JP5456569B2 - Multi-channel flaw detector - Google Patents
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Description
本発明は、送信素子及び受信素子のチャンネルを複数有し、検査対象物にガイド波を伝播させてその反射波に基づいて表面欠陥や内部欠陥等を検出するマルチチャンネル探傷装置に関する。 The present invention relates to a multi-channel flaw detection apparatus that has a plurality of channels for transmitting elements and receiving elements, propagates a guide wave to an inspection object, and detects surface defects, internal defects, and the like based on the reflected waves.
超音波を利用して内部欠陥を検出する探傷装置として、検査対象物に超音波を発生させる送信素子や反射波を受信する受信素子を複数備えたマルチチャンネル探傷装置がある。送信素子や受信素子をマルチチャンネルにすることで、シングルチャンネルのように1度の探傷毎に走査を行う必要が無く、短時間で作業を終了させることができる。 As a flaw detection apparatus that detects an internal defect using ultrasonic waves, there is a multi-channel flaw detection apparatus that includes a plurality of transmission elements that generate ultrasonic waves on an inspection object and reception elements that receive reflected waves. By making the transmission element and the reception element multi-channel, it is not necessary to scan every flaw detection as in the case of a single channel, and the work can be completed in a short time.
なお、マルチチャンネルの探傷装置として、例えば特開2009−36516号公報に開示されたものが、シングルチャンネルの探傷装置として、例えば特開平10−142201号公報に開示されたものがある。 As a multi-channel flaw detection device, for example, one disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-36516, and as a single channel flaw detection device, there is one disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-142201.
しかしながら、従来のマルチチャンネル探傷装置では、各チャンネル間のクロストーク対策が十分に考慮されていない。 However, the conventional multi-channel flaw detector does not sufficiently take measures against crosstalk between channels.
本発明は、各チャンネル間のクロストーク対策を十分に考慮したマルチチャンネル探傷装置を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a multi-channel flaw detection apparatus that sufficiently considers measures against crosstalk between channels.
かかる目的を達成するために請求項1記載のマルチチャンネル探傷装置は、任意波形発生器と、任意波形発生器が作成した送信信号を増幅する送信アンプと、送信アンプによって増幅された送信信号の波形に基づいて検査対象物内にガイド波を発生させる複数チャンネルの送信素子と、送信アンプによって増幅された送信信号を送信素子に順番に供給する切替手段と、検査対象物の検査領域からガイド波の反射波を受信する複数チャンネルの受信素子と、受信素子で受信した信号を各チャンネル毎に増幅する複数チャンネルの受信アンプと、受信アンプによって増幅された受信信号をアナログ/デジタル変換するアナログ/デジタル変換器と、反射波の受信波形に基づいて信号解析を行う解析手段を備え、切替手段と送信素子との接続ライン、受信素子と受信アンプとの接続ライン、受信アンプとアナログ/デジタル変換器との接続ライン及びこれらのコネクタは各チャンネル毎に独立したものであり、受信アンプは1つの筐体内に並んで収容されると共に、受信アンプの間にはノイズ遮断手段が設けられているものである。
In order to achieve the above object, a multi-channel flaw detection apparatus according to
したがって、切替手段と送信素子との接続ライン、受信素子と受信アンプとの接続ライン、受信アンプとA/D変換器との接続ライン及びこれらのコネクタ部分で発生したノイズが他のチャンネルの接続ラインやコネクタ部分に侵入するのを抑制できる。 Therefore, the connection line between the switching means and the transmission element, the connection line between the reception element and the reception amplifier, the connection line between the reception amplifier and the A / D converter, and the noise generated in these connector portions are connection lines of other channels. And intrusion into the connector portion.
また、請求項2記載のマルチチャンネル探傷装置は、送信アンプは筐体とは別の筐体に収容されている。したがって、送信アンプで発生したノイズが受信アンプに侵入するのを抑制できる。
In the multi-channel flaw detector according to
請求項1記載のマルチチャンネル探傷装置では、切替手段と送信素子との接続ライン、受信素子と受信アンプとの接続ライン、受信アンプとA/D変換器との接続ライン及びこれらのコネクタ部分で発生したノイズが他のチャンネルの接続ラインやコネクタ部分に侵入するのを抑制できるので、各チャンネル間のクロストークの発生を防止することができる。
The multi-channel flaw detector according to
また、請求項2記載のマルチチャンネル探傷装置では、送信アンプで発生したノイズが受信アンプに侵入するのを抑制できる。
In the multi-channel flaw detector according to
以下、本発明の構成を図面に示す形態に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter, the configuration of the present invention will be described in detail based on the form shown in the drawings.
図1及び図2に本発明のマルチチャンネル探傷装置の実施形態の一例を示す。マルチチャンネル探傷装置は、任意波形発生器1と、任意波形発生器1が作成した送信信号を増幅する送信アンプ2と、送信アンプ2によって増幅された送信信号の波形に基づいて検査対象物3内にガイド波を発生させる複数チャンネルの送信素子4と、送信アンプ2によって増幅された送信信号を送信素子4に順番に供給する切替手段5と、検査対象物3の検査領域からガイド波の反射波を受信する複数チャンネルの受信素子6と、受信素子6で受信した信号を各チャンネル毎に増幅する複数チャンネルの受信アンプ7と、受信アンプ7によって増幅された受信信号をアナログ/デジタル変換するアナログ/デジタル変換器8と、反射波の受信波形に基づいて信号解析を行う解析手段9を備えるものである。本実施形態では、マルチチャンネルとして8チャンネルを例に説明する。ただし、チャンネル数は8チャンネルに限るものではなく、例えば16チャンネル、32チャンネル等適宜設定可能である。
1 and 2 show an example of an embodiment of a multi-channel flaw detector according to the present invention. The multi-channel flaw detector includes an
検査対象物3としては、送信素子4によってガイド波が励起され、ガイド波やその反射波が伝播可能なものであれば、その材質や形状は特に制限されない。材質としては、例えば金属,セラミック,樹脂等について適用可能である。また、形状としては、例えば管,板等の形状のものについて適用可能である。また、検出可能な欠陥として、減肉、傷,亀裂等の表面欠陥、内部空隙,溶接欠陥,クリップ損傷による亀裂等の内部欠陥等がある。
The
送信素子4は検査対象物3にガイド波を発生させる素子で、例えば圧電素子で構成され、検査対象物3に接触して配置されている。また、受信素子6は検査対象物3を伝播する反射波を受信する素子で、例えば圧電素子で構成され、検査対象物3に接触して配置されている。本実施形態では、送信素子4と受信素子6を1つの素子(以下、送受信素子10という)で兼用している。ただし、送信素子4と受信素子6を別の素子で構成しても良い。
The
送受信素子10はチャンネル数と同じ数だけ設けられている。本実施形態では8チャンネル分の送受信素子10が設けられている。8つの送受信素子10は例えば可撓性のケース内に1列に並べられて収容され、フレキシブルアレイプローブ11を構成している。フレキシブルアレイプローブ11にすることで検査対象物3の接触面に合わせて変形させることが可能になり、接触面が平面(図3(A)),曲面(図3(B))のいずであっても各送受信素子10を良好に接触させることができ汎用性が向上する。ただし、必ずしもアレイプローブ11をフレキシブルにする必要はなく、常に同じ形状の検査対象物3を対象にする場合等にはその形状に合わせた形状にし、フレキシブルでなくても良い。
The same number of transmitting / receiving elements 10 as the number of channels are provided. In this embodiment, eight channels of transmitting / receiving elements 10 are provided. For example, the eight transmitting / receiving elements 10 are accommodated in a line in a flexible case, and constitute a
フレキシブルアレイプローブ11の位置は、2つのエンコーダ12,13によって計測される。2つのエンコーダ12,13は検査対象物3の接触面上の互いに直交する2方向を担当する。各エンコーダ12,13の計測信号はカウンタ29に供給される。カウンタ29は制御手段9によって制御され、各エンコーダ12,13からの計測信号をカウントし、その情報を解析手段9に供給する。解析手段9はカウンタ29からの情報に基づいてフレキシブルアレイプローブ11の位置を検出する。
The position of the
任意波形発生器1は制御手段9によって制御され、解析手段9から供給される波形信号に基づいた波形の送信信号を作成し、送信アンプ2に供給する。任意波形発生器1は増幅回路を有しており、この増幅回路によって送信信号を作成する。送信アンプ2は、任意波形発生器1から供給された送信信号を増幅し、切替手段5に送信する。切替手段5は、送信アンプ2によって増幅された送信信号を各送受信素子10に順番に供給する。切替手段5として、例えばマルチプレクサ等の使用が可能である。
The
受信アンプ7は、送受信素子10によって受信された信号を増幅する。受信アンプ7はチャンネル数と同じ数だけ設けられている。本実施形態では8チャンネル分の受信アンプ7が設けられている。各受信アンプ7は例えばLAN(ローカル・エリア・ネットワーク)等の通信回線を通じて解析手段9に接続されており、例えば周波数帯域,ゲイン等のパラメータの設定が可能になっている。受信アンプ7によって増幅されたアナログ信号は制御手段9によって制御されるアナログ/デジタル変換器(以下、A/D変換器という)8に供給され、デジタル信号に変換されて解析手段9に供給される。
The
受信アンプ7は送信アンプ2の筐体14とは別の筐体15に収容され、送信アンプ2で発生したノイズが受信アンプ7側に入るのを防止されている。これにより、送信アンプ2で発生したノイズの受信アンプ7への侵入防止を図ることができる。本実施形態では、送信アンプ2を1つの筐体14に収容し、受信アンプ7と切替手段5と制御部をユニット化(以下、送受信ユニット18という)して1つの筐体15に収容し、更に任意波形発生器1とA/D変換器8とカウンタ29を1つの筐体16に収容している。各筐体14,15,16はアースされている。
The
各受信アンプ7は間隔をあけて配置され、各受信アンプ7の間にはノイズ遮断手段17が設けられている。本実施形態では、ノイズ遮断手段17として筐体15にアースされたL型プレートが使用されている。ただし必ずしもL型プレートに限るものではなく、ノイズを遮断できるものであれば使用可能である。ノイズ遮断手段17によって受信アンプ7の間を行き交うノイズを遮断することで、チャンネル間のクロストークの発生防止を図ることができる。
The
送受信ユニット18及び送信アンプ2は、制御部19によって制御されている。制御部19はカウンタ29からの同期信号に基づいて送受信ユニット18及び送信アンプ2の制御を行う。制御部19は、例えばコンピュータに所定の処理プログラムをインストールすることで実現される。本実施形態では、FPGA(Field Programmable Gate Array)によって制御部19を実現している。
The transmission /
切替手段5と送信素子4との接続ライン20、受信素子6と受信アンプ7との接続ライン21、受信アンプ7とA/D変換器8との接続ライン22及びこれらのコネクタは各チャンネル毎に独立している。
A
各接続ライン20,21,22として、例えば同軸ケーブルが使用されている。また、各接続ライン20,21,22のコネクタとして、例えば同軸コネクタが使用されている。同軸コネクタとしては、例えばBNCコネクタの使用が可能である。各チャンネルの接続ライン20,21,22、接続コネクタを独立させることで、あるチャンネルのラインやコネクタに発生したノイズが他のチャンネルのラインやコネクタに侵入するのを防止することができ、チャンネル間のクロストークの発生防止を図ることができる。また、同軸ケーブルや同軸コネクタの使用により、信号線がシールドに守られていない部位をなくすことができ、この点からもノイズの放出・侵入を防いでクロストークの発生防止を図ることができる。 For example, coaxial cables are used as the connection lines 20, 21, and 22. For example, coaxial connectors are used as the connectors of the connection lines 20, 21, and 22. For example, a BNC connector can be used as the coaxial connector. By making the connection lines 20, 21, 22 and connection connectors of each channel independent, it is possible to prevent noise generated in a line or connector of a certain channel from entering the line or connector of another channel. The occurrence of crosstalk can be prevented. Further, by using a coaxial cable or a coaxial connector, it is possible to eliminate a portion where the signal line is not protected by the shield. From this point, it is possible to prevent noise from being emitted and intruded to prevent occurrence of crosstalk.
解析手段9は、任意波形発生器1に供給する波形信号の作成やA/D変換器8から供給された信号の解析を行う。解析手段9は、例えばコンピュータに所定の処理プログラムをインストールすることで実現され、キーボード,マウス等の入力手段27や液晶表示装置等の表示手段28が接続されている。
The
解析手段9は、図2に示すように、パルス圧縮部23,分散性補正部24,開口合成部25,波形信号作成部26を備えている。パルス圧縮部23の機能を図4に示す。パルス圧縮部23は任意波形発生器1に例えばチャープ波形の波形信号を供給する(ステップS41)。そして、A/D変換器8からの反射波の波形信号を受信すると(ステップS42)、受信波形の復調処理を行い(ステップS43)、受信波形をパルス状に圧縮する(ステップS44)。ここで、パルス圧縮を行う前の受信波形を図5(A)に、パルス圧縮後の受信波形を図5(B)に示す。パルス圧縮を行うことで、SN比を向上させることができる。なお、パルス圧縮については公知の手法(例えば相互相関法)が使用されるので、その説明は省略する。
As shown in FIG. 2, the
パルス圧縮部23によってパルス状に圧縮された波形信号は分散性補正部24に供給される。探傷に使用されるガイド波は分散性を有しているため、受信波形を開口合成する前に分散性を補正する必要がある。ここで、分散性とは、音速が周波数に依存して変化することをいう。分散性によってガイド波の波形が伝搬距離の増加に伴い時間方向に長くなる。
The waveform signal compressed into a pulse shape by the
ガイド波の分散性は公知の手法によって補正する。本実施形態では、例えば、以下のように補正する。ただし、補正の手法としてはこれに限るものではない。 The dispersibility of the guide wave is corrected by a known method. In the present embodiment, for example, correction is performed as follows. However, the correction method is not limited to this.
いま、収集した受信波形をS(x,z=0,t)とする。ここで、xは送受信素子10の走査方向の位置、z=0は検査対象物3の送受信素子10を接触させる面、tは時間である。上記の受信波形に対して2Dフーリエ変換を行うと、数式1が得られる。
zには反射体があるとして、数式1から数式2が得られる。
数式2から数式3が得られる。
各周波数成分を合算すると、数式4となる。
ガイド波の場合、位相速度は周波数に依存することから、数式3を数式5に書き直す。
ガイド波の各モードの位相速度は公知の論理式から求められる。数式5と論理式より、ガイド波の分散性を補正することができる。なお、論理式はガイド波の種類によって異なるものであるが、一例として平板を伝搬するガイド波(一般的にラム波と呼ばれる)の位相速度を求める場合の論理式を数式6(対象モードの場合),数式7(非対象モードの場合)に示す。ここで、α(α2)は数式8,β(β2)は数式9,kは数式10であり、h:板厚の半値である。
分散性補正部24によって分散性が補正された波形信号は開口合成部25に供給される。開口合成部25では、開口合成が行われる。なお、開口合成として公知の手法が使用するので、その説明を省略する。開口合成を行うことで波形信号のSN比を向上させることができる。なお、本実施形態では、上述の通り、波形信号のSN比を向上させることができるパルス圧縮も行っており、開口合成とパルス圧縮の両方を行うことで両者の相乗効果によりSN比の著しい向上を期待できる。
The waveform signal whose dispersibility is corrected by the
開口合成した波形信号は表示手段28に表示される。この表示に基づきユーザが検査対象物3の欠陥を検出することができる。
The waveform signal obtained by aperture synthesis is displayed on the display means 28. Based on this display, the user can detect a defect in the
波形信号作成部26は、任意波形発生器1が作成する送信信号の波形を決定するための波形信号を作成し、任意波形発生器1に供給する。本実施形態では、波形信号作成部26は送信信号としてチャープ波を発生させる波形信号を作成する。送信信号にチャープ波を使用することで、受信信号のパルス圧縮処理が可能になると共に、大きなエネルギーを有するガイド波を励起させることができる。ただし、使用する送信信号としてはチャープ波に限るものではなく、正弦波,方形波等の使用も可能である。
The waveform
次に、マルチチャンネル探傷装置の作動について説明する。 Next, the operation of the multichannel flaw detector will be described.
解析手段9の波形信号作成部26が波形信号を作成して任意波形発生器1に供給すると、任意波形発生器1は当該波形信号に応じた波形の送信信号を作成する。本実施形態では送信信号としてチャープ波が作成される。この送信信号は送信アンプ2に送られて増幅された後、切替手段5を介して送受信素子10に供給される。切替手段5は送受信素子10のチャンネルを順番に切り替えて送信信号を供給する。
When the waveform
送信信号を受けた送受信素子10は振動し、検査対象物3に超音波を励起する。励起された超音波はガイド波となり検査対象物3内を伝播する。そして、検査対象物3に欠陥があると、その欠陥でガイド波が反射される。反射波は検査対象物3内を逆方向に伝播し、全チャンネルの送受信素子10に受信される。各送受信素子10で受信された受信信号は各受信アンプ7によって増幅された後、A/D変換器8によってデジタル信号に変換されて解析手段9のパルス圧縮部23に供給される。
Upon receiving the transmission signal, the transmitting / receiving element 10 vibrates and excites ultrasonic waves on the
解析手段9のパルス圧縮部23では、供給された受信信号に対してパルス圧縮処理を行う。パルス圧縮処理を行うことで信号のSN比を向上させることができる。その後、受信信号は分散性補正部24に供給され、開口合成処理の前処理としてガイド波の分散性が補正される。この補正を行うことで受信信号の開口合成処理が可能になる。補正後の受信信号は開口合成部25に供給され、各チャンネルの受信信号を合わせて開口合成される。開口合成を行うことで、受信信号のSN比が向上すると共に、探傷の方位分解度を向上させることができる。開口合成された受信信号は表示手段28に表示される。ユーザはこの表示に基づいて検査対象物3の欠陥の有無を判別することができる。
The
以上の探傷動作は、カウンタ29が発生させる同期信号に同期して(同期信号をトリガーとして)行われる。そのため、各所の作動の同期をとるのが容易であると共に、同期信号の繰り返し周波数を高くすることで探傷速度を上げることができ、探傷に要する時間を短縮するのが容易である。本実施形態では、カウンタ29は繰り返し周波数が例えば100Hzの同期信号を発生させる。ただし、必ずしも繰り返し周波数は100Hzに限るものではなく、探傷を行う距離やデータ処理に要する時間等に応じて適宜変更可能である。
The flaw detection operation described above is performed in synchronization with the synchronization signal generated by the counter 29 (using the synchronization signal as a trigger). Therefore, it is easy to synchronize the operation of each part, and it is possible to increase the flaw detection speed by increasing the repetition frequency of the synchronization signal, and it is easy to shorten the time required for flaw detection. In the present embodiment, the
図6に、カウンタ29の同期信号と送信チャンネル切り替えについてのタイムチャートを示す。カウンタ29は繰り返し周波数100Hz換言すると10ms毎に5msの同期信号(TTL出力のlow信号)を発生させている。
FIG. 6 shows a time chart for the synchronization signal of the
先ず、送信信号の発生・供給について説明する。任意波形発生器1で作成した送信信号を送信アンプ2で増幅して発信するには、任意波形発生器1による送信信号の作成と送信アンプ2のゲート作成とのタイミングを合わせる必要がある。
First, transmission signal generation / supply will be described. In order to amplify and transmit the transmission signal created by the
任意波形発生器1は同期信号の立ち上がり(終了)に合わせて自身の増幅回路を起動させ、送信信号の作成を開始する。ただし、実際には起動させた増幅回路が安定するまで5μs程度かかるので、増幅回路安定後に送信信号が作成される。そして、任意波形発生器1は送信信号を作成した後、イベント信号(TTL出力のlow信号)を送信アンプ2に送信する。送信アンプ2は、同期信号の立ち上がりでゲートを作成し、任意波形発生器1からのイベント信号の供給でゲートを閉じる。これにより、任意波形発生器1の送信信号の作成タイミングを送信アンプ2のゲート期間内に納めることができ、送信信号は正常に増幅されて切替手段5に供給される。
次に、切替手段5は1つのチャンネルを選択して開く。チャンネルの選択は所定の順番で行われる。切替手段5は同期信号の立ち下がり(開始)に合わせてチャンネルを切り替える。これにより、同期信号の繰り返し周期に合わせてチャンネルが切り替えられる。ここで、1つのチャンネルが選択されている10msのうち、送信信号が供給されるまでの前半5msがリレー切り替え期間であり、後半5msが探傷のための期間となる。
Next, the switching means 5 selects and opens one channel. Channel selection is performed in a predetermined order. The switching means 5 switches the channels in accordance with the fall (start) of the synchronization signal. Thereby, the channel is switched in accordance with the repetition period of the synchronization signal. Here, of 10 ms in which one channel is selected, the
なお、受信側については上述の送信側のようなチャンネル切り替えは行われない。各チャンネルの送受信素子10によって受信された信号は各チャンネルの受信アンプ7に供給され、A/D変換器8を介して解析手段9に供給される。
Note that channel switching is not performed on the reception side as in the transmission side described above. A signal received by the transmitting / receiving element 10 of each channel is supplied to the receiving
送信アンプ2と切替手段5と各受信アンプ7の制御は、カウンタからの同期信号を受けて制御部19が行っている。制御部19は送信アンプ2にゲート信号を供給する。
Control of the
本発明では、探傷用のガイド波として、例えば周波数2MHzの高周波のガイド波を使用する。従来の探傷装置では周波数0.3MHz程度の低周波のガイド波を使用していたが、このように高周波のガイド波を使用することで、より小さな欠陥の検出が可能となり、探傷の分解性能を向上させることができる。 In the present invention, a high-frequency guide wave having a frequency of 2 MHz, for example, is used as a guide wave for flaw detection. Conventional flaw detectors used a low-frequency guide wave with a frequency of about 0.3 MHz. By using such a high-frequency guide wave, smaller defects can be detected and the flaw detection performance can be improved. Can be improved.
なお、上述の形態は本発明の好適な形態の一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能である。例えば、上述の説明では、送信アンプ2と受信アンプ7を別々の筐体14,15に収容していたが、同一の筐体内に収容するようにしても良い。なお、送信アンプ2と受信アンプ7を同一の筐体に収容する場合には、これらの間にシールド板等を設けて送信アンプ2のノイズの受信アンプ7への侵入防止を図ることが好ましい。
The above-described embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but is not limited thereto, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention. For example, in the above description, the
1 任意波形発生器
2 送信アンプ
3 検査対象物
4 送信素子
5 切替手段
6 受信素子
7 受信アンプ
8 アナログ/デジタル変換器
9 解析手段
14 送信アンプの筐体
15 受信アンプの筐体
17 ノイズ遮断手段
20 切替手段と送信素子との接続ライン
21 受信素子と受信アンプとの接続ライン
22 受信アンプとアナログ/デジタル変換器との接続ライン
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