JP5464668B2 - X線発生装置 - Google Patents
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Description
このX線発生装置おいて、前記第1X線遮蔽部材はMo(モリブデン)を主成分とする金属によって形成できる。
この構成において、前記第2X線遮蔽部材はW(タングステン)を主成分とする金属によって形成できる。
以下、本発明に係るX線分析装置を実施形態に基づいて説明する。なお、本発明がこの実施形態に限定されないことはもちろんである。また、これ以降の説明では図面を参照するが、その図面では特徴的な部分を分かり易く示すために実際のものとは異なった比率で構成要素を示す場合がある。
図5は、本発明に係るX線発生装置の他の実施形態を示している。上記の実施形態では図1に示したように、概ね直方体形状で先端の電界形成面7aの部分に傾斜が付けられた形状のウエネルト電極7をガイシ6の上に直立状態(直角の状態)で取り付けた。
図6は、本発明に係るX線発生装置のさらに他の実施形態を示している。上記の実施形態では図2に示したように、回転対陰極4のX線焦点FからX線を発生している際に回転対陰極4の外周面の法線面方向S4に同時に発生する正イオンを、ウエネルト電極7内の第1空間9をふさいでいる第2X線遮蔽部材12にぶつけて吸収するようにした。
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
例えば、陰極2は、コイル状のフィラメント限られず、LaB6(ランタンヘキサボライド)等といったホウ化物によって形成された固形状の物質によって形成することもできる。
Claims (6)
- 電子を発生する陰極と、
円筒形状の電子衝突面を有しており前記電子が当該電子衝突面に衝突した領域がX線焦点となる回転対陰極と、
前記陰極から出た電子に電界を付与するウエネルト電極と、を有しており、
前記ウエネルト電極は、前記電界を形成する電界形成面と、当該電界形成面によって形成されている電子通過用の開口とを有しており、
前記ウエネルト電極の電界形成面は、前記X線焦点の中心における前記回転対陰極の外周面の接線面に対して傾斜しており、
前記X線焦点は前記接線面が前記回転対陰極の外周面に接する位置に形成されており、
前記電子通過用の開口の中心を通り前記電界形成面に直交する面上に前記陰極の中心があり、
前記陰極から出る電子は前記ウエネルト電極の電界形成面と直交する方向に直線状に進行し、
前記陰極は前記ウエネルト電極の内部空間内に設けられており、
前記X線焦点の中心における前記回転対陰極の外周面の法線は前記ウエネルト電極の内部空間を通過しており、
前記ウエネルト電極の内部空間内であって前記X線焦点の中心における前記回転対陰極の外周面の法線と交わる位置に正イオン吸収部材が設けられている、
ことを特徴とするX線発生装置。 - 前記ウエネルト電極は、前記電子通過用の開口に近い位置に設けられた第1空間と、前記電子通過用の開口から遠い位置にあり前記第1空間につながっており当該第1空間よりも容積が小さい第2空間とを有しており、
前記陰極の一部は前記第1空間内にあり、前記陰極の残りの一部は前記第2空間内にある
ことを特徴とする請求項1記載のX線発生装置。 - 前記第1空間と前記第2空間との境界部分の壁に第1の正イオン吸収部材が取外し可能に取り付けられており、
前記X線焦点の中心における前記回転対陰極の外周面の法線は前記第1空間を通過して前記第1の正イオン吸収部材と交わる
ことを特徴とする請求項2記載のX線発生装置。 - 前記第1の正イオン吸収部材はモリブデンを主成分とする金属より成ることを特徴とする請求項3記載のX線発生装置。
- 前記第2空間は第2の正イオン吸収部材でふさがれており、
前記X線焦点の中心における前記回転対陰極の外周面の法線は前記陰極の周囲の前記第2空間を通過して前記第2の正イオン吸収部材と交わる
ことを特徴とする請求項2記載のX線発生装置。 - 前記第2の正イオン吸収部材はタングステンを主成分とする金属より成ることを特徴とする請求項5記載のX線発生装置。
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