JP5462223B2 - 携帯機器用カバーガラスのガラス基材の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態に係るガラス基材の一部を示す図である。図1に示すガラス基材1は、対向する一対の主表面11,12と、端面13とを有する。主表面11,12と端面13とで構成されるエッジ部14は、UL−1439に準拠するシャープエッジテストで表面から2層が切断されないエッジである。このようなエッジ部14は、主表面11,12における湾曲面の開始点から端面13までの距離(Y)が10μm〜100μmであり、端面13における外側に凸となる湾曲面の開始点から主表面11,12までの距離(X)が10μm〜100μmである。なお、このエッジ部14の形状については、UL−1439に準拠するシャープエッジテストで表層から2層が切断されない状態になっていれば良く、必ずしも湾曲形状である必要はなく、面取り形状に近い形状となっていても良い。なお、より好ましくは、エッジ部14の形状は、UL−1439に準拠するシャープエッジテストで全層が切断されないエッジが望ましい。
(実施例1)
まず、SiO2を63.5重量%、Al2O3を8.2重量%、Li2Oを8.0重量%、Na2Oを10.4重量%、ZrO2を11.9重量%含むアルミノシリケートガラスをダウンドロー法により、板厚0.5mmの板状のガラス基板(シート状ガラス)に成形した。このダウンドロー法により形成されたシート状ガラスの主表面の表面粗さ(算術平均粗さRa)を、原子間力顕微鏡により調べたところ0.2nmであった。
σ=(3PL)/(2wt2)
ここで、σは3点曲げ強さ(kgf/cm2)を示し、Pはガラス基材が破壊したときの最大荷重(kgf)を示し、Lは支持体21,22間距離(cm)を示し、wは図4(b)に示すようにガラス基材幅(cm)を示し、tは図4(b)に示すようにガラス基材の厚さ(cm)を示す。
実施例1と同じシート状ガラスの両主表面上にネガ型の耐フッ酸性レジストを厚さ58μmでコーティングし、この耐フッ酸性レジストに対して100℃で30分のベーキング処理(プリベーク)を施した。次いで、所定のパターンを有するフォトマスクを介して耐フッ酸性レジストに対し両面から300mJ/cm2のエネルギーで露光し、露光後の耐フッ酸性レジストを現像液(Na2CO3溶液)を用いて現像してシート状ガラス上の被エッチング領域以外の領域に耐フッ酸性レジストを残存させたレジストパターンを形成した。更に、レジストパターンが形成されたシート状ガラスを、130℃で30分のベーキング処理(ポストベーク)を施した。次いで、エッチャントとしてフッ酸(15%)と硫酸(25%)の混酸水溶液(30℃)を用いて、レジストパターンをマスクにして、シート状ガラスを両主表面側から被エッチング領域をエッチングして所定の形状に切り抜いた。その後、NaOH溶液を用いてガラス上に残存した耐フッ酸性レジストを膨潤させてガラスから剥離し、リンス処理を行った。このようにして実施例2のガラス基材を得た。また、実施例1と同様にしてガラス基材に対して化学強化を行った。得られたガラス基材について、化学強化前後の抗折強度測定及びシャープエッジテストを行った。その結果を下記表1に併記する。
実施例1と同じシート状ガラスの両主表面上にネガ型の耐フッ酸性レジストを厚さ32μmでコーティングし、この耐フッ酸性レジストに対して100℃で30分のベーキング処理(プリベーク)を施した。次いで、所定のパターンを有するフォトマスクを介して耐フッ酸性レジストに対し両面から300mJ/cm2のエネルギーで露光し、露光後の耐フッ酸性レジストを現像液(Na2CO3溶液)を用いて現像してシート状ガラス上の被エッチング領域以外の領域に耐フッ酸性レジストを残存させたレジストパターンを形成した。更に、レジストパターンが形成されたシート状ガラスを、150℃で30分のベーキング処理(ポストベーク)を施した。次いで、エッチャントとしてフッ酸(15%)と硫酸(25%)の混酸水溶液(40℃)を用いて、レジストパターンをマスクにして、シート状ガラスを両主表面側から被エッチング領域をエッチングして所定の形状に切り抜いた。その後、NaOH溶液を用いてガラス上に残存した耐フッ酸性レジストを膨潤させてガラスから剥離し、リンス処理を行った。このようにして実施例3のガラス基材を得た。また、実施例1と同様にしてガラス基材に対して化学強化を行った。得られたガラス基材について、化学強化前後の抗折強度測定及びシャープエッジテストを行った。その結果を下記表1に併記する。
実施例1と同じシート状ガラスの両主表面上にネガ型の耐フッ酸性レジストを厚さ20μmでコーティングし、この耐フッ酸性レジストに対して100℃で30分のベーキング処理(プリベーク)を施した。次いで、所定のパターンを有するフォトマスクを介して耐フッ酸性レジストに対して両面から300mJ/cm2のエネルギーで露光し、露光後の耐フッ酸性レジストを、現像液(Na2CO3溶液)を用いて現像してシート状ガラス上の被エッチング領域以外の領域に耐フッ酸性レジストを残存させたレジストパターンを形成した。さらに、レジストパターンが形成されたシート状ガラスに対して、170℃で30分のベーキング処理(ポストベーク)を施した。次いで、エッチャントとしてフッ酸(15%)と硫酸(25%)の混酸水溶液(40℃)を用いて、レジストパターンをマスクにして、シート状ガラスを両主表面側から被エッチング領域をエッチングして所定の形状に切り抜いた。その後、NaOH溶液を用いてガラス上に残存した耐フッ酸性レジストを膨潤させてガラスから剥離し、リンス処理を行った。このようにして実施例4のガラス基材を得た。また、実施例1と同様にしてガラス基材に対して化学強化を行った。得られたガラス基材について、化学強化前後の抗折強度測定及びシャープエッジテストを行った。その結果を下記表1に併記する。
実施例1と同じシート状ガラスの両主表面上にネガ型の耐フッ酸性レジストを厚さ58μmでコーティングし、この耐フッ酸性レジストに対して100℃で30分のベーキング処理(プリベーク)を施した。次いで、所定のパターンを有するフォトマスクを介して耐フッ酸性レジストに対して両面から300mJ/cm2のエネルギーで露光し、露光後の耐フッ酸性レジストを、現像液(Na2CO3溶液)を用いて現像してシート状ガラス上の被エッチング領域以外の領域に耐フッ酸性レジストを残存させたレジストパターンを形成した。さらに、レジストパターンが形成されたシート状ガラスに対して、130℃で30分のベーキング処理(ポストベーク)を施した。次いで、エッチャントとしてフッ酸(15%)と塩酸(15%)の混酸水溶液(40℃)を用いて、レジストパターンをマスクにして、シート状ガラスを両主表面側から被エッチング領域をエッチングして所定の形状に切り抜いた。その後、NaOH溶液を用いてガラス上に残存した耐フッ酸性レジストを膨潤させてガラスから剥離し、リンス処理を行った。このようにして実施例5のガラス基材を得た。また、実施例1と同様にしてガラス基材に対して化学強化を行った。得られたガラス基材について、化学強化前後の抗折強度測定及びシャープエッジテストを行った。その結果を下記表1に併記する。
実施例1と同じシート状ガラスの両主表面上にネガ型の耐フッ酸性レジストを厚さ58μmでコーティングし、この耐フッ酸性レジストに対して100℃で30分のベーキング処理(プリベーク)を施した。次いで、所定のパターンを有するフォトマスクを介して耐フッ酸性レジストに対して両面から300mJ/cm2のエネルギーで露光し、露光後の耐フッ酸性レジストを、現像液(Na2CO3溶液)を用いて現像してシート状ガラス上の被エッチング領域以外の領域に耐フッ酸性レジストを残存させたレジストパターンを形成した。さらに、レジストパターンが形成されたシート状ガラスに対して、130℃で30分のベーキング処理(ポストベーク)を施した。エッチャントとしてフッ酸(15%)と硝酸(15%)の混酸水溶液(40℃)を用いて、レジストパターンをマスクにして、シート状ガラスを両主表面側から被エッチング領域をエッチングして所定の形状に切り抜いた。その後、NaOH溶液を用いてガラス上に残存した耐フッ酸性レジストを膨潤させてガラスから剥離し、リンス処理を行った。このようにして実施例6のガラス基材を得た。また、実施例1と同様にしてガラス基材に対して化学強化を行った。得られたガラス基材について、化学強化前後の抗折強度測定及びシャープエッジテストを行った。その結果を下記表1に併記する。
実施例1と同じシート状ガラスの両主表面上にネガ型の耐フッ酸性レジストを厚さ32μmでコーティングし、この耐フッ酸性レジストに対して100℃で30分のベーキング処理(プリベーク)を施した。次いで、所定のパターンを有するフォトマスクを介して耐フッ酸性レジストに対し両面から300mJ/cm2のエネルギーで露光し、露光後の耐フッ酸性レジストを現像液(Na2CO3溶液)を用いて現像してシート状ガラス上の被エッチング領域以外の領域に耐フッ酸性レジストを残存させたレジストパターンを形成した。さらに、レジストパターンが形成されたシート状ガラスを、250℃で30分のベーキング処理(ポストベーク)を施した。次いで、エッチャントとしてフッ酸(15%)と硫酸(25%)の混酸水溶液(40℃)を用いて、レジストパターンをマスクにして、シート状ガラスを両主表面側から被エッチング領域をエッチングして所定の形状に切り抜いた。その後、NaOH溶液を用いてガラス上に残存した耐フッ酸性レジストを膨潤させてガラスから剥離し、リンス処理を行った。このようにして比較例1のガラス基材を得た。また、実施例1と同様にしてガラス基材に対して化学強化を行った。得られたガラス基材について、化学強化前後の抗折強度測定及びシャープエッジテストを行った。その結果を下記表1に併記する。
実施例1と同じシート状ガラスの両主表面上にネガ型の耐フッ酸性レジストを厚さ17μmでコーティングし、この耐フッ酸性レジストに対して100℃で30分のベーキング処理(プリベーク)を施した。次いで、所定のパターンを有するフォトマスクを介して耐フッ酸性レジストに対し両面から700mJ/cm2のエネルギーで露光し、露光後の耐フッ酸性レジストを現像液(Na2CO3溶液)を用いて現像してシート状ガラス上の被エッチング領域以外の領域に耐フッ酸性レジストを残存させたレジストパターンを形成した。さらに、レジストパターンが形成されたシート状ガラスを、250℃で30分のベーキング処理(ポストベーク)を施した。次いで、エッチャントとしてフッ酸(15%)と硫酸(25%)の混酸水溶液(40℃)を用いて、レジストパターンをマスクにして、シート状ガラスを両主表面側から被エッチング領域をエッチングして所定の形状に切り抜いた。その後、NaOH溶液を用いてガラス上に残存した耐フッ酸性レジストを膨潤させてガラスから剥離し、リンス処理を行った。このようにして比較例2のガラス基材を得た。また、実施例1と同様にしてガラス基材に対して化学強化を行った。得られたガラス基材について、化学強化前後の抗折強度測定及びシャープエッジテストを行った。その結果を下記表1に併記する。
11,12 主表面
13 端面
14 エッジ部
15 レジストパターン
21,22 支持体
23 荷重体
31〜33 テープ
34 ヘッド
Claims (3)
- 板状のガラス基板の主表面に、前記主表面側が最も重合度が小さくなるように厚さ方向に重合度勾配を持つレジストパターンを形成する工程と、
前記レジストパターンをマスクとして、前記ガラス基板のエッチングが可能なエッチャントで前記ガラス基板をエッチングすることにより所望の形状に切り抜くと共に、前記主表面と端面とで構成されるエッジ部を、UL(Underwriters Laboratories)−1439に準拠するシャープエッジテストで表面から2層が切断されないエッジにする工程と、を具備することを特徴とする携帯機器用カバーガラスのガラス基材の製造方法。 - 前記所望の形状に切り抜いた後、イオン交換処理により化学強化することを特徴とする請求項1に記載の携帯機器用カバーガラスのガラス基材の製造方法。
- 前記エッチングをすることにより、前記ガラス基材の前記主表面における端面近傍に前記ガラス基材の厚さ方向外側に凸となるように湾曲する湾曲面を形成するとともに、前記ガラス基材の前記端面に前記湾曲面から前記ガラス基材の面方向外側へ向けて突出する頂部を形成することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の携帯機器用カバーガラスのガラス基材の製造方法。
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