JP5454999B2 - Dust suction method and dust suction device - Google Patents
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Description
本発明は、ガラス板等の基板にスクライブラインを形成する場合、ブレークする場合等に発生する屑、切粉等の塵埃を、基板に接触することなく確実に吸引することができる塵埃吸引方法及び塵埃吸引装置に関する。 The present invention relates to a dust suction method capable of reliably sucking dust such as dust and chips generated when a scribe line is formed on a substrate such as a glass plate or when a break occurs without contacting the substrate. The present invention relates to a dust suction device.
ガラス基板を製造する場合、一般に脆性材料であるガラス基板の表面をけがいてスクライブラインを形成し、ガラス基板に所定の荷重を付加し、形成されたスクライブラインに沿ってブレーク(折り割る)することにより、ガラス基板を所望のサイズにする。スクライブラインを形成する場合にはガラス基板の表面を削り、ブレークする場合には割れ等が生じることから、ガラス屑、ガラス切粉等の塵埃が発生する。 When manufacturing a glass substrate, generally scribing the surface of the glass substrate, which is a brittle material, forming a scribe line, applying a predetermined load to the glass substrate, and breaking (breaking) along the formed scribe line. Thus, the glass substrate is made a desired size. When a scribe line is formed, the surface of the glass substrate is shaved, and when a break occurs, cracks and the like are generated, so that dust such as glass dust and glass chips is generated.
脆性材料を加工することにより生じる塵埃を除去するため、例えば特許文献1では、搬送される打抜きシート表面の全幅にわたって、ほぼ均等に空気を吹き付けて紙粉等の埃を舞い上げ、シート表面からはね返った空気とともに舞い上がった紙粉等の埃を吸い込む集塵装置が開示されている。また、特許文献2では、静止したガラス基板の表面に対し20乃至40度の角度で切断予定線に空気を吹き付け、吸引ノズルによりガラス屑を吸引して排出するガラス板切断方法が開示されている。
In order to remove dust generated by processing a brittle material, for example, in
さらに特許文献3では、走行する紙シートに対して斜め45度前後の方向にて処理空気を吹き出し、誘引された周辺気体によって紙粉等の埃を浮上させ、処理空気、周辺気体及び紙粉等の埃を吸引する紙粉除去装置が開示されている。
しかし、特許文献1乃至3に開示されているような空気を吹き付けて粉状の埃を浮上させて吸引する方法では、浮上した埃のほぼ全てを吸引することは保証できない。したがって、吸引されなかった粉状の埃により周辺環境が汚染される可能性も高く、作業者の健康上の観点からも長時間の継続使用に耐えることが困難になるという問題点があった。
However, it is not possible to assure that almost all of the dust that has floated is sucked by the method of blowing powdered air to float and sucking air as disclosed in
また、自動車のワイパーのように、ガラス基板の表面にブレードを接触させて表面に生じている塵埃を除去する装置も開発されている。しかし、塵埃は切断面に生じていることが多く、またスクライブラインを形成した場合に生じた塵埃は、ブレードによりスクライブライン内へと寄せてしまい、ブレーク時に飛散するおそれがあった。 In addition, a device for removing dust generated on a surface of a glass substrate by bringing a blade into contact with the surface of the glass substrate has been developed, such as an automobile wiper. However, the dust is often generated on the cut surface, and the dust generated when the scribe line is formed is brought into the scribe line by the blade and may be scattered at the time of the break.
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、発生した塵埃に接触することなく、しかも周囲に散乱することなく確実に吸引することができる塵埃吸引方法及び塵埃吸引装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and provides a dust suction method and a dust suction device capable of reliably sucking dust without contacting the generated dust and without scattering to the surroundings. Objective.
上記目的を達成するために第1発明に係る塵埃吸引方法は、両端に開口部を形成し、一定の断面形状で軸線がほぼ直線状に延伸した直管部の内部に気流を生じさせて負圧を発生させ、両端の前記開口部の間で前記直管部の外部に開口する吸引開口部から外側の周辺気体を塵埃とともに吸引することを特徴とする。 In order to achieve the above object, the dust suction method according to the first aspect of the present invention is characterized in that an opening is formed at both ends, an air flow is generated inside a straight pipe portion having a constant cross-sectional shape and an axial line extending substantially linearly. A pressure is generated, and outside peripheral gas is sucked together with dust from a suction opening that opens to the outside of the straight pipe portion between the openings at both ends.
第1発明では、両端に開口部を形成し、一定の断面形状で軸線がほぼ直線状に延伸した直管部を有しており、該直管部の内部に気流を生じさせることにより吸引開口部近傍に負圧を発生させる。負圧が発生することにより、吸引開口部の外側の周辺気体は直管部内部へと吸引され、吸引される周辺気体とともに塵埃を吸引する。したがって、塵埃に気体を直接吹き付けることがないので、塵埃が浮上して周囲へ散乱する等周囲環境を汚染することがなく、基板に接触することなく塵埃のみを確実に吸引することができる。 In the first invention, openings are formed at both ends, a straight pipe part having an axial line extending substantially linearly with a constant cross-sectional shape is provided, and a suction opening is created by generating an air flow inside the straight pipe part. A negative pressure is generated near the part. When the negative pressure is generated, the surrounding gas outside the suction opening is sucked into the straight pipe portion, and dust is sucked together with the sucked surrounding gas. Therefore, since no gas is directly blown onto the dust, the surrounding environment is not contaminated, for example, the dust rises and scatters to the surroundings, and only the dust can be reliably sucked without contacting the substrate.
また、第1発明に係る塵埃吸引方法は、さらに、前記吸引開口部の下方に支持される基板の表面に対して、前記直管部の軸線をほぼ平行に、しかも略一定の距離を維持しつつ相対移動させることを特徴とする。 Further, the dust suction method according to the first invention, further, to the surface of the substrate supported below the suction opening, said substantially parallel to the axis of the straight pipe section, yet maintain a substantially constant distance It is characterized by relative movements.
さらに、第1発明では、吸引開口部の下方に支持される基板の表面に対して、直管部の軸線をほぼ平行に、しかも略一定の距離を維持しつつ相対移動させることにより、基板に接触することなく塵埃のみを確実に吸引することができる。 Furthermore, according to the first aspect of the present invention, the axis of the straight pipe portion is moved substantially in parallel with the surface of the substrate supported below the suction opening while maintaining a substantially constant distance. Only dust can be reliably sucked without contact.
また、第1発明に係る塵埃吸引方法は、さらに、前記直管部の一端の開口部に向かって気体を噴射し、前記直管部の他端の開口部から気体を吸引することを特徴とする。 The dust suction method according to the first aspect of the invention is further characterized by injecting gas toward the opening at one end of the straight pipe portion and sucking the gas from the opening at the other end of the straight pipe portion. To do.
第1発明では、直管部の一端の開口部に向かって気体を噴射し、直管部の他端の開口部から気体を吸引することにより、直管部の内部に気流を生じさせて負圧を発生させることができ、発生する負圧により、吸引開口部の外側の周辺気体とともに吸引開口部近傍の塵埃を吸引することができる。 In the first invention, the gas is injected toward the opening at one end of the straight pipe portion, and the gas is sucked from the opening at the other end of the straight pipe portion, thereby generating an air flow inside the straight pipe portion and negatively The pressure can be generated, and the generated negative pressure can suck the dust in the vicinity of the suction opening together with the surrounding gas outside the suction opening.
また、第2発明に係る塵埃吸引方法は、第1発明において、前記直管部の内部における気流の方向に沿って、基板の表面に対して前記直管部を相対移動させることを特徴とする。 Further, the dust suction method according to the second invention, Oite the first invention, wherein in the direction of the air flow inside the straight pipe portion, characterized in that relatively moves the straight pipe section relative to the surface of the substrate And
第2発明では、直管部の内部における気流の方向に沿って、基板の表面に対して直管部を相対移動させることにより、基板に接触することなく塵埃を確実に吸引することができる。 In the second invention, dust can be reliably sucked without contacting the substrate by moving the straight tube portion relative to the surface of the substrate along the direction of the air flow inside the straight tube portion.
また、第3発明に係る塵埃吸引方法は、第1乃至第2発明のいずれか1つにおいて、前記直管部の内部に層流状の気流を生じさせることを特徴とする。 A dust suction method according to a third aspect of the present invention is characterized in that, in any one of the first and second aspects, a laminar air flow is generated inside the straight pipe portion.
第3発明では、直管部の内部に層流状の気流を生じさせることにより、確実に負圧を発生させることができ、吸引開口部の外側の周辺気体とともに塵埃を吸引することができる。 In the third aspect of the invention, by generating a laminar air flow inside the straight pipe portion, a negative pressure can be reliably generated, and dust can be sucked together with the surrounding gas outside the suction opening.
また、第4発明に係る塵埃吸引方法は、第1乃至第3発明のいずれか1つにおいて、前記直管部の一端に管断面積が漸次減少する縮流管部を、他端に管断面積が漸次増加する拡流管部を、それぞれ接続することを特徴とする。 The dust suction method according to a fourth aspect of the present invention is the dust suction method according to any one of the first to third aspects of the present invention, wherein the straight pipe portion has one end of the straight pipe portion, and the other end of the straight pipe portion has a reduced flow section. It is characterized by connecting each of the expanding pipe portions whose area gradually increases.
第4発明では、直管部の一端に管断面積が漸次減少する縮流管部を、他端に管断面積が漸次増加する拡流管部を、それぞれ接続することにより、直管部の内部で流速が最も速くなり、より確実に層流状の気流を生じさせることができ、吸引開口部の外側の周辺気体とともに塵埃を吸引することができる。 According to the fourth aspect of the present invention, the straight pipe portion is connected to one end of the straight pipe portion by a contracted pipe portion in which the pipe cross-sectional area gradually decreases and the other end of the straight pipe portion in which the pipe cross-sectional area gradually increases. The flow velocity becomes the fastest inside, a laminar airflow can be generated more reliably, and dust can be sucked together with the surrounding gas outside the suction opening.
また、第5発明に係る塵埃吸引方法は、第6発明において、前記縮流管部及び前記拡流管部は前記直管部と軸線を共有することを特徴とする。 The dust suction method according to a fifth aspect of the present invention is characterized in that, in the sixth aspect, the contracted tube portion and the expanded tube portion share an axis with the straight tube portion.
第5発明では、縮流管部及び拡流管部が直管部と軸線を共有することにより、直管部を短くした場合でも直管部の内部で層流状の気流を容易に生じさせることができ、さらに縮流管部に入る気流の流路や拡流管部から出る気流の流路について設計の自由度を高めることができる。 In the fifth aspect of the invention, the contracted tube portion and the expanded tube portion share an axis with the straight tube portion, so that even when the straight tube portion is shortened, a laminar air flow is easily generated inside the straight tube portion. In addition, it is possible to increase the degree of design freedom for the air flow path entering the contracted pipe section and the air flow path exiting the flow expanding pipe section.
次に、上記目的を達成するために第8発明に係る塵埃吸引装置は、塵埃を吸引する塵埃吸引装置において、両端に開口部を形成し、一定の断面形状で軸線がほぼ直線状に延伸する直管部を有し、該直管部は、両端の前記開口部の間に外部に開口する吸引開口部を備え、前記直管部の一端の開口部は気体を噴射する気体噴射機構に接続されており、前記直管部の他端の開口部は気体を吸引する気体吸引機構に接続されており、前記直管部の内部に気流を生じさせて負圧を発生させ、前記吸引開口部の外側の周辺気体を塵埃とともに、前記直管部内部へ吸引するようにしてあることを特徴とする。 Next, in order to achieve the above object, a dust suction device according to an eighth aspect of the present invention is the dust suction device for sucking dust, wherein openings are formed at both ends, and the axis extends substantially linearly with a constant cross-sectional shape. The straight pipe portion includes a suction opening that opens to the outside between the openings at both ends, and the opening at one end of the straight pipe portion is connected to a gas injection mechanism that injects gas. An opening at the other end of the straight pipe part is connected to a gas suction mechanism for sucking gas, and an air flow is generated inside the straight pipe part to generate a negative pressure, and the suction opening part The outer peripheral gas is sucked into the straight pipe part together with dust.
第6発明では、両端に開口部を形成し、一定の断面形状で軸線がほぼ直線状に延伸する直管部を有し、該直管部は、両端の開口部の間に外部に開口する吸引開口部を備えている。直管部の一端の開口部は気体を噴射する気体噴射機構に接続されており、他端の開口部は気体を吸引する気体吸引機構に接続されている。直管部の内部に気流を生じさせて負圧を発生させ、吸引開口部の外側の周辺気体を塵埃とともに、直管部内部へ吸引する。吸引開口部の外側の周辺気体は直管部内部へと吸引開口部から吸引され、吸引される周辺気体とともに塵埃を吸引する。したがって、塵埃に気体を直接吹き付けないので、塵埃が浮上して周囲へ散乱する等周囲環境を汚染することがなく、基板に接触することなく塵埃のみを確実に吸引することができる。 In the sixth invention, openings are formed at both ends, a straight pipe part having an axial line extending substantially linearly with a constant cross-sectional shape is provided, and the straight pipe part opens to the outside between the openings at both ends. A suction opening is provided. The opening at one end of the straight pipe portion is connected to a gas injection mechanism that injects gas, and the opening at the other end is connected to a gas suction mechanism that sucks gas. An air flow is generated inside the straight pipe portion to generate a negative pressure, and surrounding gas outside the suction opening is sucked into the straight pipe portion together with dust. The surrounding gas outside the suction opening is sucked into the straight pipe part from the suction opening and sucks dust together with the sucked ambient gas. Therefore, since no gas is directly blown onto the dust, the surrounding environment is not contaminated, for example, the dust rises and scatters to the surroundings, and only the dust can be reliably sucked without contacting the substrate.
上記構成により、直管部の内部に気流を生じさせて負圧を発生させ、吸引開口部の外側の周辺気体を塵埃とともに、直管部内部へ吸引する。吸引開口部の外側の周辺気体は直管部内部へと吸引開口部から吸引され、吸引される周辺気体とともに塵埃を吸引する。したがって、塵埃に気体を直接吹き付けないので、塵埃が浮上して周囲へ散乱する等周囲環境を汚染することがなく、基板に接触することなく塵埃のみを確実に吸引することができる。 With the above configuration, an air flow is generated inside the straight pipe portion to generate a negative pressure, and the surrounding gas outside the suction opening is sucked into the straight pipe portion together with dust. The surrounding gas outside the suction opening is sucked into the straight pipe part from the suction opening and sucks dust together with the sucked ambient gas. Therefore, since no gas is directly blown onto the dust, the surrounding environment is not contaminated, for example, the dust rises and scatters to the surroundings, and only the dust can be reliably sucked without contacting the substrate.
以下に、本発明をその実施の形態を示す図面に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明の実施の形態に係る塵埃吸引方法の原理を示す模式図である。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings illustrating embodiments thereof. FIG. 1 is a schematic diagram showing the principle of a dust suction method according to an embodiment of the present invention.
図1に示すように、本発明の実施の形態に係る塵埃吸引装置は、ガラス板等の脆性基板Bをスクライブするスクライブ装置及び/又はブレークするブレーク装置の支持台(図示せず)上を相対的に移動する脆性基板Bの上方に配置されており、断面形状が軸線114aの方向に略一定の円環である直管部114を有している、直管部114の略中央下部には、外部に存在する塵埃を吸引する吸引開口部111を設けてある。
As shown in FIG. 1, the dust suction device according to the embodiment of the present invention is relative to a scribing device for scribing a brittle substrate B such as a glass plate and / or a support base (not shown) of a break device for breaking. The
直管部114の両端は開口しており、それぞれ気体を噴射する気体噴射装置15及び気体を吸引する吸引装置13に接続されている。気体噴射装置15から噴射された気体は、直管部114を通過して吸引装置13にて吸引される。したがって、直管部114の内部には、気体噴射装置15側から吸引装置13側へ向かう気流が生じる。
Both ends of the
脆性基板Bは、直管部114の内部の気流の方向に沿って、直管部114に対して相対的に移動する。このようにすることで、吸引開口部111近傍に存在する塵埃を確実に吸引することができる。
The brittle substrate B moves relative to the
図2は、吸引開口部111近傍の気体の流れる状態を示す模式図である。直管部114には可能な限り層流に近い気流が提供され、吸引開口部111近傍を比較的速い流速で流れることにより、吸引開口部111近傍の直管部114の内部には負圧が発生する。したがって、大気圧よりも直管部114の内部の圧力の方が低くなるので、吸引開口部111近傍の外側にある周辺気体は、直管部114の内部へと吸引される。これにより、吸引開口部111近傍に存在する塵埃は、斯かる周辺気体の流れにより吸引開口部111から直管部114の内部へと誘導され、内部に生じている気流により吸引装置13まで誘導される。
FIG. 2 is a schematic view showing a state in which gas flows in the vicinity of the suction opening 111. The
直管部114は、図1に示すような円筒形状を、吸引開口部111を脆性基板B側へ向けて並べて配置しても良い。実際には直管部114は、相対的に移動する方向に略直交する方向に延伸した楕円筒形状又は角筒形状を有しており、脆性基板B側に向けて吸引開口部111をスリット状に設けてある。図3は、本実施の形態に係る塵埃吸引装置の直管部114の構成を模式的に示す斜視図である。
The
図3に示すように、直管部114の下部に開口するスリット状の吸引開口部111に略直交する方向に、脆性基板Bが一定の距離を維持しつつ相対的に移動する。これにより、脆性基板B表面に存在する塵埃は、スリット状の吸引開口部111から直管部114の内部へ吸引される。
As shown in FIG. 3, the brittle substrate B relatively moves in a direction substantially orthogonal to the slit-
なお、直管部114の一端に管断面積が漸次減少する縮流管部を、他端に管断面積が漸次増加する拡流管部を、それぞれ接続しても良い。図4は、直管部114が円筒形状である場合の直管部114の構成を示す斜視図である。
Note that the
図4に示すように、直管部114の脆性基板Bに対する相対的な移動方向161に対して、手前側(図4に向かって左側)に縮流管部162を、反対側(図4に向かって右側)に拡流管部163を形成している。縮流管部162により、気流が直管部114へ近づくにつれて流速が漸次増し、直管部114内を通過する時点で流速が最大となることから、直管部114内には層流状の気流が生じやすい。一方、拡流管部163により流速が漸次減ることから、直管部114を通過した気流に渦流が発生しにくく、直管部114内の気流に乱れを生じさせにくい。
As shown in FIG. 4, with respect to the
図5は、直管部114が角筒形状である場合の直管部114の構成を示す斜視図である。図4と同様に、直管部114の脆性基板Bに対する相対的な移動方向161に対して、手前側(図5に向かって左側)に縮流管部162を、反対側(図5に向かって右側)に拡流管部163を形成している。縮流管部162により、気流が直管部114へ近づくにつれて流速が増し、直管部114内を通過する場合には層流となりやすい。一方、拡流管部163により直管部114を通過した気流に渦流が発生しにくく、直管部114内の気流に乱れを生じさせにくい。
FIG. 5 is a perspective view showing a configuration of the
また、縮流管部162及び拡流管部163が直管部114と軸線を共有にすることにより、直管部114の軸線方向における全長が比較的短い場合であっても、直管部114の流入側開口部から流入した気流が吸引開口部111から流出することを防止することができ、直管部114の内部で層流状の気流を容易に生じさせることができる。さらに縮流管部162に入る気流の流路及び拡流管部163から出る気流の流路について設計の自由度を高めることができる。
Moreover, even if the total length in the axial direction of the
このように直管部114内に層流を生じさせることにより、吸引開口部111近傍の直管部114内部に安定して負圧を発生させることができ、塵埃を安定して吸引することが可能となる。
By generating a laminar flow in the
図6は、上述した塵埃吸引方法を適用した本発明の実施の形態に係る塵埃吸引装置1の構成を示す、脆性基板Bの移動方向に沿った面での断面図である。図6に示すように、本発明の実施の形態に係る塵埃吸引装置1は、脆性基板Bをスクライブするスクライブ装置及び/又はブレークするブレーク装置の支持台2上にあって相対的に矢印方向へ移動する脆性基板Bの上方に配置されており、本体部11の下端部には、塵埃を吸引する吸引開口部111を設けてある。
FIG. 6 is a cross-sectional view of the configuration of the
本体部11には、内部を気体が通過することが可能な流路である気体通過部112が形成されている。気体通過部112は、脆性基板Bが相対的に移動して向かってくる側(図6に向かって左側112a)では下方へ向かうにつれて断面積が漸次減少し、脆性基板Bが相対的に移動して離れていく側(図6に向かって右側112b)では上方へ向かうにつれて断面積が漸次増加するように形成されている。これにより、図4及び図5に示す縮流管部162及び拡流管部163と同様、内部を流れる気体の流速が加速されて直管部114内に層流状の気流が生じるとともに、内部を流れる気体の流速が減速されて乱流、渦流の発生を防止する。さらに、気体通過部112における気流の圧力損失が低減されるので、気体噴射装置15及び吸引装置13の小型化を図ることができる。
The
図1に示す吸引装置13が吸引する気体は、図1の気体噴射装置15から、接続されている噴射管を介して図6の本体部11の内部の気体噴射部113にて噴射される。直管部114を通過した気流は、気体通過部112の上端部にある吸引管12を通じて、接続してある吸引装置13(図1)により吸い上げられる。
The gas sucked by the
気体通過部112の内部には、直管部114を挟んで一対の整流部材117、117が配設してある。整流部材117、117は、気体通過部112の中央部近傍に配設することにより、中央部近傍の気流が外側に回りこみ、中央部近傍での吸引力が小さくなる。一方、吸引された気流が外側へ押し出されることにより、吸引力が比較的小さかった気体通過部112の端部分の吸引力が大きくなる。したがって、気体通過部112の内部の吸引力が、脆性基板Bの移動方向と略直交する方向で均一になるよう補正することができる。
吸引開口部111から吸引された塵埃は、本体部11の内部を通過して吸引管12を介して吸引装置13(図1)へと吸引される。
A pair of rectifying
The dust sucked from the suction opening 111 passes through the inside of the
以上のように本実施の形態によれば、両端に開口部を有し、一定の断面形状で軸線114aがほぼ直線状に延伸した直管部114を有しており、直管部114の内部に気流を生じさせることにより吸引開口部111近傍に負圧を発生させる。負圧が発生することにより、吸引開口部111の外側の周辺気体は直管部114内部へと吸引開口部111から吸引され、吸引される周辺気体とともに塵埃を吸引する。したがって、塵埃に気体を直接吹き付けることがないので、塵埃が浮上して周囲へ散乱する等周囲環境を汚染することがなく、上述したブレード等を脆性基板Bに接触させることなく塵埃のみを確実に吸引することができる。
As described above, according to the present embodiment, the
なお、本発明の趣旨の範囲内であれば多種の変形、置換等が可能である。例えば直管部114へ直接気体を供給又は直管部114からスムーズに排気するために、気体噴射装置15及び吸引装置13を直管部114の両端方向に配設するような構成であっても良い。
Various modifications and replacements are possible within the scope of the present invention. For example, in order to supply gas directly to the
1 塵埃吸引装置
11 本体部
13 吸引装置
111 吸引開口部
112 気体通過部
113 気体噴射部
114 直管部
117 整流部材
B 脆性基板(基板)
DESCRIPTION OF
Claims (5)
一定の断面形状で軸線がほぼ直線状に延伸した直管部の内部に、前記直管部の一端の管断面積が漸次減少する縮流管部に接続された開口部に向かって気体を噴射し、前記直管部の他端の管断面積が漸次増加する拡流管部に接続された開口部から気体を吸引することによって気流を生じさせて負圧を発生させ、
両端の前記開口部の間で前記直管部の下方外部に開口する吸引開口部の下方に支持される基板の表面に対して、前記直管部の軸線を当該軸線方向にほぼ平行に、しかも前記基板の表面に対する前記吸引開口部の距離を略一定に維持しつつ相対移動させることにより、
前記吸引開口部から外側の周辺気体を塵埃とともに吸引することを特徴とする塵埃吸引方法。 Forming openings at both ends,
Gas is injected into the straight pipe part with a constant cross-sectional shape and the axis extending almost linearly , toward the opening connected to the reduced flow pipe part where the pipe cross-sectional area at one end of the straight pipe part gradually decreases. And generating a negative pressure by generating an air flow by sucking a gas from an opening connected to a flow expanding pipe part where the pipe cross-sectional area of the other end of the straight pipe part gradually increases ,
Relative to the surface of the substrate supported under the suction opening opening downward outside of said straight tube portion between the opening portions at both ends, substantially parallel to the axis of the straight tube portion in the axial direction, yet By relatively moving the suction opening with respect to the surface of the substrate while maintaining the distance substantially constant,
A dust suction method comprising sucking the surrounding gas outside the suction opening together with dust.
両端に開口部を形成し、一定の断面形状で軸線がほぼ直線状に延伸する直管部を有し、
該直管部は、両端の前記開口部の間に下方外部に開口する吸引開口部を備え、
前記直管部の一端の開口部は管断面積が漸次減少する縮流管部が形成され、気体を噴射する気体噴射機構に接続されており、前記直管部の他端の開口部は管断面積が漸次増加する拡流管部が形成され、気体を吸引する気体吸引機構に接続されており、
前記直管部の内部に気流を生じさせて負圧を発生させ、前記吸引開口部の外側の周辺気体を塵埃とともに、前記直管部内部へ吸引するようにしてあることを特徴とする塵埃吸引装置。 In a dust suction device that sucks dust,
An opening is formed at both ends, and has a straight pipe portion with an axial line extending substantially linearly with a constant cross-sectional shape,
Straight pipe portion is provided with a suction opening which opens downward outside between the opening portions at both ends,
The opening at one end of the straight pipe part is formed with a contracted pipe part in which the cross-sectional area of the pipe gradually decreases, and is connected to a gas injection mechanism for injecting gas, and the opening at the other end of the straight pipe part is a pipe A flow expanding pipe portion with a gradually increasing cross-sectional area is formed, and connected to a gas suction mechanism for sucking gas,
The dust suction is characterized in that an air flow is generated inside the straight pipe portion to generate a negative pressure, and surrounding gas outside the suction opening is sucked into the straight pipe portion together with dust. apparatus.
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