JP5458500B2 - Electro-optical device and electronic apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、電気光学装置、特に、フレキシブル基板を用いた電気光学装置等に関する。   The present invention relates to an electro-optical device, and particularly to an electro-optical device using a flexible substrate.

近年、TFT(thin film transistor、薄膜トランジスタ)用の半導体材料として、有機半導体材料が注目を集めている。有機半導体材料を用いた場合、(1)無機半導体に比べて極めて低温プロセスが適用できるため、プラスチック基板やフィルムを用いることができる。よって、フレキシブルで軽量、かつ壊れにくい素子を作製することができる。また、(2)溶液の塗布や印刷法と言った簡便な方法を用いることができ、短時間での素子作製が可能である。よって、プロセスコスト、装置コストを低く抑える事が可能である。さらに、(3)材料の選択範囲が広がり、材料の分子構造を変化させることにより容易に材料特性、素子特性を変化させることが可能である、などの利点がある。   In recent years, organic semiconductor materials have attracted attention as semiconductor materials for TFTs (thin film transistors). When an organic semiconductor material is used, (1) a plastic substrate or a film can be used because an extremely low temperature process can be applied as compared with an inorganic semiconductor. Therefore, a flexible, lightweight, and hardly breakable element can be manufactured. In addition, a simple method such as (2) solution application or printing can be used, and the device can be manufactured in a short time. Therefore, it is possible to keep process costs and apparatus costs low. Further, (3) there is an advantage that the material selection range is widened, and the material characteristics and device characteristics can be easily changed by changing the molecular structure of the material.

そこで、この有機トランジスタを用いて液晶ディスプレイや有機EL(Electro-Luminescence)ディスプレイ、電子ペーパー等の表示装置を作成する技術の研究が盛んに行われている。   In view of this, research has been actively conducted on techniques for producing display devices such as liquid crystal displays, organic EL (Electro-Luminescence) displays, and electronic papers using the organic transistors.

例えば、下記特許文献1には、有機トランジスタに接続される配線の高精細化を実現すると共に、インクジェット法を用いることにより安価、低温、低エネルギで電気光学装置用基板を製造する技術が開示されている。
特開2005−215616号公報
For example, Patent Document 1 below discloses a technology for realizing a high-definition wiring connected to an organic transistor and manufacturing an electro-optical device substrate at low cost, low temperature, and low energy by using an inkjet method. ing.
JP 2005-215616 A

しかしながら、上記特許文献1に記載の技術では、電気光学装置用基板(10)と、電気光学装置用基板(10)の有機トランジスタ(10a)を駆動するためのドライバ回路(集積回路)とをフレキシブルプリント基板(50)を介して接続している。   However, in the technique described in Patent Document 1, the electro-optical device substrate (10) and the driver circuit (integrated circuit) for driving the organic transistor (10a) of the electro-optical device substrate (10) are flexible. They are connected via a printed circuit board (50).

よって、追って詳細に説明するように、電気光学装置用基板(10)と、フレキシブルプリント基板(50)との貼り合わせ工程が必要になり、製造工程が煩雑化する。さらに、この工程は、ACF(異方導電フィルム)もしくはACP(異方導電ペースト)を挟んだ熱圧着により行われるが、熱による導通不良や基板の歪みなどが生じ、装置の特性が劣化しやすい。   Therefore, as will be described in detail later, a bonding process between the electro-optical device substrate (10) and the flexible printed circuit board (50) is required, which complicates the manufacturing process. Furthermore, this process is performed by thermocompression bonding with ACF (Anisotropic Conductive Film) or ACP (Anisotropic Conductive Paste) sandwiched between them. However, heat conduction failure, substrate distortion, etc. are likely to cause deterioration of device characteristics. .

そこで、本発明に係る具体的態様は、シンプルな構成の電気光学装置を提供することを目的の一つとする。また、電気光学装置の特性を向上させることを目的の一つとする。また、その生産性を向上させることを目的の一つとする。   Accordingly, a specific aspect of the present invention is to provide an electro-optical device having a simple configuration. Another object is to improve the characteristics of the electro-optical device. One of the purposes is to improve the productivity.

本発明に係る電気光学装置は、フレキシブル基板上に形成され表示部と、外部回路と前記表示部とを接続する接続部と、を有し、前記表示部は、前記フレキシブル基板上に形成されたソース線、ソース領域、およびドレイン領域と、前記ソース領域と前記ドレイン領域との間に形成された有機半導体膜と、前記有機半導体膜上に形成されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上に形成されたゲート電極および前記ゲート電極に接続されたゲート線と、を有し、前記ソース線および前記ゲート線は、前記接続部に配線されており、前記接続部は、前記フレキシブル基板の一部として構成されており、前記接続部の端部には、前記回路基板と接続するための複数の電極パッドが設けられ、前記複数の電極パッドは、前記表示部に形成された前記ソース線または前記ゲート線と同一材料層よりなり、前記電極パッドには、メッキ層が形成されているThe electro-optical device according to the present invention includes a display unit formed on a flexible substrate, and a connection unit that connects an external circuit and the display unit, and the display unit is formed on the flexible substrate. Source line, source region, and drain region, an organic semiconductor film formed between the source region and the drain region, a gate insulating film formed on the organic semiconductor film, and the gate insulating film And the gate line connected to the gate electrode, the source line and the gate line are wired to the connection portion, and the connection portion is a part of the flexible substrate. is configured as a part, an end of the connecting portion has a plurality of electrode pads for connecting with the circuit board is provided, the plurality of electrode pads are formed on the display unit the It consists over scan line or the gate line and the same material layer, the electrode pads, plating layer is formed.

かかる構成によれば、フレキシブル基板の一部として構成され、フレキシブル基板と一体となった上記接続部により、フレキシブル基板と回路基板とを接続することができ、FPC(Flexible Printed Circuit)などのケーブルを不要とすることができる。よって、電気光学装置の構成をシンプルにすることができる。また、フレキシブル基板とFPCの熱圧着工程が不要となり、熱による装置の特性劣化を防止することができる。また、その生産性を向上させることができる。   According to such a configuration, the flexible board and the circuit board can be connected by the connecting portion that is configured as a part of the flexible board and integrated with the flexible board, and a cable such as an FPC (Flexible Printed Circuit) can be connected. It can be unnecessary. Therefore, the configuration of the electro-optical device can be simplified. In addition, the thermocompression bonding process between the flexible substrate and the FPC is not required, and the deterioration of the characteristics of the device due to heat can be prevented. Moreover, the productivity can be improved.

例えば、前記複数の電極パッドは、前記ソース線または前記ソース線と同時に形成してもよい。すなわち、これらを同一工程で形成することができる。 For example, the plurality of electrode pads may be formed simultaneously with the source line or the source line. That is, they can be formed in the same process.

例えば、前記接続部の前記電極パッドを有する面と逆側の面に、補強膜を有する。この補強膜としては、例えばガラスエポキシ、コンポジット、紙フェノール、アルミニウム、SUS(ステンレススチール、鉄合金)、PET(ポリエチレンテレフタレート)等を用いる事ができる。かかる構成によれば、補強膜によりコネクタと電極パッドの接続が良好となる。   For example, a reinforcing film is provided on a surface opposite to the surface having the electrode pad of the connection portion. As the reinforcing film, for example, glass epoxy, composite, paper phenol, aluminum, SUS (stainless steel, iron alloy), PET (polyethylene terephthalate), or the like can be used. According to such a configuration, the connection between the connector and the electrode pad is improved by the reinforcing film.

例えば、前記表示部は、前記フレキシブル基板上に形成された第1電極と、前記第1電極上に形成された電気泳動層と、前記電気泳動層上に形成された第2電極とを有する。このように、電気泳動層を用いた電気光学装置とすることができる。   For example, the display unit includes a first electrode formed on the flexible substrate, an electrophoretic layer formed on the first electrode, and a second electrode formed on the electrophoretic layer. Thus, an electro-optical device using the electrophoretic layer can be obtained.

本発明に係る電子機器は、上記電気光学装置が組み込まれたことを特徴とする。かかる構成によれば、電子機器の特性を向上させることができる。   An electronic apparatus according to the present invention is characterized in that the electro-optical device is incorporated. According to such a configuration, the characteristics of the electronic device can be improved.

本発明に係る電子機器は、屈曲部を有し、上記電気光学装置が組み込まれた電子機器であって、前記接続部が前記屈曲部に対応するよう電気光学装置が組み込まれている。かかる構成によれば、電子機器の特性を向上させることができる。特に、FPCを用いずとも上記接続部により柔軟性が確保されているため、電子機器の屈曲部を容易に屈曲させることができる。   An electronic apparatus according to the present invention is an electronic apparatus having a bent portion and incorporating the electro-optical device, wherein the electro-optical device is incorporated so that the connection portion corresponds to the bent portion. According to such a configuration, the characteristics of the electronic device can be improved. In particular, since the flexibility is ensured by the connecting portion without using the FPC, the bent portion of the electronic device can be easily bent.

以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明する。なお、同一の機能を有するものには同一もしくは関連の符号を付し、その繰り返しの説明を省略する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, the same or related code | symbol is attached | subjected to what has the same function, and the repeated description is abbreviate | omitted.

<実施の形態1>
図1および図2は、本実施の形態の電気光学装置に用いられる基板の構成を示す平面図および回路図である。図3は、本実施の形態の効果を説明するための比較例を示す平面図である。
<Embodiment 1>
1 and 2 are a plan view and a circuit diagram showing a configuration of a substrate used in the electro-optical device according to the present embodiment. FIG. 3 is a plan view showing a comparative example for explaining the effect of the present embodiment.

図1に示すように、基板(アクティブマトリクス基板)S1は、表示部(表示領域)1a内にy方向に配置された複数のソース線SLと、x方向に配置された複数のゲート線GLとを有する。また、図2に示すように、各画素は、ソース線SLとゲート線GLとの交点に、マトリクス状に複数配置される。この画素は、画素電極(第1電極)PEおよび薄膜トランジスタTを有している。なお、ここでは、表示部1aは、アレイ部1dと、引き回し配線1cの形成部とを有するものとする(図1)。   As shown in FIG. 1, the substrate (active matrix substrate) S1 includes a plurality of source lines SL arranged in the y direction and a plurality of gate lines GL arranged in the x direction in the display unit (display region) 1a. Have Further, as shown in FIG. 2, a plurality of pixels are arranged in a matrix at the intersections of the source lines SL and the gate lines GL. This pixel has a pixel electrode (first electrode) PE and a thin film transistor T. Here, it is assumed that the display unit 1a includes an array unit 1d and a portion where the lead wiring 1c is formed (FIG. 1).

例えば、ソース線SLは、Xドライバにより駆動され、また、ゲート線GLは、Yドライバにより駆動される。このようなXドライバやYドライバなどの表示装置を駆動させるために必要な回路は、駆動回路と呼ばれ、ICチップなどの別部材により構成される。この駆動回路が形成された(実装された)回路基板をS2で示す(図1)。   For example, the source line SL is driven by an X driver, and the gate line GL is driven by a Y driver. A circuit necessary for driving such a display device such as an X driver or a Y driver is called a drive circuit and is constituted by another member such as an IC chip. A circuit board on which this drive circuit is formed (mounted) is indicated by S2 (FIG. 1).

ここで本実施の形態においては、基板S1は、フレキシブル基板で構成されている。フレキシブル基板は、例えば、絶縁性の樹脂材料などを用いて構成されている。また、複数のソース線SLおよびゲート線GLは、接続部(接続領域、配線部)1bまで引き回され、引き回された配線の表面が、接続部1bの端部において複数の電極パッドPとして露出している。なお、図1中の引き回し配線1cによって、各配線(SL、GL)が、接続部1bの電極パッドPと接続されている。   Here, in the present embodiment, the substrate S1 is formed of a flexible substrate. The flexible substrate is configured using, for example, an insulating resin material. The plurality of source lines SL and gate lines GL are routed to the connection portion (connection region, wiring portion) 1b, and the surface of the routed wiring is used as a plurality of electrode pads P at the end of the connection portion 1b. Exposed. In addition, each wiring (SL, GL) is connected with the electrode pad P of the connection part 1b by the routing wiring 1c in FIG.

一方、回路基板S2には、コネクタ(コネクタ部材、ソケット)Cが接続されており、このソケットCに上記接続部1bが挿入される。これにより、回路基板S2中の駆動回路と、上記電極パッドPが接続される。   On the other hand, a connector (connector member, socket) C is connected to the circuit board S2, and the connecting portion 1b is inserted into the socket C. Thereby, the drive circuit in the circuit board S2 and the electrode pad P are connected.

コネクタCの構造に特に限定はないが、挿入口から延在する空洞を有し、例えば、空洞の天井面には、上記複数のパッド電極Pに対応する内部電極21が設けられ、この内部電極21は、コネクタCの壁面を通過し、外部電極23と接続している。外部電極23は、回路基板S2上の配線と接続するよう半田付けなどにより固定されている。   The structure of the connector C is not particularly limited, but has a cavity extending from the insertion opening. For example, an internal electrode 21 corresponding to the plurality of pad electrodes P is provided on the ceiling surface of the cavity. 21 passes through the wall surface of the connector C and is connected to the external electrode 23. The external electrode 23 is fixed by soldering or the like so as to be connected to the wiring on the circuit board S2.

このように、本実施の形態においては、フレキシブル基板である基板S1の柔軟性を利用し、当該基板の一部として表示領域1aとがる接続部1bを設け、当該接続部1bを回路基板S2側のコネクタCと直接接続することとしたので、FPCなどの他のケーブルを不要とすることができる。よって、電気光学装置の構成をシンプルにすることができる。   As described above, in the present embodiment, the flexibility of the substrate S1, which is a flexible substrate, is used to provide the connection portion 1b that is connected to the display region 1a as a part of the substrate, and the connection portion 1b is connected to the circuit substrate S2. Since it is directly connected to the connector C on the side, other cables such as FPC can be dispensed with. Therefore, the configuration of the electro-optical device can be simplified.

これに対し、図3に示すように、FPC30を用いて基板S1と回路基板S2側のコネクタCとを接続した場合、FPC30の端子と、基板S1側の端子Pとの貼り合せ工程において、熱圧着の熱による導通不良や基板の歪みなどが生じやすい。   On the other hand, as shown in FIG. 3, when the board S1 and the connector C on the circuit board S2 side are connected using the FPC 30, in the bonding process of the terminal of the FPC 30 and the terminal P on the board S1 side, Continuity failure due to heat of crimping and distortion of the substrate are likely to occur.

これに対し、本実施の形態においては、上記不具合を回避し、歩留まりの向上を図ることができる。また、部品点数や貼り合わせ工程の削減によりコストダウンを図れ、スループットを向上させることができる。   On the other hand, in the present embodiment, it is possible to avoid the above problems and improve the yield. Further, the cost can be reduced by reducing the number of parts and the bonding process, and the throughput can be improved.

<実施の形態2>
図1においては、回路基板S2側のコネクタCを1つとしたが、図4に示すように、ソース線SLと接続されるコネクタC1と、ゲート線GLと接続されるコネクタC2とを分けてもよい。図4は、本実施の形態の電気光学装置に用いられる基板の構成を示す平面図である。なお、図4において、コネクタC1、C2の内部電極21および外部電極23の表示は省略されている。また、図1と同一の機能を有するものには同一もしくは関連の符号を付し、その繰り返しの説明を省略する。
<Embodiment 2>
In FIG. 1, the number of connectors C on the circuit board S2 side is one, but as shown in FIG. 4, the connector C1 connected to the source line SL and the connector C2 connected to the gate line GL are separated. Good. FIG. 4 is a plan view showing the configuration of the substrate used in the electro-optical device of the present embodiment. In FIG. 4, the display of the internal electrodes 21 and the external electrodes 23 of the connectors C1 and C2 is omitted. Also, components having the same functions as those in FIG. 1 are denoted by the same or related reference numerals, and repeated description thereof is omitted.

(アクティブマトリクス基板の製造工程)
次いで、本実施の形態の電気光学装置に用いられる基板の製造工程を説明しつつ、その構成をより明確にする。図5〜図9は、本実施の形態の電気光学装置に用いられる基板の製造工程を示す平面図又は断面図である。なお、各図の(A)は、基板全体の平面図であり、(B)は、画素部の拡大平面図、(C)は、画素部のC−C部の断面図である。
(Manufacturing process of active matrix substrate)
Next, the structure of the substrate used in the electro-optical device according to the present embodiment will be described and the configuration will be clarified. 5 to 9 are plan views or cross-sectional views showing the manufacturing process of the substrate used in the electro-optical device of this embodiment. In addition, (A) of each figure is a top view of the whole board | substrate, (B) is an enlarged plan view of a pixel part, (C) is sectional drawing of CC part of a pixel part.

図5に示すように、例えば、ポリイミド樹脂などからなる基板(フレキシブル基板)S1を準備し、略矩形の領域から2箇所の接続部1bが突出した形状に加工する。次いで、基板S1の表面の脱脂処理を行う。例えば、イソプロピルアルコール溶媒にフレキシブル基板S1を浸漬し、5分間の超音波洗浄を行い、乾燥処理を行う。   As shown in FIG. 5, for example, a substrate (flexible substrate) S1 made of polyimide resin or the like is prepared and processed into a shape in which two connection portions 1b protrude from a substantially rectangular region. Next, the surface of the substrate S1 is degreased. For example, the flexible substrate S1 is immersed in an isopropyl alcohol solvent, subjected to ultrasonic cleaning for 5 minutes, and dried.

次いで、図6(A)に示すように、y方向に延在するソース線SLを形成する。この際、図6(B)および(C)に示すように、ソース線SLと接続されるソース領域Sおよびこのソース領域Sと一定の距離離間して配置される画素電極(ドレイン領域D)PEも形成する。   Next, as shown in FIG. 6A, a source line SL extending in the y direction is formed. At this time, as shown in FIGS. 6B and 6C, the source region S connected to the source line SL and the pixel electrode (drain region D) PE arranged at a certain distance from the source region S. Also forms.

具体的には、例えば、抵抗加熱式蒸着機に、上記基板S1をセットし、成膜室を10〜4Pa程度まで真空排気する。この後、導電性膜として金(Au)膜を200nm程度蒸着した後、フォトリソグラフィ法を用いてパターニングを行い、y方向に延在するソース線SL、ソース領域Sおよび画素電極PEを形成する。この際、引き回し配線1cおよび電極パッドPもパターニングする(図6(A))。   Specifically, for example, the substrate S1 is set in a resistance heating vapor deposition machine, and the film forming chamber is evacuated to about 10 to 4 Pa. Thereafter, after depositing a gold (Au) film of about 200 nm as a conductive film, patterning is performed using a photolithography method to form a source line SL, a source region S, and a pixel electrode PE extending in the y direction. At this time, the lead wiring 1c and the electrode pad P are also patterned (FIG. 6A).

次いで、酸素プラズマによる基板S1の表面の清浄化を行う。例えば、プラズマ処理装置を用い、パワー200W、酸素流量100sccm、アルゴン流量100sccmの条件下で5分程度の酸素プラズマ処理を行う。   Next, the surface of the substrate S1 is cleaned with oxygen plasma. For example, using a plasma processing apparatus, oxygen plasma processing is performed for about 5 minutes under the conditions of power 200 W, oxygen flow rate 100 sccm, and argon flow rate 100 sccm.

次いで、図7(B)および(C)に示すように、各画素におけるソース領域Sと画素電極PEとの間(チャネル領域)に有機半導体膜3を形成する。図7(B)においては、破線領域が、有機半導体膜3の形成領域である。例えば、有機半導体材料として、F8T2(ポリフルオレン-ビチオフェン共重合体)を0.5Wt%の濃度でキシレンに溶解させた塗布溶液を調整し、この溶液をインクジェット塗布装置を用いて上記領域(チャネル領域)に塗布する。次いで、あらかじめ100℃に加熱しておいた乾燥オーブン内で10分程度乾燥し、溶媒のキシレンを除去し、有機半導体膜3を形成する。   Next, as shown in FIGS. 7B and 7C, the organic semiconductor film 3 is formed between the source region S and the pixel electrode PE (channel region) in each pixel. In FIG. 7B, the broken line region is a region where the organic semiconductor film 3 is formed. For example, as an organic semiconductor material, a coating solution prepared by dissolving F8T2 (polyfluorene-bithiophene copolymer) in xylene at a concentration of 0.5 Wt% is prepared, and this solution is applied to the region (channel region) using an inkjet coating apparatus. ). Next, drying is performed for about 10 minutes in a drying oven heated in advance to 100 ° C., and the solvent xylene is removed to form the organic semiconductor film 3.

次いで、図8(C)に示すように、有機半導体膜3上に、ゲート絶縁膜5を形成する。例えば、絶縁膜材料としてポリイミド溶液を準備し、インクジェット法を用いて基板S1上に塗布する。この際、表示領域上にのみ塗布を行い、接続部1b上への塗布は行わない。従って、接続部1bにおいては、電極パッドPが露出したままの状態となる。次いで、基板S1をホットプレート上に搭載し、60℃で、1時間程度の加熱を行い、上記溶液の溶媒を揮発させ、膜厚1μm程度のゲート絶縁膜5を形成する。   Next, as illustrated in FIG. 8C, the gate insulating film 5 is formed over the organic semiconductor film 3. For example, a polyimide solution is prepared as an insulating film material and applied onto the substrate S1 using an inkjet method. At this time, coating is performed only on the display area, and coating is not performed on the connection portion 1b. Accordingly, the electrode pad P remains exposed at the connection portion 1b. Next, the substrate S1 is mounted on a hot plate and heated at 60 ° C. for about 1 hour to volatilize the solvent of the solution to form the gate insulating film 5 having a thickness of about 1 μm.

次いで、チャネル領域上にゲート絶縁膜5を介してゲート電極Gを形成する(図8(B)、(C))。この際、ゲート電極Gと接続されx方向に延在するゲート線GLも形成する(図8(A))。   Next, a gate electrode G is formed over the channel region via the gate insulating film 5 (FIGS. 8B and 8C). At this time, a gate line GL connected to the gate electrode G and extending in the x direction is also formed (FIG. 8A).

具体的には、例えば、銀微粒子の水分散液をインクジェット塗布装置によりゲート電極Gおよびゲート線GLのパターン状に塗布した後、ホットプレート上で80℃、30分程度の乾燥処理を行う。この際、引き回し配線1cおよび電極パッドPも同様に形成する。   Specifically, for example, an aqueous dispersion of silver fine particles is applied in a pattern of the gate electrode G and the gate line GL using an ink jet coating apparatus, and then dried at 80 ° C. for about 30 minutes on a hot plate. At this time, the lead wiring 1c and the electrode pad P are formed in the same manner.

次いで、2箇所の接続部1bの電極パッドP上にメッキ膜(図示せず)を形成する。例えば、ニッケル金メッキ膜を無電解メッキ法を用いて20μm程度形成する。メッキ材料としては、この他、金、銀、銅、ニッケル、錫、鉛、もしくはこれらの合金層を用いてもよい。   Next, a plating film (not shown) is formed on the electrode pads P of the two connection portions 1b. For example, a nickel gold plating film is formed to a thickness of about 20 μm using an electroless plating method. As the plating material, gold, silver, copper, nickel, tin, lead, or an alloy layer thereof may be used.

次いで、2箇所の接続部1bの裏面に補強用フィルム(補強膜)を貼り付ける。この補強用フィルムは、例えば、ガラスエポキシ、コンポジット、紙フェノール、アルミニウム、SUS(ステンレススチール、鉄合金)、PET(ポリエチレンテレフタレート)等の材料よりなり、50〜300μm程度の膜厚である。このフィルムにより、電極パッドPとコネクタCの内部電極との接触性が良くなる。   Next, a reinforcing film (reinforcing film) is attached to the back surface of the two connection portions 1b. This reinforcing film is made of a material such as glass epoxy, composite, paper phenol, aluminum, SUS (stainless steel, iron alloy), PET (polyethylene terephthalate), and has a thickness of about 50 to 300 μm. This film improves the contact between the electrode pad P and the internal electrode of the connector C.

(電気泳動装置の製造工程)
この後、図9に示すように、基板S1上の表示領域上に対向電極(第2電極)33および電気泳動カプセル層(電気泳動層)31が形成された電気泳動シートS3をラミネートする。
(Electrophoresis device manufacturing process)
Thereafter, as shown in FIG. 9, an electrophoretic sheet S3 having a counter electrode (second electrode) 33 and an electrophoretic capsule layer (electrophoretic layer) 31 formed thereon is laminated on the display region on the substrate S1.

次いで、基板回路S2のコネクタC1、C2に接続部1bを挿入し、接続する(図4参照)。以上の工程により、電気泳動ディスプレイ(電気泳動装置)が完成する。   Next, the connecting portion 1b is inserted into the connectors C1 and C2 of the substrate circuit S2 and connected (see FIG. 4). The electrophoretic display (electrophoresis apparatus) is completed through the above steps.

このように、本実施の形態においても、FPCなどの他のケーブルを不要とすることができる。また、FPCの端子と、アクティブマトリクス基板S1側の端子との貼り合せ工程を省略でき、スループットを向上させることができる等、実施の形態1と同様の効果を奏する。また、上記製造工程によれば、フレキシブル基板1の接続部1bに、ゲート線GLやソース線SLの形成工程において電極パッドPを形成することができ、簡易な工程でFPCの代替部を形成することができる。   Thus, also in this embodiment, other cables such as an FPC can be dispensed with. In addition, the same effects as those of the first embodiment can be obtained, such as the step of bonding the terminals of the FPC and the terminals on the active matrix substrate S1 side can be omitted, and the throughput can be improved. Further, according to the above manufacturing process, the electrode pad P can be formed in the connection part 1b of the flexible substrate 1 in the process of forming the gate line GL and the source line SL, and the FPC alternative part is formed in a simple process. be able to.

なお、実施の形態1の基板(図1)においても、引き回し配線1cのパターンが異なるだけで、本実施の形態と同様の工程で基板を形成することができる。   Note that, also in the substrate of the first embodiment (FIG. 1), the substrate can be formed in the same process as in the present embodiment, except that the pattern of the routing wiring 1c is different.

<電子機器>
上記電気泳動装置は、各種電子機器に組み込むことができる。
<Electronic equipment>
The electrophoresis apparatus can be incorporated in various electronic devices.

(電子ペーパー)
例えば、上記電気泳動装置を電子ペーパーに適用することができる。図10は、電子機器の一例である電子ペーパーを示す斜視図である。
(Electronic paper)
For example, the electrophoresis apparatus can be applied to electronic paper. FIG. 10 is a perspective view illustrating an electronic paper which is an example of an electronic apparatus.

図10に示す電子ペーパー1000は、紙と同様の質感および柔軟性を有するリライタブルシートで構成される本体1001と、表示ユニット1002とを備えている。このような電子ペーパー1000では、表示ユニット1002が、前述したような電気泳動装置で構成されている。   An electronic paper 1000 illustrated in FIG. 10 includes a main body 1001 formed of a rewritable sheet having the same texture and flexibility as paper, and a display unit 1002. In such electronic paper 1000, the display unit 1002 is configured by the electrophoresis apparatus as described above.

なお、上記実施の形態においては、上記電気泳動装置を例に説明したが、この他、液晶装置や有機EL(Electro-Luminescence)装置などの各種電気光学装置(表示装置)にも適用可能である。   In the above embodiment, the electrophoretic device has been described as an example. However, the present invention can be applied to various electro-optical devices (display devices) such as a liquid crystal device and an organic EL (Electro-Luminescence) device. .

(他の電子機器)
上記各種電気光学装置を有する電子機器の例として、図11および図12に示すものが挙げられる。
(Other electronic devices)
Examples of the electronic apparatus having the various electro-optical devices include those shown in FIGS.

図11は、電子機器の一例である携帯電話機を示す斜視図である。この携帯電話機1100は、表示部1101を備え、当該表示部に、上記電気光学装置を組み込むことができる。また、当該携帯電話機1100は、屈曲部(折り曲げ部)を有しており、この部分に上記接続部1bが対応するように上記電気光学装置を組み込むことで、FPCを用いずとも上記接続部により携帯電話機を容易に折りたたむことができる。   FIG. 11 is a perspective view illustrating a mobile phone which is an example of an electronic apparatus. The cellular phone 1100 includes a display portion 1101. The electro-optical device can be incorporated in the display portion. Further, the cellular phone 1100 has a bent portion (bent portion). By incorporating the electro-optical device so that the connecting portion 1b corresponds to this portion, the connecting portion can be connected to the connecting portion without using an FPC. The mobile phone can be easily folded.

図12は、電子機器の一例である携帯型情報処理装置を示す斜視図である。この携帯型情報処理装置1200は、キーボード等の入力部1201、演算手段や記憶手段などが格納された本体部1202、及び表示部1203を備えている。当該表示部に、上記電気光学装置を組み込むことができる。また、携帯型情報処理装置1200は、屈曲部(折り曲げ部)を有しており、この部分に上記接続部1bが対応するように上記表示装置を組み込むことで、FPCを用いずとも上記接続部により装置を容易に折りたたむことができる。   FIG. 12 is a perspective view illustrating a portable information processing apparatus which is an example of an electronic apparatus. The portable information processing apparatus 1200 includes an input unit 1201 such as a keyboard, a main body unit 1202 in which a calculation unit, a storage unit, and the like are stored, and a display unit 1203. The electro-optical device can be incorporated in the display portion. Further, the portable information processing apparatus 1200 has a bent portion (bent portion), and the connection portion is incorporated without using an FPC by incorporating the display device so that the connection portion 1b corresponds to this portion. Thus, the device can be easily folded.

この他、例えば、テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、電子新聞、ワードプロセッサ、パーソナルコンピュータ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルを備えた機器等にも適用できる。これらの各種電子機器の表示部や駆動回路部に、上記電気光学装置を組み込むことができる。   In addition, for example, TV, viewfinder type, monitor direct view type video tape recorder, car navigation device, pager, electronic notebook, calculator, electronic newspaper, word processor, personal computer, workstation, videophone, POS terminal, touch panel It can also be applied to other equipment. The electro-optical device can be incorporated in the display unit and the drive circuit unit of these various electronic devices.

なお、上記実施の形態を通じて説明された実施例や応用例は、用途に応じて適宜に組み合わせて、又は変更若しくは改良を加えて用いることができ、本発明は上述した実施の形態の記載に限定されるものではない。   It should be noted that the examples and application examples described through the above embodiment can be used in appropriate combination according to the application, or can be used with modifications or improvements, and the present invention is limited to the description of the above embodiment. Is not to be done.

実施の形態1の電気光学装置に用いられる基板の構成を示す平面図である。3 is a plan view illustrating a configuration of a substrate used in the electro-optical device according to Embodiment 1. FIG. 実施の形態1の電気光学装置に用いられる基板の構成を示す回路図である。2 is a circuit diagram illustrating a configuration of a substrate used in the electro-optical device according to Embodiment 1. FIG. 実施の形態1の効果を説明するための比較例を示す平面図である。6 is a plan view showing a comparative example for explaining the effect of the first embodiment. FIG. 実施の形態2の電気光学装置に用いられる基板の構成を示す平面図である。6 is a plan view illustrating a configuration of a substrate used in the electro-optical device according to Embodiment 2. FIG. 実施の形態2の電気光学装置に用いられる基板の製造工程を示す平面図である。FIG. 10 is a plan view illustrating a manufacturing process for a substrate used in the electro-optical device according to the second embodiment. 実施の形態2の電気光学装置に用いられる基板の製造工程を示す平面図および断面図である。5A and 5B are a plan view and a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of a substrate used in the electro-optical device according to the second embodiment. 実施の形態2の電気光学装置に用いられる基板の製造工程を示す平面図および断面図である。5A and 5B are a plan view and a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of a substrate used in the electro-optical device according to the second embodiment. 実施の形態2の電気光学装置に用いられる基板の製造工程を示す平面図および断面図である。5A and 5B are a plan view and a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of a substrate used in the electro-optical device according to the second embodiment. 実施の形態2の電気光学装置に用いられる基板の製造工程を示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of a substrate used in the electro-optical device according to the second embodiment. 電子機器の一例である電子ペーパーを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the electronic paper which is an example of an electronic device. 電子機器の一例である携帯電話機を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the mobile telephone which is an example of an electronic device. 電子機器の一例である携帯型情報処理装置を示す斜視図であるIt is a perspective view which shows the portable information processing apparatus which is an example of an electronic device.

符号の説明Explanation of symbols

1a…表示部(表示領域)、1b…接続部、1c…引き回し配線、1d…アレイ部、3…有機半導体膜、5…ゲート絶縁膜、21…内部電極、23…外部電極、30…FPC、31…電気泳動カプセル層、33…対向電極、1000…電子ペーパー、1001…本体、1002…表示ユニット、1100…携帯電話機、1101…表示部、1200…携帯型情報処理装置、1201…入力部、1202…本体部、1203…表示部、C、C1、C2…コネクタ、D…ドレイン領域、G…ゲート電極、GL…ゲート線、P…パッド電極(端子)、PE…画素電極、S…ソース領域、SL…ソース線、S1…基板、S2…回路基板、S3…電気泳動シート、T…薄膜トランジスタ   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1a ... Display part (display area), 1b ... Connection part, 1c ... Lead-out wiring, 1d ... Array part, 3 ... Organic-semiconductor film, 5 ... Gate insulating film, 21 ... Internal electrode, 23 ... External electrode, 30 ... FPC, DESCRIPTION OF SYMBOLS 31 ... Electrophoresis capsule layer, 33 ... Counter electrode, 1000 ... Electronic paper, 1001 ... Main body, 1002 ... Display unit, 1100 ... Mobile phone, 1101 ... Display part, 1200 ... Portable information processing apparatus, 1201 ... Input part, 1202 ... Main body part 1203 ... Display part, C, C1, C2 ... Connector, D ... Drain region, G ... Gate electrode, GL ... Gate line, P ... Pad electrode (terminal), PE ... Pixel electrode, S ... Source region, SL ... Source line, S1 ... Substrate, S2 ... Circuit board, S3 ... Electrophoresis sheet, T ... Thin film transistor

Claims (7)

フレキシブル基板上に形成され表示部と、
外部回路と前記表示部とを接続する接続部と、
を有し、
前記表示部は、
前記フレキシブル基板上に形成されたソース線、ソース領域、およびドレイン領域と、
前記ソース領域と前記ドレイン領域との間に形成された有機半導体膜と、
前記有機半導体膜上に形成されたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に形成されたゲート電極および前記ゲート電極に接続されたゲート線と、を有し、
前記ソース線および前記ゲート線は、前記接続部に配線されており、
前記接続部は、前記フレキシブル基板の一部として構成されており、
前記接続部の端部には、前記外部回路と接続するための複数の電極パッドが設けられ、
前記複数の電極パッドは、前記表示部に形成された前記ソース線または前記ゲート線と同一材料層よりなり、
前記電極パッドには、メッキ層が形成されている、
電気光学装置。
A display unit formed on a flexible substrate;
A connection part for connecting an external circuit and the display part;
Have
The display unit
A source line, a source region, and a drain region formed on the flexible substrate;
An organic semiconductor film formed between the source region and the drain region;
A gate insulating film formed on the organic semiconductor film;
A gate electrode formed on the gate insulating film and a gate line connected to the gate electrode;
The source line and the gate line are wired to the connection portion,
The connecting portion is configured as a part of the flexible substrate ,
A plurality of electrode pads for connecting to the external circuit are provided at the end of the connection portion,
The plurality of electrode pads are made of the same material layer as the source line or the gate line formed in the display unit,
A plating layer is formed on the electrode pad,
Electro-optic device.
前記メッキ層は、金、銀、銅、ニッケル、錫、鉛、もしくはこれらの合金層を有することを特徴とする請求項記載の電気光学装置。 The plating layer of gold, silver, copper, nickel, tin, lead or an electro-optical device according to claim 1, characterized in that it comprises an alloy of these layers. 前記接続部の前記電極パッドを有する面と逆側の面に、補強膜を有することを特徴とする請求項記載の電気光学装置。 The surface of the surface side opposite with the electrode pads of the connecting portion, an electro-optical device according to claim 1, wherein a reinforcing film. 前記表示部は、前記フレキシブル基板上に形成された第1電極と、前記第1電極上に形成された電気泳動層と、前記電気泳動層上に形成された第2電極とを有する
請求項1乃至のいずれか一項記載の電気光学装置。
The display unit includes a first electrode formed on the flexible substrate, an electrophoretic layer formed on the first electrode , and a second electrode formed on the electrophoretic layer .
Electro-optical device according to any one of claims 1 to 3.
前記複数の電極パッドは、前記ソース線または前記ソース線と同時に形成されたものである、The plurality of electrode pads are formed simultaneously with the source line or the source line.
請求項1乃至4のいずれか一項記載の電気光学装置。The electro-optical device according to claim 1.
請求項1乃至のいずれか一項記載の電気光学装置が組み込まれたことを特徴とする電子機器。 Electronic apparatus, characterized in that the electro-optical device according to any one of claims 1 to 5 is incorporated. 屈曲部を有し、請求項1乃至のいずれか一項記載の電気光学装置が組み込まれた電子機器であって、
前記接続部が前記屈曲部に対応するよう電気光学装置が組み込まれていることを特徴とする電子機器。
It has a bent portion, an electronic apparatus to which the electro-optical device is incorporated in any one of claims 1 to 5,
An electronic apparatus in which an electro-optical device is incorporated so that the connecting portion corresponds to the bent portion.
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