含んでいるビーム空間と、
・当該ビーム空間内のガスの温度状態を検出し、制御装置と接続されている温度検出装置と、
・温度調整装置とを有しており、
前記制御装置は、前記温度検出装置によって検出された温度状態に依存して、前記温度調整装置を制御し、従って、当該温度調整装置が前記ビーム空間内のガスの温度状態を調整する形式のものにおいて、
前記温度検出装置が、複数の測定装置を前記ビーム空間に沿って有することで、前記温度検出装置は、前記ビーム空間内のガス内の温度状態をビーム空間横断面にわたって検出し、前記複数の測定装置は、前記ビーム空間内のガスの温度を、前記レーザビームのビーム伝播方向に沿って、前記レーザビームからの種々異なる半径方向間隔で測定する、ことを特徴とするレーザ装置によって解決される。
Claims (11)
- 材料加工のためのレーザ装置であって、
・レーザビーム(16)を生成するためのレーザビーム源(3)と、
・当該レーザビーム源(3)によって生成されたレーザビーム(16)が内部で伝播し、ガスを含んでいるビーム空間(6)と、
・当該ビーム空間(6)内のガスの温度状態を検出し、制御装置(28)と接続されている温度検出装置(26)と、
・温度調整装置(22)とを有しており、
前記制御装置(28)は、前記温度検出装置(26)によって検出された温度状態に依存して、前記温度調整装置(22)を制御し、従って、当該温度調整装置が前記ビーム空間(6)内のガスの温度状態を調整する形式のものにおいて、
前記温度検出装置(26)が、複数の測定装置(27)を前記ビーム空間(6)に沿って有することで、前記温度検出装置(26)は、前記ビーム空間(6)内のガス内の温度状態をビーム空間断面にわたって検出し、前記複数の測定装置は、前記ビーム空間(6)内のガスの温度を、前記レーザビーム(16)のビーム伝播方向に沿って、前記レーザビーム(16)からの種々異なる半径方向間隔で測定する、
ことを特徴とするレーザ装置。 - 前記温度調整装置(22)は、前記制御装置(28)による前記制御に基づいて、前記ビーム空間(6)内のガスの温度状態を、前記ビーム空間(6)内のガスの温度状態が均一になるように調整する、請求項1記載のレーザ装置。
- 前記温度調整装置(22)は渦形成装置を有しており、当該渦形成装置によって、前記ビーム空間内のガスが渦状にされるおよび/または前記温度調整装置(22)は、前記ビーム空間(6)内のガスの流速を調整する装置を有している、請求項1または2記載のレーザ装置。
- 前記温度調整装置(22)はベンチレータ(23)を有しており、当該ベンチレータによって前記ビーム空間(6)内のガスが渦状にされるおよび/または前記ビーム空間(6)内のガスの流速が調整される、請求項1から3までのいずれか1項記載のレーザ装置。
- 前記温度調整装置(22)は冷却装置および/または加熱装置(24)を有している、請求項1から4までのいずれか1項記載のレーザ装置。
- 前記ビーム空間(6)はビームガイド部を構成し、前記レーザビーム源(3)を離れた後、前記レーザビーム(16)は当該ビームガイド部内を伝播する、請求項1から5までのいずれか1項記載のレーザ装置。
- 前記ビーム空間(6)に対してバイパス(21)が設けられており、当該バイパス内に前記温度調整装置(22)が配置されている、請求項1から6までのいずれか1項記載のレーザ装置。
- 前記ビーム空間(6)内のガスとして空気または窒素ガスが含まれている、請求項1から7までのいずれか1項記載のレーザ装置。
- 前記レーザ装置(4)は、薄板加工のために設けられている、請求項1から8までのいずれか1項記載のレーザ装置。
- 請求項1から8までのいずれか1項記載のレーザ装置(4)を含んでいる、材料加工のためのレーザ加工装置。
- 請求項9記載のレーザ装置(4)を含んでいる、薄板加工のためのレーザ加工装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP09005968A EP2246142B1 (de) | 2009-04-30 | 2009-04-30 | Laseranordnung für die Materialbearbeitung mit einer mit einer Steuereinrichtung in Verbindung stehenden Temperatur-Erfassungeinrichtung ; Laserbearbeitungsmaschine mit einer derartigen Laseranordnung |
EP09005968.4 | 2009-04-30 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010260103A JP2010260103A (ja) | 2010-11-18 |
JP5479201B2 true JP5479201B2 (ja) | 2014-04-23 |
Family
ID=41058948
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010103022A Expired - Fee Related JP5479201B2 (ja) | 2009-04-30 | 2010-04-28 | 材料加工のためのレーザ装置並びにこの種のレーザ装置を伴うレーザ加工機械 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2246142B1 (ja) |
JP (1) | JP5479201B2 (ja) |
CN (1) | CN101875155A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5540476B2 (ja) * | 2008-06-30 | 2014-07-02 | 株式会社Ihi | レーザアニール装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3159640B2 (ja) * | 1995-12-26 | 2001-04-23 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工機 |
JPH11277286A (ja) | 1998-03-26 | 1999-10-12 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工装置 |
JP4335154B2 (ja) | 2003-05-20 | 2009-09-30 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工装置 |
JP3839017B2 (ja) * | 2003-11-27 | 2006-11-01 | ファナック株式会社 | レーザ加工装置 |
EP1623790B1 (de) | 2004-08-06 | 2008-12-10 | Trumpf Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG | Laserbearbeitungskopf |
-
2009
- 2009-04-30 EP EP09005968A patent/EP2246142B1/de not_active Not-in-force
-
2010
- 2010-04-28 JP JP2010103022A patent/JP5479201B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-04-30 CN CN2010101704155A patent/CN101875155A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010260103A (ja) | 2010-11-18 |
CN101875155A (zh) | 2010-11-03 |
EP2246142B1 (de) | 2012-07-11 |
EP2246142A1 (de) | 2010-11-03 |
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