JP5472520B2 - バイオセンサキット - Google Patents
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Description
[1]電界効果トランジスタに接続された反応場に被検出物質認識分子を固定化して前記被検出物質認識分子に被検出物質を反応させたときに、前記電界効果トランジスタに発生する電流の値を測定されるバイオセンサチップと、前記バイオセンサチップおよび乾燥剤を密封する、金属膜を含む梱包材からなる第1梱包体と、前記被検出物質認識分子と、前記被検出物質認識分子を保湿状態で密封する、金属膜を含む梱包材からなる第2梱包体と、前記第1梱包体および前記第2梱包体を密封する、金属膜を含む梱包材からなる第3梱包体と、を含むバイオセンサキットであって、前記バイオセンサチップは、実装基板と、前記実装基板に実装された前記電界効果トランジスタと、前記実装基板上に形成された、前記電界効果トランジスタにゲート電位を供給する前記反応場と、を有し、前記実装基板には、前記電界効果トランジスタのソース電極に電気接続された外部接続端子と、前記電界効果トランジスタのドレイン電極に電気接続された外部接続端子と、前記反応場に所定電位を印加するための外部接続端子と、が設けられている、バイオセンサキット。
[2]前記反応場は、前記被検出物質認識分子を固定化するための表面処理がなされている、[1]に記載のバイオセンサキット。
[3]前記反応場の前記表面処理は、シラン化処理である、[2]に記載のバイオセンサキット。
[4]前記反応場の前記表面処理は、金または白金の薄膜が形成され、該薄膜上にSAM膜が形成される処理である、[2]に記載のバイオセンサキット。
[5]前記反応場は、前記実装基板上に配置された半導体基板に形成されている、[1]〜[4]のいずれか一項に記載のバイオセンサキット。
[6]前記実装基板は、無機材料、有機材料またはそれらの混成材料からなる、[1]〜[4]のいずれか一項に記載のバイオセンサキット。
本発明のバイオセンサキットは、バイオセンサチップと、それを密封する梱包体とを有する。バイオセンサチップを密封する梱包体は、金属膜を有する積層フィルムであることが好ましい。外部から内部への水分の透過や、光の侵入を効果的に抑制するためである。梱包体は、例えば、それを構成するフィルムの内層を熱融着可能な樹脂層として、梱包体の開口部を融着により閉じられている。
本発明の被検出物質検出システムは、バイオセンサチップと検出装置とを具備する。バイオセンサチップは、前述の第一の態様/第二の態様のバイオセンサチップのいずれでもよい。電界効果トランジスタを含まない第二の態様のバイオセンサチップを具備する被検出物質検出システムは、電界効果トランジスタを含む検出装置を用いる。検出装置は、センシングのための工程に用いられる要素、例えば反応場を洗浄するための洗浄手段や、洗浄後の反応場から洗浄液を除去する除去手段なども具備しうる。
第一の態様のバイオセンサチップは、電界効果トランジスタと、実装基板とを有する。電界効果トランジスタは、絶縁膜を有する半導体基板と、前記絶縁膜上に配置されたソース電極およびドレイン電極と、前記絶縁膜上に配置され前記ソース電極及びドレイン電極に電気的に接続された半導体からなるチャネルとを有する。
1)半導体基板の表面にシリコン酸化膜、シリコン窒化膜、ハフニウム酸化膜等の絶縁膜を形成する。例えば、熱酸化法、CVD法などで絶縁膜を成膜すればよい。
2)絶縁膜上に、ソース電極とドレイン電極、および両電極を接続するチャネルを形成する。カーボンナノチューブチャネルであれば、例えばエチルアルコール等の有機材料を用いたCVD法や既製のカーボンナノチューブにより作成され、ポリシリコンまたはアモルファスシリコンチャネルであれば、CVD法やエピタキシャル成長法などで形成されうる。チャネル形成後、少なくともチャネル上にシリコン酸化膜、シリコン窒化膜、ハフニウム酸化膜などの絶縁膜からなるパッシベーション膜を形成し、チャネル両端部を開口する。その後、導電材料を例えばスパッタリング法で被着させることによりチャネル端部と接合させ、不要部分をエッチング除去することでソース電極およびドレイン電極が形成される。
第二の態様のバイオセンサチップは、実装基板と、前記実装基板上に形成された反応場と、を有する。実装基板には半導体基板が配置されていてもよく、反応場は半導体基板に形成されていることが好ましい。第二の態様のバイオセンサチップの反応場には、所望の電位を印加する必要がある。そのため、反応場の周囲の一部または全部に、参照電極が配置されている。
1)半導体基板の表面にシリコン酸化膜、シリコン窒化膜、ハフニウム酸化膜等の絶縁膜を形成する。例えば、熱酸化法、CVD法などで絶縁膜を成膜すればよい。
2)上記1)で絶縁膜が形成された半導体基板の所望の領域に反応場を形成する。次に、絶縁膜の一部を反応場の電位を引き出すための電極予定部として開口する。次にこの反応場の周囲または近傍の絶縁膜上に、アルミニウム等の導電膜を形成し、ゲート電極または参照電極とそこから引き出された配線、後述する実装基板上の配線と接続するための接続端子、および反応場の電位を引き出すための電極をエッチングにより形成する。このように形成された反応場に、第一の態様と同様に被検出物質認識分子を固定可能なように表面処理をする。さらに、反応場に被検出物質認識分子を固定してもよい。
本発明のバイオセンサキットを用いて、例えば以下の方法で被検出物質を検出することができる。
11 実装基板
20 半導体基板
21 ソース電極
22 ドレイン電極
23 チャネル
24 反応場
25 走査電極または参照電極
26 被検出物質認識分子
30A,30B,30C 外部接続端子
40 封止部材
50 保湿シール
60,60’,60−1 バイオセンサチップ
61 実装基板
65 ガラス基板
66 絶縁膜
70 半導体基板
71 参照電極
72 反応場
73 被検出物質認識分子
75 反応場電位引出し配線
80A,80B 外部接続端子
90 封止部材
91 保湿シール
100 チップ梱包体
110 吸湿剤または乾燥剤
200 キット梱包体
300 梱包体
400 検出装置
410A,410B,410C 入力端子
420 電流検出手段
430 電源
440 検出回路
450 判定手段
460 表示手段
470 電源
500 検出装置
510A,510B 入力端子
520 電流検出手段
530 電源
540 電界効果トランジスタ
550 検出回路
560 判定手段
570 表示手段
580 電源
Claims (6)
- 電界効果トランジスタに接続された反応場に被検出物質認識分子を固定化して前記被検出物質認識分子に被検出物質を反応させたときに、前記電界効果トランジスタに発生する電流の値を測定されるバイオセンサチップと、前記バイオセンサチップおよび乾燥剤を密封する、金属膜を含む梱包材からなる第1梱包体と、前記被検出物質認識分子と、前記被検出物質認識分子を保湿状態で密封する、金属膜を含む不透水性の梱包材からなる第2梱包体と、前記第1梱包体および前記第2梱包体を密封する、金属膜を含む梱包材からなる第3梱包体と、を含むバイオセンサキットであって、
前記バイオセンサチップは、実装基板と、前記実装基板に実装された前記電界効果トランジスタと、前記実装基板上に形成された、前記電界効果トランジスタにゲート電位を供給する前記反応場と、を有し、
前記実装基板には、前記電界効果トランジスタのソース電極に電気接続された外部接続端子と、前記電界効果トランジスタのドレイン電極に電気接続された外部接続端子と、前記反応場に所定電位を印加するための外部接続端子と、が設けられている、
バイオセンサキット。 - 前記反応場は、前記被検出物質認識分子を固定化するための表面処理がなされている、請求項1に記載のバイオセンサキット。
- 前記反応場の前記表面処理は、シラン化処理である、請求項2に記載のバイオセンサキット。
- 前記反応場の前記表面処理は、金または白金の薄膜が形成され、該薄膜上にSAM膜が形成される処理である、請求項2に記載のバイオセンサキット。
- 前記反応場は、前記実装基板上に配置された半導体基板に形成されている、請求項1〜4のいずれか一項に記載のバイオセンサキット。
- 前記実装基板は、無機材料、有機材料またはそれらの混成材料からなる、請求項1〜4のいずれか一項に記載のバイオセンサキット。
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JP2013153540A JP5472520B2 (ja) | 2013-07-24 | 2013-07-24 | バイオセンサキット |
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JP2013153540A JP5472520B2 (ja) | 2013-07-24 | 2013-07-24 | バイオセンサキット |
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