JP5461630B2 - 合焦位置を決定する方法及びビジョン検査システム - Google Patents
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Description
特に、目的の1つは画像データに基づいて試料位置と合焦位置との間の差分を求める方法を提供することである。これは、合焦位置を決定するためにより少ない画像が獲得される必要があることを示唆し、多くの場合、1つのみの画像が必要とされる。画像数を減少させることにより、処理時間及びステアリングモーターシステムを消耗させるリスクが低減されるであろう。
試料を示す画像データを獲得するステップと、
前記獲得データから特徴セットを抽出するステップと、
画像データ特徴を位置差分値に関連付けるように教え込まれた機械学習アルゴリズムを用いることにより、前記特徴セットを前記位置差分値に分類するステップと
を含み、前記位置差分値が前記差分に対応する。
試料を含む少なくとも1つのスライドを保持するように適合されたスライドホルダー、前記試料を示す画像データを獲得するように構成され、光学システム及び画像センサーを含む画像獲得装置、
前記試料と前記光学システムの間の距離を変更するように構成されたステアリングモーターシステム、
前記画像獲得装置及び前記ステアリングモーターシステムに接続されたプロセッサーであって、メモリーと関連して、前記画像獲得装置から前記試料を示す前記画像データを受け取り、前記画像データから特徴セットを抽出し、画像データ特徴を位置差分値に関連付けるように教え込まれた機械学習アルゴリズムを用いることによって前記特徴セットを試料位置と合焦位置との間の差分に対応する前記位置差分値に分類し、確定された前記差分に従って前記試料と前記光学システムの間の前記距離を変更するように前記ステアリングモーターシステムに命令することにより、前記差分を求めるように構成されるプロセッサー、
を含むビジョン検査システムによって示される。
前記試料を示す画像データを受け取るように構成された受信機、
メモリーと関連して、前記画像データから特徴セットを抽出し、画像データ特徴を位置差分値に関連付けるように教え込まれた機械学習アルゴリズムを用いることによって前記特徴セットを試料位置と合焦位置との間の差分に対応する前記位置差分値に分類することにより、前記差分を求めるように構成されたプロセッサー及び
確定された前記差分を送信するように構成された送信機
を含む制御装置により示される。
ステアリングモーターシステム118は画像処理装置112からの命令に基づき、スライド102と光学システム108の間の距離zを変更することができる。
精度
現位置と合焦位置の間の距離が関数に基づいて求められ得、例えば、関数の最大(又は最小)が合焦位置において獲得される画像と一致するように関数が表されれば有利である。
ユニモダリティ
関数が1つのみの最大値(又は最小値)を有すれば有利である。
速度
関数をリアルタイムアプリケーションにて用いることができるためには、関数が高速であれば有利である。
Claims (22)
- 試料位置と画像獲得装置の合焦位置との間の差分を前記試料位置にある試料の一つの画像に基づいて、求める方法であって、
前記試料位置にある試料を示す画像データを獲得するステップと、
前記獲得データによる特徴から特徴セットを抽出するステップであって、前記特徴セットは対比特徴のサブセットを含み、前記対比特徴のサブセットは、前記画像データに基づく二乗勾配関数、前記画像データに基づくウェーブレット関数、VollathのF4関数若しくはVollathのF4関数とVollathのF5関数との組合せのような前記画像データに基づく自己相関関数、全画像データの分散及びLaplaceベースの焦点測定からなる群より選択される複数の対比特徴を含む、ステップと、
画像から抽出された特徴セットを予め定められた位置差分値に関連付けるように教え込まれた機械学習アルゴリズムを用いることにより、前記特徴セットを、前記試料位置と前記合焦位置との間の差分に対応する、対応位置差分値に分類する
ステップと、
を備えた方法。 - 前記対比特徴のサブセットは、前記画像データに基づくウェーブレット関数を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記対比特徴のサブセットは、VollathのF4関数又はVollathのF4関数とVollathのF5関数との組合せのような、前記画像データに基づく自己相関関数を含む、請求項1又は2のいずれかに記載の方法。
- 前記対比特徴のサブセットは、前記画像データに基づく二乗勾配関数、前記画像データに基づくウェーブレット関数、VollathのF4関数若しくはVollathのF4関数とVollathのF5関数との組合せのような前記画像データに基づく自己相関関数、全画像データの分散及びLaplaceベースの焦点測定を含む、請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記対比特徴が複数のカラー層に対して決定される、請求項1から4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記対比特徴が前記画像データのサブセットに対して決定される、請求項1から5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記特徴セットが方向特徴のサブセットを含む、請求項1から6のいずれか一項に記載の方法。
- 少なくとも前記方向特徴が1つのカラー層に対して決定される、請求項7に記載の方法。
- 前記方向特徴のサブセットの複数の特徴が、前記試料において異なる高さを有する複数の異なる対象物を特定し、
前記異なる対象物の差異を特定し、
前記異なる対象物の前記特定差異に基づいて少なくとも1つの特徴値を求めることにより決定される、請求項7又は8のいずれか一項に記載の方法。 - 前記方向特徴が前記画像データのサブセットに対して決定される、請求項7から9のいずれか一項に記載の方法。
- 前記特徴セットを位置差分値に分類する前記ステップが、サポートベクターマシンによって行われる、請求項1から10のいずれか一項に記載の方法。
- 試料を含む少なくとも1つのスライドを保持するように適合されたスライドホルダーと、
前記試料を示す画像データを獲得するように構成され、光学システム及び画像センサーを含む画像獲得装置と、
前記試料と前記光学システムの間の距離を変更するように構成されたステアリングモーターシステムと、
前記画像獲得装置及び前記ステアリングモーターシステムに接続されたプロセッサーであって、メモリーと関連して、前記画像獲得装置から試料位置にある前記試料を示す前記画像データを受け取り、前記画像データによる特徴から特徴セットを抽出し、前記特徴セットは対比特徴のサブセットを含み、前記対比特徴のサブセットは、前記画像データに基づく二乗勾配関数、前記画像データに基づくウェーブレット関数、VollathのF4関数若しくはVollathのF4関数とVollathのF5関数との組合せのような前記画像データに基づく自己相関関数、全画像データの分散及びLaplaceベースの焦点測定からなる群より選択される複数の対比特徴を含み、画像から抽出された特徴セットを予め定められた位置差分値に関連付けるように教え込まれた機械学習アルゴリズムを用いることによって、前記特徴セットを、試料位置と画像獲得装置の合焦位置との間の差分に対応する、対応位置差分値に分類し、前記対応位置差分値に従って前記試料と前記光学システムの間の前記距離を変更するように前記ステアリングモーターシステムに命令することによって、前記試料位置と前記合焦位置との間の差分を前記試料位置にある試料の一つの画像に基づいて求めるように構成されたプロセッサーと、
を備えたビジョン検査システム。 - 前記対比特徴のサブセットは、前記画像データに基づくウェーブレット関数を含む、請求項12に記載のビジョン検査システム。
- 前記対比特徴のサブセットは、VollathのF4関数又はVollathのF4関数とVollathのF5関数との組合せのような、前記画像データに基づく自己相関関数を含む、請求項12又は13のいずれかに記載のビジョン検査システム。
- 前記対比特徴のサブセットは、前記画像データに基づく二乗勾配関数、前記画像データに基づくウェーブレット関数、VollathのF4関数若しくはVollathのF4関数とVollathのF5関数との組合せのような前記画像データに基づく自己相関関数、全画像データの分散及びLaplaceベースの焦点測定を含む、請求項12から14のいずれか一項に記載のビジョン検査システム。
- 前記対比特徴が複数のカラー層に対して決定される、請求項12から15のいずれか一項に記載のビジョン検査システム。
- 前記特徴セットが方向特徴のサブセットを含む、請求項12から16のいずれか一項に記載のビジョン検査システム。
- 少なくとも前記方向特徴が1つのカラー層に対して決定される、請求項17に記載の方法。
- 前記特徴が前記画像データのサブセットに対して決定される、請求項12から18のいずれか一項に記載のビジョン検査システム。
- 前記特徴セットを位置差分値に分類する前記ステップが、サポートベクターマシンによって行われる、請求項12から19のいずれか一項に記載のビジョン検査システム。
- 試料位置にある試料を示す画像データを受け取るように構成された受信機と、
メモリーと関連して、前記画像データによる特徴から特徴セットを抽出し、前記特徴セットは対比特徴のサブセットを含み、前記対比特徴のサブセットは、前記画像データに基づく二乗勾配関数、前記画像データに基づくウェーブレット関数、VollathのF4関数若しくはVollathのF4関数とVollathのF5関数との組合せのような前記画像データに基づく自己相関関数、全画像データの分散及びLaplaceベースの焦点測定からなる群より選択される複数の対比特徴を含み、画像から抽出された特徴セットを予め定められた位置差分値に関連付けるように教え込まれた機械学習アルゴリズムを用いることによって、前記特徴セットを試料位置と画像獲得装置の合焦位置との間の差分に対応する対応位置差分値に分類することにより、前記試料位置と前記合焦位置との間の差分を前記試料位置にある試料の一つの画像に基づいて求めるように構成されたプロセッサーと、
確定された前記差分を送信するように構成された送信機と
を含む制御装置。 - 装置にダウンロードされ、実行されると、請求項1から11のいずれか一項に記載の方法を実行するように設定された、ソフトウェア命令を含むコンピュータプログラム。
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